KR101066980B1 - Method for rustproofing stainless steel pipe of coating with parylene - Google Patents
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Abstract
본 발명은 스테인레스 배관의 부식 방지를 위한 패럴린 코팅방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 부식이 심한 곳에 사용되는 스테인레스 배관의 패럴린 코팅과 패럴린 코팅의 밀착력을 높일 수 있는 전처리 공정을 제공하는 것이다. 이에 본 발명은 스테인레스 배관의 표면에 묻어있는 이물질, 산화피막 제거, 표면을 거칠게 하여 밀착력을 높이기 위한 샌드 브라스팅 또는 쑈트 브라스팅을 통해 샌딩 처리하는 샌딩 공정과; 상기 샌딩 공정이 완료되면 스테인레스 배관 표면에 묻어 있는 샌딩 가루를 물, 이소프로필알콜(IPA), 에탄올, 아세톤을 이용하여 제거하는 세정 공정; 상기 세정 공정 이후, 열건조로에서 30 ~ 150℃로 10분 ~ 200분간 열건조를 실시하여 스테인레스 배관 표면에 묻어 있는 액체 성분을 제거하는 열건조 공정; 상기 열건조 공정이 완료되면, 냉각작업을 실시하여 스테인레스 배관의 표면 온도를 낮추는 냉각 공정; 상기 냉각 공정이 완료되면, 스테인레스 배관과 패럴린 코팅막간의 밀착력을 높일 수 있는 용매를 프라이머로 이용하여 표면처리를 실시하는 표면처리 공정; 상기 표면처리 공정이 완료되면, 패럴린 코팅장치에 스테인레스 배관 및 스테인레스 부품들을 삽입하고 진공 증착에 의한 패럴린 코팅을 수행하는 패럴린 코팅 공정; 및 상기 패럴린 코팅 공정이 완료되면, 패럴린 코팅막이 형성된 스테인레스 배관 및 스테인레스 부품을 열반응시키는 공정을 실시하는 열반응 공정을 포함한다.The present invention relates to a parallel coating method for preventing corrosion of stainless pipes, and more particularly, to provide a pretreatment process that can increase the adhesion between the paraline coating and the paraline coating of stainless steel pipes used in highly corrosive areas. . Therefore, the present invention includes a sanding process of sanding or sand blasting through sand blasting or blast blasting to increase adhesion by removing foreign matter, oxide film, and roughening the surface of the stainless pipe; A washing step of removing sanding powder on the surface of the stainless pipe by using water, isopropyl alcohol (IPA), ethanol, and acetone when the sanding process is completed; After the cleaning step, the heat drying step of removing the liquid component on the surface of the stainless steel pipe by heat drying at 30 ~ 150 ℃ 10 minutes to 200 minutes in a heat drying furnace; A cooling process of lowering the surface temperature of the stainless pipe by performing a cooling operation when the heat drying process is completed; When the cooling step is completed, the surface treatment step of performing a surface treatment using a solvent that can increase the adhesion between the stainless steel pipe and the parallel coating film as a primer; When the surface treatment process is completed, a parallel coating process for inserting the stainless steel pipes and stainless parts in the parallel coating apparatus and performing the parallel coating by vacuum deposition; And a thermal reaction step of performing a step of thermally reacting the stainless pipe and the stainless component on which the paraline coating film is formed, when the paraline coating process is completed.
Description
본 발명은 스테인레스 배관의 부식 방지를 위한 패럴린 코팅 공정에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 부식이 심한 곳에 사용되는 스테인레스 배관의 패럴린 코팅과 패럴린 코팅의 밀착력을 높일 수 있는 전처리 공정을 제공하는 스테인레스 배관의 부식 방지를 위한 패럴린 코팅방법에 관한 것이다.
The present invention relates to a paraline coating process for preventing corrosion of stainless steel pipe, and more particularly, to provide a pretreatment process that can increase the adhesion between the paraline coating and the paraline coating of a stainless steel pipe used in highly corrosive areas. It relates to a parallel coating method for preventing corrosion of the pipe.
일반적으로 패럴린 코팅은, 표면 내부식, 산화방지, 방습, 내약품성을 필요로 하는 모재의 표면 보호 코팅으로 많이 응용되고 있는 코팅방법이다.In general, the paraline coating is a coating method that is widely applied as a surface protective coating of the base material that requires surface corrosion resistance, oxidation prevention, moisture resistance, chemical resistance.
이와 같이, 패럴린 코팅은 담금, 스프레이 방식을 사용하는 일반적인 표면 보호 코팅인 우레탄, 실리콘, 에폭시, 테프론 코팅과는 달리 진공 증착을 이용하는 CVD(Chemical Vapor Deposition)법을 이용한다. 따라서 일반적인 코팅법에 비하여 마이크로 단위의 두께 코팅이 가능하며, 전형적인 코팅방법에 비하여 표면 보호 특성이 월등히 우수하다.As such, the paraline coating uses a chemical vapor deposition (CVD) method using vacuum deposition, unlike urethane, silicon, epoxy, and teflon coatings, which are general surface protective coatings using dip and spray methods. Therefore, it is possible to coat the micro unit thickness compared to the general coating method, and excellent surface protection characteristics compared to the typical coating method.
또한, 패럴린 코팅은 진공 증착에 의한 코팅방법이기 때문에 모재의 신뢰성확보를 위해서는 코팅하고자하는 모재의 위치에 관계없이 균일한 두께를 확보하는 것이 핵심기술이다.In addition, since the paraline coating is a coating method by vacuum deposition, to secure the reliability of the base material, securing a uniform thickness regardless of the position of the base material to be coated is a key technology.
종래의 패럴린 코팅방법은, 등록특허 제10-0675806호에 개시된 바와 같이, 패럴린 고분자막을 증착하기 전에 모재표면을 플라즈마에 의해 개질하고 패럴린 모노머를 분기시켜 증착챔버 내로 분사함으로써, 고분자막과의 접착성, 내마모성, 내화학성을 극대화하고 모재표면에 균일한 두께의 코팅이 가능하도록 하는 것으로, 진공챔버 내의 지그상에 모재를 배치한 상태에서 플라즈마를 발생시켜 세정하고 모재의 표면을 개질하여 패럴린 고분자막과의 접착성을 향상시킨 후 모재를 증착챔버 내의 지그상에 배치하는 공정과; 패럴린 다이머 분말을 기화시켜 기체상의 다이머를 생성하는 공정과; 상기 기체상의 다이머를 관 내부에 설치된 전열코일에 의해 열분해시켜 패럴린 모노머를 생성하는 공정; 및 상기 패럴린 모노머를 증착챔버 내벽에 수직으로 길게 구비된 배플을 우회하도록 공급하면서 증착챔버 내의 지그상에 배치된 모재 상에 폴리머 상태로 증착하여 패럴린 고분자막을 형성하는 공정;으로 구성된다.In the conventional paraline coating method, as disclosed in Korean Patent No. 10-0675806, before the deposition of the paraline polymer film, the surface of the base material is modified by plasma, and the paraline monomer is branched and sprayed into the deposition chamber, thereby forming a polymer film. Maximizing adhesion, abrasion resistance, and chemical resistance and enabling uniform coating on the surface of the base material. Plasma is generated and cleaned in the state where the base material is placed on the jig in the vacuum chamber. Arranging the base material on a jig in the deposition chamber after improving adhesion to the polymer film; Vaporizing the paraline dimer powder to produce a gaseous dimer; Thermally decomposing the gaseous dimer with an electrothermal coil installed in the tube to produce a parylene monomer; And depositing the paraline monomer in a polymer state on a base material disposed on a jig in the deposition chamber while supplying the paraffin monomer to bypass the baffle provided vertically on the inner wall of the deposition chamber.
이와 같이 구성된 패럴린 코팅방법은, 모재표면의 플라즈마 전처리 과정을 편리하면서도 효율적으로 수행하고 이를 통해 고분자막과의 접착성, 내마모성, 내화학성을 극대화하며, 모노머 상태의 패럴린을 다방향으로 분산공급하여 모재표면에 균일한 두께의 코팅이 가능하게 된다.The paraline coating method configured as described above performs plasma pretreatment of the substrate surface conveniently and efficiently, thereby maximizing adhesion, wear resistance and chemical resistance with the polymer film, and distributing and supplying the monomeric paraline in multiple directions. Uniform thickness coating is possible on the base material surface.
그러나, 패럴린 코팅은 모재와 코팅피막간의 밀착력이 빈약하여 미세한 스크레치나, 충격에 의하여 피막이 분리되는 경향을 보이는 경우가 있다. 이런 경우에는 보호막으로써의 역할을 수행하지 못하므로, 모재의 재질에 따른 패럴린 코팅 피막의 밀착력을 높일 수 있는 표면 처리 공정이 필수적이다.However, in the case of the paraline coating, the adhesion between the base material and the coating film is poor, so that the film may be separated by fine scratches or impacts. In this case, since it does not play a role as a protective film, a surface treatment process that can increase the adhesion of the paraline coating film according to the material of the base material is essential.
특히, 반도체설비, LED 증착 설비(Epi 설비) 등에 사용되는 부식성 가스 및 이런 가스들을 중화시키는 장치에 사용되는 스테인레스 배관 등은 쉽게 부식될 수 있는데, 이러한 부식을 방지하기 위한 기술이 필요한 실정이다.
In particular, the corrosive gas used in semiconductor equipment, LED deposition equipment (Epi equipment) and the like, and the stainless steel pipe used in the device for neutralizing such gases can be easily corroded, there is a need for technology to prevent such corrosion.
따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 장착된 것으로서, 예를 들어 반도체설비, LED 증착 설비(Epi 설비) 등에 사용되는 부식성 가스 및 부식성 가스들을 중화시키는 장치에 사용되는 진공용 스테인레스 배관의 패럴린 코팅 및 패럴린 코팅의 밀착력을 높일 수 있는 전처리 공정을 제공하는 스테인레스 배관의 부식 방지를 위한 패럴린 코팅 공정을 제공하는데 그 목적이 있다.
Therefore, the present invention is equipped to solve the above problems, for example, of the stainless steel pipe for vacuum used in the apparatus for neutralizing the corrosive gases and corrosive gases used in semiconductor equipment, LED deposition equipment (Epi equipment), etc. It is an object of the present invention to provide a paraline coating process for preventing corrosion of stainless steel pipes, which provides a pretreatment process to increase the adhesion of the paraline coating and the paraline coating.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 스테인레스 배관의 부식 방지를 위한 패럴린 코팅 공정은, 스테인레스 배관의 표면에 묻어있는 이물질, 산화피막 제거, 표면을 거칠게 하여 밀착력을 높이기 위한 샌드 브라스팅 또는 쑈트 브라스팅을 통해 샌딩 처리하는 샌딩 공정과, 상기 샌딩 공정이 완료되면 스테인레스 배관 표면에 묻어 있는 샌딩 가루를 물, 이소프로필알콜(IPA), 에탄올, 아세톤을 이용하여 제거하는 세정 공정, 상기 세정 공정 이후, 열건조로에서 30 ~ 150℃로 10분 ~ 200분간 열건조를 실시하여 스테인레스 배관 표면에 묻어 있는 액체 성분을 제거하는 열건조 공정, 상기 열건조 공정이 완료되면, 냉각작업을 실시하여 스테인레스 배관의 표면 온도를 낮추는 냉각 공정, 상기 냉각 공정이 완료되면, 스테인레스 배관과 패럴린 코팅막간의 밀착력을 높일 수 있는 용매를 프라이머로 이용하여 표면처리를 실시하는 표면처리 공정, 상기 표면처리 공정이 완료되면, 패럴린 코팅장치에 스테인레스 배관 및 스테인레스 부품들을 삽입하고 진공 증착에 의한 패럴린 코팅을 수행하는 패럴린 코팅 공정, 및 상기 패럴린 코팅 공정이 완료되면, 패럴린 코팅막이 형성된 스테인레스 배관 및 스테인레스 부품을 열반응시키는 공정을 실시하는 열반응 공정을 포함한다.Parallel coating process for corrosion protection of stainless steel pipes according to the present invention for achieving the above object is, sand blasting to increase adhesion by removing foreign matter, oxide film, the surface roughened on the surface of the stainless steel pipes or Sanding process of sanding process through the blast blasting, and, when the sanding process is completed, the cleaning process of removing the sanding powder on the surface of the stainless pipe using water, isopropyl alcohol (IPA), ethanol, acetone, the cleaning process Then, heat drying at 30 ~ 150
본 발명의 상기 표면처리 공정에서 사용되는 프라이머의 구성비는, 프라이머 100 중량%에 대하여 헵탄(Heptane, C7H16) 90 ~ 98 중량%, 알릴트리메톡시실란(Allyltrimethoxysilane, CH2=CHCH2Si(OCH3)3) 1 ~ 5 중량%, 테트라부틸 타이터네이트(Tetrabutyl titanate, Ti(OC4H9)4) 1 ~ 5 중량%인 것을 특징으로 한다.Composition ratio of the primer used in the surface treatment process of the present invention, heptane (Heptane, C7H16) 90 to 98% by weight, allyltrimethoxysilane (CH2 = CHCH2Si (OCH3) 3) 1 with respect to 100% by weight primer ~ 5% by weight, tetrabutyl titanate (Tetrabutyl titanate, Ti (OC 4 H 9) 4) It is characterized in that 1 to 5% by weight.
본 발명의 상기 패럴린 코팅 공정에서 사용되는 패럴린 재료는, 패럴린(Parylene) C를 사용하며, 코팅막의 두께는 1㎛ ~ 200㎛범위 이내에서 코팅을 실시하는 것을 특징으로 한다.As the paraline material used in the paraline coating process of the present invention, parylene (Parylene) C is used, and the thickness of the coating film is characterized in that the coating is performed within the range of 1 μm to 200 μm.
본 발명의 상기 열반응 공정은, 30 ~ 150℃까지 30분 ~ 300분 실시하며, 스테인레스와 패럴린막 사이의 프라이머를 활성화시키기 위한 공정으로, 프라이머를 활성화시켜 스테인레스 배관 표면과 코팅막간의 밀착력을 높이는 촉매작용을 하는 것을 특징으로 한다.
The thermal reaction process of the present invention is carried out for 30 minutes to 300 minutes up to 30 ~ 150 ℃, a process for activating the primer between the stainless and the paraline film, by activating the primer to increase the adhesion between the surface of the stainless pipe and the coating film It is characterized by functioning.
상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 스테인레스 배관의 부식 방지를 위한 패럴린 코팅 공정은, 예를 들어 반도체설비, LED 증착 설비(Epi 설비) 등에 사용되는 부식성 가스 및 이런 가스들을 중화시키는 장치에 사용되는 스테인레스 배관 부식을 방지할 수 있는 효과가 있다.The paraline coating process for corrosion protection of stainless pipes according to the present invention configured as described above is, for example, a stainless steel used in a corrosive gas used in semiconductor equipment, LED deposition equipment (Epi equipment) and the like to neutralize such gases. There is an effect to prevent the pipe corrosion.
또한, 본 발명은 스테인레스 배관의 표면처리 공정은 스테인레스 배관의 내부와 외부를 전체적으로 적용하는 것을 기본으로 하며, 필요에 따라 내부 또는 외부를 선택적으로 적용할 수 있다.
In addition, the present invention is based on the surface treatment process of the stainless steel pipe is applied to the inside and the outside of the stainless steel as a whole, it can be selectively applied to the inside or the outside as needed.
도 1의 (a)와 (b)는 본 발명에 따른 패럴린 코팅된 스테인레스 배관의 단면도,
도 2는 본 발명에 따른 스테인레스 배관이 적용되는 진공 장치의 개념도.
도 3은 본 발명에 따른 스테인레스 배관의 부식 방지를 위한 패럴린 코팅 공정을 나타낸 순서도이다.Figure 1 (a) and (b) is a cross-sectional view of the parylene coated stainless tubing according to the present invention,
2 is a conceptual diagram of a vacuum apparatus to which a stainless pipe according to the present invention is applied.
Figure 3 is a flow chart illustrating a parallel coating process for preventing corrosion of stainless steel pipe according to the present invention.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1의 (a)와 (b)는 본 발명에 따른 패럴린 코팅된 스테인레스 배관의 단면도, 도 2는 본 발명에 따른 스테인레스 배관이 적용되는 진공 장치의 개념도, 도 3은 본 발명에 따른 스테인레스 배관의 부식 방지를 위한 패럴린 코팅방법을 나타낸 순서도이다.Figure 1 (a) and (b) is a cross-sectional view of a parallel pipe stainless steel pipe according to the present invention, Figure 2 is a conceptual diagram of a vacuum apparatus to which a stainless pipe according to the invention is applied, Figure 3 is a stainless pipe according to the present invention Is a flow chart showing a method for coating a parallel to prevent corrosion.
먼저, 본 발명의 스테인레스 배관의 부식 방지를 위한 패럴린 코팅방법은, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 예를 들어 반도체설비, LED 증착 설비(Epi 설비) 등에 사용되는 부식성 가스 및 부식성 가스들을 중화시키는 진공 장치에 사용되는 스테인레스 배관 또는 배관 부품 등에 부식을 방지하기 위해 적용된다.First, the paraline coating method for the corrosion protection of the stainless steel pipe of the present invention, as shown in Figures 1 to 3, for example, corrosive gas and corrosive gas used in semiconductor equipment, LED deposition equipment (Epi equipment), etc. It is applied to prevent corrosion of stainless pipes or pipe parts used in vacuum devices to neutralize them.
상기 진공 장치는 도 2에 도시된 바와 같이, 진공 챔버(10), 진공 펌프(20), 가스 정화장치(30), 가스 배기부(32), 1차 진공 배관(40) 및 2차 진공 배관(42) 등으로 구성된다.As shown in FIG. 2, the vacuum device includes a
상기 패럴린 코팅이 적용되는 범위는, 상기 진공 챔버(20)내에서 처리 공정에 사용된 부식성 가스가 상기 1차 진공 배관(40)을 통하여 진공 펌프(20)로 배기되고, 상기 진공 펌프(20)로 배기된 부식성 가스는 상기 2차 진공 배관(42)을 통하여 상기 가스 정화장치(30)를 거쳐 무해한 가스로 정화되어, 상기 가스 배기부(32)를 통해서 외부 배기된다.The range where the parallel coating is applied, the corrosive gas used in the treatment process in the
여기서, 상기 패럴린 코팅이 적용되는 부분은 상기 1차, 2차 진공 배관(40,42)은 물론 1차 진공 배관 부품과 2차 진공 배관 부품, 가스 정화장치내의 부품, 가스 배기부의 부품에도 적용되는 것이 바람직하다.Here, the part to which the parallel coating is applied is applied to the primary and
한편, 본 발명의 패럴린 코팅이 적용되는 스테인레스 배관은 도 1의 (a)와 (b)에 도시된 바와 같이, 스테인레스 배관(1), 프라이머 층(2), 패럴린 코팅 층(3) 및 샌딩 처리된 배관 표면(4)으로 구성되며, 상기 스테인레스 배관(1)의 내부 및 외부를 전체적으로 적용하는 것을 기본으로 하며, 필요에 따라서는 내부 또는 외부를 선택적으로 적용할 수도 있다.On the other hand, the stainless steel pipe to which the paraline coating of the present invention is applied, as shown in (a) and (b) of Figure 1, the stainless steel pipe (1), primer layer (2), paraline coating layer (3) and Consists of a sanded pipe surface 4, which is based on the overall application of the inside and the outside of the stainless pipe 1, and may optionally be applied inside or outside as necessary.
상기 스테인레스 배관(1)과 패럴린 코팅막의 우수한 밀착력을 확보하기 위해서는 다음과 같은 공정이 필요하다. In order to secure excellent adhesion between the stainless steel pipe 1 and the paraline coating film, the following process is required.
우선, 도 3에 도시된 바와 같이 상기 스테인레스 배관(1)의 표면(4)에 묻어있는 이물질, 산화피막 제거, 표면을 거칠게 하여 밀착력을 높이기 위한 샌드 브라스팅 또는 쑈트 브라스팅을 통해 샌딩 처리하는 샌딩 공정(S10)을 수행한다.First, as shown in FIG. 3, sanding is performed by sand blasting or sand blasting to increase adhesion by removing foreign matter, oxide film, and roughening of the surface 4 of the stainless pipe 1. Step S10 is performed.
상기 샌딩 공정(S10)이 완료되면 스테인레스 배관 표면(4)에 묻어 있는 샌딩 가루를 제거하기 위한 세정 작업을 수행한다(S20). 여기서, 상기 세정 작업(S20)은, 예를 들어 물, 이소프로필알콜(IPA), 에탄올, 아세톤을 이용하여 스테인레스 배관 표면(4)을 세정한다.When the sanding process (S10) is completed, a cleaning operation for removing the sanding powder on the stainless pipe surface (4) is performed (S20). Here, the cleaning operation S20 cleans the stainless pipe surface 4 using, for example, water, isopropyl alcohol (IPA), ethanol, and acetone.
상기 세정 공정(S20) 이후, 도시되지 않은 열건조로에 예를 들어, 30 ~ 150℃로 10분 ~ 200분간 열건조를 실시하여 스테인레스 배관 표면(4) 묻어 있는 액체 성분을 완전히 제거하는 열건조 공정(S30)을 수행한다.After the cleaning step (S20), a heat drying process for removing the liquid component on the stainless pipe surface 4 by performing heat drying, for example, 10 minutes to 200 minutes at 30 ~ 150 ℃ to a heat drying furnace (not shown) (S30).
상기 열건조 공정(S30)이 완료되면, 냉각 작업을 예를 들어, 10분 ~ 200분 범위내에서 실시하여 스테인레스 배관 표면(4)의 온도를 낮추는 냉각 공정(S40)을 수행한다.When the heat drying step (S30) is completed, the cooling operation is performed, for example, in the range of 10 minutes to 200 minutes to perform a cooling step (S40) to lower the temperature of the stainless pipe surface (4).
상기 냉각 공정(S40)이 완료되면, 상기 스테인레스 배관(1)과 패럴린 코팅막간의 밀착력을 높일 수 있는 용매를 프라이머(Primer)로 이용하여 표면처리를 실시하는 표면처리 공정(S50)을 수행한다. 여기서, 상기 표면처리 공정(S50)에서 사용되는 프라이머의 구성비는, 예를 들어 프라이머 100 중량%에 대하여 헵탄(Heptane, C7H16) 90 ~ 98 중량%, 알릴트리메톡시실란(Allyltrimethoxysilane, CH2=CHCH2Si(OCH3)3) 1 ~ 5 중량%, 테트라부틸 타이터네이트(Tetrabutyl titanate, Ti(OC4H9)4) 1 ~ 5 중량%로 구성된다.When the cooling step (S40) is completed, the surface treatment step (S50) to perform a surface treatment using a solvent (Primer) to increase the adhesion between the stainless steel pipe (1) and the paraline coating film as a primer. Here, the composition ratio of the primer used in the surface treatment step (S50) is, for example, 90 to 98% by weight of heptane (Heptane, C7H16) relative to 100% by weight of the primer, allyltrimethoxysilane (CH2 = CHCH2Si ( OCH3) 3) 1 to 5% by weight, tetrabutyl titanate (Te (OC4H9) 4) 1 to 5% by weight.
또한, 상기 프라이머를 적용하는 방법은, 예를 들어 담금(Dipping), 노즐 분사(Spray), 진공 증발(Vacuum Vaporize) 의 방법을 사용하며, 상기 담금법과 노즐 분사법에 의한 프라이머 적용은 프라이머의 표면 건조를 위한 열반응기에서의 열건조를 필요로 한다. 이때, 상기 열건조는 30 ~ 150℃ 범위내에서 10분 ~ 200분간 실시하는 것이 바람직하다. 그리고, 진공 증발에 의한 프라이머 적용법은 열건조를 생략할 수도 있다.In addition, a method of applying the primer is, for example, using a method of dipping, nozzle spray, vacuum vaporization, and the application of the primer by the immersion method and the nozzle spraying method. It requires heat drying in a thermal reactor for drying. At this time, the heat drying is preferably carried out for 10 to 200 minutes in the range of 30 ~ 150 ℃. The primer application method by vacuum evaporation may omit heat drying.
상기 표면처리 공정(S50)이 완료되면, 도시되지 않은 패럴린 코팅 장치에 스테인레스 배관(1) 및 스테인레스 부품들을 삽입하고, 진공 증착에 의한 패럴린 코팅하는 패럴린 코팅 공정(S60)을 수행한다.When the surface treatment process (S50) is completed, the stainless steel pipe (1) and the stainless parts are inserted into a paraline coating apparatus (not shown), and a paraline coating process (S60) of paraline coating by vacuum deposition is performed.
여기서, 상기 패럴린 코팅 공정(S60)에서 사용되는 패럴린 재료는, 예를 들어 패럴린(Parylene) C를 사용하며, 코팅막의 두께는 1㎛ ~ 200㎛범위 이내에서 코팅을 실시하는 것이 바람직하다.Here, the paraline material used in the paraline coating process (S60), for example, using a parylene (Parylene) C, the thickness of the coating film is preferably carried out within the range of 1㎛ ~ 200㎛. .
상기 패럴린 코팅 공정(S60)이 완료되면, 패럴린 코팅막이 형성된 스테인레스 배관(1) 및 스테인레스 부품을 열반응시키는 열반응 공정(S70)을 실시한다. When the paraline coating process (S60) is completed, a thermal reaction process (S70) for thermally reacting the stainless pipe 1 and the stainless component on which the paraline coating film is formed is performed.
상기 열반응 공정(S70)은, 스테인레스 배관(1)과 패럴린막 사이의 프라이머를 활성화시키기 위한 공정으로 프라이머를 활성화시킴으로써, 스테인레스 배관(1)과 코팅막간의 밀착력을 한층 높이는 촉매작용을 하게 된다. In the thermal reaction step (S70), by activating the primer in a step for activating the primer between the stainless pipe 1 and the paraline film, the catalytic action to further enhance the adhesion between the stainless pipe 1 and the coating film.
상기 열반응 공정(S70)은, 30 ~ 150℃까지 30분 ~ 300분 실시하며, 상기 모든 공정이 완료되면 상기 패럴린 코팅막 층(3)이 형성된 상기 스테인레스 배관(1) 및 스테인레스 배관 부품은 우수한 내부식성을 가진 제품이 된다.The thermal reaction step (S70) is carried out for 30 to 300 minutes to 30 ~ 150 ℃, when all the process is completed, the stainless steel pipe (1) and the stainless steel pipe parts having the parallel coating layer (3) is excellent It is a product with corrosion resistance.
상술한 바와 같이, 본 발명은 반도체설비, LED 증착 설비(Epi 설비) 등에 사용되는 부식성 가스 및 부식성 가스들을 중화시키는 진공 장치에 사용되는 스테인레스 배관 및 스테인레스 배관 부품의 부식을 방지할 수 있게 된다.
As described above, the present invention can prevent corrosion of stainless pipes and stainless pipe parts used in vacuum devices for neutralizing corrosive gases and corrosive gases used in semiconductor equipment, LED deposition equipment (Epi equipment) and the like.
이상, 전술한 본 발명의 바람직한 실시예는, 예시의 목적을 위해 개시된 것으로, 당업자라면, 이하 첨부된 특허청구범위에 개시된 본 발명의 기술적 사상과 그 기술적 범위 내에서, 또 다른 다양한 실시예들을 개량, 변경, 대체 또는 부가 등이 가능할 것이다.
As mentioned above, preferred embodiments of the present invention described above are disclosed for the purpose of illustration, and those skilled in the art can improve other various embodiments within the spirit and technical scope of the present invention disclosed in the appended claims below. Changes, substitutions or additions will be possible.
1: 스테인레스 배관 2: 프라이머 층
3: 패럴린 코팅 층 4: 샌딩 처리된 배관 표면
10: 진공 챔버 20: 진공 펌프
30: 가스 정화장치 32: 가스 배기부
40: 1차 진공 배관 42: 2차 진공 배관1: stainless steel piping 2: primer layer
3: parallel coating layer 4: sanded pipe surface
10: vacuum chamber 20: vacuum pump
30: gas purifier 32: gas exhaust
40: primary vacuum piping 42: secondary vacuum piping
Claims (4)
상기 샌딩 공정이 완료되면 스테인레스 배관 표면에 묻어 있는 샌딩 가루를 물, 이소프로필알콜(IPA), 에탄올, 아세톤을 이용하여 제거하는 세정 공정;
상기 세정 공정 이후, 열건조로에서 30 ~ 150℃로 10분 ~ 200분간 열건조를 실시하여 스테인레스 배관 표면에 묻어 있는 액체 성분을 제거하는 열건조 공정;
상기 열건조 공정이 완료되면, 냉각작업을 실시하여 스테인레스 배관의 표면 온도를 낮추는 냉각 공정;
상기 냉각 공정이 완료되면, 스테인레스 배관과 패럴린 코팅막간의 밀착력을 높일 수 있는 용매를 프라이머로 이용하여 표면처리를 실시하는 표면처리 공정;
상기 표면처리 공정이 완료되면, 패럴린 코팅장치에 스테인레스 배관 및 스테인레스 부품들을 삽입하고 진공 증착에 의한 패럴린 코팅을 수행하는 패럴린 코팅 공정; 및
상기 패럴린 코팅 공정이 완료되면, 패럴린 코팅막이 형성된 스테인레스 배관 및 스테인레스 부품을 열반응시키는 공정을 실시하는 열반응 공정;을 포함하는 스테인레스 배관의 부식 방지를 위한 패럴린 코팅방법.
A sanding process of sanding through sand blasting or blast blasting to increase adhesion by removing foreign matter, oxide film, and roughening the surface of the stainless pipe;
A washing step of removing sanding powder on the surface of the stainless pipe by using water, isopropyl alcohol (IPA), ethanol, and acetone when the sanding process is completed;
After the cleaning step, the heat drying step of removing the liquid component on the surface of the stainless steel pipe by heat drying at 30 ~ 150 ℃ 10 minutes to 200 minutes in a heat drying furnace;
A cooling process of lowering the surface temperature of the stainless pipe by performing a cooling operation when the heat drying process is completed;
When the cooling step is completed, the surface treatment step of performing a surface treatment using a solvent that can increase the adhesion between the stainless steel pipe and the parallel coating film as a primer;
When the surface treatment process is completed, a parallel coating process for inserting the stainless steel pipes and stainless parts in the parallel coating apparatus and performing the parallel coating by vacuum deposition; And
The paraline coating method for preventing corrosion of the stainless pipe, including; when the paraline coating process is completed, a thermal reaction process for performing a step of thermally reacting the stainless steel pipe and the stainless component formed with the paraline coating film.
상기 표면처리 공정에서 사용되는 프라이머의 구성비는,
프라이머 100 중량%에 대하여 헵탄(Heptane, C7H16) 90 ~ 98 중량%,
알릴트리메톡시실란(Allyltrimethoxysilane, CH2=CHCH2Si(OCH3)3) 1 ~ 5 중량%,
테트라부틸 타이터네이트(Tetrabutyl titanate, Ti(OC4H9)4) 1 ~ 5 중량%인 것을 특징으로 하는 스테인레스 배관의 부식 방지를 위한 패럴린 코팅방법.
The method of claim 1,
The composition ratio of the primer used in the surface treatment step,
90 to 98% by weight heptane (Heptane, C7H16) based on 100% by weight primer,
Allyltrimethoxysilane (CH2 = CHCH2Si (OCH3) 3) 1-5 wt%,
Tetrabutyl titanate (Tetrabutyl titanate, Ti (OC4H9) 4) 1 to 5% by weight of the parallel coating method for corrosion protection of stainless pipes.
상기 패럴린 코팅 공정에서 사용되는 패럴린 재료는,
패럴린(Parylene) C를 사용하며,
코팅막의 두께는 1 ~ 200㎛범위 이내에서 코팅을 실시하는 것을 특징으로 하는 스테인레스 배관의 부식 방지를 위한 패럴린 코팅방법.
The method according to claim 1 or 2,
The paraline material used in the paraline coating process,
Use Parylene C,
The thickness of the coating film is a parallel coating method for preventing corrosion of stainless steel pipes, characterized in that the coating is performed within the range of 1 ~ 200㎛.
상기 열반응 공정은,
30 ~ 150℃까지 30분 ~ 300분 실시하며, 스테인레스와 패럴린막 사이의 프라이머를 활성화시키기 위한 공정으로, 프라이머를 활성화시켜 스테인레스 배관 표면과 코팅막간의 밀착력을 높이는 촉매작용을 하는 것을 특징으로 하는 스테인레스 배관의 부식 방지를 위한 패럴린 코팅방법.The method of claim 3, wherein
The thermal reaction step,
30 minutes to 300 minutes to 30 ~ 150 ℃, a process for activating the primer between the stainless steel and the paraline film, by activating the primer to increase the adhesion between the surface of the stainless steel pipe and the coating film, characterized in that the stainless pipe Parallel coating method to prevent corrosion.
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