KR101038541B1 - Bellows with excellent corrosion resistance and method of manufacturing the bellows - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 반도체 제조 장치 등의 진공 펌프와 스크러버(scrubber)를 연결하는 벨로우즈(bellows)에 관한 것으로, 보다 상세하게는 무기계 코팅 혹은 패럴린(parylene) 코팅을 통한 벨로우즈의 내식성을 향상시킬 수 있는 기술에 관한 것이다.
The present invention relates to bellows connecting a scrubber and a vacuum pump, such as a semiconductor manufacturing apparatus, and more particularly, a technology capable of improving the corrosion resistance of the bellows through an inorganic coating or a parylene coating. It is about.
반도체 제조를 위한 장치 중에서 CVD(Chemical Vapor Deposition) 챔버 등의 챔버 내에 반응이 일어난 후에 여러 종류의 반응가스들은 챔버의 진공을 유지하기 위한 진공펌프를 통과하여 스크러버(scrubber)에서 처리된다. After the reaction occurs in a chamber such as a chemical vapor deposition (CVD) chamber in a device for manufacturing a semiconductor, various kinds of reaction gases are processed in a scrubber by passing through a vacuum pump for maintaining the vacuum of the chamber.
도 1은 일반적으로 이용되는 CVD 챔버 장치의 예를 개략적으로 나타낸 것이다. 1 schematically shows an example of a commonly used CVD chamber apparatus.
도 1을 참조하면, CVD 챔버(101)는 반응 가스를 이용하여 화학적 증착을 실시하기 위하여, 상부에 반응 가스가 공급되는 샤워헤드(102)가 배치된다. CVD 챔버(101) 내부에는 웨이퍼나 기판의 로딩 등을 위한 서셉터(103)가 배치된다. Referring to FIG. 1, in the
CVD 챔버(101) 내부에서 증착이 이루어진 후에는 여러 종류의 반응가스들은 진공 펌프(104)를 통하여 스크러버(105)에서 처리된다. After deposition is performed in the
일반적으로 주름관의 형상을 갖는 벨로우즈(bellows)(110)는 진공펌프(104)와 스크러버(105)를 연결하는 역할을 한다. 벨로우즈는 진공펌프(104) 측과 스크러버(105) 측에 각각 플랜지 결합(111a, 111b) 등의 방식으로 결합될 수 있다. In general,
벨로우즈(110) 내부에서는 CVD 챔버(101) 내부로부터 배출된 여러 가스들이 반응하게 되어 파우더가 발생한다. 시간이 경과함에 따라 이러한 파우더들이 계속 누적되면, 이 파우더들의 부식성에 의하여 일반적으로 사용되는 스테인리스 재질의 벨로우즈에 손상이 생겨서 가스가 누출되는 일이 발생한다. In the
이러한 점을 방지하기 위하여, 종래에는 주기적인 유지 보수를 하여야 하는 문제점이 있었다. In order to prevent this, there has been a problem in that a periodic maintenance is required.
최근에는 테프론(teflon)으로 벨로우즈의 내부를 코팅하여 사용하기도 하는데, 이 경우, 테프론 코팅에 많은 비용이 소요되고, 가열시 크랙이 발생하는 문제점이 있다.
Recently, the inside of the bellows is also coated with teflon (teflon), but in this case, the Teflon coating is expensive, and there is a problem in that cracks occur during heating.
본 발명의 목적은 내식성이 우수하여 수명 특성을 향상시킬 수 있는 벨로우즈(bellows)를 제공하는 것이다. It is an object of the present invention to provide bellows which is excellent in corrosion resistance and which can improve life characteristics.
본 발명의 다른 목적은 벨로우즈에 내식성을 부여할 수 있는 벨로우즈 제조 방법을 제공하는 것이다.
Another object of the present invention is to provide a bellows manufacturing method capable of imparting corrosion resistance to the bellows.
상기 하나의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 내식성이 우수한 벨로우즈(bellows)는 진공펌프와 스크러버(scrubber)를 연결하는 벨로우즈로서, 상기 벨로우즈의 내면에는 무기질 코팅층 또는 패럴린(parylene) 코팅층이 형성되어 있는 것을 특징으로 한다. Bellows having excellent corrosion resistance according to an embodiment of the present invention for achieving the above object is a bellows connecting a vacuum pump and a scrubber, and an inner surface of the bellows has an inorganic coating layer or a parylene coating layer. It is characterized by being formed.
이때, 상기 무기질 코팅층은 무기질 화합물, 알루미노실리케이트(aluminosilicate), 커플링제 및 용매를 포함하는 코팅제로부터 형성된 것을 이용할 수 있다. 이때, 상기 코팅제는 무기질 화합물 100 중량부, 알루미노실리케이트 10 ~ 25 중량부, 커플링제 2~6 중량부 및 용매 50~90 중량부를 포함하는 것이 바람직하다.
In this case, the inorganic coating layer may be formed of a coating agent containing an inorganic compound, aluminosilicate (aluminosilicate), a coupling agent and a solvent. At this time, the coating agent preferably contains 100 parts by weight of the inorganic compound, 10 to 25 parts by weight of aluminosilicate, 2 to 6 parts by weight of the coupling agent and 50 to 90 parts by weight of the solvent.
상기 다른 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 벨로우즈 제조 방법은 벨로우즈용 모재의 일면 또는 벨로우즈의 내부면에 무기질 화합물, 알루미노실리케이트, 커플링제 및 용매를 포함하는 코팅제를 도포하는 단계; 건조를 통하여 상기 코팅제에 포함된 용매를 제거하여 도막을 형성하는 단계; 및 상기 도막을 500 ~ 700 ℃의 온도에서 30분 내지 2시간 동안 열처리하여 무기질 코팅층을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다. Bellows manufacturing method according to an embodiment of the present invention for achieving the above another object is a step of applying a coating material comprising an inorganic compound, an aluminosilicate, a coupling agent and a solvent on the inner surface of the bellows base material or the bellows; Removing the solvent included in the coating through drying to form a coating film; And heat treating the coating film at a temperature of 500 to 700 ° C. for 30 minutes to 2 hours to form an inorganic coating layer.
또한, 상기 다른 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 벨로우즈 제조 방법은 벨로우즈용 모재의 일면 또는 벨로우즈의 내부면에, 패럴린 다이머 분해에 의하여 얻어진 기상의 패럴린 모노머를 증착하여 패럴린 코팅층을 형성하는 것을 특징으로 한다.
In addition, the bellows manufacturing method according to another embodiment of the present invention for achieving the above another object is a paraline by depositing a gaseous paraline monomer obtained by dissolving the parylene dimer on one surface of the bellows base material or the inner surface of the bellows It is characterized by forming a coating layer.
본 발명에 따른 벨로우즈는 내부면에 형성되어 있는 무기질 코팅층 또는 패럴린 코팅층을 통하여 반응성 파우더 등에 의한 손상을 방지할 수 있다. Bellows according to the present invention can prevent damage due to the reactive powder or the like through the inorganic coating layer or the parallel coating layer formed on the inner surface.
특히, 종래의 테프론 코팅층 등은 온도를 가하면 크랙(crack)이 발생하는 문제점이 있으나, 본 발명에 따른 코팅층은 열적 충격에 안정한 무기질 재질로 열처리 과정을 통하여 형성됨으로써, 300~400℃ 정도로 가열하더라도 크랙이 발생하지 않는 장점이 있다. In particular, the conventional Teflon coating layer has a problem that the crack (crack) occurs when the temperature is applied, the coating layer according to the present invention is formed through a heat treatment process with an inorganic material stable to thermal shock, even if heated to about 300 ~ 400 ℃ This has the advantage of not occurring.
따라서, 본 발명에 따른 벨로우즈는 우수한 수명 특성을 발휘할 수 있으며, 이에 따라 반도체 제조 장치 등과 같이 반응성 파우더를 배출하는 용도로 활용할 수 있다.
Therefore, the bellows according to the present invention can exhibit excellent lifespan characteristics, and thus can be utilized for the purpose of discharging reactive powder, such as a semiconductor manufacturing apparatus.
도 1은 일반적으로 이용되는 CVD 챔버 장치의 예를 개략적으로 나타낸 것이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 벨로우즈 제조 방법을 개략적으로 나타낸 순서도이다. 1 schematically shows an example of a commonly used CVD chamber apparatus.
2 is a flow chart schematically showing a bellows manufacturing method according to an embodiment of the present invention.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. Advantages and features of the present invention and methods for achieving them will be apparent with reference to the embodiments described below in detail. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but will be implemented in various different forms, and only the embodiments make the disclosure of the present invention complete, and those skilled in the art to which the present invention pertains. It is provided to fully inform the person having the scope of the invention, which is defined only by the scope of the claims.
이하, 본 발명에 따른 내식성이 우수한 벨로우즈 및 그 제조 방법에 대해 상세하게 설명하도록 한다.
Hereinafter, the bellows excellent in corrosion resistance according to the present invention and its manufacturing method will be described in detail.
벨로우즈(bellows)는 진공펌프와 스크러버를 연결하는 관으로서, CVD(Chemical Vapor Deposition) 장비, PVD(Physical Vapor Deposition) 장비, ETCH 장비와 같은 반도체 제조 장치 등의 다양한 분야에 적용된다. Bellows is a tube connecting a vacuum pump and a scrubber, and is applied to various fields such as chemical vapor deposition (CVD) equipment, physical vapor deposition (PVD) equipment, and semiconductor manufacturing equipment such as ETCH equipment.
이때, 본 발명에 따른 내식성이 우수한 벨로우즈는 내면에 무기질 코팅층이 형성되어 있는 것을 특징으로 한다. 실험 결과, 무기질 코팅층의 경우 내식성 뿐만 아니라 열적 특성이 우수하여, 가열시에도 코팅층에 균열이 발생하는 것을 방지할 수 있다. At this time, the bellows excellent corrosion resistance according to the invention is characterized in that the inorganic coating layer is formed on the inner surface. As a result of the experiment, the inorganic coating layer is excellent in corrosion resistance as well as thermal characteristics, it is possible to prevent the occurrence of cracks in the coating layer during heating.
상기 무기질 코팅층은 무기질 화합물, 알루미노실리케이트(aluminosilicate), 커플링제 및 용매를 포함하는 코팅제로부터 형성된 것을 제시할 수 있다. 코팅제에 포함되는 각 물질의 구체적인 함량은 무기질 화합물 100 중량부, 알루미노실리케이트 10 ~ 25 중량부, 커플링제 2~6 중량부 및 용매 50~90 중량부를 포함하는 것이 바람직하다.
The inorganic coating layer may be formed from a coating agent comprising an inorganic compound, aluminosilicate (aluminosilicate), a coupling agent and a solvent. The specific content of each material included in the coating agent preferably includes 100 parts by weight of the inorganic compound, 10-25 parts by weight of the aluminosilicate, 2-6 parts by weight of the coupling agent and 50-90 parts by weight of the solvent.
무기질 코팅층 형성을 위한 코팅제에 포함되는 성분의 역할 및 그 함량에 대하여 설명하면 다음과 같다.
Referring to the role and content of the components included in the coating agent for forming an inorganic coating layer are as follows.
무기질 화합물Inorganic compounds
상기 무기질 화합물은 무기질 코팅층에서 내식성을 부여하는 역할을 한다. 이러한 무기질 화합물은 우수한 내식성을 갖는 질화보론(BN) 및 질화마그네슘(Mg3N2) 중에서 1종 이상 선택되는 것이 바람직하다. The inorganic compound serves to impart corrosion resistance in the inorganic coating layer. The inorganic compound is preferably selected from one or more of boron nitride (BN) and magnesium nitride (Mg 3 N 2 ) having excellent corrosion resistance.
상기 무기질 화합물의 평균입경은 100 ~ 500㎛ 정도인 것을 이용할 수 있으나, 반드시 이에 제한되는 것은 아니다.
The average particle diameter of the inorganic compound may be used that is about 100 ~ 500㎛, but is not necessarily limited thereto.
알루미노실리케이트 Aluminosilicate
알루미노실리케이트(aluminosiliate)는 무기질 코팅층에서 바인더(binder)로서, 3차원 망상 구조 형성을 통하여 무기질 화합물의 결속력을 강화하며, 가열시 코팅층의 균열을 방지하는 역할을 한다. Aluminosilicate (aluminosiliate) is a binder in the inorganic coating layer (binder), to strengthen the binding strength of the inorganic compound through the formation of a three-dimensional network structure, and serves to prevent the crack of the coating layer when heated.
이러한 알루미노실리케이트는 결정질 알루미노실리케이트와 비정질 알루미노실리케이트가 이용될 수 있다. 이 중에서 비정질 알루미노실리케이트를 이용한 결과, 가열시 균열 방지 효과가 더 우수하였다. As such aluminosilicate, crystalline aluminosilicate and amorphous aluminosilicate may be used. Among them, amorphous aluminosilicate was used, and as a result, the crack prevention effect during heating was better.
상기 알루미노실리케이트는 무기질 화합물 100 중량부에 대하여, 10 ~ 25 중량부로 포함되는 것이 바람직하다. 알루미노실리케이트의 함량이 무기질 화합물 100 중량부 대비 10 중량부 미만이면, 무기질 화합물들을 충분히 결속하지 못하여 가열시 코팅층의 균열을 가져올 수 있다. 반대로, 알루미노실리케이트의 함량이 무기질 화합물 100 중량부 대비 25 중량부를 초과하면, 무기질 화합물의 상대적인 함량이 감소하여 충분한 내식성을 가져오지 못할 수 있다.
The aluminosilicate is preferably included in 10 to 25 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the inorganic compound. If the content of the aluminosilicate is less than 10 parts by weight relative to 100 parts by weight of the inorganic compound, the inorganic compounds may not be sufficiently bound and may cause cracking of the coating layer when heated. On the contrary, when the content of the aluminosilicate is more than 25 parts by weight relative to 100 parts by weight of the inorganic compound, the relative content of the inorganic compound may be reduced and may not bring sufficient corrosion resistance.
커플링제Coupling agent
커플링제는 스테인리스 스틸 등의 벨로우즈용 소재, 무기질 화합물과 알루미노실리케이트의 계면접착력을 향상시키고, 강도를 보강하는 역할을 한다. The coupling agent serves to improve the interfacial adhesion between the bellows material such as stainless steel, the inorganic compound and the aluminosilicate, and to reinforce the strength.
이러한 커플링제는 실란계 커플링제 또는 티타네이트계 커플링제가 이용될 수 있으며, 이들을 단독으로 이용하거나 혹은 혼용하여 이용할 수 있다.Such a coupling agent may be a silane coupling agent or a titanate coupling agent, and these coupling agents may be used alone or in combination.
상기 커플링제는 무기질 화합물 100 중량부에 대하여, 2~6 중량부의 함량비로 첨가되는 것이 바람직하다. 무기질 화합물 100 중량부 대비 커플링제의 함량이 2 중량부 미만으로 첨가되면 커플링제 첨가에 따른 계면접착력 향상 효과가 불충분하다. 반대로, 무기질 화합물 100 중량부 대비 커플링제의 함량이 6 중량부를 초과하면 코팅제 내에서 커플링제 사이의 반응에 의하여 침전물을 생성함으로써 그 효과가 포화된다.
The coupling agent is preferably added in an amount ratio of 2 to 6 parts by weight based on 100 parts by weight of the inorganic compound. If the content of the coupling agent is less than 2 parts by weight based on 100 parts by weight of the inorganic compound, the effect of improving the interfacial adhesion due to the addition of the coupling agent is insufficient. On the contrary, when the content of the coupling agent exceeds 100 parts by weight of the inorganic compound, the effect is saturated by generating a precipitate by the reaction between the coupling agents in the coating agent.
용매menstruum
용매는 무기질 화합물, 알루미노실리케이트 및 커플링제를 분산시키며, 점도를 조절하는 역할을 한다. The solvent disperses the inorganic compound, the aluminosilicate and the coupling agent and serves to adjust the viscosity.
이러한 용매는 에탄올, 아세톤, 디메틸에테르, 디에틸에테르, 이소프로판올, 디메틸케톤 등을 1종 이상 이용할 수 있다. The solvent may be one or more of ethanol, acetone, dimethyl ether, diethyl ether, isopropanol, dimethyl ketone and the like.
상기 용매는 무기질 화합물 등의 분산과 벨로우즈용 모재 혹은 벨로우즈 내부면에의 도포를 고려하여 적절한 양으로 사용할 수 있으며, 무기질 화합물 100 중량부에 대하여, 50~90 중량부 정도로 포함될 수 있다. 용매의 함량이 무기질 화합물 100 중량부 대비 50 중량부 미만으로 첨가되면, 무기질 화합물 등의 분산이 제대로 이루어지기 어려워질 수 있다. 반대로, 용매의 함량이 무기질 화합물 100 중량부 대비 90 중량부를 초과하면 점도 저하로 인하여 벨로우즈용 모재 혹은 벨로우즈에 코팅제 도포가 어려워질 수 있다.
The solvent may be used in an appropriate amount in consideration of dispersion of an inorganic compound and the like and application to the inner surface of the bellows base material or the bellows, and may be included in an amount of about 50 to 90 parts by weight based on 100 parts by weight of the inorganic compound. When the content of the solvent is added less than 50 parts by weight relative to 100 parts by weight of the inorganic compound, it may be difficult to properly disperse the inorganic compound and the like. On the contrary, when the content of the solvent exceeds 90 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the inorganic compound, it may be difficult to apply the coating to the base material or bellows for bellows due to the viscosity decrease.
상기에서는 벨로우즈 내부면에 무기질 코팅층이 형성되어 있는 것을 제시하였으나, 본 발명은 이에 제한되지 않는다. In the above, the inorganic coating layer is provided on the inner surface of the bellows, but the present invention is not limited thereto.
벨로우즈의 내식성을 향상시키기 위하여, 벨로우즈 내부면에, 내식성, 내화학성 및 내열성이 우수한 패럴린(parylene) 코팅층을 형성할 수 있다. 패럴린 코팅층은 CVD 방법 등을 통하여 상온의 진공 상태에서 기상의 형태로 증착될 수 있다. 다이머에서 모노머로, 그리고 최종적으로는 폴리머 상태가 되면서 형성될 수 있다.
In order to improve the corrosion resistance of the bellows, a parylene coating layer having excellent corrosion resistance, chemical resistance and heat resistance may be formed on the inner surface of the bellows. The paraline coating layer may be deposited in the form of a gas phase in a vacuum at room temperature through a CVD method or the like. It can be formed from dimers to monomers and finally into the polymer state.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 벨로우즈 제조 방법을 개략적으로 나타낸 순서도로서, 이하, 도 2를 참조하여 본 발명에 따른 무기질 코팅제를 이용한 벨로우즈 제조 방법에 대하여 설명하기로 한다. FIG. 2 is a flowchart schematically illustrating a bellows manufacturing method according to an embodiment of the present invention. Hereinafter, a bellows manufacturing method using an inorganic coating agent according to the present invention will be described with reference to FIG. 2.
도 2를 참조하면, 도시된 벨로우즈 제조 방법은 코팅제 도포 단계(S210), 건조 도막 형성 단계(S220) 및 열처리 단계(S230)를 포함한다. Referring to Figure 2, the bellows manufacturing method shown includes a coating step (S210), a dry film forming step (S220) and a heat treatment step (S230).
코팅제 도포 단계(S210)에서는 벨로우즈 형상으로 성형이 되었는지에 따라서 스테인리스 스틸과 같은 벨로우즈 제조용 모재의 일면 혹은 벨로우즈의 내부면에 무기질 화합물, 알루미노실리케이트, 커플링제 및 용매를 포함하는 코팅제를 도포한다. 벨로우즈 형상으로 성형이 되어 있지 않은 모재의 경우에는 코팅층 형성 후 벨로우즈 형상으로의 성형 공정이 추가된다. In the coating agent applying step (S210), a coating agent including an inorganic compound, an aluminosilicate, a coupling agent, and a solvent is applied to one surface of the bellows-making base material, such as stainless steel, or the inner surface of the bellows, depending on whether the molding is performed in a bellows shape. In the case of the base material which is not molded into the bellows shape, a molding process into a bellows shape is added after the coating layer is formed.
전술한 바와 같이, 상기 코팅제는 상기 무기질 화합물 100 중량부에 대하여, 알루미노실리케이트 10 ~ 25 중량부, 커플링제 2~6 중량부 및 용매 50~90 중량부를 포함하는 것을 이용하는 것이 바람직하다. As described above, the coating agent preferably contains 10 to 25 parts by weight of aluminosilicate, 2 to 6 parts by weight of coupling agent and 50 to 90 parts by weight of solvent based on 100 parts by weight of the inorganic compound.
또한, 무기질 화합물은 질화보론 및 질화마그네슘 중에서 선택될 수 있다. 또한, 알루미노실리케이트는 비정질 알루미노실리케이트인 것이 좋다. 또한, 커플링제는 실란계 커플링제 또는 티타네이트계 커플링제 중에서 선택될 수 있다. In addition, the inorganic compound may be selected from boron nitride and magnesium nitride. In addition, the aluminosilicate is preferably amorphous aluminosilicate. In addition, the coupling agent may be selected from a silane coupling agent or a titanate coupling agent.
도포 방식은 스프레이 코팅 방식, 롤 코팅 방식, 침지 방식 등 다양한 방식이 이용될 수 있다. As the coating method, various methods such as spray coating method, roll coating method, and dipping method may be used.
다음으로, 건조 도막 형성 단계(S220)에서는 건조를 통하여 코팅제에 포함된 용매를 제거하여 도막을 형성한다. 건조 온도는 코팅제에 사용된 용매에 따라 결정될 수 있다. 건조는 자연 건조 방식, 열풍 건조 방식 등이 이용될 수 있다. Next, in the dry coating film forming step (S220) to remove the solvent contained in the coating through drying to form a coating film. The drying temperature can be determined depending on the solvent used in the coating. The drying may be natural drying, hot air drying, or the like.
다음으로 열처리 단계(S230)에서는 건조 도막을 500 ~ 700 ℃의 온도에서 30분 내지 2시간 동안 열처리하여 무기질 코팅층을 형성한다. Next, in the heat treatment step (S230) to form a mineral coating layer by heat-treating the dry coating film for 30 minutes to 2 hours at a temperature of 500 ~ 700 ℃.
열처리 과정에서 유기물은 모두 제거되고, 최종 형성되는 코팅층에는 무기질 성분만이 남게 된다. 또한, 열처리 과정에서 무기질 화합물 간의 강한 결속이 이루어져서 코팅층 치밀화에 따른 강도가 향상되고, 벨로우즈 사용 온도 및 그 이상의 온도에서 균열이 발생하는 것을 방지할 수 있다. In the heat treatment process, all organic matters are removed, and only inorganic components remain in the coating layer to be finally formed. In addition, the strong bonding between the inorganic compound is made during the heat treatment process to improve the strength due to densification of the coating layer, it is possible to prevent the occurrence of cracking at the bellows use temperature and above.
열처리 온도가 500℃ 미만이거나 열처리 시간이 30분 미만인 경우, 충분한 열처리 효과를 얻을 수 없다. 또한, 열처리 온도가 700℃를 초과하거나 열처리 시간이 2시간을 초과하는 경우 더 이상의 열처리 효과 상승없이 열처리 비용만 상승할 수 있다.
If the heat treatment temperature is less than 500 ° C. or the heat treatment time is less than 30 minutes, sufficient heat treatment effect cannot be obtained. In addition, when the heat treatment temperature exceeds 700 ° C or the heat treatment time exceeds 2 hours, only the heat treatment cost may increase without further increase of the heat treatment effect.
내식성이 우수한 벨로우즈를 제조하는 다른 방법으로 다음과 같이, 패럴린 코팅층을 형성하는 방법을 제시할 수 있다. As another method of manufacturing a bellows having excellent corrosion resistance, a method of forming a paraline coating layer may be proposed as follows.
우선 패럴린 다이머 분말을 기화시켜 기상의 패럴린 다이머를 생성한다. 이후 패럴린 다이머를 열분해하여 기상의 패럴린 모노머를 증착한다. 이후, 상온의 진공상태에서 기상의 패럴린 모노머를 벨로우즈용 모재의 일면 또는 벨로우즈의 내부면에 고분자 상태로 증착하여 패럴린 코팅층을 형성할 수 있다.
First, the paraline dimer powder is vaporized to produce a gaseous paraline dimer. The paraline dimer is then pyrolyzed to deposit the gaseous paraline monomer. Thereafter, the paraline monomer in a vapor phase may be deposited in a polymer state on one surface of the bellows base material or on the inner surface of the bellows in a vacuum at room temperature to form a paraline coating layer.
실시예Example
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 통해 본 발명의 구성 및 작용을 더욱 상세히 설명하기로 한다. 다만, 이는 본 발명의 바람직한 예시로 제시된 것이며 어떠한 의미로도 이에 의해 본 발명이 제한되는 것으로 해석될 수는 없다. Hereinafter, the configuration and operation of the present invention through the preferred embodiment of the present invention will be described in more detail. However, this is presented as a preferred example of the present invention and in no sense can be construed as limiting the present invention.
여기에 기재되지 않은 내용은 이 기술 분야에서 숙련된 자이면 충분히 기술적으로 유추할 수 있는 것이므로 그 설명을 생략하기로 한다.
Details that are not described herein will be omitted since those skilled in the art can sufficiently infer technically.
1. 시편의 제조 1. Preparation of Specimen
실시예 1Example 1
질화마그네슘 100 중량부, 비정질 알루미노실리케이트 15 중량부, 티타네이트계 커플링제 3 중량부 및 디메틸에테르 80 중량부가 포함된 코팅제를 SUS316 표면에 스프레이 방식으로 코팅하고, 100℃에서 열풍 건조한 후, 열처리로에서 600℃에서 1시간 동안 열처리를 실시하여 시편을 제조하였다.
A coating agent containing 100 parts by weight of magnesium nitride, 15 parts by weight of amorphous aluminosilicate, 3 parts by weight of titanate-based coupling agent and 80 parts by weight of dimethyl ether, was coated by spraying on the surface of SUS316, dried by hot air at 100 ° C., and then The specimen was prepared by heat treatment at 600 ° C. for 1 hour.
실시예 2Example 2
질화마그네슘 100 중량부, 결정질 알루미노실리케이트 15 중량부, 실란계 커플링제 4 중량부 및 아세톤 75 중량부가 포함된 코팅제를 이용한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일한 방식으로 시편을 제조하였다.
A specimen was prepared in the same manner as in Example 1 except that 100 parts by weight of magnesium nitride, 15 parts by weight of crystalline aluminosilicate, 4 parts by weight of silane coupling agent, and 75 parts by weight of acetone were used.
실시예 3Example 3
질화보론 100 중량부, 비정질 알루미노실리케이트 20 중량부, 티타네이트계 커플링제 5 중량부, 디메틸에테르 80 중량부가 포함된 코팅제를 SUS316 표면에 스프레이 방식으로 코팅하고, 100℃에서 열풍 건조한 후, 열처리로에서 550℃에서 1시간 동안 열처리를 실시하여 시편을 제조하였다.
A coating agent containing 100 parts by weight of boron nitride, 20 parts by weight of amorphous aluminosilicate, 5 parts by weight of titanate coupling agent, and 80 parts by weight of dimethyl ether, was coated by spraying on the surface of SUS316, and hot-air dried at 100 ° C., followed by a heat treatment furnace. The specimen was prepared by heat treatment at 550 ° C. for 1 hour.
실시예 4Example 4
패럴린 다이머 분말을 기화시켜 기상의 패럴린 다이머를 생성하고, 기상의 다이머를 열분해하여 패럴린 모노머를 생성한 후, 생성된 패럴린 모노머를 진공챔버 내에 배치된 SUS316 상에 상온에서 증착하였다.
The paraline dimer powder was vaporized to produce a gaseous paraline dimer, and the gaseous dimer was pyrolyzed to produce a paraline monomer. The resulting paraline monomer was deposited at room temperature on SUS316 disposed in a vacuum chamber.
비교예 1Comparative Example 1
SUS316 표면에 테프론 코팅을 실시하여 시편을 제조하였다.
Teflon coating was performed on the surface of SUS316 to prepare a specimen.
비교예 2Comparative Example 2
알루미나 100 중량부, 비정질 알루미노실리케이트 20 중량부, 티타네이트계 커플링제 5 중량부, 디메틸에테르 80 중량부가 포함된 코팅제를 SUS316 표면에 스프레이 방식으로 코팅하고, 100℃에서 열풍 건조한 후, 열처리로에서 550℃에서 1시간 동안 열처리를 실시하여 시편을 제조하였다.
A coating agent containing 100 parts by weight of alumina, 20 parts by weight of amorphous aluminosilicate, 5 parts by weight of titanate coupling agent, and 80 parts by weight of dimethyl ether was coated by spray method on the surface of SUS316, dried by hot air at 100 ° C., and then The specimen was prepared by heat treatment at 550 ° C. for 1 hour.
비교예 3Comparative Example 3
질화마그네슘 100 중량부, 비정질 알루미노실리케이트 20 중량부, 티타네이트계 커플링제 5 중량부, 디메틸에테르 80 중량부가 포함된 코팅제를 SUS316 표면에 스프레이 방식으로 코팅하고, 150℃에서 열풍 건조한 후, 열처리 과정없이 시편을 제조하였다.
A coating agent containing 100 parts by weight of magnesium nitride, 20 parts by weight of amorphous aluminosilicate, 5 parts by weight of titanate coupling agent, and 80 parts by weight of dimethyl ether is coated by spraying on the surface of SUS316, dried by hot air at 150 ° C., and then heat treated. Specimens were prepared without.
비교예 4Comparative Example 4
질화마그네슘 100 중량부, 에폭시 수지 15 중량부, 티타네이트계 커플링제 3 중량부 및 디메틸에테르 80 중량부가 포함된 코팅제를 SUS316 표면에 스프레이 방식으로 코팅하고, 100℃에서 열풍 건조한 후, 열처리로에서 600℃에서 1시간 동안 열처리를 실시하여 시편을 제조하였다.
A coating agent containing 100 parts by weight of magnesium nitride, 15 parts by weight of epoxy resin, 3 parts by weight of titanate coupling agent, and 80 parts by weight of dimethyl ether is coated by spraying on the surface of SUS316, and hot-air dried at 100 ° C., followed by 600 in a heat treatment furnace. The specimen was prepared by heat treatment at 1 ° C. for 1 hour.
2. 물성 평가 2. Property evaluation
(1) 내식성 평가(1) corrosion resistance evaluation
내식성 평가는 염수분무 시험을 48시간 동안 실시하여 시편 전체 면적에 대하여 코팅층에 부식이 발생하는지 여부에 따라 평가하였다. Corrosion resistance was evaluated by performing a salt spray test for 48 hours depending on whether corrosion occurred in the coating layer over the entire area of the specimen.
코팅층에 부식이 발생하지 않은 경우 양호(O), 전체 면적 대비 3% 이하에 부식이 발생한 경우 보통(Δ), 전체 면적 대비 3% 초과 부식이 발생한 경우 불량(X)으로 판단하였다.
It was judged as good (O) when corrosion did not occur in the coating layer, normal (Δ) when corrosion occurred below 3% of the total area, and poor (X) when corrosion occurred above 3% of the total area.
(2) 균열 발생 평가 (2) evaluation of crack occurrence
균열 발생 평가는 각각의 시편을 가열로에서 350℃로 가열한 후 및 1시간 동안 유지한 후에, 상온으로 공냉시킨 후 육안으로 코팅층에 균열이 발생하였는지 여부를 평가하였다. The crack initiation evaluation evaluated whether each specimen was cracked in the coating layer visually after being heated to 350 ° C. in a heating furnace and maintained for 1 hour, followed by air cooling to room temperature.
코팅층에 균열이 발생하지 않은 경우 양호(O), 일부 균열이 발생한 경우 보통(Δ), 시편 전체적으로 균열이 발생한 경우 불량(X)으로 평가하였다. It was evaluated as good (O) when no crack occurred in the coating layer, normal (Δ) when some cracks occurred, and poor (X) when cracks occurred throughout the specimen.
상기 내식성 평가 및 균열 발생 평가 결과를 표 1에 나타내었다. Table 1 shows the corrosion resistance evaluation and crack initiation evaluation results.
[표 1]TABLE 1
표 1을 참조하면, 실시예 1 ~ 4의 경우, 코팅층에 부식이 발생하지 않아, 내식성 평가 결과 모두 양호를 나타내었다. 또한, 결정질 알루미노실리케이트를 이용한 실시예2의 경우와 패럴린 코팅층을 형성한 경우 약간의 균열이 발생하기는 하였으나, 실시예 1~4 전체적으로 코팅층에 균열이 발생하지 않았다. 테스트 온도가 350℃이고, 통상 벨로우즈의 온도가 80~100℃인 점을 감안하면, 벨로우즈 사용시 무기질 코팅층 혹은 패럴린 코팅층을 통하여 열에 의한 손상이 거의 발생하지 않는 것을 알 수 있다. Referring to Table 1, in Examples 1 to 4, no corrosion occurred in the coating layer, and all of the corrosion resistance evaluation results showed good results. In addition, in the case of Example 2 using the crystalline aluminosilicate and in the case of forming the paraline coating layer, some cracks occurred, but Examples 1 to 4 as a whole, the crack did not occur in the coating layer. Considering that the test temperature is 350 ° C. and the bellows temperature is usually 80 to 100 ° C., it can be seen that almost no damage caused by heat occurs through the inorganic coating or the parallel coating layer when the bellows is used.
반면, 테프론을 코팅한 비교예 1의 경우 내식성은 우수하였으나, 균열이 확연히 발생하였다. 또한, 무기질 화합물로 알루미나(Al2O3)를 이용한 비교예 2의 경우 내식성이 보통에 불과하였다. 또한, 열처리를 실시하지 않은 비교예 3의 경우 균열 발생에 취약한 결과를 나타내었다. 또한, 알로미노실리케이트 대신에 에폭시 수지를 적용한 비교예 4의 경우 내식성 평가 및 균열 발생 평가 모두 보통에 불과하였다. On the other hand, in the case of Comparative Example 1 coated with Teflon was excellent in corrosion resistance, but cracks were apparent. In addition, in Comparative Example 2 using alumina (Al 2 O 3 ) as the inorganic compound, the corrosion resistance was only normal. In addition, Comparative Example 3, which was not subjected to heat treatment, showed a result vulnerable to cracking. In addition, in Comparative Example 4 in which the epoxy resin was applied instead of the aluminosilicate, both corrosion resistance evaluation and crack initiation evaluation were only ordinary.
따라서, 본 발명의 실시예에 따른 코팅제를 이용하여 벨로우즈 내부면에 코팅층을 형성할 경우 우수한 내식성 및 균열 방지 특성을 나타내어, 벨로우즈의 수명 특성을 향상시킬 수 있다.
Therefore, when the coating layer is formed on the inner surface of the bellows by using the coating agent according to the embodiment of the present invention, it exhibits excellent corrosion resistance and crack prevention characteristics, thereby improving life characteristics of the bellows.
이상에서는 본 발명의 실시예를 중심으로 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 기술자의 수준에서 다양한 변경이나 변형을 가할 수 있다. 이러한 변경과 변형은 본 발명이 제공하는 기술 사상의 범위를 벗어나지 않는 한 본 발명에 속한다고 할 수 있다. 따라서 본 발명의 권리범위는 이하에 기재되는 청구범위에 의해 판단되어야 할 것이다.
Although the above has been described with reference to the embodiments of the present invention, various changes and modifications can be made at the level of those skilled in the art. Such changes and modifications can be said to belong to the present invention without departing from the scope of the technical idea provided by the present invention. Therefore, the scope of the present invention will be determined by the claims described below.
101 : CVD 챔버 102 : 샤워헤드
103 : 서셉터 104 : 진공펌프
105 : 스크러버 110 : 벨로우즈
111a, 111b : 플랜지 결합 S210 : 코팅제 도포 단계
S220 : 건조 도막 형성 단계 S230 : 열처리 단계101: CVD chamber 102: shower head
103: susceptor 104: vacuum pump
105: scrubber 110: bellows
111a, 111b: flange coupling S210: coating application step
S220: dry coating film forming step S230: heat treatment step
Claims (12)
상기 벨로우즈의 내면에는
무기질 화합물 100 중량부, 알루미노실리케이트(aluminosilicate) 10 ~ 25 중량부, 커플링제 2~6 중량부 및 용매 50~90 중량부를 포함하는 코팅제로부터 형성되는 무기질 코팅층이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 내식성이 우수한 벨로우즈.
In bellows connecting vacuum pump and scrubber,
On the inner surface of the bellows
Corrosion resistance characterized in that the inorganic coating layer formed from a coating agent comprising 100 parts by weight of the inorganic compound, 10 to 25 parts by weight of aluminosilicate, 2 to 6 parts by weight of coupling agent and 50 to 90 parts by weight of solvent. Excellent bellows.
상기 무기질 화합물은
질화보론(BN) 및 질화마그네슘(Mg3N2) 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 내식성이 우수한 벨로우즈.
The method of claim 3,
The inorganic compound is
Bellows having excellent corrosion resistance, characterized in that selected from boron nitride (BN) and magnesium nitride (Mg 3 N 2 ).
상기 알루미노실리케이트는
비정질 알루미노실리케이트인 것을 특징으로 하는 내식성이 우수한 벨로우즈.
The method of claim 3,
The aluminosilicate is
A bellows excellent in corrosion resistance, characterized by amorphous aluminosilicate.
상기 커플링제는
실란계 커플링제 및 티타네이트계 커플링제 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 내식성이 우수한 벨로우즈.
The method of claim 3,
The coupling agent
Bellows excellent in corrosion resistance characterized by being selected from a silane coupling agent and a titanate coupling agent.
상기 용매는
에탄올, 아세톤, 디메틸에테르, 디에틸에테르, 이소프로판올 및 디메틸케톤 중에서 1종 이상 선택되는 것을 특징으로 하는 내식성이 우수한 벨로우즈.
The method of claim 3,
The solvent
Bellows having excellent corrosion resistance, characterized in that at least one selected from ethanol, acetone, dimethyl ether, diethyl ether, isopropanol and dimethyl ketone.
건조를 통하여 상기 코팅제에 포함된 용매를 제거하여 도막을 형성하는 단계; 및
상기 도막을 500 ~ 700 ℃의 온도에서 30분 내지 2시간 동안 열처리하여 무기질 코팅층을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 벨로우즈 제조 방법.
Applying a coating agent comprising an inorganic compound, an aluminosilicate, a coupling agent and a solvent to one side of the bellows base material or the inner side of the bellows;
Removing the solvent included in the coating through drying to form a coating film; And
And heat-treating the coating film at a temperature of 500 to 700 ° C. for 30 minutes to 2 hours to form an inorganic coating layer.
상기 코팅제는
상기 무기질 화합물 100 중량부에 대하여, 알루미노실리케이트 10 ~ 25 중량부, 커플링제 2~6 중량부 및 용매 50~90 중량부를 포함하는 것을 특징으로 하는 벨로우즈 제조 방법.
The method of claim 8,
The coating agent
A bellows manufacturing method comprising 10 to 25 parts by weight of aluminosilicate, 2 to 6 parts by weight of coupling agent and 50 to 90 parts by weight of solvent, based on 100 parts by weight of the inorganic compound.
상기 코팅제는
상기 무기질 화합물이 질화보론(BN) 및 질화마그네슘(Mg3N2) 중에서 선택되고,
상기 알루미노실리케이트가 비정질 알루미노실리케이트이며,
상기 커플링제가 실란계 커플링제 및 티타네이트계 커플링제 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 벨로우즈 제조 방법.
10. The method of claim 9,
The coating agent
The inorganic compound is selected from boron nitride (BN) and magnesium nitride (Mg 3 N 2 ),
The aluminosilicate is amorphous aluminosilicate,
And said coupling agent is selected from a silane coupling agent and a titanate coupling agent.
상기 벨로우즈는
반도체용 CVD(Chemical Vapor Deposition) 장비, PVD(Physical Vapor Deposition) 장비 및 ETCH 장비 중 어느 하나의 장비에 사용되는 것을 특징으로 하는 내식성이 우수한 벨로우즈. The method according to any one of claims 3 to 7,
The bellows is
Bellows excellent in corrosion resistance, characterized in that it is used in any one of the CVD (Chemical Vapor Deposition) equipment, PVD (Physical Vapor Deposition) equipment and ETCH equipment.
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|---|---|---|---|
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Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101470922B1 (en) * | 2013-05-31 | 2014-12-09 | 한국산업기술대학교산학협력단 | Composite steel sheet having excellent corrosion resistance at high temperature and preparation method thereof |
| KR101551250B1 (en) | 2013-12-19 | 2015-09-14 | 김지완 | Reinforcement and repair method for LCD line leak |
| KR101617677B1 (en) * | 2014-06-16 | 2016-05-03 | 한국산업기술대학교산학협력단 | Composite steel sheet including metallic thin film and ceramic coated layer having excellent corrosion resistance at high temperature and preparation method thereof |
| WO2016178777A1 (en) * | 2015-05-07 | 2016-11-10 | Applied Materials, Inc. | Corrosion control for chamber components |
| KR101690088B1 (en) * | 2016-06-02 | 2016-12-27 | 주식회사 준성 | Teflon coating gas transfer pipe |
| KR102026460B1 (en) | 2019-01-21 | 2019-09-27 | 김동균 | Corrugated tube for protecting robot arm and manufacturing method thereof |
| KR102157766B1 (en) | 2020-06-19 | 2020-09-21 | 주식회사 우진아이엔에스 | Method for construction a lining a corrosion proof inside wrinkle of bellows |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11106829A (en) | 1997-09-30 | 1999-04-20 | Nissan Motor Co Ltd | Heat treatment of bellows |
| KR20040008090A (en) * | 2002-07-17 | 2004-01-28 | 가부시키가이샤 후지쯔 제네랄 | Induction motor |
| KR200408090Y1 (en) * | 2005-11-14 | 2006-02-07 | 주식회사 디스텍 | Safe guard of support block for gate valve |
| KR20070069102A (en) * | 2007-06-05 | 2007-07-02 | 우원전자 주식회사 | System for watching corrosion of metal tube for gas scrubber |
-
2010
- 2010-12-06 KR KR1020100123757A patent/KR101038541B1/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11106829A (en) | 1997-09-30 | 1999-04-20 | Nissan Motor Co Ltd | Heat treatment of bellows |
| KR20040008090A (en) * | 2002-07-17 | 2004-01-28 | 가부시키가이샤 후지쯔 제네랄 | Induction motor |
| KR200408090Y1 (en) * | 2005-11-14 | 2006-02-07 | 주식회사 디스텍 | Safe guard of support block for gate valve |
| KR20070069102A (en) * | 2007-06-05 | 2007-07-02 | 우원전자 주식회사 | System for watching corrosion of metal tube for gas scrubber |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101470922B1 (en) * | 2013-05-31 | 2014-12-09 | 한국산업기술대학교산학협력단 | Composite steel sheet having excellent corrosion resistance at high temperature and preparation method thereof |
| KR101551250B1 (en) | 2013-12-19 | 2015-09-14 | 김지완 | Reinforcement and repair method for LCD line leak |
| KR101617677B1 (en) * | 2014-06-16 | 2016-05-03 | 한국산업기술대학교산학협력단 | Composite steel sheet including metallic thin film and ceramic coated layer having excellent corrosion resistance at high temperature and preparation method thereof |
| WO2016178777A1 (en) * | 2015-05-07 | 2016-11-10 | Applied Materials, Inc. | Corrosion control for chamber components |
| CN107636374A (en) * | 2015-05-07 | 2018-01-26 | 应用材料公司 | The corrosion control of chamber part |
| JP2018515691A (en) * | 2015-05-07 | 2018-06-14 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | Corrosion control for chamber parts |
| US10190701B2 (en) | 2015-05-07 | 2019-01-29 | Applied Materials, Inc. | Corrosion control for chamber components |
| TWI673390B (en) * | 2015-05-07 | 2019-10-01 | 美商應用材料股份有限公司 | Corrosion control for chamber components |
| JP6993881B2 (en) | 2015-05-07 | 2022-01-14 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | Corrosion control for chamber parts |
| KR101690088B1 (en) * | 2016-06-02 | 2016-12-27 | 주식회사 준성 | Teflon coating gas transfer pipe |
| KR102026460B1 (en) | 2019-01-21 | 2019-09-27 | 김동균 | Corrugated tube for protecting robot arm and manufacturing method thereof |
| KR102157766B1 (en) | 2020-06-19 | 2020-09-21 | 주식회사 우진아이엔에스 | Method for construction a lining a corrosion proof inside wrinkle of bellows |
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