KR100880863B1 - Cassette including cooling system - Google Patents

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KR100880863B1
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문성호
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엘지디스플레이 주식회사
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Abstract

본 발명은, 외면으로 소정 형상의 제 1 홈이 형성된 카세트와; 상기 제 1 홈을 덮도록 일면이 상기 카세트 외면에 밀착되는 커버와; 상기 제 1 홈과 상기 커버 일면 사이로 매설되고, 내부로 냉각용매가 순환되는 냉각수순환관을 포함하는 기판저장용 카세트를 제공한다.
The present invention provides a cassette having a first groove having a predetermined shape on its outer surface; A cover in which one surface is in close contact with the cassette outer surface to cover the first groove; A substrate storage cassette is provided between the first groove and one surface of the cover, and includes a cooling water circulation tube through which a cooling solvent is circulated.

Description

냉각시스템이 구비된 카세트{cassette including cooling system} Cassette with cooling system             

도 1은 일반적인 클러스터툴을 개략적으로 도시한 평면도1 is a plan view schematically showing a general cluster tool

도 2는 일반적인 냉각시스템이 구비된 카세트의 사시도2 is a perspective view of a cassette equipped with a general cooling system

도 3은 도 2에 도시한 카세트의 저면도3 is a bottom view of the cassette shown in FIG.

도 4는 도 3의 IV-IV 선을 따라 절단한 단면도4 is a cross-sectional view taken along the line IV-IV of FIG.

도 5는 본 발명에 따른 냉각시스템이 구비된 카세트의 사시도5 is a perspective view of a cassette provided with a cooling system according to the present invention;

도 6은 도 5에 도시한 카세트의 저면도FIG. 6 is a bottom view of the cassette shown in FIG. 5

도 7a는 도 6의 VII-VII 선을 따라 절단한 단면도FIG. 7A is a cross-sectional view taken along the line VII-VII of FIG. 6

도 7b는 도 6의 VII-VII 선을 따라 절단한 단면의 분해도
7B is an exploded view of the section taken along the line VII-VII of FIG. 6;

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

132 : 저면 160 : 커버132: bottom 160: cover

170 : 나사 150 : 냉각수순환관
170: screw 150: cooling water circulation pipe

본 발명은 액정표시장치(Liquid Crystal Display device : LCD)의 제조장치에 관한 것으로, 좀더 자세하게는 냉각시스템(cooling system)이 구비된 기판 저장용 카세트(cassette)에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for manufacturing a liquid crystal display device (LCD), and more particularly, to a cassette for storing a substrate having a cooling system.

액정표시장치는 화상을 표시하는 액정패널(liquid crystal display panel)을 포함한다.The liquid crystal display device includes a liquid crystal display panel for displaying an image.

액정패널은 간단히 광학적 이방성과 분극성질을 띠는 액정층과, 이를 사이에 두고 마주보는 면으로 각각 전계생성전극이 형성된 제 1 및 제 2 기판을 포함한다. 이에 두 전극간의 전압차를 조절하여 그 사이에 개재된 액정분자들의 배열방향을 제어하고, 이때 변화되는 빛의 투과율을 통해 여러 가지 화상을 표시한다.The liquid crystal panel simply includes a liquid crystal layer having optical anisotropy and polarization properties, and first and second substrates each having a field generation electrode facing each other with a surface facing them. Accordingly, by controlling the voltage difference between the two electrodes to control the arrangement direction of the liquid crystal molecules interposed therebetween, various images are displayed through the change in the transmittance of light.

일반적인 액정패널에는 화상표현의 기본단위로서 다수의 화소(pixel)가 형성되는데, 현재에는 스위칭소자를 사용하여 각 화소를 독립적으로 제어하는 능동행렬(Active-Matrix) 방식이 널리 사용된다. 특히 스위칭 소자로 박막트랜지스터(Thin Film Transistor : TFT)를 사용한 것이 잘 알려진 박막트랜지스터형 액정표시장치(TFT-LCD)이다.In a general liquid crystal panel, a plurality of pixels is formed as a basic unit of image expression. Currently, an active matrix method for controlling each pixel independently using a switching element is widely used. In particular, the use of a thin film transistor (TFT) as a switching element is a thin film transistor type liquid crystal display (TFT-LCD).

액정패널 제조공정은 화소형성을 동반하는 제 1 및 제 2 기판의 제조공정과, 이들 양 기판 사이로 액정을 개재하는 액정 셀(cell) 공정을 포함한다.The liquid crystal panel manufacturing process includes the manufacturing process of the 1st and 2nd board | substrate accompanying pixel formation, and the liquid crystal cell process which interposes liquid crystal between these board | substrates.

이때 기판제조공정은 투명절연기판을 대상으로 절연체, 반도체 또는 전도체 물질을 박막으로 증착하는 박막형성공정과, 이를 패터닝(patterning)하는 식각공정 등 다수의 유사한 공정을 반복하여 포함한다. In this case, the substrate manufacturing process includes a plurality of similar processes including a thin film forming process of depositing an insulator, semiconductor or conductor material as a thin film on a transparent insulating substrate, and an etching process of patterning the same.                         

또 이들 각 공정에서 투명절연기판은 해당공정의 진행을 위한 최적의 환경이 조성된 처리챔버에 수용되는 바, 특히 단시간에 다량의 기판을 처리할 수 있도록 다수의 처리챔버를 포함하는 프로세스모듈(process module)과, 기판을 저장하고 운반하는 트랜스퍼모듈(transfer module)을 일체화한 복합형 장치로서 클러스터툴(cluster tool)이 사용된다.In each of these processes, the transparent insulating substrate is accommodated in a processing chamber in which an optimal environment for the process is progressed, and in particular, a process module including a plurality of processing chambers to process a large amount of substrates in a short time. A cluster tool is used as a hybrid device integrating a module and a transfer module for storing and transporting a substrate.

첨부된 도면을 참조하여 일반적인 클러스터툴에 대해 설명한다.A general cluster tool will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 일반적인 클러스터툴을 개략적으로 도시한 평면도로서, 트랜스퍼모듈과 프로세스모듈을 포함한다.1 is a plan view schematically illustrating a general cluster tool, and includes a transfer module and a process module.

트랜스퍼모듈은 기판을 저장하는 적재부(10)와, 이를 중간 적재하는 적어도 하나 이상의 로드락챔버(20 : load lock chamber)와, 로드락챔버(20)로부터 각 처리챔버(50)로 기판을 운반하는 전달챔버(40)를 포함한다. The transfer module carries the substrate from the load unit 10 for storing the substrate, at least one load lock chamber 20 for intermediate loading thereof, and the load chamber 20 from the load lock chamber 20 to each processing chamber 50. It includes a delivery chamber 40 to.

그리고 프로세스모듈은 전달챔버(40)를 중심으로 포지션 별로 구분 배열되는 다수의 처리챔버(50)를 포함한다.In addition, the process module includes a plurality of processing chambers 50 which are arranged by positions with respect to the transfer chamber 40.

좀 더 자세히, 트랜스퍼모듈의 저장부(10)는 각각 다수의 기판이 적재되는 적어도 하나 이상의 로드포트(12 : load port)와, 기판의 위치를 정렬하는 얼라이너(14 : aligner)와, 각 로드포트(12)로부터 기판을 반출/반입하는 제 1 로봇(16 : robot)을 포함한다.In more detail, the storage unit 10 of the transfer module includes at least one load port 12 on which a plurality of substrates are loaded, an aligner 14 for aligning positions of the substrates, and each load. And a first robot 16 for carrying out / loading the substrate from the port 12.

그리고 적어도 하나 이상의 로드락챔버(20)는 각각 저장부(10)와 전달챔버(40)를 연결하면서, 이들간에 운반되는 기판을 중간 적재하는 부분으로, 내부에는 각각 적어도 하나 이상의 카세트(30)가 실장된다. The at least one load lock chamber 20 connects the storage unit 10 and the transfer chamber 40 to each other, and intermediately loads the substrates transported therebetween. It is mounted.                         

이때 병목(bottle neck)현상을 방지하기 위해 도시한 바와 같이 두 개의 제 1 및 제 2 로드락챔버(20a, 20b)가 구비될 수 있는데, 임의로 제 1 로드락챔버(20a)의 카세트를 제 1 카세트(30a)로, 제 2 로드락챔버(20b)의 카세트를 제 2 카세트(30b)라 한다. 그리고 이들 로드락챔버(20a, 20b) 중 어느 하나, 일례로 제 1 로드락챔버(20a)는 저장부(10)에서 전달챔버(40)를 통해 각 처리챔버(50)로 반입될 기판을 중간 적재하는 로더(loader)로, 다른 하나의 제 2 로드락챔버(20b)는 처리챔버(50)로부터 전달챔버(40)를 거쳐 저장부(10)로 반출되는 기판을 중간 적재하는 언로더(unload) 역할을 할 수 있다. In this case, as shown in the drawing, two first and second load lock chambers 20a and 20b may be provided to prevent bottle necks, and the cassette of the first load lock chamber 20a may be first selected. As the cassette 30a, the cassette of the second load lock chamber 20b is called the second cassette 30b. In addition, any one of these load lock chambers 20a and 20b, for example, the first load lock chamber 20a intermediates a substrate to be carried into each processing chamber 50 through the transfer chamber 40 in the storage unit 10. As the loader for loading, the other second load lock chamber 20b is an unloader for intermediate loading the substrate carried out from the processing chamber 50 to the storage unit 10 via the transfer chamber 40. ) Can play a role.

참고로, 이와 달리 하나의 로드락챔버 내에서 로더와 언로더를 포지션 별로 구분되도록 할 수도 있다.For reference, alternatively, the loader and the unloader may be divided by positions in one load lock chamber.

또 전달챔버(40)는 제 1 및 제 2 로드락챔버(20a, 20b)와 처리챔버 (50)사이에서 기판을 운반하는 부분으로, 이를 위한 제 2 로봇(32)을 포함한다.In addition, the transfer chamber 40 is a portion for transporting the substrate between the first and second load lock chambers 20a and 20b and the processing chamber 50, and includes a second robot 32 therefor.

한편, 저장부(10)는 대기압에 노출되는 것에 반해 전달챔버(40)와 처리챔버(50)는 진공환경을 가지고, 이들 서로 다른 환경을 구분하기 위해서 저장부(10)와 제 1 및 제 2 로드락챔버(20a, 20b) 사이에는 각각 제 1 및 제 2 로드락슬롯밸브(22a, 22b)가, 제 1 및 제 2 로드락챔버(20a, 20b)와 전달챔버(40) 사이에는 각각 제 3 및 제 4 로드락슬롯밸브(24a, 24b)가 설치된다. 그리고 이와 별개로 각 처리챔버(50)와 전달챔버(40) 경계에는 프로세스슬롯밸브(52)가 설치되어, 해당 처리챔버(50)의 반응환경 유지에 신뢰성을 기한다.On the other hand, while the storage unit 10 is exposed to atmospheric pressure, the delivery chamber 40 and the processing chamber 50 have a vacuum environment, and the storage unit 10 and the first and the second and second chambers in order to distinguish between these different environments. First and second load lock slot valves 22a and 22b are disposed between the load lock chambers 20a and 20b, respectively, and between the first and second load lock chambers 20a and 20b and the transfer chamber 40, respectively. Third and fourth load lock slot valves 24a and 24b are provided. In addition, a process slot valve 52 is provided at the boundary of each processing chamber 50 and the delivery chamber 40 to provide reliability in maintaining the reaction environment of the processing chamber 50.

이하, 기판의 이동경로를 중심으로 일반적인 클러스터툴의 동작을 간단히 설 명한다. Hereinafter, the operation of the general cluster tool will be briefly described based on the movement path of the substrate.

먼저 제 1 로봇(16)은 적어도 하나 이상의 로드포트(12)에 적재된 기판을 차례로 운반하여 제 1 로드락챔버(20a)의 제 1 카세트(30a)에 적재한다. 이때 각 기판은 얼라이너(14)를 경유하여 포지션이 정렬된 상태이고, 제 1 로드락챔버(20a)의 제 1 로드락슬롯밸브(22a)는 개방, 제 3 로드락슬롯밸브(24a)는 닫혀 있다.First, the first robot 16 sequentially transfers the substrates loaded in the at least one load port 12 and loads the substrates in the first cassette 30a of the first load lock chamber 20a. At this time, the positions of the substrates are aligned through the aligner 14, and the first load lock slot valve 22a of the first load lock chamber 20a is opened, and the third load lock slot valve 24a is It is closed.

이어 제 1 로드락스롯밸브(22a)가 닫힌 후 제 3 로드락슬롯밸브(24a)가 열리면, 전달챔버(40)의 제 2 로봇(32)은 제 1 카세트(30a) 내의 기판을 차례로 꺼내 각 처리챔버(50)로 운반한다. 이때 해당 처리챔버(50)의 프로세스슬롯밸브(52)는 개방된 상태이고, 상기 프로세스슬롯밸브(52)가 닫히면 기판을 처리한다.Then, when the third load lock slot valve 24a is opened after the first load lock slot valve 22a is closed, the second robot 32 of the delivery chamber 40 sequentially removes the substrate in the first cassette 30a. It is conveyed to the processing chamber 50. At this time, the process slot valve 52 of the processing chamber 50 is in an open state, and when the process slot valve 52 is closed, the substrate is processed.

이후 기판의 처리가 완료되면, 각 처리챔버(50)의 프로세스슬롯밸브(52) 및 제 2 로드락챔버(20b)의 제 4 로드락슬롯밸브(24b)가 개방되고, 제 2 로봇(32)은 각 처리챔버(50)의 기판을 차례로 꺼내 제 2 로드락챔버(20b)의 제 2 카세트(30b)에 적재한다. 그리고 제 4 로드락슬롯밸브(24b)가 닫히면 제 2 로드락슬롯밸브(22b)가 개방되고, 제 1 로봇(16)은 제 2 카세트(30b) 내의 기판을 차례로 꺼내 로드포트(12)로 적재한다.Subsequently, when the substrate is processed, the process slot valve 52 of each processing chamber 50 and the fourth load lock slot valve 24b of the second load lock chamber 20b are opened, and the second robot 32 is opened. Takes out the substrate of each processing chamber 50 in order, and loads the board | substrate in the 2nd cassette 30b of the 2nd load lock chamber 20b. When the fourth load lock slot valve 24b is closed, the second load lock slot valve 22b is opened, and the first robot 16 sequentially takes out the substrate in the second cassette 30b and loads it into the load port 12. do.

이때 각 처리챔버(50) 내부는 고온환경이 조성될 수 있는데, 일례로 플라즈마를 사용하는 박막증착공정은 통상 400°정도의 고온을 유지한다. 따라서 이로부터 반출된 기판 역시 고온으로 가열된 상태이다.At this time, the interior of each processing chamber 50 may be a high temperature environment, for example, a thin film deposition process using plasma maintains a high temperature of about 400 °. Therefore, the substrate carried out therefrom is also heated to a high temperature.

그러나 처리챔버(50)로부터 전달챔버(40) 및 제 2 로드락챔버(20b)까지는 진공상태이므로, 기판은 쉽게 냉각되지 못한 채로 제 2 카세트(30b)로 적재된다. However, since the process chamber 50 and the transfer chamber 40 and the second load lock chamber 20b are in a vacuum state, the substrate is loaded into the second cassette 30b without being easily cooled.                         

이 경우 제 2 로드락슬롯밸브(22b)가 개방되어 제 2 카세트(30b) 내에 저장된 기판이 급격하게 대기압에 노출되면, 심한 온도구배로 인해 균열이 발생하는 등의 파손이 있을 수 있다. 따라서 제 2 로드락챔버(20b), 다시 말해 언로더에 실장된 제 2 카세트(30b)는 냉각시스템을 포함한다.In this case, when the second load lock slot valve 22b is opened and the substrate stored in the second cassette 30b is suddenly exposed to atmospheric pressure, there may be damage such as cracking due to severe temperature gradient. Therefore, the second load lock chamber 20b, that is, the second cassette 30b mounted in the unloader, includes a cooling system.

도 2는 냉각시스템이 구비된 일반적인 카세트의 사시도로서, 이하 설명의 편의를 위해 도 1의 제 2 로드락챔버(20b)에 실장된 제 2 카세트(30b)와 동일한 도면부호를 부여한다. 또한 도 3은 상기 카세트(30b)를 도 2에 표시한 A 방향, 즉 저면에서 바라본 저면도이고, 도 4는 이의 IV-IV 선을 따라 절단한 단면을 도시한 단면도로서, 이들 도면을 참조하여 보다 상세히 설명한다.FIG. 2 is a perspective view of a general cassette provided with a cooling system, and the same reference numerals as those of the second cassette 30b mounted in the second load lock chamber 20b of FIG. FIG. 3 is a bottom view of the cassette 30b viewed from the A direction, ie, the bottom surface of FIG. 2, and FIG. 4 is a cross-sectional view showing a cross section taken along the IV-IV line thereof, with reference to these drawings. It will be described in more detail.

일반적인 카세트(30b)는 내부로 기판을 수용할 수 있는 박스(box)형상을 가진다. 이때 그 내부로는 대향하는 양 내측면으로 다수의 돌출된 걸림단(42)이 대응되도록 설치될 수 있고, 이 중 대응하는 두 걸림단(42)에 기판의 가장자리를 엊어 동시에 다수를 복층으로 적재한다. The general cassette 30b has a box shape that can accommodate a substrate therein. In this case, a plurality of protruding locking ends 42 may be installed to both opposite inner surfaces thereof, and a plurality of stacking layers may be stacked at the same time by cutting the edges of the substrate into two corresponding locking ends 42. do.

한편 상기한 일반적인 카세트(30b)는, 그 내부로 수용된 기판의 냉각을 위한 냉각시스템이 구비될 수 있는데, 일례로 냉각용매를 순환시키는 순환방식일 수 있다.Meanwhile, the general cassette 30b may include a cooling system for cooling the substrate accommodated therein. For example, the cassette 30b may be a circulation method for circulating a cooling solvent.

이를 위해 카세트의 저면(32)에는 소정 형태의 홈(34)이 파여지고, 이를 따라 냉각수순환관(36)이 매설되는데, 이 냉각수순환관(36)으로 냉각용매가 흐르게 된다. To this end, grooves 34 of a predetermined shape are dug into the bottom surface 32 of the cassette, and a cooling water circulation pipe 36 is embedded therein, and a cooling solvent flows through the cooling water circulation pipe 36.

좀 더 자세히, 카세트 저면(32)에는 소정의 형태로, 특히 그 단면이 사각형 상인 홈(34)이 파여져 있고, 이 홈(34)을 따라 그 단면이 원형인 냉각수순환관(36)이 매설된다. 따라서 냉각수순환관(36)의 일부는 외부로 노출된다. More specifically, the cassette bottom face 32 is provided with a groove 34 having a predetermined shape, in particular, a quadrangular cross section, and a cooling water circulation pipe 36 having a circular cross section is embedded along the groove 34. . Therefore, a part of the cooling water circulation pipe 36 is exposed to the outside.

이 냉각수순환관(36)의 재질로는 열전도성이 큰 알루미늄(Al)이 사용되고, 그 두께 k 는 보통 0.7mm 정도이며, 홈(50) 내면과의 접촉부위를 금속모재(38)로 용접함으로서 고정된다.As the material of the cooling water circulation pipe 36, aluminum (Al) having high thermal conductivity is used, and its thickness k is usually about 0.7 mm, and by welding a contact portion with the inner surface of the groove 50 with a metal base material 38 It is fixed.

그러나 전술한 구성의 순환식냉각시스템이 구비된 카세트(30b)는 사용상 몇 가지 문제를 가진다.However, the cassette 30b provided with the circulating cooling system of the above-described configuration has some problems in use.

즉, 다른 부분에 비해 상대적으로 많은 충격이 가해지는 카세트 저면(32)으로 냉각수순환관(36)이 매설되고, 더욱이 외부로 노출됨에 따라 쉽게 파손되어 리크(leak)가 발생할 수 있다. That is, the cooling water circulation pipe 36 is embedded in the cassette bottom 32 which is subjected to more impact than other parts, and moreover, as it is exposed to the outside, it may be easily broken and leaks may occur.

이때 냉각수순환관(36)에 리크가 발생할 경우 이에 대한 대처방안으로 아크 용접이 불가능한데, 이는 그 두께가 매우 얇기 때문이다. 따라서 산소용접 또는 방수기능을 가지는 접착제 등으로 리크부위를 실링하게 되는데, 전자의 경우 실패 가능성이 매우 높고, 후자의 경우 경화시간이 매우 길게 요구된다. 따라서 작업수율을 저하시킨다. In this case, if a leak occurs in the cooling water circulation pipe 36, arc welding is impossible as a countermeasure for this, because the thickness thereof is very thin. Therefore, the leak portion is sealed with an adhesive such as oxygen welding or a waterproof function. In the former case, the possibility of failure is very high, and in the latter case, the curing time is very long. Therefore, the work yield is reduced.

또 냉각수순환관(36)을 흐르는 냉각용매의 압력은 통상 6.2kgf/cm2 에 이르므로, 높은 압력을 견디지 못하고 다시 리크가 발생되는 경우가 빈번하게 관찰된다. 이러한 현상은 부식성을 가진 냉각용매를 사용할 경우 보다 심화된다. 이에 냉각수순환관(36)에 리크가 발생할 경우, 카세트(30b) 전부를 교체하고 있으며, 이로 인 한 수율의 감소 및 비용낭비가 큰 실정이다.Moreover, since the pressure of the cooling solvent which flows through the cooling water circulation pipe 36 normally reaches 6.2 kgf / cm <2> , it is frequently observed that a leak does not occur with a high pressure again. This phenomenon is exacerbated when using a corrosive cooling solvent. Accordingly, when leakage occurs in the cooling water circulation pipe 36, all of the cassettes 30b are replaced, resulting in a large reduction in yield and a high cost.

더욱이 카세트 저면(32)에 형성된 홈(34)의 단면은 사각형인데 반해, 냉각수순환관(36)의 단면은 원형을 이루므로 이들간의 접촉면적이 매우 협소하다. 이에 열손실이 커 원하는 정도의 냉각이 어려움은 물론, 냉각수순환관(36)이 홈(34)으로부터 쉽게 탈착될 수 있다.
Further, the cross section of the groove 34 formed in the cassette bottom 32 is rectangular, whereas the cross section of the cooling water circulation pipe 36 is circular, so that the contact area between them is very narrow. As a result, the heat loss is large, so that cooling of the desired degree is difficult, as well as the cooling water circulation pipe 36 may be easily detached from the groove 34.

본 발명은 상기와 같은 문제를 해결하기 위해 안출한 것으로, 충격에 강하고 열효율이 크며, 특히 파손 시 수리 및 교체가 용이한 냉각시스템이 구비된 카세트를 제공하는 것을 목적으로 한다.
The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a cassette equipped with a cooling system that is strong in impact and large in thermal efficiency, and particularly easy to repair and replace in case of breakage.

본 발명은 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 외면으로 소정 형상의 제 1 홈이 형성된 카세트와; 상기 제 1 홈을 덮도록 일면이 상기 카세트 외면에 밀착되는 커버와; 상기 제 1 홈과 상기 커버 일면 사이로 매설되고, 내부로 냉각용매가 순환되는 냉각수순환관을 포함하는 기판저장용 카세트를 제공한다. 이때 상기 냉각수순환관의 외면은, 상기 제 1 홈 내면과 상기 커버 일면에 밀착되는 것을 특징으로 한다. 또한 상기 냉각수순환관의 단면은 원형이고, 상기 제 1 홈의 단면은 상기 냉각수순환관의 외면을 따라 밀착되는 반원형상을 가지며, 상기 커버 일면에는 상기 냉각수순환관의 노출된 외면에 밀착되도록 그 단면의 형상이 반원인 제 2 홈을 더욱 포함하는 것을 특징으로 한다. 또한 상기 커버는, 자신을 관통하여 상기 카세트 외면으로 삽입되는 다수의 나사로 결합되는 것을 특징으로 한다. 또한 상기 냉각수순환관의 재질은 알루미늄(Al) 인 것을 특징으로 한다. 또한 상기 제 1 홈은 상기 카세트의 저면에 형성되는 것을 특징으로 한다.The present invention provides a cassette having a first groove having a predetermined shape on its outer surface in order to achieve the above object; A cover in which one surface is in close contact with the cassette outer surface to cover the first groove; A substrate storage cassette is provided between the first groove and one surface of the cover, and includes a cooling water circulation tube through which a cooling solvent is circulated. At this time, the outer surface of the cooling water circulation pipe, characterized in that in close contact with the inner surface of the first groove and the cover. In addition, the cross section of the cooling water circulation pipe is circular, the cross section of the first groove has a semi-circular shape in close contact with the outer surface of the cooling water circulation pipe, one end of the cover to be in close contact with the exposed outer surface of the cooling water circulation pipe It characterized in that it further comprises a second groove of which the shape of the semicircle. In addition, the cover is characterized in that it is coupled with a plurality of screws inserted through the cassette to the outer surface of the cassette. In addition, the material of the cooling water circulation tube is characterized in that the aluminum (Al). In addition, the first groove is characterized in that formed on the bottom of the cassette.

또한 본 발명은 외면에 소정의 형상으로 냉각수순환관이 배열되는 카세트와; 상기 냉각수순환관을 가리도록 상기 카세트의 외면에 결합되는 커버를 포함하는 기판저장용 카세트를 제공하는 것을 특징으로 하는 바, 이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 올바른 실시예를 설명한다.In addition, the present invention and the cassette is arranged on the outer surface of the cooling water circulation tube in a predetermined shape; It provides a substrate storage cassette comprising a cover coupled to the outer surface of the cassette so as to cover the cooling water circulation tube, a preferred embodiment of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.

본 발명은 간단히, 외면에 결합되어 냉각수순환관을 덮는 커버를 포함하는 카세트를 제공한다. 도 5는 본 발명에 따른 냉각시스템이 구비된 카세트(130)를 도시한 사시도로서, 그 내부에 다수의 기판을 수용하는 박스형상을 가진다. The present invention simply provides a cassette comprising a cover coupled to an outer surface to cover a cooling water circulation tube. 5 is a perspective view showing a cassette 130 having a cooling system according to the present invention, and has a box shape for accommodating a plurality of substrates therein.

이때 카세트(130) 내부로는 대향하는 양 측면에 서로 마주보는 방향으로 돌출된 다수의 걸림단(142)을 설치할 수 있고, 이중 대응되는 두 걸림단(142)을 선택하여 기판 양 측면 가장자리를 지지하는 방법이 사용될 수 있다. At this time, the inside of the cassette 130 may be provided with a plurality of engaging ends 142 protruding in opposite directions on both sides opposite to each other, and select two corresponding locking ends 142 to support both side edges of the substrate. Can be used.

이러한 본 발명에 따른 카세트는 클러스터툴의 언로더에 실장됨에 따라 고온으로 가열된 기판을 수용할 수 있으므로, 기판을 냉각하는 냉각시스템이 구비되는 것이 바람직하다. Since the cassette according to the present invention can accommodate the substrate heated to a high temperature as it is mounted in the unloader of the cluster tool, it is preferable that a cooling system for cooling the substrate is provided.

이에 본 발명에 따른 카세트는 순환식 냉각시스템을 포함하는 것을 특징으로 한다.The cassette according to the invention is characterized in that it comprises a circulation cooling system.

첨부된 도 6은 도 5에 도시한 본 발명에 따른 카세트를 B 방향, 즉 저면에서 바라본 저면도이고, 도 7a 는 도 6의 VII-VII 선을 따라 절단한 단면을 도시한 단면도, 그리고 도 7b는 도 6의 VII-VII 선을 따라 절단한 단면을 분해하여 도시한 도면이다. 이들 도면을 함께 참조하여 설명한다.FIG. 6 is a bottom view of the cassette according to the present invention shown in FIG. 5 in the B direction, that is, the bottom view, and FIG. 7A is a cross-sectional view showing a cross section taken along the line VII-VII of FIG. 6, and FIG. 7B. 6 is an exploded view illustrating a cross section taken along the line VII-VII of FIG. 6. It demonstrates with reference to these drawings together.

본 발명에 따른 카세트 외면에는 소정 형상의 제 1 홈(134)이 형성된다.The first groove 134 of a predetermined shape is formed on the outer surface of the cassette according to the present invention.

이때 제 1 홈(134)은 도시한 바와 같이 카세트 저면(132)에만 형성될 수 있고, 그 단면은 반원형상인 것이 바람직하다.At this time, the first groove 134 may be formed only in the cassette bottom surface 132 as shown, the cross section is preferably semi-circular.

그리고 이 제 1 홈(134)을 덮도록 카세트에 결합되는 커버(160)를 포함하는데, 이는 카세트를 향하는 일면으로 상기 제 1 홈(134)과 대응하는 제 2 홈(162)이 형성되어 있다. 이때 이 제 2 홈(162)의 단면 역시 바람직하게는, 상기 제 1 홈(134)과 동일한 크기의 반원형상일 수 있다.And a cover 160 coupled to the cassette so as to cover the first groove 134, which has a second groove 162 corresponding to the first groove 134 on one surface facing the cassette. In this case, the cross section of the second groove 162 may also be semi-circular in the same size as the first groove 134.

따라서 제 1 홈(134)과 제 2 홈(162)이 대응되도록 커버(160)를 카세트에 밀착시킬 경우, 상기 제 1 홈(134)과 제 2 홈(162) 사이로 원형의 공간이 생기게 되고, 이 공간을 따라 냉각수순환관(150)이 매설된다.Therefore, when the cover 160 is in close contact with the cassette such that the first groove 134 and the second groove 162 correspond to each other, a circular space is formed between the first groove 134 and the second groove 162. A cooling water circulation pipe 150 is embedded along this space.

이때 바람직하게는 상기 냉각수순환관(150)의 외면은 각각 제 1 홈(134)과 제 2 홈(162) 내면에 밀착될 정도의 직경을 가지고, 그 단면은 원형인 것이 바람직하다. 그리고 이 냉각수순환관(150)은 열 전도율이 큰 알루미늄(Al)이 사용될 수 있다.At this time, preferably the outer surface of the cooling water circulation pipe 150 has a diameter enough to be in close contact with the inner surface of the first groove 134 and the second groove 162, respectively, the cross section is preferably circular. The coolant circulation pipe 150 may be made of aluminum (Al) having a high thermal conductivity.

다시 말해 본 발명에 따른 카세트(130)는, 저면(132)으로 소정 형상의 제 1 홈(134)이 형성되고, 이를 덮도록 일면이 제 1 홈(134)을 따라 카세트 저면(132)에 밀착되는 커버(160) 및 제 1 홈(134)과 커버(160) 일면 사이로 매설되는 냉각수순 환관(150)을 포함한다.In other words, in the cassette 130 according to the present invention, a first groove 134 having a predetermined shape is formed on the bottom surface 132, and one surface of the cassette 130 closely adheres to the cassette bottom surface 132 along the first groove 134. And a cooling water circulation tube 150 embedded between the cover 160 and the first groove 134 and one surface of the cover 160.

또 냉각수순환관(150) 외면은 제 1 홈(134) 외면과 커버(160) 일면에 완전히 밀착되는 것이 유리한 바, 이를 위해 냉각수순환관(150) 단면은 원형일 수 있고, 제 1 홈(134)의 단면은 냉각수순환관(150) 외면에 밀착되는 반원형상을 가지며, 커버(160) 일면에는 냉각수순환관(150)의 노출된 외면에 밀착되도록 그 단면의 형상이 반원인 제 2 홈(162)이 형성될 수 있다.In addition, the outer surface of the cooling water circulation pipe 150 is advantageous to be completely in close contact with the outer surface of the first groove 134 and the cover 160, for this purpose, the cross section of the cooling water circulation pipe 150 may be circular, the first groove 134 ) Has a semicircular shape that is in close contact with the outer surface of the cooling water circulation pipe 150, and a second groove 162 having a semicircular shape of the cross section so that one surface of the cover 160 is in close contact with the exposed outer surface of the cooling water circulation pipe 150. ) May be formed.

이때 커버(160)는 카세트 저면(132)에 고정부재를 통해 결합될 수 있다. In this case, the cover 160 may be coupled to the cassette bottom 132 through a fixing member.

이를 위해 커버(160)에는 다수의 관통된 나사공(172)이 형성되고, 이에 대응되는 카세트 저면(132)으로 나사홀(174)이 형성된다. 따라서 커버(160)는 자신의 나사공(172)을 관통하여 카세트 저면(132)의 나사홀(174)로 삽입되는 다수의 나사(170)로 긴밀하게 고정될 수 있을 것이다.To this end, a plurality of through-holes 172 are formed in the cover 160, and a screw hole 174 is formed with a cassette bottom surface 132 corresponding thereto. Accordingly, the cover 160 may be tightly fixed by a plurality of screws 170 inserted through the screw holes 172 and inserted into the screw holes 174 of the cassette bottom 132.

이 경우 카세트 저면(132)에 형성된 제 1 홈(134) 및 커버(160) 일면의 제 2 홈(162) 사이를 따라 매설되는 냉각수순환관(150) 역시 긴밀하게 고정되는 바, 일반적인 경우와 달리 용접 또는 접착재 등의 추가적인 고정수단이 불필요하다. 이 냉각수순환관(150)의 두께 k'은 일반적인 경우와 유사한 정도의 0.7mm 정도가 될 수 있다.In this case, the cooling water circulation pipe 150 embedded between the first groove 134 and the second groove 162 on one surface of the cover 160 formed on the cassette bottom surface 132 is also tightly fixed, unlike the general case. No additional fastening means such as welding or adhesive material is necessary. The thickness k 'of the cooling water circulation pipe 150 may be about 0.7 mm, which is similar to that of the general case.

그리고 냉각수순환관(150)을 통해서는 냉각용매가 순환되어 기판을 냉각하게 된다.The cooling solvent is circulated through the cooling water circulation pipe 150 to cool the substrate.

한편, 장시간 사용함에 따라 냉각수순환관(150)이 파손되는 경우가 있을 수 있다. 이 경우 각 나사(170)를 풀어 커버(160)를 카세트 저면(132)으로부터 분리하 고, 냉각수순환관(150)을 새것으로 교체한다. 그리고 커버(160)의 제 2 홈(162)을 냉각수순환관(150)의 외면에 일치시킨 상태로, 다수의 나사(170)를 재결합함으로서 간단히 대처할 수 있을 것이다.On the other hand, the cooling water circulation pipe 150 may be damaged as it is used for a long time. In this case, loosen each screw 170 to separate the cover 160 from the cassette bottom surface 132, and replace the cooling water circulation pipe 150 with a new one. In addition, the second groove 162 of the cover 160 may be coped with by simply rejoining the plurality of screws 170 in a state in which the second groove 162 is aligned with the outer surface of the cooling water circulation pipe 150.

이상의 설명은 본 발명의 일례에 지나지 않는 것으로, 그 구성에 있어 다소의 변형이 가능하지만 이들은 모두 본 발명의 권리범위에 속한다 해야 할 것이다. 즉, 본 발명의 가장 큰 특징은 카세트 외면을 따라 결합되어 냉각수순환관을 가리는 커버를 제공하여 보다 개선된 효과를 꾀하는 것으로, 이러한 특징을 유지하는 한 그 구성은 얼마든지 변형 가능함은 당업자에게 자명한 사실일 것이다.
The above description is only an example of the present invention, and some modifications may be made in the configuration thereof, but all of them should be included in the scope of the present invention. That is, the greatest feature of the present invention is to provide a cover that is coupled along the outer surface of the cassette to cover the cooling water circulation tube to achieve a further improved effect, as long as such features are maintained, the configuration can be modified as many as those skilled in the art It will be true.

이상의 설명에 따른 본 발명에 따른 카세트는 비교적 단순한 구성을 갖지만 그 효과는 매우 크다 할 수 있는데, 이는 냉각수순환관을 가리는 커버를 제공하는 바, 이를 통해 냉각수순환관이 외부에 노출되지 않도록 함은 물론, 외부에서 가해지는 충격이 일차적으로 커버로 흡수되도록 한다. 따라서 냉각수순환관의 리크 발생 가능성을 크게 감소시키는 잇점이 있다.Cassette according to the present invention according to the above description has a relatively simple configuration but the effect can be very large, which provides a cover to cover the cooling water circulation pipe, through which the cooling water circulation pipe is not exposed to the outside The external shocks are primarily absorbed into the cover. Therefore, there is an advantage in greatly reducing the possibility of leakage of the cooling water circulation pipe.

또한 커버를 카세트 일면에 고정함에 따라, 일반적인 경우와 달리 냉각수순환관의 고정을 위한 별도의 용접 내지는 접착재를 사용하는 접착공정이 불필요한 장점을 가진다.In addition, as the cover is fixed to one side of the cassette, unlike the usual case, the bonding process using a separate welding or adhesive material for fixing the cooling water circulation tube has an advantage that it is unnecessary.

이에 냉각수순환관의 교체 및 수리가 용이하다.The cooling water circulation tube is easy to replace and repair.

또한 카세트 외면에 그 단면의 형상이 반원인 제 1 홈을 형성하고, 이와 대 응되는 커버의 일면에 동일한 반원형상의 단면을 갖는 제 2 홈을 형성함에 따라, 단면의 형상이 원인 냉각수순환관 외면은 제 1 홈 및 제 2 홈내면에 긴밀하게 밀착된다. 따라서 열손실을 줄이고 보다 개선된 냉각을 가능하게 한다.In addition, as the first groove having a semicircular cross section is formed on the outer surface of the cassette, and the second groove having the same semicircular cross section is formed on one surface of the corresponding cover, the outer surface of the cooling water circulation pipe is caused by the cross section. It is in close contact with the inner surface of the first groove and the second groove. This reduces heat loss and allows for improved cooling.

Claims (7)

외면으로 소정 형상의 제 1 홈이 형성된 카세트와;A cassette having a first groove having a predetermined shape on an outer surface thereof; 상기 제 1 홈을 덮도록 일면이 상기 카세트 외면에 밀착되는 커버와;A cover in which one surface is in close contact with the cassette outer surface to cover the first groove; 상기 제 1 홈과 상기 커버 일면 사이로 매설되고, 내부로 냉각용매가 순환되는 냉각수순환관A cooling water circulation pipe buried between the first groove and one surface of the cover and having a cooling solvent circulated therein. 을 포함하는 기판저장용 카세트Substrate storage cassette comprising a 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 냉각수순환관의 외면은,The outer surface of the cooling water circulation pipe, 상기 제 1 홈 내면과 상기 커버 일면에 밀착되는 기판저장용 카세트A substrate storage cassette in close contact with the inner surface of the first groove and the cover surface. 청구항 2에 있어서,The method according to claim 2, 상기 냉각수순환관의 단면은 원형이고, 상기 제 1 홈의 단면은 상기 냉각수순환관의 외면을 따라 밀착되는 반원형상을 가지며,The cross section of the cooling water circulation pipe has a circular shape, and the cross section of the first groove has a semicircular shape that is in close contact with the outer surface of the cooling water circulation pipe. 상기 커버 일면에는 상기 냉각수순환관의 노출된 외면에 밀착되도록 그 단면의 형상이 반원인 제 2 홈A second groove having a semicircular cross section on one surface of the cover to be in close contact with an exposed outer surface of the cooling water circulation pipe; 을 더욱 포함하는 기판저장용 카세트Substrate storage cassette further comprising 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 커버는, The cover, 자신을 관통하여 상기 카세트 외면으로 삽입되는 다수의 나사로 결합되는 기판저장용 카세트Substrate storage cassette coupled with a plurality of screws penetrating through the cassette inserted into the outer surface of the cassette 청구항 1 에 있어서,The method according to claim 1, 상기 냉각수순환관의 재질은 알루미늄(Al) 인 기판저장용 카세트The material for the cooling water circulation tube is aluminum (Al) substrate storage cassette 청구항 1 에 있어서,The method according to claim 1, 상기 제 1 홈은 상기 카세트의 저면에 형성된 기판저장용 카세트The first groove is a cassette for storing the substrate formed on the bottom surface of the cassette 외면에 소정의 형상으로 냉각수순환관이 배열되는 카세트와;A cassette in which a cooling water circulation tube is arranged in a predetermined shape on an outer surface thereof; 상기 냉각수순환관을 가리도록 상기 카세트의 외면에 결합되는 커버A cover coupled to the outer surface of the cassette to cover the cooling water circulation tube 를 포함하는 기판저장용 카세트Substrate storage cassette comprising a
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