CN117101959A - 一种提升点胶头出料稳定性的方法及应用 - Google Patents

一种提升点胶头出料稳定性的方法及应用 Download PDF

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曹航超
蔡王灿
陈小朋
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    • B05C5/00Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
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    • B05B15/50Arrangements for cleaning; Arrangements for preventing deposits, drying-out or blockage; Arrangements for detecting improper discharge caused by the presence of foreign matter

Abstract

本发明提供一种提升点胶头出料稳定性的方法及应用,利用疏水材料对点胶头表面进行疏水处理得到表面形成疏水涂层的点胶头,且可采用浸泡法、喷雾法、气相沉积法、等离子体处理法的任一种疏水处理工艺对点胶头表面进行疏水处理,这种方式通过直接对点胶头表面进行疏水性改造,减少流体挂料和堆积的方式来提高点胶头出料稳定性。

Description

一种提升点胶头出料稳定性的方法及应用
技术领域
本发明涉及点胶头领域,特别涉及一种提升点胶头出料稳定性的方法及应用。
背景技术
接触式流体点胶技术是微电子、光学封装中的一项关键技术,其依靠点胶头引导胶液与基板接触,这种方式能够以受控的方式对流体进行精确分配,将理想体积量的流体(如粘结胶、导电浆料、焊料等)转移到工件(如晶圆、电子元器件等)的特定位置从而实现粘结、电气互连等功能。转移后的流体形态可以是点状、线状、面状或其它图案等。
点胶头是接触式点胶技术的核心部件,目前接触式流体点胶技术常用的点胶头的材质包括塑料、钢针、玻璃以及陶瓷等,接触式点胶技术依靠压力驱动流体挤出点胶头,点胶时需要将点胶头靠近基板表面,使流体可以接触到基板并通过和基板之间的粘性力与点胶头分离。随着微电子、光学封装技术的不断发展,产品、器件的尺寸越来越小,封装密度越来越高,对点胶的点胶量、精度、速度和灵活性提出了更高的要求,而高精度的接触式点胶技术的关键在于改善点胶头的出料稳定性,换言之,高精度接触式点胶对点胶量的控制要求很高,轻微的胶量变化都会影响到打印精度,最终影响产品的良率。针对目前市面上常用的点胶头,当流体样品经过点胶头时,由于流体(如胶黏剂等)其本身材料存在的粘性和表面张力,故流体跟点胶头材质之间会存在相互作用进而使得流体容易在点胶头上挂料和堆积,这就会造成部分流体未能到达基板表面,影响点胶过程中的出料稳定性,另外也会导致持续堆积的流体由于重力作用最终会滴落到基板上,从而破坏精密点胶的图案,严重时甚至会使得整个成品样件失效。
若是点胶头的出料稳定性难以把控,就会引发出现基板表面的流体涂覆不均匀的现象进而影响到产品的质量和寿命,同时也会导致生产制造过程中需要频繁地更换点胶头进而影响到生产时间和成本。特别地对于一些高精密的电子器件而言,点胶头出料的不稳定会导致点胶位置偏移或者点胶量偏差,轻者影响电子器件的功能和性能,重者可能会导致电子器件直接报废,故如何提高点胶头的出料稳定性一直以来都是接触式点胶领域的技术人员迫切需要解决的技术难题。
目前接触式点胶领域有通过引入高精度的视觉辅助系统对点胶头进行实时监控和反馈的方式来提高点胶头的出料稳定性,但是这种方式的成本非常高且高度依赖于视觉辅助系统的视觉精度;也有类似于CN113058814A提供的一种用于TO半导体芯片点胶控制方法及系统的方案,其是通过智能控制的点胶头模块取代传统气动活塞式压力点胶的方式来提高点胶稳定性,但这种方式不仅成本非常高而且也无法解决由于流体粘接在点胶头而引起的点胶头出料不稳定的问题。
发明内容
本方案提供了一种提升点胶头出料稳定性的方法及应用,通过直接对点胶头表面进行疏水性改造,减少流体挂料和堆积在点胶头的方式来提高点胶头的出料稳定性。
为实现以上目的,本方案提供了一种提升点胶头出料稳定性的方法,包括以下步骤:利用疏水材料对点胶头表面进行疏水处理,得到表面形成疏水涂层的点胶头。
本方案提供的提升点胶头出料稳定性的方法适用于对接触式流体点胶技术的点胶头进行处理,关于点胶头的材料不做特别限制,点胶头的材料选择为塑料、钢针、玻璃以及陶瓷的一种。本方案的疏水材料组成的疏水涂层不影响点胶流体的性能的同时不与点胶流体发生相互作用,进而避免了点胶流体在点胶头上的挂料和堆积,以此方式来提高点胶头的出料稳定性。
在一些实施例中,本方案的疏水涂层具有薄且致密的特点。
在“利用疏水材料对点胶头表面进行疏水处理”步骤中选择浸泡法、喷雾法、气相沉积法、等离子体处理法的任一种疏水工艺对点胶头表面进行疏水处理。
当本方案采用浸泡法或喷雾法利用疏水材料对点胶头表面进行疏水处理时,将疏水材料同溶剂以一定比例混合制备得到疏水剂,将疏水剂以浸泡或者喷涂的方式对点胶头表面进行疏水处理。
具体的,当本方案采用浸泡法利用疏水材料对点胶头表面进行疏水处理时,将点胶头浸泡在疏水剂一段时间后取出干燥完成疏水处理;当本方案采用喷雾法利用疏水材料对点胶头表面进行疏水处理时,将疏水剂喷涂到点胶头表面待其干燥完成疏水处理。
所述疏水材料选择为有机硅氧烷、含氟有机化合物中的一种或多种。
具体的,有机硅氧烷可以选择为甲基三甲氧基硅烷、十六烷基三甲氧基硅烷、十八烷基三氯硅烷等,烷基有较好的疏水性,且硅氧烷之间容易形成致密的疏水层;含氟有机化合物可选择为三氯(1H,1H,2H,2H-全氟辛基)硅烷、全氟辛基三氯硅烷、十二氟庚基丙基三甲氧基基硅烷、十三氟辛基三甲氧基硅烷、三氟丙基三乙氧基硅烷、3,3,3,-三氟丙基三甲氧基硅烷、3,3,3-三氟丙基甲基二甲氧基硅烷、全氟季铵硅氧烷、全氟辛基三乙氧基硅烷、含氟丙烯酸酯聚合物等,烷基具有较好的疏水性,同时大量的氟原子取代氢原子,使得疏水性更强,且其组成的疏水表面更为稳定。
本方案之所以可以选择有机硅氧烷作为疏水材料,是由于有机硅烷氧的分子结构内通常含有硅氧键和有机基团,硅氧键的形成使得有机硅化合物具有一定程度的刚性和稳定性,使其表面不易和水分子形成氢键作用,类似于硅烷偶联剂的有机基团具有较长的烷基链或者含有疏水性较强的芳基结构,也导致此类有机硅氧烷不容易和水发生反应。同时可以在材料表面形成类似于蜡的涂层,使水滴迅速滑落,减少液体在表面的接触,还可以在一些程度上降低胶水与点胶头处的润湿性,使胶水不易于在点胶头处扩散;且在一定程度上具有化学稳定性,可以抵御某些化学物质的侵蚀。
而选择含氟有机化合物是因为氟在共价键中强烈地吸引电子带来强电负性,使得分子中的碳-氟键(C-F键)成为一种特殊的化学键,这种键的特点是极为稳定,而且碳-氟键比碳-氢键的键能更强、键长更短,这使得含氟有机物分子结构更加紧密,表面更光滑,减少了与其他分子的相互作用,从而表现出优异的疏水性能;且如含氟有机硅氧烷、含氟丙烯酸酯类聚合物等含氟有机化合物的表面,往往能形成一种称为“氟素表面活性剂”效应的现象,这是因为含氟有机化合物表面的氟原子可以形成一个稳定的氟化物层,具有较高的化学稳定性和很低的表面能,防止了润湿现象的发生,这使得含氟有机化合物表面在接触水或其他极性液体时能够有效地抵抗其吸附和湿润。
而本方案之所以可以选择有机硅氧烷或含氟有机化合物作为疏水材料,是由于有机硅氧烷或含氟有机化合物不仅具有出色的疏水性能,其化学稳定性和耐溶剂腐蚀性等特性,也能满足经此类疏水材料处理后的点胶头,能够保持长期稳定的作业,而不出现挂胶、溢胶、点胶量波动等问题。此时,溶剂选择为醇类、酯类、脂肪烃类、芳香烃类、氢氟醚类、全氟醚类中的一种或多种,利用溶剂充分溶解疏水材料得到疏水剂。
在一些优选实施例中,溶剂选择为甲基九氟丁醚,这是由于甲基九氟丁醚是一种具有优异的溶解性能的氟化溶剂,可以有效地溶解许多有机硅氧烷和含氟有机化合物,且甲基九氟丁醚本身就是一种具有较低的表面张力疏水性溶剂,能够在点胶头表面形成较薄的液膜,有助于在表面上形成均匀的涂层或薄膜。
另外,为了保证疏水材料的充分溶解,设定疏水材料在疏水剂的质量比为0.001%-20%,该方式可在控制成本的同时提高点胶头处疏水材料分布的均一性,提供较好的疏水性能。
当本方案采用气相沉积法利用疏水材料对点胶头表面进行疏水处理时,将疏水材料气化沉积或者喷溅到点胶头表面进行疏水处理。
具体的,在一些优选实施例中,将疏水材料在真空环境下气化成蒸汽,并将蒸汽输送入点胶头的点胶通道的相应区域缩聚成膜以进行疏水处理。
气相沉积法中采用的疏水材料与浸泡法或喷雾法采用的疏水材料相似,此时,所述疏水材料选择为有机硅氧烷、含氟有机化合物中的一种或多种,在一些优选实施例中,含氟有机化合物选择为三氯(1H,1H,2H,2H-全氟辛基)硅烷。关于疏水材料的说明介绍同于上文,在此不累赘说明。
当本方案采用等离子体处理法利用疏水材料对点胶头表面进行疏水处理时,将气态的疏水材料通过等离子电场设备产生等离子气体,并将等离子气体输送入点胶头的点胶通道内外成膜以进行疏水处理。需要说明的是,等离子体形成的气体氛围可以在点胶头的内外壁都形成疏水涂层。
此时,气态的疏水材料为含氟化合物气体、含氟化合物气体与含氢化合物气体的混合物、含氟化合物气体与惰性气体的混合物中的一种或多种。本方案之所以选择含氟化合物气体作为疏水材料,是由于含氟化合物的沸点相对较低,容易气化,且由于其包含氟原子,由于氟的高电负性,含氟化合物气体表现出极强的疏水性,不易与水分子发生氢键作用,使得其在水或其他极性液体中的润湿性非常低,且含氟化合物气体具有较低的表面张力以及较高的化学稳定性,这意味着更容易形成稳定的疏水涂层。
在一些实施例中,含氟化合物气体为CF3、CF4、C2F6、C4F8、SF6及其混合气。优选的,含氟化合物为CF4
在一些实施例中,含氢化合物气体为:H2、C2H2、C2H4、CH4、C2H6、C3H8、SiH4及其混合气。优选的,含氢化合物气体为H2
在一些实施例中,惰性气体为氮气、氦气、氩气及其混合物。优选的,惰性气体为氦气。
根据上述方法制备得到的点胶头表面形成疏水涂层,对于去离子水的接触角在70°-170°之间,在连续出料7-30天后未出现点胶流体在点胶头表面的挂料和堆积,可很好地避免点胶流体在点胶头的挂料和堆积现象。
另外,本方案提供的以上提升点胶头出料稳定性的方法可应用于对接触流体点胶方法中的点胶头进行处理,应用于接触流体点胶领域以减少点胶流体在点胶头的挂料和堆积。
本方案还提供了一种点胶头,点胶头的内外壁表面形成疏水涂层,所述疏水涂层为利用疏水材料对点胶头表面进行疏水处理得到,关于疏水材料以及疏水处理的工艺如上所述,在此不进行累赘说明。
相较于现有技术,本技术方案具有以下特点和有益效果:
本方案利用含氟的疏水材料利用各种疏水工艺对多材质的点胶头进行疏水处理,以在点胶头表面形成致密且薄的疏水涂层,降低了点胶流体和点胶头之间的相互作用从而避免了点胶流体在点胶头的挂料和堆积,进而提升接触流体点胶技术中点胶头出料的稳定性和均一性,提高点胶产品的良率。本方案可采用不同类型的疏水材料对不同材质的点胶头利用不同疏水工艺进行疏水处理,具有适用范围广、选择度高的优势,具有实际推广的现实意义。
附图说明
图1是去离子水在未疏水处理的玻璃片表面的接触角的测试结果图;
图2是去离子水在经过浸泡法疏水处理后的玻璃片表面的接触角的测试结果图;
图3是去离子水在经过喷雾法疏水处理后的玻璃片表面的接触角的测试结果图;
图4是去离子水在经过气相沉积法疏水处理后的玻璃片表面的接触角的测试结果图;
图5是去离子水在经过等离子体法疏水处理后的玻璃片表面的接触角的测试结果图;
图6是未经处理的玻璃针点胶头点胶过程中出现了挂料和堆积的实际效果图;
图7是经过疏水处理后的玻璃针点胶头点胶过程中未出现挂料和堆积的实际效果图;
图8是未经处理的钢针点胶头点胶过程中出现了挂料和堆积的实际效果图;
图9是经过疏水处理后的钢针点胶头点胶过程中未出现挂料和堆积的实际效果图;
图10是未经处理的陶瓷针点胶头点胶过程中出现了挂料和堆积的实际效果图;
图11是经疏水处理的陶瓷针点胶头点胶过程中未出现挂料的实际效果图;
图12是未经处理的点胶头点胶形貌的实际效果图;
图13是经过疏水处理后的点胶形貌的实际效果图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
可以理解的是,术语“一”应理解为“至少一”或“一个或多个”,即在一个实施例中,一个元件的数量可以为一个,而在另外的实施例中,该元件的数量可以为多个,术语“一”不能理解为对数量的限制。
实施例一(浸泡法处理点胶头和玻璃片):
1)将0.1g三氯(1H,1H,2H,2H-全氟辛基)硅烷添加到100g甲基九氟丁醚中,混合均匀后制备成浓度为0.1wt%(1000ppm)的疏水剂;
2)将点胶头和玻璃片浸泡至疏水剂中,室温浸泡24小时后取出晾干;或浸泡1小时后,用120℃烘半小时,待干燥冷却后即可制得经疏水处理的点胶头和玻璃片。
对处理后的点胶头和玻璃片进行性能测试:
玻璃片表面的接触角和表面能测试:
取相同未经疏水处理的玻璃片作为对比玻璃片1,以经过浸泡法疏水处理后的玻璃片作为玻璃片2,在常温状态下使用水滴角测量仪的精密滴液器将相同体积的去离子水滴滴加在两个玻璃片表面,且保证该表面平坦无气泡,用水滴角测量仪的显微镜观察水滴在玻璃片表面的形态,并使用水滴角测量仪测试接触角。观察结果如图1和图2所示,可见未经疏水处理的玻璃片1表面的去离子水滴的接触角为6°,经过浸泡法处理的玻璃片2表面的去离子水滴的接触角为88°,测量得到玻璃片1的表面能为72.79mN/m,而玻璃片2的表面能为44.65mN/m,可见浸泡法的疏水处理工艺已在玻璃片2表面形成疏水涂层。
点胶头挂料堆积测试:
取未经疏水处理的点胶头作为对比点胶头1,以经过浸泡法疏水处理后的点胶头作为点胶头2。在相同环境条件下将相同剂量和成分的点胶流体加入到点胶头1和点胶头2进行出料测试,设置点胶头1和点胶头2连续出料7天,观察点胶头2仍未出现挂料和堆积,而点胶头1出现挂料和堆积。如图6是普通玻璃点胶头在出料过程中出现挂料和堆积的情况,图7则是经浸泡法处理后的玻璃点胶头在出料过程中未出现挂料和堆积的情况。
点胶头出料稳定和均一性测试:
在相同环境条件下将相同剂量和成分的点胶流体加入到点胶头1和点胶头2进行出料测试,设置点胶头1和点胶头2连续出料7天,对出料情况用显电镜进行拍摄,测量每个点的尺寸,具体分布情况如图12和图13所示,图12可见点胶头1的出料不稳定且不均一,图13可见点胶头2的出料稳定且均一,稳定在近乎相同和均一的分布情况。
实施例二(喷雾法处理点胶头和玻璃片):
1)将0.1g三氯(1H,1H,2H,2H-全氟辛基)硅烷添加到100g甲基九氟丁醚中,混合均匀后制备成浓度为0.1wt%(1000ppm)的疏水剂;
2)用喷雾设备将疏水液喷射到点胶头和玻璃片表面,晾干后即可制得经疏水处理的点胶头和玻璃片。
对该喷雾法处理的点胶头和玻璃片进行性能测试:
玻璃片接触角和表面能测试:
取相同未经疏水处理的玻璃片作为对比玻璃片1,以经过喷雾法疏水处理后的玻璃片作为玻璃片3,在常温状态下使用水滴角测量仪的精密滴液器将相同体积的去离子水滴滴加在两个玻璃片表面,且保证该表面平坦无气泡,用水滴角测量仪的显微镜观察水滴在玻璃片表面的形态,并使用水滴角测量仪测试接触角。观察结果如图1和图3所示,可见未经疏水处理的玻璃片1表面的去离子水滴的接触角为6°,经过喷雾法处理的玻璃片3表面的去离子水滴的接触角约为70°,测量得到玻璃片1的表面能为72.79mN/m,而玻璃片3的表面能为54.09mN/m,可见喷雾法的疏水处理工艺已在玻璃片3表面形成疏水涂层。
点胶头挂料堆积测试:
取未经疏水处理的点胶头作为对比点胶头1,以经过喷雾法疏水处理后的点胶头作为点胶头3。在相同环境条件下将相同剂量和成分的点胶流体加入到点胶头1和点胶头3进行出料测试,设置点胶头1和点胶头3连续出料7天,观察点胶头3仍未出现挂料和堆积,而点胶头1出现挂料和堆积。
实施例三(气相沉积法处理点胶头和玻璃片):
采用真空镀膜方式,在真空室中先将含氟硅烷偶联剂加热气化成蒸汽并形成蒸汽流流过点胶头和玻璃片,使三氯(1H,1H,2H,2H-全氟辛基)硅烷在点胶头和玻璃片表面聚集并缩聚成膜,从而形成致密的疏水性涂层。
对该气相沉积法处理的点胶头和玻璃片进行性能测试:
玻璃片接触角和表面能测试:
取相同未经疏水处理的玻璃片作为对比玻璃片1,以经过气相沉积法疏水处理后的玻璃片作为玻璃片4,在常温状态下使用水滴角测量仪的精密滴液器将相同体积的去离子水滴滴加在两个玻璃片表面,且保证该表面平坦无气泡,用水滴角测量仪的显微镜观察水滴在玻璃片表面的形态,并使用水滴角测量仪测试接触角。观察结果如图1和图4所示,可见未经疏水处理的玻璃片1表面的去离子水滴的接触角为6°,经过气相沉积法处理的玻璃片4表面的去离子水滴的接触角为113°,测量得到玻璃片1的表面能为72.79mN/m,而玻璃片4的表面能为32.48mN/m,可见气相沉积法的疏水处理工艺已在玻璃片4表面形成疏水涂层。
点胶头挂料堆积测试:
取未经疏水处理的点胶头作为对比点胶头1,以经过气相沉积法疏水处理后的点胶头作为点胶头4。在相同环境条件下将相同剂量和成分的点胶流体加入到点胶头1和点胶头4进行出料测试,设置点胶头1和点胶头4连续出料14天,观察点胶头4仍未出现挂料和堆积,而点胶头1出现挂料和堆积。
实施例四(等离子体法处理点胶头和玻璃片):
1)调整反应气体的流量分别为:氦气10L/min,CF4 15sccm(立方厘米/min),H25sccm(立方厘米/min);
2)通入混合后的反应气体并使混合气体在放电空间中产生等离子体,然后将等离子体传送到点胶头和玻璃片所在的腔体中,使得等离子体在点胶头和玻璃片表面聚集并反应,从而形成致密的疏水涂层。
对该等离子体法处理的点胶头和玻璃片进行性能测试:
玻璃片接触角和表面能测试:
取相同未经疏水处理的玻璃片作为对比玻璃片1,以经过等离子体法疏水处理后的玻璃片作为玻璃片5,在常温状态下使用水滴角测量仪的精密滴液器将相同体积的去离子水滴滴加在两个玻璃片表面,且保证该表面平坦无气泡,用水滴角测量仪的显微镜观察水滴在玻璃片表面的形态,并使用水滴角测量仪测试接触角。观察结果如图1和图5所示,可见未经疏水处理的玻璃片1表面的去离子水滴的接触角为6°,经过等离子体法处理的玻璃片5表面的去离子水滴的接触角约为170°,测量得到玻璃片1的表面能为72.79mN/m,而玻璃片5的表面能为13.59mN/m,可见等离子体法的疏水处理工艺已在玻璃片5表面形成疏水涂层。
点胶头挂料堆积测试:
取未经疏水处理的点胶头作为对比点胶头1,以经过等离子体法疏水处理后的点胶头作为点胶头5。在相同环境条件下将相同剂量和成分的点胶流体加入到点胶头1和点胶头5进行出料测试,设置点胶头1和点胶头5连续出料30天,观察点胶头5仍未出现挂料和堆积,而点胶头1出现挂料和堆积。
实施例五:
利用同于实施例一相同的浸泡法对钢针材质的点胶头进行疏水处理得到点胶头7,采用相同钢针材质的未经疏水处理的点胶头作为比对点胶头6。
挂料堆积测试:
在相同环境条件下将相同剂量和成分的点胶流体加入到点胶头6和点胶头7进行出料测试,设置点胶头6和点胶头7连续出料7天,如图9所示可观察点胶头7仍未出现挂料和堆积,如图8所示可观察到点胶头6出现挂料和堆积。
实施例六:
利用同于实施例一相同的浸泡法对陶瓷材质的点胶头进行疏水处理得到点胶头9,采用相同陶瓷材质的未经疏水处理的点胶头作为比对点胶头8。
挂料堆积测试:
在相同环境条件下将相同剂量和成分的点胶流体加入到点胶头8和点胶头9进行出料测试,设置点胶头8和点胶头9连续出料7天,如图11所示可观察点胶头9仍未出现挂料和堆积,如图10所示可观察到点胶头8出现挂料和堆积。本发明不局限于上述最佳实施方式,任何人在本发明的启示下都可得出其他各种形式的产品,但不论在其形状或结构上作任何变化,凡是具有与本申请相同或相近似的技术方案,均落在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种提升点胶头出料稳定性的方法,其特征在于,包括:
利用疏水材料对点胶头表面进行疏水处理,得到表面形成疏水涂层的点胶头。
2.根据权利要求1所述的提升点胶头出料稳定性的方法,其特征在于,选择浸泡法、喷雾法、气相沉积法、等离子体处理法的任一种疏水工艺对点胶头表面进行疏水处理。
3.根据权利要求2所述的提升点胶头出料稳定性的方法,其特征在于,当采用浸泡法或喷雾法利用疏水材料对点胶头表面进行疏水处理时,将疏水材料同溶剂混合制备得到疏水剂,将疏水剂以浸泡或者喷涂的方式对点胶头表面进行疏水处理。
4.根据权利要求3所述的提升点胶头出料稳定性的方法,其特征在于,所述疏水材料选择为有机硅氧烷、含氟有机化合物中的一种或多种,溶剂选择为醇类、酯类、脂肪烃类、芳香烃类、氢氟醚类、全氟醚类中的一种或多种。
5.根据权利要求3所述的提升点胶头出料稳定性的方法,其特征在于,疏水材料占疏水剂的质量比为0.001%-20%。
6.根据权利要求2所述的提升点胶头出料稳定性的方法,其特征在于,当采用气相沉积法利用疏水材料对点胶头表面进行疏水处理时,将疏水材料气化沉积或者喷溅到点胶头表面进行疏水处理,所述疏水材料选择为有机硅氧烷、含氟有机化合物中的一种或多种。
7.根据权利要求2所述的提升点胶头出料稳定性的方法,其特征在于,当采用等离子体处理法利用疏水材料对点胶头表面进行疏水处理时,将气态的疏水材料通过等离子电场设备产生等离子气体,并将等离子气体输送到点胶头的内外壁表面以形成疏水膜,气态的疏水材料为含氟化合物气体、含氟化合物气体与含氢化合物气体的混合物、含氟化合物和惰性气体的混合物中的一种或多种。
8.根据权利要求1所述的提升点胶头出料稳定性的方法,其特征在于,去离子水在点胶头表面的接触角在70°-170°之间。
9.一种提升点胶头出料稳定性的方法的应用,其特征在于,应用于对接触流体点胶方法中的点胶头进行处理。
10.一种点胶头,其特征在于,点胶头的内外壁表面形成疏水涂层,所述疏水涂层为利用疏水材料对点胶头表面进行疏水处理得到。
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