KR100873032B1 - 저온 폴리 실리콘 결정화용 촉매 금속 도핑 장치 - Google Patents
저온 폴리 실리콘 결정화용 촉매 금속 도핑 장치 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (9)
- 챔버;상기 챔버의 내부에 구비되며 기판이 안착되는 대향 전극판;상기 대향 전극판에 대응되도록 배치되며 상기 기판 위를 이송하면서 금속촉매 물질의 도핑을 수행하는 넌 마그네트론 형태의 스퍼터 건;상기 대향 전극판의 양측에 배치되어 상기 스퍼터 건을 선형이동 시키기 위한 선형 구동부; 그리고상기 스퍼터 건의 일측에 형성되어 국부적으로 밀도가 높은 전기장의 형성을 유도하는 수단을 포함하며,상기 스퍼터 건은 상기 선형 구동부에 결합되는 한 쌍의 지지대, 상기 한 쌍의 지지대의 사이에 구비되는 전극, 상기 전극에 결합되며 상기 대향 전극판과 마주하는 방향으로 배치되는 전극 플레이트를 포함하는 저온 폴리 실리콘 결정화용 촉매 금속 도핑장치.
- 제1 항에 있어서, 상기 선형 구동부는 모터와, 상기 모터에 의하여 회전하는 구동축과, 상기 구동축에 의하여 회전하는 한 쌍의 구동풀리와, 상기 구동풀리와 대응되는 위치에 배치되는 한 쌍의 종동풀리와, 그리고 상기 구동풀리와 상기 종동풀리들 사이에 배치되어 상기 스퍼터 건을 이동시키는 벨트를 포함하는 것을 특징으로 하는 저온 폴리 실리콘 결정화용 촉매 금속 도핑장치.
- 삭제
- 제1 항에 있어서, 상기 수단은 상기 전극 플레이트에 형성되는 돌출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 저온 폴리 실리콘 결정화용 촉매 금속 도핑장치.
- 제4 항에 있어서, 상기 돌출부는 원뿔형상이거나, 단면이 원형 또는 다각형상인 것을 특징으로 하는 저온 폴리 실리콘 결정화용 촉매 금속 도핑장치.
- 제1 항에 있어서, 상기 수단은 상기 전극 플레이트에 형성되는 적어도 하나 이상의 관통홀을 포함하는 것을 특징으로 하는 저온 폴리 실리콘 결정화용 촉매 금속 도핑장치.
- 제4 항에 있어서, 상기 돌출부는 돌출부의 폭이 돌출부의 간격보다 작게 형성되는 것을 특징으로 하는 저온 폴리 실리콘 결정화용 촉매 금속 도핑장치.
- 제1 항에 있어서, 상기 스퍼터 건은 상기 전극 플레이트를 차폐하는 접지쉴드를 포함하며, 상기 접지쉴드에는 적어도 하나 이상의 개방홀을 형성함으로써 상기 돌출부가 개방홀을 통하여 노출되는 것을 특징으로 하는 저온 폴리 실리콘 결정화용 촉매 금속 도핑장치.
- 제8 항에 있어서, 상기 접지쉴드는 양극으로 대전되는 것을 특징으로 하는 저온 폴리 실리콘 결정화용 촉매 금속 도핑장치.
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