KR100901513B1 - Method for forming circuit of PCB - Google Patents
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Abstract
인쇄회로기판 회로형성방법이 개시된다. 변형이 예측되는 변형취약영역을 갖는 인쇄회로기판에 회로를 형성하는 방법으로서, 기판에 도전성 물질을 증착하여 시드층을 형성하는 단계, 시드층에 감광성 필름을 적층하는 단계, 회로가 형성될 위치에 상응하여 감광성 필름의 일부를 선택적으로 제거하는 단계 및 상기 변형취약영역에 형성되는 도금입자가 변형취약영역 이외의 영역에 형성되는 도금입자에 비해 더 크게 형성되도록 시드층을 전극으로 전해질 용액에서 전해 도금하는 단계를 포함하는 인쇄회로기판 회로형성방법은, 인쇄회로기판의 변형취약영역에 도금입자의 크기를 크게 함으로써, 부분별로 기계적 강성이 조절되어 별도의 자재를 추가로 삽입하지 않고도 기판의 변형을 방지할 수 있고 박형 기판을 제조할 수 있다.A printed circuit board circuit forming method is disclosed. A method of forming a circuit on a printed circuit board having a strain-vulnerable region where deformation is predicted, the method comprising: forming a seed layer by depositing a conductive material on a substrate; laminating a photosensitive film on the seed layer; Selectively removing a portion of the photosensitive film and electroplating the seed layer with an electrode solution in an electrolyte solution so that the plated particles formed in the strain-vulnerable region are larger than the plated particles formed in the region other than the strain-vulnerable region. Printed circuit board forming method comprising the step of, by increasing the size of the plated particles in the strain-vulnerable region of the printed circuit board, mechanical stiffness is adjusted for each part to prevent deformation of the substrate without additional insertion of additional materials And a thin substrate can be produced.
도금입자, 변형, 도금 Plating Particle, Deformation, Plating
Description
본 발명은 인쇄회로기판 회로형성방법에 관한 것이다.The present invention relates to a printed circuit board circuit forming method.
핸드폰 등 전자제품의 박형화 추세에 의하여 패키징 업체에서는 패키징 밀도를 높이고 패키지 두께를 낮추기 위해서 반도체 기판의 박판화를 요구하는 추세이며, 또한 환경문제에 의한 무연 솔더 사용으로 패키징 시 용융점 온도가 상승하게 되었다. Due to the thinning trend of electronic products such as mobile phones, packaging companies are demanding thinning of semiconductor substrates in order to increase the packaging density and reduce the package thickness. Also, the melting point temperature has increased due to the use of lead-free solder due to environmental problems.
반도체 기판의 경우 서로 다른 기계적 물성을 가진 재료들이 적층되어 있는 구조를 가지며, 중간층을 기준으로 윗면과 아랫면의 도금 분포가 다르고 SR(solder resist)가 사용되는 경우 이 부분은 다른 이방성 구조를 띈다. 이 같은 이방성 적층 구조물의 경우 열 응력이나 습도에 따라 층간 상이한 열적 거동을 보이기 때문에 구조 상 취약한 부분에서 휨이나 뒤틀림 등의 변형이 발생하게 된다.The semiconductor substrate has a structure in which materials having different mechanical properties are stacked, and the upper and lower plating distributions are different based on the intermediate layer, and when the SR (solder resist) is used, this part has a different anisotropic structure. Such anisotropic laminated structures show different thermal behaviors between layers depending on thermal stress or humidity, so that deformations such as bending or warping occur at weak points in the structure.
또한 반도체 기판이 점차 박판화됨에 따라 기판 제조 시 발생하는 열 응력 및 흡습에 의하여 휨과 비틀림 등의 변형이 더욱 커지게 되었고, 패키징 시에도 리플로우 온도조건이 상승함에 따라 기판에서 발생하는 휨 현상이 증가하여 패키징 작업 시 불량발생의 주요 원인이 된다.In addition, as the semiconductor substrate is gradually thinned, deformation such as warpage and torsion is increased due to heat stress and moisture absorption generated during manufacturing of the substrate, and warpage phenomenon occurring in the substrate increases as the reflow temperature condition increases during packaging. This is the main cause of defects during packaging work.
이를 개선하기 위해서 종래에는 기판 제조 시 변형방지 자재를 삽입하는 방법이 이용되었으나 추가 비용이 발생하고, 기판의 두께도 두꺼워지는 문제가 있었다. 또한, 열팽창 계수가 다른 재질을 적층하여 휨을 방지할 수도 있으나, 이러한 방법은 국부적으로 휨이 발생하거나, 물결 형태의 반복적인 변형이 발생하는 경우에는 변형을 억제하기가 불가능하다는 문제가 있었다. In order to improve this, conventionally, a method of inserting a deformation preventing material in the manufacturing of a substrate was used, but there was a problem in that an additional cost was generated and the thickness of the substrate was also increased. In addition, the warp may be prevented by stacking materials having different coefficients of thermal expansion, but this method has a problem in that deformation is impossible to be suppressed when locally warping or wave-like repeated deformation occurs.
본 발명은 인쇄회로기판의 회로를 전해도금 방식으로 형성하는 경우, 도금입자의 크기를 크게 하여 변형에 취약한 영역이 강성을 갖도록 하여 기판의 변형을 방지할 수 있는 인쇄회로기판 회로형성방법을 제공하는 것이다. The present invention provides a method for forming a printed circuit board that can prevent deformation of the substrate by increasing the size of the plated particles so as to have a rigid area that is susceptible to deformation when the circuit of the printed circuit board is formed by electroplating. will be.
본 발명의 일 측면에 따르면, 변형이 예측되는 변형취약영역을 갖는 인쇄회로기판에 회로를 형성하는 방법으로서, 기판에 도전성 물질을 증착하여 시드층을 형성하는 단계, 시드층에 감광성 필름을 적층하는 단계, 회로가 형성될 위치에 상응하여 감광성 필름의 일부를 선택적으로 제거하는 단계 및 상기 변형취약영역에 형성되는 도금입자가 변형취약영역 이외의 영역에 형성되는 도금입자에 비해 더 크게 형성되도록 시드층을 전극으로 전해질 용액에서 전해 도금하는 단계를 포함하는 인쇄회로기판 회로형성방법이 제시된다.According to an aspect of the present invention, a method for forming a circuit on a printed circuit board having a strain-vulnerable region in which deformation is predicted, comprising: depositing a conductive material on a substrate to form a seed layer, and stacking a photosensitive film on the seed layer Selectively removing a portion of the photosensitive film corresponding to the position where the circuit is to be formed, and seeding layer so that the plated particles formed in the strain-vulnerable region are larger than the plated particles formed in the region other than the strain-vulnerable region. Provided is a method for forming a printed circuit board comprising electroplating in an electrolyte solution with an electrode.
이때, 기판에 잔류하는 감광성 필름층를 제거하는 단계 및 외부에 노출된 시드층을 제거하는 단계를 더 포함하여 수행할 수 있다.In this case, the method may further include removing the photosensitive film layer remaining on the substrate and removing the seed layer exposed to the outside.
전해 도금하는 단계는, 변형취약영역을 도금하는 제1 단계 및 변형취약영역 이외의 영역을 도금하는 제2 단계를 포함하되, 제1 단계의 전류밀도는 제2 단계의 전류밀도보다 작은 것을 특징할 수 있다.The electroplating may include a first step of plating the strain-vulnerable region and a second step of plating a region other than the strain-vulnerable region, wherein the current density of the first stage is smaller than the current density of the second stage. Can be.
또한 전해질 용액은 도금 첨가제를 포함하고, 전해 도금하는 단계는, 변형취약영역을 도금하는 제1 단계 및 변형취약영역 이외의 영역을 도금하는 제2 단계를 포함하되, 제1 단계의 도금첨가제는 제2 단계의 도금첨가제의 농도가 상이한 것을 특징으로 할 수 있다.In addition, the electrolyte solution includes a plating additive, and the electroplating may include a first step of plating the strain-vulnerable region and a second step of plating a region other than the strain-vulnerable region, and the plating additive of the first stage may be The concentration of the plating additive of the two stages may be characterized by different.
이때, 제1 단계는, 변형취약영역에 도금층 형성을 억제하는 제1 코팅층을 형성하는 단계, 도금 첨가제가 제1 농도로 포함된 제1 전해질 용액에서 도금하는 단계, 제1 코팅층을 제거하는 단계를 포함할 수 있고, 제2 단계는, 변형취약영역 이외의 영역에 도금층 형성을 억제하는 제2 코팅층을 형성하는 단계 도금 첨가제가 제2 농도로 포함된 제2 전해질 용액에서 도금하는 단계 및 제2 코팅층을 제거하는 단계를 포함할 수 있다.In this case, the first step may include forming a first coating layer that suppresses the plating layer formation in the strain-vulnerable region, plating the first electrolyte solution containing the plating additive at a first concentration, and removing the first coating layer. The second step may include forming a second coating layer that suppresses formation of a plating layer in a region other than the strain-vulnerable region, plating a second electrolyte solution containing a plating additive at a second concentration, and forming a second coating layer. It may include the step of removing.
인쇄회로기판의 변형취약영역에 도금입자의 크기를 크게 함으로써, 부분별로 기계적 강성이 조절되어 별도의 자재를 추가로 삽입하지 않고도 기판의 변형을 방지할 수 있고 박형 기판을 제조할 수 있다.By increasing the size of the plated particles in the strain-vulnerable region of the printed circuit board, mechanical stiffness is controlled for each part, thereby preventing deformation of the substrate without additionally inserting a separate material, and manufacturing a thin substrate.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.As the invention allows for various changes and numerous embodiments, particular embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the written description. However, this is not intended to limit the present invention to specific embodiments, it should be understood to include all transformations, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In the following description of the present invention, if it is determined that the detailed description of the related known technology may obscure the gist of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 구성요소들은 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.Terms such as first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are only used to distinguish one component from another.
본 발명에 따른 인쇄회로기판 회로형성방법의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.An embodiment of a method for forming a printed circuit board circuit according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, in the following description with reference to the accompanying drawings, the same or corresponding components are given the same reference numerals and duplicated thereto. The description will be omitted.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판 회로형성방법을 나타낸 순서도이고, 도 2는 도금입자가 증착되어 형성된 회로의 개요도이며, 도 3은 도금입자의 크기에 따른 변형률에 대한 응력의 변화를 나타낸 도면이다. 또한, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판의 변형취약영역 이외의 영역의 일부를 나타 낸 단면도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판의 변형취약영역의 일부를 나타낸 단면도이며, 도 6는 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판을 나타낸 평면도이다. 도 7 내지 도 16은 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판 회로형성방법의 각 단계를 나타낸 단면도 이다. 도 2 내지 도 17을 참조하면, 절연층(10), 시드층(11), 감광성 필름층(12'), 도금레지스트(12), 제1 코팅층(13), 제2 코팅층(14), 변형취약영역의 회로패턴(15), 변형취약영역 이외의 영역의 회로패턴(16), 변형취약영역의 도금 입자(17), 변형취약영역이외의 영역의 도금입자(18)가 도시되어 있다.1 is a flow chart showing a printed circuit board forming method according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a schematic diagram of a circuit formed by the deposition of the plating particles, Figure 3 is the stress of the strain according to the size of the plating particles The figure which shows the change. 4 is a cross-sectional view showing a part of a region other than the strain-vulnerable region of the printed circuit board according to an embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a portion of the strain-vulnerable region of the printed circuit board according to the embodiment of the present invention. 6 is a cross-sectional view of a portion, and FIG. 6 is a plan view of a printed circuit board according to an exemplary embodiment. 7 to 16 are cross-sectional views illustrating each step of the method for forming a printed circuit board according to an embodiment of the present invention. 2 to 17, the
본 실시예에 따른 인쇄회로기판 회로형성 방법은 변형취약영역의 도금입자 크기를 크게 함으로써 인쇄회로기판의 강성을 증가시켜 인쇄회로기판의 변형을 방지할 수 있다.In the method of forming a printed circuit board according to the present embodiment, by increasing the size of the plated particles in the strain-vulnerable region, the rigidity of the printed circuit board may be increased to prevent deformation of the printed circuit board.
본 실시예에 따른 인쇄회로기판 회로형성방법은, 변형이 예측되는 변형취약영역(B)을 갖는 기판에 회로를 형성하는 방법으로서, 절연층(10)에 도전성 물질을 증착하여 시드층(11)을 형성하는 단계, 시드층(11)에 감광성 필름층(12')을 적층하는 단계, 회로가 형성될 위치에 상응하는 영역이 오픈 되도록 감광성 필름층(12')을 선택적으로 노광, 현상하고 그 일부를 제거하는 단계 및 상기 변형취약영역(B)에 도금입자가 크게 형성되도록 시드층(11)을 전극으로 전해질 용액에서 전해 도금하는 단계를 포함하여, 부분별로 기계적 강성이 조절되어 별도의 자재를 추가로 삽입하지 않고도 기판의 변형을 방지할 수 있고 박형 기판을 제조할 수 있다.The printed circuit board circuit forming method according to the present embodiment is a method of forming a circuit on a substrate having a strain weakening region (B) where deformation is predicted. The
본 실시예에 따라 회로를 형성하는 방법을 살펴 보면, 먼저, 도 7에 도시된 바와 같이 절연층(10)에 도전성 물질을 증착하여 시드층(11)을 형성한다(S110). 기판에 회로를 형성하는 방법으로 애디티브 방식과 서브트랙트 방법이 있는데, 본 실시예에서는 애디티브 방식에 의하여 회로를 형성하는 방식을 제시한다.Referring to the method of forming the circuit according to the present embodiment, first, as shown in FIG. 7, the
애디티브방식은 절연층(10)에 금속층을 선택적으로 증착하여 회로를 형성하는 방식으로, 전해 도금 방식으로 회로를 형성하는 경우 절연층(10)은 전기가 통하지 아니하여 전해 도금을 수행할 수 없으므로, 전극의 기능을 할 수 있는 시드층을 형성한다. 시드층(11)이란 절연층(10)에 일정 두께의 도금이 이루지도록 절연층에 화학적으로 도전성 물질을 입힌 후 이를 전극으로 전해도금이 가능하도록 하는 기저층을 의미한다. 시드층(11)은 도전성 금속의 증착 방법이나 스퍼터링 방법에 의해 형성될 수 있다. In the additive method, a circuit is formed by selectively depositing a metal layer on the
다음에, 도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 시드층(11)에 감광성 필름층(12')을 적층하고(S120), 회로가 형성될 위치에 상응하는 영역이 오픈되도록 감광성 필름층(12')을 선택적으로 노광, 현상하고 그 일부를 제거하여 도금레지스트(12)를 형성한다(S130). 회로를 형성하기 위해서 회로가 생길 영역 이외의 부분은 도금이 되지 아니하도록 커버하기 위한 도금레지스트(12)를 형성하는 것이다. Next, as shown in FIGS. 8 and 9, the
본 실시예에서는 감광성 필름층(12')을 적층하고, 감광성 필름층(12)을 선택적 노광, 현상하고 그 일부를 제거하여 회로가 형성될 위치에 상응하는 영역을 오픈하여 도금레지스트(12)를 형성하는 방법을 제시하고 있다.In this embodiment, the photoresist film layer 12 'is laminated, the
잉크젯 인쇄법 등에 의하는 경우에는 회로가 형성될 이외의 부분에만 선택적으로 도금레지스트(12)를 형성할 수 있으나, 감광성 필름층(12)을 기판 전체에 도 포하는 경우 회로가 형성될 부분을 제외한 영역만 노광하여 경화 시킨 후에 경화되지 아니한 영역의 감광성 필름층(12')을 제거하면 회로가 형성될 부분만 오픈된다.In the case of the inkjet printing method, the plating resist 12 may be selectively formed only on a portion other than the circuit where the circuit is to be formed. However, when the
다만, 이에 한정되는 것은 아니며, 도금레지스트(12)를 형성하는 방법으로 스크린 인쇄법, 잉크젯 인쇄법 등 당업자에게 자명한 방법이 이용될 수 있다.However, the present invention is not limited thereto, and a method obvious to those skilled in the art, such as a screen printing method or an inkjet printing method, may be used as a method of forming the plating resist 12.
다음에, 변형취약영역(B)에 도금입자가 크게 형성되도록 시드층(11)을 전극으로 전해질 용액에서 전해 도금을 한다(S140). 전해도금을 수행하면 미세한 도금입자가 증착되어 도금층을 형성하게 된다. 도 2는 도금입자가 증착되어 형성된 회로를 도시하고 있다. 도면상으로는 과장하여 도금입자를 크게 그렸으나, 실제로는 10nm내외의 사이즈로 미세하게 형성된다. Next, the
회로를 이루는 도금입자의 크기에 따라 회로의 응력이 변하게 되는데, 도 3에 도시된 바와 같이, 도금입자의 크기가 크면 일정 변형률에 대한 응력값이 증가되어 외력에 의한 변형이 작다.The stress of the circuit changes according to the size of the plated particles constituting the circuit. As shown in FIG. 3, when the size of the plated particles is large, the stress value for a certain strain is increased and the deformation due to external force is small.
변형취약영역(B)이란, 인쇄회로기판에서 변형에 취약한 부분을 의미한다. 응력은 직접적으로 힘을 가한 경우 이외에 열에 의한 수축 팽창 등의 변형에 따른 응력, 부재의 차이에 따른 열 팽창계수가 달라 미치는 응력 등 다양하며, 이러한 응력에 대해 변형이 크게 발생하는 부분을 의미한다. The deformation fragile area B means a portion vulnerable to deformation in the printed circuit board. The stress may vary from stress to deformation such as shrinkage expansion due to heat, stress to which the coefficient of thermal expansion varies according to a member difference, and means a portion in which deformation is largely generated.
따라서, 변형취약영역(B)의 강성을 보강하면, 기판의 전체적인 변형을 줄일 수 있기 때문에, 변형취약영역(B)을 강화하는 기술은 기판 제조에 있어 중요한 기술로서 주목 받고 있다. 변형은 기판의 재질이나, 회로의 형상, 솔더나, 칩의 위치 등 기판의 디자인에 따른 다양한 요소에 의해 발생하며, 이러한 요소들을 복합적으 로 분석하여 CAE(computer aided engineering)를 통한 구조해석 시뮬레이션을 통해 변형취약영역(B)을 예측할 수 있다.Therefore, since the overall deformation of the substrate can be reduced by reinforcing the rigidity of the strain-vulnerable region B, a technique for reinforcing the strain-vulnerable region B is attracting attention as an important technique in the manufacture of the substrate. Deformation is caused by various factors depending on the design of the substrate, such as the material of the substrate, the shape of the circuit, the solder, and the location of the chip.These components are analyzed in combination to perform structural analysis simulation through computer aided engineering (CAE). Through the deformation vulnerability region (B) can be predicted.
이러한 시뮬레이션을 통해 예측한 변형취약영역(B)에 형성되는 회로의 도금입자의 크기를 변형취약영역 이외의 영역의 도금입자보다 크게 하여 변형취약영역의 강성을 증대시켜 기판의 전체적인 변형을 방지할 수 있다. 예를 들면, 도 6에 도시된 바와 같이 회로가 조밀한 A영역은 변형에 강하나, 회로가 거의 없는 B영역은 도금층이 적게 형성되어, 외력에 의해 변형이 심한 변형취약영역이 된다. 따라서, 변형취약영역(B)의 도금입자의 크기를 크게 하여 변형취약영역(B)의 강성을 증대시켜 기판의 전체적인 변형을 방지할 수 있다, 상기한 바와 같이 변형취약영역(B)은 단순히 회로의 밀도만으로 결정하는 것은 아니고 기판의 재질, 솔더나 칩의 위치 등 다양한 요인에 따라 결정될 수 있다.Through the simulation, the size of the plated particles of the circuit formed in the strain fragile region B may be larger than the plated grains in the regions other than the strain fragile region, thereby increasing the rigidity of the strain fragile region to prevent overall deformation of the substrate. have. For example, as shown in FIG. 6, the A region having a dense circuit is resistant to deformation, but the B region having almost no circuit is formed with less plating layer, resulting in a severe deformation deformation region due to external force. Therefore, by increasing the size of the plated particles in the strain-vulnerable region B, the rigidity of the strain-vulnerable region B can be increased to prevent overall deformation of the substrate. As described above, the strain-vulnerable region B is simply a circuit. It is not determined by the density of the substrate alone, but may be determined by various factors such as the material of the substrate, the location of the solder or the chip.
도 4는 변형취약영역 이외의 영역(A)에 형성되는 도금입자를 도시하고 있고, 도 5는 변형취약영역(B) 에 형성되는 도금입자를 도시하고 있다. 변형취약영역의 도금입자(17)의 크기를, 변형취약영역 이외의 영역의 도금입자(18)보다 크게 형성하여 응력에 대한 변형을 최소화 할 수 있다.FIG. 4 shows plated particles formed in the region A other than the strain weakened region, and FIG. 5 shows plated particles formed in the strain weakened region B. FIG. The size of the plated
전해도금을 수행하여 상기 변형취약영역의 도금입자(17)를 크게 형성하는 방법은, 변형취약영역(B)과, 변형취약영역 이외의 영역(A)의 도금단계를 분리하여 각 도금단계에서 전류밀도를 달리 하거나, 도금첨가제의 농도를 달리 하여 변형취약영역의 도금입자(17)의 크기를 크게 할 수 있다.In the method of forming the
도금 첨가제의 농도와 도금 첨가제의 종류를 다르게 하여 변형취약영역의 도 금입자(17)를 크게 하는 방법에 대해 구체적으로 살펴본다. 도금 첨가제는 도금입자의 크기를 조절하여 도금 광택을 더 좋게 하고, 도금이 더 잘 되도록 보조하거나, 레벨링하기 위해 이용된다. 도금 첨가제로는 습윤제, 광택제, 평활제 등이 있다.The method of increasing the
습윤제(Wetting Agent, Carrier, Suppresser)는 핏트 방지제로 도금 표면에서 미세하게 돌출되는 도금을 막아주는 역할을 한다. 도금이 되는 현상을 미세하게 보면 성장점이 생성이 되고 이 성장점을 기준으로 하여 금속입자가 달라 붙는데 이 속도를 조절하여야 과도하게 성장이 되는 것을 막아 고르게 도금이 되게 한다. Wetting agent (Wetting Agent, Carrier, Suppresser) is an anti-fit agent that prevents the plating from minutely protruding from the plating surface. If you look at the phenomenon of plating in detail, a growth point is generated and the metal particles adhere to each other based on the growth point, and the speed is adjusted to prevent excessive growth, so that the plating is evenly performed.
광택제(Grain Refiner, Brightener)는 도금입자를 작게 만들어 도금 표면이 광택이 나게 하는 역활을 한다. 도금 마지막 층의 표면에 광택제 성분이 남게 된다.Grain refiners (brighteners) play a role in making the plating surface shiny by making the plating particles small. The polish component remains on the surface of the last layer of plating.
평활제(Leveler : Cationic Surfactant)는 미세한 요철이나, 연마자국 등을 평활하게 하여 도금 범위를 넓게 해 주는 역할을 한다. Leveling agent (Leveler: Cationic Surfactant) plays a role of widening the plating range by smoothing minute irregularities and polishing marks.
변형취약영역을 도금할 때에는 변형취약영역이외의 영역을 도금할 때와 다른 도금 첨가제를 사용하거나 도금 첨가제의 농도를 달리하여 도금입자의 크기를 더 크게 조절할 수 있다.When plating the strain-vulnerable region, it is possible to control the size of the plated particle to be larger by using a different plating additive or by varying the concentration of the plating additive.
도금 첨가제의 농도와 도금 첨가제의 종류를 다르게 하여 변형취약영역의 도금입자를 크게 하는 방법에 대해 구체적으로 살펴보면, 도 10 및 도 11에 도시된 바와 같이, 변형취약영역 이외의 영역(A)에 도금을 억제하는 제1 코팅층(13)을 형성한다(S141). 그리고 제1 전해질 용액에서 도금을 수행한다(S142). 제1 코팅 층(13)에 의해 변형취약영역 이외의 영역(A)은 도금되지 아니하고, 변형취약영역(B)만 도금이 되어 변형취약영역의 회로패턴(15)을 형성할 수 있다.Looking at the method of increasing the plating particles in the strain-vulnerable region by varying the concentration of the plating additive and the type of the plating additive, as shown in Figure 10 and 11, plating in the area (A) other than the strain-vulnerable region To form a
도 12 및 도 13에 도시된 바와 같이, 제1 코팅층(13)을 제거하고(S143), 변형취약영역(B)에 도금을 억제하는 제2 코팅층(14)을 형성한다(S144). 다음으로 도 14에 도시된 바와 같이, 제2 코팅층(14)이 형성된 기판을 제2 전해질 용액에 담궈 도금을 한다(S145). 제2 전해질 용액은 제1 전해질 용액에 비해 도금입자의 크기가 더 크게 형성되게 한다. 즉, 제1 전해질 용액과 제2 전해질 용액은 도금 첨가제의 농도 또는 첨가제의 종류가 상이하여 도금입자의 크기가 다르게 형성되도록 조절이 가능하다.As shown in FIGS. 12 and 13, the
예를 들면, 광택제나 평활제의 경우에는 도금입자의 크기를 더 작게 하는 성질이 있으므로 변형취약영역(B)에서는 그 농도를 더 낮게 하면 도금입자가 더 크게 형성된다. For example, in the case of a brightening agent or a smoothing agent, since the size of the plated particles is smaller, the plated particles are formed larger when the concentration is lower in the strain-vulnerable region (B).
다음으로, 도 15에 도시된 바와 같이 제2 코팅층(14)을 제거하면(S146), 변형취약영역 이외의 영역의 도금입자(18) 보다 변형취약영역의 도금입자(17) 크기가 더 큰 인쇄회로기판 회로가 완성된다.Next, as shown in FIG. 15, when the
한편, 변형취약영역(B)과 변형취약영역 이외의 영역(A)의 도금단계를 분리하여 각 도금단계에서 전류밀도를 달리 함으로써 변형취약영역의 도금입자의 크기를 크게 할 수 있다. On the other hand, by separating the plating step of the strain-vulnerable region (B) and the region (A) other than the strain-vulnerable region by varying the current density in each plating step, the size of the plated particles of the strain-vulnerable region can be increased.
전해 도금은 회로를 형성하고자 하는 기판을 전해질 용액이 담겨 있는 전해조에서 기판을 음극(cathode)에 연결하여 전류를 흘리면, 전해질 용액에 있는 금속 이온이 기판에 붙으면서 전해 도금이 된다. In electrolytic plating, when a current is flowed by connecting a substrate to a cathode in an electrolytic cell containing an electrolyte solution, a substrate to be formed with a circuit is electroplated while metal ions in the electrolyte solution adhere to the substrate.
일반적으로 전해조의 전류밀도를 낮추면 도금은 천천히 진행되면서 입자의 크기가 커지게 되는데, 전류밀도를 달리 하여 변형취약영역(B)에 도금입자를 크게 형성하는 방법을 구체적을 살펴 보면, 도 10 및 도 11에 도시된 바와 같이 변형취약영역 이외의 영역(A)에 도금을 방지하는 제1 코팅층(13)을 형성하고, 전해조에 담궈 변형 취약영역 이외의 영역(A) 도금시 전류밀도보다 낮은 전류밀도로 변형취약영역(B)을 도금한다. In general, when the current density of the electrolytic cell is lowered, the plating proceeds slowly and the size of the particles increases. Looking at the method of forming the plated particles largely in the strain-vulnerable region B by changing the current density, FIGS. 10 and FIG. As shown in FIG. 11, a
그리고, 도 12 내지 도14에 도시된 바와 같이 제1 코팅층(13)을 제거하고 변형취약영역 (B)에 도금을 방지하는 제2 코팅층(14)을 형성하고, 전해조 담궈 변형취약영역(B)의 도금시의 전류밀도보다 높은 전류밀도로 변형취약영역 이외의 영역(A)을 도금하면, 변형취약영역의 회로패턴(15) 도금입자가 변형취약영역 이외의 영역의 회로패턴(16) 도금입자보다 크게 형성된다. 12 to 14, the
변형취약영역(B)과 변형취약영역 이외의 영역(A)의 전류밀도를 다르게 인가시킴으로써 도금을 동시에도 수행 가능한데, 변형취약영역(B)과 변형취약영역 이외의 영역(A)의 시드층을 전기적으로 연결되지 아니하도록 차단하여 각 영역별로 다른 전류밀도로 인가하면 하나의 전해조에서 동시에 다른 도금입자 크기로 회로패턴을 형성할 수 있다. Plating can be performed simultaneously by differently applying current densities of the strain-vulnerable region B and the region A other than the strain-vulnerable region. The seed layer of the strain-vulnerable region B and the region A other than the strain-vulnerable region is If the circuit is blocked so as not to be electrically connected to each region at different current densities, a circuit pattern can be formed with different plating particle sizes in one electrolyzer at the same time.
회로패턴을 형성한 다음에, 기판에 잔류하는 감광성 필름층(12)를 제거하고(S160), 외부에 노출된 시드층(11)을 제거한다(S170). After forming the circuit pattern, the
본 실시예에서 상술한 바와 같이, 변형취약영역에서 도금입자의 크기를 더 크게 함으로써, 부분별로 기계적 강성이 조절되어 기판의 변형을 방지할 수 있고, 기판의 변형으로 인한 반도체와 결합 불량 등을 해소 할 수 있다.As described above in this embodiment, by increasing the size of the plated particles in the strain-vulnerable region, the mechanical stiffness can be adjusted for each part to prevent deformation of the substrate, and the semiconductor and the bonding defects due to the deformation of the substrate are eliminated. can do.
이상 본 발명의 여러 측면에 따른 인쇄회로기판 회로형성방법의 실시예에 대하여 설명하였으며, 전술한 실시예 외의 많은 실시예들이 본 발명의 특허청구범위 내에 존재한다.The embodiments of the printed circuit board circuit forming method according to various aspects of the present invention have been described above, and many embodiments other than the above-described embodiments exist within the claims of the present invention.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판 회로형성방법을 나타낸 순서도.1 is a flow chart showing a printed circuit board circuit forming method according to an embodiment of the present invention.
도 2는 도금입자가 증착되어 형성된 회로의 개요도.2 is a schematic diagram of a circuit formed by depositing plating particles.
도 3은 도금입자의 크기에 따른 변형률에 대한 응력의 변화를 나타낸 도면.3 is a view showing a change in stress for the strain according to the size of the plating particles.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판의 변형취약영역 이외의 영역의 일부를 나타낸 단면도.4 is a cross-sectional view showing a part of a region other than a strain-vulnerable region of a printed circuit board according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판의 변형취약영역의 일부를 나타낸 단면도.5 is a cross-sectional view showing a part of a deformation vulnerability area of a printed circuit board according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 6는 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판을 나타낸 평면도.6 is a plan view showing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention.
도 7 내지 도 17는 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄회로기판 회로형성방법의 각 단계를 나타낸 단면도.7 to 17 are cross-sectional views illustrating respective steps of a method for forming a printed circuit board according to an embodiment of the present invention.
< 주요도면번호><Main Drawing Number>
10 : 절연층10: insulation layer
11 : 시드층11: seed layer
12 : 감광성 필름층12: photosensitive film layer
13 : 제1 코팅층13: first coating layer
14 : 제2 코팅층14: second coating layer
15 : 변형취약영역의 회로패턴15: Circuit pattern of strain weak area
16 : 변형취약영역 이외의 영역의 회로패턴16: Circuit pattern in areas other than the strain weak area
17 : 변형취약영역의 도금입자17: plated particles in the strain-vulnerable area
18 : 변형취약영역 이외의 영역의 도금입자18: Plating particles in areas other than the strain weakening area
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JPH1154930A (en) | 1997-07-30 | 1999-02-26 | Ngk Spark Plug Co Ltd | Manufacture of multilayered wiring board |
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- 2007-11-07 KR KR1020070113417A patent/KR100901513B1/en active IP Right Grant
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