KR100900555B1 - 흡착 유닛 - Google Patents

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KR100900555B1
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Abstract

본 발명은 굴곡이 있는 표면에도 흡착할 수 있는 흡착 유닛을 제공하는 것을 목적으로 한다. 이를 위하여 본 발명에서는, 흡착 표면에 직접 접하고 흡착 표면과 접하는 부분을 통해 외기가 통과하는 것을 차단하며 내부에 중공부가 형성된 고주파 변형부; 및 상기 고주파 변형부를 상기 흡착 표면의 굴곡을 따라 변형 가능하게 하고, 변형 후 변형된 상태를 유지할 수 있도록 하는 저주파 변형부를 포함하는 흡착 유닛을 제공한다.
흡착 유닛, 진공 흡착, 표면 굴곡, 표면 요철

Description

흡착 유닛{Absorber unit}
본 발명은 흡착 유닛에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 유닛 내부 공간을 진공으로 유지하여 임의의 표면에 부착될 수 있는 흡착 유닛에 관한 것이다.
본 발명은 서울시정개발연구원 및 재단법인 서울대학교 산학협력재단의 신기술 연구 개발 지원 사업의 일환으로 수행한 연구로부터 도출된 것이다.[과제관리번호: 119-82-03684, 과제명: 고층 건물 청소용 자율 주행 로봇 플랫폼 개발]
진공을 이용하여 특정 표면에 부착하는 장치는 여러 가지 용도로 활용되고 있다. 예를 들어, 철판을 진공 흡착하여 인양하는 장치, 진공 흡착 유닛을 다수 구비한 무한 궤도륜을 이용하여 벽면을 등반하는 로봇 등에 활용된 예가 있다.
그러나, 이러한 여러 가지 진공 흡착 유닛들은 모두 공통적으로 표면에 굴곡이 없거나 거의 무시할 수 있는 수준인 표면에만 흡착하는 것들이었다. 이러한 굴곡이 거의 없는 표면에 흡착하는 유닛들은 그만큼 활용될 수 있는 분야가 제한될 수밖에 없다.
따라서, 다양한 굴곡을 가지는 표면에 흡착할 수 있는 흡착 유닛을 개발한다면, 지금까지 진공 흡착 유닛이 활용되어온 분야를 크게 확장시킬 수 있을 것으로 기대된다.
본 발명은 굴곡이 있는 표면에도 흡착할 수 있는 흡착 유닛을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기와 같은 본 발명의 목적은,
흡착 표면에 직접 접하고 흡착 표면과 접하는 부분을 통해 외기가 통과하는 것을 차단하며 내부에 중공부가 형성된 고주파 변형부; 및
상기 고주파 변형부를 상기 흡착 표면의 굴곡을 따라 변형 가능하게 하고, 변형 후 변형된 상태를 유지할 수 있도록 하는 저주파 변형부를 포함하는 흡착 유닛을 제공함으로써 달성된다.
여기서, 상기 중공부를 진공으로 유지하는 진공 펌프를 더 포함할 수 있다.
여기서, 상기 고주파 변형부는,
상기 저주파 변형부와 연결된 탄성 변형체; 및
상기 탄성 변형체의 하단 외측에 설치된 탄성 스커트를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 저주파 변형부는,
흡착 유닛의 길이 방향으로 이동이 가능하게 설치된 복수의 피스톤; 및
상기 피스톤 각각의 하단에 배치되고 상기 고주파 변형부와 연결된 탄성 지지체를 포함할 수 있다.
또는 여기서, 상기 저주파 변형부는,
흡착 유닛의 길이 방향으로 이동이 가능하게 설치된 복수의 피스톤; 및
상기 피스톤 각각의 하단에 배치된 탄성 지지체를 포함하고,
동시에 상기 고주파 변형부는,
상기 각각의 탄성 지지체와 본딩되어 상기 피스톤과 일체로 움직이는 탄성 지지체의 움직임에 따라 국부적인 변형이 일어나는 탄성 변형체; 및
상기 탄성 변형체의 하단 외측에 설치된 스커트를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 탄성 지지체의 탄성 계수가 탄성 변형체의 탄성 계수에 비해 더 큰 것이 바람직하다.
여기서, 복수의 피스톤이 상하 방향으로 독립적으로 이동 가능한 유체 챔버가 내부에 형성되고, 상기 유체 챔버에 일부분 이상 유체가 채워진 피스톤 하우징; 및
상기 유체 챔버 내에서 각각의 피스톤이 독립적으로 상하 방향으로 이동되면 상기 유체의 유동을 차단하여 피스톤들의 상하방향 운동을 구속하는 압력 유지 수단을 더 구비할 수 있다.
여기서, 피스톤의 위치에 따라 상하 방향의 체적이 달라지는 상기 피스톤 하우징과 상기 탄성 지지체 사이의 공간을 외기와 차단하도록, 상기 피스톤 하우징의 하측과 상기 탄성 지지체 또는 이와 연결되는 고주파 변형부의 상측에 걸쳐 둘레를 감싸는 주름 변형체를 더 포함할 수 있다.
또는 여기서, 상기 고주파 변형부는,
내부에 기체가 주입되어 있어 흡착 표면과 접할 때 흡착 표면의 요철에 따라 변형이 가능하고, 상기 저주파 변형부와 연결된 탄성 변형 튜브; 및
상기 탄성 변형 튜브의 하단 외측에 설치된 스커트를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 저주파 변형부는,
방사상으로 일측 단부가 서로 이격되도록 배치되고, 타측 단부는 방사상의 중앙부에서 서로 연결되어 일측 단부가 중앙부에 대해 상하 방향으로 변형이 가능한 복수의 저주파 변형 리브; 및
상기 저주파 변형 리브들에 의해 변형되고 상기 저주파 변형 리브들 사이의 공간을 외기로부터 차단하며, 상기 저주파 변형 리브에 비해 상대적으로 두께가 얇은 저주파 변형막을 포함할 수 있다.
또는 여기서, 상기 저주파 변형부는,
방사상으로 일측 단부가 서로 이격되도록 배치되고, 타측 단부는 방사상의 중앙부에서 서로 연결되어 일측 단부가 중앙부에 대해 상하 방향으로 변형이 가능한 복수의 저주파 변형 리브; 및
상기 저주파 변형 리브들에 의해 변형되고 상기 저주파 변형 리브들 사이의 공간을 외기로부터 차단하며, 상기 저주파 변형 리브에 비해 상대적으로 두께가 얇은 저주파 변형막을 포함하고,
동시에 상기 고주파 변형부는,
내부에 기체가 주입되어 있어 흡착 표면과 접할 때 흡착 표면의 요철에 따라 변형이 가능하고, 상기 저주파 변형부와 연결된 탄성 변형 튜브; 및
상기 탄성 변형 튜브의 하단 외측에 설치된 스커트를 포함할 수 있다.
또는 여기서, 상기 저주파 변형부는,
방사상으로 일측 단부가 서로 이격되도록 배치되고, 타측 단부는 방사상의 중앙부에서 서로 연결되어 일측 단부가 중앙부에 대해 상하 방향으로 변형이 가능한 복수의 저주파 변형 리브; 및
상기 저주파 변형 리브들에 의해 변형되고 상기 저주파 변형 리브들 사이의 공간을 외기로부터 차단하며, 상기 저주파 변형 리브에 비해 상대적으로 두께가 얇은 저주파 변형막을 포함하고,
동시에 상기 고주파 변형부는,
상기 저주파 변형부와 연결된 탄성 변형체; 및
상기 탄성 변형체의 하단 외측에 설치된 탄성 스커트를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 방사상의 중앙부를 통해 상기 고주파 변형부와 상기 저주파 변형부에 의해 형성되는 중공부에 진공 압력을 제공하는 진공 헤드를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 의하면, 굴곡이 있는 표면에도 흡착할 수 있는 흡착 유닛이 제공된다. 특히, 표면의 거시적인 굴곡에 대응하여 변형되는 저주파 변형부와, 저주파 변형부의 변형에 따라 변형되면서 표면의 미시적인 요철을 씰링하여 내부 공간의 진공도를 향상시키는 고주파 변형부를 구비함으로써 다양한 표면에 흡착이 가능한 흡착 유닛을 제공할 수 있다.
본 발명에서는 이전의 단순한 형태의 흡착 유닛만으로는 달성할 수 없는 굴곡이 큰 표면에 대한 흡착을 가능하게 하는 획기적인 흡착 유닛을 제공한다. 본 발명의 흡착 유닛은 기본적으로 흡착 표면의 굴곡의 저주파 성분에 대응하여 변형이 가능하게 하는 저주파 변형부와 굴곡의 고주파 성분에 대응하여 작은 틈새를 매우는 고주파 변형부를 구비하는 것을 특징으로 한다.
즉, 상기 고주파 변형부는 흡착 표면에 직접 접하고 흡착 표면과 접하는 부분을 통해 외기가 통과하는 것을 차단하는 기능을 하고, 상기 저주파 변형부는 상기 고주파 변형부를 상기 흡착 표면의 굴곡을 따라 변형 가능하게 하고, 변형 후 변형된 상태를 유지할 수 있도록 하는 기능을 한다. 한편, 진공 흡착이 가능하도록 하기 위해 상기 고주파 변형부와 상기 흡착 표면은 중공부를 형성하고 이 중공부가 필요에 따라 진공으로 유지되거나 진공이 해제될 수 있다.
이하에서는, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세히 설명한다.
도 1에는 본 발명의 실시예1에 따른 흡착 유닛의 구성을 개략적으로 보여주는 사시도가 도시되어 있고, 도 2에는 도 1에 도시된 흡착 유닛의 조립도가 도시되어 있으며, 도 3에는 도 1의 III-III 선을 따라 취한 단면도가 도시되어 있다.
도 1 내지 도 3에 도시된 것과 같이, 본 발명의 실시예1에 따른 흡착 유닛(100)은 피스톤(151) 및 탄성 지지체(153)를 저주파 변형부(102)로 구비할 수 있다.
상기 피스톤은 흡착 유닛의 길이 방향으로 이동이 가능하게 복수 개가 설치 된다. 상기 피스톤의 흡착 유닛 길이 방향(상하 방향)으로의 이동에 의해 상기 탄성 지지체가 고주파 변형부(101)를 변형시킨다.
상기 탄성 지지체는 상기 피스톤 각각의 하단에 볼트와 같은 체결 부재(154)에 의해 고정되고 고주파 변형부와 연결된다.
한편, 상기 저주파 변형부에는 상기 피스톤의 상대 운동이 가능하게 하는 피스톤 하우징(120)을 더 포함할 수 있다. 상기 피스톤 하우징에는, 유체 챔버(122)가 형성되고, 상기 유체 챔버에 상기 피스톤이 독립적으로 상하 방향으로 이동 가능하게 수용되며, 상기 유체 챔버에는 유체가 채워진다.
도 2에 도시된 실시예에서 유체 챔버 중 유체가 채워지는 부분은 피스톤 헤드(152)를 기준으로 상측에 해당하는 부분이다. 즉, 상기 유체 챔버는 도 2에서 볼 수 있는 것과 같이, 피스톤의 직경에 대응하는 복수(예를 들어, 8개)의 피스톤 이동로가 형성되어 있고, 각각의 피스톤 이동로들은 피스톤 헤드의 상측에 해당하는 부분에만 유체가 채워지며, 유체가 채워진 상측은 측방향으로 서로 연결되어 있어서 피스톤들의 움직임에 따라 유체의 이동이 가능한 형태이다. 유체 챔버의 유압유가 채워진 부피 및 그 안의 유압유의 부피가 일정하게 유지된다.
예를 들어, 실시예1의 흡착 유닛을 아래 방향으로부터 굴곡이 있는 벽면으로 누를 때, 한 개의 피스톤이 벽면의 튀어나온 돌기에 눌리게 되면 그 피스톤이 위쪽으로 이동하면서 다른 피스톤들을 벽면쪽으로 밀어주는 역할을 한다.
유체는 예를 들어 통상적인 유압 시스템에서 사용되는 유압유일 수 있다. 유체가 밀봉되도록 하기 위해 밀봉 부재(125, 126, 127)가 다양하게 사용될 수 있 다. 또한, 도면에서 피스톤 헤드(152)가 이중으로 형성되고 중간에 홈이 형성된 것은 밀봉을 위해 O-링을 삽입하기 위한 부분에 해당한다.
도 1 내지 도 3을 참조로 설명되는 실시예1에서, 피스톤의 상하 운동은 흡착 유닛을 벽면에 밀어줄 때 벽면 굴곡 형상에 의해 구속되는 구성으로, 내부의 유압유의 양은 항상 일정하며 별도로 피스톤의 상하 방향 운동을 구속하기 위한 장치는 필요 없다. 이 경우, 도 1의 111로 지시된 연결구는 유체를 유체 챔버 내에 주입한 후에 밀봉되는 부분이다.
다만, 본 발명은 이에 한정되지는 않으며, 다음과 같이 챔버 내의 유압유의 양이 변화하는 방식으로도 구성될 수 있다.
예를 들어, 여유분의 유체를 수용하는 공간이 별도로 배치되고, 유체 챔버 내의 공간과 연결되도록 구성될 수도 있다. 흡착 유닛이 흡착 대상 표면에 닿아서 표면 굴곡에 의해 피스톤들이 독립적으로 상하 운동을 하면, 상기 유체의 유동을 차단하여 피스톤들의 상하방향 운동이 구속되어 저주파 변형부 및 고주파 변형부의 변형된 상태를 유지할 수 있다. 이러한 작용은 상기 유체 챔버 내의 유체의 압력을 일정하게 유지하는 압력 유지 수단(도시하지 않음)을 구비함으로써 이루어질 수 있다. 압력 유지 수단은 도 1에서 111로 지시된 것과 같은 하우징 상부 커버(110)에 형성된 연결구를 통해 연결될 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예1에 따른 흡착 유닛(100)은 탄성 변형이 용이한 탄성 변형체(141)를 고주파 변형부(101)로 구비할 수 있다.
상기 탄성 변형체는 상기 저주파 변형부와 연결되는데, 예를 들어 상기 탄성 지지체에 연결될 수 있다. 상기 탄성 변형체의 하단 외측에는 탄성 스커트(142)가 설치될 수 있다. 상기 탄성 스커트는 미세한 표면의 요철(고주파 요철)에 대응하여 변형이 가능하도록 쉽게 변형이 가능한 재질로 만들어진다.
저주파 변형부가 피스톤과 연결된 탄성 지지체를 포함하고, 고주파 변형부가 탄성 변형이 용이한 탄성 변형체를 포함하는 경우(도 1 내지 도 3)에는, 상기 탄성 지지체의 탄성 계수가 탄성 변형체의 탄성 계수에 비해 훨씬 더 큰 것이 바람직하다. 즉, 탄성 변형체가 더 쉽게 변형되는 무른 재질을 가지는 것이 바람직하다. 한편, 상기 탄성 스커트는 상기 탄성 변형체와 동일한 재질, 또는 상기 탄성 지지체보다 무른 재질로 만들어질 수 있다.
상기 탄성 지지체 및 탄성 변형체의 재질로는 우레탄 계열이나 실리콘 계열의 고무 등 여러 가지 고무가 다양하게 적용될 수 있다.
상기 피스톤 하우징, 상기 탄성 지지체 및 상기 탄성 변형체에 의해 둘러싸이는 공간은 상기 피스톤의 위치에 따라 체적이 달라진다. 이 공간을 진공으로 유지하여 본 발명의 흡착 유닛이 표면에 흡착할 수 있게 하기 위해 이 공간의 둘레에는 피스톤 하우징의 하측과 상기 탄성 지지체 또는 이와 연결되는 고주파 변형부(탄성 변형체)의 상측에 걸쳐 둘레를 감싸는 주름 변형체(130)가 설치된다. 상기 피스톤 하우징에는 저주파 변형부, 고주파 변형부 및 흡착 표면에 의해 형성되는 내부 공간에 진공을 형성하기 위해 진공 유로가 형성되어 있을 수 있다. 또한, 상기 하우징에는 다른 부재와의 연결을 위해 상부 커버 또는 피스톤 하우징에 볼트 체결공(112) 등이 형성되어 있을 수 있다. 상기 주름 변형체와 피스톤 하우징 사 이의 진공 밀봉을 위해 상기 피스톤 하우징 하측에는 밀봉 부재(125)가 더 설치될 수 있다.
도 4 내지 도 7에는 본 발명의 실시예2에 따른 흡착 유닛의 구성을 보여주는 도면이 도시되어 있다. 즉, 도 4 및 도 5는 실시예2의 흡착 유닛의 사시도, 도 6은 실시예2의 흡착 유닛의 단면도, 도 7은 실시예2의 흡착 유닛의 조립도이다.
실시예2의 경우에도 흡착 유닛(200)은 저주파 변형부(202)와 고주파 변형부(101)를 구비한다. 실시예2에 사용되는 저주파 변형부는, 저주파 변형 리브(251)와 저주파 변형막(231)을 구비한다.
상기 저주파 변형 리브는 방사상으로 외측 단부(251a)가 서로 이격되도록 복수 개가 배치된다. 상기 저주파 변형 리브의 중앙측 단부(251b)들은 도 7에 잘 도시된 것과 같이 서로 연결될 수 있다. 상기 저주파 변형 리브들은 흡착 유닛의 중앙에 가까운 중앙측 단부(251b)가 서로 고정되어, 중앙에서 먼 외측 단부(251a)들은 중앙측 단부(251b)의 고정된 부분을 중심으로 상하 방향으로 회동 가능하다.
상기 저주파 변형막(231)은 상기 저주파 변형 리브들과 본딩되고 상기 저주파 변형 리브들 사이의 공간을 외기로부터 차단한다. 상기 저주파 변형막은 저주파 변형 리브에 비해 상대적으로 얇은 두께를 가진다. 상기 저주파 변형막은 상기 저주파 변형 리브들이 중앙부가 고정된 상태로 단부가 회동할 때 이에 따라 변형가능하다. 이러한 변형은 마치 오리나 개구리의 발가락 사이의 물갈퀴가 발가락의 움직임에 의해 변형되는 것과 유사하다.
상기 저주파 변형막은 전체적으로 균일한 두께로 만들어질 수도 있지만, 도 7에서 잘 보이는 것과 같이, 저주파 변형 리브와 견고하게 본딩될 수 있도록 저주파 변형 리브 수용 홈(231a)이 형성되어 있을 수 있다. 이 저주파 변형 리브 수용 홈은 저주파 변형막에 있어서 주변보다 두께가 더 얇게 형성된 부분이 된다.
한편, 저주파 변형막의 외측 하단의 탄성 변형체 연결부(232)에는 고주파 변형부(101)의 탄성 변형체(141)와 밀봉 결합하기 용이하도록 상기 탄성 변형체가 삽입되는 홈이 형성되어 있을 수 있다.
실시예2에 있어서의 고주파 변형부(101)는 실시예1의 고주파 변형부와 동일한 구성을 가질 수 있다. 즉, 탄성 변형체와 탄성 스커트를 구비하고, 저주파 변형 리브가 흡착 표면의 굴곡에 따라 변형되면 상기 탄성 변형체가 이에 따라 쉽게 변형되고, 탄성 스커트는 표면의 요철에 따라 변형된다.
한편, 실시예2의 흡착 유닛에서는 저주파 변형막, 고주파 변형부인 탄성 변형체 및 흡착 표면에 의해 형성되는 공간에 진공을 형성하기 위해 저주파 변형 리브들이 연결되는 중앙 부분으로부터 진공 펌프와 연결될 수 있다. 이를 위해 진공 헤드(210)가 흡착 유닛의 중앙 상부에 배치되고 진공 헤드에 진공 유로가 형성된다. 상기 진공 헤드의 외부에는 진공 유로를 외부의 진공 펌프(도시하지 않음)와 연결하기 위한 진공 연결구(213)가 형성될 수 있다. 상기 진공 헤드에는 임의의 다른 부재(도시하지 않음)와의 결합을 위해 볼트 체결공(211) 등이 형성되어 있을 수 있다.
그리고, 저주파 변형부와 진공 헤드를 결합하기 위해 진공 헤드 하부(212) 외주면에 나사산이 형성되고, 이 나사산과 결합되는 헤드 결합용 너트(260)가 사용 될 수 있다.
도 8 내지 도 11에는 본 발명의 실시예3에 의한 흡착 유닛의 구성을 보여주는 도면이 도시되어 있다. 즉, 도 8 및 도 9는 실시예3의 흡착 유닛의 사시도이고, 도 10은 실시예3의 흡착 유닛의 조립도이며, 도 11은 실시예3의 흡착 유닛의 단면도이다.
실시예3의 흡착 유닛(300)도 다른 실시예들과 마찬가지로 저주파 변형부(202) 및 고주파 변형부(301)를 구비하는데, 실시예3이 실시예2와 다른 부분은 고주파 변형부의 구성이다.
실시예3의 고주파 변형부는 탄성 변형 튜브(341)와 필름 스커트(342)를 포함한다.
상기 탄성 변형 튜브는 저주파 변형부와 연결되는 부분으로 고리 모양으로 만들어질 수 있다. 이 탄성 변형 튜브는 내부에 공기를 불어 넣는 풍선과 같은 부재이다. 이를 위해 외부에 공기 주입구(343)가 형성되어 있을 수 있다.
상기 필름 스커트는 상기 탄성 변형 튜브의 하단 외측 둘레에 설치되는 얇은 합성 수지 필름이다. 저주파 변형막과 탄성 변형 튜브에 의해 형성되는 공간이 진공으로 유지될 때 상기 탄성 변형 튜브와 흡착 표면 사이에 기밀이 유지되지 않으면 외부로부터 탄성 변형튜브와 흡착 표면의 사이로 공기가 유입된다. 이때 필름 스커트는 그 두께가 얇고 변형이 용이하여 탄성 변형튜브와 흡착 표면의 사이로 공기와 함께 진입하려고 하게 된다. 이 과정에서 탄성 변형튜브와 흡착 표면의 사이의 기밀이 유지되지 못하던 부분이 필름 스커트에 의해 막혀서 내부 중공부의 기밀 성이 향상된다.
상기 필름 스커트는 두 장의 필름으로 탄성 변형 튜브를 만들면서 탄성 변형 튜브의 외측에 필름의 일부가 남도록 함으로써 형성될 수도 있다.
지금까지 본 발명을 설명함에 있어, 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예1에 따른 흡착 유닛의 사시도.
도 2는 본 발명의 실시예1에 따른 흡착 유닛의 조립도.
도 3은 도 1의 III-III 선을 따라 취한 단면도.
도 4 및 도 5는 본 발명의 실시예2에 따른 흡착 유닛의 사시도.
도 6은 본 발명의 실시예2에 따른 흡착 유닛의 조립도.
도 7은 도 6의 VII-VII 선을 따라 취한 단면도.
도 8 및 도 9는 본 발명의 실시예3에 따른 흡착 유닛의 사시도.
도 10은 본 발명의 실시예3에 따른 흡착 유닛의 조립도.
도 11은 도 8의 XI-XI 선을 따라 취한 단면도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
100, 200, 300: 흡착 유닛 101, 301: 고주파 변형부
102, 202: 저주파 변형부 110: 상부 커버
111: 유체 연결구 112: 볼트 체결공
120: 피스톤 하우징 121: 진공 펌프 연결구
122: 피스톤 이동로 125, 126, 127: 밀봉 부재
130: 주름 변형체 141: 탄성 변형체
142, 342: 스커트 151: 피스톤
152: 피스톤 헤드 153: 탄성 지지체
154: 체결 부재 210: 진공 헤드
211: 볼트 체결공 213: 진공 펌프 연결구
231: 저주파 변형막 231a: 리브 수용 홈
232: 탄성 변형체 연결부 251: 저주파 변형 리브
251a: 리브 외측 단부 251b: 리브 중앙측 단부
260: 헤드 결합용 너트 341: 탄성 변형 튜브
343: 공기 주입구

Claims (15)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 흡착 표면에 직접 접하고 흡착 표면과 접하는 부분을 통해 외기가 통과하는 것을 차단하며 내부에 중공부가 형성된 고주파 변형부; 및
    상기 고주파 변형부를 상기 흡착 표면의 굴곡을 따라 변형 가능하게 하고, 변형 후 변형된 상태를 유지할 수 있도록 하는 저주파 변형부를 포함하고,
    상기 저주파 변형부는,
    흡착 유닛의 길이 방향으로 이동이 가능하게 설치된 복수의 피스톤; 및
    상기 피스톤 각각의 하단에 배치되고 상기 고주파 변형부와 연결된 탄성 지지체를 포함하는 흡착 유닛.
  4. 흡착 표면에 직접 접하고 흡착 표면과 접하는 부분을 통해 외기가 통과하는 것을 차단하며 내부에 중공부가 형성된 고주파 변형부; 및
    상기 고주파 변형부를 상기 흡착 표면의 굴곡을 따라 변형 가능하게 하고, 변형 후 변형된 상태를 유지할 수 있도록 하는 저주파 변형부를 포함하고,
    상기 저주파 변형부는,
    흡착 유닛의 길이 방향으로 이동이 가능하게 설치된 복수의 피스톤; 및
    상기 피스톤 각각의 하단에 배치된 탄성 지지체를 포함하고,
    상기 고주파 변형부는,
    상기 각각의 탄성 지지체와 본딩되어 상기 피스톤과 일체로 움직이는 탄성 지지체의 움직임에 따라 국부적인 변형이 일어나는 탄성 변형체; 및
    상기 탄성 변형체의 하단 외측에 설치된 스커트를 포함하는 흡착 유닛.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 탄성 지지체의 탄성 계수가 탄성 변형체의 탄성 계수에 비해 더 큰 흡착 유닛.
  6. 제3항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    복수의 피스톤이 상하 방향으로 독립적으로 이동 가능한 유체 챔버가 내부에 형성되고, 상기 유체 챔버에 일부분 이상 유체가 채워진 피스톤 하우징; 및
    상기 유체 챔버 내에서 각각의 피스톤이 독립적으로 상하 방향으로 이동되면 상기 유체의 유동을 차단하여 피스톤들의 상하방향 운동을 구속하는 압력 유지 수단을 구비하는 흡착 유닛.
  7. 제6항에 있어서,
    피스톤의 위치에 따라 상하 방향의 체적이 달라지는 상기 피스톤 하우징과 상기 탄성 지지체 사이의 공간을 외기와 차단하도록, 상기 피스톤 하우징의 하측과 상기 탄성 지지체 또는 이와 연결되는 고주파 변형부의 상측에 걸쳐 둘레를 감싸는 주름 변형체를 더 포함하는 흡착 유닛.
  8. 삭제
  9. 흡착 표면에 직접 접하고 흡착 표면과 접하는 부분을 통해 외기가 통과하는 것을 차단하며 내부에 중공부가 형성된 고주파 변형부; 및
    상기 고주파 변형부를 상기 흡착 표면의 굴곡을 따라 변형 가능하게 하고, 변형 후 변형된 상태를 유지할 수 있도록 하는 저주파 변형부를 포함하고, ,
    상기 저주파 변형부는,
    방사상으로 일측 단부가 서로 이격되도록 배치되고, 타측 단부는 방사상의 중앙부에서 서로 연결되어 일측 단부가 중앙부에 대해 상하 방향으로 변형이 가능한 복수의 저주파 변형 리브; 및
    상기 저주파 변형 리브들에 의해 변형되고 상기 저주파 변형 리브들 사이의 공간을 외기로부터 차단하며, 상기 저주파 변형 리브에 비해 상대적으로 두께가 얇은 저주파 변형막을 포함하는 흡착 유닛.
  10. 흡착 표면에 직접 접하고 흡착 표면과 접하는 부분을 통해 외기가 통과하는 것을 차단하며 내부에 중공부가 형성된 고주파 변형부; 및
    상기 고주파 변형부를 상기 흡착 표면의 굴곡을 따라 변형 가능하게 하고, 변형 후 변형된 상태를 유지할 수 있도록 하는 저주파 변형부를 포함하고, ,
    상기 저주파 변형부는,
    방사상으로 일측 단부가 서로 이격되도록 배치되고, 타측 단부는 방사상의 중앙부에서 서로 연결되어 일측 단부가 중앙부에 대해 상하 방향으로 변형이 가능한 복수의 저주파 변형 리브; 및
    상기 저주파 변형 리브들에 의해 변형되고 상기 저주파 변형 리브들 사이의 공간을 외기로부터 차단하며, 상기 저주파 변형 리브에 비해 상대적으로 두께가 얇은 저주파 변형막을 포함하고,
    상기 고주파 변형부는,
    내부에 기체가 주입되어 있어 흡착 표면과 접할 때 흡착 표면의 요철에 따라 변형이 가능하고, 상기 저주파 변형부와 연결된 탄성 변형 튜브를 포함하는 흡착 유닛.
  11. 흡착 표면에 직접 접하고 흡착 표면과 접하는 부분을 통해 외기가 통과하는 것을 차단하며 내부에 중공부가 형성된 고주파 변형부; 및
    상기 고주파 변형부를 상기 흡착 표면의 굴곡을 따라 변형 가능하게 하고, 변형 후 변형된 상태를 유지할 수 있도록 하는 저주파 변형부를 포함하고,
    상기 저주파 변형부는,
    방사상으로 일측 단부가 서로 이격되도록 배치되고, 타측 단부는 방사상의 중앙부에서 서로 연결되어 일측 단부가 중앙부에 대해 상하 방향으로 변형이 가능한 복수의 저주파 변형 리브; 및
    상기 저주파 변형 리브들에 의해 변형되고 상기 저주파 변형 리브들 사이의 공간을 외기로부터 차단하며, 상기 저주파 변형 리브에 비해 상대적으로 두께가 얇은 저주파 변형막을 포함하고,
    상기 고주파 변형부는,
    상기 저주파 변형부와 연결되어 상기 저주파 변형 리브와 저주파 변형막의 변형에 따라 변형되는 탄성 변형체를 포함하는 흡착 유닛.
  12. 제9항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 방사상의 중앙부를 통해 상기 고주파 변형부와 상기 저주파 변형부에 의해 형성되는 중공부에 진공 압력을 제공하는 진공 헤드를 더 포함하는 흡착 유닛.
  13. 삭제
  14. 흡착 표면에 직접 접하고 흡착 표면과 접하는 부분을 통해 외기가 통과하는 것을 차단하며 내부에 중공부가 형성된 고주파 변형부; 및
    상기 고주파 변형부를 상기 흡착 표면의 굴곡을 따라 변형 가능하게 하고, 변형 후 변형된 상태를 유지할 수 있도록 하는 저주파 변형부를 포함하고,
    상기 고주파 변형부의 말단에 설치되어 흡착 표면과 직접 접하고, 고주파 변형부의 외측으로 돌출되어 배치되며,
    상기 스커트는 진공 흡입력에 의해 흡착 표면과 고주파 변형부의 말단부 사이로 유입될 수 있도록 얇은 필름 형태로 만들어진 흡착 유닛.
  15. 삭제
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PIAB VGS 3010 카탈로그(2002년 11월)*

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