KR100880864B1 - 나노급 엑스선 단층촬영장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명의 나노급 엑스선 단상촬상장치는 피검체로 엑스선이 조사되도록 엑스선을 발생하는 엑스선 발생수단(10)과; 상기 엑스선 발생수단(10)의 일측에 마련되고, 피검체인 생체시료가 고정되는 홀더(20); 상기 홀더(20)의 일측에 마련되고, 상기 엑스선 발생수단(10)의 엑스선이 상기 홀더(20)의 생체시료를 투과하며, 상기 투과된 엑스선의 광양자(photon)를 전자로 변환하고, 상기 변환된 전자를 증배시킨 영상을 획득하는 엑스선 검출수단(30); 상기 홀더(20)의 일측에 마련되고, 상기 홀더(20)에 고정된 생체시료가 사체로 변환되지않도록 상기 생체시료를 일정 온도로 냉각시켜주는 냉각수단(40); 상기 홀더(20), 및 엑스선 검출수단(30)의 하단에 마련되어, 상기 엑스선 발생수단(10)과 홀더(20), 및 엑스선 검출수단(30)이 광축선 상에 일치하도록 상기 홀더(20), 및 엑스선 검출수단(30)의 위치를 정렬하는 구동수단(50); 및 상기 엑스선 발생수단(10)과, 홀더(20), 엑스선 검출수단(30), 냉각수단(40), 및 구동수단(50)을 제어하고, 또한 상기 엑스선 검출수단(30)을 통해 획득한 영상을 3차원으로 구성하여, 이를 출력할 수 있도록 하는 제어부(60);로 구성되는 것을 특징으로 한다.
CT, ICCD, X-ray
Description
도 1은 본 발명에 따른 나노급 엑스선 단층촬영장치의 개념도.
도 2는 본 발명에 따른 엑스선 발생수단과, 홀더, 엑스선 검출수단, 및 구동수단의 구성 사시도.
도 3은 본 발명에 따른 냉각수단의 구성도.
도 4는 본 발명에 따른 나노급 엑스선 촬영장치를 통해 생체시료를 촬영한 일 예 사진이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
10 : 엑스선 발생수단 20 : 홀더
30 : 엑스선 검출수단 40 : 냉각수단
50 : 구동수단 60 : 제어부
70 : 방열수단
본 발명은 나노급 엑스선 단층촬영장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 나노급 해상도를 가지고 생체시료를 단층촬영장치로 촬영함으로써, 세포조직의 파괴가 없는 상태에서 나노단위의 구조적인 변화와 기능을 관찰할 수 있도록 하는 나노급 엑스선 단층촬영장치에 관한 것이다.
일반적으로, 단층촬영장치(Computer Tomography, CT)란 G.하운스필드가 고안 1971년 상품화한 기술로 종래의 엑스선 장치로는 얻을 수 없던 제품의 구조나 조직상태에 관한 정보를 화상(畵像)으로 구현하는 새로운 기술로서, 대상 제품을 여러 각도에서 엑스선을 투시하여 얻은 영상을 조합하여 3차원의 영상으로 구현하는 기술이며 이 영상을 이용 제품의 각 단면 단층상을 볼 수 있는 효과를 얻을 수 있으며 제품 내의 여러 구조를 분해하여 보여 줄 수 있다.
이러한, 단층촬영장치는 엑스선 발생부, 피검체 회전을 위한 기구부, 검출부 장치로 구성되고, 상기 엑스선 발생부와 검출부의 일직선 사이에 피검체를 위치하여 여러 방향으로부터 엑스선관을 통해 피검체의 횡단면 방향으로 엑스선을 인가하며, 이때 투과한 엑스선에 의한 각 물질 간의 감쇠계수에 따른 흡수차를 검출기로 테이터를 수집하여 단면 영상화한 후 각각의 방향으로부터 생성된 디지털 단면 영상 데이터를 컴퓨터로 산술적 연산방법으로 계산하여 피검체의 촬영영역에 대응하는 단층 영상이 재구성되어 보여주게 된다.
아울러, 상기 단층촬영장치는 촬영될 피검체의 종류와 관찰영역 및 그것을 촬영하려는 목적에 따라서 의료용 및 산업용으로 나뉘어 광범위한 범위에서 널리 이용되고 있다.
특히, 최근에는 바이오 산업 및 생명공학의 발전에 따라 생물 의료용 엑스선 단층촬영장치의 사용이 증가하고, 생명공학의 분야에서 소 동물 즉, 실험용 또는 연구용 쥐와 같은 생체시료를 고 해상도로 촬영하는 기술이 주목받고 있다.
하지만, 현재 제공되고 있는 단층촬영장치는 마이크로급 정도의 해상도를 가지므로, 생명공학의 연구들 즉, 병 상태를 정확히 진단하기 위한 연구, 유전자의 발현 및 단백질 연구, 독성 실험, 신약 개발, 염색체의 분화과정과 구조 이상 연구, 미생물 연구, 토양 및 식물체 연구, 천연섬유와 단백질의 구조 그리고 기능탐구를 이용한 인공적 배합물의 생산 등의 다양한 연구들에 폭 넓게 활용되지 못하는 사용의 한계성을 가지는 문제점이 있었다.
또한, 현재의 단층촬영장치에서의 피검체 고정은 홀더를 통한 고정방식으로 소 동물에서 일부 조직을 적출한 후 이를 홀더에 고정하게 되는 일련의 과정을 통해 상기 적출된 조직을 검사하게 되나, 상기의 과정에 의해 적출된 조직은 일정 시간 경과 후 죽게되는 사체 조직으로 변환됨으로 생체 조직을 촬영하는 시간이 짧게되고, 이를 통해 정확한 조직의 영상을 얻기 매우 어렵다는 문제점이 있었다.
더불어, 상기의 단층촬영장치는 엑스선을 이용한 촬영이 진행됨에 따라 상기 엑스선의 방사선에 의해 시료의 조직이 변형되거나 오염됨에 따라 정확한 조직의 촬영이 어렵다는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해소하기 위해 안출한 것으로, 본 발명의 제 1 목적은 1um이하의 초점크기를 가진 엑스선 발생수단을 통해 나노급 고 해상도의 영상을 얻을 수 있도록 하는 나노급 엑스선 단층촬영장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 제 2 목적은 시료를 고정하는 홀더에 냉각수단을 구성하여, 상기 홀더에 고정되는 생체시료를 방사선으로부터 보호 및 유지함으로써, 생체시료의 검사 시간을 대폭 증가시킬 수 있도록 하는 나노급 엑스선 단층촬영장치를 제공하는 데 있다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 나노급 엑스선 단층촬영장치는 엑스선을 이용하여 피검체를 촬영하고, 촬영된 피검체 영상을 3차원으로 재구성하여 단층 영상으로 보여주는 엑스선 단층촬영장치에 있어서, 피검체로 엑스선이 조사되도록 엑스선을 발생하는 엑스선 발생수단과; 상기 엑스선 발생수단의 일측에 마련되고, 피검체인 생체시료가 고정되는 홀더와; 상기 홀더의 일측에 마련되고, 상기 엑스선 발생수단의 엑스선이 상기 홀더의 생체시료를 투과하며, 상기 투과된 엑스선의 광양자(photon)를 전자로 변환하고, 상기 변환된 전자를 증배시킨 영상을 획득하는 엑스선 검출수단과; 상기 홀더의 일측에 마련되고, 상기 홀더에 고정된 생체시료가 사체로 변환되지않도록 상기 생체시료를 일정 온도로 냉각시켜주는 냉각수단과; 상기 홀더, 및 엑스선 검출수단의 하단에 마련되어, 상기 엑스선 발생수단과 홀더, 및 엑스선 검출수단이 광축선 상에 일치하도록 상기 홀더, 및 엑스선 검출수단의 위치를 정렬하는 구동수단; 및 상기 엑스선 발생수단과, 홀더, 엑스선 검출수단, 냉각수단, 및 구동수단을 제어하고, 또한 상기 엑스선 검출수단을 통해 획득한 영상을 3차원으로 구성하여, 이를 출력할 수 있도록 하는 제어부;로 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 있어서, 엑스선 발생수단은 1um이하의 서브 나노 크기의 초점을 가지고, 투과형 타입(transmission type)인 것이 바람직하다.
본 발명에 있어서, 냉각수단은 가스 공급탱크와; 상기 가스공급탱크와 홀더 사이에 마련되어, 상기 가스공급탱크로부터 제공되는 가스에 의해 상기 홀더에 고정된 생체시료가 냉각되도록 상기 냉각가스를 이송하는 가스 공급관; 및 상기 가스 공급관의 타측에 마련되어, 상기 가스공급관의 내부에 저장된 가스를 외부로 배기시켜주는 배기펌프;로 구성되고, 상기 가스공급관의 일측에는 상기 가스공급관을 통해 이송되는 가스를 냉각시켜주기 위한 냉각액이 저장된 보조냉각통이 더 구성됨이 바람직하다.
본 발명에 있어서, 상기 구동수단은 테이블과; 상기 테이블의 일측에 마련되고, 홀더를 X, Y, Z 축으로 이송하는 홀더이송스테이션; 상기 홀더이송스테이션의 상단에 마련되고, 상기 홀더를 회전시키는 회전스테이션; 상기 테이블의 타측에 마련되고, 엑스선 검출수단을 X, Y, Z 축으로 이송하는 검출수단이송스테이션; 및 상기 테이블과, 각 스테이션들을 X, Y, Z 축 및 회전 위치를 정렬하도록 정렬 제어를 발생하여, 상기 테이블과 각 스테이션들을 구동시키는 제어부;로 구성되고, 상기 구동수단은 공압을 이용한 에어베어링 방식으로, 접촉식 구동방식에 의해 발생할 수 있는 위치정렬 오차를 최소화하여, 고 정밀한 위치정렬이 가능하도록 함이 바람 직하다.
본 발명에 있어서, 홀더와 구동수단 사이에는 방열수단을 더 구성하여, 상기 홀더의 일측에 마련된 냉각수단에 의해 극저온 상태를 유지시 극저온이 상기 구동수단으로 열 전달이 차단되도록 구성됨이 바람직하다.
이하 본 발명을 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 1은 엑스선 단층촬영장치의 개념도이고, 도 2는 엑스선 발생수단과, 홀더, 엑스선 검출수단, 및 구동수단의 구성 사시도이며, 도 3은 냉각수단의 구성도이고, 도 4는 본 발명에 따른 나노급 엑스선 촬영장치를 통해 생체시료를 촬영한 일 예로서, 이를 참조하면, 나노급 엑스선 단층촬영장치는 엑스선 발생수단(10)과 상기 엑스선 발생수단(10)의 일측에 위치되고, 피검체인 생체시료가 안착 고정되는 홀더(20)와, 상기 홀더(20)의 일측에 마련되는 엑스선 검출수단(30)과, 상기 홀더(20)의 일측에 마련되는 냉각수단(40)과, 상기 홀더(20)와 엑스선 검출수단(30)의 하단에 마련되는 구동수단(50), 및 상기 각 수단들을 제어하기 위한 제어부(60)로 구성된다.
아울러, 상기 각 수단은 룸(1)의 내부에 설치됨이 바람직한 것으로, 상기 룸(1)은 엑스선 발생수단(10)에서 발생되는 방사능의 일종인 엑스선에 의해 사람이 피폭됨을 예방하기 위한 것이며, 상기 룸(1)은 납으로 형성되고, 일측에 작업자가 출입 가능한 개폐문이 설치된다.
상기 엑스선 발생수단(10)은 1um이하 서브 나노 크기의 초점(focal spot)을 가지며, 나노튜브를 갖는 투과형 타입(transmission type)을 사용함이 바람직하다.
일반적으로 엑스선 발생수단은 캐소드의 전자방출이 애노드 타겟면에 부딪치면서 엑스선이 발생되며, 실 광원의 발생지점과 출력단까지의 거리는 구성방식에 따라 차이를 가지고, 상기 구성방식에 따라 반사형 타입(reflective type)와 투과형 타입(transmission type)으로 구분되고, 상기 반사형 타입(reflective type)은 광원발생지점과 출력단까지 거리가 멀리 떨어져 있음으로 기하학적인 배율을 더 이상의 확대할 수 없다는 문제점으로 여기에서는 투과형 타입(transmission type)을 사용함이 바람직하다.
아울러, 나노튜브를 가지는 투과형 타입(transmission type) 엑스선 발생수단은 엑스선 광원 발생지점과 출력단 사이의 거리가 매우 근접하게 밀착되어 생체시료를 광원발생지점에 최대한 가까이 할 수 있어 광학배율을 크게 가져갈 수 있으며, 1um 이하의 초점 크기를 가져, 번짐 현상이 적고, 위상차 현상을 함께 이용하면 고 해상도의 선명한 영상을 얻을 수 있다.
홀더(20)는 생체시료를 안착 고정하고, 더불어 엑스선 투과시 상기 엑스선이 간섭되지 않는 재질로 형성됨이 바람직한 것으로, 모세관(capillary)형상을 가짐이 바람직하다.
아울러, 상기 홀더(20)는 생체시료의 고정을 위해 착탈 가능하게 구성됨이 바람직하다.
또한, 상기 홀더(20)의 하단에는 방열수단(70)이 구성되는 것으로, 상기 방열수단(70)은 상기 홀더(20)의 일측에 마련되는 냉각수단(40)에 의해 극저온상태를 유지함에 따라 상기 홀더(20)의 하단에 구성된 구동수단(50)으로 열 전달을 차단하게 된다.
엑스선 검출수단(30)은 엑스선 발생수단(10)에서 발생된 엑스선이 홀더(20)에 고정된 생체시료를 투과하여 입사되면, 상기 입사된 엑스선의 광양자를 광전면에서 전자로 변환하고, 이를 증배시켜 상기 생체시료의 단층 영상을 획득하게 된다.
아울러, 상기 엑스선 검출수단(30)을 상세히 살펴보면, 광전면에 의해 변환된 전자는 마이크로 채널 플레이트(MCP)로 증배시키고, 증배된 전자군을 형광체에 충돌시켜 발광시키며, 상기 증배된 빛을 릴레이 렌즈(relay optics) 또는 파이버플레이트(FOP)로 CCD카메라에 결상됨에 따라 영상을 획득하게 된다.
또한 MCP에 입사된 1개의 전자는 그 충돌시에 복수개의 2차 전자를 발생시키고, 상기 발생된 복수의 전자는 한층 더 인가전압으로 가속되고 다음의 2차 전자를 발생시킨다. 그 증배율은 MCP 1매로 평균 1000배에 달해 1개의 전자에 대해 평균 1000개의 전자를 출력할 수 있게 되어 고감도 증배형 카메라가 된다.
냉각수단(40)은 냉각 가스가 저장되는 가스저장탱크(42)와, 상기 가스저장탱크(42)와 홀더(20) 사이에 연결되어, 냉각 가스를 공급하는 가스 공급관(44), 및 상기 가스 공급관(44)의 일측에 마련되는 배기펌프(46)로 구성되어, 상기 홀더(20)에 고정된 생체시료를 사체로 변환되지않도록 냉각시킨다.
아울러, 상기 가스공급관(44)의 일측에는 보조탱크(48)가 더 구성되어, 상기 가스공급관(44)을 통해 이송되는 냉각가스를 냉각시켜 주도록 구성됨이 바람직하 다.
더불어, 상기 냉각가스는 헬륨가스를 이용함이 바람직하고, 상기 보조탱크(48)에는 액화질소가 충전됨이 바람직하며, 이때의 헬륨가스는 100K(절대온도 단위)이하의 극저온 상태를 유지하여, 상기 홀더(20)에 고정된 생체시료를 극저온상태로 냉각시켜줌이 바람직하다.
또한, 상기 배기펌프(46)는 가스공급관(44)을 통해 이송되는 냉각가스에 의해 홀더(20) 주변의 공기에 포함된 수분의 결로 방지하기 위해 상기 가스공급관(44)을 통해 이송되는 냉각가스를 배기시켜, 결로방지 및 생체시료의 극저온 냉각상태를 유지할 수 있게 된다.
특히, 상기 냉각수단(40)은 홀더(20)의 생체시료를 극저온 냉각시켜줌에 따라, 상기 생체시료의 생명력 유지와 더불어 상기 생체시료는 엑스선에 노출됨에 따른 방사선에 의한 세포변형이나 파괴를 방지함으로써, 고 정밀한 세포 영상획득이 가능한 효과를 가지게 된다.
구동수단(50)은 테이블(52)과, 상기 테이블(52)의 일측에 마련되고, 홀더(20)를 X, Y, Z축으로 이송하는 홀더이송스테이션(54)과, 상기 홀더이송스테이션(54)의 일측에 마련되고, 상기 홀더(20)를 회전시키는 회전스테이션(56)과, 상기 테이블(52)의 타측에 마련되고, 엑스선 검출수단(30)을 X, Y, Z축 방향으로 이송하는 검출수단이송스테이션(58), 및 상기 각 스테이션을 제어하는 제어부로 구성된다.
아울러, 상기 구동수단(50)은 공압에 의한 에어 베어링방식으로 각 스테이션 들이 상기 공압에 의해 일정 간격으로 이격된 상태로 구동됨에 따라, 밀착에 의한 밀착오차 가령, 미끄럼, 백래시, 비틀림 및 평탄도와 같은 형상오차를 최소화함으로써, 고 정밀한 위치 정렬 및 제어가 가능하고, 이를 통해 고 해상도를 가진 연상으로 획득할 수 있게 된다.
더불어, 상기 구동수단(50)의 각 스테이션에 공압을 제공하기 위해, 상기 공압을 발생하는 공기압축기(C)가 일측에 구성되고, 또한, 상기 공기압축기(C)의 일측에는 압축된 공기에 포함된 수분을 제거하기 위한 건조기(D)가 구성되는 것으로 이는 공압에서 일반적으로 사용하는 공지된 기술이다.
제어부(60)는 룸(1)의 외부에 설치되어, 상기 롬(1)의 내부에 구성된 엑스선 발생수단(10)과, 홀더(20), 엑스선 검출수단(30), 냉각수단(40), 및 구동수단(50)을 원격적으로 제어할 수 있고, 또한 엑스선 검출수단(30)에서 획득한 단층 영상을 3차원 영상으로 재구성하여, 출력할 수 있는 것이다.
상기와 같이 구성된 나노급 엑스선 단층촬영장치의 사용상태를 보면, 먼저, 엑스선 발생수단(10)과 홀더(20) 및 엑스선 검출수단(30)들을 광축선 상으로 일치시키는 1차 정렬작업을 수행되는 것으로, 상기 엑스선 발생수단(10)은 룸(1)에 고정된 상태이므로, 상기 홀더(20)와 엑스선 검출수단(30)이 구동수단(50)의 홀더이송스테이션(54)과, 검출수단이송스테이션(58)에 의해 X, Y, Z축으로 이송되면서, 상기 엑스선 발생수단(10)의 광축선 상에 위치 정렬된다.
그리고, 1차 정렬작업이 완료되면, 상기 홀더(20)에 생체시료를 안착 고정시키며, 이때 상술된 바와 같은 위치 정렬작업을 통해 최종 광축선 상 위치 정렬작업 을 완료한다.
물론, 제어부(60)에 의해 원격적으로 작업이 수행됨에 따라 작업자가 방사능에 피폭되는 안전사고를 방지한다.
아울러, 상기 홀더(20)에 안착된 생체시료가 사체로 변환됨을 방지하기 위해 냉각수단(40)의 가스공급탱크(42)에서 냉각가스가 가스공급관(44)을 통해 홀더(20)에 제공되는바, 상기 냉각가스는 가스공급관(44)의 일측에 마련된 보조탱크(48)에 의해 100K이하의 극저온 냉각 온도로 홀더(20)로 제공되고, 더불어 상기 가스공급관(44)의 일측에 마련된 배기펌프(46)에 의해 배기됨에 따라 홀더(20) 주변의 결로 방지에 의해 엑스선 투과율을 향상시키는 효과를 가진다.
상기 생체시료가 준비가 완료되면 상기 엑스선 발생수단(10)에서는 1um이하의 초점을 가지는 엑스선이 조사되어, 상기 홀더(20)의 생체시료를 투과하고, 타측의 엑스선 검출수단(30)으로 입사됨에 따라 상기 엑스선 검출수단(30)에서는 상술된 바와 같은 구성에 의해 단층 영상을 획득하게 된다.
특히, 상기 홀더(20)는 회전스테이션(56)에 의해 일정각도씩 분할 회전이 됨에 따라 각 회전각도에 따른 생체시료의 단층 영상이 엑스선 검출수단(30)에 획득되고, 이렇게 획득된 단층 영상은 제어부(60)로 전송되어 3차원으로 재구성된다.
한편, 상기의 일련 작업시간동안 홀더(20)에 고정된 생체시료는 냉각수단(40)에 의해 극저온 상태로 유지됨에 따라 생체 유지 및 방사능 오염 예방으로 고 해상도의 영상 획득이 가능한 것이다.
상술한 바와 같이 본 발명에 의하면, 1um이하의 초점크기를 가진 엑스선 발생수단을 통해 나노급 고 해상도의 영상을 얻을 수 있도록 하는 효과가 있다.
아울러, 시료를 고정하는 홀더에 냉각수단을 구성하여, 상기 홀더에 고정되는 생체시료를 방사선으로부터 보호 및 유지함으로써, 생체시료의 검사 시간을 대폭 증가시킬 수 있도록 하는 효과가 있다.
이상에서 설명한 것은 본 발명의 나노급 엑스선 단층촬영장치를 실시하기 위한 하나의 실시 예에 불과한 것으로서, 본 발명은 상기한 실시 예에 한정되지 않고, 이하 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.
Claims (7)
- 엑스선을 이용하여 피검체를 촬영하고, 촬영된 피검체 영상을 3차원으로 재구성하여 단층 영상으로 보여주는 엑스선 단층촬영장치에 있어서,피검체로 엑스선이 조사되도록 엑스선을 발생하는 엑스선 발생수단(10)과;상기 엑스선 발생수단(10)의 일측에 마련되고, 피검체인 생체시료가 고정되는 홀더(20);상기 홀더(20)의 일측에 마련되고, 상기 엑스선 발생수단(10)의 엑스선이 상기 홀더(20)의 생체시료를 투과하며, 상기 투과된 엑스선의 광양자(photon)를 전자로 변환하고, 상기 변환된 전자를 증배시킨 영상을 획득하는 엑스선 검출수단(30);상기 홀더(20)의 일측에 마련되고, 상기 홀더(20)에 고정된 생체시료가 사체로 변환되지않도록 상기 생체시료를 일정 온도로 냉각시켜주는 냉각수단(40);상기 홀더(20), 및 엑스선 검출수단(30)의 하단에 마련되어, 상기 엑스선 발생수단(10)과 홀더(20), 및 엑스선 검출수단(30)이 광축선 상에 일치하도록 상기 홀더(20), 및 엑스선 검출수단(30)의 위치를 정렬하는 구동수단(50); 및상기 엑스선 발생수단(10)과, 홀더(20), 엑스선 검출수단(30), 냉각수단(40), 및 구동수단(50)을 제어하고, 또한 상기 엑스선 검출수단(30)을 통해 획득한 영상을 3차원으로 구성하여, 이를 출력할 수 있도록 하는 제어부(60);로 구성되는 것을 특징으로 하는 나노급 엑스선 단층촬영장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 엑스선 발생수단(10)은1um이하의 서브 나노 크기의 초점을 가지고, 투과형 타입(transmission type)인 것을 특징으로 하는 나노급 엑스선 단층촬영장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 냉각수단(40)은가스 공급탱크(42)와;상기 가스공급탱크(42)와 홀더(20) 사이에 마련되어, 상기 가스공급탱크(42)로부터 제공되는 가스에 의해 상기 홀더(20)에 고정된 생체시료가 냉각되도록 상기 냉각가스를 이송하는 가스 공급관(44); 및상기 가스 공급관(44)의 타측에 마련되어, 상기 가스공급관(44)의 내부에 저장된 가스를 외부로 배기시켜주는 배기펌프(46);로 구성되는 것을 특징으로 하는 나노급 엑스선 단층촬영장치.
- 제 3 항에 있어서,상기 가스공급관(44)의 일측에는 상기 가스공급관(44)을 통해 이송되는 가스를 냉각시켜주기 위한 냉각액이 저장된 보조냉각통(48)이 더 구성되는 있는 것을 특징으로 하는 나노급 엑스선 단층촬영장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 구동수단(50)은테이블(52)과;상기 테이블(52)의 일측에 마련되고, 홀더(20)를 X, Y, Z 축으로 이송하는 홀더이송스테이션(54);상기 홀더이송스테이션(54)의 상단에 마련되고, 상기 홀더(20)를 회전시키는 회전스테이션(56);상기 테이블(52)의 타측에 마련되고, 엑스선 검출수단(30)을 X, Y, Z 축으로 이송하는 검출수단이송스테이션(58); 및상기 테이블(52)과, 각 스테이션들을 X, Y, Z 축 및 회전 위치를 정렬하도록 정렬 제어를 발생하여, 상기 테이블(52)과 각 스테이션들을 구동시키는 제어부;로 구성되는 것을 특징으로 하는 나노급 엑스선 단층촬영장치.
- 제 1 항 또는 제 5 항에 있어서, 상기 구동수단(50)은공압을 이용한 에어베어링 방식으로, 접촉식 구동방식에 의해 발생할 수 있는 위치정렬 오차를 최소화하여, 고 정밀한 위치정렬이 가능하도록 하는 것을 특징으로 하는 나노급 엑스선 단층촬영장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 홀더(20)와 구동수단(50) 사이에는 방열수단(70)을 더 구성하여, 상기 홀더(20)의 일측에 마련된 냉각수단(40)에 의해 극저온 상태를 유지시 극저온이 상기 구동수단(50)으로 열 전달이 차단되도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 나노급 엑스선 단층촬영장치.
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