KR100904719B1 - 박막 코팅 장치 및 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (14)
- 기판 장착부 및 샤워 헤드를 포함하는 진공챔버;상기 진공 챔버에 연결되는 것으로 전구체가 저장되는 용적 가변형 저장부;상기 저장부에 연결되는 전구체 공급 라인;상기 전구체 공급 라인에 전구체 증기를 선택적으로 공급하는 복수의 전구체 공급부;상기 전구체 공급 라인에 연결되는 퍼지가스 공급부;상기 진공 챔버에 연결되는 배기 라인;상기 배기 라인을 통해 상기 진공 챔버에 연결되는 배기장치; 그리고,상기 저장부와 상기 배기 장치를 연결하는 바이패스 라인;을 구비하는 박막 코팅장치.
- 삭제
- 제 1 항에 있어서,상기 바이패스 라인에는 퍼지 가스의 유동을 단속하는 바이패스 밸브가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 박막 코팅장치.
- 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 진공 챔버 내에 플라즈마를 발생하는 플라즈마 발생장치를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 박막 코팅장치.
- 제 4 항에 있어서,상기 저장부는 실린더와 실린더 내에 왕복동하는 피스톤을 구비하는 것을 특징으로 하는 박막 코팅장치.
- 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 저장부는 실린더와 실린더 내에 왕복동하는 피스톤을 구비하는 것을 특징으로 하는 박막 코팅장치.
- 진공 챔버에 기판을 장착한 후 기판에 자기 조립 단분자 박막을 코팅하는 방법에 있어서;하나의 전구체 공급 라인에 연결된 복수의 전구체 공급부 중에서 선택된 하나의 전구체 공급부로부터 전구체 증기를 내용적 조절이 가능한 저장부에 공급하는 단계;상기 전구체 증기를 상기 진공 챔버에 투입하는 단계;상기 진공 챔버에 전구체 증기를 공급한 후, 상기 저장부와 전구체 공급라인을 퍼지가스로 세정하는 단계; 그리고,상기 전구체 증기를 상기 저장부에 공급하는 단계, 상기 진공 챔버에 전구체 투입 단계 및 상기 저장부와 전구체 공급라인을 퍼지가스로 세정하는 단계를 사용 전구체의 수에 해당하는 만큼 반복 수행하는 단계;를 포함하고,상기 전구체 증기를 상기 저장부에 공급하는 단계는,상기 진공 챔버에 투입될 전구체 양에 상응하게 상기 저장부의 내용적을 조절하는 단계; 그리고,상기 저장부에 전구체 증기를 공급하는 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 코팅방법.
- 삭제
- 제 7 항에 있어서,상기 전구체를 진공 챔버에 투입하기 전, 플라즈마에 의해 상기 기판의 표면을 전처리하는 것을 특징으로 하는 박막 코팅방법..
- 삭제
- 삭제
- 삭제
- 제 7 항에 있어서,상기 진공 챔버로 전구체를 투입할 때 상기 저장부의 내용적을 감소시켜 저장부 내의 전구체를 강제 배출하는 것을 특징으로 하는 박막 코팅방법.
- 삭제
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KR20050044797A (ko) * | 2005-02-04 | 2005-05-12 | 어플라이드 마이크로스트럭쳐스, 인코포레이티드 | 박막 필름 및 코팅을 생성하기 위해 반응성 증기를 제어도포하는 장치 및 방법 |
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