KR100903603B1 - System for watching corrosion of metal tube for gas scrubber - Google Patents

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Abstract

본 발명은 가스 스쿠러버용 금속 배관의 부식 관찰 시스템에 관한 것으로, 특히 금속 배관의 내부에 형성된 금속 전극과 상기 금속 배관의 외면 사이의 저항값을 측정하여 금속 배관의 부식 여부를 확인하고, 상기 금속 전극의 위치와 상기 저항값을 모니터링함으로써, 부식된 위치를 파악할 수 있는 가스 스쿠러버용 금속 배관의 부식 관찰 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a corrosion observation system of a metal pipe for gas scrubber, in particular, by measuring the resistance value between the metal electrode formed inside the metal pipe and the outer surface of the metal pipe to determine whether the metal pipe is corroded, the metal The present invention relates to a corrosion observation system of a metal pipe for gas scuba rubber capable of identifying a corroded position by monitoring an electrode position and the resistance value.

본 발명인 가스 스쿠러버용 금속 배관의 부식 관찰 시스템을 이루는 구성수단은, 가스 스쿠러버용 금속 배관의 부식 관찰 시스템에 있어서, 부식성 가스가 이동할 수 있는 통로가 형성된 관통형의 금속 배관, 상기 금속 배관 내면에 부착되되, 복수개의 금속 전극이 형성되고, 그 표면이 패럴린으로 코팅되는 전극 패턴 쉬트, 상기 복수개의 금속 전극과 전기적으로 연결되어, 상기 복수개의 금속 전극과 상기 금속 배관의 외면 사이의 저항을 측정하는 저항 측정부, 상기 저항 측정부로부터 측정되는 저항값을 입력받아 데이터베이스화하고, 상기 저항값의 변화에 따라 상기 금속 배관의 부식 여부를 판단하는 제어부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.The constituent means of the corrosion monitoring system of the metal pipe for gas scrubber of this invention is a corrosion observation system of the metal pipe for gas scrubber WHEREIN: The through-hole metal pipe by which the corrosive gas can be moved, and the metal pipe inner surface. An electrode pattern sheet having a plurality of metal electrodes formed thereon, the surface of which is coated with paraline, and electrically connected to the plurality of metal electrodes, thereby providing resistance between the plurality of metal electrodes and an outer surface of the metal pipe. The resistance measuring unit to measure, the resistance value measured from the resistance measuring unit to receive a database, characterized in that it comprises a control unit for determining whether or not the corrosion of the metal pipe in accordance with the change in the resistance value.

스쿠러버, 금속, 배관, 부식 Scuba Rubber, Metal, Plumbing, Corrosion

Description

가스 스쿠러버용 금속 배관의 부식 관찰 시스템{system for watching corrosion of metal tube for gas scrubber}System for watching corrosion of metal tube for gas scrubber

도 1은 종래의 반도체 제조장비와 관련된 가스 스쿠러버(scrubber)를 이용한 배기 장치를 도시한 도면이다.1 is a view showing an exhaust device using a gas scrubber associated with a conventional semiconductor manufacturing equipment.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 가스 스쿠러버용 금속 배관의 부식 관찰 시스템의 구성도이다.2 is a configuration diagram of a corrosion observation system of a metal pipe for gas scuba rubber according to an embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 가스 스쿠러버용 금속 배관의 절단 사시도이다.3 is a perspective view of the metal pipe for gas scuba rubber cutting according to an embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 금속 패턴 쉬트의 상세도이다.4 is a detailed view of a metal pattern sheet according to an embodiment of the present invention.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

10 : 금속 배관 20 : 전극 패턴 쉬트10 metal pipe 20 electrode pattern sheet

21 : 절연필름 23 : 금속 전극21: insulating film 23: metal electrode

25 : 배선 27 : 배선연결부25: wiring 27: wiring connection

30 : 패럴린 코팅막 40 : 저항측정부30: paraline coating film 40: resistance measurement unit

50 : 제어부50: control unit

본 발명은 가스 스쿠러버용 금속 배관의 부식 관찰 시스템에 관한 것으로, 특히 금속 배관의 내부에 형성된 금속 전극과 상기 금속 배관의 외면 사이의 저항값을 측정하여 금속 배관의 부식 여부를 확인하고, 상기 금속 전극의 위치와 상기 저항값을 모니터링함으로써, 부식된 위치를 파악할 수 있는 가스 스쿠러버용 금속 배관의 부식 관찰 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a corrosion observation system of a metal pipe for gas scrubber, in particular, by measuring the resistance value between the metal electrode formed inside the metal pipe and the outer surface of the metal pipe to determine whether the metal pipe is corroded, the metal The present invention relates to a corrosion observation system of a metal pipe for gas scuba rubber capable of identifying a corroded position by monitoring an electrode position and the resistance value.

도 1은 종래의 반도체 제조장비와 관련된 가스 스쿠러버(scrubber)를 이용한 배기 장치를 도시한 도면이다.1 is a view showing an exhaust device using a gas scrubber associated with a conventional semiconductor manufacturing equipment.

종래의 가스 스쿠러버를 이용한 배기장치는 공정 챔버(10) 내의 반응 부산물을 배기시키는 금속 배관(40)과, 상기 금속 배관(40)을 통하여 상기 공정 챔버(10) 내의 반응 가스 부산물을 이동하게 하는 펌프(30)와, 상기 금속 배관(40)을 통하여 인입되는 가스 부산물을 정화하는 가스 스쿠러버(20)를 포함하여 이루어진다.Exhaust system using a conventional gas scrubber is a metal pipe 40 for exhausting the reaction by-product in the process chamber 10, and the reaction gas by-product in the process chamber 10 through the metal pipe 40 to move It includes a pump 30, and a gas scubar 20 for purifying the gas by-product flowing through the metal pipe 40.

상기와 같은 구성에서, 상기 공정 챔버(10) 내의 반응 가스는 펌프(30)의 펌핑 동작에 따라, 상기 금속 배관(40)을 통해 상기 가스 스쿠러버(20)로 이동하여 정화된 후, 밖으로 내보내진다.In the configuration as described above, the reaction gas in the process chamber 10 is moved to the gas scrubber 20 through the metal pipe 40 to purify, according to the pumping operation of the pump 30, and then sent out. Lose.

그런데, 상기 반응 부식 가스는 상기 금속 배관(40)을 통과하면서, 상기 금속 배관(40) 내부를 부식시키며, 상기 금속 배관(40) 내부에 잔존하는 부식성 가스 및 물질에 의하여 상기 금속 배관(40)의 내부는 빠르게 부식되어 진다. 아울러, 상 기 금속 배관(40)의 내부가 부식됨에 따라, 상기 반응 부식 가스와 별도로 또 다른 유해 가스 및 물질이 발생하게 되고, 결과적으로 상기 가스 스쿠러버(20)에서 정화시킬 가스 및 물질의 양은 배가된다.By the way, the reactive corrosion gas passes through the metal pipe 40 and corrodes the inside of the metal pipe 40, and the metal pipe 40 is formed by the corrosive gas and the substance remaining in the metal pipe 40. The interior of the corrodes quickly and quickly. In addition, as the inside of the metal pipe 40 is corroded, another harmful gas and substance are generated separately from the reactive corrosion gas, and as a result, the amount of gas and substance to be purified by the gas scrubber 20 is Doubling

따라서, 상기 금속 배관(40) 내부가 부식되고 있는지를 사전에 확인하여 부식에 따른 문제 발생을 미연에 방지할 필요가 있다. 그러나, 현재 상기 금속 배관(40) 내부의 부식 여부를 확인하는 특별한 방법이 제시되지 못하고 있다.Therefore, it is necessary to confirm in advance whether the inside of the metal pipe 40 is corroded, and to prevent the problem caused by corrosion in advance. However, at present, a special method of checking whether the metal pipe 40 is corroded has not been presented.

본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로, 금속 배관의 내부에 형성된 금속 전극과 상기 금속 배관의 외면 사이의 저항값을 측정하여 금속 배관의 부식 여부를 확인하고, 상기 금속 전극의 위치와 상기 저항값을 모니터링함으로써, 부식된 위치를 파악할 수 있는 가스 스쿠러버용 금속 배관의 부식 관찰 시스템을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.The present invention has been proposed to solve the problems of the prior art as described above, by measuring the resistance value between the metal electrode formed inside the metal pipe and the outer surface of the metal pipe to check whether the metal pipe is corroded, the metal It is an object of the present invention to provide a corrosion monitoring system for metal pipes for gas scrubbers capable of identifying the corroded position by monitoring the position of the electrode and the resistance value.

상기와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 제안된 본 발명인 가스 스쿠러버용 금속 배관의 부식 관찰 시스템을 이루는 구성수단은, 가스 스쿠러버용 금속 배관의 부식 관찰 시스템에 있어서, 부식성 가스가 이동할 수 있는 통로가 형성된 관통형의 금속 배관, 상기 금속 배관 내면에 부착되되, 복수개의 금속 전극이 형성되고, 그 표면이 패럴린으로 코팅되는 전극 패턴 쉬트, 상기 복수개의 금속 전극과 전기적으로 연결되어, 상기 복수개의 금속 전극과 상기 금속 배관의 외면 사이의 저항을 측정하는 저항 측정부, 상기 저항 측정부로부터 측정되는 저항값을 입력받아 데이터베이스화하고, 상기 저항값의 변화에 따라 상기 금속 배관의 부식 여부를 판단하는 제어부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.The structural means constituting the corrosion observation system of the metal pipe for gas scrubber which is the present invention proposed in order to solve the technical problem as described above, in the corrosion observation system of the metal pipe for gas scrubber, the passage that the corrosive gas can move The formed through-type metal pipe, an electrode pattern sheet is attached to the inner surface of the metal pipe, a plurality of metal electrodes are formed, the surface is coated with paraline, electrically connected to the plurality of metal electrodes, the plurality of metal Resistance measuring unit for measuring the resistance between the electrode and the outer surface of the metal pipe, the control unit for receiving the resistance value measured from the resistance measuring unit to the database, and determines whether the metal pipe is corroded according to the change in the resistance value Characterized in that comprises a.

또한, 상기 전극 패턴 쉬트는, 유연성 있는 절연필름과, 상기 절연필름 상에 배열 형성되는 복수개의 금속 전극들과, 상기 금속 전극들 각각을 상기 저항 측정부에 전기적으로 연결하기 위하여 상기 절연필름 상에 형성되는 배선들을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.The electrode pattern sheet may include a flexible insulating film, a plurality of metal electrodes arranged on the insulating film, and a plurality of metal electrodes arranged on the insulating film, on the insulating film to electrically connect each of the metal electrodes to the resistance measurement unit. Characterized in that it comprises a wiring formed.

또한, 상기 전극 패턴 쉬트는, 유연성 있는 절연필름과, 상기 절연필름 상에 배열 형성되는 복수개의 금속 전극들을 포함하여 구성되되, 상기 금속 전극들 각각은 상기 금속 배관에 형성된 구멍들로 유입되는 배선들을 통하여 상기 저항 측정부와 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 한다.The electrode pattern sheet may include a flexible insulating film and a plurality of metal electrodes arranged on the insulating film, wherein each of the metal electrodes may include wirings flowing into holes formed in the metal pipe. It is characterized in that it is electrically connected with the resistance measuring unit.

또한, 상기 절연필름은 폴리이미드(PI) 또는 패럴린 필름인 것을 특징으로 한다.In addition, the insulating film is characterized in that the polyimide (PI) or a paraline film.

또한, 기 전극 패턴 쉬트를 구성하는 금속 전극들은 상기 절연필름에 구멍들을 뚫은 후, 상기 구멍들에 금속을 채워서 형성하고, 상기 배선들은 상기 절연필름 상에 금속으로 프린팅하여 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the metal electrodes constituting the pre-electrode pattern sheet are formed by drilling holes in the insulating film, filling the holes with metal, and forming the wirings by printing metal on the insulating film.

또한, 기 전극 패턴 쉬트를 구성하는 금속 전극들과 배선들은 마스크를 이용하여 상기 절연필름 상에 금속을 진공증착하여 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the metal electrodes and the wirings constituting the pre-electrode pattern sheet may be formed by vacuum depositing a metal on the insulating film using a mask.

또한, 기 전극 패턴 쉬트를 구성하는 금속 전극들과 배선들은 상기 절연필름 상에 금속을 증착시키고, 상기 금속을 에칭으로 패터닝하여 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the metal electrodes and wires constituting the pre-electrode pattern sheet are formed by depositing a metal on the insulating film and patterning the metal by etching.

또한, 상기 금속은 구리(Cu), 알루미늄(Al), 은(Ag), 인듐(In),크롬(Cr), 철(Fe), 니켈(Ni), 금(Au) 및 백금(Pt) 중 어느 하나이거나, 상기 구리(Cu), 알루미늄(Al), 인듐(In),크롬(Cr), 철(Fe), 니켈(Ni), 금(Au), 백금(Pt) 및 은(Ag) 중 적어도 하나가 포함된 금속합금인 것을 특징으로 한다.In addition, the metal may include copper (Cu), aluminum (Al), silver (Ag), indium (In), chromium (Cr), iron (Fe), nickel (Ni), gold (Au), and platinum (Pt). Either one of the copper (Cu), aluminum (Al), indium (In), chromium (Cr), iron (Fe), nickel (Ni), gold (Au), platinum (Pt) and silver (Ag) At least one is characterized in that the metal alloy included.

또한, 상기 금속 배관의 외면은 접지되는 것을 특징으로 한다.In addition, the outer surface of the metal pipe is characterized in that the ground.

또한, 상기 제어부는 상기 금속 전극들의 위치와, 상기 각각의 금속 전극들과 상기 금속 배관의 외면 사이의 저항값을 매칭시켜 데이터베이스화하는 것을 특징으로 한다.In addition, the controller is characterized in that the database matching the location of the metal electrodes, the resistance value between the respective metal electrodes and the outer surface of the metal pipe.

또한, 상기 금속 전극들의 위치와 상기 저항값을 표시하는 디스플레이부가 상기 제어부에 연결되는 것을 특징으로 한다.In addition, the display unit for displaying the position of the metal electrodes and the resistance value is characterized in that connected to the controller.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 상기와 같은 구성수단으로 이루어져 있는 본 발명인 가스 스쿠러버용 금속 배관의 부식 관찰 시스템에 관한 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment of the corrosion observation system of the metal pipe for gas scrubber of the present invention consisting of the above configuration means.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 가스 스쿠러버용 금속 배관의 부식 관찰 시스템의 구성도이다.2 is a configuration diagram of a corrosion observation system of a metal pipe for gas scuba rubber according to an embodiment of the present invention.

도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 가스 스쿠러버용 금속 배관의 부식 관찰 시스템은 관통형의 금속 배관(10), 상기 금속 배관(10) 내면에 부착되는 전극 패턴 쉬트(20), 상기 전극 패턴 쉬트(20)의 표면에 코팅되는 패럴린 코팅막(30), 상기 전극 패턴 쉬트(20)에 형성된 금속 전극과 상기 금속 배관(10)의 외면 사이의 저항을 측정하는 저항 측정부(40), 상기 저항 측정부(40)로부터 측정되는 저항값을 입력받아 데이터베이스화하는 제어부(50)를 포함하여 이루어진다.As shown in FIG. 2, the corrosion monitoring system of the metal pipe for gas scrubber according to the present invention includes a through-type metal pipe 10, an electrode pattern sheet 20 attached to an inner surface of the metal pipe 10, and the The resistance measurement unit 40 measuring a resistance between the parallel film 30 coated on the surface of the electrode pattern sheet 20, the metal electrode formed on the electrode pattern sheet 20, and the outer surface of the metal pipe 10. And a controller 50 for receiving a resistance value measured from the resistance measuring unit 40 and making a database.

상기 금속 배관(10)은 공정 챔버 등에서 배기되는 반응 가스 등의 유해성 가스가 스쿠러버로 이동할 수 있는 통로를 제공한다. 즉, 상기 금속 배관(10)은 반응 가스 등의 부식성 가스가 이동할 수 있는 통로가 형성된 관통형 구조물이다.The metal pipe 10 provides a passage through which noxious gases, such as reactive gases, which are exhausted from the process chamber, may move to the scrubber. That is, the metal pipe 10 is a through structure in which a passage through which corrosive gas, such as a reactive gas, may move.

상기 금속 배관 내면에는 전극 패턴 쉬트(20)가 부착된다. 그리고, 상기 전극 패턴 쉬트(20) 표면에는 패럴린으로 코팅되어, 패럴린 코팅막(30)이 형성된다. 상기 패럴린 코팅막(30)은 부식성 가스에 의하여 상기 금속 배관 내면 및 상기 전극 패턴 쉬트(20)가 부식되는 것을 막아준다.An electrode pattern sheet 20 is attached to the inner surface of the metal pipe. In addition, the surface of the electrode pattern sheet 20 is coated with paraline, thereby forming a paraline coating layer 30. The parallel film 30 prevents the inner surface of the metal pipe and the electrode pattern sheet 20 from being corroded by a corrosive gas.

도 3은 상기 도 2에 도시된 금속 배관(10)을 A-A'로 절단하여 펼친 도면이다. 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 금속 배관(10)의 내면에는 상기 전극 패턴 쉬트(20)가 부착되고, 상기 전극 패턴 쉬트(20)의 표면에는 패럴린 코팅막(30)이 형성된다.3 is an exploded view of the metal pipe 10 illustrated in FIG. 2 cut along line A-A '. As shown in FIG. 3, the electrode pattern sheet 20 is attached to an inner surface of the metal pipe 10, and a parallel film 30 is formed on the surface of the electrode pattern sheet 20.

상기 전극 패턴 쉬트(20)는 도 4에 도시된 바와 같이 구성된다. 즉, 상기 전극 패턴 쉬트(20)는 유연성 있는 절연필름(21)과, 상기 절연필름(21) 상에 배열 형성되는 금속 전극들(23)과, 상기 금속 전극들(23)의 각각과 상기 저항측정부(40)를 연결하기 위한 배선들(25)을 포함하여 이루어진다.The electrode pattern sheet 20 is configured as shown in FIG. 4. That is, the electrode pattern sheet 20 includes a flexible insulating film 21, metal electrodes 23 arranged on the insulating film 21, each of the metal electrodes 23, and the resistance. And wirings 25 for connecting the measurement unit 40.

상기 절연필름(21)은 상기 금속 전극들(23)을 형성시키기 위한 베이스 필름 으로 사용된다. 상기 절연필름(21)은 유연성이 있고 절연 성질이 있는 다양한 필름으로 사용할 수 있는데, 본 발명에서는 폴리이미드(PI) 또는 패럴린 필름을 상기 절연필름으로 사용한다.The insulating film 21 is used as a base film for forming the metal electrodes 23. The insulating film 21 may be used as various films having flexibility and insulating properties. In the present invention, a polyimide (PI) or a paraline film is used as the insulating film.

상기 절연필름(21) 상에는 복수개의 금속 전극들(23)이 형성된다. 즉, 도 4에 도시된 바와 같이, 절연필름(21)에 복수개의 금속 전극들(23)이 배열 형성된다. 상기 금속 전극들(23)은 상기 절연필름(21)에 M*N 개 형성될 수 있다. 여기서 M은 금속 전극의 가로 개수이고, N은 금속 전극의 세로 개수이다.A plurality of metal electrodes 23 are formed on the insulating film 21. That is, as shown in FIG. 4, a plurality of metal electrodes 23 are arranged on the insulating film 21. The metal electrodes 23 may be formed of M * N on the insulating film 21. Where M is the number of metal electrodes and N is the number of metal electrodes.

상기와 같이 형성된 금속 전극들(23)은 상기 저항측정부(40)와 전기적으로 연결되어야 한다. 따라서, 상기 절연필름(21) 상에는 상기 금속전극들(23) 각각과 상기 저항측정부(40)를 전기적으로 연결하기 위한 배선들(25)이 형성된다. 상기 배선들(25) 각각의 일단은 상기 금속 전극들(23)의 각각와 전기적으로 연결되고, 상기 배선들(25) 각각의 타단은 상기 절연필름(21)의 일측단에 정렬된다.The metal electrodes 23 formed as described above should be electrically connected to the resistance measurement unit 40. Accordingly, wirings 25 are formed on the insulating film 21 to electrically connect each of the metal electrodes 23 and the resistance measurement unit 40. One end of each of the wirings 25 is electrically connected to each of the metal electrodes 23, and the other end of each of the wirings 25 is aligned with one end of the insulating film 21.

상기 배선들(25) 각각의 타단이 정렬되는 상기 절연필름(21)의 일측단은 배선 연결부(27)이다. 즉, 상기 배선연결부(27)는 별도의 커넥터(도 2에서 도면부호 45로 표기됨)의 일단과 연결될 수 있다. 따라서, 상기 커넥터(45)가 상기 배선연결부(27)와 상기 저항측정부(40)를 연결함으로써, 상기 금속 전극들(23)이 상기 저항측정부(40)에 전기적으로 연결될 수 있는 것이다. 상기 커넥터(45)의 일단과 상기 배선연결부(27)의 전기적 접속은 납땜 등의 다양한 방법에 의하여 이루어질 수 있다.One end of the insulating film 21 on which the other end of each of the wires 25 is aligned is a wire connection part 27. That is, the wire connection part 27 may be connected to one end of a separate connector (denoted by reference numeral 45 in FIG. 2). Therefore, the connector 45 connects the wire connection part 27 and the resistance measurement part 40 so that the metal electrodes 23 can be electrically connected to the resistance measurement part 40. The electrical connection of one end of the connector 45 and the wire connection part 27 may be made by various methods such as soldering.

한편, 상기 전극 패턴 쉬트는, 유연성 있는 절연필름과, 상기 절연필름 상에 배열 형성되는 복수개의 금속 전극들을 포함하여 구성되되, 상기 금속 전극들 각각은 상기 금속 배관에 형성된 구멍들로 유입되는 배선들을 통하여 상기 저항 측정부와 전기적으로 연결되도록 형성할 수 있다.The electrode pattern sheet may include a flexible insulating film and a plurality of metal electrodes arranged on the insulating film, wherein each of the metal electrodes may include wirings flowing into holes formed in the metal pipe. It may be formed to be electrically connected to the resistance measuring unit through.

즉, 도 4에 도시된 바와 같이, 유연성 있는 절연필름 상에 복수개의 금속 전극들을 배열 형성하기는 하지만, 상기 배선들을 상기 절연필름 상에 형성하는 것이아니라, 상기 금속 전극들과 일대일 대응되도록, 상기 금속 배관에 복수개의 구멍(미도시)들을 형성한 후, 상기 구멍을 통하여 배선들의 일단은 상기 금속 전극들에 접속하고, 타단은 상기 저항 측정부에 연결되도록 구성함으로써, 상기 배선들을 통하여 상기 금속전극들과 상기 저항 측정부들이 전기적으로 연결될 수 있도록 구성할 수 있다.That is, as shown in FIG. 4, although the plurality of metal electrodes are arranged on the flexible insulating film, the wirings are not formed on the insulating film, but the one-to-one correspondence with the metal electrodes is not limited. After forming a plurality of holes (not shown) in the metal pipe, the one end of the wiring through the hole is connected to the metal electrodes, the other end is configured to be connected to the resistance measuring unit, the metal electrode through the wiring And the resistance measurement unit may be configured to be electrically connected.

상기 각각의 금속 전극들(23)과 전기적으로 접속된 상기 저항측정부(40)는 상기 각각의 금속 전극들(23)과 상기 금속 배관(10)의 외면 사이의 저항을 측정한다. 상기 금속 배관(10)의 외면은 접지시키는 것이 바람직하다. 따라서, 상기 저항측정부(40)는 상기 금속 배관(10)의 외면과 전기적으로 접속하면, 상기 금속 배관(10)의 외면과 상기 각각의 금속 전극들(23) 사이의 저항값을 측정할 수 있다.The resistance measuring unit 40 electrically connected to the respective metal electrodes 23 measures the resistance between the respective metal electrodes 23 and the outer surface of the metal pipe 10. The outer surface of the metal pipe 10 is preferably grounded. Therefore, when the resistance measuring unit 40 is electrically connected to the outer surface of the metal pipe 10, the resistance measuring unit 40 may measure a resistance value between the outer surface of the metal pipe 10 and the respective metal electrodes 23. have.

상기와 같이 구성된 전극 패턴 쉬트(20)의 표면에는 패럴린으로 전면 코팅된다. 따라서, 상기 금속 전극들(23) 및 배선들(25)은 상기 패럴린으로 코팅된다.The surface of the electrode pattern sheet 20 configured as described above is entirely coated with paraline. Thus, the metal electrodes 23 and the wirings 25 are coated with the parylene.

상기 전극 패턴 쉬트(20)는 다양한 방법에 의하여 형성될 수 있다. The electrode pattern sheet 20 may be formed by various methods.

즉, 상기 전극 패턴 쉬트(20)를 구성하는 금속 전극들(23)은 상기 절연필름(21)에 구멍들을 뚫은 후, 상기 구멍들에 금속을 채워서 형성하고, 상기 배선 들(25)은 상기 절연필름(21) 상에 금속으로 프린팅하여 형성될 수 있다. 여기서 금속은 전도성이 있는 금속이면 무관하나, 본 발명에서는 구리(Cu), 알루미늄(Al), 은(Ag), 인듐(In),크롬(Cr), 철(Fe), 니켈(Ni), 금(Au) 및 백금(Pt) 중 어느 하나이거나, 상기 구리(Cu), 알루미늄(Al), 인듐(In),크롬(Cr), 철(Fe), 니켈(Ni), 금(Au), 백금(Pt) 및 은(Ag) 중 적어도 하나가 포함된 금속합금을 사용한다.That is, the metal electrodes 23 constituting the electrode pattern sheet 20 are formed by drilling holes in the insulating film 21 and filling the holes with metal, and the wirings 25 are insulated from each other. It may be formed by printing with a metal on the film 21. The metal is irrelevant as long as the metal is conductive, but in the present invention, copper (Cu), aluminum (Al), silver (Ag), indium (In), chromium (Cr), iron (Fe), nickel (Ni), and gold One of (Au) and platinum (Pt), or the copper (Cu), aluminum (Al), indium (In), chromium (Cr), iron (Fe), nickel (Ni), gold (Au), platinum A metal alloy containing at least one of (Pt) and silver (Ag) is used.

또한, 상기 전극 패턴 쉬트(20)를 구성하는 금속 전극들(23)과 배선들(25)은 마스크를 이용하여 상기 절연필름(21) 상에 금속을 진공증착하여 형성될 수도 있다. 여기서 금속은 전도성이 있는 금속이면 무관하나, 본 발명에서는 구리(Cu), 알루미늄(Al), 은(Ag), 인듐(In),크롬(Cr), 철(Fe), 니켈(Ni), 금(Au) 및 백금(Pt) 중 어느 하나이거나, 상기 구리(Cu), 알루미늄(Al), 인듐(In),크롬(Cr), 철(Fe), 니켈(Ni), 금(Au), 백금(Pt) 및 은(Ag) 중 적어도 하나가 포함된 금속합금을 사용한다.In addition, the metal electrodes 23 and the wires 25 constituting the electrode pattern sheet 20 may be formed by vacuum depositing metal on the insulating film 21 using a mask. The metal is irrelevant as long as the metal is conductive, but in the present invention, copper (Cu), aluminum (Al), silver (Ag), indium (In), chromium (Cr), iron (Fe), nickel (Ni), and gold One of (Au) and platinum (Pt), or the copper (Cu), aluminum (Al), indium (In), chromium (Cr), iron (Fe), nickel (Ni), gold (Au), platinum A metal alloy containing at least one of (Pt) and silver (Ag) is used.

또한, 상기 전극 패턴 쉬트(20)를 구성하는 금속 전극들(23)과 배선들(25)은 상기 절연필름(21) 상에 금속을 증착시키고, 상기 금속을 에칭으로 패터닝하여 형성될 수도 있다. 여기서 금속은 전도성이 있는 금속이면 무관하나, 본 발명에서는 구리(Cu), 알루미늄(Al), 은(Ag), 인듐(In),크롬(Cr), 철(Fe), 니켈(Ni), 금(Au) 및 백금(Pt) 중 어느 하나이거나, 상기 구리(Cu), 알루미늄(Al), 인듐(In),크롬(Cr), 철(Fe), 니켈(Ni), 금(Au), 백금(Pt) 및 은(Ag) 중 적어도 하나가 포함된 금속합금을 사용한다.In addition, the metal electrodes 23 and the wires 25 constituting the electrode pattern sheet 20 may be formed by depositing a metal on the insulating film 21 and patterning the metal by etching. The metal is irrelevant as long as the metal is conductive, but in the present invention, copper (Cu), aluminum (Al), silver (Ag), indium (In), chromium (Cr), iron (Fe), nickel (Ni), and gold One of (Au) and platinum (Pt), or the copper (Cu), aluminum (Al), indium (In), chromium (Cr), iron (Fe), nickel (Ni), gold (Au), platinum A metal alloy containing at least one of (Pt) and silver (Ag) is used.

상기와 같이 형성되는 전극 패턴 쉬트(20)는 상기 금속 배관(10)의 내면에 접착제를 이용하여 부착된다. 그런 후, 상기 전극 패턴 쉬트(20)의 표면에 패럴린으로 코팅하여 패럴린 코팅막(30)을 형성한다.The electrode pattern sheet 20 formed as described above is attached to the inner surface of the metal pipe 10 by using an adhesive. Thereafter, the surface of the electrode pattern sheet 20 is coated with paraline to form a paraline coating layer 30.

상술한 바와 같이, 상기 전극 패턴 쉬트(20)의 절연필름(21) 일측단에 형성되는 배선연결부(27)와 상기 커넥터(45)를 통하여 상기 금속 전극들(23) 각각은 상기 저항측정부(40)와 전기적으로 연결된다. 따라서, 상기 저항 측정부(40)는 상기 각각의 금속 전극들(23)과 상기 접지된 금속 배관(10)의 외면 사이의 저항을 측정할 수 있다. As described above, each of the metal electrodes 23 is connected to the resistance measuring part through the wiring connection part 27 and the connector 45 formed at one end of the insulating film 21 of the electrode pattern sheet 20. Electrical connection with 40). Therefore, the resistance measuring unit 40 may measure the resistance between the respective metal electrodes 23 and the outer surface of the grounded metal pipe 10.

상기 측정된 저항값들은 제어부(50)에 입력되어 데이터베이스화된다. 상기 데이터베이스화된 상기 저항값들을 이용하여 상기 제어부(50)는 상기 금속 배관의 부식 여부를 판단할 수 있다. 즉, 상기 제어부(50)는 상기 저항값 자체 또는 저항값의 변화에 따라 상기 금속 배관의 부식 여부를 판단하고, 그 결과를 알람 또는 표시 등을 이용하여 관리자에 알린다.The measured resistance values are input to the controller 50 and are databased. The controller 50 may determine whether the metal pipe is corroded using the database resistance values. That is, the controller 50 determines whether the metal pipe is corroded according to the resistance value itself or the change in the resistance value, and notifies the manager of the result using an alarm or a display.

상기 제어부(50)는 상기 금속 전극들(23)의 위치와, 상기 각각의 금속 전극들(23)과 상기 금속 배관의 외면 사이의 저항값을 매칭시켜 데이터베이스화한다. 즉, 다음과 같이 데이터베이스화를 수행한다.The controller 50 makes a database by matching the positions of the metal electrodes 23 with the resistance values between the respective metal electrodes 23 and the outer surface of the metal pipe. That is, the database is executed as follows.

1One 22 33 ...................... NN 1One x Ωx Ω x Ωx Ω x Ωx Ω x Ωx Ω 22 x Ωx Ω x Ωx Ω x Ωx Ω x Ωx Ω 33 x Ωx Ω x Ωx Ω x Ωx Ω x Ωx Ω . . .. . . MM x Ωx Ω x Ωx Ω x Ωx Ω x Ωx Ω

- 표 1 -Table 1

상기 표 1에서 M은 도 4에 도시된 금속 전극들(23)의 가로 방향의 위치이고, N은 도 4에 도시된 금속 전극들(23)의 세로 방향의 위치이다. 그리고, 해당 금속 전극들의 위치에 매칭되어, 표 1에 도시된 바와 같이, 상기 각각의 금속전극들과 금속 배관의 외면 사이의 저항값이 저장되어 데이터베이스화된다.In Table 1, M is a horizontal position of the metal electrodes 23 shown in FIG. 4, and N is a vertical position of the metal electrodes 23 shown in FIG. And, matched to the position of the corresponding metal electrodes, as shown in Table 1, the resistance value between the respective metal electrodes and the outer surface of the metal pipe is stored and made into a database.

상기와 같은 표 1에 도시된 사항은 상기 제어부(50)에 연결된 디스플레이부(미도시)에 표시된다. 즉, 상기 금속전극들의 위치와 상기 저항값들은 상기 제어부(50)에 연결된 디스플레이부에 표시된다.Items shown in Table 1 are displayed on a display unit (not shown) connected to the controller 50. That is, the positions of the metal electrodes and the resistance values are displayed on the display unit connected to the controller 50.

상기 제어부(50)는 상기 표 1에 도시된 금속전극들의 위치와, 저항값들을 실시간으로 모니터링함으로써, 금속 배관(10)의 부식 여부를 판단할 수 있다. 판단 결과 부식이 발생한 경우에는 알람 또는 표시등을 통해 관리자에게 전달한다.The controller 50 may determine whether the metal pipe 10 is corroded by monitoring the positions and resistance values of the metal electrodes shown in Table 1 in real time. If corrosion is determined as a result of the judgment, an alarm or indicator is sent to the administrator.

상기 금속 배관(10) 내부에 부식이 발생한 경우에는, 상기 부식이 발생한 부분에 위치한 금속 전극과 상기 금속 배관의 외면 사이의 저항은 무한대(∞)이거나 매우 큰 값으로 측정될 것이다.In the case where corrosion occurs inside the metal pipe 10, the resistance between the metal electrode located at the portion where the corrosion occurs and the outer surface of the metal pipe may be measured at infinity (∞) or a very large value.

즉, 부식성 가스에 의하여, 상기 패럴린 코팅막(30)이 벗겨지거나, 이탈되면, 상기 부식성 가스에 의하여 상기 금속 전극과 연결된 배선들이 손상을 받을 것이다. 배선들이 손상을 받으면, 상기 손상받은 배선에 연결된 금속전극과 상기 금속 배관의 외면 사이의 저항값은 상승할 것이고, 상기 배선들의 손상이 심해서 단락이 되면, 상기 단락된 배선에 연결된 금속전극과 상기 금속 배관의 외면 사이의 저항값은 무한대가 될 것이다.That is, when the paraline coating layer 30 is peeled off or separated by the corrosive gas, the wires connected to the metal electrode by the corrosive gas will be damaged. If the wirings are damaged, the resistance value between the metal electrode connected to the damaged wiring and the outer surface of the metal pipe will rise, and if the wirings are severely damaged and shorted, the metal electrode and the metal connected to the shorted wiring will be shorted. The resistance value between the outer surfaces of the pipe will be infinite.

상기와 같이 특정 금속 전극과 금속 배관의 외면 사이의 저항값이 급변하거나 무한대인 경우에는, 상기 금속 전극이 존재하는 부분이 부식성 가스에 의하여 부식되었다는 것을 의미하고, 이 때, 상기 제어부는 알람 또는 표시등으로 관리자에게 금속 배관의 부식 발생을 알린다. 그러면, 상기 관리자는 상기 부식이 발생한 부분을 보수하거나, 상기 금속 배관을 교체하는 작업을 수행할 수 있다.When the resistance value between the specific metal electrode and the outer surface of the metal pipe is suddenly changed or infinite as described above, it means that the portion in which the metal electrode exists is corroded by the corrosive gas, wherein the controller is an alarm or indicator light Inform the manager of the corrosion of the metal pipes. Then, the manager may repair the corrosion-produced portion or replace the metal pipe.

상기와 같은 구성 및 바람직한 실시예를 가지는 본 발명인 가스 스쿠러버용 금속 배관의 부식 관찰 시스템에 의하면, 금속 배관의 내부에 형성된 금속 전극과 상기 금속 배관의 외면 사이의 저항값을 측정함으로써, 금속 배관의 부식 여부를 확인할 수 있고, 상기 금속 전극의 위치와 상기 저항값을 모니터링함으로써, 부식된 위치를 파악하여, 부식으로 인하여 발생할 수 있는 문제를 사전에 예방할 수 있는 장점이 있다.According to the corrosion observation system of the metal pipe for gas scrubber of this invention which has the above structure and a preferable Example, it is possible to measure the resistance value between the metal electrode formed in the inside of a metal pipe, and the outer surface of the said metal pipe. Corrosion can be confirmed, and by monitoring the position of the metal electrode and the resistance value, by identifying the location of corrosion, there is an advantage that can be prevented in advance due to problems caused by corrosion.

Claims (11)

가스 스쿠러버용 금속 배관의 부식 관찰 시스템에 있어서,In the corrosion observation system of the metal pipe for gas scrubber, 부식성 가스가 이동할 수 있는 통로가 형성된 관통형의 금속 배관;A through metal pipe formed with a passage through which corrosive gas can move; 상기 금속 배관 내면에 부착되고, 유연성 있는 절연필름과 상기 절연필름 상에 배열 형성되는 복수개의 금속 전극이 형성되고, 그 표면이 패럴린으로 코팅되어 구성되되, 상기 금속 전극들 각각은 상기 금속 배관에 형성된 구멍들로 유입되는 배선을 통해 저항 측정부와 전기적으로 연결되는 전극 패턴 쉬트;It is attached to the inner surface of the metal pipe, a flexible insulating film and a plurality of metal electrodes arranged on the insulating film is formed, the surface is made of a coating of paralline, each of the metal electrodes are formed in the metal pipe An electrode pattern sheet electrically connected to the resistance measurement unit through a wire flowing into the formed holes; 상기 복수개의 금속 전극과 전기적으로 연결되어, 상기 복수개의 금속 전극과 상기 금속 배관의 외면 사이의 저항을 측정하는 저항 측정부;A resistance measurer electrically connected to the plurality of metal electrodes to measure resistance between the plurality of metal electrodes and an outer surface of the metal pipe; 상기 저항 측정부로부터 측정되는 저항값을 입력받아 데이터베이스화하고, 상기 저항값의 변화에 따라 상기 금속 배관의 부식 여부를 판단하는 제어부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 가스 스쿠러버용 금속 배관의 부식 관찰 시스템.Corrosion observation of the metal pipe for gas scrubbers characterized in that it comprises a control unit for receiving the resistance value measured from the resistance measuring unit and a database, and determining whether the metal pipe is corroded according to the change of the resistance value. system. 청구항 1에 있어서, 상기 전극 패턴 쉬트는,The method according to claim 1, wherein the electrode pattern sheet, 유연성 있는 절연필름과, 상기 절연필름 상에 배열 형성되는 복수개의 금속 전극들과, 상기 금속 전극들 각각을 상기 저항 측정부에 전기적으로 연결하기 위하여 상기 절연필름 상에 형성되는 배선들을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 가스 스쿠러버용 금속 배관의 부식 관찰 시스템.A flexible insulating film, a plurality of metal electrodes arranged on the insulating film, and wires formed on the insulating film to electrically connect each of the metal electrodes to the resistance measuring unit. Corrosion observation system of the metal pipe for gas scrubbers characterized by the above-mentioned. 삭제delete 청구항 2에 있어서,The method according to claim 2, 상기 절연필름은 폴리이미드(PI) 또는 패럴린 필름인 것을 특징으로 하는 가스 스쿠러버용 금속 배관의 부식 관찰 시스템.The insulating film is a corrosion observation system of a metal pipe for gas scrubbers, characterized in that the polyimide (PI) or a paraline film. 청구항 2에 있어서, The method according to claim 2, 상기 전극 패턴 쉬트를 구성하는 금속 전극들은 상기 절연필름에 구멍들을 뚫은 후, 상기 구멍들에 금속을 채워서 형성하고, 상기 배선들은 상기 절연필름 상에 금속으로 프린팅하여 형성되는 것을 특징으로 하는 가스 스쿠러버용 금속 배관의 부식 관찰 시스템.The metal electrodes constituting the electrode pattern sheet are formed by filling holes in the insulating film and then filling the holes with metal, and the wirings are formed by printing metal on the insulating film. System for the corrosion of metal pipes. 청구항 2에 있어서,The method according to claim 2, 상기 전극 패턴 쉬트를 구성하는 금속 전극들과 배선들은 마스크를 이용하여 상기 절연필름 상에 금속을 진공증착하여 형성되는 것을 특징으로 하는 가스 스쿠러버용 금속 배관의 관찰 시스템.The metal electrodes and wirings constituting the electrode pattern sheet are formed by vacuum depositing metal on the insulating film using a mask. 청구항 2에 있어서,The method according to claim 2, 상기 전극 패턴 쉬트를 구성하는 금속 전극들과 배선들은 상기 절연필름 상에 금속을 증착시키고, 상기 금속을 에칭으로 패터닝하여 형성되는 것을 특징으로 하는 가스 스쿠러버용 금속 배관의 관찰 시스템.The metal electrodes and wires constituting the electrode pattern sheet are formed by depositing a metal on the insulating film and patterning the metal by etching. 청구항 5 내지 청구항 7 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 5 to 7, 상기 금속은 구리(Cu), 알루미늄(Al), 은(Ag), 인듐(In),크롬(Cr), 철(Fe), 니켈(Ni), 금(Au) 및 백금(Pt) 중 어느 하나이거나, 상기 구리(Cu), 알루미늄(Al), 인듐(In),크롬(Cr), 철(Fe), 니켈(Ni), 금(Au), 백금(Pt) 및 은(Ag) 중 적어도 하나가 포함된 금속합금인 것을 특징으로 하는 가스 스쿠러버용 금속 배관의 관찰 시스템.The metal is any one of copper (Cu), aluminum (Al), silver (Ag), indium (In), chromium (Cr), iron (Fe), nickel (Ni), gold (Au) and platinum (Pt). Or at least one of copper (Cu), aluminum (Al), indium (In), chromium (Cr), iron (Fe), nickel (Ni), gold (Au), platinum (Pt), and silver (Ag) Observation system of a metal pipe for gas scrubber, characterized in that the metal alloy containing. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 금속 배관의 외면은 접지되는 것을 특징으로 하는 가스 스쿠러버용 금속 배관의 관찰 시스템.The outer surface of the metal pipe is grounded observation system of the metal pipe for gas scrubbers, characterized in that the ground. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 제어부는 상기 금속 전극들의 위치와, 상기 각각의 금속 전극들과 상기 금속 배관의 외면 사이의 저항값을 매칭시켜 데이터베이스화하는 것을 특징으로 하는 가스 스쿠러버용 금속 배관의 관찰 시스템.The control unit is a system for observing the metal pipe for the gas scrubber, characterized in that for matching the position of the metal electrodes and the resistance value between the respective metal electrodes and the outer surface of the metal pipe. 청구항 10에 있어서,The method according to claim 10, 상기 금속 전극들의 위치와 상기 저항값을 표시하는 디스플레이부가 상기 제어부에 연결되는 것을 특징으로 하는 가스 스쿠러버용 금속 배관의 관찰 시스템.And a display unit displaying the positions of the metal electrodes and the resistance value is connected to the control unit.
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