KR100868550B1 - Photosensitive insulative paste composition and photosensitive film using the same - Google Patents

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류마 미즈사와
아키라 구마자와
히토시 세츠다
히로유키 오비야
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도쿄 오카 고교 가부시키가이샤
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Abstract

알칼리 현상액 또는 물에 현상될 수 있는 감광성 절연 페이스트 조성물은 두껍지만 여전히 높은 감광성의 층, 따라서 고정밀 패턴을 형성하는데 사용될 수 있다. 감광성 절연 페이스트 조성물은 유기 성분과 무기 분말을 함유하고, 유기 성분은 (A) 수용성 셀룰로오스 유도체, (B) 20000 이하의 분자량을 갖는 수산기 함유 아크릴 수지, (C) 광중합성 모노머, 및 (D) 광중합 개시제를 포함한다.Photosensitive insulating paste compositions that can be developed in alkaline developer or water can be used to form thick but still high photosensitive layers, thus high precision patterns. The photosensitive insulating paste composition contains an organic component and an inorganic powder, and the organic component includes (A) a water-soluble cellulose derivative, (B) a hydroxyl group-containing acrylic resin having a molecular weight of 20000 or less, (C) a photopolymerizable monomer, and (D) a photopolymerization. It includes an initiator.

감광성 절연 페이스트 조성물, 감광성 막Photosensitive Insulation Paste Composition, Photosensitive Film

Description

감광성 절연 페이스트 조성물 및 이를 사용하는 감광성 막{Photosensitive insulative paste composition and photosensitive film using the same}Photosensitive insulative paste composition and photosensitive film using the same

본 발명은 감광성 절연 페이스트 조성물 및 이를 사용하는 감광성 막에 관한 것이다. 더욱 구체적으로, 본 발명은 두꺼운 층들에서도 고정밀도의 패턴을 형성하는데 충분히 높은 민감성을 가지며 무기 분말과 현상액에 매우 높은 저항성을 가진 유기 성분을 포함하는 감광성 절연 페이스트 조성물에 관한 것이다. 또한 본 발명은 감광성 절연 페이스트 조성물을 사용하는 감광성 막에 관한 것이다.The present invention relates to a photosensitive insulating paste composition and a photosensitive film using the same. More specifically, the present invention relates to a photosensitive insulating paste composition comprising an organic component having a sufficiently high sensitivity to form a high precision pattern even in thick layers and having a very high resistance to an inorganic powder and a developer. The present invention also relates to a photosensitive film using the photosensitive insulating paste composition.

스크린 인쇄 및 포토리소그래피와 같은 기술들은 두꺼운 다층 회로 및 다양한 디스플레이 패널에 전통적으로 사용되고 있다. 스크린 인쇄에서, 원하는 패턴은 무기 입자들을 함유하는 광경화성 절연 페이스트를 사용하여 기판에 스크린 인쇄된다. 포토리소그래피에서, 기판에 사용된 광경화성 절연 페이스트 조성물은 기판에 원하는 패턴을 현상하기 위해 포토마스크를 통해 자외선과 같은 활성 광선으로 조사된다.Techniques such as screen printing and photolithography are traditionally used in thick multilayer circuits and various display panels. In screen printing, the desired pattern is screen printed onto the substrate using a photocurable insulating paste containing inorganic particles. In photolithography, the photocurable insulating paste composition used for the substrate is irradiated with actinic light such as ultraviolet light through a photomask to develop a desired pattern on the substrate.

디스플레이 패널, 플라즈마 디스플레이 패널(이후에 간단히 "PDPs"로 부름)의 다른 형태들은 상대적으로 간단한 구조이어서 대형 디스플레이에 적합하다. PDPs는 단지 고품질 이미지가 아니라 색감이 고품질인 이미지를 디스플레이할 수 있는 발광 소자들이다. 이런 유리한 특징들 때문에, PDPs는 상당한 주목을 받고 있으며 더 정교한 이미지를 디스플레이할 수 있는 더 큰 플라즈마 디스플레이를 개발하기 위해서 여러 제안들이 이루어졌다.Other forms of display panels, plasma display panels (hereinafter simply referred to as "PDPs") are relatively simple structures and are suitable for large displays. PDPs are not only high quality images, but light emitting devices capable of displaying high quality images. Because of these advantageous features, PDPs have received considerable attention and several proposals have been made to develop larger plasma displays capable of displaying more sophisticated images.

PDP는 두 개의 대면하는 기판들을 포함하며, 그 사이에 여러 디스플레이 셀들이 절연성 격벽에 의해 형성된다. 각 셀들은 사진 요소로 작용하며 플라즈마에 의해 방출되는 UV 복사선에 노출되어 발광하는 형광 물질을 함유한다. 전극, 레지스터, 유전체 및 플라즈마를 발생시키는데 필요한 다른 성분들은 기판상에 놓이거나 셀 내부에 놓인다. 고정밀 PDP를 생산하기 위해서, 격벽, 전극, 레지스터, 유전체, 형광 물질, 색 필터 및 블랙 매트릭스를 포함하는 구성요소들은 정밀하게 생산될 필요가 있다(이런 구성요소들은 이후에서 "격벽 등"으로 일괄하여 불린다). 이를 위해서, 격벽 등을 형성하는 패턴들 또한 정확하게 형성되어야 한다.PDPs include two facing substrates, between which display cells are formed by insulating barrier ribs. Each cell contains a fluorescent substance that acts as a photographic element and emits light upon exposure to UV radiation emitted by the plasma. The electrodes, resistors, dielectrics and other components needed to generate the plasma are placed on the substrate or inside the cell. In order to produce high precision PDPs, components including bulkheads, electrodes, resistors, dielectrics, fluorescent materials, color filters and black matrices need to be produced precisely (these components are later collectively referred to as "bulk walls"). Is called). For this purpose, the patterns forming the partition wall or the like must also be formed accurately.

통상적인 스크린 인쇄 기술에서, 페이스트 조성물의 소정의 패턴들은 다층 패턴을 형성하기 위해 다른 것의 상부에 인쇄된 패턴이다. 고정밀 패턴을 형성하기 위해 이런 패턴들을 정확하게 배열하는 것이 어렵다. 또한 포토리소그래피 기술들은 격벽 등을 형성하는 막 재료의 두꺼운 층의 민감성은 깊이를 따라 감소하는 단점을 가진다. 또한 이것이 고정밀 패턴들을 형성하는 것을 어렵게 한다. 또한, 포토리소그래피는 현상액으로서 트라이클로로에테인과 같은 고가의 유기 용매들을 필요로 한다. 이것이 생산 비용을 증가시킨다. 또한 이런 유기 용매들은 환경 오염을 일으키고 신체에 해롭다.In conventional screen printing techniques, certain patterns of the paste composition are patterns printed on top of others to form a multilayer pattern. It is difficult to arrange these patterns accurately to form a high precision pattern. Photolithography techniques also have the disadvantage that the sensitivity of thick layers of film material to form barrier ribs and the like decreases with depth. This also makes it difficult to form high precision patterns. Photolithography also requires expensive organic solvents such as trichloroethane as developer. This increases the production cost. These organic solvents also cause environmental pollution and are harmful to the body.

유기 용매들을 사용하는 현상 공정과 관련된 이런 문제들을 해결하기 위해 서, 수용액에서 현상될 수 있는 광경화성 절연 페이스트 조성물이 제안되었다. 이 조성물은 메틸 셀룰로오스와 같은 수용성 셀룰로오스, 광중합성 모노머, 광중합 개시제 및 무기 분말을 함유한다(예를 들어, 특허 문헌 1(일본 특개평 공보 제 쇼 63-265238) 참조). 그러나, 이 조성물은 현상액에 대해 충분한 저항성을 갖지 않는다. 따라서, 이런 문제뿐만 아니라 이미지 영역의 디졸브와 잘못된 정열에 의해 발생되는 스크린 인쇄에서 격벽의 부정확한 형성 문제를 해결할 수 있는 발생 감광성 절연 페이스트 조성물이 제안되었다. 이 조성물은 수용성 셀룰로오스 유도체, 광중합성 모노머, 수산기 함유 아크릴 수지, 광중합 개시제 및 무기 분말을 함유한다(예를 들어, 특허 문헌 2(일본 특개평 공보 제 2002-328470) 참조).In order to solve these problems associated with the developing process using organic solvents, a photocurable insulating paste composition that can be developed in an aqueous solution has been proposed. This composition contains a water-soluble cellulose such as methyl cellulose, a photopolymerizable monomer, a photopolymerization initiator and an inorganic powder (see, for example, Patent Document 1 (Japanese Patent Laid-Open No. 63-265238)). However, this composition does not have sufficient resistance to the developer. Therefore, a development photosensitive insulating paste composition has been proposed that can solve not only this problem but also the problem of incorrect formation of partition walls in screen printing caused by dissolution and misalignment of the image area. This composition contains a water-soluble cellulose derivative, a photopolymerizable monomer, a hydroxyl group containing acrylic resin, a photoinitiator, and an inorganic powder (for example, refer patent document 2 (Unexamined-Japanese-Patent No. 2002-328470)).

그러나, 특허 문헌 2에 개시된 감광성 절연 페이스트 조성물은 수용성 셀룰로오스 유도체와 수산기 함유 친수성 아크릴 수지의 혼합된 양(= 100 중량부)에 대해 50 중량부 이상의 양으로 수산기 함유 친수성 아크릴 수지를 함유한다면 현상 공정 동안에 잔류물을 형성한다. 아크릴 수지는 본 조성물이 현상액에 대해 더욱 저항성을 갖도록 하기 위해 첨가된다. 이 잔류물은 현상 공정을 방해한다.However, if the photosensitive insulating paste composition disclosed in Patent Document 2 contains a hydroxyl group-containing hydrophilic acrylic resin in an amount of 50 parts by weight or more relative to the mixed amount (= 100 parts by weight) of the water-soluble cellulose derivative and the hydroxyl group-containing hydrophilic acrylic resin, Form residue. Acrylic resin is added to make the present composition more resistant to the developer. This residue interferes with the development process.

현재 최신 기술을 고려하면, 본 발명자들은 상기한 문제들을 해결하기 위한 방법들을 찾는데 상당한 노력을 기울이고 있다. 이 노력을 통해 결국 수산기 함유 아크릴 수지가 20000을 초과하지 않는 분자량을 갖는 한, 본 조성물이 (수용성 셀룰로오스 유도체와 수산기 함유 아크릴 수지의 혼합된 양(= 100 중량부)에 대한) 수산기 함유 아크릴 수지의 90 내지 50 중량부를 함유할지라도 본 조성물은 현상 공정을 지체시키지 않으며 본 조성물의 현상액 저항성은 수산기 함유 아크릴 수지의 양을 (수용성 셀룰로오스 유도체와 수산기 함유 아크릴 수지의 혼합된 양(= 100중량부)에 대한) 50 중량부 이상의 양으로 조절함으로써 향상될 수 있다는 사실을 발견하였다. 본 발명은 이런 발견을 기초로 한다.Given the current state of the art, the inventors are making considerable efforts to find ways to solve the above problems. Through this effort, as long as the hydroxyl group-containing acrylic resin has a molecular weight not exceeding 20000, the composition of the hydroxyl group-containing acrylic resin (relative to the mixed amount (= 100 parts by weight) of the water-soluble cellulose derivative and the hydroxyl group-containing acrylic resin) Even if it contains 90 to 50 parts by weight, the composition does not delay the development process, and the developer resistance of the composition is equal to the amount of hydroxyl group-containing acrylic resin (to a mixed amount of water-soluble cellulose derivative and hydroxyl group-containing acrylic resin (= 100 parts by weight)). It has been found that it can be improved by adjusting the amount to 50 parts by weight or more. The present invention is based on this finding.

따라서 본 발명의 목적은 비록 본 발명의 조성물이 상당량의 친수성 수지 성분을 함유할지라도 알칼리 현상액 또는 물에서 현상될 수 있고 두껍지만 막 재료의 여전히 고민감성 층을 형성할 수 있어서 고정밀 패턴들에 적합한 감광성 절연 페이스트 조성물을 제공하는 것이다. 본 발명의 다른 목적은 이런 감광성 절연 페이스트 조성물을 사용하여 감광성 막을 제공하는 것이다.It is therefore an object of the present invention that, although the composition of the present invention may contain a significant amount of hydrophilic resin component and can be developed in alkaline developer or water and is thick, it can still form a highly sensitive layer of membrane material, suitable for high precision patterns. It is to provide an insulation paste composition. Another object of the present invention is to provide a photosensitive film using such a photosensitive insulating paste composition.

본 발명에 따른 감광성 절연 페이스트 조성물은 유기 성분과 무기 분말을 함유한다. 상기 유기 성분은 (A) 수용성 셀룰로오스 유도체, (B) 20000 이하의 분자량을 갖는 수산기 함유 아크릴 수지, (C) 광중합성 모노머, 및 (D) 광중합 개시제를 포함한다. 바람직하게는, 감광성 절연 페이스트 조성물은 유기 성분으로 성분(A) 및 성분(B)의 혼합된 양(= 100 중량부)에 대해 각각 10 내지 50 중량부 및 90 내지 50 중량부로 성분(A) 및 성분(B)를 함유한다. The photosensitive insulating paste composition according to the present invention contains an organic component and an inorganic powder. The said organic component contains (A) water-soluble cellulose derivative, (B) hydroxyl-containing acrylic resin which has a molecular weight of 20000 or less, (C) photopolymerizable monomer, and (D) photoinitiator. Preferably, the photosensitive insulating paste composition comprises 10 to 50 parts by weight and 90 to 50 parts by weight relative to the mixed amount (= 100 parts by weight) of component (A) and component (B) as organic components, respectively. Component (B) is contained.

바람직하게는, 본 발명의 감광성 절연 페이스트 조성물에 사용하기 위한 무기 분말은 유기 분말이고 조성물은 유기 성분으로 성분(A) 및 성분(C)의 혼합된 양(= 100 중량부)에 대해 각각 10 내지 50 중량부 및 90 내지 50 중량부로 성분(A) 및 성분(C)를 함유한다.Preferably, the inorganic powder for use in the photosensitive insulating paste composition of the present invention is an organic powder and the composition is 10 to 10 parts by weight, respectively, with respect to the mixed amount of components (A) and (C) as organic components (= 100 parts by weight). 50 parts by weight and 90 to 50 parts by weight of component (A) and component (C).

바람직하게는, 본 발명의 감광성 절연 페이스트 조성물은 유기 성분과 무기 분말의 혼합된 양(= 100 중량부)에 대해 각각 5 내지 35 중량부 및 95 내지 65 중량부의 양으로 유기 성분과 무기 분말을 함유한다.Preferably, the photosensitive insulating paste composition of the present invention contains the organic component and the inorganic powder in amounts of 5 to 35 parts by weight and 95 to 65 parts by weight, respectively, relative to the mixed amount (= 100 parts by weight) of the organic component and the inorganic powder. do.

본 발명의 감광성 막은 상기한 감광성 절연 페이스트 조성물은 지지 막에 형성된다는 것을 특징으로 한다.The photosensitive film of the present invention is characterized in that the above-mentioned photosensitive insulating paste composition is formed on a supporting film.

본 발명의 감광성 절연 페이스트 조성물은 물 또는 알칼리 현상액에서 고정밀 패턴들을 현상하는 사용될 때 우수한 성능을 나타낸다: 본 조성물은 두껍지만 여전히 고민감성의 고정밀 절연 패턴들을 형성하는데 사용될 수 있다. 따라서, 본 발명의 감광성 절연 페이스트 조성물은 고정밀 PDPs를 저가로 생산할 수 있고 따라서 중요한 산업적 가치가 있다. The photosensitive insulating paste composition of the present invention shows excellent performance when used to develop high precision patterns in water or alkaline developer: The composition can be used to form thick but still highly sensitive high precision insulating patterns. Therefore, the photosensitive insulating paste composition of the present invention can produce high precision PDPs at low cost and thus has important industrial value.

본 발명의 예시적 실시예들을 기술할 것이다.Exemplary embodiments of the invention will be described.

본 발명의 감광성 절연 페이스트 조성물은 유기 성분과 무기 성분을 함유한다. 유기 성분은 (A) 수용성 셀룰로오스 유도체, (B) 20000 이하의 분자량을 가진 수산기 함유 아크릴 수지, (C) 광중합성 모노머 및 (D) 광중합 개시제를 포함한다.The photosensitive insulating paste composition of this invention contains an organic component and an inorganic component. The organic component includes (A) a water-soluble cellulose derivative, (B) a hydroxyl group-containing acrylic resin having a molecular weight of 20000 or less, (C) a photopolymerizable monomer and (D) a photopolymerization initiator.

접합제 수지로 작용하는 수용성 셀룰로오스 유도체를 함유하기 때문에, 본 발명의 감광성 절연 페이스트 조성물은 자외선, 엑시머 레이저, X-레이, 전자빔, 및 다른 활성 광선에 대한 높은 투과성을 나타내며 통상적인 아크릴 수지계 감광성 절연 페이스트 조성물보다 더 높은 현상액 저항성을 나타낸다. 이런 이유로, 본 발명의 조성물은 매우 정확한 패턴들을 형성할 수 있다. Since it contains a water-soluble cellulose derivative which acts as a binder resin, the photosensitive insulating paste composition of the present invention exhibits high transmittance to ultraviolet rays, excimer lasers, X-rays, electron beams, and other active rays, and is a conventional acrylic resin photosensitive insulating paste. It exhibits higher developer resistance than the composition. For this reason, the composition of the present invention can form very accurate patterns.

본 발명의 감광성 절연 페이스트 조성물은 성분(B)으로 작용하는 20000 이하의 분자량을 가진 수산기 함유 아크릴 수지를 사용하여, 본 조성물이 수용성 셀룰로오스 유도체와 수산기 함유 아크릴 수지의 혼합된 양(= 100 중량부, 이후에는 "수지 성분들의 전체량"으로 부름)에 대해 50 중량부 이상의 성분(B)를 함유할지라도 현상 공정을 방해하지 않는다. 또한, 본 페이스트 조성물은 친수성 수지인 성분(B)의 양을 수지 성분들의 전체량(=100 중량부)에 대해 50 중량부 이상의 양으로 조절함으로써 향상된 현상성을 나타낼 수 있다.The photosensitive insulating paste composition of the present invention uses a hydroxyl group-containing acrylic resin having a molecular weight of 20000 or less, which acts as component (B), so that the composition contains a mixed amount of water-soluble cellulose derivative and hydroxyl group-containing acrylic resin (= 100 parts by weight, Thereafter, even if it contains more than 50 parts by weight of component (B), referred to as "the total amount of resin components", it does not interfere with the development process. In addition, the present paste composition can exhibit improved developability by adjusting the amount of component (B), which is a hydrophilic resin, to an amount of 50 parts by weight or more relative to the total amount of resin components (= 100 parts by weight).

성분(A)로 작용하는 수용성 셀룰로오스 유도체는 카복시메틸 셀룰로오스, 하이드록시에틸 셀룰로오스, 하이드록시에틸 메틸 셀룰로오스, 하이드록시프로필 셀룰로오스, 에틸하이드록시 에틸 셀룰로오스, 카복시메틸 에틸 셀룰로오스 및 하이드록시프로필 메틸 셀룰로오스를 포함하는 임의의 공지된 수용성 셀룰로오스 유도체일 수 있다. 이런 셀룰로오스 유도체들은 개별적으로 또는 둘 이상의 유도체의 혼합물로 사용될 수 있다.Water-soluble cellulose derivatives which act as component (A) include carboxymethyl cellulose, hydroxyethyl cellulose, hydroxyethyl methyl cellulose, hydroxypropyl cellulose, ethylhydroxy ethyl cellulose, carboxymethyl ethyl cellulose and hydroxypropyl methyl cellulose It may be any known water soluble cellulose derivative. These cellulose derivatives can be used individually or in mixtures of two or more derivatives.

성분(B)로 작용하는 수산기 함유 아크릴 수지는 통상적으로 20000 이하, 바람직하게는 5000 내지 15000, 및 더욱 바람직하게는 8000 내지 12000의 분자량을 가진다. 만일 성분(B)의 분자량이 20000을 초과하고 수산기 함유 아크릴 수지의 양이 수용성 셀룰로오스 유도체와 수산기 함유 아크릴 수지의 혼합된 양(=100 중량부)에 대해 50 중량부 이상인 경우, 상기 조성물의 현상성은 감소될 수 있고 원치 않는 잔류물이 형성될 수 있다.The hydroxyl group-containing acrylic resin serving as component (B) usually has a molecular weight of 20000 or less, preferably 5000 to 15000, and more preferably 8000 to 12000. If the molecular weight of component (B) exceeds 20000 and the amount of hydroxyl-containing acrylic resin is 50 parts by weight or more based on the mixed amount (= 100 parts by weight) of the water-soluble cellulose derivative and the hydroxyl-containing acrylic resin, the developability of the composition is It can be reduced and unwanted residue can be formed.

수산기 함유 아크릴 수지는 주요 공중합성 모노머로 작용하는 수산기 함유 모노머의 중합에 의해 얻은 공중합체일 수 있다. 만일 필요하다면, 수산기 함유 모노머와 공중합할 수 있는 다른 모노머들이 사용될 수 있다.The hydroxyl group-containing acrylic resin may be a copolymer obtained by polymerization of a hydroxyl group-containing monomer serving as a main copolymerizable monomer. If necessary, other monomers capable of copolymerizing with hydroxyl group containing monomers can be used.

수산기 함유 모노머의 바람직한 예들은 하이드록시메틸 아크릴산염, 하이드록시메틸 메타크릴산염, 2-하이드록시에틸 아크릴산염, 2-하이드록시에틸 메타크릴산염, 2-하이드록시프로필 아크릴산염, 2-하이드록시프로필 메타크릴산염, 3-하이드록시프로필 아크릴산염, 3-하이드록시프로필 메타크릴산염, 2-하이드록시뷰틸 아크릴산염, 2-하이드록시뷰틸 메타크릴산염, 3-하이드록시뷰틸 아크릴산염, 3-하이드록시뷰틸 메타크릴산염, 4-하이드록시뷰틸 아크릴산염, 및 4-하이드록시뷰틸 메타크릴산염을 포함하는 아크릴산 또는 메타크릴산과 1 내지 20개 탄소 원자들을 가진 1가 알콜의 반응에 의해 형성된 모노 에스터들이다.Preferred examples of hydroxyl group-containing monomers are hydroxymethyl acrylate, hydroxymethyl methacrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, 2-hydroxypropyl Methacrylate, 3-hydroxypropyl acrylate, 3-hydroxypropyl methacrylate, 2-hydroxybutyl acrylate, 2-hydroxybutyl methacrylate, 3-hydroxybutyl acrylate, 3-hydroxy Monoesters formed by the reaction of acrylic acid or methacrylic acid, including butyl methacrylate, 4-hydroxybutyl acrylate, and 4-hydroxybutyl methacrylate with monohydric alcohols having 1 to 20 carbon atoms.

수산기 함유 모노머의 다른 바람직한 예들은 글리세롤 아크릴산염, 글리세롤 메타크릴산염, 다이펜타에리트리톨 모노아크릴산염, 다이펜타에리트리톨 모노메타크릴산염,ε-카프로락톤-변형 하이드록시에틸 아크릴산염, ε-카프로락톤-변형 하이드록시에틸 메타크릴산염, 및 2-하이드록시-3-페녹시프로필 아크릴산염을 포함하는 아크릴산 또는 메타크릴산과 1 내지 10개 탄소 원자들을 가진 글리콜의 반응에 의해 형성된 모노 에스터들이다.Other preferred examples of hydroxyl group containing monomers are glycerol acrylate, glycerol methacrylate, dipentaerythritol monoacrylate, dipentaerythritol monomethacrylate, ε-caprolactone-modified hydroxyethyl acrylate, ε-caprolactone Monoesters formed by the reaction of modified hydroxyethyl methacrylate, and acrylic or methacrylic acid, including 2-hydroxy-3-phenoxypropyl acrylate, with glycols having from 1 to 10 carbon atoms.

수산기 함유 모노머와 공중합할 수 있는 다른 모노머들의 바람직한 예들은 예를 들어, 아크릴산, 메타크릴산, 이타콘산, 시트라콘산, 이타콘산, 말레산 및 퓨마르산과 같은 α,β-불포화 카복실산, 및 이의 무수물 또는 반-에스터 생성물; 메틸 아크릴산염, 에틸 아크릴산염, n-프로필 아크릴산염, 아이소프로필 아크릴산염, n-뷰틸 아크릴산염, 아이소뷰틸 아크릴산염, sec-뷰틸 아크릴산염, 사이클로헥실 아크릴산염, 2-에틸헥실 아크릴산염, 스테아릴 아크릴산염, 메틸 메타크릴산염, 에틸 메타크릴산염, n-프로필 메타크릴산염, 아이소프로필 메타크릴산염, sec-프로필 메타크릴산염, n-뷰틸 메타크릴산염, 아이소뷰틸 메타크릴산염, sec-뷰틸 메타크릴산염, 사이클로헥실 메타크릴산염, 2-에틸헥실 메타크릴산염, 스테아릴 메타크릴산염, 2,2,2-트라이플루오로메틸 아크릴산염, 및 2,2,2-트라이플루오로메틸 메타크릴산염 등과 같은 α,β-불포화 카복실산염; 및 스타이렌 및 α-메틸 스타이렌, p-바이닐 톨루엔 등과 같은 스타이렌을 포함한다. 다른 예들은 아크릴로나이트릴, 메타크릴로나이트릴, 아크릴아마이드, 메타크릴아마이드, 바이닐 아세트산염, 글리시딜 아크릴산염, 및 글리시딜 메타크릴산염을 포함한다. 이런 화합물들은 단독으로 또는 둘 이상의 혼합물로 사용될 수 있다.Preferred examples of other monomers that can be copolymerized with hydroxyl group containing monomers are, for example, α, β-unsaturated carboxylic acids such as acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, citraconic acid, itaconic acid, maleic acid and fumaric acid, and their Anhydride or semi-ester product; Methyl acrylate, ethyl acrylate, n-propyl acrylate, isopropyl acrylate, n-butyl acrylate, isobutyl acrylate, sec-butyl acrylate, cyclohexyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate, stearyl Acrylate, methyl methacrylate, ethyl methacrylate, n-propyl methacrylate, isopropyl methacrylate, sec-propyl methacrylate, n-butyl methacrylate, isobutyl methacrylate, sec-butyl meta Methacrylate, cyclohexyl methacrylate, 2-ethylhexyl methacrylate, stearyl methacrylate, 2,2,2-trifluoromethyl acrylate, and 2,2,2-trifluoromethyl methacrylate Α, β-unsaturated carboxylates such as the like; And styrene such as styrene and α-methyl styrene, p-vinyl toluene and the like. Other examples include acrylonitrile, methacrylonitrile, acrylamide, methacrylamide, vinyl acetate, glycidyl acrylate, and glycidyl methacrylate. These compounds may be used alone or in mixture of two or more.

본 발명의 감광성 절연 페이스트 조성물은 수지 성분들의 전체량(= 100 중량부)에 대해 50 내지 90 중량부, 더욱 바람직하게는 60 내지 80 중량부, 더 더욱 바람직하게는 65 내지 75 중량부의 양으로 수산기 함유 아크릴 수지를 함유하는 것이 바람직하다. The photosensitive insulating paste composition of the present invention has a hydroxyl group in an amount of 50 to 90 parts by weight, more preferably 60 to 80 parts by weight, still more preferably 65 to 75 parts by weight based on the total amount of resin components (= 100 parts by weight). It is preferable to contain a containing acrylic resin.

만일 수산기 함유 아크릴 수지 성분의 양이 특정 범위 내에 해당하지 않으면, 필요한 정확도가 최종 패턴에서 성취되지 않을 수 있다: 50 중량부 이하의 수산기 함유 아크릴 수지는 현상액 저항성을 감소시키는 반면, 90 중량부 이상의 수지는 현상성을 감소시키고 현상 공정 동안 원치 않는 잔류물을 형성시킬 수 있다. 예를 들어, 50 중량부 이하의 광중합성 모노머는 불충한 광중합을 유도할 수 있어서, 현상하는 동안 이미지 영역 디졸브를 초래하여, 이미지 형성이 실패할 수 있다. 비교해보면, 90 중량부 이상의 광중합성 모노머는 정교한 이미지의 해상도를 떨어뜨릴 수 있다.If the amount of hydroxyl-containing acrylic resin component does not fall within a certain range, the required accuracy may not be achieved in the final pattern: up to 50 parts by weight of hydroxyl-containing acrylic resin reduces developer resistance, while at least 90 parts by weight of resin Can reduce developability and form unwanted residues during the development process. For example, up to 50 parts by weight of the photopolymerizable monomer may lead to poor photopolymerization, resulting in image area dissolve during development, which may cause image formation to fail. In comparison, more than 90 parts by weight of the photopolymerizable monomer may degrade the resolution of a sophisticated image.

성분(C)로 작용하는 광중합성 모노머는 에틸렌 글리콜 다이아크릴산염, 에틸렌 글리콜 다이메타크릴산염, 트라이에틸렌 글리콜 다이아크릴산염, 트라이에틸렌 글리콜 다이메타크릴산염, 트라이메틸올 프로페인 트라이아크릴산염, 트라이메틸올 프로페인 트라이메타크릴산염, 트라이메틸올 에테인 트라이아크릴산염, 트라이메틸올 에테인 트라이메타크릴산염, 펜타에리트리톨 다이아크릴산염, 펜타에리트리톨 다이메타크릴산염, 펜타에리트리톨 트라이아크릴산염, 펜타에리트리톨 트라이메타크릴산염, 펜타에리트리톨 테트라아크릴산염, 펜타에리트리톨 테트라메타크릴산염, 다이펜타에리트리톨 테트라아크릴산염, 다이펜타에리트리톨 테트라메타크릴산염, 다이펜타에리트리톨 펜타아크릴산염, 다이펜타에리트리톨 펜타메타크릴산염, 다이펜타에리트리톨 헥사아크릴산염, 다이펜타에리트리톨 헥사메타크릴산염, 글리세롤 아크릴산염, 글리세롤 메타크릴산염, 카르도에폭시 다이아크릴산염뿐만 아니라 상기한 화합물의 (메타)크릴산염을 각각 퓨마르산염, 이타콘산염 및 말레산염으로 교환하여 얻은 퓨마르산 에스터, 이타콘산에스터 및 말레산 에스터를 포함하나 이에 한정되지 않는 임의의 공지된 광중합성 모노머일 수 있다.Photopolymerizable monomers which act as component (C) include ethylene glycol diacrylate, ethylene glycol dimethacrylate, triethylene glycol diacrylate, triethylene glycol dimethacrylate, trimethylol propane triacrylate, trimethyl All propane trimethacrylate, trimethylol ethane triacrylate, trimethylol ethane trimethacrylate, pentaerythritol diacrylate, pentaerythritol dimethacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol Trimethacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, pentaerythritol tetramethacrylate, dipentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol tetramethacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol penta Methacrylate, dipenta Lithitol hexaacrylate, dipentaerythritol hexamethacrylate, glycerol acrylate, glycerol methacrylate, cardoepoxy diacrylate, as well as (meth) acrylate salts of the above compounds, respectively, fumarate and itaconate And any known photopolymerizable monomers including but not limited to fumaric acid esters, itaconic acid esters, and maleic acid esters obtained by exchange with maleate.

성분(D)로 작용하는 광중합 개시제는 벤조페논, 벤조인, 벤조인 알킬 에터, 아세토페논, 아미노아세토페논, 벤질, 벤질 알킬 케탈, 안트라퀴논, 케탈, 및 티옥산톤을 포함하는 임의의 통상적인 광중합 개시제일 수 있다. 구체적인 예들은 2,4-비스-트라이클로로메틸-6-(3-브로모-4-메톡시)페닐-s-트라이아진, 2,4-비스-트라이클로로메틸-6-(2-브로모-4-메톡시)페닐-s-트라이아진, 2,4-비스-트라이클로로메틸-6-(3-브로모-4-메톡시)스타이릴페닐-s-트라이아진, 2,4-비스-트라이클로로메틸-6-(2-브로모-4-메톡시)스타이릴페닐-s-트라이아진, 2,4,6-트라이메틸벤조일다이페닐 포스핀 산화물, 1-[4-(2-하이드록시에톡시)페닐]-2-하이드록시-2-메틸-1-프로페인-1-온, 2,4-다이에틸티옥산톤, 2,4-다이메틸티옥산톤, 2-클로로티옥산톤, 1-클로로-4-프로폭시티옥산톤, 3,3-다이메틸-4-메톡시벤조페논, 벤조페논, 1-(4-아이소프로필페닐)-2-하이드록시-2-메틸프로페인-1-온, 1-(4-도데실페닐)-2-하이드록시-2-메틸프로페인-1-온, 4-벤조일-4'-메틸다이메틸 황화물, 4-다이메틸아미노벤조산, 메틸 4-다이메틸아미노벤조산염, 에틸 4-다이메틸아미노벤조산염, 뷰틸 4-다이메틸아미노벤조산염, 2-에틸헥실 4-다이메틸아미노벤조산염, 2-아이소아밀 4-다이메틸아미노벤조산염, 2,2-다이에톡시아세토페논, 벤질다이메틸 케탈, 벤질-β-메톡시에틸아세탈, 1-페닐-1,2-프로페인다이온 2-(o-에톡시카본일)옥심, 메틸 o-벤조일벤조산염, 비스(4-다이메틸아미노페닐)케톤, 4,4'-비스다이에틸아미노벤조페논, 벤질, 벤조인, 벤조인 메틸 에터, 벤조인 에틸 에터, 벤조인 아이소프로필 에터, 벤조인 n-뷰틸 에터, 벤조인 아이소뷰틸 에터, p-다이메틸아미노아세토페논, p-tert-뷰틸트라이클로로아세토페논, p-tert-뷰틸다이클로로아세토페논, 티옥산톤, 2-메틸티옥산톤, 2-아이소프로필티옥산톤, 다이벤조수베론, α,α-다이클로로-4-페녹시아세토페논, 펜틸 4-다이메틸아미노벤조산염, 및 2-(o-클로로페닐)-4,5-다이페닐 이미다졸일 다이머를 포함할 수 있다. 이런 화합물들은 단독으로 또는 둘 이상의 혼합물로 사용될 수 있다.Photopolymerization initiators acting as component (D) are any conventional, including benzophenone, benzoin, benzoin alkyl ether, acetophenone, aminoacetophenone, benzyl, benzyl alkyl ketal, anthraquinone, ketal, and thioxanthone It may be a photopolymerization initiator. Specific examples are 2,4-bis-trichloromethyl-6- (3-bromo-4-methoxy) phenyl-s-triazine, 2,4-bis-trichloromethyl-6- (2-bromo -4-methoxy) phenyl-s-triazine, 2,4-bis-trichloromethyl-6- (3-bromo-4-methoxy) styrylphenyl-s-triazine, 2,4-bis -Trichloromethyl-6- (2-bromo-4-methoxy) styrylphenyl-s-triazine, 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenyl phosphine oxide, 1- [4- (2- Hydroxyethoxy) phenyl] -2-hydroxy-2-methyl-1-propane-1-one, 2,4-diethyl thioxanthone, 2,4-dimethyl thioxanthone, 2-chlorothione Oxanthone, 1-chloro-4-propoxyoxyoxanthone, 3,3-dimethyl-4-methoxybenzophenone, benzophenone, 1- (4-isopropylphenyl) -2-hydroxy-2-methyl Propane-1-one, 1- (4-dodecylphenyl) -2-hydroxy-2-methylpropane-1-one, 4-benzoyl-4'-methyldimethyl sulfide, 4-dimethylaminobenzoic acid , Methyl 4-dimethylaminobenzo Salt, ethyl 4-dimethylaminobenzoate, butyl 4-dimethylaminobenzoate, 2-ethylhexyl 4-dimethylaminobenzoate, 2-isoamyl 4-dimethylaminobenzoate, 2,2-die Oxyacetophenone, benzyldimethyl ketal, benzyl-β-methoxyethylacetal, 1-phenyl-1,2-propaneionone 2- (o-ethoxycarbonyl) oxime, methyl o-benzoylbenzoate, bis (4-dimethylaminophenyl) ketone, 4,4'-bisdiethylaminobenzophenone, benzyl, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin n-butyl ether, Benzoin isobutyl ether, p-dimethylaminoacetophenone, p-tert-butyltrichloroacetophenone, p-tert-butyldichloroacetophenone, thioxanthone, 2-methylthioxanthone, 2-isopropyl Thioxanthone, dibenzosuberon, α, α-dichloro-4-phenoxyacetophenone, pentyl 4-dimethylaminobenzoate, and 2- (o-chlorofe ) -4,5-diphenyl may already include jolil dimer. These compounds may be used alone or in mixture of two or more.

광중합 개시제는 수용성 셀룰로오스 유도체와 광중합성 모노머의 혼합된 양(= 100 중량부)에 대해, 0.1 내지 10 중량부, 더욱 바람직하게는 0.2 내지 5 중량부의 양으로 사용되는 것이 바람직하다. 0.1 중량부 이하의 광중합 개시제는 경화성을 감소시킬 수 있는 반면, 10 중량부 이상이 함유될 때, 광중합 개시제는 빛이 바닥에 도달하기 전에 빛을 흡수하여, 경화가 충분히 이루어지지 않는다.The photopolymerization initiator is preferably used in an amount of 0.1 to 10 parts by weight, more preferably 0.2 to 5 parts by weight based on the mixed amount (= 100 parts by weight) of the water-soluble cellulose derivative and the photopolymerizable monomer. 0.1 part by weight or less of the photopolymerization initiator can reduce the curability, while when 10 parts by weight or more are contained, the photopolymerization initiator absorbs the light before it reaches the bottom, so that curing is not sufficiently performed.

성분(A) 내지 (D) 이외에, 본 발명의 감광성 절연 페이스트 조성물은 UV 흡수제, 감광제, 중합 개시제, 가소제, 점증제, 유기 용매, 분산제, 소포제 및 유기 또는 무기 현탁제와 같은 선택적 첨가제들을 함유할 수 있다.In addition to components (A) to (D), the photosensitive insulating paste composition of the present invention may contain optional additives such as UV absorbers, photosensitizers, polymerization initiators, plasticizers, thickeners, organic solvents, dispersants, antifoaming agents and organic or inorganic suspending agents. Can be.

감광제는 감광성을 증가시킬 목적으로 첨가된다. 감광제의 구체적인 예들은 2,4-다이에틸티옥산톤, 아이소프로필티옥산톤, 2,3-비스(4-다이에틸아미노벤잘)사이클로펜타논, 2,6-비스(4-다이메틸아미노벤잘)사이클로헥사논, 2,6-비스(4-다이메틸아미노벤잘)-4-메틸사이클로헥사논, 미힐러 케톤, 4,4-비스(다이에틸아미노)-벤조페논, 4,4-비스(다이메틸아미노)차콘, 4,4-비스(다이에틸아미노)차콘, p-다이메틸아미노신아밀리덴 인다논, p-다이메틸아미노벤질리덴인다논, 2-(p-다이메틸아미노페닐바이닐리덴)-아이소나프티오티아졸, 1,3-비스(4-다이메틸아미노벤잘)아세톤, 1,3-카본일-비스(4-다이에틸아미노벤잘)아세톤, 3,3-카본일-비스(7-다이에틸아미노쿠마린), N-페닐-N-에틸에탄올아민, N-페닐에탄올아민, N-톨일다이에탄올아민, N-페닐에탄올아민, 아이소아밀 다이메틸아미노벤조산염, 아이소아밀 다이에틸아미노벤조산염, 3-페닐-5-벤조일티오테트라졸 및 1-페닐-5-에톡시카본일티오테트라졸을 포함한다. 이런 감광제들은 단독으로 또는 둘 이상의 혼합물로 사용될 수 있다.A photosensitizer is added for the purpose of increasing photosensitivity. Specific examples of the photosensitizer include 2,4-diethyl thioxanthone, isopropyl thioxanthone, 2,3-bis (4-diethylaminobenzal) cyclopentanone, 2,6-bis (4-dimethylaminobenzal ) Cyclohexanone, 2,6-bis (4-dimethylaminobenzal) -4-methylcyclohexanone, Michler's ketone, 4,4-bis (diethylamino) -benzophenone, 4,4-bis ( Dimethylamino) chacon, 4,4-bis (diethylamino) chacon, p-dimethylaminocinamidene indanone, p-dimethylaminobenzylidene indanone, 2- (p-dimethylaminophenylvinyl Den) -isonaphthiothiazole, 1,3-bis (4-dimethylaminobenzal) acetone, 1,3-carbonyl-bis (4-diethylaminobenzal) acetone, 3,3-carbonyl-bis ( 7-diethylaminocoumarin), N-phenyl-N-ethylethanolamine, N-phenylethanolamine, N-tolyldiethanolamine, N-phenylethanolamine, isoamyl dimethylaminobenzoate, isoamyl diethylamino Ben Crude acid salts, 3-phenyl-5-benzoylthiotetrazole and 1-phenyl-5-ethoxycarbonylthiotetrazole. Such photosensitizers may be used alone or in a mixture of two or more.

중합 억제제는 저장하는 동안 열 안정성을 증가시킬 목적으로 첨가될 수 있다. 중합 억제제의 구체적인 예들은 하이드로퀴논, 하이드로퀴논 모노에스터, N-나이트로소다이페닐아민, 페노티아진, p-t-뷰틸카테촐, N-페닐나프틸아민, 2,6-다이-t-뷰틸-p-메틸페놀, 클로라닐, 및 파이로갈롤을 포함할 수 있다.Polymerization inhibitors may be added for the purpose of increasing thermal stability during storage. Specific examples of polymerization inhibitors include hydroquinone, hydroquinone monoester, N-nitrosodiphenylamine, phenothiazine, pt-butylcatechin, N-phenylnaphthylamine, 2,6-di-t-butyl-p -Methylphenol, chloranyl, and pyrogallol.

가소제는 기판에 대한 적합성을 향상시키기 위해 첨가될 수 있다. 가소제의 구체적인 예들은 다이뷰틸 프탈산염(DBP), 다이옥틸 프탈산염(DOP), 및 다이사이클로헥실 프탈산염뿐만 아니라 폴리에틸렌 글리콜, 글리세롤, 및 다이뷰틸 타르타르산염과 같은 프탈산염의 에스터를 포함할 수 있다.Plasticizers may be added to improve the suitability for the substrate. Specific examples of plasticizers may include esters of phthalates such as polyethylene glycol, glycerol, and dibutyl tartarate, as well as dibutyl phthalate (DBP), dioctyl phthalate (DOP), and dicyclohexyl phthalate.

소포제는 페이스트 또는 막에 베이킹 후 구멍을 형성할 수 있는 공기방울이 형성되는 것을 막는 역할을 한다. 소포제의 구체적인 예들은 폴리에틸렌 글리콜(분자량 = 400 내지 800)과 같은 알킬렌 글리콜, 실리콘 또는 고급 알콜을 기초로 한 것을 포함할 수 있다.Defoamers serve to prevent the formation of air bubbles in the paste or film that can form pores after baking. Specific examples of antifoaming agents may include those based on alkylene glycols, silicones or higher alcohols such as polyethylene glycol (molecular weight = 400 to 800).

본 발명의 감광성 절연 페이스트 조성물에 사용하기 위한 무기 분말은 사용된 광원에 충분히 투명한 임의의 무기 분말일 수 있다. 이의 예들은 유리, 세라믹(예를 들어, 근청석(cordierite)), 및 금속 분말을 포함할 수 있다. 이의 보다 구체적인 예들은 PbO-SiO2 유리, PbO-B2O3-SiO2 유리, ZnO-SiO2 유리, ZnO-B2O3-SiO2 유리, Bio-SiO2 유리, Bio-B2O3-SiO2 유리와 같은 붕규산염 납유리, 붕규산염 아연유리, 붕규산염 비스무스 유리와 같은 유리 분말; 코발드 산화물, 철 산화물, 크롬 산화물, 니켈 산화물, 구리 산화물, 망간 산화물, 네오디뮴 산화물, 바나듐 산화물, 세륨 산화물, 카드뮴 산화물, 루테늄 산화물, 실리카, 마그네시아, 첨정석 등과 같은 Na, K, Mg, Ca, Ba, Ti, Zr, Al 등의 산화물; ZnO:Zn, Zn3(PO4)2:Mn, Y2SiO5:Ce, CaWO4:Pb, BaMgAl14O23:Eu, ZnS:(Ag, Cd), Y2O3:Eu, Y2SiO5:Eu, Y3Al5O12:Eu, YBO3:Eu, (Y, Gd)BO3:Eu, GdBO3:Eu, ScBO3:Eu, LuBO3:Eu, Zn2SiO4:Mn, BaAl12O19:Mn, SrAl12O19:Mn, CaAl12O19, YBO3:Tb, BaMgAl14O23:Mn, LuBO3:Tb, GdBO:Tb, ScBO3Tb, Sr6Si3O3Cl4:Eu, ZnS:(Cu, Al), ZnS:Ag, Y2O2S:Eu, ZnS:Zn, (Y, Cd)BO3:Eu, BaMaAl12O23:Eu와 같은 형광 물질들의 분말; 및 철, 니켈, 팔라듐, 알루미늄, 은, 백금 등과 같은 금속 분말이다. 이들 중에서, 우수한 투명도 때문에, 특히, 유리 분말과 세라믹 분말이 바람직하다. 유리 분말(유리 프릿)은 가장 현저한 효과를 제공한다. 실리콘 산화물, 알루미늄 산화물 또는 티타늄 산화물은 무기 분말을 불투명하게 하고 무기 분말의 광 투과성을 감소시키기 때문에, 무기 분말들은 이런 성분들을 함유하지 않는 것이 바람직하다.The inorganic powder for use in the photosensitive insulating paste composition of the present invention may be any inorganic powder that is sufficiently transparent to the light source used. Examples thereof may include glass, ceramics (eg cordierite), and metal powders. More specific examples thereof include PbO-SiO 2 glass, PbO-B 2 O 3 -SiO 2 Glass, ZnO-SiO 2 Glass, ZnO-B 2 O 3 -SiO 2 Glass, Bio-SiO 2 Glass, Bio-B 2 O 3 -SiO 2 Glass powders such as borosilicate lead glass, such as glass, borosilicate zinc glass, borosilicate bismuth glass; Na, K, Mg, Ca, such as cobalt oxide, iron oxide, chromium oxide, nickel oxide, copper oxide, manganese oxide, neodymium oxide, vanadium oxide, cerium oxide, cadmium oxide, ruthenium oxide, silica, magnesia, spinel, etc. Oxides such as Ba, Ti, Zr, Al; ZnO: Zn, Zn 3 (PO 4 ) 2 : Mn, Y 2 SiO 5 : Ce, CaWO 4 : Pb, BaMgAl 14 O 23 : Eu, ZnS: (Ag, Cd), Y 2 O 3 : Eu, Y 2 SiO 5 : Eu, Y 3 Al 5 O 12 : Eu, YBO 3 : Eu, (Y, Gd) BO 3 : Eu, GdBO 3 : Eu, ScBO 3 : Eu, LuBO 3 : Eu, Zn 2 SiO 4 : Mn , BaAl 12 O 19 : Mn, SrAl 12 O 19 : Mn, CaAl 12 O 19 , YBO 3 : Tb, BaMgAl 14 O 23 : Mn, LuBO 3 : Tb, GdBO: Tb, ScBO 3 Tb, Sr 6 Si 3 O Fluorescent material such as 3 Cl 4 : Eu, ZnS: (Cu, Al), ZnS: Ag, Y 2 O 2 S: Eu, ZnS: Zn, (Y, Cd) BO 3 : Eu, BaMaAl 12 O 23 : Eu Field powder; And metal powders such as iron, nickel, palladium, aluminum, silver, platinum and the like. Among them, glass powder and ceramic powder are particularly preferable because of the excellent transparency. Glass powder (glass frit) provides the most significant effect. Since silicon oxide, aluminum oxide or titanium oxide makes the inorganic powder opaque and reduces the light transmittance of the inorganic powder, it is preferable that the inorganic powders do not contain these components.

무기 분말의 입자 크기는 형성되는 패턴의 모양에 따라 결정되나 0.5 내지 10㎛의 평균 입자 크기, 더욱 바람직하게는 1 내지 8㎛의 평균 입자 크기를 가진 무기 분말들을 사용하는 것이 바람직하다. 평균 입자 크기가 10㎛ 이상인 무기 분말은 매우 정확한 패턴을 형성하자마자 거친 표면을 형성할 수 있는 반면, 평균 입자 크기가 0.5㎛ 이하인 무기 분말은 빛을 산란하여 빛이 바닥을 향해 아래로 투과하는 것을 막는다. 무기 분말은 구, 블럭, 파편 및 수지상 결정일 수 있고, 세 형태 중 하나 또는 둘 이상의 조합이 사용될 수 있다.The particle size of the inorganic powder is determined according to the shape of the pattern to be formed but it is preferable to use inorganic powders having an average particle size of 0.5 to 10 μm, more preferably an average particle size of 1 to 8 μm. Inorganic powders with an average particle size of 10 µm or more can form rough surfaces as soon as they form a very accurate pattern, while inorganic powders with an average particle size of 0.5 µm or less scatter light and prevent light from penetrating downwards towards the bottom. . The inorganic powder may be spheres, blocks, fragments and dendritic crystals, and one or a combination of two or more of three forms may be used.

무기 분말은 흑색 분말뿐만 아니라 적색, 청색 및 녹색 염료와 같은 다른 색의 무기 염료들을 함유할 수 있다. 이런 염료들을 함유하는 감광성 절연 페이스트 조성물은 다양한 색들의 패턴을 형성하는데 사용될 수 있고 플라즈마 디스플레이 패널의 색 필터 또는 다른 부품의 생산에 적합하다. 무기 분말들은 여러 종류의 고운 입자들의 혼합물일 수 있고, 각 종류의 분말들은 다른 물리적 특성을 가진다. 다른 열 연화점을 가진 유리 분말 또는 세라믹 분말을 사용함으로써, 베이킹 때의 수축은 최소될 수 있다. 이런 무기 분말들은 격벽 등의 필요한 특성들에 적합한 모양과 물리적 특성들의 적절한 조합으로 혼합될 수 있다.The inorganic powder may contain not only black powder but also inorganic dyes of other colors such as red, blue and green dyes. Photosensitive insulating paste compositions containing such dyes can be used to form patterns of various colors and are suitable for the production of color filters or other parts of plasma display panels. The inorganic powders may be a mixture of several kinds of fine particles, each of which has different physical properties. By using glass powder or ceramic powder with different thermal softening points, shrinkage during baking can be minimized. These inorganic powders may be mixed in any suitable combination of shape and physical properties suitable for the required properties such as partition walls.

10㎛ 이하(0.5 내지 10㎛)의 평균 입자 크기를 갖기 때문에, 무기 분말의 특성이 손상되지 않는 한, 분말의 2차 결합을 방지하고 분말의 분산을 용이하게 하기 위해 무기 분말은 유기산, 무기산, 실란-결합제, 티탄산염계 결합제, 알루미늄계 결합제, 계면활성제, 또는 다른 표면 처리제로 표면처리될 수 있다. 구체적으로, 표면 처리는 다음과 같이 처리된다. 먼저 표면 처리제를 유기 용매 또는 물에 용해시킨다. 그런 후에 무기 분말을 용액에 첨가하고 혼합물을 교반한다. 뒤이어, 용매를 증발시키고 잔류물을 2시간 동안 대략 50 내지 200℃로 가열한다. 선택적으로, 표면 처리제는 감광성 조성물이 페이스트로 형성될 때 첨가될 수 있다.Since it has an average particle size of 10 μm or less (0.5 to 10 μm), the inorganic powder may be organic acid, inorganic acid, It may be surface treated with a silane-binder, titanate-based binder, aluminum-based binder, surfactant, or other surface treatment agent. Specifically, the surface treatment is treated as follows. First, the surface treatment agent is dissolved in an organic solvent or water. Inorganic powder is then added to the solution and the mixture is stirred. The solvent is then evaporated and the residue is heated to approximately 50-200 ° C. for 2 hours. Optionally, a surface treating agent may be added when the photosensitive composition is formed into a paste.

본 발명의 감광성 절연 페이스트 조성물에서 유기 성분과 무기 분말의 각 비율은 감광성 절연 페이스트 조성물의 전체량(= 100 중량부)에 대해, 통상적으로 5 내지 35 중량부 및 95 내지 65 중량부, 바람직하게는 10 내지 30 중량부 및 90 내지 70 중량부, 및 더욱 바람직하게는 15 내지 25 중량부 및 85 내지 75 중량부일 수 있다. 만일 유기 성분의 양이 5 중량부 이하이면, 광중합이 불충분하게 이루어질 수 있다. 이것은 현상하는 동안 이미지 영역의 디졸브를 일으켜, 이미지 형성을 실패시킨다. 비교해보면, 만일 무기 성분의 양이 35 중량부 이상이면, 최종 패턴은 베이킹되자마자 벗겨질 수 있다.Each ratio of the organic component and the inorganic powder in the photosensitive insulating paste composition of the present invention is usually 5 to 35 parts by weight and 95 to 65 parts by weight, preferably based on the total amount of the photosensitive insulating paste composition (= 100 parts by weight). 10 to 30 parts by weight and 90 to 70 parts by weight, and more preferably 15 to 25 parts by weight and 85 to 75 parts by weight. If the amount of the organic component is 5 parts by weight or less, photopolymerization may be insufficient. This causes dissolution of the image area during development, causing image formation to fail. In comparison, if the amount of the inorganic component is 35 parts by weight or more, the final pattern may be peeled off as soon as it is baked.

감광성 절연 페이스트 조성물은 용매에 상기 성분들을 용해 또는 분산시켜 생산될 수 있다. 이런 목적을 위해 사용되는 용매는 무기 분말에 대해 높은 친화력을 나타내며, 유기 성분을 잘 용해시키며, 적절한 점성을 감광성 절연 페이스트 조성물에 부여할 수 있으며, 쉽게 증발할 수 있는 한 어떠한 용매도 가능하다. 이런 용매들의 구체적인 예는 다이에틸 케톤, 메틸 뷰틸 케톤, 다이프로필 케톤, 사이클로헥세인온과 같은 케톤; n-펜테인올, 4-메틸-2-펜테인올, 사이클로헥세인올, 다이아세톤 알콜과 같은 알콜; 에틸렌 글리콜 모노메틸 에터, 에틸렌 글리콜 모노에틸 에터, 에틸렌 글리콜 모노뷰틸 에터, 프로필렌 글리콜 모노메틸 에터, 프로필렌 글리콜 모노에틸 에터, 다이에틸렌 글리콜 모노메틸 에터, 다이에틸렌 글리콜 모노에틸 에터, 다이에틸렌 글리콜 다이메틸 에터, 다이에틸렌 글리콜 다이에틸 에터와 같은 에터; n-뷰틸 아세트산염, 및 아밀 아세트산염과 같은 포화 알킬 지방족 모노카복실산염; 에틸 락트산염, n-뷰틸 락트산염과 같은 락트산염; 및 메틸 셀로솔브 아세트산염, 에틸 셀로솔브 아세트산염, 에틸 셀로솔브 아세트산염, 프로필렌 글리콜 모노메틸 에터 아세트산염, 프로필렌 글리콜 모노에틸 에터 아세트산염, 에틸-3-에톡시프로피온산염, 2-메톡시뷰틸 아세트산염, 3-메톡시뷰틸 아세트산염, 4-메톡시뷰틸 아세트산염, 2-메틸-3-메톡시뷰틸 아세트산염, 3-메틸-3-메톡시뷰틸 아세트산염, 3-에틸-3-메톡시뷰틸 아세트산염, 2-에톡시뷰틸 아세트산염, 4-에톡시뷰틸 아세트산염, 4-프로폭시뷰틸 아세트산염 및 2-메톡시펜틸 아세트산염을 포함할 수 있다. 이런 용매들은 단독으로 또는 둘 이상의 혼합물로 사용될 수 있다.The photosensitive insulating paste composition may be produced by dissolving or dispersing the above components in a solvent. The solvent used for this purpose shows high affinity for the inorganic powder, dissolves the organic component well, imparts suitable viscosity to the photosensitive insulating paste composition, and any solvent is possible as long as it can be easily evaporated. Specific examples of such solvents include ketones such as diethyl ketone, methyl butyl ketone, dipropyl ketone, cyclohexaneone; alcohols such as n-pentaneol, 4-methyl-2-pentaneol, cyclohexaneol, diacetone alcohol; Ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether Ethers such as diethylene glycol diethyl ether; saturated alkyl aliphatic monocarboxylic acid salts such as n-butyl acetate, and amyl acetate; Lactates such as ethyl lactate, n-butyl lactate; And methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, ethyl-3-ethoxypropionate, 2-methoxybutyl acetate Salt, 3-methoxybutyl acetate, 4-methoxybutyl acetate, 2-methyl-3-methoxybutyl acetate, 3-methyl-3-methoxybutyl acetate, 3-ethyl-3-methoxy Butyl acetate, 2-ethoxybutyl acetate, 4-ethoxybutyl acetate, 4-propoxybutyl acetate and 2-methoxypentyl acetate. These solvents may be used alone or in a mixture of two or more.

바람직한 범위에서 감광성 절연 페이스트 조성물의 점성을 유지하기 위해서, 사용된 용매의 양은 유기 성분과 무기 분말의 전체량(= 100 중량부)에 대해, 바람직하게는 300 중량부 이하, 더욱 바람직하게는 10 내지 70 중량부, 및 가장 바람직하게는 25 내지 35 중량부이다.In order to maintain the viscosity of the photosensitive insulating paste composition in a preferred range, the amount of the solvent used is preferably 300 parts by weight or less, more preferably 10 to 10 parts by weight based on the total amount of the organic component and the inorganic powder (= 100 parts by weight). 70 parts by weight, and most preferably 25 to 35 parts by weight.

의도된 용도에 따라, 본 발명의 감광성 절연 페이스트 조성물은 액체로 또는 스크린 인쇄 또는 다양한 다른 기술들에 의해 기판에 사용될 수 있다. PDPs의 격벽과 같은 고정밀 공정이 필요한 응용분야에서, 상기 조성물은 감광성 막으로 사용되는 것이 바람직하다. 이런 방식으로, 형성된 패턴들의 정확도는 현저하게 향상될 수 있고 이를 통해 높은 정확도를 가진 격벽 등을 얻을 수 있다. 감광성 막은 본 발명의 감광성 페이스트 조성물을 지지 막에 도포하고 10 내지 100㎛의 두께를 가진 막을 얻기 위해 이 막을 건조함으로써 형성될 수 있다. 예를 들어, 이런 목적을 위해 사용된 지지 막은 폴리에틸렌 테레프탈산염, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 폴리카보네이트, 및 폴리바이닐 클로라이드와 같은 합성 수지로 제조된 15 내지 125㎛ 두께의 유연한 막일 수 있다. 만일 필요하다면, 지지 막은 막의 이동성을 용이하게 하도록 이형제로 처리될 수 있다. 조성물은 도포기, 바 코터, 와이어 바 코터, 롤 코터 또는 커튼 플로우 코터에 의해 지지 막에 도포될 수 있다. 특히, 롤 코터는 균일하고 두꺼운 막을 효과적으로 형성하는데 사용될 수 있어서 바람직하다. 보호막은 감광성 막이 사용되지 않을 때 감광성 페이스트 조성물을 보호하기 위해 감광성 막에 도포될 수 있다. 이런 목적을 위해 사용된 보호막은 폴리에틸렌 테레프탈산염, 폴리프로필렌 또는 폴리에틸렌으로 제조된 대략 15 내지 125㎛ 두께의 실리콘 코팅 또는 실리콘-베이크된 막일 수 있다.Depending on the intended use, the photosensitive insulating paste composition of the present invention may be used in the substrate as a liquid or by screen printing or various other techniques. In applications requiring a high precision process, such as bulkheads of PDPs, the composition is preferably used as a photosensitive film. In this way, the accuracy of the formed patterns can be significantly improved, whereby a bulkhead or the like with high accuracy can be obtained. The photosensitive film can be formed by applying the photosensitive paste composition of the present invention to a supporting film and drying the film to obtain a film having a thickness of 10 to 100 mu m. For example, the support membrane used for this purpose may be a 15 to 125 μm thick flexible membrane made of synthetic resins such as polyethylene terephthalate, polyethylene, polypropylene, polycarbonate, and polyvinyl chloride. If necessary, the support membrane may be treated with a release agent to facilitate the mobility of the membrane. The composition may be applied to the support membrane by an applicator, bar coater, wire bar coater, roll coater or curtain flow coater. In particular, roll coaters are preferred because they can be used to effectively form a uniform and thick film. The protective film can be applied to the photosensitive film to protect the photosensitive paste composition when the photosensitive film is not used. The protective film used for this purpose may be a silicon coating or silicon-baked film of approximately 15 to 125 μm thickness made of polyethylene terephthalate, polypropylene or polyethylene.

뒤이어, 본 발명의 감광성 절연 페이스트 조성물을 사용하여 원하는 패턴들을 형성하는 방법이 기술될 것이다. 층을 형성하기 위해 감광성 절연 페이스트 조성물을 코팅 기술 또는 이동 기술에 의해 기판에 도포한다. 그런 후에, 자외선, 엑시머 레이저, X-레이 및 전자빔과 같은 활성 광선을 이미지를 노광하기 위해 마스크를 통해 조성물 층에 조사한다. 그런 후에, 노광된 이미지를 알칼리 현상액 또는 물에서 현상한다. 노광되지 않은 영역들은 현상액에 용해될 것이고, 기판에 패턴을 남길 것이다. 필요하다면, 패턴화된 층은 베이크된다. 선택적으로, 광감성 절연 페이스트 조성물 층의 전체 표면은 마스킹없이 노광될 수 있다. 이런 경우에, 패턴은 현상 공정을 수행하지 않고 형성된다. 필요하다면, 그런 후에 기판을 베이크한다. 고정밀 패턴들을 형성하는 것이 바람직할 때, 먼저 감광성 막을 보호막으로부터 벗겨내고 감광성 절연 페이스트 조성물을 기판으로 이동시켜, 층을 형성한다. 층을 마스킹으로 또는 마스킹 없이 노광한다. 마스킹으로 노광된 층은 패턴을 형성하기 위해 현상되는 반면, 마스킹 없이 노광된 층은 현상 공정을 거치지 않고 경화된다. 기판은 유리 기판, 그 위에 형성된 버스 전극과 같은 전극을 가진 유리 기판 또는 세라믹 기판일 수 있다. 감광성 절연 페이스트 조성물 층을 이동하는데 있어서, 기판 표면과 접촉하는 동안 조성물 층은, 예를 들어, 핫 롤 박층기를 사용하여 가열 압축된다. 가열 압축은 기판의 표면 온도를 80 내지 140℃로 올리면서 1 내지 5kg/cm2의 롤 압력 및 0.1 내지 10.0m/min의 압축 속도로 수행하는 것이 바람직하다. 기판은 40 내지 100℃의 온도로 예열될 수 있다. 페이스트 조성물을 노광하는데 사용된 방사선 방출기는 포토리소그래피에 통상적으로 사용되는 UV-방출기 또는 반도체 및 액정 디스플레이(LCDs)의 생산에 사용되는 노광 장치일 수 있다. Subsequently, a method of forming desired patterns using the photosensitive insulating paste composition of the present invention will be described. The photosensitive insulating paste composition is applied to the substrate by coating or transfer techniques to form a layer. Thereafter, actinic rays such as ultraviolet light, excimer laser, X-rays and electron beams are irradiated to the composition layer through a mask to expose the image. The exposed image is then developed in alkaline developer or water. Unexposed areas will dissolve in the developer and leave a pattern on the substrate. If necessary, the patterned layer is baked. Optionally, the entire surface of the photosensitive insulating paste composition layer can be exposed without masking. In this case, the pattern is formed without performing the developing process. If necessary, the substrate is then baked. When it is desirable to form high precision patterns, the photosensitive film is first peeled from the protective film and the photosensitive insulating paste composition is moved to the substrate to form a layer. The layer is exposed with or without masking. The layer exposed with masking is developed to form a pattern, while the layer exposed without masking is cured without going through the developing process. The substrate may be a glass substrate, a glass substrate having a electrode, such as a bus electrode formed thereon, or a ceramic substrate. In moving the photosensitive insulative paste composition layer, the composition layer is heat compressed using, for example, a hot roll thinner while in contact with the substrate surface. Heat compression is preferably carried out at a roll pressure of 1 to 5 kg / cm 2 and a compression rate of 0.1 to 10.0 m / min while raising the surface temperature of the substrate to 80 to 140 ° C. The substrate may be preheated to a temperature of 40-100 ° C. The radiation emitter used to expose the paste composition may be a UV-emitter commonly used in photolithography or an exposure apparatus used in the production of semiconductors and liquid crystal displays (LCDs).

현상 공정에서 사용되는 알칼리 현상액의 알칼리 성분들은 수산화물, 탄산염, 중탄산염, 인삼염 및 리튬, 나트륨, 칼륨과 같은 알칼리 금속의 파이로인산염; 벤질 아민, 뷰틸 아민과 같은 일차 아민, 다이메틸 아민, 다이벤질 아민, 다이에탄올 아민과 같은 2차 아민; 트라이메틸아민, 트라이에틸아민, 트라이에탄올아민과 같은 3차 아민; 모르폴린, 파이퍼라진, 파이리딘과 같은 고리 아민; 에틸렌다이아민 및 헥사메틸렌다이아민과 같은 폴리아민; 테트라메틸 암모늄 수산화물, 테트라에틸 암모늄 수산화물, 트라이메틸 벤질 암모늄 수산화물, 및 트라이메틸 페닐 벤질 암모늄 수산화물과 같은 암모늄 수산화물; 트라이메틸 설포늄 수산화물, 다이에틸메틸 설포늄 수산화물, 다이메틸벤질 설포늄 수산화물과 같은 설포늄 수산화물; 콜린; 및 규산염-함유 버퍼들을 함유할 수 있다. 현상액의 형태, 조성물 및 농도뿐만 아니라 작업(예를 들어, 디핑, 교반, 샤워링, 스프레잉 및 패들링)의 시간 , 온도, 방식 및 현상 공정에 사용된 장치는 감광성 절연 페이스트 조성물의 특성들을 기초로 하여 적절하게 선택될 수 있다. Alkali components of the alkaline developer used in the developing process include hydroxides, carbonates, bicarbonates, phosphates and pyrophosphates of alkali metals such as lithium, sodium, potassium; Primary amines such as benzyl amine, butyl amine, secondary amines such as dimethyl amine, dibenzyl amine, diethanol amine; Tertiary amines such as trimethylamine, triethylamine, triethanolamine; Cyclic amines such as morpholine, piperazine, pyridine; Polyamines such as ethylenediamine and hexamethylenediamine; Ammonium hydroxides such as tetramethyl ammonium hydroxide, tetraethyl ammonium hydroxide, trimethyl benzyl ammonium hydroxide, and trimethyl phenyl benzyl ammonium hydroxide; Sulfonium hydroxides such as trimethyl sulfonium hydroxide, diethylmethyl sulfonium hydroxide, dimethylbenzyl sulfonium hydroxide; Choline; And silicate-containing buffers. The type, composition and concentration of the developer as well as the time, temperature, mode of development (eg, dipping, stirring, showering, spraying and paddling) and the apparatus used for the developing process are based on the characteristics of the photosensitive insulating paste composition. Can be appropriately selected.

베이킹 공정은 감광성 절연 페이스트 조성물에 존재하는 어떠한 유기 재료들을 태우기에 충분한 임의의 온도에서 수행될 수 있다. 예를 들어, 상기 공정은 10 내지 90분 동안 400 내지 600℃에서 수행될 수 있다.The baking process may be carried out at any temperature sufficient to burn off any organic materials present in the photosensitive insulating paste composition. For example, the process may be performed at 400 to 600 ° C. for 10 to 90 minutes.

본 발명의 감광성 절연 페이스트 조성물은 두꺼운 다층 회로들의 생산뿐만 아니라 플라즈마 디스플레이, 플라즈마 어드레스 액정 디스플레이, 및 다양한 다른 디스플레이의 생산에 널리 사용될 수 있고, 특히 고정밀 PDPs에 사용되는 격벽 등의 생산 및 구체적으로 PDPs에 사용되는 유전체의 생산에 특히 적합하다.The photosensitive insulating paste composition of the present invention can be widely used for the production of thick multilayer circuits as well as for the production of plasma displays, plasma address liquid crystal displays, and various other displays, and especially for the production of bulkheads and the like used for high-precision PDPs and specifically for PDPs. It is particularly suitable for the production of dielectrics used.

본 발명은 본 발명의 범위를 한정하려는 것이 아닌 여러 실시예들을 참조하여 기술될 것이다.The invention will be described with reference to various embodiments which are not intended to limit the scope of the invention.

실시예 1Example 1

(감광성 절연 페이스트 조성물의 제조)(Production of Photosensitive Insulation Paste Composition)

용액(고체 성분 = 50%)을 형성하기 위해 다음 유기 성분들을 3시간 동안 교반기상에서 함께 혼합하였다: 수용성 셀룰로오스 유도체로서 15 중량부의 하이드록시프로필 셀룰로오스, 수산기-함유 아크릴수지로서 33 중량부의 스타이렌/하이드록시에틸메타크릴산염 공중합체(스타이렌/하이드록시에틸메타크릴산염 = 55/45(중량%), MW=8500), 광중합성 개시제로서 39 중량부의 2-하이드록시-3-페녹시프로필아크릴산염(제품명: M-600A, 쿄에이샤 케미컬), 광중합 개시제로서 1.0 중량부의 2,2-다이메톡시-2-페닐아세토페논(제품명: IR-651, 시바 게이지), 가소제로서 12 중량부의 다이클로로헥실 프탈산염 및 용매로서 100 중량부의 3-메톡시-3-메틸뷰탄올. 감광성 절연 페이스트 조성물을 형성하기 위해서 35 중량부의 이 용액(고체 성분 = 50%)을 무기 분말로서 82.5 중량부의 유리 프릿과 혼합/반죽하였다.The following organic components were mixed together on a stirrer for 3 hours to form a solution (solid component = 50%): 15 parts by weight of hydroxypropyl cellulose as a water-soluble cellulose derivative, 33 parts by weight of styrene / hydro as a hydroxyl-containing acrylic resin Hydroxyethyl methacrylate copolymer (styrene / hydroxyethyl methacrylate = 55/45 (wt%), MW = 8500), 39 parts by weight of 2-hydroxy-3-phenoxypropylacrylate as photopolymerization initiator (Product name: M-600A, Kyoeisha Chemical), 1.0 part by weight of 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone (product name: IR-651, Ciba gauge) as a photopolymerization initiator, 12 parts by weight of dichloro as a plasticizer 100 parts by weight of 3-methoxy-3-methylbutanol as hexyl phthalate and solvent. 35 parts by weight of this solution (solid component = 50%) was mixed / doughed with 82.5 parts by weight of glass frit as an inorganic powder to form a photosensitive insulating paste composition.

(감광성 막의 제조)(Production of Photosensitive Film)

립 코터를 사용하여, 이렇게 얻은 감광성 절연 페이스트 조성물을 폴리에틸렌 테레프탈산염 지지 막에 도포하였다. 용매를 완전히 제거하기 위해서 코팅제를 6분 동안 100℃에서 건조하였다. 이것이 지지 막에 형성된 27㎛ 두께의 감광성 절연 페이스트 막을 남겼다. 그런 후에 감광성 절연 페이스트의 코팅층을 25㎛ 두께의 폴리에틸렌 막으로 덮었다. 이렇게 감광성 막을 완성하였다.Using a lip coater, the photosensitive insulating paste composition thus obtained was applied to a polyethylene terephthalate support film. The coating was dried at 100 ° C. for 6 minutes to completely remove the solvent. This left a 27 탆 thick photosensitive insulating paste film formed on the supporting film. Thereafter, the coating layer of the photosensitive insulating paste was covered with a 25 μm thick polyethylene film. Thus, the photosensitive film was completed.

(감광성 막의 평가)(Evaluation of the photosensitive film)

105℃로 설정된 핫 롤 박층기를 사용하여, 80℃로 예열된 유리 기판을 얻은 감광성 막으로 박층화하고 유리 기판으로부터 폴리에틸렌 막을 벗겨내었다. 사용된 공기압과 박층 속도는 각각 3kg/cm2과 1.0m/min이었다. 뒤이어, 폴리에틸렌 테레프탈산염 지지 막을 벗겨내었다. 광원으로서 초고압 수은 램프를 사용하여, 정사각형 테스트 패턴을 가진 마스크를 통해 500mJ/cm2의 양으로 감광성 코팅에 자외선을 조사하였다. 패턴을 현상하기 위해서, 막이 파괴점(break point)에 도달하게 하는 5회의 시간에 걸쳐 3kg/cm2의 압력으로 30℃ 물을 노광된 코팅에 분사하였다. 상기에 사용된 "파괴점"이란 용어는 노광된 영역에 있는 재료가 완전히 제거될 때까지 걸리는 시간을 의미한다.Using a hot roll laminator set at 105 ° C., the glass substrate preheated to 80 ° C. was laminated with the resulting photosensitive film and the polyethylene film was peeled off from the glass substrate. The air pressure and laminar velocities used were 3 kg / cm 2 and 1.0 m / min, respectively. Subsequently, the polyethylene terephthalate support membrane was stripped off. Using a high pressure mercury lamp as the light source, ultraviolet light was irradiated to the photosensitive coating in an amount of 500 mJ / cm 2 through a mask with a square test pattern. To develop the pattern, 30 ° C. water was sprayed onto the exposed coating at a pressure of 3 kg / cm 2 over five times to allow the film to reach the break point. The term " break point " as used above means the time taken until the material in the exposed area is completely removed.

잔존하는 최소 라인 폭은 형성된 패턴의 접착력의 크기로 결정하였고 40㎛로 결정하였다. 형성된 패턴을 SEM으로 관찰하였고 사다리꼴 패턴이 발견되었다. 이런 방식으로 형성된 패턴을 형태 안정성을 평가하기 위해 베이크하였다. 베이킹 공정은 먼저 1.0℃/min의 속도로 막을 가열하고 30분 동안 580℃로 유지하여 수행하였다. 베이크된 패턴은 만족스러웠다.The minimum line width remaining was determined by the size of the adhesion of the formed pattern and was determined by 40 μm. The formed pattern was observed by SEM and a trapezoidal pattern was found. The pattern formed in this way was baked to evaluate morphological stability. The baking process was first performed by heating the membrane at a rate of 1.0 ° C./min and maintaining it at 580 ° C. for 30 minutes. The baked pattern was satisfactory.

비교예 1Comparative Example 1

(감광성 절연 페이스트 조성물의 제조)(Production of Photosensitive Insulation Paste Composition)

용액을 형성하기 위해 다음 유기 성분들을 3시간 동안 교반기상에서 함께 혼합하였다: 수용성 셀룰로오스 유도체로서 15 중량부의 하이드록시프로필 셀룰로오스, 수산기-함유 아크릴수지로서 33 중량부의 스타이렌/하이드록시에틸메타크릴산염 공중합체(스타이렌/하이드록시에틸메타크릴산염 = 55/45(중량%), MW=25000), 광중합성 개시제로서 39 중량부의 2-하이드록시-3-페녹시프로필아크릴산염(제품명: M-600A, 쿄에이샤 케미컬), 광중합 개시제로서 1.0 중량부의 2,2-다이메톡시-2-페닐아세토페논(제품명: IR-651, 시바 게이지), 가소제로서 12 중량부의 다이클로로헥실 프탈산염 및 용매로서 100 중량부의 3-메톡시-3-메틸뷰탄올. 감광성 절연 페이스트 조성물을 형성하기 위해서 35 중량부의 이 용액을 무기 분말로서 82.5 중량부의 유리 프릿과 혼합/반죽하였다.The following organic components were mixed together on a stirrer for 3 hours to form a solution: 15 parts by weight of hydroxypropyl cellulose as a water-soluble cellulose derivative, 33 parts by weight of styrene / hydroxyethyl methacrylate copolymer as a hydroxyl-containing acrylic resin (Styrene / hydroxyethyl methacrylate = 55/45 (wt%), MW = 25000), 39 parts by weight of 2-hydroxy-3-phenoxypropylacrylate (product name: M-600A, as a photopolymerization initiator) Kyoeisha Chemical), 1.0 part by weight of 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone (product name: IR-651, Ciba gauge) as a photopolymerization initiator, 12 parts by weight of dichlorohexyl phthalate as a plasticizer and 100 as a solvent. Parts by weight of 3-methoxy-3-methylbutanol. 35 parts by weight of this solution was mixed / doughed with 82.5 parts by weight of glass frit as an inorganic powder to form a photosensitive insulating paste composition.

(감광성 막의 제조)(Production of Photosensitive Film)

립 코터를 사용하여, 감광성 절연 페이스트 조성물을 폴리에틸렌 테레프탈산염 지지 막에 도포하였다. 용매를 완전히 제거하기 위해서 코팅제를 6분 동안 100℃에서 건조하였다. 이것이 지지 막에 형성된 27㎛ 두께의 감광성 절연 페이스트 막을 남겼다. 그런 후에 감광성 절연 페이스트의 코팅층을 25㎛ 두께의 폴리에틸렌 막으로 덮었다. 이렇게 감광성 막을 완성하였다.Using a lip coater, the photosensitive insulating paste composition was applied to a polyethylene terephthalate support film. The coating was dried at 100 ° C. for 6 minutes to completely remove the solvent. This left a 27 탆 thick photosensitive insulating paste film formed on the supporting film. Thereafter, the coating layer of the photosensitive insulating paste was covered with a 25 μm thick polyethylene film. Thus, the photosensitive film was completed.

(감광성 막의 평가)(Evaluation of the photosensitive film)

105℃로 설정된 핫 롤 박층기를 사용하여, 80℃로 예열된 유리 기판을 얻은 감광성 막으로 박층화하고 유리 기판으로부터 폴리에틸렌 막을 벗겨내었다. 사용된 공기압과 박층 속도는 각각 3kg/cm2과 1.0m/min이었다. 뒤이어, 폴리에틸렌 테레프탈산염 지지 막을 벗겨내었다. 광원으로서 초고압 수은 램프를 사용하여, 정사각형 테스트 패턴을 가진 마스크를 통해 500mJ/cm2의 양으로 감광성 코팅에 자외선을 조사하였다. 패턴을 현상하기 위해서, 막이 파괴점(break point)에 도달하게 하는 5회의 시간에 걸쳐 3kg/cm2의 압력으로 30℃ 물을 노광된 코팅에 분사하였다.Using a hot roll laminator set at 105 ° C., the glass substrate preheated to 80 ° C. was laminated with the resulting photosensitive film and the polyethylene film was peeled off from the glass substrate. The air pressure and laminar velocities used were 3 kg / cm 2 and 1.0 m / min, respectively. Subsequently, the polyethylene terephthalate support membrane was stripped off. Using a high pressure mercury lamp as the light source, ultraviolet light was irradiated to the photosensitive coating in an amount of 500 mJ / cm 2 through a mask with a square test pattern. To develop the pattern, 30 ° C. water was sprayed onto the exposed coating at a pressure of 3 kg / cm 2 over five times to allow the film to reach the break point.

잔존하는 최소 라인 폭은 형성된 패턴의 접착력의 크기로 결정하였고 40㎛로 결정하였다. 형성된 패턴을 SEM으로 관찰하였고 사다리꼴 패턴이 발견되었다. 그러나, 패턴의 현상이 완전히 이루어지지 않았고 잔류물이 발견되었다.The minimum line width remaining was determined by the size of the adhesion of the formed pattern and was determined by 40 μm. The formed pattern was observed by SEM and a trapezoidal pattern was found. However, the development of the pattern was not fully accomplished and a residue was found.

상기한 대로, 조성물에 우수한 현상액 저항성을 부여하는 유기 성분을 함유하는 본 발명의 감광성 절연 페이스트 조성물은 두껍지만 여전히 높은 감광성의 층, 따라서 고정밀 패턴을 형성하는데 적합하다. 본 발명의 감광성 절연 페이스트 조성물은 감광성 막의 생산에 적합하다.As mentioned above, the photosensitive insulating paste composition of the present invention containing an organic component that imparts excellent developer resistance to the composition is suitable for forming a thick but still high photosensitive layer, thus a high precision pattern. The photosensitive insulating paste composition of the present invention is suitable for the production of a photosensitive film.

Claims (6)

유기 성분과 무기 분말을 함유하는 감광성 절연 페이스트 조성물에 있어서,In the photosensitive insulating paste composition containing an organic component and an inorganic powder, 상기 유기 성분은 (A) 수용성 셀룰로오스 유도체, (B) 5000 내지 20000의 분자량을 갖는 수산기 함유 아크릴계 수지, (C) 광중합성 모노머, 및 (D) 광중합 개시제로 이루어지고, The organic component comprises (A) a water-soluble cellulose derivative, (B) a hydroxyl group-containing acrylic resin having a molecular weight of 5000 to 20000, (C) a photopolymerizable monomer, and (D) a photopolymerization initiator, 상기 유기성분 중의 성분(A) 및 성분(B)의 총합 100 중량부에 대해 성분(A)가 10 내지 50 중량부, 성분(B)가 90 내지 50 중량부인 것을 특징으로 하는 감광성 절연 페이스트 조성물.A component (A) is 10 to 50 parts by weight and component (B) is 90 to 50 parts by weight based on 100 parts by weight of the total of the components (A) and (B) in the organic component. 삭제delete 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 무기 분말은 유리 분말인 감광성 절연 페이스트 조성물.The inorganic powder is a glass powder, the photosensitive insulating paste composition. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 유기 성분으로 성분(A) 및 성분(C)의 100 중량부의 전체량에 대해 10 내지 50 중량부의 성분(A) 및 90 내지 50 중량부의 성분(C)를 함유하는 감광성 절연 페이스트 조성물.A photosensitive insulating paste composition containing 10 to 50 parts by weight of component (A) and 90 to 50 parts by weight of component (C) with respect to the total amount of components (A) and 100 parts by weight of component (C) as organic components. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 유기 성분과 무기 분말의 100 중량부의 전체량에 대해 5 내지 35 중량부의 유기 성분과 95 내지 65 중량부의 무기 분말을 함유하는 감광성 절연 페이스트 조성물.A photosensitive insulating paste composition containing 5 to 35 parts by weight of an organic component and 95 to 65 parts by weight of an inorganic powder with respect to a total amount of 100 parts by weight of an organic component and an inorganic powder. 지지 막 및 이 지지 막에 형성된 제 1 항 및 제 3 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 따른 감광성 절연 페이스트 조성물의 층을 포함하는 감광성 막.A photosensitive film comprising a support film and a layer of the photosensitive insulating paste composition according to any one of claims 1 to 3 formed on the support film.
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