KR100864372B1

KR100864372B1 - Connector Device

Info

Publication number: KR100864372B1
Application number: KR20080009010A
Authority: KR
Inventors: 나오키 나카무라; 도익성
Original assignee: 주식회사 앱스코
Priority date: 2007-03-16
Filing date: 2008-01-29
Publication date: 2008-10-21
Also published as: KR20080084571A

Abstract

본 발명은 반도체 웨이퍼의 전기적 특성을 시험하기 위해 사용되는 커넥터 장치에 관한 것으로서, 컨택트 핀의 접촉성을 개선하여 안정적인 전기 신호를 전달하고, 수커넥터와 암커넥터를 확실하게 락킹하고 용이하게 분리하는 것을 목적으로 한다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a connector device used to test the electrical properties of semiconductor wafers, which improves the contact of contact pins to deliver stable electrical signals, and to securely lock and easily disconnect male and female connectors. The purpose.

이를 위하여 본 발명의 수커넥터는, 제2그라운드 핀과 제2시그널 핀이 횡으로 배열되어 형성된 컨택트 핀을 수용하는 제2하우징과, 암커넥터에 삽입되는 삽입부 및 삽입봉을 포함하고, 암커넥터는, 제1그라운드 핀과 제1시그널 핀이 횡으로 배열되어 형성된 컨택트 핀을 수용하는 제1하우징과, 수커넥터와 암커넥터를 락킹하기 위한 레버를 포함하며, 락킹장치에 의해 상기 암커넥터의 제1그라운드 핀을 슬라이딩시키면서 가압하여 수커넥터의 제2그라운드 핀에 락킹하고, 암커넥터의 제1시그널 핀과 상기 수커넥터의 제2시그널 핀을 전기적으로 접속시키는 것을 특징으로 한다.To this end, the male connector of the present invention includes a second housing for receiving contact pins formed by horizontally arranging the second ground pin and the second signal pin, and an insertion part and an insertion rod inserted into the female connector, and the female connector. And a first housing for receiving contact pins formed by horizontally arranging a first ground pin and a first signal pin, and a lever for locking the male connector and the female connector, wherein the first connector of the female connector is locked by a locking device. The first ground pin is pushed while sliding to lock the second ground pin of the male connector, and the first signal pin of the female connector and the second signal pin of the male connector are electrically connected to each other.

반도체, 웨이퍼, 커넥터, 컨택트 핀, 시그널 핀, 그라운드 핀 Semiconductor, Wafer, Connector, Contact Pin, Signal Pin, Ground Pin

Description

Connector Device

도 1은 종래 기술에 의한 커넥터 장치로서, 1a는 커넥터에 접속부품이 조립되는 상태를 나타낸 단면도, 1b는 컨택트 핀의 전체 조립도, 1c는 컨택트 핀이 락킹되는 상태를 간략하게 나타낸 도면.1 is a connector device according to the prior art, 1a is a cross-sectional view showing a state in which a connecting part is assembled to a connector, 1b is an overall assembly view of the contact pin, 1c is a view showing a brief state that the contact pin is locked.

도 2는 본 발명에 따른 커넥터 장치를 도시한 사시도.Figure 2 is a perspective view of the connector device according to the present invention.

도 3은 본 발명에 따른 암커넥터와 수커넥터를 분리한 사시도.Figure 3 is a perspective view of the female connector and the male connector separated.

도 4는 본 발명에 따른 암커넥터를 도시한 분해사시도.Figure 4 is an exploded perspective view showing a female connector according to the present invention.

도 5는 본 발명에 따른 컨택트 핀을 도시한 것으로서, a는 컨택트 핀의 전체 조립도, b는 한쌍의 컨택트 핀을 도시한 사시도.Figure 5 shows a contact pin according to the present invention, a is an overall assembly view of the contact pin, b is a perspective view showing a pair of contact pins.

도 6은 본 발명에 따른 컨택트 핀이 락킹되기 전의 상태를 나타낸 도면.6 is a view showing a state before the contact pin is locked according to the present invention.

도 7은 본 발명에 따른 컨택트 핀이 락킹장치에 의해 락킹된 상태를 나타낸 도면.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
200: 수커넥터(Connector) 300: 암커넥터
201: 제2하우징(Housing) 203: 컨택트 핀(Contact Pin)
203a: 제2시그널 핀(Signal Pin) 203b: 제2그라운드 핀(Ground Pin)
203c: 오목부 205: 삽입봉
206: 삽입부 300: 암커넥터
301: 제1하우징 302a: 레버(Lever)
303: 컨택트 핀 303a: 제1시그널 핀
303b: 제1그라운드 핀 303c: 볼록부
304: 회전캠 305: PCB
306: 슬라이더(Slider) 307: 연결부재
308: 제1연결축 309: 제2연결축
310: 회전판 311: 제3연결축
312: 제4연결축 312b: 회전축7 is a view showing a state in which the contact pin is locked by the locking device according to the present invention.
<Description of the symbols for the main parts of the drawings>
200: male connector 300: female connector
201: 2nd housing (Housing) 203: Contact pin
203a: second signal pin 203b: second ground pin
203c: recess 205: insertion rod
206: insertion portion 300: female connector
301: first housing 302a: lever
303: contact pin 303a: first signal pin
303b: first ground pin 303c: convex portion
304: rotating cam 305: PCB
306: slider 307: connecting member
308: first connecting shaft 309: second connecting shaft
310: rotating plate 311: third connecting shaft
312: fourth connecting shaft 312b: rotating shaft

본 발명은 커넥터 장치에 관한 것으로서, 특히, 반도체 웨이퍼(Wafer)의 전기적 특성을 검사하기 위해 탐침기판(Probe Card)과 반도체 검사장비의 PCB(Printed Circuit Board)를 전기적/기계적으로 접속시키는 커넥터 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a connector device, and more particularly, to a connector device for electrically / mechanically connecting a probe card and a printed circuit board (PCB) of semiconductor inspection equipment to inspect electrical properties of a semiconductor wafer. It is about.

일반적으로, 반도체 웨이퍼 상의 칩(Chip)을 검사하는 검사장치는 전기적/기계적으로 매우 높은 정밀도가 요구된다. 반도체 웨이퍼를 직접 접촉하는 수천개의 탐침핀을 구비한 탐침카드 뿐만 아니라, 탐침카드와 반도체 검사장비의 PCB를 연결하는 커넥터 장치도 높은 신뢰성이 요구된다. 특히, 탐침카드와 반도체 검사장비간에 전기신호를 전달하는 커넥터 장치는 제품의 신뢰성에 있어서 중요한 역할을 한다. 또한, 대량으로 생산되는 반도체 산업의 특성상, 검사의 정밀도와 함께 검사시간을 단축시키는 것도 중요한 과제이다.In general, an inspection apparatus for inspecting a chip on a semiconductor wafer requires very high precision electrically and mechanically. High reliability is required not only for probe cards with thousands of probe pins that directly contact semiconductor wafers, but also for connector devices that connect probe cards and PCBs in semiconductor inspection equipment. In particular, the connector device for transmitting electrical signals between the probe card and the semiconductor inspection equipment plays an important role in the reliability of the product. In addition, due to the characteristics of the semiconductor industry produced in large quantities, it is also important to shorten the inspection time together with the accuracy of inspection.

이러한 커넥터 장치의 일례가 도 1에 도시되어 있다. 도 1의 커넥터 장치는 한국 등록특허 제10-0364065호에 개시된 커넥터 장치로서, 1a는 커넥터(50)에 접속부품(40)이 조립되는 상태를 나타낸 단면도이고, 1b는 컨택트 핀의 전체 조립도이며, 1c는 컨택트 핀이 락킹되는 상태를 간략하게 나타낸 것이다.One example of such a connector device is shown in FIG. 1. 1 is a connector device disclosed in Korean Patent No. 10-0364065, wherein 1a is a cross-sectional view showing a state in which a connection part 40 is assembled to a connector 50, and 1b is an overall assembly view of a contact pin. , 1c briefly illustrates a state in which the contact pin is locked.

도 1에 도시된 종래의 커넥터 장치는, 커넥터(50)에 접속부품(40)이 조립되는 구조로 이루어져 있다. 상기한 종래의 커넥터는 기판(30)에 전기 신호를 공급하는 전기적 단자(48)를 구비한다. 상기 전기적 단자(48)는 핀 형태로서 전기적 단자 지지부(44)에 의해 지지된다. 상기 전기적 단자(48)는 전기 신호를 전달하는 시그널핀(Signal Pin)과 접지를 위한 그라운드 핀(Ground Pin)으로 이루어져 있다. 본 명세서에서는 시그널 핀과 그라운드 핀을 통칭하여 컨택트 핀(Contact Pin)이라 칭하기로 한다.The conventional connector device shown in FIG. 1 has a structure in which the connection part 40 is assembled to the connector 50. The conventional connector described above has an electrical terminal 48 for supplying an electrical signal to the board 30. The electrical terminal 48 is supported by the electrical terminal support 44 in the form of a pin. The electrical terminal 48 includes a signal pin for transmitting an electrical signal and a ground pin for grounding. In this specification, the signal pin and the ground pin are collectively referred to as a contact pin.

상기 접속부품(40)은 리벳(42)에 의해 상기 기판(30)에 고정된다. 미설명부로 46은 보강판을 나타낸 것이다.The connecting part 40 is fixed to the substrate 30 by rivets 42. 46, which is not described, shows a reinforcement plate.

상기 접속부품(40)과 착탈가능하게 결합되는 커넥터(50)의 내부에는 상기 접속부품(40)의 전기적 단자(48)와 접촉하는 다수의 컨택트 핀(70)이 구비된다. 상기 컨택트 핀(70)은 하우징(68)에 의해 지지되며 그 일단에는 상기 전기적 단자(48)에 접촉되는 컨택트부(74)를 구비하고 있다. 상기 접속부품(40)이 커넥터(50)에 삽입되면, 상기 컨택트부(74)에 의해 상기 전기적 단자(48)와 컨택트 핀(70)은 전기적으로 접속하게 된다.A plurality of contact pins 70 contacting the electrical terminals 48 of the connection part 40 are provided in the connector 50 that is detachably coupled to the connection part 40. The contact pin 70 is supported by the housing 68 and has a contact portion 74 at one end thereof in contact with the electrical terminal 48. When the connecting part 40 is inserted into the connector 50, the electrical contact 48 and the contact pin 70 are electrically connected by the contact part 74.

도 1에 도시된 커넥터 장치에 있어서, 접속부품(40)은 본 발명의 수커넥터, 커넥터(50)는 본 발명의 암커넥터에 해당한다. 또한, 도 1에서 전기적 단자(48)는 본 발명의 수커넥터의 컨택트 핀, 컨택트 핀(70)은 본 발명의 암커넥터의 컨택트 핀에 해당한다.In the connector device shown in Fig. 1, the connecting part 40 corresponds to the male connector of the present invention, and the connector 50 corresponds to the female connector of the present invention. In addition, in Fig. 1, the electrical terminal 48 corresponds to the contact pin of the male connector of the present invention, and the contact pin 70 corresponds to the contact pin of the female connector of the present invention.

상기 컨택트 핀(70)은 도 1b에 도시된 바와 같이, 다수의 시그널 핀 및 그라운드 핀이 횡으로 결합되어 구성된다. 즉, 전기적 단자(48)가 컨택트핀(70)의 내부에 삽입되는 형태로 결합이 된다. 또한, 시그널 핀과 그라운드 핀은 그 구조가 동일하게 형성되어 있다.As shown in FIG. 1B, the contact pin 70 includes a plurality of signal pins and a ground pin coupled laterally. That is, the electrical terminal 48 is coupled in the form of being inserted into the contact pin 70. In addition, the structure of the signal pin and the ground pin is the same.

상기 컨택트 핀(70)은 도 1c에 도시된 바와 같이, 전기적 단자(48)와의 연결을 위한 굴곡진 형상의 컨택트부(74)를 구비하고 있다. 상기 컨택트부(74)의 외측에는 컨택트 핀(70)을 전기적 단자(48)쪽으로 가압하여 접촉시키기 위한 가압부(78)가 설치된다. 상기 가압부(78)는 회전캠(72)과 회전캠 지지부(76)로 구성되 어 컨택트 핀(70)을 전기적 단자(48)와 접촉시킨다. 상기 회전캠(72)은 원주부(75)와 절단부(77)로 이루어져 있고, 회전캠 구동부(도시 생략)에 의해 회전한다. 상기 가압부(78)가 콘택트 핀(70)을 누르면 컨택트부(74)가 전기적 단자(48)에 접촉하여 전기신호를 전달하게 되는 것이다.The contact pin 70 has a curved contact portion 74 for connection with the electrical terminal 48 as shown in FIG. 1C. On the outside of the contact portion 74 is provided a pressing portion 78 for pressing the contact pin 70 toward the electrical terminal 48 to contact. The pressing unit 78 is composed of a rotary cam 72 and the rotary cam support 76 to contact the contact pin 70 with the electrical terminal 48. The rotary cam 72 consists of a circumferential portion 75 and a cut portion 77, and rotates by a rotary cam driver (not shown). When the pressing unit 78 presses the contact pin 70, the contact unit 74 contacts the electrical terminal 48 to transmit an electrical signal.

그러나, 상기한 종래의 커넥터 장치는, 전기적 단자(48)와 돌기형상의 컨택트부(74)가 접촉하는 구조이므로, 접촉되는 순간 도 1c의 "A" 부분에서 접촉면적의 변화가 발생하게 된다. 따라서, 단자(48)와 컨택트핀(70)이 접촉하는 "A" 부분에서 전류의 흐름에 변화가 발생하게 된다.However, the above-described conventional connector device has a structure in which the electrical terminal 48 and the protruding contact portion 74 are in contact with each other, so that a change in the contact area occurs at the portion "A" of FIG. 1C at the time of contact. Therefore, a change occurs in the flow of current at the portion "A" where the terminal 48 and the contact pin 70 contact each other.

이렇게 전류의 흐름에 변화가 발생하면 임피던스가 변화하여 정확한 전기신호를 전달하기가 어렵게 된다. 따라서, 고도의 정밀성을 요구하는 반도체 웨이퍼의 검사작업에 대한 신뢰성이 저하되는 문제점이 있다. 대량으로 생산되는 반도체 웨이퍼는 고속으로 검사가 가능하면서도 검사의 정확도가 높아야 하는데, 상기한 종래의 커넥터로는 이러한 요구를 충족시키지 못하는 것이다.This change in current flow makes it difficult to deliver accurate electrical signals due to impedance changes. Therefore, there is a problem that the reliability of the inspection operation of the semiconductor wafer requiring a high degree of precision is lowered. Mass-produced semiconductor wafers need to be inspected at high speeds and must be highly accurate, which is why the conventional connectors do not meet these requirements.

또한, 종래의 커넥터 장치는 시그널 핀과 그라운드 핀간에 전기적인 간섭이 발생할 수 있다는 문제점이 있다.In addition, the conventional connector device has a problem that electrical interference may occur between the signal pin and the ground pin.

또한, 종래의 커넥터 장치는, 반원형 캠을 이용하여 컨택트핀을 옆으로 밀어 전기적 단자와 컨택트 핀을 접촉시키는 구조이므로, 락킹이 불완전하다는 문제점이 있다.In addition, the conventional connector device has a problem in that the locking is incomplete because the contact pin is pushed to the side using a semi-circular cam to contact the electrical terminal and the contact pin.

본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위해 제안된 것으로서, 암 커넥터의 컨택트 핀과 수커넥터의 컨택트 핀의 임피던스를 매칭시켜 전달되는 전기 신호가 변하지 않도록 하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been proposed to solve the above problems of the prior art, and an object of the present invention is to match the impedance of the contact pin of the female connector and the contact pin of the male connector so that the transmitted electrical signal does not change.

본 발명의 다른 목적은, 시그널 핀과 그라운드 핀의 구조를 다르게 형성하여 한쌍으로 배열함으로써, 조립성을 향상시키고 주어진 공간에 보다 많은 핀을 배치할 수 있도록 하는 데 있다.Another object of the present invention is to form a different structure of the signal pin and the ground pin arranged in a pair, to improve the assembling and to place more pins in a given space.

본 발명의 또 다른 목적은, 시그널 핀의 형상을 개선하여 전기 신호를 빠르게 전달하고 전기적인 간섭을 방지하는 데 있다.Another object of the present invention is to improve the shape of the signal pin to quickly transfer the electrical signal and to prevent electrical interference.

본 발명의 또 다른 목적은, 암커넥터와 수커넥터를 확실하게 락킹하고 용이하게 분리할 수 있는 락킹장치를 제공하는 데 있다.Another object of the present invention is to provide a locking device that can reliably lock and easily separate a female connector and a male connector.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 반도체 웨이퍼의 전기적 특성을 시험하기 위해 탐침기판과 연결되는 수커넥터와, 반도체 검사 장비의 PCB(Printed Circuit Board)와 연결되는 암커넥터로 이루어지는 커넥터 장치에 있어서, 상기 수커넥터는, 제2그라운드 핀과 제2시그널 핀이 횡으로 다수 배열되어 형성된 컨택트 핀을 수용하는 제2하우징과, 상기 암커넥터에 삽입되기 위해 돌출형성된 삽입부 및 삽입봉을 포함하고, 상기 암커넥터는, 제1그라운드 핀과 제1시그널 핀이 횡으로 다수 배열되어 형성된 컨택트 핀을 수용하는 제1하우징과, 상기 수커넥터와 암커넥터를 락킹하기 위하여 상기 제1하우징의 일측에 구비된 레버를 포함하며, 상기 레버의 회전에 의해 작동되는 락킹장치에 의해 상기 암커넥터의 제1그라운드 핀을 누르면서 슬라이딩시켜, 제1그라운드 핀의 끝단에 형성된 볼록부를 수커넥터의 제2그라운드 핀에 락킹하여, 상기 암커넥터의 제1시그널 핀과 상기 수커넥터의 제2시그널 핀을 밀착시킴으로써 전기적으로 접속시키는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a connector device comprising a male connector connected to a probe substrate and a female connector connected to a printed circuit board (PCB) of semiconductor inspection equipment for testing electrical characteristics of a semiconductor wafer. The male connector includes a second housing accommodating contact pins formed by arranging a plurality of second ground pins and second signal pins horizontally, and an insertion part and an insertion rod protruding to be inserted into the female connector. The female connector may include a first housing accommodating a plurality of first ground pins and first signal pins arranged laterally, and a first housing provided at one side of the first housing to lock the male connector and the female connector. It includes a lever, and by sliding the first ground pin of the female connector by a locking device actuated by the rotation of the lever, Locking the second ground pin of the convex parts of the male connector formed on the end of the sound pin, characterized in that for electrically connecting the contact by the second signal pin of the can and the first signal-pin connectors of the female connector.

또한, 상기 제1그라운드 핀과 제2그라운드 핀의 접촉면은 각각 경사면으로 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the contact surface of the first ground pin and the second ground pin is characterized in that each formed as an inclined surface.

또한, 상기 제1시그널 핀과 제2시그널 핀의 접촉면은 각각 경사면으로 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the contact surfaces of the first signal pin and the second signal pin is characterized in that each formed as an inclined surface.

또한, 상기 암커넥터의 제1그라운드 핀과 제1시그널 핀은 횡으로 서로 번갈아가면서 쌍으로 배치되는 것을 특징으로 한다.In addition, the first ground pin and the first signal pin of the female connector is characterized in that arranged in pairs alternately transverse to each other.

또한, 상기 수커넥터의 제2그라운드 핀과 제2시그널 핀은 횡으로 서로 번갈아가면서 쌍으로 배치되는 것을 특징으로 한다.In addition, the second ground pins and the second signal pins of the male connector may be arranged in pairs alternately with each other laterally.

또한, 상기 제1그라운드 핀, 제2그라운드 핀, 제1시그널 핀, 제2시그널 핀은 서로 다른 형상인 것을 특징으로 한다.The first ground pin, the second ground pin, the first signal pin, and the second signal pin may have different shapes.

또한, 상기 제1그라운드 핀의 상부는 완만한 곡선의 사선부로 이루어지고, 하부에는 제2그라운드 핀에 결합되기 위한 볼록부가 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the upper portion of the first ground pin is made of an oblique portion of a gentle curve, the lower portion is characterized in that the convex portion for coupling to the second ground pin is formed.

또한, 상기 제2그라운드 핀은, 제1그라운드 핀의 끝단에 형성된 볼록부에 대응하는 오목부가 형성되고, 제2그라운드 핀의 일단부가 상기 제1그라운드 핀의 볼록부를 향하는 쪽으로 절곡되는 것을 특징으로 한다.The second ground pin may have a concave portion corresponding to a convex portion formed at an end of the first ground pin, and one end of the second ground pin may be bent toward the convex portion of the first ground pin. .

또한, 상기 제2시그널 핀의 일단부는, 제2그라운드 핀의 일단부의 절곡방향과 반대방향으로 절곡되는 것을 특징으로 한다.In addition, one end of the second signal pin is bent in a direction opposite to the bending direction of the one end of the second ground pin.

또한, 상기 락킹장치는, 암커넥터의 일단에 구비된 레버와, 상기 레버의 조작에 의해 회전하는 회전축과, 상기 레버와 제1연결축 및 제2연결축으로 연결되어 일정각도 내에서 회전하는 회전판과, 상기 회전판과 연결되어 일정각도 내에서 회전하는 회전캠과, 상기 회전캠의 회전을 슬라이더의 상하 직선운동으로 변환하기 위한 연결부재와, 그 일단이 상기 연결부재에 결합되어 상하 직선운동에 의해 제1그라운드 핀을 아래방향으로 누르면서 슬라이딩시켜 제1그라운드 핀을 제2그라운드 핀에 락킹시키는 슬라이더를 포함하는 것을 특징으로 한다. The locking device may include a lever provided at one end of the female connector, a rotating shaft that is rotated by the operation of the lever, and a rotating plate that is connected to the lever, the first connecting shaft, and the second connecting shaft to rotate within a predetermined angle. And a rotating cam connected to the rotating plate to rotate within a predetermined angle, a connecting member for converting the rotation of the rotating cam into a vertical linear movement of a slider, and one end of which is coupled to the connecting member by a vertical linear movement. And sliding the first ground pin while sliding downward to lock the first ground pin to the second ground pin.

또한, 상기 회전캠은 좌우 양단에 2개가 구비되고 2개의 제4연결축으로 연결되어, 상기 레버의 회전에 의해 회전하는 회전판과 반대방향으로 회전하도록 구비되는 것을 특징으로 한다.In addition, two rotation cams are provided at both ends, and are connected to two fourth connection shafts, and the rotation cams are rotated in the opposite direction to the rotating plate rotating by the rotation of the lever.

또한, 상기 슬라이더는, 상부에 연결부재가 안착되는 반원형의 오목부가 형성되고, 그 하부에 사각형상의 개방부가 형성되며, 상기 개방부의 양쪽 외부는 제1그라운드 핀을 하부로 밀기 위해 원호상으로 형성되는 것을 특징으로한다. In addition, the slider has a semi-circular recess in which a connecting member is seated at an upper portion thereof, a rectangular opening portion is formed at a lower portion thereof, and both outsides of the opening portion are formed in an arc shape to push the first ground pin downward. It is characterized by.

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이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명에 따른 커넥터 장치를 도시한 사시도이고, 도 3은 본 발명에 따른 암커넥터와 수커넥터를 분리한 사시도이며, 도 4는 본 발명에 따른 암커넥터를 도시한 분해사시도이고, 도 5는 본 발명에 따른 컨택트 핀을 도시한 것으로서, 5a는 컨택트 핀의 전체 조립도, 5b는 한쌍의 컨택트 핀을 도시한 사시도이며, 도 6은 본 발명에 따른 컨택트 핀이 락킹되기 전의 상태를 나타낸 도면이고, 도 7은 본 발명에 따른 컨택트 핀이 락킹장치에 의해 락킹된 상태를 나타낸 도면이다.Figure 2 is a perspective view showing a connector device according to the present invention, Figure 3 is a perspective view of the female connector and male connector according to the invention separated, Figure 4 is an exploded perspective view showing a female connector according to the present invention, Figure 5 shows a contact pin according to the present invention, 5a is an overall assembly view of the contact pin, 5b is a perspective view showing a pair of contact pins, Figure 6 shows a state before the contact pin is locked according to the present invention 7 is a view showing a state in which the contact pin is locked by the locking device according to the present invention.

본 발명의 특징을 설명하기에 앞서, 먼저 커넥터 장치의 일반적인 구조에 대하여 살펴본다.Before explaining the features of the present invention, a general structure of the connector device will be described.

커넥터 장치는, 반도체 웨이퍼의 전기적 특성을 검사하기 위하여, 반도체 검사장비의 PCB와 웨이퍼상의 반도체 칩을 탐침하는 탐침기판을 접속시키는데 사용된다. 상기 커넥터 장치는, 반도체 웨이퍼 상에 배열된 미세한 칩을 검사해야 하므로, 반도체 검사장비와 탐침기판을 전기적/기계적으로 안정적이면서 정확하게 접속시켜야 한다.The connector device is used to connect the PCB of the semiconductor inspection equipment and the probe substrate for probe of the semiconductor chip on the wafer in order to inspect the electrical characteristics of the semiconductor wafer. Since the connector device must inspect the minute chips arranged on the semiconductor wafer, the semiconductor inspection equipment and the probe board must be electrically / mechanically stable and accurately connected.

일반적인 커넥터 장치는 수커넥터와 암커넥터의 결합으로 이루어진다. 상기 수커넥터는 웨이퍼 상의 칩을 탐침하는 탐침기판과 전기적으로 연결된다. 상기 암커넥터는 반도체 검사장비와 연결된 PCB와 접속하여, 탐침기판에서 탐침되는 웨이퍼상의 칩의 상태를 전기적인 신호형태로 검사장비에 전달한다.A typical connector device consists of a combination of male and female connectors. The male connector is electrically connected to a probe substrate that probes the chip on the wafer. The female connector is connected to the PCB connected to the semiconductor inspection equipment, and transmits the state of the chip on the wafer probed from the probe board in the form of an electrical signal to the inspection equipment.

상기한 수커넥터와 암커넥터가 결합될 때, 암커넥터에 구비된 다수의 컨택트 핀과 수커넥터에 구비된 다수의 컨택트 핀이 전기적으로 확실하게 접속되기 위해서는 일정한 가압력을 필요로 한다.When the male connector and the female connector are coupled, a plurality of contact pins provided in the female connector and a plurality of contact pins provided in the male connector require constant pressing force to be electrically connected.

이때, 가압하는 힘이 너무 강하면 전기적인 접촉성은 향상되지만 동시에 마찰력도 커지게 되므로, 암커넥터에 수커넥터를 삽입하거나 분리하는 것이 곤란하게 된다. 특히, 암커넥터에 많은 컨택트 핀이 설치된 경우나, 다수의 암커넥터에 대하여 수커넥터들을 동시에 삽입해야 하는 경우에는, 수커넥터를 삽입하기 위하여 큰 힘을 가해야만 하기 때문에 문제가 된다.At this time, if the pressing force is too strong, the electrical contactability is improved but at the same time the frictional force is also increased, it is difficult to insert or disconnect the male connector to the female connector. In particular, when a large number of contact pins are provided in the female connector, or when male connectors must be inserted at the same time for a plurality of female connectors, a large force must be applied to insert the male connector.

이러한 문제점을 개선하기 위하여, 삽입력을 필요로 하지 않는 커넥터가 제안된 바 있다. 상기 커넥터는 수커넥터 삽입시 힘이 필요하지 않다는 의미에서 통 상적으로 ZIF(Zero Insertion Force) 커넥터라 불리운다. 상기 ZIF 커넥터에서는 수커넥터가 암커넥터에 삽입된 후에, 레버를 작동시켜 수커넥터와 암커넥터를 전기적/기계적으로 락킹하고 있다. 본 발명도 이러한 ZIF 커넥터의 일종이다.In order to remedy this problem, a connector that does not require an insertion force has been proposed. The connector is commonly referred to as a zero insertion force (ZIF) connector in the sense that no force is required to insert the male connector. In the ZIF connector, after the male connector is inserted into the female connector, the lever is operated to electrically and mechanically lock the male connector and the female connector. The present invention is also a kind of such a ZIF connector.

그러나, 삽입력이 필요하지 않는 ZIF 커넥터라 할지라도, 수커넥터의 삽입시 암커넥터와 수커넥터의 상대적 위치가 약간 어긋나는 경우가 발생할 수 있다. 암커넥터와 수커넥터간에 높은 정밀도가 필요한 경우에는 수커넥터의 미세한 어긋남이 조립시 문제가 되기도 한다. 따라서, ZIF 커넥터에서는 컨택트 핀간에 일정공간을 확보해야 할 필요가 있으며, 이러한 공간에 의해 설치되는 컨택트 핀의 수는 제한을 받게 된다.However, even in the case of a ZIF connector which does not require an insertion force, there may be a case where the relative position of the female connector and the male connector slightly shifts when the male connector is inserted. If high accuracy is required between the female and male connectors, minor misalignment of the male connectors can be a problem during assembly. Therefore, in the ZIF connector, it is necessary to secure a certain space between contact pins, and the number of contact pins installed by the space is limited.

일반적으로 미소한 반도체를 시험하기 위하여 사용하는 반도체 시험 장치에서는, 매우 높은 신뢰성이 요구되고 있다. 특히, 대량으로 생산되는 반도체 웨이퍼를 신속하고 정확하게 검사하기 위해서는, 커넥터 장치가 전기적인 신호를 신속하고 정확하게 전달할 수 있어야 한다.Generally, in the semiconductor test apparatus used for testing a small semiconductor, very high reliability is required. In particular, in order to quickly and accurately inspect mass-produced semiconductor wafers, the connector device must be able to deliver electrical signals quickly and accurately.

또한, 다양한 반도체 부품을 시험하기 위해서는 반도체에 접촉하는 탐침을 포함하는 다양한 기판을 준비해야 한다. 따라서, 반도체 시험 장치에 사용되는 커넥터는 이러한 다양한 기판을 용이하게 착탈할 수 있어야 한다.In addition, in order to test various semiconductor components, various substrates including a probe in contact with the semiconductor must be prepared. Therefore, the connector used for the semiconductor test apparatus should be able to easily attach and detach these various board | substrates.

또한, 수커넥터가 암커넥터에 삽입되었을 때, 수커넥터의 컨택트 핀과 암커넥터의 컨택트 핀간에는 임피던스가 서로 매칭되어야 한다. 그렇지 않으면 정확한 전기신호를 전달하기가 어렵게 된다.In addition, when the male connector is inserted into the female connector, the impedances must match between the contact pins of the male connector and the contact pins of the female connector. Otherwise it will be difficult to deliver accurate electrical signals.

웨이퍼의 칩을 탐침하는 탐침기판은 수십에서 수백개의 수커넥터와 연결되 고, 이 연결된 수커넥터들이 검사장비와 연결된 암커넥터와 접속된다. 따라서, 수커넥터와 암커넥터가 조립되었을 때, 전기적으로 안정되는 것이 중요하다. 또한, 수커넥터가 암커넥터에 접속될 때, 분리되지 않도록 기계적으로 정밀하게 락킹(Locking)되어야 한다.Probe boards that probe chips on the wafer are connected to dozens or hundreds of male connectors, which are connected to female connectors connected to the inspection equipment. Therefore, it is important to be electrically stable when the male connector and the female connector are assembled. In addition, when the male connector is connected to the female connector, it must be mechanically locked precisely so as not to be disconnected.

본 발명은 상기한 사항들을 고려하여 이루어진 것으로서, 도 2는 본 발명에 따른 커넥터 장치의 조립도, 도 3은 수커넥터와 암커넥터가 분리된 상태를 도시한 것이다.The present invention has been made in consideration of the above matters, Figure 2 is an assembly view of the connector device according to the invention, Figure 3 shows a state in which the male connector and the female connector is separated.

본 발명에 따른 커넥터 장치는, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 탐침기판(도시 생략)과 연결되는 수커넥터(200)와 반도체 검사장비의 PCB(305)와 연결되는 암커넥터(300)로 이루어진다.The connector device according to the present invention, as shown in Figures 2 and 3, the male connector 300 is connected to the probe board (not shown) and the PCB 305 of the semiconductor inspection equipment 300 is connected to the probe (not shown) Is made of.

상기 수커넥터(200)는, 도 3에 도시된 바와 같이, 컨택트 핀(203)이 양쪽으로 배치된 제2하우징(201)을 구비한다. 상기 제2하우징(201)의 양단에는 암커넥터(300)에 삽입하기 위해 돌출 형성된 다수의 삽입부(206)가 구비된다. 또한, 상기 수커넥터(200)의 제2하우징(201)의 일단에는 암커넥터(300)에 삽입하기 위해 돌출 형성된 원형의 삽입봉(205)이 구비된다. 도 3에는 상기 삽입봉(205)이 제2하우징(201)의 한쪽에만 형성되어 있으나, 상기 삽입봉(205)은 상기 제2하우징(201)의 양단에 구비될 수도 있다. 상기 수커넥터(200)의 삽입부(206) 및 삽입봉(205)은 암커넥터(300)와의 조립시 조립을 안내하는 역할을 한다.As shown in FIG. 3, the male connector 200 includes a second housing 201 in which contact pins 203 are disposed at both sides. Both ends of the second housing 201 are provided with a plurality of insertion portions 206 protruding to be inserted into the female connector 300. In addition, one end of the second housing 201 of the male connector 200 is provided with a circular insertion rod 205 protruding to be inserted into the female connector 300. In FIG. 3, the insertion rod 205 is formed on only one side of the second housing 201, but the insertion rod 205 may be provided at both ends of the second housing 201. The insertion part 206 and the insertion rod 205 of the male connector 200 serve to guide the assembly during assembly with the female connector 300.

상기 컨택트 핀(203)은, 도 5에 도시된 바와 같이, 제2그라운드 핀(203b)과 제2시그널 핀(203a)이 횡으로 다수 배열되어 이루어진다.As shown in FIG. 5, the contact pins 203 include a plurality of second ground pins 203b and a plurality of second signal pins 203a.

상기 암커넥터(300)는, 도 4에 도시된 바와 같이, 컨택트 핀(303)이 양쪽으로 배치된 제1하우징(301)을 구비한다. 상기 제1하우징(301)의 일측에는 수커넥 터(200)와 암커넥터(300)를 락킹하기 위한 락킹장치가 구비된다.As shown in FIG. 4, the female connector 300 includes a first housing 301 in which contact pins 303 are disposed at both sides. One side of the first housing 301 is provided with a locking device for locking the male connector 200 and the female connector 300.

상기 락킹장치는, 도 4, 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 암커넥터(300)의 일단에 구비된 레버(302a)와, 상기 레버(302a)의 조작에 의해 회전하는 회전축(312b)과, 상기 레버(302a)와 제1연결축(308) 및 제2연결축(309)으로 연결되어 회전하는 회전판(310)과, 상기 회전판(310)과 연결되어 회전하는 회전캠(304)과, 상기 회전캠(304)에 연결된 연결부재(307)와, 상기 연결부재(307)에 결합되어 제1그라운드 핀(303b)을 제2그라운드 핀(203b)의 오목부(203c)에 결합하도록 슬라이딩시키는 슬라이더(306)를 포함한다. 상기 회전판(310)은 제3연결축(311)에 의해 타측의 회전판과 연결된다.As shown in FIGS. 4, 6, and 7, the locking device includes a lever 302a provided at one end of the female connector 300 and a rotating shaft 312b that is rotated by manipulation of the lever 302a. And a rotating plate 310 connected to the lever 302a, the first connecting shaft 308, and the second connecting shaft 309 to rotate, and a rotating cam 304 connected to the rotating plate 310 to rotate. The coupling member 307 connected to the rotary cam 304 and the coupling member 307 slide to couple the first ground pin 303b to the recess 203c of the second ground pin 203b. And a slider 306. The rotating plate 310 is connected to the rotating plate of the other side by a third connecting shaft (311).

상기 회전캠(304)은 좌우 양단에 구비되어 2개의 제4연결축(312)으로 연결되어 있고, 상기 레버(302a)의 회전방향과 반대방향으로 회전한다.The rotary cam 304 is provided at both ends and connected to two fourth connection shafts 312, and rotates in a direction opposite to the rotation direction of the lever 302a.

상기 슬라이더(306)는, 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 상부에 연결부재(307)가 안착되는 반원형의 오목부가 형성되어 있고, 그 하부에는 사각형상의 개방부가 형성되어 있다. 또한, 상기 슬라이더(306)의 개방부 양쪽 외부는, 상기 제1그라운드 핀(303b)의 하부 형상에 대응하는 원호상으로 형성되어 있다.As shown in FIGS. 6 and 7, the slider 306 has a semicircular recess in which the connecting member 307 is seated, and a rectangular opening is formed in the lower portion of the slider 306. In addition, both outside of the opening part of the said slider 306 are formed in circular arc shape corresponding to the lower shape of the said 1st ground pin 303b.

상기한 락킹장치에 의해, 상기 암커넥터(300)의 제1그라운드 핀(303b)을 슬라이딩시키면서 가압하여 수커넥터(200)의 제2그라운드 핀(203b)에 락킹할 수 있다. 이때, 상기 제1그라운드 핀(303b)에 형성되어 있는 완만한 곡선으로 이루어진 절곡부분과 상기 제2그라운드 핀(203b)에 형성되어 있는 절곡부분이 서로 맞닿아 결합되면서 전기적으로 접속된다. 이와 동시에, 상기 암커넥터(300)의 제1시그널 핀(303a)과 수커넥터(200)의 제2시그널 핀(203a)도 전기적으로 접속된다(도 5b 참 조).By the locking device, the first ground pin 303b of the female connector 300 may be pressed while sliding to lock the second ground pin 203b of the male connector 200. At this time, the bent portion formed of the gentle curve formed on the first ground pin 303b and the bent portion formed on the second ground pin 203b are brought into contact with each other and electrically connected. At the same time, the first signal pin 303a of the female connector 300 and the second signal pin 203a of the male connector 200 are also electrically connected (see FIG. 5B).

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본 발명에 따른 수커넥터(200)와 암커넥터(300)의 컨택트 핀(203,303)은, 도 5a에 도시된 바와 같이 배치된다.The contact pins 203 and 303 of the male connector 200 and the female connector 300 according to the present invention are arranged as shown in FIG. 5A.

즉, 암커넥터(300)의 제1그라운드 핀(303b)과 제1시그널 핀(303a)은 횡으로 서로 번갈아가면서 쌍으로 배치되고, 수커넥터(200)의 제2그라운드 핀(203b)과 제2시그널 핀(203a)도 횡으로 서로 번갈아가면서 쌍으로 배치된다.That is, the first ground pins 303b and the first signal pins 303a of the female connector 300 are arranged in pairs alternately with each other laterally, and the second ground pins 203b and the second connectors of the male connector 200 are alternately arranged. The signal pins 203a are also arranged in pairs alternately with each other laterally.

상기와 같이 컨택트 핀(203,303)을 한쌍으로 연이어 배치함으로써, 제1시그널 핀(303a)과 제1그라운드 핀(303b), 제2시그널 핀(203a)과 제2그라운드 핀(203b)간의 밀착성을 향상시킬 수 있다. 따라서, 주어진 공간 내에서 보다 많은 컨택트 핀을 배치할 수 있다.By arranging the contact pins 203 and 303 in a pair as described above, the adhesion between the first signal pin 303a and the first ground pin 303b, the second signal pin 203a and the second ground pin 203b is improved. You can. Thus, more contact pins can be placed within a given space.

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이어서, 도 5b를 참조하여 본 발명에 따른 컨택트 핀의 구성을 더욱 상세히 설명한다.Next, the configuration of the contact pin according to the present invention will be described in more detail with reference to FIG. 5B.

앞서 언급한 바와 같이, 본 발명의 한쌍의 컨택트 핀은, 제1그라운드 핀(303b), 제2그라운드 핀(203b), 제1시그널 핀(303a), 제2시그널 핀(203a)으로 이루어진다.As mentioned above, the pair of contact pins of the present invention includes a first ground pin 303b, a second ground pin 203b, a first signal pin 303a, and a second signal pin 203a.

또한, 상기 제1그라운드 핀(303b), 제2그라운드 핀(203b), 제1시그널 핀(303a), 제2시그널 핀(203a)은 서로 다른 형상으로 되어있다.The first ground pin 303b, the second ground pin 203b, the first signal pin 303a, and the second signal pin 203a have different shapes.

상기 제1그라운드 핀(303b)은, 한쪽은 완만한 곡선부로 형성되고, 다른 한쪽은 제2그라운드 핀(203b)에 결합되기 위한 볼록부(303c)가 형성되어 있다.One side of the first ground pin 303b is formed with a smooth curved portion, and the other side has a convex portion 303c for coupling to the second ground pin 203b.

상기 제2그라운드 핀(203b)은, 한쪽에 상기 제1그라운드 핀(303b)의 볼록부(303c)에 대응하는 오목부(203c)가 형성되어 있다. 상기 제1그라운드 핀(303b)의 볼록부(303c)가 제2그라운드 핀(203b)에 결합됨으로써 암커넥터(300)와 수커넥터(200)의 락킹이 이루어진다. 상기 제2그라운드 핀(203b)의 일단부는 내측으로 절곡되어 있다.The second ground pin 203b has a recess 203c corresponding to the convex portion 303c of the first ground pin 303b on one side thereof. The convex portion 303c of the first ground pin 303b is coupled to the second ground pin 203b to lock the female connector 300 and the male connector 200. One end of the second ground pin 203b is bent inward.

상기 제2시그널 핀(203a)은, 그 일단부가 상기 제2그라운드 핀(203b)의 절곡방향과 반대인 외측으로 절곡되어 있다.One end of the second signal pin 203a is bent outwardly opposite to the bending direction of the second ground pin 203b.

상기 제1그라운드 핀(303b)과 제2그라운드 핀(203b)이 접촉되는 C1 부분은, 도 5b에 도시된 바와 같이, 핀들의 접촉성을 향상시키기 위해 경사면으로 형성하는 것이 바람직하다. 이렇게 핀들이 접촉되는 부분을 경사면으로 형성하면, 핀간의 접촉면적이 증가되므로 전류의 흐름이 변화되는 것을 최대한 방지할 수 있다. 따라서, 종래와 커넥터에서와 같이, 전류의 흐름이 변화함에 따라 임피던스가 변화하여 전기적 신호에 영향을 주는 현상을 방지할 수 있다.The C1 portion in which the first ground pin 303b and the second ground pin 203b are in contact with each other is preferably formed as an inclined surface to improve contactability of the pins, as shown in FIG. 5B. If the pins are in contact with the inclined surface, the contact area between the pins is increased, thereby preventing the current flow from changing as much as possible. Therefore, as in the conventional connector, it is possible to prevent a phenomenon in which the impedance changes as the current flows and affects an electrical signal.

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한편, 도 5b에 도시된 바와 같이, 제1그라운드 핀(303b)에는 볼록부(303c)가 형성되고, 제2그라운드 핀(203b)에는 이와 대응되는 오목부(203c)가 형성된다. 상기 제1그라운드 핀(303b)의 볼록부(303c)와 제2그라운드 핀(203b)의 오목부(203c)는 암커넥터(300)와 수커넥터(200)를 락킹시킬 때 서로 맞물리게 된다.Meanwhile, as illustrated in FIG. 5B, a convex portion 303c is formed in the first ground pin 303b and a concave portion 203c corresponding to the second ground pin 203b is formed. The convex portion 303c of the first ground pin 303b and the concave portion 203c of the second ground pin 203b are engaged with each other when the female connector 300 and the male connector 200 are locked.

본 발명은 상기 제1그라운드 핀(303b)과 제2그라운드 핀(203b)를 정확하고 안정되게 접촉시키기 위해, 암커넥터(300)의 제1그라운드 핀(303b)의 중간단면과 수커넥터(200)의 제2그라운드 핀(203b)의 끝단면을 접촉(C1 참조)시킨다. 또한, 암커넥터(300)의 제1그라운드 핀(303b)의 굴곡부(303c)와 수커넥터(200)의 제2그라운드 핀(203b)의 오목부(203c)를 접촉시킨다(C2 참조).According to the present invention, in order to accurately and stably contact the first ground pin 303b and the second ground pin 203b, an intermediate cross section of the first ground pin 303b of the female connector 300 and the male connector 200 are provided. Contact the end surface of the second ground pin (203b) (see C1). Further, the bent portion 303c of the first ground pin 303b of the female connector 300 and the recessed portion 203c of the second ground pin 203b of the male connector 200 are brought into contact with each other (see C2).

즉, 제1시그널 핀(303a)과 제2시그널 핀(203a)의 접촉은 C1 부분에서 경사면 접촉 상태가 되고, 제1그라운드 핀(303b)과 제2그라운드 핀(203b)의 접촉은 C1부분에서 경사면 접촉상태가 되는 동시에, C2 부분에서는 굴곡 접촉상태가 된다.That is, the contact between the first signal pin 303a and the second signal pin 203a is in inclined surface contact state at the C1 portion, and the contact between the first ground pin 303b and the second ground pin 203b is at the C1 portion. At the same time as the inclined surface contact state, at the C2 part, it becomes a bent contact state.

상기 제1그라운드 핀(303b)과 제2그라운드 핀(203b)의 접촉형태를 경사면 접촉과 굴곡 접촉을 병행함으로써, 암커넥터(300)와 수커넥터(200)의 결합시 접촉성을 더욱 향상시킬 수 있다. The contact form of the first ground pin 303b and the second ground pin 203b may be in parallel with the inclined surface contact and the bent contact, thereby further improving contactability when the female connector 300 and the male connector 200 are coupled. have.

한편, 상기 제2그라운드 핀(203b)의 오목부(203c)의 홈은, 상기 제1그라운드 핀(303b)의 볼록부(303c)보다 수직방향으로 약간 크게 형성되는 것이 바람직하다. 이에 의해, 상기 제1그라운드 핀(303b)의 볼록부(303c)가 슬라이더(306)에 의해 아래방향으로 가압될 때, 상기 제1그라운드 핀(303b)의 볼록부(303c)가 제2그라운드 핀(203b)의 오목부(203c)에 용이하게 안착될 수 있다.On the other hand, the groove of the concave portion 203c of the second ground pin 203b is preferably formed slightly larger in the vertical direction than the convex portion 303c of the first ground pin 303b. As a result, when the convex portion 303c of the first ground pin 303b is pressed downward by the slider 306, the convex portion 303c of the first ground pin 303b is pushed to the second ground pin. It can be easily seated in the recess 203c of 203b.

앞서 언급한 바와 같이, 본 발명에서의 탐침기판은 수커넥터(200)에 연결되고, 반도체 웨이퍼의 검사장비는 PCB(305)를 통해 암커넥터(300)와 접속된다. 상기 PCB(305)가 암커넥터(300)에 접속되면, 상기 PCB(305)의 전기단자와 암커넥터(300)의 컨택트 핀인 제1그라운드 핀(303b) 및 제1시그널 핀(303a)들이 접촉된다.As mentioned above, the probe substrate in the present invention is connected to the male connector 200, the inspection equipment of the semiconductor wafer is connected to the female connector 300 through the PCB (305). When the PCB 305 is connected to the female connector 300, the electrical terminal of the PCB 305 and the first ground pin 303b and the first signal pin 303a, which are the contact pins of the female connector 300, are in contact with each other. .

이때, 약간 휘어진 형태로 PCB(305)가 삽입되더라도, 상기 제1그라운드 핀(303b)과 제1시그널 핀(303a)은 스프링과 같은 탄성을 지니고 있으므로, PCB(305)의 전기단자를 맞물면서 용이하게 접속될 수 있다.At this time, even if the PCB 305 is inserted in a slightly curved shape, since the first ground pin 303b and the first signal pin 303a have spring-like elasticity, the first ground pin 303b and the first signal pin 303a have spring-like elasticity. Can be connected.

또한, 암커넥터(300)의 제1그라운드 핀(303b)과 수커넥터(200)의 제2그라운드 핀(203b)에 굴곡을 주어 서로 맞물리게 결합하는 구조이므로, 암커넥터(300)와 수커넥터(200)는 조립시 기계적으로 완전한 락킹상태를 유지할 수 있다.In addition, since the first ground pin 303b of the female connector 300 and the second ground pin 203b of the male connector 200 are bent to engage with each other, the female connector 300 and the male connector 200 are coupled to each other. ) Can maintain mechanically complete locking state during assembly.

다음으로, 도 6 및 도 7을 참고하여 본 발명에 따른 암커넥터(300)와 수커넥터(200)의 락킹구조를 설명한다.Next, a locking structure of the female connector 300 and the male connector 200 according to the present invention will be described with reference to FIGS. 6 and 7.

도 6은 암커넥터(300)의 제1그라운드 핀(303b)과 수커넥터(200)의 제2그라운드 핀(203b)이 락킹되기 전의 상태를 도시한 것이고, 도 7은 암커넥터(300)의 제1그라운드 핀(303b)과 수커넥터(200)의 제2그라운드 핀(203b)이 락킹된 상태를 도시한 것이다.FIG. 6 illustrates a state before the first ground pin 303b of the female connector 300 and the second ground pin 203b of the male connector 200 are locked, and FIG. 7 illustrates the first connector of the female connector 300. 1, the ground pin 303b and the second ground pin 203b of the male connector 200 are locked.

먼저, 수커넥터(200)와 암커넥터(300)를 결합하면, 회전캠(304)의 돌기가 수 커넥터(200)의 제2하우징(201)의 내부에 형성된 홈을 따라 내려가면서, 회전캠(304)과 레버(302a)를 자연스럽게 언락킹(Unlocking) 상태로 이동시킨다. 즉, 도 6에 도시한 상태가 된다. 이는 암커넥터(300)와 수커넥터(200)를 처음 결합할 때, 컨택트 핀들이 락킹된 상태에서 접촉하는 것을 방지하기 위한 것이다.First, when the male connector 200 and the female connector 300 are coupled, the projection of the rotary cam 304 descends along the groove formed in the second housing 201 of the male connector 200, and the rotary cam ( 304 and the lever 302a are naturally moved to an unlocking state. That is, it will be in the state shown in FIG. This is to prevent the contact pins from contacting in the locked state when the female connector 300 and the male connector 200 are first coupled.

상기한 언락킹 상태에서 암커넥터(300)의 레버(302a)를 도 6에서 오른쪽 방향으로 움직이면, 상기 레버(302a)와 제1연결축(308) 및 제2연결축(309)으로 연결된 회전판(310)이 오른쪽으로 회전하게 된다.When the lever 302a of the female connector 300 is moved in the right direction in FIG. 6 in the unlocking state, the rotating plate connected to the lever 302a and the first connecting shaft 308 and the second connecting shaft 309 ( 310 is rotated to the right.

상기 회전판(310)이 오른쪽으로 회전하면, 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 회전판(310)과 회전캠(304)을 연결하는 연결축이 왼쪽방향으로 이동하게 되므로, 회전캠(304) 및 이와 연결된 연결부재(307)가 왼쪽으로 회전하게 된다. 상기 연결부재(307)는 왼쪽으로 회전하면서 약간 아래방향으로 이동하게 되는 데, 이때 연결부재(307)와 연결된 슬라이더(306)도 아래방향으로 이동하게 된다. 이에 따라, 슬라이더(306)는 아래쪽으로 이동하여 암커넥터(300)의 제1그라운드 핀(303b)의 볼록부(303c)를 수커넥터(200)의 제2그라운드 핀(203b)의 오목부(203C)에 밀어 넣으면서 암커넥터(300)와 수커넥터(200)를 락킹시킨다.When the rotary plate 310 is rotated to the right, as shown in Figure 7, the connecting shaft connecting the rotary plate 310 and the rotary cam 304 is moved in the left direction, the rotary cam 304 and this The connected connecting member 307 is rotated to the left. The connecting member 307 is rotated to the left to move slightly downward, at this time, the slider 306 connected to the connecting member 307 is also moved downward. Accordingly, the slider 306 moves downward to move the convex portion 303c of the first ground pin 303b of the female connector 300 to the recess 203C of the second ground pin 203b of the male connector 200. Locking the female connector 300 and the male connector 200 while being pushed into).

본 발명의 락킹구조는, 암커넥터(300)의 제1그라운드 핀(303b)과 수커넥터(200)의 제2그라운드 핀(203b)에 굴곡부를 형성하여 결합시킨뒤 슬라이더(306)로 가압하는 구조이므로 기계적으로 확실하게 락킹시킬 수 있다.The locking structure of the present invention is a structure in which a bent portion is formed on the first ground pin 303b of the female connector 300 and the second ground pin 203b of the male connector 200, coupled thereto, and pressed by a slider 306. Therefore, it can be locked mechanically.

상기 암커넥터(300)와 수커넥터(200)를 분리하고자 할 경우에는, 상기 레버(302a)를 왼쪽으로 돌린 후 수커넥터(200)를 암커넥터(300)로부터 빼내면 된다.When the female connector 300 and the male connector 200 are to be separated, the lever 302a is turned to the left and then the male connector 200 is pulled out of the female connector 300.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시적으로 설명한 것이며, 해당분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 청구범위의 기술적 사상을 벗어나지 않고 다 양한 수정 및 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다.In the above described exemplary embodiments of the present invention by way of example, those skilled in the art will understand that various modifications and variations are possible without departing from the spirit of the claims.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 커넥터 장치에 의하면, 암커넥터의 컨택트 핀과 수커넥터의 컨택트 핀이 접촉되는 부분을 경사면으로 형성하여 접촉면적을 향상시킴으로써, 전류의 변화에 따라 임피던스가 변화하는 현상을 방지하여 안정적인 전기 신호를 전달할 수 있는 효과가 있다.As described in detail above, according to the connector device according to the present invention, the contact pin of the female connector and the contact pin of the male connector is formed by the inclined surface to improve the contact area, the impedance is changed according to the change of current By preventing the phenomenon, there is an effect that can deliver a stable electrical signal.

또한, 시그널 핀과 그라운드 핀의 구조를 각각 다르게 형성하여 한쌍으로 배열함으로써, 조립성을 향상시킬 수 있고 전기적인 간섭을 방지할 수 있는 효과가 있다.In addition, by forming the structure of the signal pin and the ground pin differently arranged in a pair, there is an effect that can improve the assembly and prevent the electrical interference.

또한, 컨택트 핀간의 간격을 줄여 주어진 공간내에 보다 많은 핀들을 배치할 수 있으므로, 웨이퍼의 탐침시간을 절약하여 검사시간을 단축할 수 있는 효과가 있다. In addition, since more pins can be arranged in a given space by reducing the distance between contact pins, the inspection time can be shortened by saving the probe time of the wafer.

또한, 암커넥터와 수커넥터를 전기적/기계적으로 안정적이고 확실하게 접속시킬 수 있는 효과가 있다.In addition, there is an effect that the female connector and the male connector can be electrically and mechanically connected stably and reliably.

Claims

In the connector device comprising a male connector (200) connected to the probe substrate for testing the electrical characteristics of the semiconductor wafer, and a female connector (300) connected to the PCB (Printed Circuit Board) 305 of the semiconductor inspection equipment,

The male connector 200 may include a second housing 201 accommodating a contact pin 203 formed by arranging a plurality of second ground pins 203b and a plurality of second signal pins 203a in a horizontal direction, and the female connector ( A protruding inserting portion 206 and an inserting rod 205 for insertion into the 300;

The female connector 300 includes a first housing 301 for receiving contact pins 303 formed by arranging a plurality of first ground pins 303b and first signal pins 303a in a horizontal direction, and the male connector (301). It includes a lever 302a provided on one side of the first housing 301 to lock the 200 and the female connector 300,

A convex portion 303c formed at the end of the first ground pin 303b by sliding while sliding the first ground pin 303b of the female connector 300 by a locking device operated by the rotation of the lever 302a. Is locked to the second ground pin 203b of the male connector 200 so that the first signal pin 303a of the female connector 300 closely contacts the second signal pin 203a of the male connector 200. The connector device characterized in that it is electrically connected.

The method of claim 1,

The contact surface of the first ground pin (303b) and the second ground pin (203b) is characterized in that each formed in an inclined surface.

The method of claim 1,

The contact device of the first signal pin (303a) and the second signal pin (203a) is characterized in that each formed in an inclined surface.

The method of claim 1,

The first ground pin (303b) and the first signal pin (303a) of the female connector 300, characterized in that arranged in pairs alternately transversely to each other.

The method of claim 1,

The second ground pin (203b) and the second signal pin (203a) of the male connector (200) is a connector device, characterized in that arranged in pairs alternately transversely.

The method of claim 1,

And the first ground pin (303b), the second ground pin (203b), the first signal pin (303a), and the second signal pin (203a) have different shapes.

The method of claim 6,

One side of the first ground pin (303b) is made of a slanted curved line portion, the other side is a connector device characterized in that the convex portion (303c) for coupling to the second ground pin (203b) is formed.

The method of claim 6,

The second ground pin 203b has a concave portion 203c corresponding to the convex portion 303c formed at the end of the first ground pin 303b, and one end of the second ground pin 203b is formed in the second ground pin 203b. A connector device characterized in that it is bent toward the convex portion (303c) of one ground pin (303b).

The method of claim 6,

One end of the second signal pin (203a) is bent in a direction opposite to the bending direction of the one end of the second ground pin (203b).

The method of claim 1,

The locking device includes a lever 302a provided at one end of the female connector 300, a rotation shaft 312b rotated by the operation of the lever 302a, the lever 302a and the first connection shaft 308. And a rotating plate 310 connected to the second connecting shaft 309 to rotate within a predetermined angle, the rotating cam 304 connected to the rotating plate 310 to rotate within a predetermined angle, and the rotating cam 304. ) Is connected to the connecting member 307 for converting the rotation of the slider 306 to the vertical movement of the slider 306, and one end thereof is coupled to the connecting member 307 to move the first ground pin 303b downward by vertical movement. And a slider (306) for sliding the first ground pin (303b) to the second ground pin (203b) while sliding it.

The method of claim 10,

Two rotary cams 304 are provided at both ends and are connected to two fourth connection shafts 312 so as to rotate in a direction opposite to the rotating plate 310 that is rotated by the rotation of the lever 302a. Connector device, characterized in that the.

The method of claim 10,

The slider 306 has a semicircular recess in which a connection member 307 is seated at an upper portion thereof, a rectangular opening portion is formed at a lower portion thereof, and both outsides of the opening portion have a first ground pin 303b downward. A connector device, characterized in that formed in an arc shape for pushing.

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