KR100884921B1 - 단결정 실리콘 잉곳 제조장치의 단결정 시드 견인용 와이어측정장치 - Google Patents

단결정 실리콘 잉곳 제조장치의 단결정 시드 견인용 와이어측정장치 Download PDF

Info

Publication number
KR100884921B1
KR100884921B1 KR1020070109879A KR20070109879A KR100884921B1 KR 100884921 B1 KR100884921 B1 KR 100884921B1 KR 1020070109879 A KR1020070109879 A KR 1020070109879A KR 20070109879 A KR20070109879 A KR 20070109879A KR 100884921 B1 KR100884921 B1 KR 100884921B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
wire
seed
single crystal
measuring
drum
Prior art date
Application number
KR1020070109879A
Other languages
English (en)
Inventor
최기형
Original Assignee
현빈테크 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 현빈테크 주식회사 filed Critical 현빈테크 주식회사
Priority to KR1020070109879A priority Critical patent/KR100884921B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100884921B1 publication Critical patent/KR100884921B1/ko

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
    • C30BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B15/00Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
    • C30B15/20Controlling or regulating
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65HHANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H75/00Storing webs, tapes, or filamentary material, e.g. on reels
    • B65H75/02Cores, formers, supports, or holders for coiled, wound, or folded material, e.g. reels, spindles, bobbins, cop tubes, cans, mandrels or chucks
    • B65H75/34Cores, formers, supports, or holders for coiled, wound, or folded material, e.g. reels, spindles, bobbins, cop tubes, cans, mandrels or chucks specially adapted or mounted for storing and repeatedly paying-out and re-storing lengths of material provided for particular purposes, e.g. anchored hoses, power cables
    • B65H75/38Cores, formers, supports, or holders for coiled, wound, or folded material, e.g. reels, spindles, bobbins, cop tubes, cans, mandrels or chucks specially adapted or mounted for storing and repeatedly paying-out and re-storing lengths of material provided for particular purposes, e.g. anchored hoses, power cables involving the use of a core or former internal to, and supporting, a stored package of material
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
    • C30BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B15/00Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
    • C30B15/10Crucibles or containers for supporting the melt
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
    • C30BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B15/00Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
    • C30B15/20Controlling or regulating
    • C30B15/22Stabilisation or shape controlling of the molten zone near the pulled crystal; Controlling the section of the crystal
    • C30B15/24Stabilisation or shape controlling of the molten zone near the pulled crystal; Controlling the section of the crystal using mechanical means, e.g. shaping guides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
    • C30BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B29/00Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
    • C30B29/02Elements
    • C30B29/06Silicon
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
    • C30BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B35/00Apparatus not otherwise provided for, specially adapted for the growth, production or after-treatment of single crystals or of a homogeneous polycrystalline material with defined structure

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)

Abstract

본 발명은 단결정 실리콘 잉곳 제조장치의 핵심구성요소 중 단결정 시드를 정밀하게 견인(하강 또는 인상)하는 시드 견인용 와이어의 견인 정밀도를 간단하면서도 용이하게 측정할 수 있도록 하는 그 측정장치에 것에 관한 것이다.
즉, 본 발명은 단결정 실리콘 잉곳 제조장치를 이루는 구성요소 중 단결정 시드를 매달은 상태에서 그 시드를 하측에 위치한 도가니 속 실리콘 용액에 하강시켜 접촉시킬 때 사용되는 시드 견인용 와이어의 실질적인 상,하 작동거리 값과 전자제어장치를 통해 그 와이어의 구동부에 주어진 시드 견인용 와이어의 상,하 작동거리신호와 정밀하게 일치하는지 또는 일정한 오차를 가지고 있는지 여부를 사전에 간단하면서도 신속히 측정할 수 있도록 단결정 실리콘 잉곳 제조장치의 단결정 시드 견인용 와이어 측정장치를 제공하는 것이다.
와이어 결속구, 와이어 변위량 정밀측정장치, 회전슬릿, 고정슬릿, 수광소자, 발광소자, 동력전달수단, 측정부측 회전축

Description

단결정 실리콘 잉곳 제조장치의 단결정 시드 견인용 와이어 측정장치{Rotation pipe support fixation nine}
본 발명은 단결정 실리콘 잉곳 제조장치의 핵심구성요소 중 단결정 시드를 정밀하게 견인(하강 또는 인상)하는 시드 견인용 와이어의 견인 정밀도를 간단하면서도 용이하게 측정할 수 있도록 하는 그 측정장치에 관한 것이다.
통상 단결정 실리콘 잉곳 제조장치는 반도체 웨이퍼 생상 공정 초기단계에 해당되는 것으로서, 고순도로 정제된 실리콘 용융액이 포함된 도가니에 단결정 시드(Seed)를 정밀하게 접촉하고 회전시키면서 단결정규소봉(Ingot)을 성장시키는 장치인,
한편, 단결정 시드 견인용 와이어는 상기 단결정 실리콘 잉곳 제조장치의 구성요소 중 일정한 크기의 단결정 시드를 하측 도가니 속 실리콘 용융액에 하강하여 접촉시키고 단결정규소봉(Ingot)이 완료된 후에는 일정한 상향 위치로 정밀하게 인 상시켜 용액으로부터 시드를 배출하는 등 단결정 시드에 대한 견인 기능을 담당한다.
그리고 상기한 단결정 시드는 견인용 와이어에 의해 하강하면서 도가니 속의 실리콘 용융액에 접촉될 때, 그 접촉속도는 물론 설정된 정확한 수치의 깊이로 접촉되어야만 원하는 양질의 잉곳성장을 도모할 수 있다.
그런데 통상 단결정 실리콘 잉곳 제조장치에 구비하는 시드 견인용 와이어는 그 장치의 최상부에 위치한 시드메카니즘의 와이어 드럼 불량(드럼 가공시 부주위 등에 의한 와이어 홈 가공불량, 취급시 발생될 수 있는 다양한 흠집, 사용도 중에 발생하는 마모 등) 및 기계적인 결합 등으로 인해 정해진 치수 이상 과다한 수치 값으로 하강되거나 또는 기준 이하의 짧은 길이 값으로 하강되는 등 시드의 견인(하강, 인상) 정밀성이 매우 떨어져 고품질의 잉곳(단결정규소봉) 및 반도체 생산에 크나큰 장애요인으로 작용하는 문제점을 가지고 있었다.
즉, 상기 단결정 실리콘 잉곳 제조장치의 시드 견인용 와이어는 상기 제조장치 최상단의 시드 메카니즘에 장착된 원주형 와이어 권취용 드럼에 감겨진 상태에서 일정량 풀림되어가 감겨지면서 하강 또는 상승되는 상,하 견인작동구조를 가짐에 따라,
여타한 원인(드럼 제작시 가공불량, 취급시 긁힘 등의 취급불량, 사용 중 마 모현상 등)으로 상기 원주형 와이어 권취용 드럼에 형성된 와이어 안착홈에 이상(원주길이 미달 등)이 있을 경우,
실제로 작동(하강 또는 상승)된 실거리값과 잉곳제조장치의 내부 제어시스템에서 드럼작동용 서보모터로 할당된 명령값과 상호 일치하지 아니하고 일정한 오차를 발생하고,
이 오차는 그 오차값에 따라 상당한 차이가 있으나 와이어 끝단에 매달린 시드를 실리콘용액에 원하는 정도의 정밀거리 값으로 접촉시키지 못하여 잉곳품질을 저해하는 주요 원인으로 작용하기 때문에,
잉곳제조공정수행 전에 시드 견인용 와이어의 실제작동거리를 표준 측정기 또는 계측기 등으로 먼저 검수할 필요성이 상당할 것인데, 그 결과 가령, 일부분의 오차가 발견된다면 와이어 드럼을 해체한 후 면밀히 점검, 수리 등을 통해 결함을 해소하면 될 것이고, 그렇지 않고 실제작동거리와 명령값이 서로 정확히 일치한다면 안심하고 잉곳제조공정을 실시하면 될 것이다.
그런데 종래에는 이에 대한 별다른 측정기구 등이 전무함에 따라 단결정 실리콘 잉곳 제조장치를 설치할 때 또는 단결정 실리콘 잉곳 제조시 시드 견인용 와이어의 실질적 상,하 작동거리와 별다른 확인작업 없이 곧바로 잉곳 생산공정을 실시할 수밖에 없는 불합리한 제조시스템으로 인해 품질저하 및 불량 우려성이 컸던 문제점을 가지고 있어 이에 대한 특별한 대안이 절실한 실정이다.
이에 본 발명에서는 상기한 문제점을 일소하기 위해 창안한 것으로서, 단결정 실리콘 잉곳 제조장치를 이루는 구성요소 중 단결정 시드를 매달은 상태에서 그 시드를 하측에 위치한 도가니 속 실리콘 용액에 하강시켜 접촉시킬 때 사용되는 시드 견인용 와이어의 실질적인 상,하 작동거리 값과 전자제어장치를 통해 그 와이어의 구동부에 주어진 시드 견인용 와이어의 상,하 작동거리신호와 정밀하게 일치하는지 또는 일정한 오차를 가지고 있는지 여부를 간단하면서도 신속하고 정밀하게 측정할 수 있도록 한 것에 주안점을 두고 그 기술적 과제로서 완성한 것이다.
상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명은 단결정 실리콘 잉곳 제조장치에 구비하는 시드 견인용 와이어를 일정한 길이 만큼 잡아당길 때 와이어가 실제로 당겨지는 길이를 측정한 다음 그 실측값과 상기 당김작용에 따라 대응하는 와이어 드럼에서의 기계 제어측 와이어 불량을 상호 비교함으로서 시드 견인용 와이어의 견인정밀도를 용이하게 측정할 수 있도록 한 것이다.
이상과 같은 본 발명의 단결정 실리콘 잉곳 제조장치는 잉곳을 생산하기 이 전에 단결정 시드 견인용 와이어의 하강작동의 정밀성을 신속하면서도 간단하게 측정한 다음 작업에 임할 수 있기 때문에 작업을 시드 와이어 하강 작동거리 비정밀성으로 인한 잉곳성장의 품질저하 등의 우려성을 완전히 배제할 수 있는 등 그 기대되는 바가 실로 다대한 발명이다.
위 기술적 과제를 달성하기 위해 본원에서는 첨부된 각 도면에 의거보다 상세히 설명하면 하기와 같다.
본 발명은 도 4에서 도시된 바와 같이 일측에는 단결정 실리콘 잉곳 제조장치(A)의 시드메카니즘(100)에 장착된 와이어드럼(110)과 그 형태는 동일하나 정밀하게 가공 및 계측되어 표준화 검증된 측정용 와이어드럼(10)을 공회전되는 축(20)에 설치한 것과;
상기 측정용 와이어드럼(10)에는 일정한 피치 간격의 표준형 와이어 감김홈(11)이 형성되고, 그 홈(11)에는 일정한 굵기와 길이의 측정용 와이어(W-1)를 권취한 것과;
상기 측정용 와이어(W-1)의 끝단에는 단결정 실리콘 잉곳 제조장치(A)의 시드 메카니즘(100)에 구비하는 시드 견인용 와이어(W)를 용이하게 결속할 수 있는 와이어 결속구(30)를 구비한 것과;
한편, 상기 측정용 와이어드럼(10) 회전축(20)의 타측에는 상기 와이어 드 럼(10)에 감긴 측정용 와이어(W-1)의 풀림 또는 감김 작동에 따른 드럼(10)의 회전량을 정밀하게 측정한 후 이를 와이어(W-1) 풀림 또는 감김량으로 변환 검출할 수 있는 와이어 변위량 정밀측정장치(40)를 설치한 것; 을 그 특징요지로 하였다.
상기한 구성 중 측정용 와이어드럼(10)과 그 드럼(10)에 형성된 표준형 와이어 감김홈(11)은 가공불량 또는 취급 중 긁힘 등의 결함이나 사용 중 마모 등의 결합 등이 존재할 수 있는 검증되지 아니한 단결정 실리콘 잉곳 제조장치(A)의 시드 메카니즘(100)에 장착된 와이어드럼(110)과 그 와이어드럼(110)에 형성된 와이어 감김홈(미도시)과는 달리, 별도로 정밀가공 후 초정밀 계측기 등으로 완벽하게 측정 및 검사까지 완료한 표본으로서, 이하 측정용 와이어드럼(10) 및 표준형 와이어 감김홈(11)이라 통칭하기로 한다.
그리고 상기 측정용 와이어드럼(10)은 베어링 지지체(50)에 축삽된 회전축(20)에 공 회전되도록 설치함은 물론,
특히, 상기 회전축(20)의 일측에는 상기 측정용 와이어 드럼(10)에 감겨진 와이어(W-1)의 감김 또는 풀림시 수반되는 드럼(10) 회전량을 측정한 후 이를 토대로 정밀한 상기 와이어(W-1)의 실질적인 감김 또는 풀림 량(이하, "와이어 실제 작동거리" 라 통칭함)으로 검출(아나로그 신호를 디지털신호로 변환 검출) 가능한 와이어 변위량 정밀측정장치(40)가 설치되는데,
상기한 와이어 변위량 정밀측정장치(40)는 도 3에서 도시된 바와 같이 상기 측정용 와이어드럼(10) 회전축(20)의 일단 또는 동력전달수단(풀리, 벨트 등, 60)을 통해 별도 상이한 위치의 측정부측 회전축(70)에,
상기 회전축(20, 70)의 회전에 따라 동시 회전되는 회전슬릿(41)을 구비시키고, 상기 회전슬릿(41)의 양측면 중 어느 일측에는 고정슬릿(42)을 미세 간격 접하는 지점에 구비시킨 다음,
상기 구성 중 고정슬릿(42)의 후측에는 수광소자(43)를 위치시키는 한편, 상기 수광소자(43)와 대응하는 상기 회전슬릿(41)의 전측에는 발광소자(44)를 구비시켜서 된 것으로서,
이는 상기 발광소자(44)에서 주사되는 광센서가 상기 회전슬릿(41)과 고정슬릿(42)을 각각 통과한 다음 수광소자(43)에 전달될 때 상기 수광소자(43)의 파형 정형회로(미도시)와 출력회로(미도시)에서 나타나는 펄스 변위량을 검출하고, 이 펄스 변위량은 외부 별도의 카운터수단(45)에 의해 카운터된 후 그 카운터 수에 따라 회전 변위량을 최종 검출할 수 있으며, 이때 포토에칭방법을 통해 상기 카운터된 펄스 출력펄스를 2체배 또는 4체배 등 고분해능을 배수로 높일 수 있음에 따라 초정밀측정(0.001㎜ 이상)이 가능할 뿐 아니라 상기 검출된 아나로그 신호는 디지털 값으로 변화되어 출력될 수 있어 측정된 수치를 용이하게 식별할 수도 있는 것이다.
나아가 상기 표준형 와이어 감김홈(11)에 감겨진 일정한 굵기와 길이의 측정 용 와이어(W-1)의 끝에는 단결정 실리콘 잉곳 제조장치(A)의 시드 메카니즘(100)에 구비하는 시드 견인용 와이어(W-1)를 용이하게 결속할 수 있도록 하는 와이어 결속구(30)가 구비함에 따라, 상기 측정용 와이어(W-1)에 단결정 실리콘 잉곳 제조장치(A)에 구비하는 측정 대상체인 시드 인용 와이어(W)를 용이하게 연결할 수 있다.
이와 같이 구성될 수 있는 본 발명의 단결정 실리콘 잉곳 제조장치(A)의 단결정 시드 견인용 와이어 측정장치는,.
먼저 단결정 실리콘 잉곳 제조장치(A)의 시드 메카니즘(100)에 구비하는 시드 견인용 와이어(W)를 임의 길이만큼 하강시킨 다음 상기 하강된 시드 견인용 와이어(W)의 끝단과,
상기 측정용 와이어(W-1)의 끝단을 서로 결속한 다음 당겨 팽팽하게 한 상태에서서 상기 단결정 실리콘 잉곳 제조장치(A)의 제어부(미도시)를 조작해 상기 시드 견인용 와이어(W)를 임의량 만큼 상승 작동하게 되면,
상기 시드 견인용 와이어(W)의 상승작동에 따라 상기 견인용 와이어(W)와 결속된 측정용 와이어(W-1)가 당겨지면서 상기 측정용 드럼(10)으로부터 일정량 풀림이 일어나게 되는데,
이때 상기 드럼(10)은 그 측정용 와이어(W-1)의 풀림량 만큼 일정한 회전이 발생되고, 상기 회전은 상기 드럼(10)의 회전축(20)과 동축으로 연결되거나 또는 회전동력전달수단(풀리, 벨트 등, 60)으로 상이한 별도의 위치에 구비된 측정부측 회전축(70)과 상기 측정부측 회전축(70)에 설치된 와이어 변위량 정밀측정장치(40) 에 그대로 전달됨에 따라,
결국, 1차적으로는 상기 측정용 드럼(10)의 표준형 와이어 감김홈(11)에 감겨진 측정용 와이어(W-1)의 풀림량을 정확한 수치로 정밀 검출이 가능한 것이고(측정용 와이어 풀림량 검출),
2차적으로는 상기 1차 검출된 측정용 와이어(W-1) 풀림량을 토대로 단결정 실리콘 잉곳 제조장치(A)의 시드 견인용 와이어(W)가 실질적으로 풀려진 시드 견인용 와이어(W)의 실제작동거리를 최종적으로 정밀하게 검출할 수 있게 되는 것이다.
상기 시드 견인용 와이어(W)의 실제작동거리를 측정한 수치는 상기 시드 견인용 와이어(W)가 상향 당겨질 때 단결정 실리콘 잉곳 제조장치(A)에 구비하는 자체 표시부에 나타나는 실리콘 잉곳 제조장치(A)의 제어부 작동 거리값과 비교할 때,
상호 일치하지 아니하고 오차가 발생할 경우 상기 단결정 실리콘 잉곳 제조장치(A)의 시드 메카니즘(100)에 설치된 와이어 드럼(110) 불량(가공 불량 또는 취급시 발생되는 흠집, 사용과정의 마모현상 등)에 의한 것임을 단정할 수 있음으로 상기 드럼(110)의 점검 및 수리, 교체 등을 통해 잉곳제조 전 품질저하의 원인을 사전에 간단히 해결할 수 있게 되는 것이다.
즉, 상기 전술된 본 발명의 단결정 실리콘 잉곳 제조장치(A)의 단결정 시드 견인용 와이어 측정장치를 통해 검출된 시드 견인용 와어어(W)의 실제작동거리와 단결정 실리콘 잉곳 제조장치(A)의 제어부에 표시된 작동거리가 서로 일치하지 않는다는 것은,
표준화 검증된 측정용 와이어 드럼(10)과 단결정 실리콘 잉곳 제조장치(A)의 시드 메카니즘(100)에 설치된 와이어 드럼(110)이 서로 일치하지 않는다는 것으로 판단할 수 있고,
상기 측정용 와이어 드럼(10)이 표준화 검증된 것임을 감안할 때 결국 단결정 실리콘 잉곳 제조장치(A)에 구비하는 와이어 드럼의 불량으로 결론지을 수 있는 것이다.
도 1은 본 발명의 바람직한 일실시예를 보인 외관 및 내부 단면구조 예시도
도 2는 본 발명에서 제시된 측정용 드럼의 상세도
도 3는 본 발명에서 제시된 와이어 변위량 정밀측정장치의 확대 단면도 예시도
도 4 내지 도 5은 통상의 단결정 실리콘 잉곳 제조장치 및 그 장치 중 시드 견인용 와이어가 구비하는 부분에 대한 부분 발췌도
*도면의 주요부분에 대한 부호설명*
A:단결정 실리콘 잉곳 제조장치 W-1:측정용 와이어
W:시드 견인용 와이어 10:측정용 와이어드럼
11:표준형 와이어 감김홈 20:회전축
30:와이어 결속구 40:와이어 변위량 정밀측정장치
41:회전슬릿 42:고정슬릿
43:수광소자 44:발광소자
60:동력전달수단 70:측정부측 회전축
100:시드메카니즘 110:와이어드럼

Claims (2)

  1. 일측에는 단결정 실리콘 잉곳 제조장치(A)의 시드메카니즘(100)에 장착된 와이어드럼(110)과 그 형태는 동일하나 정밀하게 가공 및 계측되어 표준화 검증된 측정용 와이어드럼(10)을 공회전되는 회전축(20)에 설치한 것과;
    상기 측정용 와이어드럼(10)에는 일정한 피치 간격의 표준형 와이어 감김홈(11)이 형성되고, 그 홈(11)에는 일정한 굵기와 길이의 측정용 와이어(W-1)를 권취한 것과;
    상기 측정용 와이어(W-1)의 끝단에는 단결정 실리콘 잉곳 제조장치(A)의 시드 메카니즘(100)에 구비하는 시드 견인용 와이어(W)를 용이하게 결속할 수 있는 와이어 결속구(30)를 구비한 것과;
    한편, 상기 측정용 와이어드럼(10) 회전축(20)의 타측에는 상기 와이어 드럼(10)에 감긴 측정용 와이어(W-1)의 풀림 또는 감김 작동에 따른 드럼(10)의 회전량을 정밀하게 측정한 후 이를 와이어(W-1) 풀림 또는 감김량으로 변환 검출할 수 있는 와이어 변위량 정밀측정장치(40)를 설치한 것; 을 특징으로 하는 단결정 실리콘 잉곳 제조장치의 단결정 시드 견인용 와이어 측정장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 와이어 변위량 정밀측정장치(40)는 상기 측정용 와이어드럼(10) 회전축(20)의 일단 또는 동력전달수단(풀리, 벨트 등, 60)을 통해 별도 상이한 위치의 측정부측 회전축(70)에,
    상기 회전축(20, 70)의 회전에 따라 동시 회전되는 회전슬릿(41)을 구비시키고, 상기 회전슬릿(41)의 양측면 중 어느 일측에는 고정슬릿(42)을 미세 간격 접하는 지점에 구비시킨 다음,
    상기 구성 중 고정슬릿(42)의 후측에는 수광소자(43)를 위치시키는 한편, 상기 수광소자(43)와 대응하는 상기 회전슬릿(41)의 전측에는 발광소자(44)를 구비시켜서 된 것을 특징으로 한 단결정 실리콘 잉곳 제조장치의 단결정 시드 견인용 와이어 측정장치.
KR1020070109879A 2007-10-30 2007-10-30 단결정 실리콘 잉곳 제조장치의 단결정 시드 견인용 와이어측정장치 KR100884921B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070109879A KR100884921B1 (ko) 2007-10-30 2007-10-30 단결정 실리콘 잉곳 제조장치의 단결정 시드 견인용 와이어측정장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070109879A KR100884921B1 (ko) 2007-10-30 2007-10-30 단결정 실리콘 잉곳 제조장치의 단결정 시드 견인용 와이어측정장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR100884921B1 true KR100884921B1 (ko) 2009-02-20

Family

ID=40681940

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020070109879A KR100884921B1 (ko) 2007-10-30 2007-10-30 단결정 실리콘 잉곳 제조장치의 단결정 시드 견인용 와이어측정장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100884921B1 (ko)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19990077782A (ko) * 1998-03-13 1999-10-25 와다 다다시 종결정의 목부의 기계적 강도 측정장치와 측정방법 및 실리콘 단결정의 제조방법
JP2000264770A (ja) 1999-03-19 2000-09-26 Toshiba Ceramics Co Ltd シードワイヤ評価方法およびその装置
KR20010080084A (ko) * 1998-10-14 2001-08-22 헨넬리 헬렌 에프 결정을 정확하게 인상하는 방법 및 장치
JP2002047091A (ja) 2000-07-31 2002-02-12 Super Silicon Kenkyusho:Kk 単結晶引き上げ装置及び単結晶引き上げ方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19990077782A (ko) * 1998-03-13 1999-10-25 와다 다다시 종결정의 목부의 기계적 강도 측정장치와 측정방법 및 실리콘 단결정의 제조방법
KR20010080084A (ko) * 1998-10-14 2001-08-22 헨넬리 헬렌 에프 결정을 정확하게 인상하는 방법 및 장치
JP2000264770A (ja) 1999-03-19 2000-09-26 Toshiba Ceramics Co Ltd シードワイヤ評価方法およびその装置
JP2002047091A (ja) 2000-07-31 2002-02-12 Super Silicon Kenkyusho:Kk 単結晶引き上げ装置及び単結晶引き上げ方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN207881664U (zh) 一种拉绳式位移传感器的智能化校准装置
CN104155212A (zh) 一种水泥凝结时间自动测定仪
CN109458971A (zh) 水下探测器舵角调试测量机构及测量方法
KR100884921B1 (ko) 단결정 실리콘 잉곳 제조장치의 단결정 시드 견인용 와이어측정장치
CN108247402A (zh) 阶梯孔同轴度自动化检测装置及检测方法
WO1998050756A1 (en) Method and apparatus for high speed measurement of oilfield tubular diameter and ovality
CN102865826A (zh) 研磨棒直径检测装置及检测方法
CN201133798Y (zh) 定心装置
US5105091A (en) Non-contact type automatic multi-point diameter measurement apparatus
CN113739667B (zh) 检具、涡轮增压器中间壳检测方法
CN114252000B (zh) 一种芯片管脚共面性和间距的测试装置及其测试方法
CN210220929U (zh) 一种混凝土碳化深度测量仪
CN210108922U (zh) 一种用于测试管材摩擦系数的装置
CN211373984U (zh) 车架勾爪叉骨震动疲劳试验机
KR19980036204A (ko) 기어의 이뿌리 검사 장치
CN108801910B (zh) 一种用于内螺纹套管的螺纹检测装置
CN201993191U (zh) 准确检测游丝力矩和线性度的测量头
KR100606984B1 (ko) 광 디스크 클램핑 마그네트의 자력 측정장치
CN212253962U (zh) 风力发电机转速测定时传动轴的径跳调整装置
WO2023230772A1 (zh) 星齿轮成品直线度检测设备及检测方法
CN216361568U (zh) 一种检测长壳体内孔相对外圆同轴度的量具
CN201129984Y (zh) 指示表全自动检定仪
CN219871391U (zh) 一种安装组件及测量装置
CN221147578U (zh) 一种新型同轴度标准装置
CN217637233U (zh) 一种快速校准激光传感器精度试验装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130208

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20131231

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20141231

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170110

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181231

Year of fee payment: 11