KR100899796B1 - 레이저 빔패턴 마스크 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (10)
- 서로 일정간격 이격되게 배치되어 레이저 빔을 투과시키는 제 1 투과홀을 가지는 베이스 기판과;상기 베이스 기판 상부에 위치하며, 상기 제 1 투과홀과 대응되는 제 2 투과홀을 가지고, 상기 레이저 빔의 파장에 해당하는 빛을 선택적으로 전반사시키는 레이저 전반사패턴과;상기 베이스 기판의 배면을 덮는 영역에 형성되는 반사방지막을 포함하며, 상기 베이스 기판의 배면을 레이저 빔 입사면으로 하는 레이저 빔패턴 마스크.
- 베이스 기판과;상기 베이스 기판 상에서 서로 일정간격 이격되게 배치되며, 레이저 빔 통과영역인 투과홀을 가지고, 상기 레이저 빔 파장에 해당하는 빛을 선택적으로 전반사시키는 레이저 전반사패턴과;상기 베이스 기판의 입사면을 덮는 영역에 형성되는 반사방지막을 포함하며, 상기 베이스 기판의 배면을 레이저 빔 입사면으로 하는 레이저 빔패턴 마스크.
- 제 1 항 또는 제 2 항 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 레이저 전반사패턴은, 유기물질의 두께치 조절을 통해 레이저 빔을 전반사시키는 미러 코팅(mirror coating)처리된 것을 특징으로 하는 레이저 빔패턴 마스크.
- 삭제
- 제 1 항에 있어서,상기 레이저 전반사패턴 상부에는, 상기 제 1, 2 투과홀과 대응된 위치의 제 3 투과홀을 가지는 보호막을 추가로 포함하는 레이저 빔패턴 마스크.
- 삭제
- 제 2 항에 있어서,상기 레이저 전반사패턴을 덮는 영역에 보호막을 추가로 포함하는 레이저 빔패턴 마스크.
- 제 5 항 또는 제 7 항 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 보호막은, 유기물질을 증착 타겟(evaporation target)이용하여 코팅처리하는 AR(anti-reflect) 코팅법에 의해 이루어지는 레이저 빔패턴 마스크.
- 제 2 항에 있어서,상기 투과홀은 슬릿 형상으로 이루어진 레이저 빔패턴 마스크.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 1 투과홀과 상기 제 2 투과홀은 슬릿 형상으로 이루어진 레이저 빔패턴 마스크
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