KR100899617B1 - 이송로봇의 제어방법, 이를 이용한 박스 적재장치 및 이를갖는 기판 가공설비 - Google Patents

이송로봇의 제어방법, 이를 이용한 박스 적재장치 및 이를갖는 기판 가공설비 Download PDF

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Abstract

원점 기동시의 박스 등의 파손을 방지할 수 있는 이송로봇의 제어방법, 이를 이용한 박스 적재장치 및 이를 갖는 기판 가공설비에서, 박스를 이송하기 위한 이송로봇의 동작 중 알람이 발생하면, 이송로봇의 핸드(hand)에 박스의 적재 유무를 체크한다. 이어서, 핸드에 박스가 적재되어 있는 경우, 이송로봇을 비간섭 공간부로 대피시킨 후, 이송로봇을 원점 기동시킨다. 이와 같이, 이송로봇이 원점 기동하기 전에 이송로봇을 비간섭 공간부로 대피시킴에 따라, 원점 기동시의 박스의 파손을 방지할 수 있다.
Figure R1020070087998
이송로봇, 적재 선반, 비간섭 공간부

Description

이송로봇의 제어방법, 이를 이용한 박스 적재장치 및 이를 갖는 기판 가공설비{METHOD FOR CONTROLING A TRANSFER ROBOT, BOX LOADING APPARATUS BY USING THE METHOD AND SUBSTRATE PROCESSING EQUIPMENT HAVING THE BOX LOADING APPARATUS}
본 발명은 이송로봇의 제어방법, 이를 이용한 박스 적재장치 및 이를 갖는 기판 가공설비에 관한 것으로, 보다 상세하게는 웨이퍼를 포함하는 풉(FOUP)을 선반에 적재하는 이송로봇의 제어방법, 이를 이용한 박스 적재장치 및 이를 갖는 기판 가공설비에 관한 것이다.
가공되기 위한 웨이퍼들은 하나의 풉(FOUP, Front Opening Unified Pod) 단위로 웨이퍼 가공설비로 로딩 또는 언로딩되는 것이 일반적이다. 즉, 상기 풉은 복수의 웨이퍼들 및 상기 웨이퍼들을 보관하는 커버로 구성된다.
상기 웨이퍼 가공설비는 상기 웨이퍼를 가공하기 위한 웨이퍼 가공 챔버, 상기 웨이퍼를 가공하기 전 또는 후에 상기 풉들을 임시로 적재하는 적재 선반 및 상기 적재 선반에 상기 풉들을 로딩 또는 언로딩하는 이송로봇을 포함한다.
한편, 상기 이송로봇은 외부 충격 등의 여러 가지 이유에 의해 알람이 발생할 수 있다. 이와 같이 상기 이송로봇에 상기 알람이 발생하면, 상기 이송로봇은 원점 기동되도록 일반적으로 세팅되어 있다. 상기 이송로봇은 원점 기동할 때, X축, Y축 및 Z축을 선행 기동하여 원점을 잡은 후, 나머지 다른 축들의 원점을 잡는 동작을 수행한다.
따라서, 상기 이송로봇의 핸드(hand)에 상기 풉이 적재되어 있을 때, 상기 이송로봇에 알람이 발생하여 상기 이송로봇이 원점 기동을 할 때, 상기 이송로봇은 상기 적재 선반 등과 충돌됨에 따라, 상기 적재 선반, 상기 이송로봇 또는 상기 풉 등이 파손될 우려가 있다.
따라서, 본 발명의 기술적 과제는 이러한 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 알람이 발생하여 원점 기동할 때 박스 등이 파손되는 것을 방지할 수 있는 이송로봇의 제어방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 상기 이송로봇의 제어방법을 이용한 박스 적재장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 상기 박스 적재장치를 구비하는 기판 가공설비를 제공하는 것이다.
상기한 본 발명의 목적을 달성하기 위한 일 실시예에 따른 이송로봇의 제어방법으로, 박스를 이송하기 위한 이송로봇의 동작 중 알람이 발생하면, 상기 이송로봇의 핸드(hand)에 상기 박스의 적재 유무를 체크한다. 상기 핸드에 상기 박스가 적재되어 있는 경우, 상기 이송로봇을 비간섭 공간부로 대피시킨 후, 상기 이송로봇을 원점 기동시킨다.
상기 이송로봇의 제어방법은 상기 알람 발생시의 상기 이송로봇의 위치를 저장하는 단계를 더 포함할 수 있다. 이때, 상기 이송로봇의 위치를 저장하는 단계는 상기 박스를 적재한 후 상기 이송로봇을 상기 비간섭 공간부로 대피시키기 전에 수행될 수 있다.
또한, 상기 이송로봇의 제어방법은 상기 이송로봇을 원점 기동시킨 후, 상기 이송로봇을 재동작시키는 단계를 더 포함할 수 있다. 이때, 상기 이송로봇을 재동작시키는 단계는 위의 단계에서 저장된 상기 이송로봇의 위치로부터의 이후 과정의 동작을 자동적으로 수행할 수 있다.
한편, 상기 이송로봇을 상기 비간섭 공간부로 대피시키는 방법으로, 우선 상기 핸드에 상기 박스가 적재되어 있는 상태로 상기 이송로봇을 비간섭 공간부로 이동시킨 후, 상기 핸드에서 상기 박스를 제거한다.
상기한 본 발명의 다른 목적을 달성하기 위한 일 실시예에 따른 박스 적재장치는 적재 선반, 이송로봇 및 비간섭 공간부를 포함한다.
상기 적재 선반은 복수의 박스들을 적재한다. 상기 이송로봇은 상기 박스를 상기 적재 선반에 로딩 또는 언로딩한다. 상기 비간섭 공간부는 상기 이송로봇이 동작할 때 알람이 발생할 경우, 상기 이송로봇이 원점 기동하기 전에 상기 이송로봇을 대피시키는 공간을 제공한다.
상기 적재 선반은 상기 박스들을 각각 적재하기 위한 받침대들을 포함할 수 있다. 상기 비간섭 공간부는 상기 박스가 적재된 상기 이송로봇을 대피시키기 위한 적어도 하나의 비간섭 공간을 포함할 수 있다. 이때, 상기 비간섭 공간은 상기 받침대들과 인접한 위치에 각각 형성될 수 있다.
상기한 본 발명의 또 다른 목적을 달성하기 위한 일 실시예에 기판 가공설비는 입출력되는 박스들이 거치되는 박스 거치부, 상기 박스 내의 기판을 가공하는 기판 가공부, 및 상기 박스 거치부 및 상기 기판 가공부 사이에 배치되어 가공전 또는 가공후의 상기 박스를 임시로 적재하는 박스 적재부를 포함한다.
상기 박스 적재부는 상기 박스들을 임시로 적재하기 위한 적재 선반, 상기 박스를 상기 적재 선반에 로딩 또는 언로딩하는 이송로봇, 및 상기 이송로봇이 동작할 때 알람이 발생할 경우, 상기 이송로봇이 원점 기동하기 전에 상기 이송로봇를 대피시키기 위한 비간섭 공간부를 포함한다. 이때, 상기 박스는 복수의 웨이퍼를 포함하는 풉(FOUP)일 수 있다.
이러한 본 발명에 따르면, 이송로봇이 풉을 적재하는 도중에 알람이 발생할 경우, 상기 이송로봇의 핸드에 상기 풉이 적재되어 있는 여부를 체크하여 상기 이송로봇을 비간섭 공간부로 대피시킨 후 상기 풉을 제거함으로써, 상기 이송로봇이 원점 기동할 때, 상기 적재 선반, 상기 이송로봇 또는 상기 풉 등이 파손되는 것을 방지할 수 있다.
이하, 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설 명하기로 한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 고안의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. 또한, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 고안이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 실시예들에 따른 기판 가공설비를 개념적으로 도시한 평면도이다.
도 1을 참조하면, 본 실시예들에 의한 기판 가공설비는 박스 거치부, 박스 적재부 및 기판 가공부를 포함한다.
상기 박스 거치부는 입출력되는 박스(10)를 거치시킨다. 예를 들어, 상기 박스 거치부는 가공하기 위해 상기 박스(10)를 거치시키는 제1 박스 거치대(100) 및 가공된 후의 상기 박스를 거치시키는 제2 박스 거치대(200)를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 박스(10)는 가공되기 위한 기판(12) 및 상기 기판(12)을 보관하는 커버(14)를 포함할 수 있다. 상기 기판(12)은 반도체 등을 제조하기 위한 웨이퍼(wafer)를 포함한다. 일례로, 상기 박스(10)는 복수의 웨이퍼들 및 상기 웨이퍼들을 보관하는 상기 커버(14)를 구비하는 풉(FOUP)일 수 있다.
상기 박스 적재부는 가공되기 전 또는 가공된 후의 상기 박스(10)들을 임시로 적재한다. 상기 박스 적재부는 가공되기 전의 상기 박스(10)들을 임시로 적재하는 제1 박스 적재장치(300) 및 가공된 후의 상기 박스(10)들을 임시로 적재하는 제2 박스 적재장치(400)를 포함할 수 있다.
상기 제1 박스 적재장치(300)는 상기 제1 박스 거치대(100)와 인접하게 배치 되어, 상기 제1 박스 거치대(100)로부터 가공되기 전의 상기 박스(10)를 인가받을 수 있다. 상기 제2 박스 적재장치(400)는 상기 제2 박스 거치대(200)와 인접하게 배치되어, 상기 제2 박스 거치대(100)로 가공된 후의 상기 박스(10)를 제공할 수 있다.
상기 기판 가공부(500)는 상기 박스(10) 내의 상기 기판(12)을 가공하는 적어도 하나의 기판 가공챔버를 포함한다. 상기 기판 가공부(500)는 상기 기판(12) 상에 박막을 형성하는 박막 형성장치, 상기 박막의 일부를 제거하는 박막 식각장치 등을 포함할 수 있다.
상기 기판 가공부(500)는 상기 제1 및 제2 박스 적재장치들(300, 400) 사이에 인접하게 배치될 수 있다. 그로 인해, 상기 기판 가공부(500)는 상기 제1 박스 적재장치(300)로부터 가공될 상기 기판(12)을 제공받아 가공하고, 가공된 상기 기판(12)을 상기 제2 박스 적재장치(400)로 인가한다. 구체적으로 예를 들면, 상기 기판 가공부(500)는 상기 제1 박스 적재장치(300)에 적재된 상기 박스(10)에서 상기 커버(14)는 남겨둔 체 상기 기판(12)만을 인가받고, 이를 가공한 후, 다시 상기 기판(12)을 상기 제2 박스 적재장치(400)에 적재된 상기 커버(14) 내로 인가한다.
본 실시예들에 의한 기판 가공설비는 박스 이송부(600)를 더 포함할 수 있다.
상기 박스 이송부(600)는 상기 제1 및 제2 박스 적재장치들(300, 400) 사이에 배치되어, 상기 기판(12)이 제거된 상기 커버(14)를 상기 제1 박스 적재장치(300)에서 상기 제2 박스 적재장치(400)로 이송시킬 수 있다. 예를 들어, 상기 박스 이송부(600)는 상기 제1 박스 적재장치(300)에서 상기 커버들(14)만을 적재하고 있는 적재 선반을 통째로 상기 제2 박스 적재장치(400)로 이동시킬 수도 있다.
도 2는 도 1의 기판 가공설비 중 박스 적재장치를 도시한 측면도이고, 도 3은 도 2와 비간섭 공간부가 다른 박스 적재장치를 도시한 측면도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 본 실시예들에 의한 제1 박스 적재장치(300)는 이송로봇(310), 적재 선반(320) 및 비간섭 공간부(330)를 포함한다. 이때, 상기 제2 박스 적재장치(400)는 상기 제1 박스 적재장치(300)와 동일한 구성요소들을 포함하고 있으므로, 상기 제1 박스 적재장치(300)의 구성요소들에 대해서만 설명하기로 한다.
상기 이송로봇(310)은 상기 제1 박스 거치대(100)에 거치되어 있는 상기 박스(10)를 상기 이송로봇(310)의 핸드(hand)를 이용하여, 상기 적재 선반(320)으로 이송시킨다. 또는, 상기 이송로봇(310)은 상기 적재 선반(320)에 적재된 상기 박스(10)에서 상기 기판(10) 만을 상기 기판 가공부(500)로 이송시킬 수도 있다.
구체적으로, 상기 이송로봇(310)은 박스 이송로봇(312) 및 기판 이송로봇(314)을 포함할 수 있다.
상기 박스 이송로봇(312)은 상기 제1 박스 거치대(100)에 거치되어 있는 상기 박스(10)를 핸드에 적재하여, 상기 적재 선반(320)으로 이동시킨다. 경우에 따라서, 상기 박스 이송로봇(312)은 상기 적재 선반(320)에 적재되어 있는 상기 박스(10)를 상기 제1 박스 거치대(100)로 이송시킬 수도 있다.
상기 기판 이송로봇(314)은 상기 적재 선반(320)에 적재되어 있는 상기 박 스(10)에서 상기 기판(12) 만을 분리시켜, 상기 기판(12)을 상기 기판 가공부(500)로 이송시킬 수 있다. 경우에 따라서, 상기 기판 이송로봇(314)은 상기 기판 가공부(500)에 배치된 상기 기판(12)을 상기 적재 선반(320)에 적재되어 있는 상기 커버(14) 내로 이송시킬 수도 있다.
상기 적재 선반(320)은 상기 박스 이송로봇(312)에 의해 이송되어온 상기 박스들(10)을 적재시킨다. 상기 적재 선반(320)은 상기 박스들(10)을 각각 적재시킬 수 있는 받침대들(322)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 적재 선반(320)은 제1 내지 제6 받침대들을 포함할 수 있다.
상기 비간섭 공간부(330)는 상기 적재 선반(320)과 이웃하게 배치되며, 상기 이송로봇(310) 즉, 상기 박스 이송로봇(312) 또는 상기 기판 이송로봇(314)에서 알람(alarm)이 발생하였을 때, 상기 이송로봇들(312, 314)을 대피시키는 공간을 제공한다.
상기 비간섭 공간부(330)는 상기 이송로봇(310)이 알람이 발생하여 상기 이송로봇(310)을 이동시킬 때, 다른 어떤 구조물, 일례로 상기 적재 선반(320)과 충돌되지 않은 위치에 배치된다.
상기 비간섭 공간부(330)는 상기 이송로봇(310)이 대피될 수 있는 적어도 하나의 비간섭 공간을 포함한다. 예를 들어, 상기 비간섭 공간부(330)는 도 2에서와 같이, 하나의 비간섭 공간을 포함할 수 있고, 도 3에서와 같이, 상기 제1 내지 제6 받침대들과 대응되게 제1 내지 제6 비간섭 공간들(SP1, SP2, SP3, SP4, SP5, SP6)을 포함할 수 있다. 이때, 상기 제1 내지 제6 비간섭 공간들(SP1, SP2, SP3, SP4, SP5, SP6)은 각각 상기 제1 내지 제6 받침대들과 인접한 위치에 형성되는 것이 바람직하다.
상기 비간섭 공간부(330)가 하나의 비간섭 공간만을 포함하고 있을 경우, 상기 이송로봇(310)은 알람이 발생했을 때, 상기 하나의 비간섭 공간만으로 대피한다. 그러나, 상기 비간섭 공간부(330)가 상기 제1 내지 제6 비간섭 공간들(SP1, SP2, SP3, SP4, SP5, SP6)을 포함하고 있을 경우, 상기 이송로봇(310)은 알람이 발생한 위치에 따라 서로 다른 비간섭 공간으로 대피할 수 있다. 일례로, 상기 이송로봇(310)이 상기 제3 받침대와 대응되는 위치에서 알람이 발생했을 경우, 상기 이송로봇(310)은 상기 제3 받침대와 인접한 위치에 형성된 상기 제3 비간섭 공간(SP3)으로 대피할 수 있다.
도 4는 도 2의 박스 적재장치 중 이송로봇의 제어방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 2, 도 3 및 도 4를 참조하여, 본 실시예들에 의한 이송로봇(310)의 제어방법을 설명하고자 한다.
우선, 상기 이송로봇(310)을 동작시켜, 상기 박스(10)를 상기 적재 선반(320)에 로딩(loading) 또는 언로딩(unloading)시킨다(S10). 이때, 상기 이송로봇(310)은 상기 기판(12)과 상기 커버(14)를 포함하는 상기 박스(10)를 로딩 또는 언로딩할 수 있고, 상기 기판(12)만을 로딩 또는 언로딩할 수 있다.
이어서, 상기 이송로봇(310)이 외부 또는 내부의 여러 요인들에 의해 이상이 발생될 경우, 상기 이송로봇(310)에서 알람을 발생시킨다(S20).
상기 이송로봇(310)에서 알람이 발생되면, 상기 이송로봇(310)의 핸드에 상기 박스(10)가 적재되어 있는 지의 여부를 체크한다(S30).
상기 이송로봇(310)의 핸드에 상기 박스(10)가 적재되어 있을 경우, 알람이 발생했을 때의 상기 이송로봇(310)의 위치를 상기 이송로봇(310)의 메모리에 저장한다(S40).
한편, 상기 이송로봇(310)의 위치를 저장하는 단계는 위에서 설명했던 것처럼, 상기 이송로봇(310)의 핸드에 상기 박스(10)가 적재되어 있는지 여부를 체크한 후에 수행할 수 있지만, 이와 다르게 상기 이송로봇(310)의 핸드에 상기 박스(10)가 적재되어 있는지 여부를 체크하기 전에 수행할 수도 있다. 또한, 경우에 따라서는 상기 이송로봇(310)의 위치를 저장하는 단계는 생략될 수도 있다.
이어서, 상기 이송로봇(310)의 위치를 저장한 후, 상기 이송로봇(310)을 상기 비간섭 공간부(330)로 대피시킨다(S50).
구체적으로 예를 들면, 상기 이송로봇(310)은 도 2에서의 상기 비간섭 공간부(330)의 하나의 비간섭 공간으로 이동한 후, 상기 핸드에 적재되어 있는 상기 박스(10)를 제거한다.
또는, 상기 이송로봇(310)은 도 3에서의 상기 비간섭 공간부(330)의 제1 내지 제6 비간섭 공간들(SP1, SP2, SP3, SP4, SP5, SP6) 중 상기 알람이 발생한 위치에서 가장 근접한 비간섭 공간으로 이동한 후, 상기 핸드에 적재되어 있는 상기 박스(10)가 제거될 수 있다.
상기 이송로봇(310)이 상기 비간섭 공간부(330)로 이동되어 상기 박스(10)를 제거한 후, 상기 이송로봇(310)을 원점 기동시킨다(S60). 여기서, 상기 이송로봇(310)의 원점 기동은 상기 이송로봇(310)의 핸드에 상기 박스(10)가 적재되어 있는 경우뿐만 아니라 적재되어 있지 않은 경우에도 수행된다.
상기 이송로봇(310)은 원점 기동할 때, X축, Y축 및 Z축을 선행 기동하여 원점을 잡은 후, 나머지 다른 축들의 원점을 잡는 동작을 수행할 수 있다. 이때, 상기 이송로봇(310)의 핸드에는 적재되어 있었던 상기 박스(10)가 제거된 상태이거나 아예 상기 박스(10)가 적재되어 있지 않은 상태이므로, 상기 이송로봇(310)의 원점 기동할 때 상기 박스(10), 상기 이송로봇(310) 또는 상기 적재 선반(320) 등이 파손되는 것을 방지할 수 있다.
상기 이송로봇(310)이 원점 기동된 후, 상기 이송로봇(310)을 재동작시킨다(70). 즉, 상기 이송로봇(310)은 상기 박스(10)를 상기 적재 선반(320)에 로딩 또는 언로딩시킨다. 여기서, 상기 이송로봇(310)이 재동작을 수행할 때, 상기 이송로봇(310)은 알람이 발생되어 저장되었던 위치로부터의 이후 단계과정을 수행할 수 있다.
구체적으로 예를 들어 설명하면, 상기 이송로봇(310)이 상기 적재 선반(320) 중 상기 제2 받침대와 대응되는 위치에서 알람이 발생되었다면, 상기 제2 받침대와 대응되는 위치를 상기 이송로봇(310)의 메모리에 저장하고, 이후 상기 이송로봇(310)을 재동작시킬 때는 상기 저장된 위치의 다음 과정부터 다시 수행된다.
앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상 의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예들에 따른 기판 가공설비를 개념적으로 도시한 평면도이다.
도 2는 도 1의 기판 가공설비 중 박스 적재장치를 도시한 측면도이다.
도 3은 도 2와 비간섭 공간부가 다른 박스 적재장치를 도시한 측면도이다.
도 4는 도 2의 박스 적재장치 중 이송로봇의 제어방법을 설명하기 위한 순서도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
100 : 제1 박스 거치대 200 : 제2 박스 거치대
300 : 제1 박스 적재장치 400 : 제2 박스 적재장치
500 : 기판 가공부 600 : 박스 이송부
310 : 이송로봇 312 : 박스 이송로봇
314 : 기판 이송로봇 320 : 적재 선반
330 : 비간섭 공간부

Claims (12)

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  7. 복수의 박스들(10)을 각각 적재하기 위한 받침대들(322)을 포함하는 적재 선반(320);
    상기 박스(10)를 상기 적재 선반(320)에 로딩 또는 언로딩하는 이송로봇(310); 및
    상기 이송로봇(310)이 동작할 때 알람이 발생할 경우, 상기 이송로봇(310)이 원점 기동하기 전에 상기 박스(10)가 적재된 이송로봇(310)을 대피시키기 위하여 상기 받침대들(322)과 인접한 위치에 형성된 적어도 하나의 비간섭 공간(SP1)을 갖는 비간섭 공간부(330)를 포함하는 것을 특징으로 하는 박스 적재장치.
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 입출력되는 박스들(10)이 거치되는 박스 거치부(100);
    상기 박스(10) 내의 기판(12)을 가공하는 기판 가공부(500); 및
    상기 박스 거치부(100) 및 상기 기판 가공부(500) 사이에 배치되어, 가공전 또는 가공후의 상기 박스(10)를 임시로 적재하는 박스 적재부(300)를 포함하고,
    상기 박스 적재부(300)는
    상기 박스들(10)을 임시로 적재하기 위한 받침대들(322)을 포함하는 적재 선반(320);
    상기 박스(10)를 상기 적재 선반(320)에 로딩 또는 언로딩하는 이송로봇(310); 및
    상기 이송로봇(310)이 동작할 때 알람이 발생할 경우, 상기 이송로봇(310)이 원점 기동하기 전에 상기 박스(10)가 적재된 이송로봇(310)을 대피시키기 위하여 상기 받침대들(322)과 인접한 위치에 형성된 적어도 하나의 비간섭 공간(SP1)을 갖는 비간섭 공간부(330)를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 가공설비.
  12. 제11항에 있어서, 상기 박스(10)는 복수의 웨이퍼를 포함하는 풉(FOUP)인 것을 특징으로 하는 기판 가공설비.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH07299777A (ja) * 1994-05-09 1995-11-14 Hitachi Ltd 搬送ロボットの制御方法
KR20030006281A (ko) * 2001-07-12 2003-01-23 현대자동차주식회사 로봇 이송장치와 제어방법

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