KR100899720B1 - Adhesive filim for die attachment and resin composition for the same - Google Patents
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Abstract
본 발명은 페녹시 수지와 비결정성 에폭시 수지를 소정의 비율로 혼합한 다이 접착 필름용 수지 조성물과 이를 이용한 다이 접착 필름에 관한 것이다. 본 발명의 수지 조성물은 페녹시 수지(X)와 결정성 에폭시 수지(Y)의 합이 10~30중량%, 중량 평균 분자량 50,000 이상의 고무 수지 10~30 중량%, 액상 에폭시 수지 10~50 중량% 및 크레졸 노볼락 에폭시 수지 10~40 중량%로 이루어진 기본 수지 100 중량부에 대하여, 페놀 수지 경화제 5~20 중량부를 포함한다. 이때 상기 페녹시 수지(X)는 중량 평균 분자량이 10,000 이상이고, 상기 페녹시 수지(X)와 결정성 에폭시 수지(Y)의 중량비는 X/Y = 0.5~2인 것이 특징이다. The present invention relates to a resin composition for a die bonding film obtained by mixing a phenoxy resin and an amorphous epoxy resin in a predetermined ratio, and a die bonding film using the same. In the resin composition of the present invention, the sum of the phenoxy resin (X) and the crystalline epoxy resin (Y) is 10-30 wt%, 10-30 wt% of the rubber resin having a weight average molecular weight of 50,000 or more, and 10-50 wt% of the liquid epoxy resin. And 5 to 20 parts by weight of a phenol resin curing agent based on 100 parts by weight of a base resin composed of 10 to 40% by weight of a cresol novolac epoxy resin. In this case, the phenoxy resin (X) has a weight average molecular weight of 10,000 or more, and the weight ratio of the phenoxy resin (X) and the crystalline epoxy resin (Y) is X / Y = 0.5 to 2.
다이 접착 필름, 조성물, 공극, 신뢰성, 비결정성 에폭시 Die Adhesive Films, Compositions, Voids, Reliability, Amorphous Epoxy
Description
본 발명은 인쇄회로기판용 다이 접착 필름과 그 접착 수지 조성물에 관한 것이다. 더 구체적으로 본 발명은 페녹시 수지와 비결정성 에폭시 수지를 포함하는 수지 혼합물로 이루어진 다이 접착 필름용 수지 조성물과 이를 이용한 다이 접착 필름에 관한 것이다.The present invention relates to a die bonding film for a printed circuit board and an adhesive resin composition thereof. More specifically, the present invention relates to a resin composition for a die adhesive film composed of a resin mixture containing a phenoxy resin and an amorphous epoxy resin and a die adhesive film using the same.
반도체 장치가 다기능화·경박단소화함에 따라 반도체 조립업계에서 멀티칩 팩키징(multichip packaging) 또는 시스템인팩키징(system-in-packaging) 등의 새로운 형태의 패키징 기술인 다중 적층 패키지 장치가 출현하고 있다. 이러한 패키징의 핵심적인 기술 중 하나는 동일 크기 또는 다른 크기의 칩을 적층하여 제조하는 것이다. 칩을 적층하여 칩 크기와 유사한 크기의 패키징 형태를 SCSP(stack chip scale packaging)이라고 한다. As semiconductor devices become more versatile and lighter and shorter, multi-layer package devices, a new type of packaging technology such as multichip packaging or system-in-packaging, have emerged in the semiconductor assembly industry. One of the key technologies in such packaging is to stack chips of the same or different size. The type of packaging in which chips are stacked and similar in size to chips is called stack chip scale packaging (SCSP).
이러한 다중 적층 패키징 과정에서도 반도체 장치의 가장 아랫 부분에 위치한 유기 물질 소재의 인쇄회로기판(PCB)과 실리콘 등 무기 소재의 실리콘 칩을 서로 밀접하게 결합시키는 것은 매우 중요하다. 원활한 결합을 위해서는 인쇄회로기 판이 가지는 단차를 극복하고 유기물과 무기물 양쪽 표면에 대하여 접착력이 우수한 접착제가 필수적이다.In such a multi-layered packaging process, it is very important to closely bond a printed circuit board (PCB) made of an organic material located at the bottom of the semiconductor device and a silicon chip made of an inorganic material such as silicon. For smooth bonding, an adhesive with excellent adhesion to both organic and inorganic surfaces is essential, which overcomes the step of the printed circuit board.
종래에는 다이 접착제로서 페이스트형 접착제를 이용하였으나, 이 경우 공정이 복잡하고 접착제 도포시 두께 조절이 곤란하며, 블리딩(bleeding)의 문제가 발생하고, 웨이퍼 수준의 공정이 불가능하다는 문제점이 있었다. 그리고 페이스트형 접착제로는 PCB의 단차를 극복하지 못하거나 유기물과 무기물 양쪽에 대하여 충분한 접착력을 가지기 어려웠다. 따라서 최근에는 다중 적층 패키징 접착제로 필름형 다이 접착제가 사용되고 있다.Conventionally, a paste-type adhesive is used as a die adhesive, but in this case, the process is complicated, thickness control is difficult when the adhesive is applied, a problem of bleeding occurs, and a wafer-level process is impossible. Paste adhesives could not overcome the PCB step or had sufficient adhesion to both organic and inorganic materials. Therefore, in recent years, film type die adhesive has been used as a multi-layer packaging adhesive.
SCSP에 사용되는 접착 필름은 용도에 따라 크게 세가지로 나뉜다. 서로 다른 크기의 칩을 적층할때 사용되는 다이 대 다이(Die-to-Die) 접착 필름, 동일 크기의 칩을 적층할 때 사용되는 스페이서(spacer), 그리고 칩을 기판 위에 접착할 때 쓰이는 다이 대 기질(Die-to-Substrate)용으로 구별된다. 기판은 PCB 패키징 기판이 될 수도 있고 리드프레임(leadframe)이 될 수도 있다. 최근의 경향은 다이 대 기질용 접착 필름을 다이 대 다이용과 리드프레임용으로도 사용하는 것이다.Adhesive films used in the SCSP is divided into three types depending on the application. Die-to-Die adhesive film for stacking chips of different sizes, spacers for stacking chips of the same size, and die-stick for bonding chips on a substrate Distinguished for substrate (Die-to-Substrate). The substrate may be a PCB packaging substrate or may be a leadframe. The recent trend is to use die-to-substrate adhesive films for die-to-die and leadframe as well.
이 분야에서는 다중 적층 패키지용 다이 접착 필름과 이를 위한 접착 수지 조성물로서 높은 신뢰성과 접착력이 우수한 물질을 찾기 위한 노력이 계속되고 있다.In this field, efforts have been made to find a material having high reliability and excellent adhesion as a die adhesive film for a multi-layer package and an adhesive resin composition therefor.
본 발명의 기술적 과제는 유연성이 있어 PCB의 단차를 메울 수 있고 접착력이 뛰어나 신뢰성이 높은 다이 접착 필름과 이를 위한 접착 수지 조성물을 개발하는 것이다.The technical problem of the present invention is to develop a die adhesive film having high flexibility and high reliability, and an adhesive resin composition therefor, which can fill the step of the PCB due to its flexibility.
위와 같은 목적을 이루기 위하여, 본 발명에서는 페녹시 수지(X)와 결정성 에폭시 수지(Y)의 합이 10~30중량%, 중량 평균 분자량 50,000 이상의 고무 수지 10~30 중량%, 액상 에폭시 수지 10~50 중량% 및 크레졸 노볼락 에폭시 수지 10~40 중량%로 이루어진 기본 수지 100 중량부에 대하여,페놀 수지 경화제 5~20 중량부를 포함하는 다이 접착 필름용 수지 조성물을 제공한다. 이때 상기 페녹시 수지(X)는 중량 평균 분자량이 10,000 이상이고, 상기 페녹시 수지(X)와 결정성 에폭시 수지(Y)의 중량비는 X/Y = 0.5~2인 것이 특징이다. In order to achieve the above object, in the present invention, the sum of the phenoxy resin (X) and the crystalline epoxy resin (Y) is 10 to 30% by weight, 10-30% by weight of a rubber resin having a weight average molecular weight of 50,000 or more, liquid epoxy resin 10 It provides the resin composition for die adhesion films containing 5-20 weight part of phenol resin hardening | curing agents with respect to 100 weight part of basic resin which consists of -50 weight% and 10-40 weight% of cresol novolak epoxy resins. In this case, the phenoxy resin (X) has a weight average molecular weight of 10,000 or more, and the weight ratio of the phenoxy resin (X) and the crystalline epoxy resin (Y) is X / Y = 0.5 to 2.
본 발명의 수지 조성물에서, 상기 페녹시 수지는 유리 전이온도가 100℃ 이하인 것이 바람직하다. 한편 상기 상기 결정성 에폭시 수지는 녹는점이 80~120℃ 이고 150℃ 에서의 점도가 0.5 Poise 이하인 에폭시 수지가 적당하다. In the resin composition of the present invention, the phenoxy resin is preferably a glass transition temperature of 100 ℃ or less. On the other hand, the crystalline epoxy resin is suitable for the epoxy resin having a melting point of 80 ~ 120 ℃ ℃ and a viscosity at 150 ℃ 0.5 poise or less.
본 발명의 수지 조성물은 한편으로 실란 커플링제 및/또는 실리카 충진제를 더 포함할 수 있다.The resin composition of the present invention may further comprise a silane coupling agent and / or a silica filler on the one hand.
또한 본 발명에서는 이와 같은 다이 접착 필름용 수지 조성물을 이용하여 제조한 다이 접착 필름을 제공한다.Moreover, in this invention, the die adhesion film manufactured using such a resin composition for die adhesion films is provided.
본 발명의 다이 접착 필름용 수지 조성물은 JEDEC 규격 2A 수준(Level 2A) 이상의 내습 신뢰성을 가지며, 기판의 단차를 메우는 능력이 뛰어나, 칩 면적 대비 공극 면적을 10% 미만으로 할 수 있다. The resin composition for die adhesion films of this invention has the moisture resistance reliability more than the level of JEDEC standard 2A (Level 2A), and is excellent in the ability to fill the level | step difference of a board | substrate, and can make pore area less than 10% with respect to chip area.
본 발명에서 제공하는 다이 접착 필름용 수지 조성물의 구성은 기본 수지 100 중량부에 대하여 페놀 수지 경화제 5~20 중량부 및 선택적으로 3~20 중량부의 실리카 충진제와 실란 커플링제를 포함하는 것을 특징으로 한다.The composition of the resin composition for a die-bonding film provided by the present invention is characterized by including 5 to 20 parts by weight of a phenol resin curing agent and optionally 3 to 20 parts by weight of a silica filler and a silane coupling agent based on 100 parts by weight of the basic resin. .
상기 기본 수지는 페녹시 수지(X)와 결정성 에폭시 수지(Y)의 합이 10~30중량%, 중량 평균 분자량 50,000 이상의 고무 수지 10~30 중량%, 액상 에폭시 수지 10~50 중량% 및 크레졸 노볼락 에폭시 수지 10~40 중량%로 이루어지는데, 이때 상기 페녹시 수지(X)는 중량 평균 분자량이 10,000 이상이고, 상기 페녹시 수지(X)와 결정성 에폭시 수지(Y)의 중량비가 0.5~2인 것이 특징이다. The base resin is 10-30% by weight of the sum of the phenoxy resin (X) and the crystalline epoxy resin (Y), 10-30% by weight of the rubber resin having a weight average molecular weight of 50,000 or more, 10-50% by weight of the liquid epoxy resin and cresol Novolak epoxy resin 10 to 40% by weight, wherein the phenoxy resin (X) has a weight average molecular weight of 10,000 or more, the weight ratio of the phenoxy resin (X) and the crystalline epoxy resin (Y) is 0.5 ~ It is characterized by two.
본 발명에서 페녹시 수지는 열가소성 고분자로서 말단에 페놀성 작용기를 갖춘 것을 일컫는다. 본 발명의 다이 접착 필름용 수지 조성물에서 페녹시 수지 성분은 내습 신뢰성을 높이고 PCB에 대한 접착력을 부여한다. 본 발명의 페녹시 수지의 예를 일부 들면, 미국 InChem社의 InchemRez(상표) 페녹시 수지인 PKHB, PKHC, PKHJ 제품군이 있다. 전형적인 PKHB, PKHC, PKHJ의 중량 평균 분자량은 각각 32000, 43000과 57000이고 이 제품군에서 용도에 맞는 것을 적절히 선택할 수 있다. 본 발명의 페녹시 수지는 중량 평균 분자량이 10,000 이상이고 유리 전이온 도(Tg)가 100℃ 이하인 페녹시 수지가 적당하다. 중량 평균 분자량이 10,000 미만인 페녹시 수지는 내습 신뢰성이 저하되므로 적합하지 않다. 유리 전이 온도가 100℃를 넘으면 PCB단차를 메우는 채움성이 저하되는 단점이 있다.In the present invention, phenoxy resin refers to a thermoplastic polymer having a phenolic functional group at its end. The phenoxy resin component in the resin composition for die adhesion films of the present invention increases the moisture resistance reliability and imparts adhesion to the PCB. Some examples of the phenoxy resins of the invention include the PKHB, PKHC, and PKHJ family of InchemRez® phenoxy resins from InChem, USA. Typical PKHB, PKHC, and PKHJ have weight average molecular weights of 32000, 43000 and 57000, respectively, and you can choose the right one for your application. The phenoxy resin of the present invention is preferably a phenoxy resin having a weight average molecular weight of 10,000 or more and a glass transition temperature (T g ) of 100 ° C or less. Phenoxy resins having a weight average molecular weight of less than 10,000 are not suitable because the moisture resistance reliability is lowered. If the glass transition temperature exceeds 100 ℃, there is a disadvantage that the fillability to fill the PCB step is reduced.
본 발명에서 결정성 에폭시 수지란 연화점(Softening point)를 가지는 기존의 비스페놀계 에폭시와 특정온도에서 녹는점(Melting point)을 가지는 액정 특성을 가지는 에폭시 수지를 일컫는데, 본 발명의 조성물에서는 채움성과 신뢰성을 향상시키는 역할을 맡는다. 이러한 결정성 에폭시 수지의 예를 일부만 들자면 일본 Tohto Kasei사의 YSLV series 및 비페닐(biphenyl)계 에폭시 수지 등이 있다. 본 발명의 결정성 에폭시 수지는 녹는점이 80~120℃인 것이 바람직한데, 녹는점이 80℃ 미만이면 필름 취급성이 떨어지며, 120℃를 넘어도 기판의 단차를 메우는 성능이 떨어지게 되어 좋지 않다. 또한 본 발명의 결정성 에폭시 수지는 150℃에서의 점도가 0.5 Poise 이하인 것이 바람직한데, 점도가 이 값보다 크면 취급이 불편해진다.In the present invention, the crystalline epoxy resin refers to an existing bisphenol-based epoxy having a softening point and an epoxy resin having a liquid crystal characteristic having a melting point at a specific temperature. In the composition of the present invention, filling and reliability Take on the role of improving. Some examples of such crystalline epoxy resins include Tohto Kasei Co., Ltd. YSLV series and biphenyl epoxy resins. It is preferable that the crystalline epoxy resin of the present invention has a melting point of 80 to 120 ° C., but a melting point of less than 80 ° C. results in poor film handleability, and even if the melting point exceeds 120 ° C., the performance of filling the step difference of the substrate is not good. In addition, the crystalline epoxy resin of the present invention preferably has a viscosity at 150 ° C of 0.5 Poise or less, but when the viscosity is larger than this value, handling becomes inconvenient.
상기 기본 수지내에서 페녹시 수지와 결정성 에폭시 수지의 합계 함량이 10 중량%에 미달하면 다이 접착 공정에서 버(burr)의 발생이 잦아지며, 30 중량%를 넘는 경우도 무기물인 실리콘 웨이퍼에 대한 다이 접착 필름의 접착력이 약해지고 기판 단차를 메우는 능력이 감소하게 되어 바람직하지 않다. If less than the phenoxy resin and the crystallinity is 10% by weight of the total amount of epoxy resin in the base can doing becomes frequent occurrence of burr (burr) from the die-bonding process, in Fig inorganic silicon wafer when more than 30% by weight It is undesirable because the adhesion of the die attach film to the film becomes weak and the ability to fill the substrate step is reduced.
상기 분자량 10,000 이상의 페녹시 수지의 중량을 X, 결정성 에폭시 수지의 중량을 Y라고 하면, X와 Y의 비율은 X/Y = 0.5 ~ 2의 범위에 있는 것이 적절하다. 이같이 페녹시 수지와 비결정성 에폭시 수지를 배합하면 다이 접착 필름에 필요한 유연성, 신뢰성, 접착력 등의 물성을 적절하게 조절할 수 있는데, 이때 X/Y가 2 초과인 경우는 필름이 기판의 단차를 채우는 능력이 떨어지게 되며, 0.5 미만인 경우는 내습 신뢰성이 저하된다.When the weight of the phenoxy resin having a molecular weight of 10,000 or more is X and the weight of the crystalline epoxy resin is Y, the ratio of X and Y is preferably in the range of X / Y = 0.5 to 2. When the phenoxy resin and the amorphous epoxy resin are mixed in this way, physical properties such as flexibility, reliability, and adhesive force required for the die-bonding film can be properly adjusted. In this case, when the X / Y is more than 2, the film can fill the step of the substrate. If it falls, if it is less than 0.5, moisture resistance reliability falls.
본 발명에서 분자량 5만 이상의 고무 수지는 접착력을 늘리고 탄성을 부가하여 접착제에 가해지는 응력을 소화해내는 역할을 한다. 적절한 고무 수지의 예로는 아크릴로니트릴-부타디엔 고무(NBR), 스티렌-부타디엔 고무(SBR) 또는 수소 첨가 아크릴로니트릴-부타디엔 고무(hydrogenated acrylonitrile-butadiene rubber, H-NBR)를 들 수 있다. 본 발명의 다이 접착 필름용 수지 조성물에서 고무 수지의 함량 범위가 기본 수지 중량의 10%에 미달하면 필요한 정도의 탄성을 얻을 수 없어 필름이 충격에 약해진다. 또한 고무 수지 함량이 기본 수지 중량의 30%를 초과하여도 내열성이 약해지므로 이 수치가 상한으로 적절하다. In the present invention, the rubber resin having a molecular weight of 50,000 or more serves to extinguish the stress applied to the adhesive by increasing adhesion and adding elasticity. Examples of suitable rubber resins include acrylonitrile-butadiene rubber (NBR), styrene-butadiene rubber (SBR) or hydrogenated acrylonitrile-butadiene rubber (H-NBR). When the content range of the rubber resin in the resin composition for die-bonding film of the present invention is less than 10% of the weight of the basic resin, the required degree of elasticity cannot be obtained and the film is weak to impact. In addition, even if the rubber resin content exceeds 30% of the basic resin weight, the heat resistance is weakened, so this value is appropriate as an upper limit.
본 발명에서 액상 에폭시 수지는 가교도를 향상시키고 필름에 접착력을 부여하기 위하여 사용된다. 이를 위하여 비스페놀 A계, 비스페놀 F계 및/또는 고무 변성 에폭시 수지를 이용하면 적절하다. 이 분야의 평균적 기술자는 다이 접착 필름의 구체적 용도에 맞게 필요한 특정 액상 에폭시 수지의 종류와 함량을 실험을 통하여 용이하게 결정할 수 있을 것이다. 상기 기본 수지 내에서 액상 에폭시 수지는 중량 기준으로 10 내지 50%를 차지하는 것이 적당하다. 함량이 10 중량%에 미달하는 경우 필름의 접착력이 부족하게 되며, 50 중량%를 넘는 경우 열충격에 취약하여지기 때문에 바람직하지 않다.In the present invention, the liquid epoxy resin is used to improve the degree of crosslinking and impart adhesion to the film. For this purpose, bisphenol A-based, bisphenol-F-based and / or rubber-modified epoxy resins are suitable. The average person skilled in the art will be able to easily determine through experiments the type and content of the specific liquid epoxy resin needed for the specific use of the die attach film. The liquid epoxy resin in the base resin is suitably occupy 10 to 50% by weight. If the content is less than 10% by weight, the adhesion of the film is insufficient, and if it exceeds 50% by weight it is not preferable because it becomes vulnerable to thermal shock.
본 발명에서 크레졸 노볼락 에폭시 수지는 크레졸과 포름알데히드를 중합한 페놀 수지에 에폭시 작용기(특히 글리시딜기)를 도입한 것으로서, 수지 조성물에서 내열성을 향상시키는 역할을 맡는다. 본 발명의 기본 수지에서 크레졸 노볼락 에폭시 수지의 중량 비율이 10% 미만인 경우는 접착력과 내열성이 감소하게 된다. 반대로 함량이 40 중량%를 넘는 경우 충격에 취약한 다이 접착 필름이 되는 문제가 있다. 본 발명에서 크레졸 노볼락 에폭시 수지의 연화점은 60~100℃인 것이 바람직한데, 그 까닭은 채움성과 웨이퍼와의 접착력을 향상시키기 때문이다.In the present invention, the cresol novolac epoxy resin is an epoxy functional group (particularly a glycidyl group) is introduced into the phenol resin polymerized with cresol and formaldehyde, and plays a role of improving heat resistance in the resin composition. When the weight ratio of the cresol novolac epoxy resin in the base resin of the present invention is less than 10%, the adhesion and heat resistance are reduced. On the contrary, if the content exceeds 40% by weight, there is a problem of being a die-bonding film vulnerable to impact. In the present invention, the softening point of the cresol novolac epoxy resin is preferably 60 to 100 ° C., because it improves the fillability and adhesion to the wafer.
한편 본 발명의 수지 조성물은 내습성 향상과 열팽창성을 조절하기 위하여 선택적으로 기본 수지 100 중량부에 대하여 3 내지 20 중량부의 충진제를 포함할 수 있다. 적절한 충진제로는 실리카를 들 수 있다. 실리카와 같은 충진제를 20 중량부 넘게 넣을 경우 유연성이 나빠지고 웨이퍼에 대한 접착력이 나빠진다. 반대로 충진제 함량이 3 중량부 미만인 경우는 내습 신뢰성이 부족하게 된다. Meanwhile, the resin composition of the present invention may optionally include 3 to 20 parts by weight of a filler based on 100 parts by weight of the base resin in order to improve moisture resistance and control thermal expansion. Suitable fillers include silica. Adding more than 20 parts by weight of a filler, such as silica, results in poor flexibility and poor adhesion to the wafer. On the contrary, when the filler content is less than 3 parts by weight, the moisture resistance is insufficient.
본 발명의 다이 접착 필름용 수지 조성물은 페놀 수지 계열 경화제를 사용하며, 선택적으로 경화 촉진제를 사용할 수 있다. 페놀 수지 계열 경화제로는 페놀 노볼락, 크레졸 노볼락 및 비스페놀A 노볼락 수지로 이루어지는 군에서 선택되는 하나의 물질 또는 2종 이상의 혼합물을 이용하는 것이 바람직하다. 경화 촉진제로는 아민계, 페놀계 및 이미다졸계 경화 촉진제로 이루어지는 군에서 선택되는 하나의 물질 또는 2종 이상의 혼합물을 사용할 수 있다. 본 발명에서 상기 페놀 수지 계열 경화제의 함량이 5 중량부보다 낮은 경우에는 가교도가 낮아 접착력이 저하되며, 20 중량부보다 더 높은 함량에서는 조성물의 보존성이 떨어지며 내습 신뢰성이 저하되는 단점이 있다.The resin composition for die adhesion films of this invention uses a phenol resin series hardening | curing agent, and can use a hardening accelerator selectively. As the phenol resin-based curing agent, it is preferable to use one substance selected from the group consisting of phenol novolac, cresol novolac and bisphenol A novolac resin or a mixture of two or more kinds. As the curing accelerator, one substance or a mixture of two or more selected from the group consisting of amine-based, phenol-based and imidazole-based curing accelerators can be used. In the present invention, when the content of the phenol resin-based curing agent is lower than 5 parts by weight, the crosslinking degree is low, the adhesive strength is lowered, and when the content is higher than 20 parts by weight, there is a disadvantage in that the preservation of the composition is lowered and the moisture resistance reliability is lowered.
본 발명의 다이 접착 필름용 수지 조성물은 이밖에 실란 커플링제를 포함할 수 있다. 이 분야의 평균적 기술자는 다이 접착 필름의 용도에 따라 필요한 구체적 실란 커플링제 물질과 함량을 실험을 통하여 용이하게 결정할 수 있을 것이다. The resin composition for die adhesion films of this invention can contain a silane coupling agent other than this. The average person skilled in the art will be able to easily determine through experiments the specific silane coupling agent material and content required for the use of the die attach film.
본 발명에서는 아울러 상기 다이 접착 필름용 수지 조성물을 이용하여 제조한 다이 접착 필름을 제공한다. 본 발명의 다이 접착 필름은 본 발명의 수지 조성물을 이형처리된 PET 필름위에 도포하여 건조시키는 과정을 통하여 제조할 수 있다. 이 분야의 평균적 기술자라면 접착용 수지 조성물을 적절한 플라스틱 필름 위에 입혀 다이 접착 필름을 제조하는 공정에 익숙할 것이므로 상세한 설명은 생략한다. 필름 제조 공정을 간략하게 언급하면 접착용 수지 조성물을 이형 처리된 플라스틱 필름(예를 들어 PET) 위에 그라뷰어(gravure) 또는 립 코팅(rip coating) 등의 방법을 사용하여 일정한 두께로 도포한다. 조성물이 도포된 필름을 코터(coater) 체임버 속에 통과시켜 일정한 온도와 압력하에 건조시킨다. In this invention, it also provides the die adhesion film manufactured using the said resin composition for die adhesion films. The die adhesive film of the present invention can be prepared through the process of applying the resin composition of the present invention on a release-treated PET film and drying. The average person skilled in the art will be familiar with the process of manufacturing the die adhesive film by coating the adhesive resin composition on a suitable plastic film, and thus, the detailed description thereof will be omitted. Briefly referring to the film manufacturing process, the adhesive resin composition is applied on a release-treated plastic film (for example, PET) to a certain thickness by using a method such as gravure or rip coating. The film to which the composition is applied is passed through a coater chamber and dried under constant temperature and pressure.
<실시예><Example>
이하 실시예를 들어 본 발명을 더 구체적으로 설명한다. 본 발명이 속하는 분야의 평균적 기술자는 아래 실시예에 기재된 실시 태양 외에 여러 가지 다른 형태로 본 발명을 변경할 수 있으며, 이하 실시예는 본 발명을 예시할 따름이지 본 발명의 기술적 사상의 범위를 아래 실시예 범위로 한정하기 위한 의도라고 해석해 서는 아니된다. The present invention will be described in more detail with reference to the following Examples. The average person skilled in the art to which the present invention pertains may change the present invention in various other forms in addition to the embodiments described in the following examples, and the following examples merely illustrate the present invention, and the scope of the technical spirit of the present invention is given below. It is not to be construed as limiting the scope of the examples.
본 발명의 다이 접착 필름용 조성물의 각 성분의 조성비가 필름의 접착 성능에 미치는 영향을 알아보기 위하여 본 발명에 따른 실시예 조성물을 아래 표 1과 같이 제조하여 비교예 조성물과 비교하였다. 비교예 1 내지 4의 각 조성물은 실시예 조성물과 동일한 성분을 가지고 있으나, 구성 성분 중 하나의 함량 범위가 이하 청구 범위에서 규정하는 범위를 벗어나는 것이 특징이다(함량 범위를 벗어나는 성분은 아래 표 1에서 굵은 이탤릭체로 표시하였다). 아래 표 1에서 충진제, 실란 커플링제, 페놀 수지 경화제, 경화 촉진제의 양은 기본 수지 총 중량을 100으로 환산하였을 때 공통적으로 각각 10, 1, 10, 0.1 중량부에 해당하는 양을 부가한 것이다.The composition ratio of each component of the composition for die adhesion films of the present invention In order to determine the effect of the composition according to the present invention was prepared as shown in Table 1 below and compared with the comparative composition. Each of the compositions of Comparative Examples 1 to 4 has the same components as the Example compositions, but the content range of one of the components is outside the range defined in the claims below (components outside the content range are shown in Table 1 below). Bold italicized). In Table 1 below, the amounts of the filler, the silane coupling agent, the phenol resin curing agent, and the curing accelerator are added in amounts corresponding to 10, 1, 10, and 0.1 parts by weight, respectively, when the total weight of the base resin is converted into 100.
* 중량 평균 분자량 32,000인 미국 InChem Corporation의 InchemRez PKHB* InchemRez PKHB of InChem Corporation, USA with a weight average molecular weight of 32,000
** 녹는점이 89℃인 일본 Tohoto Kasei사의 YSLV-09CR ** YSLV-09CR from Tohoto Kasei, Japan, with melting point of 89 ℃
*** 분자량 100,000인 NBR.*** NBR having a molecular weight of 100,000.
† 에폭시당량이 200인 비스페놀 A 액상 에폭시 수지† Bisphenol A liquid epoxy resin with an epoxy equivalent of 200
‡ 연화점이 80℃이고 에폭시 당량이 300인 크레졸 노볼락 에폭시 수지‡ Cresol novolac epoxy resin with a softening point of 80 ° C. and an epoxy equivalent of 300
‡‡ 실리카 (입자 크기 100~300nm)‡‡ Silica (particle size 100 ~ 300nm)
§ (글리시독시프로필)트리메톡시실란 [(glycidoxypropyl)] trimethoxy silane§ (glycidoxypropyl) trimethoxy silane
§§ 미국 Dow Corning사의 D.E.H. 85§§ D.E.H. 85
§§§ 2-메틸이미다졸(2-methylimidazole)§§§ 2-methylimidazole
표 1에서 볼 수 있듯이 비교예는 어느 한 구성 성분이 본 발명에 따른 조성물 함량 범위를 약간 벗어날 뿐 나머지 성분과 함량은 실시예와 동일하다. 표 1에 따라 제조한 실시예와 비교예 수지 조성물로부터 다이 접착용 필름과 이 필름을 이용하여 PCB에 칩을 결합시킨 시편을 제작하였다. 접착제 수지 조성물로부터 다이 접착용 필름을 제조하는 방법과 상기 필름을 이용한 칩 패키징은 이 분야의 평균 기술자에게 잘 알려져 있으므로 여기서 상세하게 설명하지는 않는다. 간략하게, 상기 수지 조성물을 메틸에틸케톤(MEK) 용매에 용해시킨 다음 이형 처리된 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET) 필름 위에 그라뷰어(gravure) 또는 립 코팅(rip coating) 등을 이용하여 60 ㎛ 두께로 피복한 다음 80℃에서 5분간 건조하였다. 상기 조성물로 피복된 PET 필름을 피복기(coater) 체임버 속으로 통과시켜 다른 PET 보호 필름을 라미네이트하여 최종 두께가 20 ㎛인 다이 접착용 필름을 얻었다. As can be seen in Table 1, the comparative example is only one component is slightly out of the composition content range according to the present invention and the remaining components and contents are the same as the examples. Examples and Comparative Examples Prepared according to Table 1 A film for die bonding and a specimen in which a chip was bonded to a PCB were prepared using the film. The method for producing a die-bonding film from the adhesive resin composition and the chip packaging using the film are well known to those skilled in the art and will not be described in detail here. Briefly, the resin composition is dissolved in methyl ethyl ketone (MEK) solvent, and then coated on a release-treated polyethylene terephthalate (PET) film by using a gravure or lip coating, etc., to a thickness of 60 μm. Then dried at 80 ° C. for 5 minutes. The PET film coated with the composition was passed through a coater chamber to laminate another PET protective film to obtain a die bonding film having a final thickness of 20 μm.
이어 웨이퍼에 상기한 대로 제조된 실시예 또는 비교예의 접착 필름을 붙인 후, 이를 7 mm × 7 mm 로 절단하여 칩 시편을 얻었다. 접착필름이 붙어 있는 칩을 PCB 위에 결합시켰다. 결합은 150℃에서 2초 동안 3 kg중의 하중을 가하여 이루어졌다. 이때 PCB 표면의 조도(粗度) 차이는 15 ㎛이다. 결합 완료된 기판 결합 시편에 대하여 1시간 동안 175℃에서 경화 처리를 하였다.Then, after attaching the adhesive film of the Example or Comparative Example prepared as described above to the wafer, it was cut into 7 mm × 7 mm to obtain a chip specimen. The chip with the adhesive film was bonded onto the PCB. Bonding was accomplished by applying a load in 3 kg at 150 ° C. for 2 seconds. At this time, the roughness difference of the PCB surface is 15 micrometers. The bonded substrate bonded specimens were cured at 175 ° C. for 1 hour.
이렇게 하여 얻은 기판 결합 시편을 대상으로 결합력 평가를 수행하여 그 결과를 아래 표 2에 정리하였다. 내습 신뢰성과 접착 후 기판의 공극률을 관찰하여 접착력을 평가하였는데, 평가 방법은 다음과 같다.Bonding force evaluation was performed on the substrate bonding specimens thus obtained, and the results are summarized in Table 2 below. The adhesion strength was evaluated by observing the moisture resistance and the porosity of the substrate after adhesion. The evaluation method is as follows.
내습 신뢰성 / 접착 후 공극률 평가방법Moisture resistance reliability / Porosity evaluation method after adhesion
칩 시편의 신뢰성은 미국의 전자 디바이스 부품 표준화 추진을 위한 업계 단체인 Joint Electronic Device Engineering Council(JEDEC) level 2A 규격에 따른 수분 저항 시험(moisture resistance test)을 이용하여 평가하였다. PCB 위에 접착 필름으로 칩이 결합된 기판 결합 시편을 60℃, 상대습도 60%의 항온항습조에 5일간 방치하여 수분 흡수를 수행하고, 이를 피크 온도 260℃로 재유동 오븐(Reflow Oven)에 통과시켜 균열(crack) 또는 필름과 PCB 사이 또는 필름과 웨이퍼 사이에 박리(Delamination) 현상이 발생하는지 여부로 신뢰성을 시험하였다. The reliability of the chip specimens was evaluated using a moisture resistance test according to the Joint Electronic Device Engineering Council (JEDEC) level 2A specification, which is an industry organization for the standardization of electronic device components in the United States. The substrate-bonded specimen, in which the chip is bonded with an adhesive film on the PCB, is left in a constant temperature and humidity chamber at 60 ° C. and 60% relative humidity for 5 days to absorb water, and then passed through a reflow oven at a peak temperature of 260 ° C. Reliability was tested by whether cracks or delamination occurred between the film and the PCB or between the film and the wafer.
기판 결합 시편의 공극률 평가는 경화가 끝난 칩의 면적에 대한 빈 틈(void)의 면적을 측정함으로써 이루어졌다. Porosity evaluation of the substrate-bonded specimens was made by measuring the area of voids relative to the area of the hardened chip.
표 2의 데이터는 본 발명의 다이 접착 필름용 수지 조성물이 가지는 뛰어난 접착력과 이러한 접착력을 발휘하기 위한 조성의 중요성을 나타낸다. 본 발명의 수지 조성물에 따른 실시예 시편은 JEDEC 규정의 2A 수준 신뢰성과 10% 미만의 공극률을 동시에 만족하는데 반하여, 비교예 시편들은 본 발명의 조성에서 단 하나의 성분의 함량이 약간 벗어난 것에 불과한데도 양쪽 기준을 모두 만족하는 조성물은 하나도 없었다. The data of Table 2 shows the outstanding adhesive force which the resin composition for die adhesion films of this invention has, and the importance of the composition for demonstrating such adhesive force. While the example specimens according to the resin composition of the present invention simultaneously satisfy the 2A level reliability of the JEDEC specification and the porosity of less than 10%, the comparative specimens are only slightly deviated from the content of only one component in the composition of the present invention. No composition met both criteria.
구체적으로 비교예 1은 페녹시 수지(X)와 결정성 에폭시 수지(Y)의 합계 총량이 본 발명의 상한값을 초과하는 구성인데, 다이 접착 필름의 실리콘 웨이퍼에 대한 결합력과 공극 채움성이 모두 불량하였다. 비교예 2는 X+Y의 합이 기준치 최소값인 경우이며, 고무수지가 상한값을 초과하는 구성인데, 공극률은 우수하지만 신뢰성이 없다. 비교예 3은 Y에 비하여 X가 과대하기 때문에 기판의 단차를 메우는 능력이 떨어짐을 볼 수 있다. 반대로 비교예 4는 Y에 비하여 X가 과소한 경우로서, 공극률은 무난하나 내습 신뢰성에 문제가 있음을 알 수 있다. 이와 달리 실시예 필름 시편은 특히 접착 후 공극률이 탁월하게 낮아서 기판의 단차를 메우는 능력이 매우 뛰어남을 보여주었다.Specifically, Comparative Example 1 is a configuration in which the total total amount of the phenoxy resin (X) and the crystalline epoxy resin (Y) exceeds the upper limit of the present invention, and both the bonding strength and the void filling property of the die-bonding film to the silicon wafer are poor. It was. The comparative example 2 is a case where the sum of X + Y is a minimum value of a reference value, and a rubber resin exceeds the upper limit, but the porosity is excellent but it is unreliable. Comparative Example 3 can be seen that the ability to fill the step of the substrate is inferior because X is excessive compared to Y. On the contrary, Comparative Example 4 is a case where X is less than Y, and the porosity is good, but it can be seen that there is a problem in the moisture resistance reliability. In contrast, the example film specimens showed that the porosity was particularly low after adhesion, so the ability to fill the step of the substrate was very excellent.
이러한 실시예 데이터로부터 본 발명의 다이 접착 필름용 수지 조성물과 이를 이용한 다이 접착 필름은 PCB와 실리콘 웨이퍼 양쪽에 대하여 우수한 결합력을 가진다는 점을 확인할 수 있었다.From these example data, it can be seen that the resin composition for a die adhesive film of the present invention and the die adhesive film using the same have excellent bonding strength to both the PCB and the silicon wafer.
본 명세서의 상세한 설명과 실시예에 사용된 용어는 해당 분야에서 평균적인 기술자에게 본 발명을 상세히 설명하기 위한 목적으로 쓰인 것일 뿐, 어느 특정 의미로 한정하거나 청구범위에 기재된 발명의 범위를 제한하기 위한 의도가 아니었음을 밝혀 둔다.The terminology used in the description and examples herein is for the purpose of describing the invention in detail to those skilled in the art, and is intended to limit the scope of the invention in any particular sense or in the claims. It was not intended.
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