KR100869575B1 - 스크라이빙 장치 및 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (16)
- 피절단재가 위치하는 스테이지와,상기 스테이지 상에 설치되는 지지 유닛과,상기 지지 유닛에 설치되고 피절단재를 스크라이빙하는 절단부와,상기 절단부에 연결되는 유체 댐퍼와,상기 유체 댐퍼로 공급되는 유체의 공급 압력을 조절하는 압력 조절부를 포함하고,상기 절단부는,스크라이빙 휠과 초음파 진동자와 혼을 포함하고, 상기 혼과 지지 유닛 사이에 상기 유체 댐퍼가 연결되는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
- 삭제
- 청구항 1 에 있어서,상기 압력 조절부는,유압원과,상기 유압원과 유체 덤퍼 사이에 설치되는 제어 밸브와,상기 유체 댐퍼와 제어 밸브 사이에 설치되어 유체 댐퍼의 압력을 측정하는 압력계와,상기 압력계에서 측정된 압력에 따라 제어 밸브를 조절하는 제어부를 포함하는 스크라이빙 장치.
- 청구항 3 에 있어서,상기 유체 댐퍼와 제어 밸브 사이에 감압 밸브가 설치되는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
- 청구항 1 에 있어서,상기 유체 댐퍼는 단동 실린더인 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
- 청구항 5 에 있어서,상기 단동 실린더는 스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
- 청구항 1 에 있어서,상기 유체 댐퍼는 복동 실린더인 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
- 청구항 5 내지 청구항 7 중 어느 한 항에 있어서,상기 유체 댐퍼에는 상기 스크라이빙 휠의 진동 방향과 평행하게 실린더 로드가 설치되는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
- 청구항 7 에 있어서,상기 복동 실린더는 제 1 포트와 제 2 포트를 포함하고,상기 압력 조절부는,유압원과,상기 제 1 포트와 상기 유압원 사이에 설치되는 제 1 제어 밸브와,상기 제 1 포트와 제 1 제어 밸브 사이에 설치되어 제 1 포트의 압력을 측정하는 제 1 압력계와,상기 제 2 포트와 상기 유압원 사이에 설치되는 제 2 제어 밸브와,상기 제 2 포트와 제 2 제어 밸브 사이에 설치되어 제 2 포트의 압력을 측정하는 제 2 압력계와,상기 제 1, 2 압력계에서 측정된 압력에 따라 제 1, 2 제어 밸브를 조절하는 제어부를 포함하는 스크라이빙 장치.
- 청구항 9 에 있어서,상기 제 1, 2 포트와 제 1, 2 제어 밸브 사이에 제 1, 2 감압 밸브가 각각 설치되는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
- 절단부 하방에 피절단재가 마련되는 단계와,절단부가 피절단재를 스크라이빙하는 단계와,상기 절단부가 스크라이빙을 개시하면 절단부와 연결된 유체 댐퍼의 압력을 측정하는 단계와,상기 측정 압력에 따라 유체 댐퍼로 공급되는 유체의 공급 압력을 제어하는 단계를 포함하는 스크라이빙 방법.
- 청구항 11 에 있어서,상기 유체의 공급 압력을 제어하는 단계는,상기 측정 압력이 설정압력범위를 벗어나면 유체의 공급 압력을 증감하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 방법.
- 청구항 11 에 있어서,상기 유체의 공급 압력을 제어하는 단계는,상기 측정 압력 중 설정압력범위에서 벗어난 값만큼 유체의 공급 압력을 증감하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 방법.
- 청구항 12 에 있어서,상기 유체 댐퍼는 복동 실린더를 포함하고,상기 복동 실린더의 제 1 포트와 제 2 포트 각각에 유체를 공급하는 단계와,상기 절단부의 스크라이빙에 따라 제 1 포트와 제 2 포트 각각의 압력을 측정하는 단계와,상기 제 1,2 포트 각각에서 측정된 압력에 따라 복동 실린더로 공급되는 유체의 공급 압력을 제어하는 단계를 포함하는 스크라이빙 방법.
- 청구항 13 에 있어서,상기 제 1,2 포트 각각에서 측정된 압력 중 설정압력범위에서 벗어난 값만큼 제 1 포트 또는 제 2 포트 중 적어도 어느 하나로 공급되는 유체의 공급 압력을 증감하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 방법.
- 삭제
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KR1020070060863A KR100869575B1 (ko) | 2007-06-21 | 2007-06-21 | 스크라이빙 장치 및 방법 |
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR19990029176A (ko) * | 1997-09-25 | 1999-04-26 | 테라마치 아키히로 | 스크라이브장치 |
JP2002316829A (ja) | 2001-04-17 | 2002-10-31 | Seiko Epson Corp | ガラス基板の切断方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器、およびスクライブ溝形成装置 |
JP2004224592A (ja) | 2003-01-20 | 2004-08-12 | Nakamura Tome Precision Ind Co Ltd | 硬質脆性板の振動スクライブ方法及び装置 |
JP2005001901A (ja) | 2003-06-09 | 2005-01-06 | Nakamura Tome Precision Ind Co Ltd | 付圧力自動変更機能を備えたスクライブ装置 |
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2007
- 2007-06-21 KR KR1020070060863A patent/KR100869575B1/ko active IP Right Grant
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