KR100893019B1

KR100893019B1 - 라우팅장치

Info

Publication number: KR100893019B1
Application number: KR1020060137824A
Authority: KR
Inventors: 유대연
Original assignee: 최무송
Priority date: 2006-12-29
Filing date: 2006-12-29
Publication date: 2009-04-15
Also published as: KR20080062260A

Abstract

본 발명은 트윈 테이블을 갖는 라우팅장치에 관한 것으로서, 상하로 이동되는 베이스에 가로방향으로 설치된 가이드바와 스크류축에 관통 지지되어 좌우로 이동되는 제1 및 제2 홀더에 각각 설치된 제1 및 제2 툴을 갖는 제1 및 제2 툴유닛을 포함하는 라우팅장치에 있어서, 상기 제1 및 제2 툴유닛 중 제1 툴유닛의 제1 툴을 실린더로서 상하로 이동가능하게 구성한 것을 특징으로 하여, 제1 및 제2 툴유닛 중 제1 툴이 제1 홀더에서 승강됨으로써 지그유닛에 공급되어 탑재되는 인쇄회로기판의 짝수배열 뿐만 아니라 홀수배열의 경우에도 라우팅 작업이 이루어지게 된다.

트윈, 테이블, 라우팅, 툴유닛, 툴, 스핀들, 홀더

Description

라우팅장치{A ROUTING DEVICE}

도 1은 본 발명에 따른 트윈 테이블을 갖는 라우팅장치의 툴유닛을 도시한 사시도이다.

도 2는 본 발명에 따른 라우팅장치의 툴유닛을 도시한 작동상태도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
10 : 제2 툴유닛 10': 제1 툴유닛
11 : 제2 툴 11' : 제1 툴
20 : 제2 홀더 20' : 제1 홀더
30 : 베이스 31 : 가이드바
32 : 스크류축 33 : 제2 이온아이저
33' : 제1 이온아이저 40 : 세로이송대
50 : 지그유닛 51 : 지그케이스
52 : 위치고정핀 100 : 공압실린더
110 : 피스톤 200 : 고정브라켓
300 : 연결브라켓 400 : 제2 집진덕트

400' : 제1 집진덕트

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본 발명은 트윈 테이블을 갖는 라우팅장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체 제조장치에서 인쇄회로기판의 동일한 패턴을 각각의 단위 기판으로 분리하는 공정을 수행하는 라우팅장치에 관한 것이다.
이러한 트윈 테이블을 갖는 라우팅장치는, 트윈 테이블의 적용으로 고속작업 및 연속작업이 가능하고 2가지 모델의 동시 작업이 가능함에 따라 생산성을 혁신적으로 향상시킬 수 있고, 모터 구동을 이용한 툴 피치 조정방식을 적용하여 모델 변경에 따른 신속한 대처가 가능하며, 카메라를 이용한 작업 좌표값의 설정으로 작업 좌표 설정의 편리성 및 정확성을 도모할 수 있는 한편, 투웨이 자동 댐퍼유닛을 적용하여 1개의 집진기로 2개의 관로를 가변적으로 제어함에 따라 집진작업의 효율성을 높일 수 있는 장점이 있는 바, 이는 대한민국 공개특허공보 10-2006-0016615 호에 이미 개시되어 있다.

이와 같이 공개특허공보 10-2006-0016615 호에 개시된 라우팅장치는, 상하이동 및 좌우이동을 통한 툴의 움직임을 이용하여 실질적으로 라우팅 작업을 수행하는 툴유닛과, 툴유닛과 연계적으로 작동되면서 부품을 탑재할 수 있는 동시에 전후동작시킬 수 있는 지그유닛과, 툴유닛 및 지그유닛 전체를 지지하면서 툴유닛 및 지그유닛의 작업위치를 상하방향, 좌우방향 및 전후방향으로 움직여주는 3축로봇 과, 분진 집진시 분진의 흐름을 효과적으로 단속하는 댐퍼유닛과, 상기 유닛들을 제어하고 지지하는 콘트롤유닛 및 본체로 구성된다.

특히, 상기 툴유닛은 3축로봇의 가로이송대 전면에 배치되는 세로이송대의 하단에 지지되면서 가로축 방향 및 세로축 방향으로 작동이 가능하게 되고, 상기 지그유닛은 3축로봇의 수평이송대 위에 지지되면서 전후축 방향으로 작동이 가능하게 된다.

이러한 각 유닛들의 상호 간의 작동이 연계적으로 수행되면서 툴을 통해 부품에 대한 라우팅 작업이 이루어지게 되며, 이를 위하여 각 유닛의 작동을 제어하기 위한 수단으로 컨트롤유닛이 제공된다.

한편, 이와 같이 라우팅장치에 구성된 툴유닛을 본 발명의 첨부도면 도 1을 부분적으로 참조하여 설명하면 하기와 같다.

라우팅 작업을 위한 제1 툴유닛(10') 및 제2 툴유닛(10)은, 도 1에 도시한 바와 같이, 세로이송대(40)의 하단부에 지지되면서 수평으로 배치되는 베이스(30)와, 상기 베이스(30)의 전면에서 좌우 이동가능한 구조로 지지되는 제1 툴(11') 및 제2 툴(11)로 구성된다.

이때의 베이스(30)는 세로이송대(40)에 내장되어 있는 실린더수단의 로드에 체결되어 있어서 베이스(30) 전체가 위아래로 움직일 수 있게 된다.

상기 제1 툴(11') 및 제2 툴(11)은 스핀들과 비트를 포함하고 있으며, 이때의 스핀들과 비트는 제1 홀더(20') 및 제2 홀더(20)에 의해 고정되게 설치된다.

상기 제1 툴(11') 및 제2 툴(11)을 각각 고정시켜 주고 있는 각각의 제1 홀더(20') 및 제2 홀더(20)는 베이스(30)의 길이방향으로 수평 설치되는 위아래 2개의 가이드바(31)와 그 사이의 스크류축(32)을 통해 관통 지지되며, 스크류축(32)의 회전에 의해 서로 간격이 조절되면서 부품의 사양 변경에 따른 피치조절이 가능하게 된다.

즉, 스크류축(32)에 조합되는 양쪽의 제1 홀더(20') 및 제2 홀더(20)는 그 스크류 홀이 서로 반대방향의 나선구조를 갖게 됨에 따라 스크류축(32)이 회전하면 서로 간의 간격이 좁혀지거나 벌어지면서 그 피치가 조절되고, 이의 조절수단으로는 콘트롤유닛(미도시)에 의해 제어되는 서보모터(미도시)가 스크류축(32)을 구동시킴으로써 이루어진다.

또한, 제1 홀더(20') 및 제2 홀더(20)의 전면에는 비트의 세팅위치를 설정할 수 있는 높이 조절용 노브가 구비되어 있어서 이것을 풀고 재차 조이는 조작에 의해 비트의 높이를 조절할 수 있게 된다.

본 발명에서는 제1 툴(11') 및 제2 툴(11)의 비트에 의한 라우팅 작업시 스핀들의 고속회전에 의한 인쇄회로기판과의 마찰력에 의해 발생하는 정전기 문제를 해결할 수 있는 제1 이온아이저(33') 및 제2 이온아이저(33)를 제공하여, 스핀들 고속회전시 발생하는 절단부의 주위공기를 이온화시킬 수 있게 된다.

그리고, 제1 툴유닛(10') 및 제2 툴유닛(10)의 하부에는 인쇄회로기판을 탑재하는 지그유닛(50)이 구성된다.

상기 지그유닛(50)은 2개의 나란한 테이블로 구성되는 트윈 테이블 방식으로 구성된다. 즉, 3축로봇(미도시)에 구비되어 있는 2개의 나란한 수평이송대(미도시) 위에 각각 1개씩의 지그케이스(51)가 배치됨에 따라 2개의 부품에 대한 라우팅 작 업을 각각 독자적으로 수행할 수 있게 된다.

이러한 지그유닛(50)은 부품, 즉 인쇄회로기판을 탑재할 수 있는 부분으로서, 인쇄회로기판이 얹혀지게 되는 지그케이스(51)의 내벽 상단에는 인쇄회로기판의 가장자리를 받쳐줄 수 있는 받침턱이 형성되어 있으며, 바닥으로부터 약간 떨어진 높이에는 케이스의 길이방향을 따라 나란하게 위치되면서 폭방향으로 일정간격을 유지하는 다수의 핀 체결용 레일이 배치되어 있다.

상기 핀 체결용 레일은 인쇄회로기판을 고정시켜주는 위치고정핀(52)을 장착하는 부분이며, 이때의 각 핀 체결용 레일에는 균등간격으로 다수의 위치 결정용 홀이 형성되어 있어서, 이곳을 통해 각각의 위치고정핀(52)을 장착할 수 있게 된다.

이러한 위치고정핀(52)은 핀 체결용 레일상의 적당한 위치에 장착되고, 그 상단을 이용하여 인쇄회로기판의 주 시트나 잔여 시트의 각 모서리 부위에 있는 홀 등에 끼워지면서 인쇄회로기판을 균형있게 잡아주는 역할을 하게 된다.

그리고, 지그케이스(51)의 후면에는 도시되지는 않았지만, 댐퍼유닛에서 연장되는 주름관 형태의 덕트가 연결되어서, 지그케이스(51) 내부의 분진이 댐퍼유닛측으로 배출된다.

그러나, 이와 같이 이루어진 종래의 제1 툴유닛(10') 및 제2 툴유닛(10)은, 베이스(30)의 제1 홀더(20') 및 제2 홀더(20)에 각각 결합 고정된 상태로 세로이송대(40)의 실린더수단에 의해 승강되는 베이스(30)를 통해 일체로 승강된다. 따라서, 지그유닛(50)의 트윈 테이블에 인쇄회로기판이 짝수배열 즉 2개가 탑재되는 경우에는 일체로 하강된 제1 툴유닛(10') 및 제2 툴유닛(10)의 스핀들을 통한 라우팅 작업이 가능하나, 트윈 테이블에 인쇄회로기판이 홀수배열 즉 한쪽에만 탑재되는 경우에는 다른 쪽에는 인쇄회로기판이 탑재되지 않았기 때문에 일체로 연동되게 승강되는 제1 툴유닛(10') 및 제2 툴유닛(10)으로는 라우팅 작업을 할 수 없는 치명적인 단점이 있었다.

또한, 종래의 집진방식으로는 덕트가 댐퍼유닛와 지그케이스(51)의 후면으로만 연결되어 있어 지그유닛(50) 내부의 분진은 집진가능하였으나, 지그유닛(50) 상면의 PCB(미도시) 상의 분진은 그대로 잔존하게 되는 단점이 있었다. 추가로 덕트가 대형이어야 하고 제조 비용도 고가이다.

이에, 본 발명은 전술한 바와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 세로이송대와 베이스를 통해 승강되는 제1 및 제2 툴유닛 중 하나를 별개로 승강되게 구성하여, 지그유닛에 탑재된 인쇄회로기판의 세로배열 시에도 라우팅 작업을 할 수 있도록 한 라우팅장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 라우팅장치는, 상하로 이동되는 베이스에 가로방향으로 설치된 가이드바와 스크류축에 관통 지지되어 좌우로 이동되는 제1 및 제2 홀더에 각각 설치된 제1 및 제2 툴을 갖는 제1 및 제2 툴유닛을 포함하며, 상기 제1 및 제2 툴유닛 중 제1 툴유닛의 제1 툴을 실린더로 상하로 이동가능하게 구성한 것을 특징으로 한다.

바람직하게는, 상기 실린더는 공압실린더 또는 유압실린더로서, 베이스에 피스톤 또는 실린더가 연결되어 설치되고, 제2 툴유닛의 제2 툴은 제2 홀더에 고정되게 설치된다.

그리고, 상기 툴유닛의 홀더에는 지그유닛 상면의 분진을 집진하는 집진덕트가 설치된다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

본 발명을 설명하기에 앞서, 종래기술과 동일한 부분에 대해서는 동일한 부호를 부여하고, 중복되는 설명은 생략한다.

첨부도면 도 1 및 도 2는 본 발명에 따른 트윈 테이블을 갖는 라우팅장치를 도시한 도면이다.

본 발명에 따른 라우팅장치는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상하로 이동되는 베이스(30)에 가로방향으로 설치된 가이드바(31)와 스크류축(32)에 관통 지지되어 좌우로 이동되는 제1 홀더(20') 및 제2 홀더(20)에 각각 설치된 제1 툴(11') 및 제2 툴(11)을 갖는 제1 툴유닛(10') 및 제2 툴유닛(10)을 포함하며, 상기 제1 툴유닛(10') 및 제2 툴유닛(10) 중 제1 툴유닛(10')의 제1 툴(11')을 실린더로 상하 이동가능하게 구성한다.

한편, 본 실시예에서는 제1 툴유닛(10') 및 제2 툴유닛(10) 중 오른편의 제1툴유닛(10')에 구성된 제1 툴(11')을 실린더로 제1 홀더(20')로부터 승강되게 구성한다.

상기와 같이 구성된 제1 툴유닛(10') 및 제2 툴유닛(10) 중 왼편의 제2 툴유닛(10)에 구성된 제2 툴(11)은 제2 홀더(20)에 고정되게 설치되고, 오른편의 제1 툴(11')은 제1 홀더(20')에 파지된 상태로서 상하로 승강되게 설치된다.

그리고, 상기 실린더는 공압실린더 또는 유압실린더로 구성되되, 보다 바람직하게는 공압실린더(100)로 구성된다.

상기 공압실린더(100)는 그 하단부가 오른편의 제1 툴(11') 상단부에 연결브라켓(300)을 매개로 연결되게 설치되고, 상기 공압실린더(100)로부터 출입되는 피스톤(110)의 상단부는 베이스(30)에 수직하게 설치된 고정브라켓(200)에 힌지되어 연결된다.

따라서, 상기 공압실린더(100)의 작동시는 베이스(30)의 고정브라켓(200)에 힌지된 피스톤(110)을 기준으로 공압실린더(100)가 상하로 승강되면서 작동되므로 상기 공압실린더(100)와 연동되는 제1 툴(11')이 제1 홀더(20')에 가이드되면서 상하로 승강된다.

그리고, 상기 각 툴유닛의 홀더에는 지그유닛 상면의 분진을 집진하도록 된 집진덕트가 설치되되, 상기 집진덕트는 지그케이스의 후면과 댐퍼유닛을 연결하는 덕트에 연결되게 설치된다.

즉, 종래의 집진방식으로는 덕트가 댐퍼유닛와 지그케이스(51)의 후면으로만 연결되어 있어 지그유닛(50) 내부의 분진은 집진가능하였으나, 지그유닛(50) 상면의 PCB(미도시) 상의 분진은 그대로 잔존하게 되는 단점이 있었으나, 본 발명에서는 제1 툴유닛(10') 및 제2 툴유닛(10)의 제1 홀더(20') 및 제2 홀더(20)에 설치된 제1 집진덕트(400') 및 제2 집진덕트(400)를 통해 지그유닛(50) 상면 즉 PCB 상면의 분진을 집진하여 댐퍼유닛측으로 배출할 수 있게 된다.

한편, 상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 라우팅장치는, 인쇄회로기판이 지그유닛(50)의 양편으로 공급되어 탑재되는 짝수배열의 경우에는, 종래와 같이 세로이송대(40)에 의해 베이스(30)와 제1 툴유닛(10') 및 제2 툴유닛(10)이 일체로 승강되고, 제1 툴유닛(10') 및 제2 툴유닛(10)이 베이스(30)상에서 좌우로 이동되어 제1 툴(11') 및 제2 툴(11)에 의한 라우팅 작업이 이루어지게 된다(도 1 참조).

그리고, 지그유닛(50)에 인쇄회로기판이 일측으로만 공급되어 탑재되는 홀수배열의 경우에는, 제1 툴유닛(10') 및 제2 툴유닛(10)이 짝수배열과 마찬가지로 작동된 후, 오른편 제1 툴유닛(10')의 제1 홀더(20')에 파지된 제1 툴(11')이 공압실린더(100)에 의해 승강되면서 라우팅 작업을 이루어지게 한다.

즉, 인쇄회로기판이 지그유닛(50)의 왼편으로 공급된 경우에는, 오른편의 제1 툴(11')이 공압실린더(100)에 의해 상승되어 왼편의 제2 툴(11)로서 라우팅 작업을 수행하고, 오른편으로 공급된 경우에는 오른편의 제1 툴(11')이 왼편의 제2 툴(11)보다 더 많이 하강하여 라우팅 작업을 수행한다(도 2 참조).

따라서, 본 발명의 라우팅장치에서는 공급되어 탑재되는 인쇄회로기판의 짝수배열 뿐만 아니라 홀수배열의 경우에도 라우팅 작업을 수행할 수 있게 된다.

그리고, 상기와 같은 라우팅 작업 시에 지그유닛(50) 상면 즉 PCB 상면에 발생된 분진은 제1 툴유닛(10') 및 제2 툴유닛(10)의 제1 홀더(20') 및 제2 홀더(20)에 설치된 제1 집진덕트(400') 및 제2 집진덕트(400)를 통해 흡입 및 집진되어 배출된다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 라우팅장치에 따르면, 제1 및 제2 툴유닛 중 제1 툴이 제1 홀더에서 승강됨으로써 지그유닛에 공급되어 탑재되는 인쇄회로기판의 짝수배열 뿐만 아니라 홀수배열의 경우에도 라우팅 작업이 가능하게 되어 작업성 및 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

그리고, 라우팅 작업 시에 발생되는 지그유닛 상면 즉 PCB 상면상의 분진을 효율적으로 집진하여 배출시킬 수 있는 장점이 있다. 또한, 덕트의 크기를 감소시킬수 있어서, 라우팅장치의 소형화를 이룰수 있으며, 제조 원가도 감소시킬 수 있읍니다

Claims

상하로 이동되는 베이스에 가로방향으로 설치된 가이드바와 스크류축에 관통 지지되어 좌우로 이동되는 제1 및 제2 홀더에 각각 설치된 제1 및 제2 툴을 갖는 제1 및 제2 툴유닛을 포함하는 라우팅장치에 있어서,

상기 제1 툴유닛의 제1 툴을 실린더로 상하 이동가능하게 구성하며, 상기 실린더는 공압실린더 또는 유압실린더로서, 베이스에 피스톤 또는 실린더가 연결되어 설치되고,

상기 제2 툴유닛의 제2 툴은 제2 홀더에 고정되게 설치되며,

상기 제1 및 제2 툴유닛의 제1 및 제2 홀더에는 지그유닛 상면의 분진을 집진하는 제1 및 제2 집진덕트가 설치된 것을 특징으로 하는 라우팅장치.
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