KR100902881B1 - An Apparatus For Opening Mask Shipping Box - Google Patents

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Abstract

본 발명은 마스크 운반박스 개방장치에 관한 것으로서, 마스크 운반박스가 장착되는 마스크 운반박스 스테이지, 상기 마스크 운반박스 스테이지 양측에 한 쌍이 설치되고, 상기 마스크 운반박스의 본체 양측면을 압착하여 상기 마스크 운반박스의 커버와 본체와의 결합을 해제하는 압착 실린더 및 상기 마스크 운반박스 이송부의 상부에 승강가능하도록 설치되고, 상기 본체와의 결합이 해제된 커버를 흡착하여 상부로 이동시키는 커버 개방부를 포함하는 것을 특징으로 한다.The present invention relates to a mask carrying box opening device, wherein a pair of mask carrying box stages on which a mask carrying box is mounted, and a pair are installed on both sides of the mask carrying box stage, are pressed on both sides of the main body of the mask carrying box, It is installed so as to be elevated on the upper portion of the compression cylinder and the mask transport box transfer unit for releasing the coupling of the cover and the main body, characterized in that it comprises a cover opening for adsorbing and moving the cover released from the coupling to the upper portion do.

상기와 같은 본 발명에 따르면, 마스크 운반박스의 유형에 관계없이 마스크 운반박스를 기계적으로 개방할 수 있도록 함으로써 마스크 처리 공정을 자동화할 수 있도록 함으로써 생산성을 현저하게 향상시킬 수 있는 효과가 있다. According to the present invention as described above, regardless of the type of the mask transport box by allowing the mask transport box to be mechanically open, it is possible to automate the mask processing process to thereby significantly improve the productivity.

반도체, 자재, 마스크, 레티클, 운반박스, 개방. Semiconductor, material, mask, reticle, carrying box, opening.

Description

마스크 운반박스 개방장치{An Apparatus For Opening Mask Shipping Box}An Apparatus For Opening Mask Shipping Box}

본 발명은 반도체용 마스크의 운반박스를 개방하는 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 마스크를 수납하는 마스크 운반박스의 유형에 관계없이 마스크 운반박스를 기계적으로 개방할 수 있도록 함으로써 마스크 처리 공정을 자동화할 수 있도록 하는 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for opening a carrying box of a semiconductor mask, and more particularly, to automatically open a mask carrying box regardless of the type of a mask carrying box accommodating the mask. It relates to a device that allows.

레티클(Reticle)은 웨이퍼 상에 포토 레지스트 패턴을 형성하기 위한 마스크로서, 석영 기판 및 패턴을 한정하는 불투명 패턴(혹은 위상 반전 패턴)을 구비할 수 있다. 이러한 레티클은 노광 장비에서 광원과 렌즈 사이에 위치하여, 웨이퍼에 회로 형상을 전사하기 위해 사용된다.The reticle is a mask for forming a photoresist pattern on the wafer, and may include a quartz substrate and an opaque pattern (or phase reversal pattern) defining the pattern. This reticle is located between the light source and the lens in the exposure equipment and used to transfer the circuit shape to the wafer.

레티클은 포토 레지스트 패턴이 형성된 것으로서 패턴이 형성되기 전의 자재를 마스크라고 한다. 이러한 마스크는 마스크 운반박스에 복수 개가 수납된 상태로 취급되고, 작업자가 마스크 운반박스를 수작업으로 개방한 후 수납된 마스크를 꺼내 파드(POD)에 장착하게 된다.The reticle is formed with a photoresist pattern, and the material before the pattern is formed is called a mask. Such a mask is handled in a state where a plurality of masks are stored in a mask carrying box, and a worker opens the mask carrying box by hand and then takes out the stored mask and mounts it on the pod (POD).

마스크는 상면에 패턴 형성을 위한 크롬면이 형성되어 있으며, 파드의 장착 시 작업자가 크롬면을 확인하여 크롬면이 상면이 되도록 마스크를 파드에 장착하게 된다.The mask has a chrome surface for pattern formation on the top surface, and when the pod is mounted, the operator checks the chrome surface and mounts the mask on the pod so that the chrome surface becomes the top surface.

즉, 종래에는 마스크를 처리하는 각 공정이 자동화되어 있지 못하여 수동적으로 이루어짐으로써 생산성이 저하되는 문제점이 있었다.That is, in the related art, each process of processing the mask is not automated, and thus there is a problem in that productivity is lowered by being made manually.

특히, 마스크 운반박스는 본 발명의 상세한 설명에서 후술하는 바와 같이 제조사마다 형태와 구조가 상이하여 자동화에 심각한 장애 요인이 되고 있다.In particular, the mask transport box has a different shape and structure for each manufacturer as described below in the detailed description of the present invention, which is a serious obstacle to automation.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 마스크 운반박스의 유형에 관계없이 마스크 운반박스를 기계적으로 개방할 수 있도록 함으로써 마스크 처리 공정을 자동화할 수 있도록 함으로써 생산성을 현저하게 향상시킬 수 있도록 하는 것이다.The present invention has been made to solve the above problems, an object of the present invention is to increase the productivity by allowing the mask carrying box to be mechanically opened regardless of the type of the mask carrying box to automate the mask processing process. It is to be able to improve significantly.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일측면에 따르면, 마스크 운반박스가 장착되는 마스크 운반박스 스테이지, 상기 마스크 운반박스 스테이지 양측에 한 쌍이 설치되고, 상기 마스크 운반박스의 본체 양측면을 압착하여 상기 마스크 운반박스의 커버와 본체와의 결합을 해제하는 압착 실린더 및 상기 마스크 운반박스 이송부의 상부에 승강가능하도록 설치되고, 상기 본체와의 결합이 해제된 커버를 흡착하여 상부로 이동시키는 커버 개방부를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 운반박스 개방장치가 제공된다.According to an aspect of the present invention for achieving the above object, a pair is provided on both sides of the mask carrying box stage, the mask carrying box stage, the mask carrying box is mounted, the pressing of both sides of the main body of the mask carrying box A compression cylinder for releasing the coupling between the cover and the main body of the mask carrying box and a cover opening part installed on the upper portion of the mask carrying box transfer part to be liftable and absorbing the cover from which the coupling with the main body is released are moved upward. Provided is a mask carrying box opening device.

여기서, 상기 압착 실린더의 선단에는 상방으로 회동가능하도록 힌지결합되는 후크부재가 설치되는 것이 바람직하다.Here, it is preferable that a hook member hinged to be rotatable upward is provided at the front end of the compression cylinder.

또한, 상기 커버 개방부는 상기 커버를 흡착하는 흡착부, 상기 흡착부의 양측에 결합되어 상기 흡착부의 커버 흡착시 충격을 흡수하고 상기 커버의 균형을 유지하기 위한 완충부 및 상기 흡착부 및 완충부를 승강시키는 승강 실린더를 포함하 는 것이 보다 바람직하다.In addition, the cover opening portion is coupled to the adsorption portion for adsorbing the cover, both sides of the adsorption portion to absorb the shock during the adsorption of the cover of the adsorption portion and to raise and lower the buffer portion and the adsorption portion and the buffer portion for maintaining the balance of the cover More preferably, it includes a lifting cylinder.

또한, 상기 운반박스 스테이지를 전후 이송하는 운반박스 이송부가 더 포함되고, 상기 운반박스 이송부는 상면부에 가이드 레일이 설치된 베이스 플레이트, 상기 베이스 플레이트의 일측에 설치되는 모터, 상기 모터와 축결합되어 상기 모터에 연동하여 회전하는 벨트부재, 일측이 상기 벨트부재에 취부되는 연결블록 및 일측이 상기 연결블록의 타측에 연결되어 상기 가이드 레일 상을 전후진이동하고, 상부면에 상기 마스크 운반박스가 안착되는 마스크 운반박스 스테이지를 포함하여 구성되는 것이 더욱 바람직하다.In addition, the transport box transfer unit further includes a transport box transport unit for forward and backward, the transport box transport unit is a base plate with a guide rail is installed on the upper surface, a motor installed on one side of the base plate, the shaft coupled to the motor Belt member that rotates in conjunction with the motor, one side is connected to the connecting block and the other side of the belt member is connected to the other side of the connecting block to move forward and backward on the guide rail, the mask carrying box is seated on the upper surface More preferably, it comprises a mask carrying box stage.

상기와 같은 본 발명에 따르면, 마스크 운반박스의 유형에 관계없이 마스크 운반박스를 기계적으로 개방할 수 있도록 함으로써 마스크 처리 공정을 자동화할 수 있도록 함으로써 생산성을 현저하게 향상시킬 수 있는 효과가 있다. According to the present invention as described above, regardless of the type of the mask transport box by allowing the mask transport box to be mechanically open, it is possible to automate the mask processing process to thereby significantly improve the productivity.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예를 상세하게 설명하기로 한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment of the present invention.

도 1a 및 도 1b는 본 발명에 따른 마스크 운반박스 개방장치를 도시한 것으로서, 도 1a는 마스크 운반박스의 개방 전, 도 1b는 마스크 운반박스의 개방 후의 상태를 도시한 것이다.1A and 1B illustrate a mask carrying box opening apparatus according to the present invention, and FIG. 1A shows a state before opening of the mask carrying box, and FIG. 1B shows a state after opening of the mask carrying box.

도 1a 및 도 1b에 도시된 바와 같이, 마스크 운반박스 개방부(40)는 한 쌍의 지지대(41)의 일측에 압착 실린더(46)가 설치되고 한 쌍의 지지대(41)의 상부에 가로대(42)가 설치되며, 가로대(42)의 중앙부에 하방으로 커버 개방부가 설치된 구조를 갖는다.As shown in FIGS. 1A and 1B, the mask carrying box opening 40 has a crimping cylinder 46 installed on one side of the pair of supports 41 and a cross bar on the top of the pair of supports 41. 42 is provided, and the cover opening is installed downward in the center of the crosspiece 42.

한 쌍의 지지대(41)의 사이 공간에 마스크 운반박스(9)가 위치하게 되며, 도면에서는 생략되어 있으나, 마스크 운반박스(9)는 마스크 운반박스 스테이지(15) 상에 안착된 상태이다.The mask carrying box 9 is positioned in the space between the pair of supports 41, and is omitted in the drawing, but the mask carrying box 9 is seated on the mask carrying box stage 15.

압착 실린더(46)는 각 지지대(41)에 한 쌍이 설치되어 마스크 운반박스(9)의 본체(9b) 양측면을 압착하여 마스크 운반박스(9)의 커버(9a)와 본체(9b)와의 결합을 해제한다.A pair of pressing cylinders 46 are installed on each support 41 to compress both sides of the main body 9b of the mask carrying box 9 so as to couple the cover 9a and the main body 9b of the mask carrying box 9 to each other. Release it.

압착 실린더(46)의 로드 선단에는 상방으로 회동가능하도록 힌지결합된 후크 부재(47)가 설치되어 있다. 후크 부재(47)는 마스크 운반박스(9)의 형태가 제조회사마다 형태가 상이하여 개방 방식이 서로 상이한 점에 착안하여 마스크 운반박스(9)의 형태에 관계없이 마스크 운반박스(9)를 개방할 수 있도록 하기 위한 것으로서 이에 대해서는 도 2 및 3에서 상세하게 설명하기로 한다.The rod end of the crimping cylinder 46 is provided with the hook member 47 hinged so that upward rotation is possible. The hook member 47 focuses on the fact that the shape of the mask carrying box 9 is different from one manufacturer to another, so that the opening of the mask carrying box 9 is open regardless of the shape of the mask carrying box 9. This will be described in detail with reference to FIGS. 2 and 3.

커버 개방부는 하방으로 설치되어 로드(43a)가 승강하는 승강 실린더(43), 로드(43a)에 연결되고 하부에 흡착패드(미도시)가 형성된 흡착부(44) 및 흡착부(44)의 양측에 설치되어 커버(9a) 흡착 시의 충격을 완화하고 커버(9a)의 균형을 유지하기 위한 완충부(45)를 포함하여 구성된다. 완충부(45)는 고무패드 등의 탄성을 갖는 완충부재가 사용될 수 있다.The cover opening is installed downward, and both sides of the suction cylinder 43 and the suction unit 44 connected to the lifting cylinder 43 to which the rod 43a is lifted and connected to the rod 43a and having a suction pad (not shown) at the bottom thereof. The shock absorber 45 is configured to include a shock absorbing portion 45 for mitigating the shock during adsorption of the cover 9a and maintaining the balance of the cover 9a. As the shock absorbing portion 45, a shock absorbing member having elasticity such as a rubber pad may be used.

마스크 운반박스 스테이지(15)가 한 쌍의 압착 실린더(46)의 사이로 이동하면 압착 실린더(46)의 로드가 전진하여 본체(9b)의 양측면을 압착하게 되고, 그에 따라 본체(9b)와 커버(9a) 간의 결합이 해제되면 승강 실린더(43)의 로드(43a)가 하강하게 되고, 흡착부(44)의 흡착력에 의해 커버(9a)가 흡착되며, 승강 실린더(43)의 로드(43a)가 다시 상승하면서 도 3b와 같이 커버(9a)가 개방되게 된다.When the mask carrying box stage 15 moves between the pair of crimping cylinders 46, the rod of the crimping cylinder 46 is advanced to compress both sides of the main body 9b, and thus the main body 9b and the cover ( When the coupling between 9a is released, the rod 43a of the lifting cylinder 43 is lowered, the cover 9a is sucked by the suction force of the suction unit 44, and the rod 43a of the lifting cylinder 43 is While rising again, the cover 9a is opened as shown in FIG. 3b.

도 2a ~ 2d는 제 1 유형의 마스크 운반박스의 개방 과정을 도시한 부분 확대 단면도이다.2A to 2D are partially enlarged cross-sectional views illustrating an opening process of a first type mask carrying box.

도 2a ~ 2d에 도시된 마스크 운반박스(9)는 SHINETSU사에서 생산하는 유형으로서 본체(9b)의 상단에 내측으로 함몰 형성되는 홈부(9c)가 형성되고, 커버(9a)의 하단에는 홈부(9c)에 걸림결합되는 걸림돌기(9d)가 형성되는 구조를 갖는다.The mask carrying box 9 shown in FIGS. 2A to 2D is a type produced by SHINETSU Co., and has a groove portion 9c formed inwardly at an upper end of the main body 9b, and a groove portion (9) at the lower end of the cover 9a. It has a structure in which the engaging projection (9d) is engaged to 9c) is formed.

도 2a에 도시된 바와 같이, 압착 실린더(46)의 로드가 전진하면 로드 선단의 후크 부재(47)가 홈부(9c)의 벽면에 닿게 되고, 그 상태에서 로드가 더 전진하면 도 2b와 같이 후크 부재(47)가 상방으로 꺾이면서 회동하게 되고, 그에 따라 도 2c와 같이 후크 부재(47)가 커버(9a)의 걸림돌기(9d)를 외측으로 밀어내면서 커버(9a)와 본체(9d) 간의 걸림결합이 해제되게 된다. 이 때, 흡착부(44)가 커버(9a)의 상면을 흡착한 상태에서 승강 실린더(43)의 로드(43a)가 상승하면서 커버(9a)가 개방되게 된다.As shown in FIG. 2A, when the rod of the compression cylinder 46 is advanced, the hook member 47 at the tip of the rod comes into contact with the wall surface of the groove 9c. In this state, when the rod is further advanced, the hook is as shown in FIG. 2B. The member 47 is rotated upwards, and as a result, the hook member 47 pushes the latching projection 9d of the cover 9a outward as shown in FIG. The engagement is released. At this time, the cover 9a is opened while the rod 43a of the elevating cylinder 43 ascends in the state where the adsorption | suction part 44 adsorb | sucked the upper surface of the cover 9a.

도 3은 제 2 유형의 마스크 운반박스의 개방 방식을 도시한 부분 확대 단면 도이다.3 is a partially enlarged cross-sectional view illustrating an opening manner of a second type of mask carrying box.

도 3에 도시된 마스크 운반박스(9)는 S&S사, HOYA사 등에서 생산하는 유형으로서 커버(9a)의 하단에 결합홈(9f)이 형성되고 그에 대응되는 본체(9b)의 위치에는 결합돌기(9e)가 형성되어 결합돌기(9e)가 결합홈(9f)에 결합되는 구조를 취하고 있으며, 결합돌기(9e)와 결합홈(9f)가 제 1 유형의 마스크 운반박스(9)의 홈부(9c)보다 높은 위치에 형성된다.The mask carrying box 9 shown in FIG. 3 is a type produced by S & S, HOYA, etc., and a coupling groove 9f is formed at the lower end of the cover 9a, and the coupling protrusion 9 is formed at the position of the main body 9b corresponding thereto. 9e is formed so that the engaging projection 9e is coupled to the engaging groove 9f, and the engaging projection 9e and the engaging groove 9f are the groove portions 9c of the mask transport box 9 of the first type. Formed at a position higher than).

따라서, 이러한 유형의 경우에는 도 3에 도시된 바와 같이, 압착 실린더(46)의 로드가 전진하면 로드 선단의 후크 부재(47)가 본체(9b)의 벽면에 닿게 되고, 그 상태에서 로드가 더 전진하면 후크 부재(47)가 상방으로 꺾이면서 최대 회동위치까지 회동된 상태에서 후크 부재(47)의 배면부가 본체(9b)의 벽면을 압착하게 되고, 그에 따라 결합돌기(9e)가 결합홈(9f) 간의 결합이 해제된다. 이때, 흡착부(44)가 커버(9a)의 상면을 흡착한 상태에서 승강 실린더(43)의 로드(43a)가 상승하면서 커버(9a)가 개방되게 된다.Therefore, in this type of case, as shown in Fig. 3, when the rod of the pressing cylinder 46 is advanced, the hook member 47 at the tip of the rod comes into contact with the wall surface of the main body 9b, and the rod is further in that state. When the hook member 47 is rotated upward while the hook member 47 is rotated to the maximum rotational position, the rear portion of the hook member 47 compresses the wall surface of the main body 9b, and thus the engaging protrusion 9e is engaged with the coupling groove ( The coupling between 9f) is released. At this time, the cover 9a is opened while the rod 43a of the elevating cylinder 43 is raised in the state in which the adsorption part 44 adsorb | sucks the upper surface of the cover 9a.

즉, 본 발명에서 압착 실린더(46)의 선단에 형성된 후크 부재(47)에 의해 하나의 장치로서 현재 유통 중인 2가지 유형의 마스크 운반박스(9)를 모두 개방하는 것이 가능하게 된다.That is, in the present invention, it is possible to open both types of mask carrying boxes 9 currently in circulation as a device by the hook member 47 formed at the tip of the crimping cylinder 46.

도 4a 및 4b는 본 발명에 따른 마스크 운반박스 개방장치가 적용될 수 있는 파드 교환 장치를 도시한 것으로서, 도 4a는 마스크 운반박스의 초기 로딩 동작을 도시한 것이고, 도 4b는 마스크 로딩부가 마스크를 내부로 반입하는 동작을 도시한 것이다.4A and 4B illustrate a pod exchange apparatus to which a mask transport box opening device according to the present invention can be applied, and FIG. 4A shows an initial loading operation of the mask transport box, and FIG. 4B shows a mask loading part inside the mask. It shows the operation to import to.

도 4a 및 4b에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 마스크 운반박스 개방장치에 의하면 각 유형의 마스크 운반박스(9)를 기계적으로 개방하는 것이 가능하므로 이러한 장치를 이용하여 마스크(M)를 마스크 운반박스(9)로부터 반출하여 파드(5)에 장착하는 파드 교환장치를 제공하는 것이 가능하다.As shown in Figs. 4A and 4B, the mask carrying box opening device according to the present invention makes it possible to mechanically open each type of mask carrying box 9 so that the mask carrying the mask M is carried out using such a device. It is possible to provide a pod exchange device which is carried out from the box 9 and attached to the pod 5.

이러한 파드 교환장치는 박스 형상의 구조물로서 상단에 유해가스 차단을 위한 화학적 필터(7)가 설치되고 그 하단에 팬 필터 유닛(8)이 설치되어 있다.The pod exchange device is a box-shaped structure, and a chemical filter 7 for blocking harmful gas is installed at the top and a fan filter unit 8 is installed at the bottom thereof.

팬 필터 유닛(8)의 하부에는 마스크 운반박스(9)에 부착된 바코드를 판독하는 바코드 판독부(20), 마스크 운반박스(9)를 전후진 이동시키는 마스크 운반박스 이송부(10), 본 발명에 따른 마스크 운반박스 개방장치(40), 마스크(M)를 파지하는 마스크 파지부(50), 마스크(M)의 크롬면을 감지하는 크롬면 감지부(60) 및 마스크(M)를 파드(5)에 장착하는 마스크 로딩부(70)가 설치되어 있다.The lower part of the fan filter unit 8, the barcode reading unit 20 for reading the barcode attached to the mask transport box 9, the mask transport box transport unit 10 for moving the mask transport box 9 forward and backward, the present invention According to the mask carrying box opening device 40, the mask holding portion 50 for holding the mask (M), the chrome surface detection unit 60 for detecting the chrome surface of the mask (M) and the mask (M) The mask loading part 70 attached to 5) is provided.

마스크 운반박스 이송부(10), 마스크 운반박스 개방장치(40), 마스크 파지부(50) 및 크롬면 감지부(60)의 구성은 도 4b의 A 부분의 확대 사시도인 도 5a와 A 부분의 측면도인 도 5b에 잘 도시되어 있다.The configuration of the mask carrying box conveying unit 10, the mask carrying box opening device 40, the mask holding unit 50, and the chrome surface detecting unit 60 is a side view of FIGS. 5A and A which are enlarged perspective views of part A of FIG. 4B. Is well illustrated in FIG. 5B.

도 5a 및 도 5b를 참조하면, 마스크 운반박스 이송부(10)는 상면부에 가이드 레일(12)이 설치된 베이스 플레이트(11), 베이스 플레이트(11)의 일측에 설치되어 회전력을 제공하는 모터(13), 모터(13)와 풀리 결합되어 모터(13)에 연동하여 회전하는 벨트부재(14), 일측이 벨트부재(14)에 취부되는 연결 블록(16) 및 상 일측이 연결 블록(16)의 타측에 결합되어 가이드 레일(12) 상을 전후진이동하고, 상부면에 마스크 운반박스(9)가 안착되는 마스크 운반박스 스테이지(15)를 포함하여 구성된다.Referring to FIGS. 5A and 5B, the mask transport box transfer unit 10 may include a base plate 11 having a guide rail 12 installed on an upper surface thereof, and a motor 13 installed on one side of the base plate 11 to provide rotational force. ), The belt member 14 is coupled to the motor 13 and rotated in conjunction with the motor 13, a connection block 16 mounted on one side of the belt member 14, and an upper side of the connection block 16. It is configured to include a mask carrying box stage 15 is coupled to the other side to move forward and backward on the guide rail 12, the mask carrying box 9 is seated on the upper surface.

마스크 운반박스 개방부(40)의 후단에는 커버(9a)가 개방된 마스크 운반박스(9)로부터 마스크(M)를 반출하여 크롬 감지부(60)로 이송하는 마스크 파지부(50)가 설치되어 있다. 마스크 파지부(50)는 마스크(M)를 파지하는 2개의 그립암(55)이 설치되어 있다.At the rear end of the mask carrying box opening 40, a mask holding part 50 for carrying out the mask M from the mask carrying box 9 with the cover 9a open to the chrome detecting unit 60 is installed. have. The mask grip part 50 is provided with two grip arms 55 holding the mask M. As shown in FIG.

크롬 감지부(60)는 마스크 운반박스 스테이지(15)의 후단에 일체로 형성되어 마스크 마스크 운반박스 스테이지(15)에 동반하여 전후진하고, 마스크(M)에 빛을 조사하여 마스크(M)로부터 반사되는 빛의 반사율을 측정하여 크롬면을 감지하게 된다. 즉, 마스크(M)에서 크롬 패턴이 형성된 크롬면과 크롬 패턴이 형성되어 있지 않은 유리면은 반사율이 상이하므로 전면과 후면의 각 수광센서(64b)에서 감지되는 빛의 세기가 달라지는 현상을 이용하여 크롬면을 감지하게 된다.The chrome detecting unit 60 is integrally formed at the rear end of the mask carrying box stage 15, and moves forward and backward with the mask carrying box stage 15, and irradiates light to the mask M to reflect from the mask M. The chrome surface is detected by measuring the reflectance of light. That is, since the chromium surface on which the chrome pattern is formed and the glass surface on which the chromium pattern is not formed are different in the mask M, the chromium surface is changed by using a phenomenon in which the intensity of light detected by each light receiving sensor 64b of the front and rear surfaces is different. It will detect the face.

마스크 로딩부(70)는 크롬 감지부(60)에 위치한 마스크(M)를 파지한 후 크롬면이 상방을 향하도록 마스크(M)를 플립한 후 파드(5)에 장착하는 것으로서, 통상의 로드포트와 달리 내부에 크롬 감지부(60)로부터 마스크(M)를 이송시키기 위한 이송암(71)이 형성되어 있다. 이러한 마스크 로딩부(70)의 구조는 본 출원인의 선등록특허 제10-717988호에 상세하게 개시되어 있으므로 상세한 설명은 생략하기로 한다. The mask loading unit 70 mounts the pod 5 after flipping the mask M so that the chrome surface faces upward after holding the mask M located in the chromium sensing unit 60. Unlike the port, a transfer arm 71 for transferring the mask M from the chromium sensing unit 60 is formed therein. Since the structure of the mask loading unit 70 is disclosed in detail in the applicant's patent registration No. 10-717988, detailed description thereof will be omitted.

비록 본 발명이 상기 언급된 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정이나 변형을 하는 것이 가능하다. 따라서 첨부된 특허청구의 범위는 본 발명의 요지에서 속하는 이러한 수정이나 변형을 포함할 것이다.Although the present invention has been described in connection with the above-mentioned preferred embodiments, it is possible to make various modifications or variations without departing from the spirit and scope of the invention. Accordingly, the appended claims will cover such modifications and variations as fall within the spirit of the invention.

도 1a 및 도 1b는 본 발명에 따른 마스크 운반박스 개방장치를 도시한 것으로서, 도 1a는 마스크 운반박스의 개방 전, 도 1b는 마스크 운반박스의 개방 후의 상태를 도시한 것이다.1A and 1B illustrate a mask carrying box opening apparatus according to the present invention, and FIG. 1A shows a state before opening of the mask carrying box, and FIG. 1B shows a state after opening of the mask carrying box.

도 2a ~ 2d는 제 1 유형의 마스크 운반박스의 개방 과정을 도시한 부분 확대 단면도이다.2A to 2D are partially enlarged cross-sectional views illustrating an opening process of a first type mask carrying box.

도 3은 제 2 유형의 마스크 운반박스의 개방 방식을 도시한 부분 확대 단면도이다.3 is a partially enlarged cross-sectional view illustrating an opening manner of a second type of mask carrying box.

도 4a 및 4b는 본 발명에 따른 마스크 운반박스 개방장치가 적용될 수 있는 파드 교환 장치를 도시한 것으로서, 도 4a는 마스크 운반박스의 초기 로딩 동작을 도시한 것이고, 도 4b는 마스크 로딩부가 마스크를 내부로 반입하는 동작을 도시한 것이다.4A and 4B illustrate a pod exchange apparatus to which a mask transport box opening device according to the present invention can be applied, and FIG. 4A shows an initial loading operation of the mask transport box, and FIG. 4B shows a mask loading part inside the mask. It shows the operation to import to.

도 5a는 도 4b의 A부분의 확대 사시도이고 도 5b는 A 부분의 측면도이다.FIG. 5A is an enlarged perspective view of portion A of FIG. 4B and FIG. 5B is a side view of portion A;

<주요도면부호에 관한 설명><Description of main drawing code>

5 : 파드 9 : 마스크 운반박스5: Pod 9: Mask Carrying Box

10 : 마스크 운반박스 이송부 11 : 베이스 플레이트10: mask transport box transfer unit 11: base plate

12 : 가이드 레일 13 : 모터12: guide rail 13: motor

14 : 벨트부재 15 : 마스크 운반박스 스테이지14 belt member 15 mask carrying box stage

16 : 결합블록 20 : 바코드 판독부16: coupling block 20: barcode reading unit

40 : 마스크 운반박스 개방부 41 : 지지대40: mask carrying box opening 41: support

42 : 가로대 43 : 승강 실린더42: crosspiece 43: lifting cylinder

44 : 흡착부 45 : 완충부44: adsorption part 45: buffer part

46 : 압착 실린더 47 : 후크부46: compression cylinder 47: hook portion

50 : 마스크 파지부 60 : 크롬면 감지부50: mask holding part 60: chrome surface detection unit

70 : 마스크 로딩부 72 : 이송암70: mask loading portion 72: transfer arm

M : 마스크M: Mask

Claims (5)

마스크 운반박스가 장착되는 마스크 운반박스 스테이지;A mask carrying box stage to which the mask carrying box is mounted; 상기 마스크 운반박스 스테이지 양측에 한 쌍이 설치되고, 상기 마스크 운반박스의 본체 양측면을 압착하여 상기 마스크 운반박스의 커버와 본체와의 결합을 해제하는 압착 실린더; 및A pair of compression cylinders installed on both sides of the mask carrying box stage and pressing the both sides of the main body of the mask carrying box to release the coupling between the cover and the main body of the mask carrying box; And 상기 마스크 운반박스 이송부의 상부에 승강가능하도록 설치되고, 상기 본체와의 결합이 해제된 커버를 흡착하여 상부로 이동시키는 커버 개방부를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 운반박스 개방장치.The mask transport box opening device is installed so as to be elevated on the upper portion of the mask transport box transfer portion, and comprises a cover opening for adsorbing the cover is released from the main body to move to the top. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 압착 실린더의 로드 선단에는 상방으로 회동가능하도록 힌지결합되는 후크부재가 설치되는 것을 특징으로 하는 마스크 운반박스 개방장치.The mask transport box opening device, characterized in that the hook member is hinged to the rod end of the compression cylinder to be pivotable upward. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 커버 개방부는The cover opening is 상기 커버를 흡착하는 흡착부;An adsorption unit for adsorbing the cover; 상기 흡착부의 양측에 결합되어 상기 흡착부의 커버 흡착시 충격을 흡수하고 상기 커버의 균형을 유지하기 위한 완충부; 및A buffer unit coupled to both sides of the adsorption unit to absorb an impact during adsorption of the cover of the adsorption unit and to maintain the balance of the cover; And 상기 흡착부 및 완충부를 승강시키는 승강 실린더를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 운반박스 개방장치.And a lift cylinder for lifting and lowering the suction part and the buffer part. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 운반박스 스테이지를 전후 이송하는 운반박스 이송부가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 마스크 운반박스 개방장치.The mask transport box opening device, characterized in that the transport box further comprises a transport box for transporting the transport box stage forward and backward. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 운반박스 이송부는The transport box transfer unit 상면부에 가이드 레일이 설치된 베이스 플레이트;A base plate having a guide rail installed on an upper surface thereof; 상기 베이스 플레이트의 일측에 설치되는 모터;A motor installed at one side of the base plate; 상기 모터와 축결합되어 상기 모터에 연동하여 회전하는 벨트부재;A belt member axially coupled with the motor to rotate in conjunction with the motor; 일측이 상기 벨트부재에 취부되는 연결블록; 및A connection block having one side mounted to the belt member; And 일측이 상기 연결블록의 타측에 연결되어 상기 가이드 레일 상을 전후진이동하고, 상부면에 상기 마스크 운반박스가 안착되는 마스크 운반박스 스테이지를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 운반박스 개방장치.A mask transport box opening apparatus, comprising: a mask transport box stage having one side connected to the other side of the connection block to move forward and backward on the guide rail, and the mask transport box seated on an upper surface thereof.
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20020026157A (en) * 1999-04-30 2002-04-06 더글라스 제이. 맥큐천 Universal tool interface and/or workpiece transfer apparatus for smif and open pod applications
KR20030036377A (en) * 2003-03-20 2003-05-09 (주)인터노바 SMIF Loader for Automatic Opening and Closing, and/or Transfer of Material Storage Box at Semiconductor Manufacturing
KR20060007455A (en) * 2006-01-04 2006-01-24 코리아테크노(주) Boxcover opener for use of photomask shipping box
KR20060011898A (en) * 2006-01-10 2006-02-03 코리아테크노(주) Photo-mask manless conveyance apparatus

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20020026157A (en) * 1999-04-30 2002-04-06 더글라스 제이. 맥큐천 Universal tool interface and/or workpiece transfer apparatus for smif and open pod applications
KR20030036377A (en) * 2003-03-20 2003-05-09 (주)인터노바 SMIF Loader for Automatic Opening and Closing, and/or Transfer of Material Storage Box at Semiconductor Manufacturing
KR20060007455A (en) * 2006-01-04 2006-01-24 코리아테크노(주) Boxcover opener for use of photomask shipping box
KR20060011898A (en) * 2006-01-10 2006-02-03 코리아테크노(주) Photo-mask manless conveyance apparatus

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