KR100869575B1 - 스크라이빙 장치 및 방법 - Google Patents

스크라이빙 장치 및 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR100869575B1
KR100869575B1 KR1020070060863A KR20070060863A KR100869575B1 KR 100869575 B1 KR100869575 B1 KR 100869575B1 KR 1020070060863 A KR1020070060863 A KR 1020070060863A KR 20070060863 A KR20070060863 A KR 20070060863A KR 100869575 B1 KR100869575 B1 KR 100869575B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
pressure
fluid
port
cutting
scribing
Prior art date
Application number
KR1020070060863A
Other languages
English (en)
Inventor
황운기
Original Assignee
주식회사 효광
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 효광 filed Critical 주식회사 효광
Priority to KR1020070060863A priority Critical patent/KR100869575B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100869575B1 publication Critical patent/KR100869575B1/ko

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00—Severing cooled glass
    • C03B33/02—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
    • C03B33/023—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor the sheet or ribbon being in a horizontal position
    • C03B33/033—Apparatus for opening score lines in glass sheets
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00—Severing cooled glass
    • C03B33/02—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
    • C03B33/023—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor the sheet or ribbon being in a horizontal position
    • C03B33/037—Controlling or regulating
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00—Severing cooled glass
    • C03B33/10—Glass-cutting tools, e.g. scoring tools
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P40/00—Technologies relating to the processing of minerals
    • Y02P40/50—Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
    • Y02P40/57—Improving the yield, e-g- reduction of reject rates

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)

Abstract

본 발명은 스크라이빙 장치 및 방법에 관한 것으로, 피절단재가 위치하는 스테이지와, 상기 스테이지 상에 설치되는 지지 유닛과, 상기 지지 유닛에 설치되고 피절단재를 스크라이빙하는 절단부와, 상기 절단부에 연결되는 유체 댐퍼와, 상기 유체 댐퍼로 공급되는 유체의 공급 압력을 조절하는 압력 조절부를 포함하는 스크라이빙 장치가 제공된다. 이에 따라서 초기 절단 불량을 방지할 수 있으며, 길이가 긴 피절단재에 있어서 한 번의 스크라이빙으로 피절단재를 정밀하고 깨끗하게 절단할 수 있다.
기판 절단, 스크라이빙 장치, 초음파, 실린더, 완충, 유체

Description

스크라이빙 장치 및 방법{scribing apparatus and method}
도 1은 종래 스크라이빙 장치를 나타낸 개략도이다.
도 2는 스크라빙 휠과 피절단재의 접촉 상태를 나타낸 개략도이다.
도 3은 본 발명에 따른 스크라이빙 장치의 제 1 실시예를 나타낸 개략도이다.
도 4는 본 발명에 따른 스크라이빙 장치의 제 2 실시예를 나타낸 개략도이다.
도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 순서도이다.
도 6은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 순서도이다.
도 7은 본 발명에 따른 설정압력범위를 나타낸 개략도이다.
도 8은 본 발명에 따른 스크라이빙 휠과 피절단재의 접촉 상태를 나타낸 개략도이다.
<도면 주요부분에 대한 부호의 설명>
W : 피절단재 100 : 절단부
110 : 스테이지 130 : 혼
140 : 스크라이빙 휠 150 : 초음파 진동자
200 : 지지 유닛 210 : 이동 블록
220 : 서보 모터 230 : 스크류 축
240 : 브라켓 300 : 단동 실린더
400 : 압력 조절부 500 : 복동 실린더
본 발명은 스크라이빙 장치 및 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 절단 초기에 스크라이빙 휠에서 피절단재로 가해지는 급격한 충격을 완충하고, 절단 중에 피절단재의 평탄도가 균일하지 않아도 스크라이빙 휠에서 피절단재로 가해지는 힘이 일정하도록 하여 정밀하고 깨끗하게 피절단재를 절단할 수 있는 스크라이빙 장치 및 방법에 관한 것이다.
일반적으로 스크라이빙 장치는, 유리판, 실리콘 기판, 알루미나 등의 세라믹 기판에 절단 예정선을 따라 연속된 홈(groove)을 형성시키는 장치를 말하며, 스크라이빙된 피절단재는 응력이나 충격이 가해지면 간단하게 절단된다. 종래 스크라이빙 장치는 다이아몬드 소재의 스크라이빙 휠이나 스크라이빙 팁을 피절단재의 표면에 접촉시키고 정하중(靜荷重)을 가하여 피절단재에 수직 크랙을 생성하고 이와 동시에 절단 예정선을 따라 스크라이빙 휠이 이동하여 연속된 홈을 형성하게 된다. 따라서 피절단재가 두꺼워질수록 수직 크랙의 깊이가 깊게 형성될 수 있도록 정하중을 증가시키게 되는데, 가압 정하중이 일정이상 증가하게 되면 측방향 크랙이 형성되어 절단면이 균일하지 못해 제품의 품질이 저하된다. 상기와 같은 문제점을 보완하고자 피절단재의 절단 예정선을 따라 수직 하중을 순간적으로 가하여 피절단재에 활하중(活荷重=진동 가압)을 가하는 초음파 진동을 이용한 초음파 스크라이빙 장치가 사용된다.
종래의 초음파 스크라이빙 장치는 도 1에 나타난 바와 같이 피절단재(W)가 위치하는 스테이지(10)와, 상기 스테이지(10) 상에서 이동하는 지지 유닛(20)과, 상기 지지 유닛(20)에 설치된 혼(30)과, 상기 혼(30)의 하부에 설치된 스크라이빙 휠(40)과, 상기 혼(30)의 상부에 설치되어 스크라이빙 휠(40)에 활하중을 전달하는 초음파 진동자(50)로 구성된다. 상기 혼(30)은 지지 유닛(20)에 설치된 혼 홀더(60)에 조립되어 지지 유닛(20)의 동작에 따라 스테이지(10) 상에서 X,Y,Z축 방향으로 이동하여 스크라이빙 휠(40)을 절단 예정선에 위치시키게 된다. 상기와 같이 스크라이빙 휠(40)이 피절단재(W)의 절단 예정선에 접하도록 위치되면 스테이지(10) 상에 설치된 지지 유닛(20)이 스크라이빙 휠(40)을 절단 예정선을 따라 이동시킨다. 이와 함께 혼(30)의 상부에 설치된 초음파 진동자(50)가 작동하여 스크라이빙 휠(40)에 활하중을 가해 피절단재(W)에 수직 크랙을 형성하고, 스크라이빙 작업이 완료된 후에 피절단재에 응력이나 충격을 주어 피절단재를 절단하게 된다.
그러나, 이와 같은 구조를 갖는 초음파 스크라이빙 장치는 절단 초기, 즉 피절단재(W)의 표면에 스크라이빙 휠(40)이 접촉한 상태에서 초음파 진동자(50)가 작동하게 되면 스크라이빙 휠(40)이 순간적으로 진동하여 피절단재(W)로부터 급격하게 튀어 오르는 경우가 발생한다. 그 결과 피절단재(W)의 표면에 측방향 크랙 등의 흠집 발생 및 피절단재의 깨짐 등의 절단 불량의 원인이 된다.
따라서 이를 방지하고자 종래에는 혼 홀더(60)와 지지 유닛(20)의 상하 연결 부위 각각에 척력(斥力)을 발생시키는 한 쌍의 영구자석(70a, 70b)을 설치하여 혼 홀더(60)와 지지 유닛(20) 사이에 일정한 공극(A1, A2)을 형성하였다. 상기와 같이 혼 홀더(60)와 지지 유닛(20) 사이에 영구자석(70a, 70b)이 설치되면 공극(A1, A2)에 형성된 척력에 의해 절단 초기에 스크라이빙 휠(40)이 급격히 튀어 오르는 것을 완충하여 절단 불량을 방지하였으나, 영구자석(70a, 70b)이 장시간 사용됨에 따라 영구자석(70a, 70b)에서 발생되는 자기력이 소멸되면서 공극(A1, A2)에 형성된 척력이 불균일해져 절단 초기에 스크라이빙 휠(40)이 급격히 튀어 오르는 것을 완충할 수 없게 된다.
특히, 도 2에 나타난 바와 같이 피절단재(W)의 길이(L)가 증가할수록 피절단재(W) 표면의 평탄도가 불균일해진다. 따라서, 스크라이빙 휠(40)이 동일한 높이에서 수직 진동하더라도 피절단재(W) 표면에 가해지는 힘은 피절단재(W) 표면의 평탄도에 따라 달라져 균일한 수직 크랙의 형성을 방해한다. 즉, 도면에 도시된 바와 같이 스크라이빙 휠(40)이 동일한 높이에서 피절단재 표면을 향해 수직 이동하여 피절단재(W) 표면을 타격하는 경우 스크라이빙 휠(40)과 피절단재 표면(W)이 접하는 타격점 P1, P2, P3 에 가해지는 충격량은 달라진다. 이와 같은 이유는, 스크라이빙 휠(40)과 피절단재(W) 표면 간의 거리가 서로 다르고, 또한 피절단재(W)의 표면 굴곡에 따라 타격점 P1, P2, P3 로 전해지는 충격의 퍼짐 정도가 다르기 때문 에 균일한 수직 크랙을 형성할 수 없어 피절단재를 정밀하고 깨끗하게 절단할 수 없게 된다. 이 결과 40인치 이상의 대형 LCD 유리기판과 같은 피절단재는 한 번의 스크라이빙 가공에 의해 절단되지 못하고 여러 번에 걸쳐 스크라이빙 가공해야 하므로 절단 효율 및 생산성이 저하된다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 스크라이빙 휠에서 피절단재로 가해지는 급격한 충격을 완충하여 절단 초기의 피절단물 깨짐과 같은 절단 불량을 방지하고, 절단 중에 피절단재의 평탄도가 균일하지 않아도 스크라이빙 휠이 피절단재를 타격하는 힘이 일정하도록 하여 대형의 피절단재를 정밀하고 깨끗하게 스크라이빙할 수 있는 스크라이빙 장치 및 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
또한 피절단재의 강도 및 재질 등과 같은 여러 특성에 따라 절단부의 완충 범위를 제어하여 스크라이빙 휠에서 피절단재로 가해지는 충격량을 최적화시킬 수 있는 스크라이빙 장치 및 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 기술적 사상으로는, 피절단재가 위치하는 스테이지와, 상기 스테이지 상에 설치되는 지지 유닛과, 상기 지지 유닛에 설치되고 피절단재를 스크라이빙하는 절단부와, 상기 절단부에 연결되는 유체 댐퍼와, 상기 유체 댐퍼로 공급되는 유체의 공급 압력을 조절하는 압력 조절부를 포함하는 스크라이빙 장치에 의해 달성된다.
여기서 상기 절단부는, 스크라이빙 휠과 초음파 진동자와 혼을 포함하고, 상기 혼과 지지 유닛 사이에 유체 댐퍼가 연결되는 것이 바람직하다.
또한 상기 압력 조절부는, 유압원과, 상기 유압원과 유체 덤퍼 사이에 설치되는 제어 밸브와, 상기 유체 댐퍼와 제어 밸브 사이에 설치되어 유체 댐퍼의 압력을 측정하는 압력계와, 상기 압력계에서 측정된 압력에 따라 제어 밸브를 조절하는 제어부를 포함하는 것이 바람직하다.
또한 상기 유체 댐퍼와 제어 밸브 사이에 감압 밸브가 설치되는 것이 바람직하다.
또한 상기 유체 댐퍼는 단동 실린더 또는 복동 실린더 중 어느 하나인 것이 바람직하다.
또한, 상기 단동 실린더는 스프링을 포함하는 것이 바람직하다.
그리고 상기 유체 댐퍼에는 스크라이빙 휠의 진동 방향과 평행하게 실린더 로드가 설치되는 것이 바람직하다.
또한 상기 복동 실린더는 제 1 포트와 제 2 포트를 포함하고, 상기 제 1 포트와 유압원 사이에 설치되는 제 1 제어 밸브와, 상기 제 1 포트와 제 1 제어 밸브 사이에 설치되어 제 1 포트의 압력을 측정하는 제 1 압력계와, 상기 제 2 포트와 유압원 사이에 설치되는 제 2 제어 밸브와, 상기 제 2 포트와 제 2 제어 밸브 사이에 설치되어 제 2 포트의 압력을 측정하는 제 2 압력계와, 상기 제 1, 2 압력계에서 측정된 압력에 따라 제 1, 2 제어 밸브를 조절하는 제어부를 포함하는 것이 바람직하다.
또한 상기 제 1, 2 포트와 제 1, 2 제어 밸브 사이에 제 1, 2 감압 밸브가 각각 설치되는 것이 바람직하다.
한편, 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 기술적 사상으로는, 절단부가 피절단재를 스크라이빙하는 단계와, 상기 절단부가 스크라이빙을 개시하면 절단부와 지지 유닛 사이에 설치된 유체 댐퍼의 압력을 측정하는 단계와, 상기 측정 압력에 따라 유체 댐퍼로 공급되는 유체의 공급 압력을 제어하는 단계를 포함하는 스크라이빙 방법에 의해 달성된다.
여기서 상기 유체의 공급 압력을 제어하는 단계는, 상기 측정 압력이 설정압력범위를 벗어나면 유체의 공급 압력을 증감하는 것이 바람직하다.
또한 상기 유체의 공급 압력을 제어하는 단계는, 상기 측정 압력 중 설정압력범위에서 벗어난 값만큼 유체의 공급 압력을 증감하는 것이 바람직하다.
또한 상기 유체 댐퍼는 복동 실린더를 포함하고, 상기 복동 실린더의 제 1 포트와 제 2 포트 각각에 유체를 공급하는 단계와, 상기 절단부의 스크라이빙에 따라 제 1 포트와 제 2 포트 각각의 압력을 측정하는 단계와, 상기 제 1,2 포트 각각에서 측정된 압력에 따라 복동 실린더로 공급되는 유체의 공급 압력을 제어하는 단계를 포함하는 것이 바람직하다.
그리고 상기 제 1,2 포트 각각에서 측정된 압력 중 설정압력범위에서 벗어난 값만큼 제 1 포트 또는 제 2 포트 중 적어도 어느 하나로 공급되는 유체의 공급 압력을 증감하는 것이 바람직하다.
또한 상기 설정압력범위는 피절단재의 특성에 따라 그 범위를 달리하는 것이 바람직하다.
이하, 본 발명에 따른 실시예를 첨부된 도면에 따라 보다 상세히 설명한다. 하기의 설명에서 도면상의 동일한 부호는 동일한 요소를 지칭한다.
제 1 실시예
도 3은 본 발명에 따른 스크라이빙 장치의 제 1 실시예를 나타낸 개략도이다. 도면을 참조하여 설명하면, 본 발명에 따른 스크라이빙 장치는 크게 피절단재(W)가 위치하는 스테이지(110)와, 상기 스테이지(110) 상에서 이동하는 지지 유닛(200)과, 상기 지지 유닛(200)에 설치되어 피절단재에 활하중을 가하는 절단부(100)와, 상기 절단부(100)에 연결되는 유체 댐퍼와, 상기 유체 댐퍼로 공급되는 유체의 공급 압력을 조절하는 압력 조절부(400)로 구성된다.
상기 스테이지(110)의 상면은 피절단재(W)가 위치하는 경우 그 평탄도가 유지되도록 평탄도가 조정된 상태이고, 스테이지(110)는 수평 방향으로 이동 가능하게 설치된다. 그리고, 상기 스테이지(110) 상에서 스테이지(110)의 이동방향과 교차하는 방향 및 수직 방향으로 이동하는 지지 유닛(200)은, 스테이지(110)의 이동방향과 교차하는 방향으로 이동하는 이동블록(210)과, 상기 이동블록(210)에 설치된 서버 모터(220)와, 상기 서버 모터(220)와 연결된 스크류 축(230)과, 상기 스크류 축(230)과 치합되어 스크류 축(230)을 따라 이동하는 브라켓(240) 및 상기 브라켓(240)에 연결된 혼 홀더(160)로 구성된다.
상기 지지 유닛(200)은 스테이지(110) 상에서 이동블록(210)이 스테이 지(110)의 이동방향과 교차하는 방항으로 이동하고, 서버 모터(220)의 회전에 따라 브라켓(240)이 혼 홀더(160)와 일체로 스크류 축(230)을 따라 수직으로 이동하게 된다. 즉, 상기 스테이지(110)가 Y축 방향으로 이동하는 경우 이동블록(210)은 X축 방향으로 이동하고, 이와 함께 스크류 축(230)을 따라 브라켓(240)이 Z축 방향으로 이동하게 된다. 또한 상기 스테이지(110)에 안착된 피절단재(W)를 회전시킬 수 있도록 상기 피절단재(W)와 스테이지(110) 사이에 회전판(미도시)이 설치된다.
그러나, 상기 스테이지(110)와 지지 유닛(200)의 이동은 이에 한정되지 않고 다양하게 실시될 수 있다. 예를 들어, 피절단재(W)가 안착된 스테이지(110)는 고정된 상태에서 지지 유닛(200)이 X,Y,Z축 방향으로 이동될 수도 있을 것이며, 피절단재(W)가 안착된 스테이지(110)가 X,Y축 방향으로 이동하고 지지 유닛(200)이 Z축 방향으로 이동할 수도 있을 것이다. 또한 상기 피절단재(W)가 회전되지 않고 후술되는 스크라이빙 휠(140)이 설치된 혼(130)이 회전하여 스크라이빙 휠(140)의 절단 방향을 변경할 수도 있을 것이다.
상기 지지 유닛(200)에 설치되어 피절단재(W)에 활하중을 가하는 절단부(100)는 크게 스크라이빙 휠(140)과, 수직 진동을 생성하는 초음파 진동자(150)와, 상하부 각각에 초음파 진동자(150)와 스크라이빙 휠(140)이 설치되고 초음파 진동자(150)에서 생성된 진동을 증폭시켜 스크라이빙 휠(140)에 전달하는 혼(130)으로 구성된다.
상기 스크라이빙 휠(140)은 초경 또는 다이아몬드 소결합금 재질 등으로 이루어져 스크라이빙 휠(140)의 가장자리를 일정한 각도로 연마한 약 2~3mm사이의 원 형 디스크 형상을 갖는다. 또한 상기 스크라이빙 휠(140)에 수직 진동을 가하는 초음파 진동자(150)는 전기 에너지를 직선적인 운동 에너지로 변환시킬 수 있도록 그 내부에 전류가 공급되는 고정자(미도시)와, 상기 고정자의 하부에서 상하로 이동하도록 설치된 가동자(미도시)로 구성되어 전류가 공급되면 고정자에 추력이 형성되어 가동자를 상하로 이동시켜 수직 진동을 생성하게 된다. 여기서 상기 초음파 진동자는 전기적 에너지가 공급되면 전기 전도성이 변화하여 물리적 에너지로 변환되는 압전소자를 포함하는 압전 진동자일 수도 있다.
그리고 초음파 진동자(150)의 하부에는 혼(130)이 설치되는데, 상기 혼(130)은 대략 원기둥의 형상을 갖고 그 하부에 스크라이빙 휠(140)이 설치되어 초음파 진동자(150)에서 생성된 진동을 스크라이빙 휠(140)에 증폭시켜 전달한다. 상기 혼(130)은 지지 유닛(200)의 브라켓(240)에 마련된 혼 홀더(160)와 결합하여 지지 유닛(200)과 동일하게 이동하게 된다.
특히, 상기 지지 유닛(200)과 절단부(100) 사이에는 유체 댐퍼가 설치되고, 상기 유체 댐퍼는 유체의 공급 압력을 조절하기 위한 압력 조절부(400)와 연결되어 절단부(100)가 피절단재(W)를 스크라이빙 하게 될 때 스크라이빙 휠(140)이 피절단재(W)의 표면으로부터 급격히 튀어 오르거나 과도하게 피절단재(W)를 가압하지 않도록 완충하게 된다. 이를 위해 상기 유체 댐퍼는 단동 실린더(300)를 포함하는데, 상기 단동 실린더(300)는 한 방향의 운동에만 압축 유체를 사용하고 반대 방향의 운동에는 스프링이나 피스톤 및 로드의 자중 또는 외력에 의해 복귀되는 구조를 갖는다.
부연하자면, 상기 단동 실린더(300)는 상부와 하부가 폐쇄된 중공된 튜브의 형상을 갖는 몸체(310)와, 상기 몸체(310) 내에서 활주하도록 설치된 피스톤(320)과 상기 피스톤(320)과 일체로 형성되어 몸체(310)의 상부로 노출된 로드(330)로 구성되며, 상기 피스톤(320)을 중심으로 몸체(310)의 내부 상측에 스프링(350)이 설치된다. 또한 상기 피스톤(320)을 중심으로 몸체(310) 내부 하측에 몸체 벽면을 관통하는 포트(340)가 형성된다. 상기와 같은 단동 실린더(300)는 피스톤(320)의 운동 방향과 스크라이빙 휠(140)이 피절단재(W)에 활하중을 가하는 방향과 피스톤(320)의 운동 방향이 평행하도록 지지 유닛(200)의 브라켓(240)에 고정 설치되며, 몸체(310)의 상부로 노출된 로드(330)는 절단부(100)의 혼(130)을 감싸 지지하는 혼 홀더(160)와 연결된다.
또한 상기 포트(340)는, 압력 조절부(400)와 유체 라인으로 연결되어 상기 압력 조절부(400)에서 공급되는 유체의 압력에 따라 절단부(100)의 완충 범위를 제어하게 된다. 이를 위해 상기 압력 조절부(400)는, 일정한 압력으로 유체를 공급하는 유압원(410)과, 상기 유압원(410)과 단동 실린더(300) 사이의 유체 라인에 설치되는 제어 밸브(420)와, 상기 단동 실린더(300)와 제어 밸브(420) 사이의 유체 라인에 설치되어 단동 실린더(300)의 압력을 측정하는 압력계(430)와, 상기 압력계(430)에서 측정된 압력에 따라 상기 제어 밸브(420)를 조절하도록 전기적으로 제어 밸브(420)와 연결된 제어부(450)를 포함한다. 또한 상기 단동 실린더(300)의 급격한 압력 상승을 감소시키도록 상기 단동 실린더(300)와 제어 밸브(420) 사이의 유체 라인에는 감압 밸브(440)가 설치되고, 상기 감압 밸브(440)는 제어부와 전기 적으로 연결된다. 여기서 상기 포트(340)로 공급되는 유체는 압축 공기, 질소, 아르곤, 기름 등이 될 수 있다.
상기와 같은 구성을 갖는 제 1 실시예의 스크라이빙 장치의 동작을 설명한다. 도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 순서도이다. 도면을 참조하여 설명하면, 스크라이빙 휠(140)이 절단 예정선을 따라 피절단재(W)를 가공하게 될 때 상기 스크라이빙 휠(140)은 지지 유닛(200)에 의해 이동하여 피절단재의 절단 예정선 상에 위치하게 된다. 이러한 상태에서 상기 서버 모터(220)가 회전하여 브라켓(240)을 하부로 이동시켜 피절단재의 표면에 스크라이빙 휠(140)을 접촉시킨다. 상기와 같이 스크라이빙 휠(140)이 피절단재(W)의 표면에 위치하게 되면 절단부(100)의 초음파 진동자(150)가 작동하게 되는데, 이때 상기 스크라이빙 휠(40)이 순간적으로 진동하여 피절단재(W)로부터 급격하게 튀어 오르는 경우가 발생하게 된다. 이와 같은 절단 초기에 스크라이빙 휠(140)에서 피절단재(W)로 가해지는 급격한 충격을 유체 덤퍼 즉, 단동 실린더(300)가 완충하여 절단 불량을 방지하게 된다.
부연하자면, 절단 초기에 피절단재(W) 표면으로부터 스크라이빙 휠(140)이 급격하게 튀어 오르는 경우 혼(130)을 감싸 지지하는 혼 홀더(160)에 그 힘이 전달되고 단동 실린더(300)의 로드(330)를 상부를 향해 이동시키게 된다. 상기 로드(330)의 이동에 따라 몸체(310) 내부에 설치된 피스톤(320)이 상부로 이동하게 되는데, 이때 몸체(310)의 내부 상측에 설치된 스프링(350)이 피스톤(320)의 이동을 점차적으로 완충하여 스크라이빙 휠(140), 즉 절단부(100)가 일정 높이 이상 튀어 오르지 않도록 하게 된다. 또한, 상기 피스톤(320)이 몸체(310) 내부에서 상부 를 향해 이동하게 됨에 따라 피스톤(320)을 중심으로 피스톤(320)의 하부에 해당하는 몸체 내부의 용적이 증가하고 증가된 용적만큼 유체가 팽창되어 그 내부 압력이 감소하게 된다. 상기 몸체(310)의 내부 압력이 감소하게 되면 유체 라인에 설치된 압력계(430)가 이를 감지하고 제어부(450)에 전기적 신호를 보내 제어 밸브(420)를 폐쇄시키거나 단동 실린더(300)로 공급되는 유체량을 감소시켜 절단부(100)가 더 이상 튀어 오르지 않도록 몸체(310) 내부에 소정의 진공 상태를 만들어 완충하게 된다.
상기와 같이 절단부(100)의 튀어 오름이 단동 실린더의 스프링(350)과 몸체(310) 내부의 압력 조절로 완충된 상태에서 절단부(100)는 피절단재(W)를 향해 자유 낙하하게 되는데, 이때 단동 실린더(300)의 몸체 내에 설치된 압축된 스프링(350)이 원래의 상태로 복원되면서 피스톤(320)을 몸체 내부에서 하부를 향해 밀어 이동시킨다. 상기 피스톤(320)의 하부 이동에 따라 피스톤(320)의 하부에 해당하는 몸체(310) 내부의 용적이 감소하고 감소된 용적만큼 유체가 압축되어 그 내부 압력이 증가하게 된다. 상기 몸체(310)의 내부 압력이 증가하게 되면 유체 라인에 설치된 압력계(430)가 측정하고 제어부(450)에 전기적 신호를 보내 제어 밸브(420)를 개방시키거나 단동 실린더(300)로 공급되는 유체량을 증가시켜 절단부(100)에서 피절단재(W)로 가해지는 충격이 일정하도록 절단부의 자유 낙하 속도를 감속시키게 된다.
이때, 상기 몸체(310) 내부의 압력이 급격히 증가하여 절단부(100)의 자유 낙하 속도가 급격히 감속되는 경우 피절단재(W)에 수직 크랙 형성이 원활치 않게 되므로, 몸체(310) 내부의 압력이 급격히 증가하여 몸체(310) 내부의 압력이 설정압력범위(도 7 참조)보다 높은 경우 압력계(430)가 이를 측정하여 제어부(450)를 통해 감압 밸브(440)를 개방시켜 몸체(310) 내부의 유체를 외부로 배기시켜 압력을 감소시킨다. 이에 따라 몸체(310) 내부의 압력이 설정압력범위 내에 오도록 제어하게 된다. 여기서 설정압력범위는 피절단재(W)의 재질, 강도, 두께 등과 같은 특성에 따라 그 범위를 다르게 제어할 수도 있을 것이다.
즉, 스크라이빙이 시작되면, 앞서 설명한 바와 같이 절단부(100)의 튀어 오름에 따라 유체 댐퍼 즉, 단동 실린더(300) 내부의 압력이 변하게 되고, 이를 압력계(430)가 측정(S10)하게 된다. 그리고, 측정된 압력(a)을 미리 설정된 설정압력범위(b)와 비교(S11)하게 되는데, 측정압력이 설정범위보다 작은 경우(a<b) 제어 밸브(420)를 폐쇄(S12)하여 단동 실린더 내의 압력을 감소(S13)시켜 몸체(310) 내부를 소정의 진공 상태로 만들어 절단부(100)의 튀어 오름을 완충하게 된다.
이와는 반대로 튀어 오름이 완충된 절단부(100)가 정점에서 자유 낙하함에 따라 단동 실린더(300) 내부의 압력을 압력계(430)가 측정하게 되는데 측정 압력이 설정범위보다 큰 경우(a>b) 제어 밸브(420)를 개방(S14)하여 단동 실린더 내의 압력을 증가(S15)시켜 절단부(100)의 자유 낙하 속도를 감속시킨다. 이러한 상태에서 단동 실린더 내부의 압력을 다시 한번 측정(S16)하게 되고, 재측정된 압력(c)을 절단부(100)의 자유 낙하에 따른 단동 실린더 내의 적정 압력 범위(d)와 비교(S17)하게 된다. 이때, 재측정 압력(c)이 설정범위(d)보다 큰 경우(c>d) 감압 밸브(440)를 개방(S18)하여 단동 실린더 내의 압력을 감소시켜 절단부(100)가 적정한 속도로 자유 낙하할 수 있도록 제어하게 된다.
한편, 절단 중에 피절단재(W)의 평탄도가 균일하지 않은 경우 스크라이빙 휠(140)이 피절단재(W)를 타격하는 힘이 일정하도록 절단부(100)의 높이를 피절단재(W)의 평탄도에 따라 압력 조절부(400)가 조절하게 된다. 즉, 초기 절단을 마친 절단부(100)는 지지 유닛(200)에 의하여 피절단재(W)의 절단 예정선을 따라 이동하게 되는데 경우에 따라서는 앞선 설명처럼 지지 유닛을 대신하여 스테이지(110)가 이동하여 스크라이빙 휠(140)의 하부로 피절단재(W)가 이동할 수도 있다. 이때 피절단재(W)의 평탄도에 따라 유체 댐퍼 내부의 압력은 달라진다.
즉, 도 8에 도시된 바와 같이 절단 초기를 지난 절단부(100)는 절단 예정선을 따라 이동하는 중에 피절단재(W)의 표면과 접촉하는 스크라이빙 휠(140)은 피절단재(W)의 표면 굴곡의 고저에 영향을 받아 유체 댐퍼 즉, 단동 실린더(300) 몸체(310)의 내부 압력이 달라지고 이를 압력계(430)가 측정하여 제어부(450)에 전기적 신호를 보내 제어 밸브(420) 내지 감압 밸브(440)를 제어하여 피절단재(W)의 평탄도에 따라 절단부(100)의 높이를 조절하게 된다. 이와 같이 피절단재(W)의 평탄도에 따라 단동 실린더(300) 몸체 (310)내부 압력이 조정되면 몸체(310) 내에 설치된 피스톤(320)이 몸체(310) 내에서 상향 이동 내지 하향 이동하게 되고, 상기 피스톤(320)의 승강 높이 만큼 로드(330)가 활주하게 된다. 이에 따라서 로드(330)에 고정된 혼 홀더(130)가 승강하여 피절단재(W)의 표면을 타격하는 스크라이빙 휠(140)이 피절단재(W)의 표면으로부터 소정 높이 만큼 상승할 수 있도록(스크라이 빙 휠과 P1, P2, P3 간의 높이 간격이 서로 동일하도록) 제어된다. 따라서, 피절단재(W)의 평탄도에 따라 제어부(450)의 높이가 능동적으로 조절되고 이로부터 스크라이빙 휠(140)이 피절단재(140)를 타격하는 힘이 거의 일정하여 정밀하고 깨끗하게 피절단재를 절단할 수 있게 된다.
제 2 실시예
도 4는 본 발명에 따른 스크라이빙 장치의 제 2 실시예를 나타낸 개략도이며, 도 6은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 순서도이다. 도면을 참조하여 설명하면, 제 2 실시예에 따른 스크라이빙 장치는 단동 실린더를 대신하여 복동 실린더(500)가 포함되어 제 1, 2 포트와 연결된 몸체 내의 압력 변화에 따라 제 1 제어 밸브(420a) 및 제 2 제어 밸브(420b)를 폐쇄하거나 개방시켜 절단부(100)가 더 이상 튀어 오르지 않도록 하거나 절단부(100)의 자유 낙하 속도를 감속시켜 절단부(100)에서 피절단재(W)에 가해지는 충격이 일정하도록 완충할 수 있다.
부연하자면, 상기 복동 실린더(500)는 지지 유닛(200)과 절단부(100) 사이에 설치되는 바, 양 방향의 운동 모두에 압축 유체를 사용하게 됨으로써, 복동 실린더 몸체(510) 내부의 일측 압력이 감소하는 경우 타측의 압력이 증가하는 구조를 갖는다. 즉, 상기 복동 실린더(500)는 제 1 실시예의 단동 실린더와 마찬가지로 상부와 하부가 폐쇄된 중공된 튜브의 형상을 갖는 몸체(510)와, 상기 몸체(510) 내에서 활주하도록 설치된 피스톤(520)과, 상기 피스톤(520)과 일체로 형성되어 몸체(510) 의 상부로 노출된 로드(530)로 구성되고, 상기 피스톤(520)을 중심으로 몸체(510) 내부 상측과 하측 각각에 벽면을 관통하는 제 1 포트(540a) 및 제 2 포트(540b)가 형성된다. 그리고, 상기 복동 실린더(500)의 로드(530)는 스크라이빙 휠(140)이 피절단재(W)에 활하중을 가하는 방향과 평행하도록 설치되고, 로드(530)는 혼 홀더(130)와 연결된다.
여기서 상기 제 1 포트(540a) 및 제 2 포트(540b) 각각은 압력 조절부(400)와 유체 라인으로 연결되는바, 상기 제 1 포트(540a)는 일정한 압력으로 유체를 공급하는 유압원(410)과, 제 1 제어 밸브(420a)와, 제 1 포트(540a) 내의 압력을 측정하는 제 1 압력계(430a)와 제 1 감압 밸브(440a)와 연결되고, 제 1 압력계(430a)에서 측정된 제 1 포트(540a)의 압력에 따라 상기 제 1 제어 밸브(420a) 및 제 1 감압 밸브(440a)를 조절하도록 제 1 제어 밸브(420a) 및 제 1 감압 밸브(440a)는 제어부(450)와 전기적으로 연결된다.
또한 상기 제 2 포트(540b)는 유압원(410)에서 분기되는 제 2 제어 밸브(420b)와, 상기 제 2 포트(540b) 내의 압력을 측정하는 제 2 압력계(430b)와, 제 2 감압 밸브(440b)와 연결되고, 제 2 압력계(430b)에서 측정된 제 2 포트(540b)의 압력에 따라 상기 제 2 제어 밸브(420b) 및 제 2 감압 밸브(440b)를 조절하도록 제 2 제어 밸브(420b) 및 제 2 감압 밸브(440b)는 제어부(450)와 전기적으로 연결되어 압력 조절부(400)에서 공급되는 유체의 압력에 따라 절단부(100)의 완충 범위를 제어하게 된다. 여기서 상기 제 1 포트(540a) 내지 제 2 포트(540b)로 공급되는 유체는 압축 공기, 질소, 아르곤, 기름 등이 될 수 있다.
상기와 같은 구성을 갖는 제 2 실시예의 스크라이빙 장치의 동작을 설명한다. 도 6은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 순서도이다. 도면을 참조하여 설명하면, 피절단재(W) 스크라이빙 시 스크라이빙 휠(140)이 피절단재(W)의 표면에 위치하게 되고 절단부(100)의 초음파 진동자(150)가 작동하게 된다. 이때, 상기 스크라이빙 휠(140)이 순간적으로 진동하여 피절단재(W)로부터 급격하게 튀어 오르는 경우가 발생하게 된다. 상기와 같이 스크라이빙 휠(140)이 급격하게 튀어 오르는 경우 절단부(100)를 지지하는 혼 홀더(160)를 통해 복동 실린더(500)의 로드(530)가 상부를 향해 이동된다.
상기 로드(530)의 이동에 따라 몸체(510) 내부에 설치된 피스톤(520)이 상부로 이동하게 되어, 제 2 포트(540b)와 연결된 몸체 내부의 용적이 감소하고 감소된 용적만큼 유체가 압축되어 그 내부 압력이 증가하게 되며, 이와는 반대로 제 1 포트(540a)와 연결된 몸체 내부의 용적이 증가하고 증가된 용적만큼 유체가 팽창되어 그 내부 압력이 감소하게 된다. 상기 제 1 포트(540a)와 연결된 몸체의 내부 압력이 감소하게 되면 유체 라인에 설치된 압력계(530)가 이를 감지하고 제어부(450)에 전기적 신호를 보내 제 1 제어 밸브(420a)를 폐쇄시키거나 제 1 포트(540a)와 연결된 몸체로 공급되는 유체량을 감소시켜 절단부(100)가 더 이상 튀어 오르지 않도록 상기 제 1 포트(540a)와 연결된 몸체 내부에 소정의 진공 상태를 만들어 완충하게 된다. 이와 함께, 제 1 포트(540a)와 연결된 몸체의 내부 압력이 감소하게 되면 제 2 포트(540b)와 연결된 몸체의 내부 압력은 증가하게 되는데, 경우에 따라서는 제 2 포트(540b)와 연결된 몸체의 내부 압력을 더욱 증가시키기 위해 제 2 제어 밸 브(420b)를 개방하거나 제 2 포트(540b)와 연결된 몸체로 공급되는 유체량을 증가시켜 피스톤(520)의 상승을 억제하여 완충하게 된다.
상기와 같이 절단부(100)의 튀어 오름이 완충되면 절단부(100)는 피절단재(W)를 향해 자유 낙하하게 되면서 피스톤(520)을 하강시키게 된다. 상기 피스톤(520)의 하강에 따라 제 1 포트(540a)와 연결된 몸체의 내부 용적이 감소하고 감소된 용적만큼 유체가 압축되어 그 내부 압력이 증가하게 된다. 이와 함께 제 2 포트(540b)와 연결된 몸체의 내부 용적은 증가하고 증가된 용적만큼 유체가 팽창되어 그 내부 압력이 감소하게 된다. 상기와 같은 제 1, 2 포트(540a, 540b)와 연결된 몸체의 내부 압력 변화를 제 1 압력계(430a) 및 제 2 압력계(430b)가 각각 감지하고 제어부(450)에 전기적 신호를 보내 제 1 제어 밸브(420a)를 개방시키거나 제 1 제어 밸브(420a)의 유체 공급량을 증가시켜 절단부(100)에서 피절단재로 가해지는 충격이 일정하도록 절단부(100)의 자유 낙하 속도를 감속시키게 된다.
이때, 제1 포트(540a)와 연결된 몸체의 내부 압력이 급격히 증가하여 그 내부 압력이 설정압력범위보다 높은 경우 절단부(100)의 자유 낙하 속도가 급격히 감속되어 피절단재(W)에 수직 크랙 형성이 원활치 않게 된다. 상기와 같은 경우 제 1 압력계(430a)가 이를 측정하여 제어부(450)를 통해 제 1 감압 밸브(440a)를 개방시켜 제 1 포트(540a)와 연결된 몸체의 내부 유체를 외부로 배기시켜 압력을 감소시킬 수 있으며, 상기 설정압력범위는 제 1 실시예와 마찬가지로 피절단재(W)의 특성에 따라 그 범위를 다르게 제어할 수도 있을 것이다.
즉, 스크라이빙이 시작되면, 앞서 설명한 바와 같이 절단부(100)의 튀어 오 름에 따라 유체 댐퍼 즉, 복동 실린더(500) 내부의 압력이 변하게 되고, 이를 제 1 압력계(430a) 및 제 2 압력계(430b)가 측정(S100)하고 제어부(450)에 전기적 신호를 보내어 미리 설정된 설정압력범위(f)와 제 1 압력계에서 측정된 압력(e)을 비교(S110)하게 되는데, 제 1 압력계에서 측정된 압력(e)이 설정범위(f)보다 작은 경우 제 1 제어 밸브(420a)를 폐쇄(S120)하여 제 1 포트(420a)와 연결된 몸체 내의 압력을 감소(S130)시켜 제 1 포트와 연결된 몸체 내부를 소정의 진공 상태로 만들어 절단부(100)의 튀어 오름을 완충하게 된다. 이와 함께, 제 2 압력계(430b)에서 측정된 압력이 설정범위(f)보다 큰 경우 제 2 제어 밸브(420b)를 개방(S120)하여 제 2 포트와 연결된 몸체 내의 압력을 증가(S130)시켜 피스톤(520)의 상승을 억제하게 된다.
이와는 반대로 튀어 오름이 완충된 절단부(100)가 정점에서 자유 낙하함에 따라 제 1 압력계(430a) 및 제 2 압력계(430b)가 측정하게 제 1 압력계에서 측정된 압력(e)이 설정범위(f)보다 큰 경우 제 1 제어 밸브(430a)를 개방(S140)하여 제 1 포트와 연결된 몸체 내의 압력을 증가(S150)시켜 절단부(100)의 자유 낙하 속도를 감속시킨다. 이와 함께, 제 2 압력계(430b)에서 측정된 압력이 설정범위(f)보다 작은 경우 제 2 제어 밸브(420b)를 폐쇄하여 제 2 포트와 연결된 몸체 내부에 소정의 진공 상태를 만들어 피스톤의 하강 속도를 늦추게 된다.
이러한 상태에서 복동 실린더 내부의 압력을 제 1 압력계(430a)가 재측정하게 되고 재측정된 압력(g)을 절단부(100)의 자유 낙하에 따른 복동 실린더(500) 내의 적정 압력 범위(h)와 비교하게 된다. 이때 제 1 압력계(420a)에서 재측정된 압 력(g)이 설정범위(h)보다 큰 경우 제 1 감압 밸브(440a)를 개방하여 제 1 포트(540a)와 연결된 몸체 내의 압력을 감소시켜 절단부(100)가 적정한 속도로 자유 낙하할 수 있도록 제어하게 된다.
그리고, 제 1 실시예에서 설명한 바와 같이, 피절단재(W)의 평탄도가 균일하지 않은 경우 스크라이빙 휠(140)이 피절단재(W)를 타격하는 힘이 일정하도록 절단부(100)의 높이를 피절단재(W)의 평탄도에 따라 압력 조절부(400)가 조절하게 되는 바, 스크라이빙 휠(140)은 피절단재(W)의 표면 굴곡의 고저에 영향을 받아 복동 실린더(500)의 제 1 포트와 연결된 몸체 내부 압력이 달라지고 이를 제 1 압력계(430)가 측정하여 제어부(450)에 전기적 신호를 보내 제 1 제어 밸브(420a) 내지 제 1 감압 밸브(440a)를 제어하여 피절단재(W)의 평탄도에 따라 절단부(100)의 높이를 조절하게 된다.
이와 같이 피절단재(W)의 평탄도에 따라 복동 실린더(500) 내부 압력이 조정되면 피스톤(520)이 상향 이동 내지 하향 이동하게 되고, 상기 피스톤(520)의 승강 높이 만큼 로드(530)가 활주하게 된다. 이에 따라서 로드(530)에 고정된 혼 홀더(130)가 승강하여 피절단재(W)의 표면을 타격하는 스크라이빙 휠(140)이 피절단재(W)의 표면으로부터 소정 높이 만큼 상승할 수 있도록 제어된다. 따라서, 피절단재(W)의 평탄도에 따라 제어부(450)의 높이가 능동적으로 조절되고 이로부터 스크라이빙 휠(140)이 피절단재(140)를 타격하는 힘이 거의 일정하여 정밀하고 깨끗하게 피절단재를 절단할 수 있게 된다.
한편, 본 발명은 상술한 실시예로서만 한정되는 것이 아니라 본 발명의 요지 를 벗어나지 않는 범위 내에서 수정 및 변형하여 실시할 수 있고, 그러한 수정 및 변형이 가해진 것도 본 발명의 기술적 사상에 속하는 것으로 보아야 한다.
본 발명에 의한 스크라이빙 장치 및 방법에 의하면, 절단 초기에 스크라이빙 휠에서 피절단재로 가해지는 급격한 충격을 완충하여 피절단재의 절단 불량을 방지하고, 피절단재의 평탄도에 따라 절단부의 높이가 능동적으로 조절되어 스크라이빙 휠이 피절단재를 타격하는 힘이 항상 일정하여 길이가 긴 피절단재에 있어서 한 번의 스크라이빙으로 피절단재를 정밀하고 깨끗하게 절단할 수 있다.
이와 함께 피절단재의 재질, 강도, 두께 등과 같은 특성에 따라 유체 댐퍼 내의 압력을 설정할 수 있어 스크라이빙 휠에서 피절단재로 가해지는 충격량을 최적화시킬 수 있는 효과가 있다.

Claims (16)

  1. 피절단재가 위치하는 스테이지와,
    상기 스테이지 상에 설치되는 지지 유닛과,
    상기 지지 유닛에 설치되고 피절단재를 스크라이빙하는 절단부와,
    상기 절단부에 연결되는 유체 댐퍼와,
    상기 유체 댐퍼로 공급되는 유체의 공급 압력을 조절하는 압력 조절부를 포함하고,
    상기 절단부는,
    스크라이빙 휠과 초음파 진동자와 혼을 포함하고, 상기 혼과 지지 유닛 사이에 상기 유체 댐퍼가 연결되는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
  2. 삭제
  3. 청구항 1 에 있어서,
    상기 압력 조절부는,
    유압원과,
    상기 유압원과 유체 덤퍼 사이에 설치되는 제어 밸브와,
    상기 유체 댐퍼와 제어 밸브 사이에 설치되어 유체 댐퍼의 압력을 측정하는 압력계와,
    상기 압력계에서 측정된 압력에 따라 제어 밸브를 조절하는 제어부를 포함하는 스크라이빙 장치.
  4. 청구항 3 에 있어서,
    상기 유체 댐퍼와 제어 밸브 사이에 감압 밸브가 설치되는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
  5. 청구항 1 에 있어서,
    상기 유체 댐퍼는 단동 실린더인 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
  6. 청구항 5 에 있어서,
    상기 단동 실린더는 스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
  7. 청구항 1 에 있어서,
    상기 유체 댐퍼는 복동 실린더인 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
  8. 청구항 5 내지 청구항 7 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 유체 댐퍼에는 상기 스크라이빙 휠의 진동 방향과 평행하게 실린더 로드가 설치되는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
  9. 청구항 7 에 있어서,
    상기 복동 실린더는 제 1 포트와 제 2 포트를 포함하고,
    상기 압력 조절부는,
    유압원과,
    상기 제 1 포트와 상기 유압원 사이에 설치되는 제 1 제어 밸브와,
    상기 제 1 포트와 제 1 제어 밸브 사이에 설치되어 제 1 포트의 압력을 측정하는 제 1 압력계와,
    상기 제 2 포트와 상기 유압원 사이에 설치되는 제 2 제어 밸브와,
    상기 제 2 포트와 제 2 제어 밸브 사이에 설치되어 제 2 포트의 압력을 측정하는 제 2 압력계와,
    상기 제 1, 2 압력계에서 측정된 압력에 따라 제 1, 2 제어 밸브를 조절하는 제어부를 포함하는 스크라이빙 장치.
  10. 청구항 9 에 있어서,
    상기 제 1, 2 포트와 제 1, 2 제어 밸브 사이에 제 1, 2 감압 밸브가 각각 설치되는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
  11. 절단부 하방에 피절단재가 마련되는 단계와,
    절단부가 피절단재를 스크라이빙하는 단계와,
    상기 절단부가 스크라이빙을 개시하면 절단부와 연결된 유체 댐퍼의 압력을 측정하는 단계와,
    상기 측정 압력에 따라 유체 댐퍼로 공급되는 유체의 공급 압력을 제어하는 단계를 포함하는 스크라이빙 방법.
  12. 청구항 11 에 있어서,
    상기 유체의 공급 압력을 제어하는 단계는,
    상기 측정 압력이 설정압력범위를 벗어나면 유체의 공급 압력을 증감하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 방법.
  13. 청구항 11 에 있어서,
    상기 유체의 공급 압력을 제어하는 단계는,
    상기 측정 압력 중 설정압력범위에서 벗어난 값만큼 유체의 공급 압력을 증감하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 방법.
  14. 청구항 12 에 있어서,
    상기 유체 댐퍼는 복동 실린더를 포함하고,
    상기 복동 실린더의 제 1 포트와 제 2 포트 각각에 유체를 공급하는 단계와,
    상기 절단부의 스크라이빙에 따라 제 1 포트와 제 2 포트 각각의 압력을 측정하는 단계와,
    상기 제 1,2 포트 각각에서 측정된 압력에 따라 복동 실린더로 공급되는 유체의 공급 압력을 제어하는 단계를 포함하는 스크라이빙 방법.
  15. 청구항 13 에 있어서,
    상기 제 1,2 포트 각각에서 측정된 압력 중 설정압력범위에서 벗어난 값만큼 제 1 포트 또는 제 2 포트 중 적어도 어느 하나로 공급되는 유체의 공급 압력을 증감하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 방법.
  16. 삭제
KR1020070060863A 2007-06-21 2007-06-21 스크라이빙 장치 및 방법 KR100869575B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070060863A KR100869575B1 (ko) 2007-06-21 2007-06-21 스크라이빙 장치 및 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070060863A KR100869575B1 (ko) 2007-06-21 2007-06-21 스크라이빙 장치 및 방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR100869575B1 true KR100869575B1 (ko) 2008-11-21

Family

ID=40284513

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020070060863A KR100869575B1 (ko) 2007-06-21 2007-06-21 스크라이빙 장치 및 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100869575B1 (ko)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19990029176A (ko) * 1997-09-25 1999-04-26 테라마치 아키히로 스크라이브장치
JP2002316829A (ja) 2001-04-17 2002-10-31 Seiko Epson Corp ガラス基板の切断方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器、およびスクライブ溝形成装置
JP2004224592A (ja) 2003-01-20 2004-08-12 Nakamura Tome Precision Ind Co Ltd 硬質脆性板の振動スクライブ方法及び装置
JP2005001901A (ja) 2003-06-09 2005-01-06 Nakamura Tome Precision Ind Co Ltd 付圧力自動変更機能を備えたスクライブ装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19990029176A (ko) * 1997-09-25 1999-04-26 테라마치 아키히로 스크라이브장치
JP2002316829A (ja) 2001-04-17 2002-10-31 Seiko Epson Corp ガラス基板の切断方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器、およびスクライブ溝形成装置
JP2004224592A (ja) 2003-01-20 2004-08-12 Nakamura Tome Precision Ind Co Ltd 硬質脆性板の振動スクライブ方法及び装置
JP2005001901A (ja) 2003-06-09 2005-01-06 Nakamura Tome Precision Ind Co Ltd 付圧力自動変更機能を備えたスクライブ装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20110095062A1 (en) Breaking apparatus and breaking method
KR100573986B1 (ko) 스크라이브 헤드 및 그 스크라이브 헤드를 이용한 스크라이브 장치 및 스크라이브 방법
TWI477461B (zh) 用於玻璃基底的裂片設備
TWI380958B (zh) 劃線裝置
JP2010232603A (ja) 基板固定装置
JP2006110980A (ja) スクライブ装置
JP5272196B2 (ja) 切断装置
WO2006102813A1 (fr) Appareil d&#39;oscillation pour moule de moulage continu
US10226975B2 (en) Fitting device for tire assembly and fitting method for tire assembly
JP2000264656A (ja) スクライブ方法および装置
KR20010050002A (ko) 스크라이브 장치
WO2021147475A1 (zh) 落砂装置
KR100905552B1 (ko) 스크라이브 장치
KR100869575B1 (ko) 스크라이빙 장치 및 방법
KR100745577B1 (ko) 자기식 압력 조절 스크라이버
JP2017509490A (ja) 高い運動エネルギーを利用した材料加工のための打撃ユニット及び方法
KR20020013400A (ko) 취성재료 절단용 커터, 이를 사용한 스크라이버 및스크라이브 방법
JP2003267742A (ja) 硬質脆性板のスクライブ方法
JP2000239034A (ja) ガラス基板切断方法及びその装置
JP4397074B2 (ja) 昇降装置
KR101010787B1 (ko) 변위감응기를 이용한 스크라이빙 방법 및 장치
CN105729133B (zh) 一种嵌入地面式机床双向减震缓冲底座
JP2012061822A (ja) スクライブヘッドおよびこれを用いたスクライブ装置
JP4763653B2 (ja) 金型鋳造製品の振動式分離装置
KR101519993B1 (ko) 초음파 성형 가공 장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20121121

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20131031

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20141208

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20161210

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20171107

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181105

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20191109

Year of fee payment: 12