KR100870610B1 - Article storage facility - Google Patents
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Abstract
수납부에 수납되어 있는 물품의 청정도를 높게 유지하는 물품 수납설비를 제공한다.An article storage facility for maintaining a high degree of cleanliness of an article stored in a housing is provided.
수납부(2)를 종횡으로 나란하게 복수로 구비한 물품 수납선반(3)과, 물품 수납선반(3)의 전방의 이동공간(4)을 이동하여 수납부(2)에 대한 물품의 출입을 실시하는 물품 반송장치(5)와, 정화공기를 물품 수납선반(3)의 뒷부분측으로부터 수납부(2)를 통과시키고 이동공간(4)의 위쪽으로부터 아래쪽으로 유동시키는 다운플로우식의 정화공기 통풍수단(6)과, 물품 반송장치(5)의 작동을 제어하는 제어수단이 설치되어 있는 물품 수납설비에 있어서, 수납부(2)가, 물품으로서 물품(12)을 유지하고 있는 유지상태의 물품유지체(13A), 및, 물품(12)을 유지하고 있지 않는 비유지상태의 물품유지체(13B)를 수납 자유롭게 구성되고, 제어수단이, 유지상태의 물품유지체(13A)를 비유지상태의 물품유지체(13B)보다 위쪽에 수납시키는 형태로 물품유지체(13)를 수납부에 수납할 수 있도록, 물품 반송장치의 작동을 제어하도록 구성되어 있다.An article storage shelf 3 having a plurality of storage portions 2 arranged side by side and a moving space 4 in front of the article storage shelf 3 are moved to allow entry and exit of the article to the storage portion 2. Downflow type purge air ventilation for passing the article conveying apparatus 5 and the purge air to the storage part 2 from the rear part side of the article storage shelf 3, and to flow it from the upper side to the lower side of the moving space 4. In the article storage facility provided with the means 6 and the control means which controls the operation | movement of the article conveying apparatus 5, the article | item of the holding state in which the accommodating part 2 hold | maintains the article 12 as an article | item. The holding body 13A and the article holding body 13B in a non-holding state not holding the article 12 are configured to be freely accommodated, and the control means holds the article holding body 13A in the holding state in a non-holding state. The article retainer 13 can be stored in the storage unit in a manner that the article retainer 13B is placed above the article retainer 13B. And to control the operation of the article carrying apparatus.
수납부, 물품 이재수단, 물품 수납선반, 정화공기, 다운플로우, 제어수단 Storage part, goods transfer means, goods storage shelf, purifying air, downflow, control means
Description
도 1은 물품 수납설비의 단면도,1 is a cross-sectional view of the article storage facility,
도 2는 물품 수납설비의 평면도, 2 is a plan view of the article storage facility,
도 3은 도 2의 A-A단면도,3 is a cross-sectional view taken along line A-A of FIG.
도 4는 물품 수납설비의 측면도,4 is a side view of the article storage facility,
도 5는 물품유지체의 사시도,5 is a perspective view of the article retainer,
도 6은 후퇴상태에 있어서의 물품 반송장치의 평면도,6 is a plan view of the article carrying apparatus in the retracted state;
도 7은 돌출상태에 있어서의 물품 반송장치의 평면도, 7 is a plan view of the article carrying apparatus in the protruding state;
도 8은 제어수단의 동작을 나타내는 플로우차트이다.8 is a flowchart showing the operation of the control means.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>
2 : 수납부 2a : 유지상태용의 수납부2: accommodating
2b : 비유지상태용의 수납부 3 : 물품 수납선반 2b: storage part for non-holding state 3: article storage shelf
4 : 이동공간 5 : 물품 반송장치 4: moving space 5: goods conveying device
6 : 정화공기 통풍수단 12 : 판형상의 물품6: purifying air ventilation means 12: plate-shaped article
13 : 물품유지체 13A : 유지상태의 물품유지체13:
13B : 비유지상태의 물품유지체 15 : 수납부 통풍수단 13B: Non-maintenance product retainer 15: Ventilation means of the storage unit
40 : 물품 이재(移載)수단 46 : 제어수단40: goods transfer means 46: control means
본 발명은, 수납부를 종횡으로 나란하게 복수(複數)로 구비한 물품 수납선반과, 상기 수납부와의 사이에 물품을 자유롭게 옮겨싣는 물품 이재(移載)수단을 구비하고, 상기 물품 수납선반의 전방의 이동공간을 이동하여 상기 수납부에 대한 물품의 출입을 실시하는 물품 반송장치와, 정화공기를 상기 물품 수납선반의 뒷부분측으로부터 상기 수납부를 통과시키고 상기 이동공간의 위쪽으로부터 아래쪽으로 유동시키는 다운플로우식의 정화공기 통풍수단과, 상기 물품 반송장치의 작동을 제어하는 제어수단이 설치되어 있는 물품 수납설비에 관한 것이다.The present invention includes an article storage shelf including a plurality of storage sections in parallel with each other in length and width, and an article transferring means for freely transporting the article between the storage portions. An article conveying apparatus which moves the front moving space to move in and out of the article and the purge air passes down from the rear side of the article storing shelf and flows downward from the upper side of the moving space; An article storage facility provided with a flow-type purified air ventilation means and a control means for controlling the operation of the article conveying apparatus.
상기와 같은 물품 수납설비는, 예를 들면, 클린룸내에 설치되고, 플라스마 디스플레이용의 유리기판 등의 판형상의 물품을 진애가 적은 청정한 환경에서 보관하기 위해서 이용되고 있다. 그리고, 물품 반송장치가, 이동공간을 이동하는 것에 의해서, 물품 수납선반의 수납부에 물품을 수납하거나 수납부에 수납된 물품을 반출하여 그 물품에 처리를 가하는 물품처리부에 반송하도록 하고 있다.Such an article storage facility is installed in a clean room, for example, and is used for storing a plate-like article such as a glass substrate for plasma display in a clean environment with little dust. By moving the moving space, the article carrying apparatus accommodates the article in the storage section of the article storage shelf or takes out the article stored in the storage section and conveys it to the article processing section for processing the article.
이러한 물품 수납설비로서 종래, 한 쌍의 물품 수납선반이, 그 사이에 이동공간을 형성하는 상태로 통기구멍이 다수 형성된 메쉬형상의 그레이팅 마루위에 설치되고, 정화공기 통풍수단이, 그레이팅 마루를 통과한 공기를 필터에 의해 청정화하여 정화공기로서 천정측으로부터 아래쪽을 향하여 통풍시키는 클린룸용의 통풍수단과, 각 수납부에 장비되어 정화공기를 수납부의 뒷부분측으로부터 앞부분측을 향 하여 통풍시키는 수납부용의 통풍수단으로 구성되어 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조.).As such an article storage facility, a pair of article storage shelves are conventionally installed on a mesh-shaped grating floor in which a plurality of ventilation holes are formed in a state where a moving space is formed therebetween, and the purge air ventilation means has passed through the grating floor. Ventilation means for clean room for purifying air by filter to ventilate downward from the ceiling side as purifying air, and for accommodating part for equipping each accommodating part to ventilate purifying air from the rear side to the front part side of the accommodating part. It consists of ventilation means (for example, refer patent document 1).
[특허문헌 1] 일본 특허공개공보 2003-81406호[Patent Document 1] Japanese Patent Laid-Open No. 2003-81406
상기 종래의 물품 수납설비에서는, 정화공기 통풍수단이 정화공기를 물품 수납선반의 뒷부분측으로부터 수납부를 통과시켜 이동공간의 위쪽으로부터 아래쪽으로 유동시키고 있으므로, 진애는 정화공기로 마루면에 안내되어 마루면에 저류(貯留)하게 된다. 그러나, 물품 반송장치가 이동공간을 이동할 때에는, 그 이동에 의해서 정화공기 통풍수단에 의한 정화공기의 흐름이 교란되어 마루면에 저류되고 있는 진애를 말아 올려 버리는 경우가 있다. 따라서, 말아 올려진 진애가 수납부까지 이동해 버려, 수납부에 수납되어 있는 물품의 청정도를 높게 유지할 수 없는 우려가 있다.In the above conventional article storage facility, the purge air venting means flows the purified air from the rear side of the article storage shelf to the storage section and flows from the upper side to the lower side of the moving space. It will be stored in. However, when the article conveying apparatus moves the moving space, the flow of the purifying air by the purifying air ventilation means may be disturbed and the dust stored in the floor may be rolled up by the movement. Therefore, the rolled-up dust moves to a storage part, and there exists a possibility that the cleanness of the article accommodated in a storage part cannot be maintained high.
본 발명은, 이러한 점에 주목해서 이루어진 것으로, 그 목적은, 수납부에 수납되어 있는 물품의 청정도를 높게 유지할 수 있는 물품 수납설비를 제공하는 점에 있다.The present invention has been made in view of such a point, and an object thereof is to provide an article storage facility capable of maintaining a high degree of cleanliness of an article stored in a storage unit.
이 목적을 달성하기 위해서, 본 발명에 관한 물품 수납설비의 제 1 특징구성은, 수납부를 종횡으로 나란하게 복수로 구비한 물품 수납선반과, 상기 수납부와의 사이에서 물품을 자유롭게 옮겨싣는 물품 이재수단을 구비하고, 상기 물품 수납선반의 전방의 이동공간을 이동하여 상기 수납부에 대한 물품의 출입을 실시하는 물 품 반송장치와, 정화공기를 상기 물품 수납선반의 뒷부분측으로부터 상기 수납부를 통과시키고 상기 이동공간의 위쪽으로부터 아래쪽으로 유동시키는 다운플로우식의 정화공기 통풍수단과, 상기 물품 반송장치의 작동을 제어하는 제어수단이 설치되어 있는 물품 수납설비에 있어서,In order to achieve this object, a first feature of the article storage facility according to the present invention is an article carrying material which freely transports an article between an article storage shelf and a plurality of article storage shelves arranged side by side in the longitudinal and horizontal direction. An article conveying device having a means, moving a moving space in front of the article storing shelf to move the article in and out of the article receiving section, and purifying air passing through the housing section from the rear side of the article storing shelf; In the article storage facility provided with downflow-type purge air ventilation means for flowing from the upper side to the lower side of the moving space, and a control means for controlling the operation of the article conveying apparatus,
상기 수납부가, 물품으로서 물품을 유지하고 있는 유지상태의 물품유지체, 및, 물품을 유지하고 있지 않은 비유지상태의 물품유지체를 수납 자유롭게 구성되고, 상기 제어수단이, 상기 유지상태의 물품유지체를 상기 비유지상태의 물품유지체보다 위쪽에 수납시키는 형태로 상기 물품유지체를 상기 수납부에 수납할 수 있도록, 상기 물품 반송장치의 작동을 제어하도록 구성되어 있는 점에 있다.The storage section is configured to freely accommodate an article holding body in a holding state that holds an article as an article, and an article holding body in a non-holding state that does not hold an article, wherein the control means holds the article in the holding state. The article holding device is configured to control the operation of the article carrying apparatus so that the article holding body can be stored in the housing section in a form in which a sieve is placed above the non-holding article holding body.
상기 제어수단은, 유지상태의 물품유지체를 비유지상태의 물품유지체보다 위측에 수납시키는 형태로 물품유지체를 수납부에 수납할 수 있도록, 물품 반송장치의 작동을 제어하므로, 유지상태의 물품유지체는, 비유지상태의 물품유지체보다 위쪽의 수납부에 수납된다.The control means controls the operation of the article carrying apparatus so that the article holding body can be stored in the housing in a form in which the article holding body in the holding state is placed above the non-holding article holding body, thereby controlling the operation of the article carrying apparatus. The article holding body is housed in a storage portion above the article holding body in a non-holding state.
상기 정화공기 통풍수단이 이동공간에 있어서 정화공기를 위쪽으로부터 아래쪽으로 유동시키고 있으므로, 물품 반송장치가 이동공간을 이동할 때에 말아 올려지는 진애가 이동할 가능성이 있는 것은, 복수의 수납부중, 낮은 위치의 수납부가 된다.Since the purge air ventilation means flows the purge air from the upper side to the lower side in the moving space, the dust that is rolled up when the article carrying apparatus moves the moving space may move. It becomes a storage part.
따라서, 물품을 유지하고 있는 유지상태의 물품유지체를, 비유지상태의 물품유지체보다 위쪽의 수납부에 수납시키는 것에 의해, 물품이 수납된 수납부에 대해서 진애가 이동하는 것을 방지할 수 있다. 그리고, 비유지상태의 물품유지체는 물 품을 유지하고 있지 않기 때문에, 비유지상태의 물품유지체에 대해서 진애가 이동해도, 물품의 청정도를 저하시킬 우려는 없다.Therefore, by storing the article holder in the holding state holding the article, in the housing above the non-holding article holder, dust can be prevented from moving with respect to the housing in which the article is stored. . Since the non-holding article holder does not hold the article, there is no fear that the cleanliness of the article will be reduced even if the dust moves with respect to the non-holding article holder.
이와 같이 하여, 수납부에 수납되어 있는 물품의 청정도를 높게 유지할 수 있는 물품 수납설비를 제공할 수 있기에 이르렀다.Thus, the article storage facility which can maintain the cleanliness of the article accommodated in the accommodating part can be provided.
본 발명에 관한 물품 수납설비의 제 2 특징구성은, 상기 복수의 수납부중, 최하단으로부터 설정단(設定段)까지의 수납부를 상기 비유지상태의 물품유지체를 수납하는 비유지상태용의 수납부로 설정하고, 또한, 설정단보다 위쪽의 수납부를 상기 유지상태의 물품유지체를 수납하는 유지상태용의 수납부로 설정하고, 상기 제어수단이, 상기 유지상태의 물품유지체를 상기 유지상태용의 수납부에 수납하고 또한 상기 비유지상태의 물품유지체를 상기 비유지상태용의 수납부에 수납시키는 형태로, 상기 물품유지체를 상기 수납부에 수납할 수 있도록, 상기 물품 반송장치의 작동을 제어하도록 구성되어 있는 점에 있다.According to a second aspect of the article storage facility according to the present invention, an accommodating portion for a non-holding state for accommodating an article holding body in the non-holding state from the lowermost end to a set end of the plurality of accommodating parts. And an accommodating portion above the setting end as an accommodating portion for the accommodating state for accommodating the article retaining state in the holding state, and wherein the control means sets the article retaining state for the holding state for the holding state. Operation of the article carrying apparatus so that the article holding body can be stored in the housing part in a form of storing the article holding body in the non-holding state in the housing part for the non-holding state. It is configured to control.
상기 제어수단이, 유지상태의 물품유지체를 유지상태용의 수납부에 수납하고 또한 비유지상태의 물품유지체를 비유지상태용의 수납부에 수납시키는 형태로 물품유지체를 수납부에 수납하는 것에 의해, 유지상태의 물품유지체를 비유지상태의 물품유지체보다 위쪽의 수납부에 수납시킬 수 있다.The control means stores the article retainer in the housing in such a manner that the article holder in the held state is accommodated in the housing for the holding state and the article holding body in the non-holding state is stored in the housing for the non-holding state. In this way, the article holding body in the holding state can be housed in a storage portion above the article holding body in the non-holding state.
그리고, 제어수단은, 유지상태의 물품유지체를 비유지상태의 물품유지체보다 위쪽의 수납부에 수납시키는 데 있어서, 설정되어 있는 유지상태용의 수납부 및 비유지상태용의 수납부의 위치 등의 정보를 관리하는 것만으로 충분하여, 제어구성의 간소화를 도모할 수 있다.Then, the control means stores the article holding body in the holding state in a housing portion above the non-holding article holding unit, such as the positions of the holding portion for the holding state and the storing portion for the non-holding state that are set. It is sufficient only to manage the information, and the control configuration can be simplified.
본 발명에 관한 물품 수납설비의 제 3 특징 구성은, 상기 정화공기 통풍수단이, 정화공기를 상기 수납부의 뒷부분측으로부터 상기 수납부를 통과시키는 수납부 통풍수단을 상기 복수의 수납부의 각각에 장비시켜 구성되어 있는 점에 있다.According to a third aspect of the article storage facility of the present invention, the purge air venting means is equipped with venting means venting means for allowing the purge air to pass through the housing part from the rear side of the compartment. It is in that it is comprised.
상기 수납부 통풍수단은, 수납부의 뒷부분측으로부터 수납부를 통과시키도록 정화공기를 적극적으로 통풍시킬 수 있다. 따라서, 수납부에 수납되는 물품에 대해서 정화공기를 확실하게 통풍시킬 수 있어, 그 물품의 청정도를 적확(的確)하게 높게 유지할 수 있다.The accommodating part ventilation means can actively ventilate the purified air so as to pass the accommodating part from the rear side of the accommodating part. Therefore, the purified air can be reliably ventilated with respect to the article accommodated in the accommodating portion, and the cleanliness of the article can be maintained accurately.
본 발명에 관한 물품 수납설비의 제 4 특징구성은, 상기 유지상태의 물품유지체가, 상하방향으로 간격을 두고 나란한 상태로 복수의 판형상 물품을 유지하도록 구성되고, 상기 정화공기 통풍수단이, 상기 수납부에 수납된 상기 유지상태의 물품유지체에 대해서 상하방향에 있어서의 판형상의 물품의 간극(間隙)에 정화공기를 통과시키는 형태로 정화공기를 상기 물품 수납선반의 뒷부분측으로부터 상기 수납부를 통과시키도록 구성되어 있는 점에 있다.A fourth feature of the article storage facility according to the present invention is that the article holding body in the holding state is configured to hold a plurality of plate-shaped articles in a side by side spaced apart in the vertical direction, and the purge air venting means is The purge air is passed from the rear side of the article storage shelf in the form of allowing the purge air to pass through a gap between the plate-shaped article in the up and down direction with respect to the article holder in the holding state accommodated in the housing section. It is configured to let.
상기 정화공기 통풍수단이, 유지상태의 물품유지체에 대해서 상하방향에 있어서의 판형상의 물품의 간극에 정화공기를 적극적으로 통풍시킬 수 있으므로, 복수의 판형상의 물품에 정화공기를 적확하게 통풍시킬 수 있다. 따라서, 물품유지체에 유지된 복수의 판형상의 물품의 청정도를 적확하게 높게 유지할 수 있다.The purge air venting means can actively vent the purge air to the gap between the plate-shaped articles in the up-and-down direction with respect to the article holder in the holding state, so that the purge air can be properly ventilated through the plurality of plate-shaped articles. have. Therefore, the cleanliness of the plurality of plate-shaped articles held on the article holding body can be maintained accurately.
[발명의 실시형태]Embodiment of the Invention
본 발명에 관한 물품 수납설비의 실시형태에 대해서 도면에 기초하여 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Embodiment of the article storage facility which concerns on this invention is described based on drawing.
이 물품 수납설비는, 도 1 내지 도 4에 나타내는 바와 같이, 클린룸(1)내에 설치되어 있고, 수납부(2)를 종횡으로 나란하게 복수로 구비한 물품 수납선반(3)과, 물품 수납선반(3)의 전방의 이동공간(4)을 이동하여 수납부(2)에 대한 물품의 출입을 실시하는 물품 반송장치(5)와, 정화공기를 물품 수납선반(3)의 뒷부분측으로부터 수납부(2)를 통과시키며 이동공간(4)의 위쪽으로부터 아래쪽으로 유동시키는 다운플로우식의 정화공기 통풍수단(6)을 구비하여 구성되어 있다.As shown in Figs. 1 to 4, the article storage facility is provided in the
상기 클린룸(1)은, 그 마루부를 통기구멍이 다수 형성된 다공형상의 그레이팅 마루(7)로 구성하고 있고, 그 천정에 형성된 천정 취출부(吹出部)(8)로부터 정화공기를 마루측을 향하여 통풍시키도록 구성되어 있다. 그리고, 클린룸(1)에는 부스(booth;11)에 의해 상부 및 옆 주위가 둘러싸인 공간이 형성되고, 그 부스(11)로 둘러싸인 공간내에 물품 수납선반(3)이 배치되어 있다.The said
상기 물품 수납선반(3)은, 전방측을 서로 마주하게 하는 상태로 그레이팅 마루(7) 위에 간격을 두고 한 쌍 설치되어 있다. 그리고, 한 쌍의 물품 수납선반(3)의 사이에 이동공간(4)을 형성하고 있다. 각 물품 수납선반(3)은, 선반 가로폭 방향으로 간격을 두고 세워 설치된 전후 한 쌍의 지지기둥(9)과, 전후 한 쌍의 지지기둥(9)의 각각에 지지되어 선반 상하방향으로 간격을 두고 설치된 얹어놓음 지지부(10)로 구성되어 있다.The
그리고, 전후 한 쌍의 지지기둥(9)과 좌우 한 쌍의 얹어놓음 지지부(10)에 의해 1개의 수납부(2)가 형성되고, 이 수납부(2)가 종횡으로 복수로 나란하게 설치되어 있다. 각 수납부(2)는, 선반 가로폭 방향으로 인접하는 것끼리 및 선반 상하 방향에 인접하는 것끼리가 공기 유동 가능하게 연통되어 있다.Then, one
또한, 최하단의 수납부(2)는, 설정 높이보다 위쪽에 위치하도록 설치되고, 그 최하단의 수납부(2)의 하부에는, 정화공기가 유동하는 유동용 공간(16)이 형성되어 있다. 덧붙여서, 최하단의 수납부(2)의 높이는, 물품반출입부(31)에서 물품처리부(30)와의 사이에 물품을 반송하는 높이보다 높게 하고 있다.Moreover, the lowermost
상기 수납부(2)는, 물품으로서 예를 들면, 유리기판 등의 판형상의 물품(12)을 유지 가능한 물품유지체(13)를 수납 자유롭게 구성되어 있다. 상기 물품유지체(13)는, 도 5에 나타내는 바와 같이, 격자형상으로 형성된 상틀(13a) 및 하틀(13b)과, 상틀(13a)과 하틀(13b)을 연결하는 복수의 연결체(13c)와, 그 연결체(13c)의 상하방향으로 간격을 두고 수평방향으로 연장된 상태로 설치된 막대형상의 지지부(13d)로 구성되어 있다. 그리고, 각 지지부(13d)에서 얹혀 놓여 지지되는 상태로 판형상의 물품(12)이 상하방향으로 간격을 두고 나란하게 유지되어 있고, 물품유지체(13)의 상부, 하부, 및, 측부의 전부에 있어서 공기 유동 가능하게 구성되어 있다. 이와 같이, 물품유지체(13)는, 상하방향으로 간격을 두고 나란한 상태로 복수의 판형상 물품(12)을 유지하도록 구성되어 있다.The
상기 정화공기 통풍수단(6)은, 클린룸(1)내에 정화공기를 순환시키는 형태로 공급하는 클린룸 통풍수단(14)과, 부스(11)내에 설치된 물품 수납선반(3)의 각 수납부(2)에 정화공기를 통풍하는 수납부 통풍수단(15)과, 부스(11)내의 공기를 부스(11) 밖의 클린룸(1) 내에 배기하는 배기용 개구부(29)를 구비하여 구성되어 있다.The purge air vent means 6 includes a clean room vent means 14 for supplying the purge air in the
상기 클린룸 통풍수단(14)은, 그레이팅 마루(7)를 통과한 공기를 청정화하여 정화공기로서 천정 취출부(8)로부터 뿜어 내어지는 형태로 정화공기를 클린룸(1)에 순환시키도록 구성되어 있다.The clean room ventilation means 14 is configured to circulate the purified air to the
상기 클린룸 통풍수단(14)은, 그레이팅 마루(7)의 아래쪽에 설치된 흡기실(17), 천정 취출부(8)의 위쪽에 설치된 공기 챔버실(18), 천정 취출부(8)에 병설된 HEPA 필터 등으로 이루어지는 에어필터(19), 흡기실(17)과 공기 챔버실(18)을 연통하여 접속하는 접속유로(20), 그 접속유로(20)에 설치되고 흡기실(17)로 흡인 작용하는 순환용 송풍기(21), 접속유로(20)에 있어서 순환용 송풍기(21)의 공기 토출측에 설치된 프레필터(22)로 구성되어 있다.The clean room ventilation means 14 is provided in the
상기 클린룸(1)내의 공기는, 순환용 송풍기(21)의 통풍작용에 의해서 그레이팅 마루(7)를 통하여 흡기실(17)로 흡입되어 접속유로(20)를 유동하며, 프레필터(22)에서 청정화되어 공기 챔버실(18)에 이른다. 그리고, 공기 챔버실(18)에 도달한 공기는, 에어필터(19)에서 청정화되어 정화공기로 되며, 천정 취출부(8)로부터 클린룸(1)내를 향하여 아래를 향하여 뿜어 내어진다.The air in the
이와 같이 하여, 클린룸(1)내의 공기가, 프레필터(22) 및 에어필터(19)에서 청정화되면서 순환되고, 정화공기를 천정 취출부(8)로부터 아래쪽으로 뿜어 내어지는 형태로 클린룸(1)에 상시 공급하도록 구성되어 있다.In this way, the air in the
상기 접속유로(20)의 순환용 송풍기(21)의 흡입측에는, 외기 취입유로(23)가 접속되어 있고, 그 외기 취입유로(23)에 외기 취입량 조절용 댐퍼(24)가 설치되어 있다. 또한, 접속유로(20)의 순환용 송풍기(21)의 토출측에는, 배기유로(25)가 접 속되어 있고, 그 배기유로(25)에 배기량 조절용 댐퍼(26)가 설치되어 있다.The outside
그리고, 외기 취입량 조절용 댐퍼(24) 및 배기량 조절용 댐퍼(26)의 각각의 개도(開度)를 조절하는 것에 의해, 클린룸 통풍수단(14)에서 순환되는 클린룸(1)내의 공기 중 소정량이 신선한 공기와 교환되도록 구성되어 있다.Then, by adjusting the opening degrees of the
상기 수납부 통풍수단(15)은, 복수의 수납부(2)의 각각에 대응하여 부스(11)의 측벽부(11a)에 장비되어 있다. 그리고, 수납부 통풍수단(15)은, 클린룸(1)내의 정화공기를 청정화하여 부스(11)내에 통풍시키는 상태로 정화공기를 수납부(2)의 뒷부분측으로부터 수납부(2)를 통과시키도록 구성되어 있다.The accommodating part ventilation means 15 is provided in the
상기 수납부 통풍수단(15)은, 진애를 제거하는 제진필터(27)와, 부스(11) 밖의 정화공기를 흡인하여 제진필터(27)를 통과시키는 상태로 수납부(2)의 뒷부분측으로부터 수납부(2)를 통과시키도록 정화공기를 통풍시키는 송풍 팬(28)으로 구성되어 있다.The accommodating part ventilation means 15 is provided from the rear side of the
상기 송풍 팬(28)에 의해서 부스(11)내에 통풍되는 정화공기는, 수납부(2)의 뒷부분측으로부터 앞부분측을 향하여 선반 전후방향을 따라서 통풍되고, 수납부(2)에 수납된 물품유지체(13)에 대해서 상하방향에 있어서의 판형상의 물품(12)의 간극으로 통과하는 상태로 수납부(2)를 통과한다. 이와 같이, 정화공기 통풍수단(6)은, 수납부(2)에 수납된 유지상태의 물품유지체(13)에 대해서 상하방향에 있어서의 판형상의 물품(12)의 간극으로 정화공기를 통과시키는 형태로 정화공기를 물품 수납선반(3)의 뒷부분측으로부터 수납부(2)를 통과시키도록 구성되어 있다.Purified air ventilated in the
상기 배기용 개구부(29)는, 한 쌍의 물품 수납선반(3) 중, 한 쪽의 후단부에 대향하는 부스(11)의 측벽부(11a)에만 설치되어 있다. 그리고, 배기용 개구부(29)는, 유동용 공간(16)에 대향하는 상태로 부스(11)의 측벽부(11a)의 하단부에 배치되어 있다.The said
상기 부스(11)내에서는, 송풍 팬(28)에 의해 정화공기가 통풍되므로 그 정화공기의 압력이 높아진다. 그에 비해서, 배기용 개구부(29)에 의해 정화공기가 배기되므로, 그 정화공기의 압력이 낮아진다. 그리고, 이 정화공기의 압력차에 의해, 부스(11)내의 공기는, 수납부(2)의 뒷부분측으로부터 앞부분측을 향하여 유동하여 이동공간(4)을 위쪽으로부터 아래쪽을 향하여 유동하는 다운플로우가 된다. 이동공간(4)을 위쪽으로부터 아래쪽을 향하여 유동하는 정화공기는, 그 일부가, 배기용 개구부(29)를 향하여 유동하여 부스(11) 밖으로 배기된 후, 아래쪽을 향하여 유동하여 그레이팅 마루(7)를 통하여 흡기실(17)에 이른다. 나머지의 일부가, 그대로 아래쪽으로 유동하여 그레이팅 마루(7)를 통하여 흡기실(17)에 이른다.In the
이와 같이, 정화공기 통풍수단(6)은, 정화공기를 물품 수납선반(3)의 뒷부분측으로부터 수납부(2)를 통과시켜 이동공간(4)를 위쪽으로부터 아래쪽으로 유동시키는 다운플로우식으로 구성되어 있다.As described above, the purifying air venting means 6 is configured in a downflow manner in which the purifying air flows from the rear side of the
상기 물품 수납선반(3)의 일부에는, 도 2 및 도 3에 나타내는 바와 같이, 최하단의 수납부(2)에 대신하여, 물품(12)에 소정의 처리를 가하는 물품처리부(30)에 대한 물품(12)의 반출입을 실시하는 물품반출입부(31)가 설치되어 있다. 이 물품반출입부(31)에서는, 물품유지체(13)로부터 물품(12)을 1개씩 반출하여 물품처리부(30)에 공급하거나, 물품처리부(30)에서 1개씩 공급되는 물품(12)을 물품유지 체(13)에 유지시키도록 구성되어 있다. 덧붙여, 도시는 생략하지만, 물품반출입부(31)는, 복수 배치되어 있고, 각 물품반출입부(31)에 있어서, 물품처리부(30)에 대한 물품(12)의 반출 또는 물품처리부(30)로부터의 물품(12)의 반입을 실시하도록 하고 있다.A part of the
상기 물품반출입부(31)에는, 물품유지체(13)를 승강 자유롭게 얹어놓아 지지하는 좌우 한 쌍의 승강지지체(32)와, 물품(12)을 자유로이 얹어놓아 지지하며 또한 얹어놓아 지지한 물품(12)을 반송이 자유로운 복수의 구동롤러를 구비한 반송체(33)가 설치되어 있다. 반송체(33)는, 좌우 한 쌍의 승강지지체(32)의 사이에 배치되어 있고, 물품유지체(13)에 대해서 상하방향으로 삽입,이탈이 자유롭게 설치되어 있다.The article carrying-in / out
그리고, 물품반출입부(31)와 물품처리부(30)를 연통하는 연통부분도 부스(11)로 둘러싸여져 있고, 그 연통부분에 정화공기를 위쪽으로부터 아래쪽을 향하여 통풍시키는 반출입용 정화공기 통풍수단(34)이 설치되어 있다.And the communication part which communicates the goods carrying-out
상기 물품반출입부(31)에서 물품처리부(30)에 물품(12)을 1개씩 공급할 때에는, 좌우 한 쌍의 승강지지체(32)로 물품유지체(13)를 하강시키는 것에 의해, 반송체(33)가 물품유지체(13)내에 비집고 들어가 물품유지체(13)에서 1개의 물품(12)을 반송체(33)에 얹어놓아 지지시킨다. 그 후, 반송체(33)에서 물품(12)을 얹어놓아 지지하여 물품처리부(30)로 반송한다. 이러한 동작을 반복하는 것에 의해, 물품유지체(13)로부터 물품(12)을 1개씩 반출하여 물품처리부(30)에 공급한다.When supplying the
상기 물품처리부(30)로부터 1개씩 공급되는 물품(12)을 물품반출입부(31)에 서 물품유지체(13)에 유지시킬 때에는, 좌우 한 쌍의 승강지지체(32)로 물품유지체(13)를 반송체(33)에 비집고 들어가게 한 상태로 얹어 지지해 둔다. 그 후, 반송체(33)가 1개의 물품(12)을 물품유지체(13)에서 유지 가능한 위치까지 반송하고, 좌우 한 쌍의 승강지지체(32)로 물품유지체(13)를 상승시키는 것에 의해, 1개의 물품(12)을 물품유지체(13)에 유지시킨다. 이러한 동작을 반복하는 것에 의해서, 물품처리부(30)로부터 1개씩 공급되는 물품(12)을 물품유지체(13)에 상하방향으로 나란한 상태로 차례차례 유지시킨다.When the
상기 물품 반송장치(5)는, 이동공간(4)의 그레이팅 마루(7)에 설치된 가이드레일(35) 및 부스(11)의 상부에 설치된 천정측 가이드레일(36)에 안내되어 주행하는 주행대차(37)와, 그 주행대차(37)에 세워 설치된 승강마스트(38)를 따라서 승강 자유로운 승강대(39)와, 그 승강대(39)에 장비되어 수납부(2)에 대한 물품유지체(13)의 출입을 실시하는 물품 이재수단으로서의 물품 이재장치(40)를 구비한 스태커 크레인으로 구성되어 있다.The
상기 물품 이재장치(40)는, 도 6 및 도 7에 나타내는 바와 같이, 상하 축심(軸心) P1 주위로 선회 자유로운 선회대(41), 및, 그 선회대(41)상에 설치된 얹어놓음부(42)를 출퇴(出退) 이동 자유롭게 지지하는 링크기구(43)로 구성되어 있다. 그리고, 물품 이재장치(40)는, 선회대(41) 및 링크기구(43)에 의해 얹어놓음부(42)를 선회 이동 가능하고 또한 출퇴이동 가능하게 구성되어 있다.As shown in FIG. 6 and FIG. 7, the
상기 링크기구(43)는, 그 기단부가 상하 축심 P2 주위로 회전운동 자유롭게 선회대(41)에 연결된 한 쌍의 조작링크(44)와, 조작링크(44)의 선단부에 대해서 상 하 축심 P3 주위로 회전운동 자유롭게 연결되며, 또한 얹어놓음부(42)에 대해서 상하 축심 P4 주위로 회전운동 자유롭게 연결된 요동링크(45)로 구성되어 있다.The
도면 밖의 이재용 전동모터로 한 쌍의 조작링크(44)를 연동하여 상하 축심 주위로 요동조작하는 것에 의해, 얹어놓음부(42)를 승강대(39)에 대해서 돌출시키는 돌출상태(도 7 참조)와 얹어놓음부(42)를 승강대(39)에 대해서 후퇴시키는 후퇴상태(도 6 참조)로 전환 자유롭게 구성되어 있다. 그리고, 물품 이재장치(40)는, 돌출상태와 후퇴상태로 전환하는 것에 의해서, 수납부(2)와의 사이 및 물품반출입부(31)의 승강지지체(32)와의 사이에서 물품유지체(13)를 옮겨싣도록 구성되어 있다.The projecting state (see FIG. 7) which protrudes the mounting
상기 물품 반송장치(5)의 작동을 제어하는 제어수단(46)이 설치되어 있다. 그리고, 제어수단(46)은, 도면 밖의 주행용 전동모터의 작동을 제어하여 주행대차(37)의 주행을 제어하고, 또한, 도면 밖의 승강용 전동모터의 작동을 제어하여 승강대(39)의 승강을 제어하는 것과 동시에, 도면 밖의 이재용 전동모터의 작동을 제어하여 물품 이재장치(40)의 작동을 제어하여, 물품 반송장치(5)의 작동을 제어하도록 구성되어 있다. 덧붙여서, 제어수단(46)은, 지상(地上)측에 설치하는 지상측 컨트롤러와 주행대차(37)에 설치하는 대차(臺車)측 컨트롤러를 통신 자유롭게 설치하고, 지상측 컨트롤러로부터의 각종의 지령에 기초하여, 대차측 컨트롤러가 물품 반송장치(5)의 작동을 제어하도록 구성되어 있다.The control means 46 which controls the operation | movement of the said
상기 제어수단(46)은, 수납부(2)와의 사이에서 물품유지체(13)를 옮겨 실을 때에는, 이재(移載) 대상의 수납부(2)에 대응하는 이재 위치에 승강대(39)를 이동 시킬 수 있도록, 주행대차(37)의 주행을 제어하고 또한 승강대(39)의 승강을 제어하고, 그 후, 이재 대상의 수납부(2)와의 사이에서 물품유지체(13)를 옮겨실을 수 있도록, 물품 이재장치(40)의 작동을 제어하도록 구성되어 있다.When the control means 46 moves the
또한, 제어수단(46)은, 물품반출입부(31)의 승강지지체(32)와의 사이에 물품유지체(13)를 옮겨 실을 때에는, 승강지지체(32)에 대응하는 이재 위치에 승강대(39)를 이동시킬 수 있도록, 주행대차(37)의 주행을 제어하고 또한 승강대(39)의 승강을 제어하고, 그 후, 승강지지체(32)와의 사이에 물품유지체(13)를 옮겨 실을 수 있도록, 물품 이재장치(40)의 작동을 제어하도록 구성되어 있다.In addition, the control means 46, when carrying the
덧붙여서, 도시는 생략하지만, 주행대차(37)의 주행위치를 검출하기 위해서 주행용 레이저 측거계(測距計)나 주행용 로터리 엔코더 등의 주행위치 검출수단이 설치되고, 승강대(39)의 승강위치를 검출하기 위해서 승강용 레이저 측거계나 승강용 로터리 엔코더의 승강위치 검출수단이 설치되어 있다. 그리고, 제어수단(46)은, 주행위치 검출수단의 검출정보에 기초하여, 주행대차(37)의 주행을 제어하고, 또한, 승강위치 검출수단의 검출정보에 기초하여, 승강대(39)의 승강을 제어한다.In addition, although illustration is abbreviate | omitted, in order to detect the travel position of the travel trolley |
그리고, 제어수단(46)은, 물품반출입부(31)로 물품유지체(13)를 반송하는 반송요구가 있으면, 복수의 수납부(2)로부터 반송해야 할 물품유지체(13)가 수납된 수납부를 이재 대상의 수납부(2)로서 선택하고, 그 이재 대상의 수납부(2)로부터 물품유지체(13)를 반출하여 그 반출한 물품유지체(13)를 물품반출입부(31)의 승강지지체(32)에 수납하도록, 물품 반송장치(5)의 작동을 제어하도록 구성되어 있다.Then, the control means 46, if there is a transfer request for conveying the
또한, 제어수단(46)은, 물품반출입부(31)로부터 수납부(2)에 물품유지체(13) 를 수납하는 반송요구가 있으면, 복수의 수납부(2)로부터 물품유지체(13)를 수납해야 할 수납부(2)를 이재 대상의 수납부(2)로서 선택하고, 물품반출입부(31)의 승강지지체(32)로부터 물품유지체(13)를 반출하여 그 반출한 물품유지체(13)를 이재 대상의 수납부(2)에 수납하도록, 물품 반송장치(5)의 작동을 제어하도록 구성되어 있다.In addition, the control means 46, if there is a transfer request for accommodating the
이와 같이 하여, 제어수단(46)은, 수납부(2)에 물품유지체(13)가 수납되어 있는지 아닌지, 및, 어느 수납부(2)에 어느 물품유지체(13)를 수납하고 있는지의 수납상태를 관리하면서, 물품 반송장치(5)의 작동을 제어하여, 물품반출입부(31)와 수납부(2)와의 사이에 물품유지체(13)를 반송하도록 구성되어 있다.In this way, the control means 46 determines whether or not the
상기 제어수단(46)은, 물품유지체(13)를 수납부(2)에 수납시키는 데 있어서, 도 1, 도 3 및 도 4에 나타내는 바와 같이, 물품(12)을 유지하고 있는 유지상태의 물품유지체(13A)를 물품(12)을 유지하고 있지 않은 비유지상태의 물품유지체(13B)보다 위쪽에 수납시키는 형태로 물품유지체(13)를 수납부(2)에 수납할 수 있도록, 물품 반송장치(5)의 작동을 제어하도록 구성되어 있다.When the control means 46 accommodates the
설명을 덧붙이면, 복수의 수납부(2) 중, 최하단으로부터 설정단까지의 수납부(2)를 비유지상태의 물품유지체(13B)를 수납하는 비유지상태용의 수납부(2b)로 설정하고, 또한, 설정단보다 위쪽의 수납부(2)를 유지상태의 물품유지체(13A)를 수납하는 유지상태용의 수납부(2a)로 설정하고 있다. 이 실시형태에서는, 수납부(2)가 4단 설치되어 있고, 최하단의 수납부(2)를 비유지상태용의 수납부(2b)로 설정하고, 아래로부터 2단째∼4단째의 수납부(2)를 유지상태용의 수납부(2a)로 설정하고 있다.In addition, description is made of the
그리고, 제어수단(46)이, 유지상태의 물품유지체(13A)를 유지상태용의 수납부(2a)에 수납하고 또한 비유지상태의 물품유지체(13B)를 비유지상태용의 수납부(2b)에 수납시키는 형태로 물품유지체(13)를 수납부(2)에 수납할 수 있도록, 물품 반송장치(5)의 작동을 제어하도록 구성되어 있다.Then, the control means 46 stores the
상기 제어수단(46)은, 우선, 수납부(2)에 수납시키는 물품유지체(13)가 유지상태의 물품유지체(13A)인지 또는 비유지상태의 물품유지체(13B)인지를 판별한다. 그리고, 제어수단(46)은, 유지상태의 물품유지체(13A)이면, 아래로부터 2단째∼4단째의 유지상태용의 수납부(2a)로부터 수납해야 할 이재 대상의 유지상태용의 수납부(2a)를 선택하고, 그 선택한 이재 대상의 유지상태용의 수납부(2a)에 수납하도록, 물품 반송장치(5)의 작동을 제어하도록 구성되어 있다. 또한, 제어수단(46)은, 비유지상태의 물품유지체(13B)이면, 최하단의 비유지상태용의 수납부(2b)로부터 수납해야 할 이재 대상의 비유지상태용의 수납부(2b)를 선택하고, 그 선택한 이재 대상의 비유지상태용의 수납부(2b)에 수납하도록, 물품 반송장치(5)의 작동을 제어하도록 구성되어 있다.The control means 46 first determines whether the
도 8의 플로우차트에 기초하여, 물품유지체(13)을 수납부(2)에 수납시킬 때의 동작에 대해 설명한다.Based on the flowchart of FIG. 8, the operation | movement at the time of accommodating the
상기 제어수단(46)은, 우선, 물품유지체(13)가 유지상태의 물품유지체(13A)인지 또는 비유지상태의 물품유지체(13B)인지를 판별한다(스텝 1).The control means 46 first determines whether the
그리고, 물품유지체(13)가 유지상태의 물품유지체(13A)인 경우에는, 제어수 단(46)이, 유지상태용의 수납부(2a)로부터 그 유지상태의 물품유지체(13A)를 수납해야 할 이재 대상의 유지상태용의 수납부(2a)를 선택하는 유지상태용의 선택처리를 실시한다(스텝 2). 다음에, 제어수단(46)이, 유지상태용의 선택처리에서 선택한 이재 대상의 유지상태용의 수납부(2a)에 유지상태의 물품유지체(13A)를 수납할 수 있도록, 물품 반송장치(5)의 작동을 제어하는 유지상태용의 수납처리를 실시한다(스텝 3).And when the
또한, 물품유지체(13)가 비유지상태의 물품유지체(13B)인 경우에는, 제어수단(46)이, 비유지상태용의 수납부(2b)로부터 그 비유지상태의 물품유지체(13b)를 수납해야 할 이재 대상의 비유지상태용의 수납부(2b)를 선택하는 비유지상태용의 선택처리를 실시한다(스텝 4, 5). 다음에, 제어수단(46)이, 비유지상태용의 선택처리에서 선택한 이재 대상의 비유지상태용의 수납부(2b)에 비유지상태의 물품유지체(13B)를 수납할 수 있도록, 물품 반송장치(5)의 작동을 제어하는 비유지상태용의 수납처리를 실시한다(스텝 6).In addition, when the
[별도의 실시형태][Separate embodiment]
(1) 상기 실시형태에서는, 복수의 수납부(2) 중, 최하단으로부터 설정단까지의 수납부(2)를 비유지상태용의 수납부(2b)로 설정하고, 또한, 설정단보다 위쪽의 수납부(2)를 유지상태용의 수납부(2a)로 설정하고 있지만, 유지상태용의 수납부(2a) 및 비유지상태용의 수납부(2b)를 설정하지 않고 실시할 수도 있다.(1) In the above embodiment, among the plurality of
(2) 상기 실시형태에서는, 정화공기 통풍수단(6)이, 클린룸 통풍수단(14), 수납부 통풍수단(15), 및, 배기용 개구부(29)를 구비하여 구성되어 있지만, 정화공 기 통풍수단(6)은, 정화공기를 물품 수납선반(3)의 뒷부분측으로부터 수납부(2)를 통과시키며 이동공간(4)의 위쪽으로부터 아래쪽으로 유동시키는 다운플로우식의 것이면 좋고, 어떠한 구성으로 할 것인지는 적절한 변경이 가능하다.(2) In the above embodiment, the purified air venting means 6 includes the clean room venting means 14, the accommodating part venting means 15, and the
(3) 상기 실시형태에서는, 물품유지체(13)로서 판형상의 물품(12)을 4매 유지 가능하게 하는 것을 예시하고 있지만, 판형상의 물품(12)을 유지하는 매수에 대해서는 적절한 변경이 가능하다. 또한, 물품유지체(13)는, 상하방향으로 간격을 두고 나란한 상태로, 복수의 판형상 물품(12)을 유지하고 있지만, 어떠한 상태로 복수의 물품(12)을 유지할 것인지는 적절한 변경이 가능하다.(3) Although the above embodiment exemplifies that four pieces of the plate-shaped
본 발명의 물품 수납설비에 의하면, 수납부에 수납되어 있는 물품의 청정도를 높게 유지할 수 있는 효과가 있다.According to the article storage facility of this invention, there exists an effect which can maintain the cleanness of the article accommodated in the accommodating part high.
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