KR100542586B1 - 후프오프너 매핑장치 - Google Patents

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Abstract

개시된 내용은 도어홀더가 하향 이동되면서 웨이퍼의 적재상태를 검출하는 도중 매핑아암이 외측으로 유동되는 것을 방지하여 매핑 감도를 개선한 후프오프너 매핑장치에 관한 것이다.
이 후프오프너 매핑장치는 후프의 도어를 개폐하는 도어홀더를 갖는 후프오프너에 있어서, 구동모터;와, 상기 도어홀더의 상단에 소정각도 회동되도록 상기 구동모터의 회전축에 후단부가 수직고정된 매핑아암;과, 상기 매핑아암의 전면외측에 설치되는 발광센서와 전면내측에 설치되는 수광센서 및 상기 발광센서로부터 송출되고 수광센서에서 수입되는 광신호를 발생시키는 신호발생기로 이루어지는 센싱부;와, 상기 매핑아암의 측면을 지지하여 흔들림을 방지하는 스토퍼;및, 상기 매핑아암의 후단부에 검출편이 형성되고, 상기 검출편에 대응하는 센서가 설치되어 상기 매핑아암의 회동각을 제어하는 회동각검출수단을 포함하여 달성된다.
본 발명 후프오프너의 매핑장치는 외팔형은 물론 양팔형의 매핑아암을 다양하게 구현하여 설비의 선택의 폭을 넓히며, 매핑아암의 센싱시 진동을 개선하여 매핑감도를 개선한다.
후프오프너, 매핑장치

Description

후프오프너 매핑장치{Mapping apparatus for FOUP opener}
도 1a는 일반적인 후프오프너의 전체사시도,
도 1b는 후프오프너의 배면사시도,
도 2는 본 발명 후프오프너 매핑장치의 제 1실시예를 나타내는 사시도,
도 3a, 3b는 본 발명 후프오프너 매핑장치의 제 1실시예의 작용을 나타내는 평면도,
도 4는 본 발명 후프오프너 매핑장치의 제 1실시예의 변형실시예를 나타내는 평면도,
도 5는 본 발명 후프오프너 매핑장치의 제 1실시예의 또다른 변형실시예를 나타내는 사시도,
도 6a, 6b는 본 발명 후프오프너 매핑장치의 제 2실시예를 나타내는 사시도와 작용사시도,
도 7a, 7b는 본 발명 후프오프너 매핑장치의 제 3실시예를 나타내는 사시도와 작용사시도,
도 8은 본 발명 후프오프너 매핑장치의 회동각검출수단을 도시한 평면도,
도 9는 본 발명 후프오프너 매핑장치의 매핑아암의 단면도이다.
※도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
110:매핑아암 110a,110b:제 1, 제 2아암
118:만곡부 112,112a,112b:회전축
114,114a,114b:검출편 116,116a,116b:종동풀리
161:전부재 161a:삽입공간
161b:볼트공 163:볼트
165:후부재 120:센싱부
122:발광센서 124:수광센서
126:신호발생기 130:회동각검출수단
132,132a,132b:내측센서 134,134a,134b:외측센서
140,140a,140b:스토퍼 150,150a,150b:구동모터
152a,152b:구동풀리
본 발명은 후프오프너(Front Opening Unified Pod,FOUP OPENER, 이하 후프오프너라함)매핑(Mapping)장치에 관한 것으로, 상세하게는 도어홀더에 고정된 매핑장치가 하향이동하면서 웨이퍼의 불량적재상태를 검출함에 있어서 매핑아암의 진동을 방지하고, 매핑아암의 구조를 다양화한 후프오프너 매핑장치에 관한 것이다.
일반적으로 후프오프너는 도 1a,도 1b에서 도시하는 바와 같이, 후프(1)가 놓여지는 스테이지(2)와 후프도어(3)를 개폐하기 위한 도어홀더(7)로 이루어지며, 이 도어홀더(7)에는 후프도어(3)의 잠금장치를 풀어주는 래치기구(4)와, 후프도어 흡착기구(5) 및 후프(1)내의 웨이퍼(W)의 적재상태를 검출해내는 매핑장치(6)가 설치되며, 그외에도 상기 도어홀더(7)를 수직이송시키는 리프트장치(8), 도어홀더(7)를 전후진시키는 전후진장치(9)도 구비된다.
이와같은 후프오프너의 스테이지(2)상에 후프(1)가 놓여지면 도어홀더(7)는 후프도어(3)를 붙잡은 뒤 후진한 상태로 수직이동하는 것이다.
이때 도어홀더(7)의 상단부에 설치되어있는 매핑장치(6)가 전방으로 돌출되어 후프(1)내부의 슬롯에 적재되어있는 웨이퍼(W)의 적재상태를 검출해 내는 것이다.
이러한 적재상태란 웨이퍼가 슬롯에 적재되어있는지의 웨이퍼유무와, 제 1슬롯에서 제 2슬롯으로 경사지게 설치된 경사적재(cross slotted)와, 한개의 슬롯내에 겹쳐지게 적재된 이중적재(double slotted)등이다.
상기한 방법으로 웨이퍼의 적재상태를 검출하여 웨이퍼 이송장치에 의한 웨이퍼의 파손을 사전에 방지하고, 올바르게 적재되어있는 웨이퍼만을 대상으로 작업함으로써 작업시간을 단축시키는 것이다.
검출이 끝나면 매핑장치(6)는 원래상태로 복원되며 도어홀더(7)는 후프(1)내부 웨이퍼가 모두 인출될 때 까지 후프도어(3)와 함께 하부에 위치한다.
이러한 후프오프너의 도어홀더 양측에서 회동하는 아암방식의 매핑장치의 경우 하향이동시 외측으로의 진동은 차단되나, 내측으로의 진동이 발생된다.
이러한 매핑아암의 진동은 그 선단부에 위치한 센서의 검출감도를 떨어트려 후프내의 웨이퍼의 적재상태를 제대로 검출해내지 못하는 문제점을 발생하였다.
따라서 이러한 후프오프너 매핑장치에 있어서는 도어홀더에 배치된 매핑아암이 웨이퍼의 적재상태를 검출하는 도중 내측으로 유동하는 것을 방지하기 위한 수단이 필요로 된다.
또한, 웨이퍼 적재상태를 검출하기 위한 매핑구조를 보다 간단화함도 필요로 되며, 그동안 단지 양측으로 돌출되거나 접어지는 것에 그치지 아니하고, 펼쳐지고 접어짐에 있어서 유동을 방지함은 물론 그 회전각도의 정확한 제어도 필요로 되었다.
본 발명 후프 오프너 매핑장치는 이러한 매핑아암의 회전각도를 정확하게 제어하기 위한 수단을 구현함과 아울러 매핑시의 내측진동을 방지하여 매핑감도를 개선하고자 하는 데에 그 목적이 있다.
또한, 매핑아암의 인출길이를 조절가능하게 하여 웨이퍼의 크기, 적재공간이 변화하더라도 그에 맞게 아암의 길이가 조절가능한 후프오프너 매핑장치를 제공하는 데에도 그 목적이 있다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명 후프오프너 매핑장치는, 구동모터와; 상기 도어홀더의 상단에 소정각도 회동되도록 상기 구동모터의 회전축에 후단부가 수직고정된 매핑아암과; 상기 매핑아암의 전면외측에 설치되는 발광센서와 전면내측에 설치되는 수광센서 및 상기 발광센서로부터 송출되고 수광센서에서 수입되는 광신호를 발생시키는 신호발생기로 이루어지는 센싱부와; 상기 매핑아암의 측면을 지지하여 흔들림을 방지하는 스토퍼 및; 상기 매핑아암의 후단부에 검출편이 형성되고, 상기 검출편에 대응하는 센서가 설치되어 상기 매핑아암의 회동각을 제어하는 회동각검출수단을 포함하는 후프오프너 매핑장치로서 달성된다.
본 발명의 후프 오프너 매핑장치의 상기 매핑아암은 발광센서와 수광센서가 하나의 아암구조에 설치됨으로써 웨이퍼와의 거리가 멀어짐을 방지하기 위하여 매핑아암의 전면부를 만곡 형성함이 바람직하다.
본 발명 후프오프너 매핑장치의 상기 매핑아암은 양팔구조를 갖도록 함이 바람직하며, 이 양팔구조의 매핑아암은 후단부 하방으로 회전축이 수직형성되는 제 1, 제 2아암으로 이루어지고, 상기 센싱부의 발광센서는 제 1아암의 선단부에 고정되고 수광센서는 제 2아암의 선단부에 고정되며, 구동모터는 상기 제 1, 제 2아암의 중 어느 하나의 회전축에 고정되고, 제 1, 제 2아암중 어느 하나의 회전축 하부에 종동풀리를 형성하고, 다른 하나의 모터축에는 구동풀리를 설치하여 벨트로 권취됨이 바람직하다.
본 발명 후프오프너 매핑장치의 상기 매핑아암은 제 1, 제 2아암의 후단부에는 각도검출편이 형성되고, 이 검출편은 복수의 센서를 갖되 검출편이 통과하는 공간을 형성하여 상기 매핑아암의 회전각도를 정확하게 제어하도록 함이 바람직하다.
본 발명 후프오프너의 매핑장치의 상기 매핑아암의 제 1, 제 2아암은 전,후부재로 구분되고, 후부재는 내부에 삽입공간을 형성하고, 전부재는 이 후부재에 슬라이드 가능하게 인출되는 것이 바람직하다.
본 발명 후프오프너 매핑장치의 상기 구동모터는 초음파모터(Ultrasonic Motor)로 함이 바람직하다.
이와같이 이루어진 본 발명 후프오프너의 매핑장치는 외팔형은 물론 양팔형의 매핑아암을 다양하게 구현하여 설비의 선택의 폭을 넓히며, 매핑아암의 센싱시 진동을 개선하여 매핑감도를 개선한 특징이 있다.
이하, 본 발명 후프오프너 매핑장치의 바람직한 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
첨부도면 도 2는 본 발명 후프오프너 매핑장치의 제 1실시예를 나타내는 결합사시도이다.
상기 도면에서 도시하는 본 발명 후프오프너 매핑장치는 후프가 놓여지는 스테이지와 후프도어를 개폐하는 도어홀더(D)로 이루어지며,상기 도어홀더(D)의 상단부의 일측에 고정되어 회동하는 매핑아암(110)과, 상기 매핑아암(110)에 장착되어 웨이퍼(W)를 매핑하는 센싱부(120)와, 상기 매핑아암(110)의 회동각도를 제어하기 위한 회동각검출수단(130)과, 상기 매핑아암(110)의 흔들림을 방지하는 스토퍼(140) 및, 상기 매핑아암(110)을 회동시키는 구동모터(150)로서 이루어진다.
상기 매핑아암(110)은 후프오프너의 도어홀더(D) 상단 일측에 고정되어, 회동하는 것으로, 후단부에 검출편(114)을 형성하며, 후단부의 하방으로 회전축(112)이 수직형성된다.
상기 센싱부(120)는 상기 매핑아암(110)의 전면 외측에 설치되는 발광센서(122)와, 전면 내측에 설치되어 발광센서(122)로부터 송출되는 광신호를 수입하는 수광센서(124)와, 매핑아암(110)상에 고정되어 광신호를 발생시키는 신호발생기(126)로 이루어진다.
상기 회동각검출수단(130)은 상기 매핑아암(110)의 검출편(114)에 대응하여 매핑아암(110)의 회전각을 검출하는 것으로, 매핑아암(110)이 내측으로 접어지는 회전각을 검출하는 내측센서(132)와, 매핑아암(110)이 외측으로 벌어지는 회전각을 검출하는 외측센서(134)로 이루어진다.
상기 스토퍼(140)는 상기 매핑아암(110)이 최대한 외측으로 회동하였을 때 매핑아암(110)의 측방을 지지하여 흔들리지 않도록 고정하는 것이다.
상기 구동모터(150)는 상기 매핑아암(110)의 회전축(112)에 직렬로 연결되는 것으로, 신속하며 정확한 회전값을 갖는 정밀위치제어에 적합한 초음파모터(Ultrasonic Motor)로 이루어진다.
첨부 도면중 도 3a, 도 3b는 본 발명 후프오프너 매핑장치의 제 1실시예의 작용을 나타내는 평면도이다.
상기 도면에서 도시하는 본 발명 제 1실시예의 후프오프너 매핑장치는 도 3a에서 도시하는 바와 같이, 도어홀더(D)가 후프도어를 붙잡고 후진한 상태에서 구동모터(150)의 구동에 의해 매핑아암(110)이 회전하면서 후프내부에 위치한 웨이퍼(W)에 접근 위치하여 제1층의 웨에퍼를 향한 센싱작동을 시작한다.
이때, 상기 구동모터(150)에 의해 회전하는 매핑아암(110)이 소정각도로 회동하면 매핑아암(110)의 말단부에 형성된 검출편(114)이 회동각검출수단(130)의 외측센서(134)에 검출되어 외측센서(134)로부터 발생된 신호에 의해 구동모터(150)의 회전을 정지시켜 매핑아암(110)이 웨이퍼(W)에 닿아 웨이퍼(W)를 손상시키는 것을 방지한다.
또한, 매핑아암(110)이 정지하였을 때, 도어홀더(D)상에 고정된 스토퍼(140)에 매핑아암(110)의 측면을 지지함으로써 센싱부(120)가 다층의 웨이퍼 적재공간을 따라 하향이동하는 도중 매핑아암(110)이 흔들리는 것을 방지하는 것이다.
이때, 매핑아암(110)의 전면 외측에 고정된 발광센서(122)로부터 송출되는 광신호는 매핑아암(110)의 전면 내측에 고정된 수광센서(124)로 받아들여진다. 이러한 광신호는 매핑아암(110)상에 고정된 신호발생기(126)에서 소정의 송출력신호로 조절된다.
이와같은 상태로부터 매핑작동을 마친 후, 원래상태로 복원하는 상태가 도 3b에 나타나 있다. 구동모터(150)의 역회전에 의하여 매핑아암(110)이 원래상태인 도어홀더(D)의 상부로 위치하게 되는데, 소정각도 회전하여 적정위치로 회전하게 되면 매핑아암(110)의 말단에 형성된 검출편(114)이 회동각검출수단(130)의 내측센서(132)에 검출되어 구동모터(150)의 회전을 정지시킴으로써 매핑아암(110)이 원복되는 것이다.
첨부 도면중 도 4는 본 발명 후프오프너 매핑장치의 제 1실시예의 변형실시예를 나타내는 평면도이다.
도 4에서 도시하는 바와같이, 매핑아암(110)은 도어홀더(D) 상단 일측에 고정되어 회동하는 것으로, 후단부에 검출편(114)을 형성하고, 후단부의 하방으로 회전축(112)이 수직형성되며 전면 중앙에 만곡부(118)가 형성되어 있다.
이와같이, 매핑아암(110)에 만곡부(118)를 형성하여 매핑아암(110)이 웨이퍼(W)에 닿는것을 방지하고, 만곡부(118)를 통해 만곡부(118)의 양측에 고정되는 발광센서(122)와 수광센서(124)가 웨이퍼(W)에 좀더 접근하게 함으로써 센싱부(120)의 검출효과를 높이는 것이다.
첨부도면 도 5는 본 발명 후프오프너 매핑장치의 제 1실시예의 또다른 변형실시예를 나타내는 사시도이다.
도시하는 바와 같이, 매핑아암(110)은 도어홀더(D)의 상단 일측에 회동가능하도록 고정되고, 후단부의 하방으로 하단에 종동풀리(116)가 형성된 회전축(112)이 수직형성된다. 상기 종동풀리(116)는 구동모터(150)에 고정된 구동풀리(152)와 벨트(117)로 권취되어있다. 이와같이, 구동모터(150)의 회전력을 구동풀리(152)와 벨트(117)로 권취된 종동풀리(116)에 전달하여 종동풀리(116)가 고정된 회전축(112)이 회전하게 함으로써 매핑아암(110)을 회동시키는 것이다.
첨부도면 도 6a, 도 6b는 본 발명 후프오프너 매핑장치의 제 2실시예를 나타내는 사시도와 작용사시도이다.
도시하는 바와 같이, 본 발명 후프오프너 매핑장치의 제 2실시예는 도어홀더(D)의 양단부에 매핑아암을 각각 설치하여 양팔방식의 매핑구조를 갖는 것으로, 후단부 저면에 수직되게 회전축(112a,112b)을 형성하고 말단부에는 검출편(114a,114b)이 형성되어있는 제 1, 제 2아암(110a,110b)으로 이루어지는 매핑아암(110)과, 상기 도어홀더(D)상에 고정되어 상기 제 1, 제 2아암(110a,110b)의 검출편(114a,114b)에 대응하는 내측센서(132a,132b)와 외측센서(134a,134b)로 이루 어지는 회동각검출수단(130)과, 상기 도어홀더(D)상에 고정되어 매핑아암(110)이 양측으로 최대한 벌어졌을 때 이를 측방에서 지지하는 스토퍼(140)와, 상기 제 1아암(110a)의 선단부에 설치되는 발광센서(122)와 상기 제 2아암(110b)의 선단에 설치되는 수광센서(124) 및 광신호를 발생하는 신호발생기(126)로 이루어지는 센싱부(120) 및, 상기 제 1, 제 2아암(110a,110b)의 회전축(112a,112b) 하단부에 직렬로 고정되는 구동모터(150a,150b)로 이루어진다.
상기한 구성을 갖는 제 2실시예의 후프오프너 매핑장치는 도 6a에서 도시하는 바와 같이, 도어홀더(D)가 후프도어를 붙잡고 후진한 상태에서 도어홀더(D) 양측 상단의 저면에 고정된 구동모터(150a,150b)가 각각 반대방향으로 구동하여 구동모터(150a,150b)에 직렬로 고정되는 회전축(112a,112b)을 회전시켜 제 1, 제 2아암(110a,110b)이 전방 외측방향을 향하여 회동하도록 한다. 소정각도 회동하여 목적하는 각도의 지점에 이르렀을 때, 매핑아암(110a,110b)의 말단부에 형성된 검출편(114a,114b)이 회동각검출수단(130)의 외측센서(134a,134b)에 검출되면서 구동모터(150a,150b)를 정지시킨다.
한편, 상기 제 1, 제 2아암(110a,110b)이 외측으로 회전한 상태에서 정지하였을 때, 이 제 1, 제 2아암(110a,110b)의 측면에서 스토퍼(140)가 제 1, 제 2아암(110a,110b)의 측면을 강하게 지지하여 내측방향으로의 진동을 방지하는 것이다.
이와같은 상태에서 도 6b와 같이, 복원하는 단계에서는 구동모터(150a,150b)의 역회전에 의해 제 1, 제 2아암(110a,110b)이 내측으로 회전하여 도어홀더(D)의 상측에 위치하게 되는데, 구동모터(150a,150b)에 의해 제 1, 제 2아암(110a,110b)이 소정각도 내측으로 회전하게 되면, 제 1, 제 2아암(110a,110b)의 말단부에 형성된 검출편(114a,114b)이 회동각검출수단(130)의 내측센서(132a,132b)에 검출되면서 구동모터(150a,150b)를 정지시킴으로써 제 1, 제 2아암(110a,110b)이 도어홀더(D)의 상부로 원복되는 것이다.
첨부도면 도 7a, 도 7b는 본 발명 후프오프너 매핑장치의 제 3실시예를 나타내는 사시도와 작용사시도이다.
도시하는 바와 같이, 본 발명 후프오프너 매핑장치의 제 3실시예는 도어홀더(D)의 양단부에 매핑아암을 각각 설치하여 양팔방식의 매핑구조를 갖는 것으로, 하단부에 종동풀리(116a,116b)가 형성된 회전축(112a,112b)이 후단부 저면으로부터 하방으로 수직되게 형성되고 말단부에는 검출편(114a,114b)이 형성되는 제 1, 제 2아암(110a,110b)으로 이루어지는 매핑아암(110)와, 상기 도어홀더(D)상에 고정되어 상기 제 1, 제 2아암(110a,110b)의 검출편(114a,114b)에 대응하는 내측센서(132a,132b)와 외측센서(134a,134b)들로 이루어지는 회동각검출수단(130)과, 상기 도어홀더(D)상에 고정되어 제 1, 제 2아암(110a,110b)이 양측으로 최대한 벌어졌을 때 이를 측방에서 지지하는 스토퍼(140)와, 상기 제 1아암(110a)의 선단부에 설치되는 발광센서(122)와 상기 제 2아암(110b)의 선단에 설치되는 수광센서(124) 및 광신호를 발생하는 신호발생기(126)로 이루어지는 센싱부(130) 및, 도어홀더(D)의 상단부 저면에 고정되어 상기 제 1, 제 2아암(110a,110b)의 회전축(112a,112b)에 형성된 종동풀리(116a,116b)와 벨트(117)로 권취된 구동풀리(152a,152b)를 갖는 구동모터(150a,150b)를 포함하여 이루어진다.
상기한 구성을 갖는 제 3실시예의 후프오프너 매핑장치는 도 7a에서 도시하는 바와 같이, 도어홀더(D)가 후프의 도어를 붙잡고 후진한 상태에서 도어홀더(D) 양측 상단의 저면에 고정된 구동모터(150a,150b)가 구동하여 구동풀리(152a,152b)가 회전하고, 구동풀리(152a,152b)와 벨트(117)로 권취된 종동풀리(116a,116b)가 회전하게 되면서 종동풀리(116a,116b)에 고정된 회전축(112a,112b)이 회전함에 따라 제 1, 제 2아암(110a,110b)이 전방외측을 향하여 회동한다. 제 1, 제 2아암(110a,110b)이 소정각도 회동하여 목적하는 각도의 지점에 이르렀을 때, 제 1, 제 2아암(110a,110b)의 말단부에 형성된 검출편(114a,114b)이 회동각검출수단(130)의 외측(134a,134b)센서에 검출되면서 구동모터(150a,150b)를 정지시킨다. 한편, 상기 제 1, 제 2아암(110a,110b)이 외측으로 회전한 상태에서 정지하였을 때, 스토퍼(140)가 상기 제 1, 제 2아암(110a,110b)의 측면을 지지하여 진동에 의해 매핑아암이 흔들리는 것을 방지하는 것이다.
이와같은 상태에서 도 7b와 같이 구동모터(150a,150b)의 역회전에 의해 구동풀리(152a,152b)와 벨트(117a,117b)로 권취된 종동풀리(116a,116b)에 고정된 회전축(112a,112b)이 회전하면서 제 1, 제 2아암(110a,110b)이 내측으로 회전하여 도어홀더(D)의 상측에 위치하게 되는데, 제 1, 제 2아암(110a,110b)이 소정각도 내측으로 회전하게 되면, 제 1, 제 2아암(110a,110b)의 말단부에 형성된 검출편(114a,114b)이 회동각검출수단(130)의 내측센서(132a,132b)에 검출되어 구동모터(150a,150b)를 정지시킴으로써 매핑아암이 도어홀더(D)의 상부로 원복되는 것 이다.
한편, 상기한 실시예들에서 매핑아암(110)의 후단부에 형성되는 검출편(114)에는 도 8에서 도시하는 바와 같이, 검출편(114)상에서 회동가능한 고정편(115)을 추가로 설치함으로써 외측센서(134)를 임의의 위치에 고정한 뒤 이 고정편(115)을 회동시키면서 매핑아암(110)의 회동각을 조절하는 방법으로 센서고정위치의 설계를 간편하게 할 수도 있다.
이와같이 매핑아암(110)의 말단부에 고정되어 매핑아암(110)와 함께 회동하는 검출편(114)과 고정편(115)에 의해 내측센서(132)와 외측센서(134)가 신호를 발생하고, 이 신호를 이용하여 구동모터(150)에 정역신호를 공급하면서 구동모터(150)의 회전방향을 제어함으로써 매핑아암의 회전방향과 회전각도를 제어하는 것이다.
첨부도면중 도 9는 본 발명 후프오프너 매핑장치의 매핑아암의 단면도이다.
상기 도면에서 도시하는 바와 같이, 상기 매핑아암의 제 1, 제 2아암(110a,110b)은 전,후부재(161,165)로 구분되어 길이조절이 가능하도록 구성된다.
즉, 상기 후부재(161)는 일측이 도어홀더(D)에 회동가능하도록 고정되고 내부에 삽입공간(161a)을 형성하며, 상기 전부재(165)는 상기 후부재(161)에 슬라이드 삽입인출되도록 단부가 후부재(161)의 삽입공간(161a)으로 삽입된다. 이러한 전부재(165)가 후부재(161)의 삽입공간(161a)에 삽입된채 임의로 이동되는 것을 방지하기 위하여 상기 후부재(161)의 선단부에 볼트공(161b)을 형성하고 이 볼트공(161b)에 볼트(163)등을 삽입함으로써 후부재(161)에 삽입된 전부재(165)를 고정시킨다.
상기한 바와 같이, 본 발명의 상기 실시예에 근거하여 다수의 변형된 실시예들은 당업자라면 용이하게 구현할 수 있으며, 언급하지 아니한 변형 실시예들에 대한 상세한 설명을 생략한다.
이상 설명한 바와같이, 본 발명 후프오프너 매핑장치는 도어홀더에 고정된 매핑장치가 하향이동되면서 웨이퍼의 적재상태를 검출하는 도중 매핑아암의 진동을 방지하여 웨이퍼 적재불량 검출의 감도를 개선하여 검출오류가 발생하지 않으므로 불량률을 최소화하고, 생산원가 절감 및 수율 향상을 기한다.
또한, 다양한 매핑아암의 구조를 제공하여 웨이퍼의 크기 및 적재공간의 변화에 대하여 길이가 조절가능할 뿐 아니라 외팔방식 혹은 양팔방식 혹은 구동모터의 다양한 채용등을 통하여 다양한 웨이퍼 적재조건에 부응할 수 있는 가변방식의 매핑아암을 제공하게 되는 효과를 갖는다.

Claims (9)

  1. 후프오프너 매핑장치에 있어서,
    구동모터(150);
    도어홀더의 상단에 소정각도 회동되도록 상기 구동모터(150)에 후단부가 수직고정된 매핑아암(110);
    상기 매핑아암(110)의 전면외측에 설치되는 발광센서(122)와 전면내측에 설치되는 수광센서(124)및 상기 발광센서(122)에서 송출되고 수광센서(124)에서 수입되는 광신호를 제어하는 신호발생기(126)로 이루어지는 센싱부(120);및,
    상기 매핑아암(110)의 측면을 지지하여 흔들림을 방지하도록 매핑아암(110)의 회전말기의 위치에 고정된 스토퍼(140)를 포함하는 후프오프너 매핑장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 후프오프너 매핑장치는,
    상기 매핑아암(110)의 후단부에 검출편(114)을 형성되고, 상기 검출편(114)에 대응하는 센서(132)(134)가 설치되어 상기 매핑아암(110)의 회동각을 제어하는 회동각검출수단(130)을 더 포함하는 후프오프너 매핑장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 매핑아암(110)은 상기 센싱부(120)의 발광센서(122)와 수광센서(124)가 웨이퍼에 가까이 접근하여 매핑할 수 있도록 매핑아암(110)의 전면에 만곡부(118)를 형성하는 것을 특징으로 하는 후프오프너 매핑장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 매핑아암(110)의 후단부 저면으로 하단부에 종동풀리(116)가 형성된 회전축(112)이 수직형성되고, 상기 구동모터(150)에 상기 종동풀리(116)와 벨트(117)로 권취된 구동풀리(152)가 형성되는 것을 특징으로 하는 후프오프너 매핑장치.
  5. 후프오프너의 매핑장치에 있어서,
    구동모터(150a)(150b);
    도어홀더(D)의 상단 양측에서 적재 웨이퍼의 양측으로 소정각도 회전함과 동시에 각각의 후단부 하방에 회전축(112a)(112b)에 각각 고정되는 양팔방식의 제 1, 제 2 아암(110a)(110b);
    상기 제1,제2 아암(110a,b)의 선단부에 각각 설치되어 서로 송수신되게 설치되는 발,수광센서(122)(124) 및 상기 발,수광센서(122)(124)의 광신호를 제어하는 신호발생기(126)로 이루어지는 센싱부(120);및,
    상기 제1,제2 아암(110a)(110b)들의 측면을 지지하여 흔들림을 방지하도록 제1,제2 아암(110a)(110b)의 회전말기의 위치에 고정된 스토퍼(140)를 포함하는 후프오프너 매핑장치.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 제1,제2 아암(110a)(110b)의 회전축(112a)(112b) 하부에 각각 종동풀리(116a)(116b)를 형성하고, 상기 종동풀리(116a)(116b)와 벨트(117)로 권취된 구동풀리(152a)(152b)를 형성하여 구동모터(150a)(150b)의 모터축에 고정되는 것을 특징으로 하는 후프오프너 매핑장치.
  7. 제 5항에 있어서,
    상기 제 1, 제 2아암(110a)(110b)의 후단부에는 검출편(114a)(114b)이 형성되고, 상기 도어홀더(D)에는 상기 검출편(114a)(114b)에 대응하는 복수의 센서(132a)(132b)(134a)(134b)가 설치되어 상기 제1,제2 아암(110a)(110b)의 회전각도를 검출하는 것을 특징으로 하는 후프오프너 매핑장치.
  8. 제 5항에 있어서,
    상기 제 1, 제 2아암(110a)(110b)은 전,후부재(165)(161)로 각각 형성되고, 후부재(161)는 내부에 삽입공간(161a)을 형성하고, 전부재(165)는 후부재(161)에 슬라이드 진출입되는 것을 특징으로 하는 후프오프너 매핑장치.
  9. 제 1항 또는 제 5항 또는 제 6항에 있어서,
    상기 구동모터(150)(150a)(150b)는 초음파모터인것을 특징으로 하는 후프오프너 매핑장치
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