KR100904393B1 - COF scrubber - Google Patents

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Abstract

본 발명은 필름형태의 회로기판이라 할 수 있는 씨오에프(COF; Chip On Flexible Board 혹은 Chip On Film)를 제조하는 과정에서 필름(COF 제품)의 표면에 부착된 먼지나 이물질을 제거하기 위한 세정장치에 관한 것이다.The present invention is a cleaning device for removing dust or foreign matter adhering to the surface of the film (COF products) in the process of manufacturing a chip on a flexible board or chip on film (COF) that can be called a circuit board in the form of a film It is about.

구성의 요지로는 씨오에프 세정기에 있어서, 스프로킷(4)(4')을 향하여 경사진 방향으로 에어세정장치(10)(10')를 설치하고 그 중간 위치에는 필름의 아래에 에어세정장치(10")를 설치하며, 에어세정장치(10)(10')(10")는 중앙부에 분사구멍(11)을 형성하고 공기분사관(12)을 연결하여 공기를 분사토록 하고, 그 양측 가장자리에는 공기를 흡입하는 흡입구멍(13)을 형성하고 흡입관(14)을 연결하여 이물질이나 먼지를 흡입토록 하며, 상기 스프로킷 휠(4)(4')의 사이와 보호테이프(100')가 통과하는 세정기(1)의 상부에는 점착성을 가진 세정테이프(21)를 간헐적으로 이송하면서 세정테이프(21)가 필름(100)에 밀착되도록 하는 테이프세정장치(20)(20')를 설치함을 특징으로 한다. As a summary of the structure, the air cleaner (10) and (10 ') are installed in the direction of the inclined toward the sprocket (4) (4'), and in the intermediate position thereof, the air cleaner (under the film) 10 "), and the air cleaner 10, 10 ', 10" forms the injection hole 11 in the center, connects the air injection pipe 12, and injects air, and both edges thereof A suction hole 13 for sucking air, and a suction pipe 14 is connected to suck the foreign matter or dust, and the protective tape 100 'passes between the sprocket wheels 4 and 4'. The tape cleaning device 20, 20 'is installed on the upper part of the cleaner 1 so that the cleaning tape 21 is in close contact with the film 100 while intermittently transferring the adhesive cleaning tape 21. do.

씨오에프(COF), 반도체 필름, 공기분사, 흡입, 세정테이프, 간헐작동 COF, semiconductor film, air spray, suction, cleaning tape, intermittent operation

Description

씨오에프 세정기{COF scrubber}COF scrubber

도 1은 본 발명에 의한 세정기의 전체구성으로 도시한 정면도 1 is a front view showing the overall configuration of a washing machine according to the present invention;

도 2는 도 1의 요부 확대도2 is an enlarged view illustrating main parts of FIG. 1;

도 3a 및 도 3b는 에어세정장치의 상세 단면도3a and 3b is a detailed cross-sectional view of the air cleaning device

***도면 중 주요 부분에 대한 부호의 설명****** Description of the symbols for the main parts of the drawings ***

1: 세정기 2: 언로딩릴1: scrubber 2: unloading reel

2': 로딩릴 3: 장력휠2 ': loading reel 3: tension wheel

4, 4': 스프로킷 휠4, 4 ': Sprocket Wheel

10, 10', 10": 에어세정장치 11: 분사구멍10, 10 ', 10 ": Air cleaner 11: Blow hole

13: 흡입구멍 13: suction hole

20, 20': 테이프세정장치 21: 세정테이프20, 20 ': Tape cleaning device 21: Cleaning tape

30: 제전건30: Antistatic Gun

100: 필름(COF 제품) 100': 보호테이프100: film (COF product) 100 ': protective tape

본 발명은 필름형태의 회로기판이라 할 수 있는 씨오에프(COF; Chip On Flexible Board 혹은 Chip On Film)를 제조하는 과정에서 필름(COF 제품)의 표면에 부착된 먼지나 이물질을 제거하기 위한 세정장치에 관한 것으로, 반도체 칩이 돌출되지 않은 필름을 1회 언로딩 및 로딩하는 과정에서 필름 및 보호테이프의 표면에 묻은 이물질을 효과적으로 제거할 수 있도록 한 것이다.The present invention is a cleaning device for removing dust or foreign matter adhering to the surface of the film (COF products) in the process of manufacturing a chip on a flexible board or chip on film (COF) that can be called a circuit board in the form of a film The present invention relates to a method for effectively removing foreign substances on the surfaces of the film and the protective tape in the process of unloading and loading the film in which the semiconductor chip does not protrude once.

주지된 바와 같이 COF는 칩온플렉시블보드(Chip On Flexible Board) 혹은 칩온필름(Chip On Film)으로 불리는 필름 형태의 회로기판으로서, 필름에 반도체 칩이 부착되고 회로패턴이 형성되어 그 자체가 유연성을 가진 회로기판의 역할을 하게 되므로 핸드폰 등 소형의 가전/전자제품 분야에서의 경박단소화를 위한 급격한 추세에 부응하고 LCD 드라이버 IC에서도 이용하기 위해 등장한 것이다. As is well known, COF is a film-type circuit board called a chip on flexible board or a chip on film, and a semiconductor chip is attached to a film and a circuit pattern is formed, thereby providing flexibility. As it serves as a circuit board, it has appeared to be used in LCD driver ICs in order to meet the rapid trend for light and small size in small home appliances and electronic products such as mobile phones.

상기와 같은 COF는 필름 형태의 길이가 긴 제품으로 완성된 후 전자제품(완제품)의 회로로 사용될 때 절단하여 조립되는 것인데, 제조를 하는 과정에서 필름의 표면에 이물질이 부착되면 정상작동이 이루어지지 않는 불량제품이 되므로 제조를 완료하기 전에 필름의 표면에 부착되는 이물질을 제거하는 과정이 매우 중요한 것이다. The COF is cut and assembled when used as a circuit of an electronic product (finished product) after being completed as a long product in the form of a film. It is very important that the process of removing the foreign matter adhering to the surface of the film before completing the manufacturing process will be a defective product.

종래에는 필름의 표면에 세정액을 분사하거나 세정액에 필름을 침지시키는 방식을 사용하였으나 이러한 방식의 경우에는 건조에 필요한 장치와 시간이 소요되는 단점이 있었던바, 근래에는 점착성을 가진 세정테이프를 이용하여 필름을 세정하는 방식이 강구되고 있다.Conventionally, a method of spraying a cleaning solution onto a surface of a film or immersing a film in a cleaning solution has been used. However, in this case, there is a disadvantage in that a device and a time required for drying are used. The method of washing | cleaning is calculated | required.

이러한 세정테이프를 이용한 기존의 세정장치는 단순히 점착성을 가진 세정테이프를 필름에 마찰시켜 이물질을 제거하는 방식의 것으로서, 마찰의 정도를 조 절하는 것이 어려워 세정과정에서 필름에 무리가 가고 그에 따라 불량이 발생하는 경우가 있었으며, 일정 시간 세정에 의한 마찰이 이루어진 후 세정테이프의 사용된 부분을 제거하고 사용되지 않은 부분에 다시 필름이 마찰되도록 하여주어야 하는데, 이러한 조작을 위한 동작이 매우 불편하고 시간이 많이 소요되어 생산성이 매우 낮은 등의 단점도 있었다. The existing cleaning device using the cleaning tape is a method of removing foreign matters by simply rubbing the adhesive cleaning tape onto the film, and it is difficult to control the degree of friction, which makes the film difficult during the cleaning process and accordingly the defect In some cases, after the friction by cleaning for a certain time, the used part of the cleaning tape should be removed and the film should be rubbed on the unused part again. This operation is very inconvenient and time-consuming. There were also disadvantages such as very low productivity.

상기한 문제점을 감안하여 안출한 본 발명은 세정기에 있어서 이송하는 필름의 적절한 위치에 필름을 향해 공기를 분사함과 동시에 바로 옆에서 공기를 흡입하는 기능을 가진 에어세정장치를 설치하며, 동시에 필름의 상하부와 보호테이프의 상하부에 세정테이프 방식의 세정장치를 구비하여 최대한 이물질을 효과적으로 제거토록 하며, 또한 칩이 필름의 표면에 돌출된 형태이거나 돌출되지 아니한 형태의 필름도 효과적으로 세정하고 아울러 정전기도 제거할 수 있는 세정기의 제공을 목적으로 한다. The present invention devised in view of the above problems is to install an air cleaning device having a function of injecting air to the film at the same position and at the same time to suck the air at the proper position of the film to be transported in the washing machine, and at the same time The upper and lower parts and the upper and lower parts of the protective tape are equipped with a cleaning tape type cleaning device to effectively remove foreign substances as much as possible, and also to effectively clean the film in which the chip protrudes or does not protrude on the surface of the film and to remove static electricity. An object of the present invention is to provide a scrubber.

본 발명은 필름(COF) 세정기를 구성함에 있어서, 세정을 위하여 필름(또는 보호테이프)이 이송하는 위치의 필름 상하 측에 세정테이프를 이용한 세정장치를 설치하고 그 전후에 에어를 이용한 세정장치를 구성하며, 보호테이프가 통과하는 위치에도 세정테이프를 이용한 세정장치를 구성함을 특징으로 하는바, 이하 첨부된 도면에 본 발명의 바람직한 구성 실시 예를 상세히 살펴보면 다음과 같다. In the present invention, in the construction of a film (COF) cleaner, a cleaning device using a cleaning tape is installed on the upper and lower sides of the film at a position where the film (or protective tape) is transported for cleaning, and a cleaning device using air is formed before and after. And, it characterized in that the cleaning device using the cleaning tape is configured to the position where the protective tape passes, the following detailed description of the preferred embodiment of the present invention in the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 의한 세정기의 전체구성으로 도시한 정면도, 도 2는 도 1 의 요부 확대도, 도 3a 및 도 3b는 에어세정장치의 상세 단면도이다.1 is a front view showing the overall configuration of a washing machine according to the present invention, FIG. 2 is an enlarged view of a main portion of FIG. 1, and FIGS. 3A and 3B are detailed cross-sectional views of the air cleaning device.

본 발명의 세정기(1)는 도 1에서 볼 수 있듯이 일측에 필름을 거치하는 언로딩릴(2)을 설치하고 반대쪽에는 필름(100)을 권취할 로딩릴(2')을 구성하며, 장력유지를 위한 장력휠(3)과 스프로킷 휠(4)(4')을 구성한 것이다. As shown in FIG. 1, the cleaner 1 of the present invention includes an unloading reel 2 for mounting a film on one side and a loading reel 2 'for winding the film 100 on the opposite side, and maintains tension. For the tension wheel (3) and the sprocket wheel (4) (4 ') is configured.

세정기(1)의 중앙부분에 스프로킷 휠(4)(4')에 의해 필름(100)이 이송되는 과정에서 세정을 하기 위한 장치들이 구성되는데, 스프로킷 휠(4)(4')을 향하여 경사진 방향으로 에어세정장치(10)(10')를 설치하고 스프로킷 휠(4)(4')의 중간 위치에는 필름의 아래에 에어세정장치(10")를 설치하였다. In the central part of the scrubber 1, devices for cleaning the film 100 are transported by the sprocket wheels 4 and 4 ', which are inclined toward the sprocket wheels 4 and 4'. Air cleaners 10 and 10 'were installed in the direction, and an air cleaner 10 " was installed under the film at the intermediate position of the sprocket wheels 4 and 4'.

상기 에어세정장치(10)(10')(10")는 중앙부에 분사구멍(11)을 형성하고 공기분사관(12)을 연결하여 공기를 분사토록 하였고, 분사구멍(11)의 양측 가장자리에는 공기를 흡입하는 흡입구멍(13)을 형성하고 흡입관(14)을 연결하여 이물질이나 먼지를 흡입토록 한 것이며, 스프로킷을 향해 설치되는 에어세정장치(10)(10')는 스프로킷 휠(4)(4')에 잘 근접될 수 있도록 분사구멍(11) 및 흡입구멍(13)이 있는 전면부를 원호형으로 형성하였다. The air cleaners 10, 10 'and 10 " form an injection hole 11 in the center and connect the air injection pipes 12 to inject air, and at both edges of the injection holes 11 The suction hole 13 is formed to suck air, and the suction pipe 14 is connected to suck foreign matter or dust. The air cleaner 10 or 10 'installed toward the sprocket has a sprocket wheel 4 ( The front part with the injection hole 11 and the suction hole 13 was formed in circular arc shape so that it could be close to 4 ').

그리고 상기 스프로킷 휠(4)(4')의 사이와 보호테이프(100')가 통과하는 세정기(1)의 상부에는 테이프세정장치(20)(20')를 설치하는데, 이는 점착성을 가진 세정테이프(21)를 간헐적으로 이송하면서 세정테이프(21)가 필름(100)에 밀착되도록 하는 것이다. And between the sprocket wheel (4) (4 ') and the upper portion of the cleaner 1 through which the protective tape (100') passes, the tape cleaning device (20, 20 ') is installed, which is a sticky cleaning tape The cleaning tape 21 is in close contact with the film 100 while intermittently transferring the 21.

또한 필름(100)이 스프로킷 휠(4)에 진입하기 전의 위치와 스프로킷 휠(4')을 통과한 다음의 위치 및 보호테이프(100')가 로딩되기 전의 위치에 각각 정전기 제거용 제전건(30)을 설치하였다.In addition, the antistatic gun 30 for removing static electricity at a position before the film 100 enters the sprocket wheel 4, a position after passing the sprocket wheel 4 ′, and a position before the protective tape 100 ′ is loaded, respectively. ) Was installed.

이러한 구성으로 된 본 발명의 작용을 살펴본다.It looks at the operation of the present invention having such a configuration.

먼저 세정이 필요한 필름(100)을 언로딩릴(2)에 장착하고 필름(100)을 풀어서 장력휠(3)을 거쳐 두 개의 스프로킷 휠(4)(4')을 통과시키고 다시 장력휠(3)을 거쳐 반대 측의 로딩릴(2')에 감기도록 하며, 언로딩릴(2)로부터 필름(100)과 함께 풀리는 보호테이프(100')는 필름(100)과 같이 스프로킷 휠(4) 방향으로 이송하지 않고 곧바로 세정기(1)의 상부에서 반대 측의 로딩릴(2')로 연결되도록 한다.First, the film 100 to be cleaned is mounted on the unloading reel 2, and the film 100 is released to pass the two sprocket wheels 4 and 4 'through the tension wheel 3 and again to the tension wheel 3 To the opposite side of the loading reel 2 ', and the protective tape 100' released from the unloading reel 2 together with the film 100 is in the direction of the sprocket wheel 4 like the film 100. Directly from the top of the scrubber (1) to the opposite side of the loading reel (2 ') without transferring to.

이러한 상태가 되면 필름은 3개의 에어세정장치(10)(10')(10')를 통과함과 동시에 2개의 테이프세정장치(20)를 통과하게 되며, 보호테이프(100')는 한 개의 테이프세정장치(20')를 통과하게 되는 것이다.In this state, the film passes through three air cleaners 10, 10 ', 10' and simultaneously passes through two tape cleaners 20, and the protective tape 100 'is one tape. It passes through the cleaning device 20 '.

에어세정장치(10)(10')(10")에 의해 세정이 이루어지는 과정을 살펴보면, 필름(100)이 이송하다가 먼저 흡입구멍(13)에 근접하면 필름(100) 표면의 이물질이나 먼지가 흡입구멍(13)을 통하여 빨려들어가게 되고, 이러한 흡입에 의해 분리되지 않은 이물질이나 먼지는 분사구멍(11)에서 분사된 공기에 의해 필름(100)으로부터 분리가 되고 곧이어 그 옆의 흡입구멍(13)으로 빨려들어가 제거되는 것이다. Looking at the process of cleaning by the air cleaning device (10, 10 ', 10 "), when the film 100 is transported and close to the suction hole 13, foreign matter or dust on the surface of the film 100 is sucked in It is sucked through the hole 13, and foreign matter or dust which is not separated by this suction is separated from the film 100 by the air injected from the injection hole 11 and immediately into the suction hole 13 next to it. Sucked away will be removed.

테이프세정장치(20)(20')는 점착성을 가진 세정테이프(21)에 필름(100)이 이송하면서 마찰되는 것이고 이에 따라 이물질이 분리되어 세정테이프(21)에 접착되면서 세정이 이루어진다. The tape cleaning device 20 and 20 ′ are rubbed while the film 100 is transferred to the adhesive cleaning tape 21, and thus the foreign matter is separated and adhered to the cleaning tape 21.

상기 세정테이프(21)는 간헐적으로 이송을 하게 구성함으로써, 이물질이 세정테이프(21)에 축적되는 것을 방지하고 효율적인 세정 능력을 유지하게 되는 것이며, 보호테이프(100') 역시 상부에 설치된 테이프세정장치(20')에 의해 세정이 이루어지므로 로딩릴(2')에 필름(100)과 보호테이프(100')가 감겨질 때는 완전히 청결한 상태로 권취가 이루어지고, 정전기 또한 제전건(30)에 의해 제거된 상태가 된다. The cleaning tape 21 is configured to be intermittently transported to prevent foreign matter from accumulating on the cleaning tape 21 and to maintain an efficient cleaning ability. The tape cleaning device also has a protective tape 100 'installed thereon. Since the cleaning is performed by the 20 ', the film 100 and the protective tape 100' are wound on the loading reel 2 'so as to be wound in a completely clean state, and the static electricity is also removed by the antistatic gun 30. It will be removed.

이상 설명한 바와 같은 본 발명에 의하면 분사되는 공기를 이용한 분사와 세정테이프를 이용한 세정을 적절한 위치에서 효과적으로 설치되어 필름과 보호테이프를 세정하도록 구성된 것이므로 한 번의 언로딩과 로딩으로 인하여 매우 청결한 상태이면서 정전기도 제거된 상태로 필름의 세정이 가능하게 된다.According to the present invention as described above, since it is configured to effectively clean the film and the protective tape by spraying with the sprayed air and cleaning with the cleaning tape at an appropriate position, it is very clean and static electricity due to one unloading and loading. The film can be cleaned in the removed state.

또한 공기를 분사함과 동시에 흡입하는 방식의 세정과 세정테이프를 이용한 세정으로 인하여 분리된 이물질이나 먼지가 공기 중에 날리지 않고 완전히 제거됨으로 인하여 2차적인 오염이 방지되는 효과도 갖게 되는 등 COF 업계와 소형전자제품 업계가 동시에 불량을 낮추고 생산성을 향상시킬 수 있게 되는 유용한 발명이라 할 수 있다. In addition, the COF industry and the small size have the effect of preventing secondary pollution because the separated foreign substances or dust are completely removed without being blown into the air due to the cleaning by inhaling the air and the suction tape. It is a useful invention that enables the electronics industry to simultaneously reduce defects and improve productivity.

Claims (1)

일측에 필름을 거치하는 언로딩릴(2)을 설치하고 반대쪽에는 필름(100)을 권취할 로딩릴(2')을 구성하며, 장력유지를 위한 장력휠(3)과 스프로킷 휠(4)(4')을 구성한 씨오에프 세정기에 있어서,Install the unloading reel (2) for mounting the film on one side and the loading reel (2 ') to wind the film 100 on the opposite side, the tension wheel (3) and the sprocket wheel (4) for maintaining tension ( In the CFO washing machine which constituted 4 '), 스프로킷 휠(4)(4')을 향하여 경사진 방향으로 에어세정장치(10)(10')를 설치하고 스프로킷 휠(4)(4')의 중간 위치에는 필름의 아래에 에어세정장치(10")를 설치하며, Install the air cleaners 10, 10 'in the inclined direction toward the sprocket wheels 4, 4' and at the intermediate position of the sprocket wheels 4, 4 'at the bottom of the film "), 에어세정장치(10)(10')(10")는 중앙부에 분사구멍(11)을 형성하고 공기분사관(12)을 연결하여 공기를 분사토록 하고, Air cleaners 10, 10 'and 10 "form an injection hole 11 in the center and connect the air injection pipe 12 to inject air, 분사구멍(11)의 양측 가장자리에는 공기를 흡입하는 흡입구멍(13)을 형성하고 흡입관(14)을 연결하여 이물질이나 먼지를 흡입토록 하며, At both edges of the injection hole 11, a suction hole 13 for sucking air is formed, and a suction pipe 14 is connected to suck the foreign matter or dust. 상기 스프로킷 휠(4)(4')의 사이와 보호테이프(100')가 통과하는 세정기(1)의 상부에는 점착성을 가진 세정테이프(21)를 간헐적으로 이송하면서 세정테이프(21)가 필름(100)에 밀착되도록 하는 테이프세정장치(20)(20')를 설치하며, The cleaning tape 21 is interposed between the sprocket wheels 4 and 4 'and the upper portion of the cleaner 1 through which the protective tape 100' passes. Install the tape cleaning device 20 (20 ') to be in close contact with 100, 필름(100)이 스프로킷 휠(4)에 진입하기 전의 위치와 스프로킷 휠(4')을 통과한 다음의 위치 및 보호테이프(100')가 로딩되기 전의 위치에 각각 정전기 제거용 제전건(30)을 설치한 것을 특징으로 하는 씨오에프 세정기.The antistatic gun 30 for removing static electricity at the position before the film 100 enters the sprocket wheel 4, the position after passing the sprocket wheel 4 ′, and the position before the protective tape 100 ′ is loaded, respectively. Seaf washer, characterized in that installed.
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KR20070055722A (en) * 2005-11-28 2007-05-31 삼성전자주식회사 Wafer stage cleaning apparatus of exposure equipment for manufacturing semiconductor

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