KR100896967B1 - 피드쓰루의 진공 누설 검사 장치 및 이를 이용한 진공 누설검사 방법 - Google Patents

피드쓰루의 진공 누설 검사 장치 및 이를 이용한 진공 누설검사 방법 Download PDF

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Abstract

진공장비에 장착되기 전에 피드쓰루의 진공 누설을 검사할 수 있는 장치 및 이를 이용한 피드쓰루의 진공 누설 검사 방법에 대하여 개시한다.
본 발명에 따른 복수의 튜브가 플랜지(Flange)를 관통하여 형성된 피드쓰루(Feed-Through)의 진공 누설 검사 장치는 상기 복수의 튜브 각각의 한쪽 끝단을 밀폐시키는 밀폐부; 상기 복수의 튜브 각각의 다른쪽 끝단을 둘러싸는 기체 저장부; 상기 기체 저장부 내부를 진공 배기시키는 펌핑부; 및 상기 기체 저장부 내부에 있는 기체의 양을 측정하는 검사부를 구비하여 이루어진다.
피드쓰루, 진공

Description

피드쓰루의 진공 누설 검사 장치 및 이를 이용한 진공 누설 검사 방법{Device for vacuum leak test of Feed-Through and method of vacuum leak test using the device}
본 발명은 진공장비에 이용되는 피드쓰루(Feed-Through)에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 피드쓰루의 진공 누설 검사를 효율적으로 할 수 있는 진공 누설 검사 장치 및 이를 이용한 피드쓰루의 진공 누설 검사 방법에 관한 것이다.
일반적으로 피드쓰루(Feed-Through)는 가속기, 핵융합장치, 우주항공 실험장치와 같은 대형과학장치나 반도체 제조 분야 등에서 널리 이용되는 진공챔버 등에 진공 상태인 부분(이하에서는 '진공내부'라 한다)과 진공 상태가 아닌 부분(이하에서는 '진공외부'라 한다) 사이에 배치되어, 진공내부와 진공외부 간에 각종 신호 등을 연결하기 위하여 이용된다.
도 1a 내지 도 1c는 일반적으로 이용되는 피드쓰루의 예를 도시한 것이다.
도 1a는 일반적인 피드쓰루의 사시 사진을, 도 1b는 도 1a에 도시된 피드쓰루의 정면도를, 도 1c는 도 1a에 도시된 피드쓰루의 측면도이다.
도 1을 참조하면, 피드쓰루(100)는 플랜지(Flange, 120) 및 일반적으로 1쌍 씩의 복수의 튜브(Tube, 110)를 구비하여 이루어진다. 플랜지(120)에는 다른 요소와 볼트-너트 등의 방식 등에 의해 결합하기 위하여 외곽에 복수의 체결구(121)가 형성되어 있다. 복수의 튜브(110) 각각은 플랜지(120)를 관통하는 형태로 체결된다.
플랜지(120)에 복수의 튜브(110)를 관통하여 체결한 후에는, 복수의 튜브가 관통되는 부분들(130, 이하 체결부라 한다)을 진공 접합 등의 방식으로 밀봉(sealing)하게 되는데, 이때 체결부(130)는 완전히 밀봉되어야 한다. 체결부(130)가 완전히 밀봉되지 않을 경우, 진공 누설의 원인이 된다.
진공 누설 여부를 알기 위해서는 진공 누설 검사가 필요하다. 종래에는 진공장비에 피드쓰루를 장착한 상태에서 진공 누설 검사가 이루어졌다. 진공 누설 검사 결과, 진공장비에 배치되는 여러 요소 중 피드쓰루로 인하여 진공 누설이 있다고 의심되는 경우, 장착된 피드쓰루를 새로운 것으로 교체하였다.
그러나, 종래의 진공 누설을 검사하는 방식은 진공장비에 구비되는 여러 요소를 모두 고려해야하는 단점이 있다. 따라서, 피드쓰루를 진공장비에 장착하기 전에 피드쓰루 자체에 대하여 진공누설 검사를 하여, 진공 누설의 문제가 없는 피드쓰루를 진공장비에 장착하는 것이 보다 효율적이다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 피드쓰루를 진공장비에 장착하기 전에 다수의 튜브가 플랜지를 관통하는 부분의 진공 누설 여부를 손쉽게 알아낼 수 있는 피드쓰루의 진공 누설 검사 장치를 제공하는데 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 상기의 피드쓰우의 진공 누설 검사 장치를 이용한 진공 누설 방법을 제공하는데 있다.
상기 하나의 기술적 과제를 이루기 위한 본 발명에 따른 복수의 튜브가 플랜지(Flange)를 관통하여 형성된 피드쓰루(Feed-Through)의 진공 누설 검사 장치는 상기 복수의 튜브 각각의 한쪽 끝단을 밀폐시키는 밀폐부; 상기 복수의 튜브 각각의 다른쪽 끝단을 둘러싸는 기체 저장부; 상기 기체 저장부 내부를 진공 배기시키는 펌핑부; 및 상기 기체 저장부 내부에 있는 기체의 양을 측정하는 검사부를 구비하여 이루어진다.
상기 다른 하나의 기술적 과제를 이루기 위한 본 발명의 일실시예에 따른 상기의 진공 누설 검사 장치를 이용한 피드쓰루의 진공 누설 검사 방법은 기체 저장부 및 복수의 튜브 내부를 진공 배기하는 단계; 플랜지에서 복수의 튜브가 관통되는 부분들 중 적어도 하나에 추적가스를 분사하는 단계; 및 상기 기체 저장부 내에 상기 추적가스가 있는지를 검사하는 단계를 구비하여 이루어진다.
상기 다른 하나의 기술적 과제를 이루기 위한 본 발명의 다른 일실시예에 따른 상기의 진공 누설 검사 장치를 이용한 피드쓰루의 진공 누설 검사 방법은 기체 저장부 및 복수의 튜브 내부를 진공 배기하는 단계; 피드쓰루, 밀폐부 및 상기 기체 저장부를 밀폐용 후드로 감싸고, 상기 밀폐용 후드 내부에 추적가스를 분사하는 단계; 및 상기 기체 저장부 내에 상기 추적가스가 있는지를 검사하는 단계를 구비 하여 이루어진다.
본 발명에 따른 피드쓰루의 진공 누설 검사 장치 및 이를 이용한 진공 누설 검사 방법은 피드쓰루의 진공 누설을 진공장비에 장착되기 전에 검사할 수 있고, 이에 따라 진공 누설이 발생한 부분의 보수 작업을 손쉽게 수행할 수 있다.
이하에서는 본 발명의 구체적인 실시예를 도면을 참조하여 상세히 설명하도록 한다.
본 발명은 피드쓰루의 진공 누설 검사 장치 및 이를 이용한 진공 누설 검사 방법에 관한 것이므로, 도 1에 도시된 피드쓰루(100)의 각 구성요소에 표시된 도면부호를 그대로 이용하기로 한다.
도 2는 본 발명에 따른 피드쓰루의 진공 누설 검사 장치의 일실시예를 도시한 것이다.
도 2에 도시된 진공 누설 검사 장치(200)는 밀폐부(210), 기체 저장부(220), 펌핑부(230) 및 검사부(240)를 구비한다.
밀폐부(210)는 피드쓰루(100)의 복수의 튜브(110) 각각의 한쪽 끝단을 밀폐시킨다. 기체 저장부(220)는 피드쓰루(100)의 복수의 튜브(110) 각각의 다른쪽 끝단을 둘러싼다. 피드쓰루(100)의 복수의 튜브(110)의 한쪽 끝단은 밀폐되어 있고 다른쪽 끝단은 기체 저장부(220)의 내부공간에 있으므로, 기체는 외부와 차단되어 기체 저장부(200) 내부와 피드쓰루(100)의 복수의 튜브(110) 내부 사이에만 존재하 게 된다.
펌핑부(230)는 기체 저장부(220) 내부를 진공 배기시킨다. 펌핑부(230)에 의해 진공 배기가 이루어지면, 기체 저장부(220) 및 피드쓰루(100)의 복수의 튜브(110) 내부는 진공상태가 된다.
검사부(240)는 기체 저장부(220) 내부에 있는 특정한 기체의 양을 측정한다. 펌핑부(230)의 진공 배기에 의해 기체 저장부(220)가 진공상태가 된 후에 특정한 기체가 기체 저장부(220)에 유입되면, 검사부(240)는 기체 저장부(220)에 유입된 특정한 기체의 양을 주기적으로 측정한다. 예를 들어, 특정한 기체는 단위부피당 질량이 다른 가스에 비해 상당히 적어서 상대적으로 빠르게 검출이 가능한 헬륨가스가 될 수 있고, 검사부(240)는 헬륨가스검출기가 될 수 있다.
도 3은 도 2에 도시된 밀폐부(210)의 일실시예를 도시한 것이다.
도 3에 도시된 밀폐부(300)는 제1부재(310) 및 제2부재(320)를 구비한다. 제1부재(310) 및 제2부재(320)는 플레이트(Plate) 형태로서, 스테인리스 재질일 수 있다.
제1부재(310)에는 피드쓰루(100)에서 플랜지(120)의 한쪽에 있는 복수의 튜브(110)가 각각 관통되는 복수의 홀(311)이 마련되어 있다. 제2부재(320)에는 제1부재(310)를 관통한 복수의 튜브(110)가 각각 삽입되는 복수의 홈(321)이 마련되어 있다. 여기서, 홀은 부재를 완전히 관통하여 특정한 직경의 공간이 형성된 것을 의미하고, 홈은 부재의 표면으로부터 일정 깊이까지 특정한 직경의 공간이 형성된 것을 의미한다.
도 3에서, 제1부재(310)에 마련된 복수의 홀(311)의 직경 및 제2부재(320)에 마련된 복수의 홈(321)의 직경은 동일하다. 복수의 튜브(110) 각각은 한쪽 끝단의 밀폐를 위하여, 제1부재(310)에 마련된 각각의 홀(311)을 관통하여 제2부재(320)에 마련된 각각의 홈(321)에 삽입된다. 이때, 밀폐의 효과를 높이기 위하여 복수의 튜브(110) 중 어느 하나가 관통하는 제1부재(310)에 마련된 홀의 테두리에 삽입되는 오링(Oring, 330)을 복수의 튜브(110) 각각에 대하여 구비할 수 있다. 구체적으로, 오링(330)은 제1부재(310)에 마련된 복수의 홀(311)을 가공하여 형성된 홈(312)에 삽입된다. 이때, 밀폐를 위한 오링의 특성상, 오링(330)의 내부 직경은 튜브(110)의 외부 직경과 같거나 약간 작아야 한다. 또한, 오링(330)이 삽입되는 제1부재(310)에 형성된 홈(312)의 직경은 오링(330)의 외부 직경보다 약간 큰 것이 바람직하다. 오링(330)이 삽입되는 홈(312)의 깊이는 오링(330) 두께의 70% 정도인 것이 바람직하다.
도 4a는 도 2에 도시된 밀폐부(210)의 다른 일실시예를 도시한 것이다.
도 3에 도시된 밀폐부(300)는 2개의 부재(310,320)로 이루어져서, 복수의 튜브(110)의 길이의 차이가 클 경우, 제2부재(320)의 두께가 매우 커져야 하는 문제점이 있을 수 있다. 도 4a에 도시된 밀폐부(400)는 적어도 하나의 중간부재(420)를 이용하여 이러한 문제점을 해결할 수 있다.
도 4a에 도시된 밀폐부(400)는 제1부재(410), 적어도 하나의 중간부재(420) 및 제2부재(430)를 구비한다. 제1부재(410), 중간부재(420) 및 제2부재(430)는 도 3에 도시된 제1부재(310) 및 제2부재(320)와 마찬가지로, 플레이트 형태로서 스테 인리스 재질일 수 있다. 이러한 부재들의 예는 도 4b에 도시되어 있다. 이러한 부재들은 복수의 볼트와 복수의 너트에 의해 결합될 수 있다(도 6b).
제1부재(410)에는 피드쓰루(100)에서 플랜지(120)의 한쪽에 있는 복수의 튜브(110)가 각각 관통되는 복수의 홀(411)이 마련되어 있다. 중간부재(420) 각각에는 제1부재(410)를 관통한 복수의 튜브(110) 중 일부가 각각 삽입되는 적어도 하나의 홈(421) 및 제1부재(410)를 관통한 복수의 튜브(110) 중 나머지 일부가 각각 관통되는 적어도 하나의 홀(422)이 마련되어 있다. 제2부재(430)에는 복수의 튜브(110) 중 중간부재(420) 모두를 관통한 튜브가 각각 삽입되는 적어도 하나의 홈(431)이 마련되어 있다.
도 4a를 참조하면, 복수의 튜브(110)는 공통적으로 제1부재(410)를 관통하고, 필요에 따라 중간부재(420) 중 일부를 관통한다. 또한 복수의 튜브(110) 중 일부는 적어도 하나의 중간부재(420) 중 어느 하나의 부재에 마련된 홈(421)에 삽입되고, 나머지는 제2부재(430)에 마련된 홈(431)에 삽입된다. 일예로, 상대적으로 길이가 짧은 튜브는 중간부재(420)에 마련된 홈(421)에 삽입되어 밀폐되고, 상대적으로 길이가 긴 튜브는 제2부재(430)에 마련된 홈(431)에 삽입되어 밀폐된다.
도 3에 도시된 밀폐부(400)에서도, 도 3에 도시된 밀폐부(300)와 마찬가지로, 밀폐의 효과를 높이기 위하여 오링(440)이 이용될 수 있다. 이때, 오링(440)은 복수의 튜브(110) 각각에 대하여, 복수의 튜브(110) 중 어느 하나가 관통하는 제1부재(410)에 마련된 홀(411) 또는 적어도 하나의 중간부재(420)에 마련된 홀(422) 중에서 적어도 하나의 홀의 테두리에 삽입된다.
도 5a 및 도 5b는 기체 저장부(220)의 일실시예를 도시한 것이다. 도 5a 및 도 5b를 참조하면, 기체 저장부(220)의 일 면과 피드쓰루(100)에서 플랜지(120)의 일 면이 볼트(221a)와 너트(221b)에 의해 결합된다. 이때, 기체가 기체 저장부(220)와 플랜지(120)의 접합면을 따라서 외부로 새는 것을 방지하기 위하여, 기체 저장부(220)의 일 면과 피드쓰루(100)의 플랜지(120)의 일 면 사이에 구리 가스켓(Gasket)과 같은 금속재질의 가스켓(222) 또는 오링이 삽입되어 있을 수 있는데, 이는 기체 저장부(220)의 일 면과 플랜지(120)의 일 면을 각각 나이프 에지(Knife Edge, 510) 형태로 가공하고, 금속재질의 가스켓(222)이 나이프 에지들(510) 사이에서 압착되도록 하는 방법 등에 의해 이루어질 수 있다.
여기서, 기체 저장부(220)는 피드쓰루(100)와 결합되어 피드쓰루(100) 취급시, 복수의 튜브(110)의 손상을 보호하고, 복수의 튜브(110)가 플랜지(120)에 관통되는 부분, 즉 체결부(130)의 밀봉을 보호하는 수단으로 이용될 수 있다.
도 6a 및 도 6b는 복수의 튜브의 한쪽 끝단이 밀폐부에 의해 밀폐되고, 다른쪽 끝단이 저장부에 의해 둘러싸여 있는 예를 도시한 것이다. 도 6a 및 도 6b를 참조하면, 복수의 튜브(110)의 한쪽 끝단은 도 4a에 도시된 밀폐부(400)에 의해 밀폐되고, 복수의 튜브(110)의 다른쪽 끝단은 도 5a 및 도 5b에 도시된 기체 저장부(220)에 의해 둘러싸여 있음을 알 수 있다.
이상에서 설명한 피드쓰루의 진공 누설 검사 장치를 이용하면, 헬륨과 같은 추적가스를 직접 분사하는 방식이나 밀폐용 후드를 이용하여 분사하는 방식 등에 의해 피드쓰루(100)의 진공 누설 여부를 검사할 수 있다.
도 7은 본 발명에 따른 피드쓰루의 진공 누설 검사 방법의 일실시예를 도시한 것으로, 추적가스를 직접 분사하는 방식을 이용한다. 여기서 추적가스를 직접 분사하는 방식은 피드쓰루(100)의 플랜지(120)에 튜브(110)가 관통되는 부분들(130) 중 원하는 부분에 추적가스를 분사하는 방식을 말한다.
도 7에 도시된 진공 누설 검사 방법(700)은 다음과 같은 프로세스로 진행된다.
우선, 펌핑부(230)의 펌핑에 의하여 기체 저장부(220) 및 복수의 튜브(110) 내부를 진공 배기시킨다(S710). 그 후, 피드쓰루(100)의 플랜지(120)에 튜브(110)가 관통되는 부분들(130) 중 적어도 하나에 추적가스를 분사한다(S720). 이후, 검사부(240)에서 기체 저장부(220) 내에 추적가스가 유입되는지 여부 및 얼마의 양이 유입되었는지를 검사한다(S730).
도 7에 도시된 진공 누설 검사 방법(700)은 추적가스가 누설되는 부분을 바로 알 수 있는 장점이 있다.
도 8은 본 발명에 따른 피드쓰루의 진공 누설 검사 방법의 다른 일실시예를 도시한 것으로, 밀폐용 후드를 이용하여 추적가스를 분사하는 방식을 이용한다. 여기서 밀폐용 후드를 이용하여 추적가스를 분사하는 방식은 도 9에 도시된 바와 같이, 밀폐용 후드(910)로 피드쓰루(100), 밀폐부(210), 기체 저장부(220)를 둘러싼 후에 밀폐된 상태에서, 밀폐용 후드(910) 내부에 헬륨과 같은 추적가스를 분사하는 방식을 말한다.
도 8에 도시된 진공 누설 검사 방법(800)은 다음과 같은 프로세스로 진행된 다.
우선, 펌핑부(230)의 펌핑에 의하여 기체 저장부(220) 및 피드쓰루(100)의 복수의 튜브(110) 내부를 진공 배기시킨다(S810). 이 후, 피드쓰루(100), 밀폐부(210), 기체 저장부(220)를 밀폐용 후드로 감싼다. 밀폐된 상태에서, 밀폐용 후드 내부에 추적가스를 분사한다(S820). 검사부(240)에서 기체 저장부(220) 내에 추적가스가 유입되었는지를 검사한다(S830).
피드쓰루(100)의 플랜지(120)에 튜브(110)가 관통되는 부분들(130)이 완전히 밀봉되어 있는 경우, 기체 저장부(220)로 추적가스가 유입되지 않아 검사부(240)에서는 어떠한 추적가스도 검출되지 않을 것이다. 만약, 피드쓰루(100)의 플랜지(120)에 튜브(110)가 관통되는 부분들(130)이 완전히 밀봉되어 있지 않다면, 기체 저장부(220)로 추적가스가 유입되고, 따라서 검사부(240)에서는 추적가스가 검출된다. 이때, 검사부(240)가 주기적으로 기체 저장부(220)에 있는 추적가스의 양을 알아내면, 시간당 기체 저장부(220)로 추적가스가 유입되는 양을 알 수 있다.
이상에서는 본 발명에 대한 기술사상을 첨부 도면과 함께 서술하였지만 이는 본 발명의 바람직한 실시 예를 예시적으로 설명한 것이지 본 발명을 한정하는 것은 아니다. 또한 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 이라면 누구나 본 발명의 기술적 사상의 범주를 이탈하지 않는 범위 내에서 다양한 변형 및 모방이 가능함은 명백한 사실이다.
도 1a 내지 도 1c는 일반적으로 이용되는 피드쓰루의 예를 도시한 것이다.
도 2는 본 발명에 따른 피드쓰루의 진공 누설 검사 장치의 일실시예를 도시한 것이다.
도 3은 도 2에 도시된 밀폐부의 일실시예를 도시한 것이다.
도 4a는 도 2에 도시된 밀폐부의 다른 일실시예를 도시한 것이다.
도 4b는 도 4a에 이용되는 부재들의 예를 도시한 것이다.
도 5a 및 도 5b는 기체 저장부의 일실시예를 도시한 것이다.
도 6a 및 도 6b는 복수의 튜브의 한쪽 끝단이 밀폐부에 의해 밀폐되고, 다른쪽 끝단이 저장부에 의해 둘러싸여 있는 예를 도시한 것이다.
도 7은 본 발명에 따른 피드쓰루의 진공 누설 검사 방법의 일실시예를 도시한 것이다.
도 8은 본 발명에 따른 피드쓰루의 진공 누설 검사 방법의 다른 일실시예를 도시한 것이다.
도 9는 밀폐용 후드를 이용한 추적가스의 분사 방식의 예를 도시한 것이다.

Claims (9)

  1. 복수의 튜브가 플랜지(Flange)를 관통하여 형성된 피드쓰루(Feed-Through)의 진공 누설 검사 장치에 있어서,
    상기 복수의 튜브 각각의 한쪽 끝단을 밀폐시키는 밀폐부;
    상기 복수의 튜브 각각의 다른쪽 끝단을 둘러싸는 기체 저장부;
    상기 기체 저장부 내부를 진공 배기시키는 펌핑부; 및
    상기 기체 저장부 내부에 있는 기체의 양을 측정하는 검사부를 구비하는 것을 특징으로 하는 피드쓰루의 진공 누설 검사 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 밀폐부는,
    상기 플랜지의 한쪽에 있는 복수의 튜브가 각각 관통되는 복수의 홀이 마련된 제1부재; 및
    상기 제1부재를 관통한 복수의 튜브가 각각 삽입되는 복수의 홈이 마련된 제2부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 피드쓰루의 진공 누설 검사 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 밀폐부는,
    상기 복수의 튜브 중 어느 하나가 관통하는 상기 제1부재에 마련된 홀의 테두리에 삽입되는 오링(Oring)을 상기 복수의 튜브 각각에 대하여 구비하는 것을 특징으로 하는 피드쓰루의 진공 누설 검사 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 밀폐부는,
    상기 플랜지의 한쪽에 있는 복수의 튜브가 각각 관통되는 복수의 홀이 마련된 제1부재;
    상기 제1부재를 관통한 복수의 튜브 중 일부가 각각 삽입되는 적어도 하나의 홈 및 상기 제1부재를 관통한 복수의 튜브 중 나머지 일부가 각각 관통되는 적어도 하나의 홀이 마련된 적어도 하나의 중간부재; 및
    상기 복수의 튜브 중 상기 중간부재 모두를 관통한 튜브가 각각 삽입되는 적어도 하나의 홈이 마련된 제2부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 피드쓰루의 진공 누설 검사 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 밀폐부는,
    상기 복수의 튜브 중 어느 하나가 관통하는 상기 제1부재 또는 상기 적어도 하나의 중간부재에 마련된 홀 중에서 적어도 하나의 홀의 테두리에 삽입되는 오링을 상기 복수의 튜브 각각에 대하여 구비하는 것을 특징으로 하는 피드쓰루의 진공 누설 검사 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 기체 저장부의 일 면과 상기 피드쓰루의 플랜지의 일 면이 결합되어 있는 것을 특징으로 하는 피드쓰루의 진공 누설 검사 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 기체 저장부의 일 면과 상기 피드쓰루의 플랜지의 일 면 사이에 금속재질의 가스켓(Gasket) 또는 오링이 삽입되어 있는 것을 특징으로 하는 피드쓰루의 진공 누설 검사 장치.
  8. 제1항 내지 제7항 중 어느 하나의 항에 기재된 진공 누설 검사 장치를 이용하여 피드쓰루의 진공 누설을 검사하는 방법에 있어서,
    상기 기체 저장부 및 상기 복수의 튜브 내부를 진공 배기하는 단계;
    상기 플랜지에 상기 복수의 튜브가 관통되는 부분들 중 적어도 하나에 추적가스를 분사하는 단계; 및
    상기 기체 저장부 내에 상기 추적가스가 있는지를 검사하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 피드쓰루의 진공 누설 검사 방법.
  9. 제1항 내지 제7항 중 어느 하나의 항에 기재된 진공 누설 검사 장치를 이용하여 피드쓰루의 진공 누설을 검사하는 방법에 있어서,
    상기 기체 저장부 및 상기 복수의 튜브 내부를 진공 배기하는 단계;
    상기 피드쓰루, 상기 밀폐부, 상기 기체 저장부를 밀폐용 후드로 감싸고, 상기 밀폐용 후드 내부에 추적가스를 분사하는 단계; 및
    상기 기체 저장부 내에 상기 추적가스가 있는지를 검사하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 피드쓰루의 진공 누설 검사 방법.
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JPH11230352A (ja) * 1998-02-10 1999-08-27 Nec Corp 密閉容器及びその試験方法
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