KR100900218B1 - Vaccum suction frame for ultraviolet rays exposure apparatus - Google Patents

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Abstract

본 발명은 자외선 노광장치용 진공흡착프레임에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 인쇄회로기판에 회로패턴을 형성하기 위한 노광장치의 노광속도를 높이고, 노광공정의 불량을 감소시키기 위하여 상기 노광장치에 사용되는 진공흡착프레임에 대한 것이다.The present invention relates to a vacuum adsorption frame for an ultraviolet exposure apparatus, and more particularly, to increase the exposure speed of an exposure apparatus for forming a circuit pattern on a printed circuit board and to reduce defects in the exposure process. It is about a vacuum adsorption frame.

본 발명에 따른 자외선 노광장치용 진공흡착프레임은 마일러 필림층과, 아크릴 플레이트와, 고정틀을 포함한다. 상기 고정틀은 상기 마일러 필림층을 일면에 고정시키며, 상기 아크릴 플레이트를 상기 마일러 필림층의 상면에 고정시킨다.The vacuum adsorption frame for the ultraviolet exposure apparatus according to the present invention includes a mylar film layer, an acrylic plate, and a fixing frame. The fixing frame fixes the mylar film layer to one surface, and the acrylic plate is fixed to the upper surface of the mylar film layer.

또한, 상기의 진공흡착프레임에 있어서, 상기 고정틀은 상기 아크릴 플레이트를 상기 마일러 필림층의 상면에 일정 간격 이격시켜 고정시키는 것이 바람직하다.In addition, in the vacuum adsorption frame, the fixing frame is preferably fixed to the acrylic plate spaced apart at regular intervals on the upper surface of the mylar film layer.

본 발명에 의하면 노광작업에 있어서 작업자가 막대를 이용하여 마일러 필림을 쓸어내리는 작업이 필요하지 아니하므로, 작업의 속도를 향상시킬 수 있으며, 숙련도 미숙에 따른 제품불량을 방지할 수 있다.According to the present invention, since the operator does not need to sweep down the mylar film by using the rod in the exposure work, the speed of the work can be improved, and product defects due to immaturity can be prevented.

노광기, 진공흡착 프레임, 인쇄회로기판, 아크릴, 마일러 Exposure equipment, vacuum adsorption frame, printed circuit board, acrylic, mylar

Description

자외선 노광장치용 진공흡착프레임{VACCUM SUCTION FRAME FOR ULTRAVIOLET RAYS EXPOSURE APPARATUS}Vacuum adsorption frame for ultraviolet exposure device {VACCUM SUCTION FRAME FOR ULTRAVIOLET RAYS EXPOSURE APPARATUS}

도 1은 본 발명에 따른 노광장치용 진공흡착프레임의 사시도,1 is a perspective view of a vacuum adsorption frame for an exposure apparatus according to the present invention;

도 2는 도 1의 진공흡착프레임이 장착된 노광기의 사시도,Figure 2 is a perspective view of the exposure machine is equipped with a vacuum adsorption frame of Figure 1,

도 3은 도 1의 A-A 단면도,3 is a cross-sectional view taken along line A-A of FIG.

도 4는 도 1을 사용한 노광기의 노광공정의 개념도,4 is a conceptual diagram of an exposure process of an exposure machine using FIG. 1;

도 5는 종래의 노광공정의 개념도이다.5 is a conceptual diagram of a conventional exposure process.

<도면 부호의 간단한 설명><Short description of drawing symbols>

110 : 글래스 120 : 마일러 필림층110: glass 120: mylar film layer

130 : 아크릴 플레이트 140 : 고정틀130: acrylic plate 140: fixing frame

141 : 마일러거치부 142 : 슬릿141: Mylar collection 142: Slit

143 : 아크릴고정부 144 : 마개143: acrylic fixing 144: stopper

150 : 진공흡착프레임 160 : 광원150: vacuum adsorption frame 160: light source

본 발명은 자외선 노광장치용 진공흡착프레임에 대한 것으로서, 더욱 상세하 게는 인쇄회로기판에 회로패턴을 형성하기 위한 노광장치의 노광속도를 높이고, 노광공정의 불량을 감소시키기 위하여 상기 노광장치에 사용되는 진공흡착프레임에 대한 것이다.The present invention relates to a vacuum adsorption frame for an ultraviolet exposure apparatus, and more particularly, to increase the exposure speed of an exposure apparatus for forming a circuit pattern on a printed circuit board and to reduce defects in an exposure process. It is about a vacuum adsorption frame.

인쇄회로기판에 회로패턴을 형성하는 일반적인 과정은 다음과 같다. 먼저 인쇄회로기판의 재료가 되는 폴리이미드(Polyimide) 필림에 동박(Copper foil)을 도포하고 상기 동박 위에 감광재(Photoresist)를 도포한다. 다음, 노광공정과, 식각공정을 통하여 상기 필림상에 소정의 회로패턴을 형성한다. 여기서 상기 노광공정은 소정의 회로패턴이 형성된 마스크를 통해서 자외선을 상기 필림의 감광재에 방사하는 노광공정이다. 그리고 상기 식각공정은 자외선에 노출된 영역을 제거하는 현상공정 및 상기 필림 전체에 도포 되어 있는 구리를 화학적 식각용액을 사용해서 소정의 회로패턴에 해당하지 않는 영역을 제거하는 공정이다.The general process of forming a circuit pattern on a printed circuit board is as follows. First, a copper foil is coated on a polyimide film, which is a material of a printed circuit board, and a photoresist is coated on the copper foil. Next, a predetermined circuit pattern is formed on the film through an exposure process and an etching process. The exposure step is an exposure step of emitting ultraviolet rays to the photosensitive material of the film through a mask having a predetermined circuit pattern formed thereon. The etching process is a developing process for removing an area exposed to ultraviolet rays and a process for removing an area that does not correspond to a predetermined circuit pattern by using a chemical etching solution of copper applied to the entire film.

도 5는 종래의 노광장치를 사용하여 노광공정을 수행하는 과정의 신개념도이다. 먼저 글래스(10)의 상면에 인쇄회로기판(20)을 올려놓으며, 인쇄회로기판(20)의 상면에 회로패턴이 형성된 마스크(22)를 올려놓는다. 그리고 마일러 필림(30)을 사용하여 인쇄회로기판(20) 및 마스크(22)를 덮는다(도 5의 a). 다음, 마일러 필림(30)과 글래스(20) 사이의 공기를 화살표 41과 같이 방출시켜 진공으로 만듦과 동시에 마스크(22)가 인쇄회로기판(20)에 정확히 밀착되기 위하여 막대(40)를 사용하여 마일러 필림(30)의 상면을 상하좌우로 쓸어내린다(도 5의 b). 그리고 광원(50)을 사용하여 자외선(51)을 인쇄회로기판(20)에 노광시킨다(도 5의 c).5 is a new conceptual diagram of a process of performing an exposure process using a conventional exposure apparatus. First, the printed circuit board 20 is placed on the upper surface of the glass 10, and the mask 22 on which the circuit pattern is formed is placed on the upper surface of the printed circuit board 20. Then, the mylar film 30 is used to cover the printed circuit board 20 and the mask 22 (a of FIG. 5). Next, the air between the mylar film 30 and the glass 20 is discharged as shown by arrow 41 to make a vacuum, and at the same time, the rod 40 is used so that the mask 22 is closely adhered to the printed circuit board 20. The upper surface of the mylar film 30 is swept up, down, left and right (FIG. 5B). Then, the ultraviolet light 51 is exposed to the printed circuit board 20 using the light source 50 (FIG. 5C).

노광장치는 자외선(51)을 마스크(22)로 방사하여 인쇄회로기판(20)에 회로패턴을 형성시키기 때문에 마스크(22)를 인쇄회로기판(20)에 밀착시키는 것이 중요하다. 상기 마스크(22)를 인쇄회로기판(20)에 밀착시키기 위하여 종래의 노광장치는 마일러 필림(30)으로 마스크(22)를 덮은 후 상기 마일러 필림(30)의 내부를 진공으로 유지시키면서 동시에 마스크(22)가 인쇄회로기판(20)에 밀착되도록 막대로 마일러 필림(30)을 평평하게 쓸어내렸다.Since the exposure apparatus emits ultraviolet rays 51 to the mask 22 to form a circuit pattern on the printed circuit board 20, it is important to bring the mask 22 into close contact with the printed circuit board 20. In order to closely adhere the mask 22 to the printed circuit board 20, a conventional exposure apparatus covers the mask 22 with a mylar film 30 and simultaneously maintains the interior of the mylar film 30 in a vacuum. The mylar film 30 was swept flat with a rod so that the mask 22 was in close contact with the printed circuit board 20.

이 경우 마일러 필림(30)을 쓸어 내려서 평평하게 유지하기 위하여 고도의 숙련도가 요구되었으며, 사소한 실수로 인하여 인쇄회로기판의 제품불량이 빈번하게 발생되었다.In this case, a high degree of skill was required in order to keep the mylar film 30 down and flat, and a product defect of a printed circuit board was frequently generated due to a minor mistake.

또한, 종래의 노광기는 막대를 쓸어내리는 작업은 진공 중에 진행되어야 하였고, 상기 작업은 수작업으로 진행되었기 때문에 작업의 속도를 높일 수가 없었다.In addition, the conventional exposure machine had to sweep the rods in a vacuum, and the work could be speeded up because the work was performed manually.

본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위한 것이다. 본 발명은 숙련도에 따라 제품불량이 발생하는 것을 방지하고, 노광의 작업속도를 높이기 위하여 막대를 사용하여 마일러 필림을 평평하게 쓸어내리는 작업이 필요 없는 진공흡착프레임을 제공하는 것이다.The present invention is to solve the above problems. The present invention is to provide a vacuum adsorption frame that prevents the occurrence of product defects according to the proficiency, and does not need to sweep down the mylar film flat using a rod to increase the work speed of exposure.

본 발명에 따른 자외선 노광장치용 진공흡착프레임은 마일러 필림층과, 아크릴 플레이트와, 고정틀을 포함한다. 상기 고정틀은 상기 마일러 필림층을 일면에 고정시키며, 상기 아크릴 플레이트를 상기 마일러 필림층의 상면에 고정시킨다.The vacuum adsorption frame for the ultraviolet exposure apparatus according to the present invention includes a mylar film layer, an acrylic plate, and a fixing frame. The fixing frame fixes the mylar film layer to one surface, and the acrylic plate is fixed to the upper surface of the mylar film layer.

또한, 상기의 진공흡착프레임에 있어서, 상기 고정틀은 상기 아크릴 플레이트를 상기 마일러 필림층의 상면에 일정 간격 이격시켜 고정시키는 것이 바람직하다.In addition, in the vacuum adsorption frame, the fixing frame is preferably fixed to the acrylic plate spaced apart at regular intervals on the upper surface of the mylar film layer.

또한, 상기의 진공흡착프레임에 있어서, 상기 고정틀은 일면에 상기 마일러 필림층을 고정시키기 위한 마일러거치부와, 상기 마일러거치부의 타면에 상기 아크릴 플레이트를 고정시키기 위하여 상기 마일러거치부에 결합되기 위한 아크릴고정부를 포함하는 것이 더 바람직하다.Further, in the vacuum suction frame, the fixing frame is a mylar mounting portion for fixing the mylar film layer on one surface, and the mylar mounting portion for fixing the acrylic plate on the other surface of the mylar mounting portion It is more preferred to include acrylic fixing parts for bonding.

또한, 상기의 진공흡착프레임에 있어서, 상기 마일러거치부는 일측에 상기 마일러 필림의 단부가 삽입되기 위한 슬릿이 형성되며, 상기 마일러 필림을 상기 슬릿에 고정시키기 위하여 상기 슬릿에 삽입되기 위한 마개를 더 포함하는 것이 바람직하다.In addition, in the vacuum suction frame, the mylar mounting portion is formed with a slit for inserting the end of the mylar film on one side, a stopper for inserting the slit to fix the mylar film to the slit It is preferable to further include.

이하에서는 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 사용하여 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 노광장치용 진공흡착프레임의 사시도이고, 도 2는 도 1의 진공흡착프레임이 장착된 노광기의 사시도이다. 그리고 도 3은 도 1의 A-A 단면도이다.1 is a perspective view of a vacuum adsorption frame for an exposure apparatus according to the present invention, Figure 2 is a perspective view of the exposure machine equipped with the vacuum adsorption frame of FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line A-A of FIG.

도 1 내지 도 3을 참조하여 설명한다. 도 1에 따른 진공흡착프레임(150)은 고정틀(140)과, 마일러 필림층(120)과, 아크릴 플레이트(130)와, 마개(144)를 포함한다.A description with reference to FIGS. 1 to 3. The vacuum suction frame 150 according to FIG. 1 includes a fixing frame 140, a mylar film layer 120, an acrylic plate 130, and a stopper 144.

고정틀(140)은 마일러거치부(141)와, 아크릴고정부(143)를 포함하며, 마일러거치부(141)는 일측에 슬릿(142)이 형성되어 있다.The fixing frame 140 includes a mylar mounting portion 141 and an acrylic fixing portion 143, the mylar mounting portion 141 is formed with a slit 142 on one side.

마일러 필림층(120)은 마일러거치부(141)의 일면에 위치된다. 마일러 필림층(120)은 마일러거치부(141)에 고정되기 위하여 마일러 필림층(120)의 단부가 마일러거치부(141)의 슬릿(142)에 삽입되며, 마개(144)가 상기 슬릿(142)에 삽입되어 마일러 필림층(120)을 마일러거치부(141)에 고정시킨다.The mylar film layer 120 is located on one surface of the mylar mounting portion 141. The end of the mylar film layer 120 is inserted into the slit 142 of the mylar film 141 in order to be fixed to the mylar film layer 120, the stopper 144 is The mylar film layer 120 is inserted into the slit 142 to fix the mylar film layer 141.

아크릴 플레이트(130)는 마일러거치부(141)의 타면에 위치되며, 아크릴고정부(143)를 사용하여 아크릴 플레이트(130)를 마일러거치부(141)에 고정시킨다. 이 때 볼트(145)를 사용하여 아크릴고정부(143)를 마일러거치부(141)에 고정시킬 수 있다. 마일러 필림층(120)은 마일러거치부(141)의 일면에 위치되고, 아크릴 플레이트(130)는 마일러거치부(141)의 타면에 고정되므로 마일러 필림층(120)과 아크릴 플레이트(130) 사이에 일정한 빈공간이 형성된다.The acrylic plate 130 is located on the other side of the mylar mounting portion 141, and uses the acrylic fixing part 143 to fix the acrylic plate 130 to the mylar mounting portion 141. At this time, the acrylic fixing part 143 may be fixed to the mylar mounting portion 141 by using the bolt 145. The mylar film layer 120 is located on one surface of the mylar mounting portion 141, and the acrylic plate 130 is fixed to the other surface of the mylar mounting portion 141, so that the mylar film layer 120 and the acrylic plate ( There is a constant void space between 130).

이하에서는 본 발명에 따른 자외선 노광장치용 진공흡착프레임을 이용한 노광방법에 대하여 설명한다.Hereinafter, an exposure method using a vacuum adsorption frame for an ultraviolet exposure apparatus according to the present invention will be described.

도 4는 도 1을 사용한 노광기의 노광공정의 개념도이다. 도 1 내지 도 4를 참조하여 노광공정을 설명한다. 노광기(200)의 글래스(110)의 상면에 인쇄회로기판(20)과 회로패턴이 형성된 마스크(22)를 위치시킨다. 상기 인쇄회로기판(20)과 마스크(22)의 상면에 진공흡착프레임(150)을 위치시킨 후 화살표 163의 방향으로 진공흡착프레임(150)과 글래스(110) 사이의 공기를 제거하여 진공을 만든다. 상기 진공에 의하여 마일러 필림층(120)이 마스크(22)와 인쇄회로기판(20)을 밀착시킨다. 그리고 또한 상기의 진공에 의하여 아크릴 플레이트(130)와 마일러 필림층(120) 사이의 빈공간의 공기가 제거되면서 상기 아크릴 플레이트(130)가 마일러 필림층(120)을 눌러주게 된다. 따라서 아크릴 플레이트(130)에 의하여 마일러 필림층(120)이 평평하게 펼쳐져서 상기 마스크(22)를 인쇄회로기판(20)에 확실하게 밀착시킨다. 따라서 종래의 작업자가 수작업으로 막대를 사용하여 마일러 필림층(120)을 쓸어내리는 작업이 필요가 없게 된다.4 is a conceptual diagram of an exposure process of the exposure machine using FIG. 1. An exposure process will be described with reference to FIGS. 1 to 4. The mask 22 having the printed circuit board 20 and the circuit pattern is positioned on the upper surface of the glass 110 of the exposure machine 200. After placing the vacuum adsorption frame 150 on the upper surface of the printed circuit board 20 and the mask 22, the vacuum is removed by removing the air between the vacuum adsorption frame 150 and the glass 110 in the direction of the arrow 163. . The mylar film layer 120 is in close contact with the mask 22 and the printed circuit board 20 by the vacuum. In addition, as the vacuum removes air in the empty space between the acrylic plate 130 and the mylar film layer 120, the acrylic plate 130 presses the mylar film layer 120. Therefore, the mylar film layer 120 is flattened by the acrylic plate 130 to securely adhere the mask 22 to the printed circuit board 20. Therefore, a conventional worker does not need to manually sweep the mylar film layer 120 using a rod.

본 발명에 의하면 노광작업에 있어서 작업자가 막대를 이용하여 마일러 필림을 쓸어내리는 작업이 필요하지 아니하므로, 작업의 속도를 향상시킬 수 있으며, 숙련도 미숙에 따른 제품불량을 방지할 수 있다.According to the present invention, since the operator does not need to sweep down the mylar film by using the rod in the exposure work, the speed of the work can be improved, and product defects due to immaturity can be prevented.

앞에서 설명되고, 도면에 도시된 본 발명의 일 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 발명의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호범위에 속하게 될 것이다.An embodiment of the present invention described above and illustrated in the drawings should not be construed as limiting the technical spirit of the present invention. The protection scope of the present invention is limited only by the matters described in the claims, and those skilled in the art can change and change the technical idea of the present invention in various forms. Therefore, such improvements and modifications will fall within the protection scope of the present invention, as will be apparent to those skilled in the art.

Claims (4)

마일러 필림층과,Mylar film layer, 아크릴 플레이트와,With acrylic plate, 일면에 상기 마일러 필림층을 고정시키기 위한 마일러거치부와, 상기 아크릴 플레이트를 상기 마일러 필림층의 상면에 일정간격 이격하여 고정시키기 위하여 상기 마일러거치부의 타면에 상기 아크릴 플레이트가 고정되도록 상기 마일러거치부에 결합된 아크릴고정부를 구비하는 고정틀을 포함하는 것을 특징으로 하는 자외선 노광장치용 진공흡착프레임.The mylar plate portion for fixing the mylar film layer on one surface and the acrylic plate is fixed to the other surface of the mylarger portion in order to fix the acrylic plate to the upper surface of the mylar film layer at regular intervals. Vacuum suction frame for ultraviolet exposure apparatus, characterized in that it comprises a fixing frame having an acrylic fixing portion coupled to the mylar mounting portion. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 마일러거치부는 일측에 상기 마일러 필림의 단부가 삽입되기 위한 슬릿이 형성되며,The mylar joint portion is formed with a slit for inserting the end of the mylar film on one side, 상기 마일러 필림을 상기 슬릿에 고정시키기 위하여 상기 슬릿에 삽입되기 위한 마개를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자외선 노광장치용 진공흡착프레임.And a stopper for insertion into the slit to fix the mylar film to the slit. 삭제delete 삭제delete
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