KR100896744B1 - 웨이퍼 매핑장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 웨이퍼가 정면 개구 통합형 포드에 장착되었을 때 센서가 설치된 날개판이 웨이퍼 간 공간 사이로 인입되어 웨이퍼의 수납 유무를 식별하도록 함으로서 웨이퍼의 수납 여부를 빠른 시간 안에 판독한 웨이퍼 매핑장치에 관한 것인바, 본 발명은 웨이퍼 매핑장치에 있어서, 회전력을 발생시키는 구동모터와; 상기 구동모터가 고정 설치되는 고정브라켓과; 상기 고정브라켓에 축설된 힌지축과;상기 힌지축이 관통되게 설치된 덮개판과; 상기 덮개판이 부착되며 하부 내측에 나사부를 형성하면서 단턱이 구비되며 외주면에는 걸림부를 형성한 상부마감스페이서와; 상부에는 요철 형상이면서 외부에 나선을 형성하고 하부는 요홈 형상으로 내측면에 나선을 형성하며 외주면에는 걸림부를 형성한 중간스페이서와; 상기 덮개판이 부착되며 상부에는 요철 형상이면서 외부에 나선을 형성하고 외주면에는 걸림부를 형성한 하부마감스페이서와; 상기 각 스페이서가 관통하면서 걸림부에 걸려지도록 관통공을 형성하고 끝단에 센서가 설치된 날개판을 포함하여 이루어진 것에 그 특징이 있다.

Description

웨이퍼 매핑장치{Wafer Mapping Device}

본 발명은 웨이퍼가 정면 개구 통합형 포드에 장착되었을 때 센서가 설치된 날개판이 웨이퍼간 공간 사이로 인입되어 웨이퍼의 수납 유무를 식별하도록 함으로서 웨이퍼의 수납여부를 빠른시간 안에 판독한 웨이퍼 매핑장치에 관한 것이다.

최근 들어 전자 산업, 정보 통신 산업, 세부적으로 컴퓨터 산업의 빠른 기술 혁신과 개발이 지속적으로 이루어지고 있는바, 이들 산업들의 빠른 기술 혁신 및 개발의 근원은 단 시간내 많은 양의 정보를 처리함과 동시에 처리된 정보를 임시적 또는 영구적으로 저장할 수 있으면서도 그 크기가 매우 작은 반도체 제품을 생산하는 반도체 산업의 발달에 기인함을 알 수 있다.

이와 같이 고집적, 고성능 반도체 제품을 생산하기 위해서는 매우 복잡하면서 다양한 반도체 공정을 수십-수백번 반복적으로 진행하여야 한다. 이때, 반도체 제품의 재료가 되는 순수 실리콘 웨이퍼들은 웨이퍼 카세트(CASSETTE)에 안전하게

수납된 상태에서 다양한 반도체 공정을 수행하기 위해 이동되어지거나 보관된다.

이와 같은 목적을 갖는 웨이퍼 카세트에는 예를 들어 25매의 웨이퍼가 슬롯들에 수직으로 수납되며, 공정 챔버에 로딩하기 전에 카세트에 수납된 웨이퍼들의 수를 체크하게 된다. 이와 같은 장치를 매핑 장치(MAPPING SYSTEM)라고 한다.

첨부도면 도 1은 종래의 매핑 장치가 설치된 로드락 챔버 어셈블리(10)의 구성을 보인 종단면도로서, 상기 로드락 챔버 어셈블리(10) 내에 매핑 장치가 구비된다. 도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 매핑장치는, 웨이퍼(60)가 수납된 카세트(50), 인덱서(indexer)(70) 및 매핑센서(30a,30b)를 구비한다.

상기한 카세트에 웨이퍼가 장착되어 있는 지를 판독하는 방법으로는 첫째, 빛의 반사형식이며 두 번째는 빛의 통과되는 방식이다. 전자는 외부 빛의 영향도 있으며 웨이퍼의 위치가 정위치 보다 조금이라도 벗어나 있으면 웨이퍼의 수납여부를 판독할 수가 없어 에러를 발생시키는 문제가 있으며, 후자의 경우는 발광부와 수광부가 수평을 이루지 못하면 웨이퍼의 수납여부를 판독할 수가 없어 에러를 발생시키는 문제가 있다.

상기한 문제점을 해소하고자 안출한 본 발명의 목적은 센서가 설치된 날개판이 웨이퍼간 공간 사이로 인입되어 웨이퍼의 수납 유무를 식별하도록 함으로서 웨이퍼의 수납여부를 빠른고 정확한 웨이퍼의 수납여부를 판독하도록 하여 생산효율을 증대되도록 한 웨이퍼 매핑장치를 제공하는데 있다.

상기한 본 발명의 목적은 웨이퍼 매핑장치에 있어서, 회전력을 발생시키는 구동모터와; 상기 구동모터가 고정 설치되는 고정브라켓과; 상기 고정브라켓에 축설된 힌지축과;상기 힌지축이 관통되게 설치된 덮개판과; 상기 덮개판이 부착되며 하부 내측에 나사부를 형성하면서 단턱이 구비되며 외주면에는 걸림부를 형성한 상부마감스페이서와; 상부에는 요철 형상이면서 외부에 나선을 형성하고 하부는 요홈 형상으로 내측면에 나선을 형성하며 외주면에는 걸림부를 형성한 중간스페이서와; 상기 덮개판이 부착되며 상부에는 요철 형상이면서 외부에 나선을 형성하고 외주면에는 걸림부를 형성한 하부마감스페이서와; 상기 각 스페이서가 관통하면서 걸림부에 걸려지도록 관통공을 형성하고 끝단에 센서부재가 설치된 날개판을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 매핑장치에 의하여 달성된다.

이와 같은 본 발명의 웨이퍼 매핑장치는 센서가 설치된 날개판이 웨이퍼간 공간 사이로 인입되어 웨이퍼의 수납 유무를 식별하도록 함으로서 웨이퍼의 수납여부를 빠른고 정확한 웨이퍼의 수납여부를 판독하도록 하여 생산효율이 증대되는 효과가 있다.

이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면에 의하여 상세히 설명하면 다음과 같다. 첨부도면 도 2는 본 발명의 기술이 적용된 웨이퍼 매핑장치의 외형을 보여주는 사시도이고 도 3은 본 발명의 기술이 적용된 웨이퍼 매핑장치의 구조를 보여주는 분해사시도이며 도 4는 본 발명의 기술이 적용된 웨이퍼 매핑장치의 구조를 보여주는 단면도로서 이에 따르면 본 발명의 웨이퍼 매핑장치는 회전력을 발생시키는 구동모터(200)가 고정브라켓(100)에 설치된다.

상기한 구동모터(200)는 정역회전이 가능한 스테핑모터를 사용하는 것이 바람직하며 상기 구동모터는 도면상 미도시된 CPU가 설치되어 있는 컨트롤장치에 연결되어 있다.

한편 상기 고정브라켓(100)에는 힌지축(300)이 수직방향으로 설치되고 힌지축(300)의 상하 끝단부에는 중앙부가 관통된 덮개판(400,400a)이 설치되며 상기 덮개판(400,400a)의 안쪽으로는 하부 내측에 나사부를 형성하면서 단턱이 구비되며 외주면에는 걸림부(510)를 형성한 상부마감스페이서(500)와 상부에는 요철 형상이면서 외부에 나선을 형성하고 외주면에는 걸림부(610)를 형성한 하부마감스페이서(700)가 대향되게 설치된다.

상기 상부마감스페이서(500)와 하부마감스페이서(700) 사이에는 상부에는 요철 형상이면서 외부에 나선을 형성하고 하부는 요홈 형상으로 내측면에 나선을 형성하며 외주면에는 걸림부(610)를 형성한 중간스페이서(600)가 설치되며, 상기 힌지축(300)은 상부마감스페이서(500)와 하부마감스페이서(700) 및 중간스페이서(600)를 관통하여 설치된다.

한편 상기 각 스페이서에는 스페이서를 관통하면서 걸림부에 걸려지도록 관통공(810)을 형성하고 끝단에 발광부와 수광부가 구비된 센서부재(900)가 설치된 날개판(800)이 설치되어 이루어진 구조이다.

상기와 같은 구조로 이루어진 본 발명의 작동을 살펴보면 첨부도면 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 웨이퍼 카세트에 웨이퍼가 장착되면 미도시된 CPU가 설치되어 있는 컨트롤장치에서 신호를 보내어 구동모터(200)를 작동시키면 날개판(800)이 180°회전되어 웨이퍼와 웨이퍼 사이의 공간으로 인입되며, 이때 컨트롤장치와 연결되어 있는 센서부재(900)가 작동하여 상기 웨이퍼간 공간 사이로 인입된 센서부재(900)에서 웨이퍼의 수납 유무를 식별하게 된다.

예컨대 첨부도면 도 6에 도시된 바와 같이 웨이퍼간 공간 사이로 인입된 날개판(800)의 하부에 부착된 센서부재(900)에서 웨이퍼의 수납 유무를 식별하여 검출된 신호를 컨트롤장치로 보내게 되며 웨이퍼가 미 장착된 부위로 회전 이동된 날개판(800)에서도 웨이퍼의 수납여부를 확인하게 되며 이때 확인되어 검출된 신호를 컨트롤장치에 보내게 된다.

이와 같이 본 발명은 회전각도를 180°로 회전함으로써 날개판의 이동 거리 및 시간을 짧게 하여 웨이퍼 카세트에 웨이퍼가 장착되었는지를 확인하게 되는 것이다.

도 1은 종래의 웨이퍼 매핑장치를 포함하는 로드락 챔버의 개략도

도 2는 본 발명의 기술이 적용된 웨이퍼 매핑장치의 외형을 보여주는 사시도

도 3은 본 발명의 기술이 적용된 웨이퍼 매핑장치의 구조를 보여주는 분해사시도.

도 4는 본 발명의 기술이 적용된 웨이퍼 매핑장치의 구조를 보여주는 단면도

도 5는 본 발명의 요부인 날개판의 동작을 보여주는 평면도

도 6은 본 발명인 웨이퍼 매핑장치의 작동의 보여주는 단면도.

※도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명※

100 : 고정브라켓 200 : 구동모터

300 : 힌지축 400,400a : 덮개판

500 : 상부마감스페이서 510,610 : 걸림부

600 : 중간스페이서 700 : 하부마감스페이서

800 : 날개판 900 : 센서부재

Claims (3)

1. 웨이퍼 매핑장치에 있어서,

   회전력을 발생시키는 구동모터와;

   상기 구동모터가 고정 설치되는 고정브라켓과;

   상기 고정브라켓에 축설된 힌지축과;

   상기 힌지축이 관통되게 설치된 덮개판과

   상기 덮개판이 부착되며 하부 내측에 나사부를 형성하면서 단턱이 구비되며 외주면에는 걸림부를 형성한 상부마감스페이서와;

   상부에는 요철 형상이면서 외부에 나선을 형성하고 하부는 요홈 형상으로 내측면에 나선을 형성하며 외주면에는 걸림부를 형성한 중간스페이서와;

   상기 덮개판이 부착되며 상부에는 요철 형상이면서 외부에 나선을 형성하고 외주면에는 걸림부를 형성한 하부마감스페이서와;

   상기 각 스페이서가 관통하면서 걸림부에 걸려지도록 관통공을 형성하고 끝단에 센서부재가 설치된 날개판을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 매핑장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 날개판이 180°회전하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 매핑장치.
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