KR100863588B1 - 탄소 나노튜브 합성 장치에서의 촉매 도포 장치 - Google Patents

탄소 나노튜브 합성 장치에서의 촉매 도포 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 탄소 나노튜브를 합성하는 장치에 있어서 촉매를 기판 상에 균일하게 도포하는 촉매 도포 장치에 관한 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 촉매 도포 장치는 기판에 도포할 촉매를 저장하면서 하부에 메쉬(Mesh)망을 구비한 메쉬 보트, 메쉬 보트 또는 기판을 이동시키는 이송부 및 메쉬 보트에 진동을 가하여 상기 촉매를 상기 기판에 도포하는 진동기(Vibrator)를 포함한다.
촉매 도포, 탄소 나노튜브 합성 장치

Description

탄소 나노튜브 합성 장치에서의 촉매 도포 장치{Catalyst spreading device in a producing device of carbon nanotubes}
본 발명은 촉매 도포 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 탄소 나노튜브를 합성하는 장치에 있어서 촉매를 기판 상에 균일하게 도포하는 촉매 도포 장치에 관한 것이다.
탄소 나노튜브(Carbon nano-tube)는 탄소원자 하나가 주위의 다른 탄소원자 3개와 결합을 하여 육각형 벌집무늬를 형성한다. 탄소 나노튜브는 전기적, 열적, 기계적 특성이 종래의 소자에 비하여 현저히 뛰어나 전계방출소자, 전기화학 및 에너지 저장, 초미세 메카트로닉스 시스템, 유기 및 무기 복합소재 등 다양한 산업분야에 응용될 수 있다.
이러한 탄소 나노튜브를 합성하는 방법으로는 레이저를 이용하여 금속과 흑연 가루가 일정 비율로 섞어 만든 시편을 기화시켜 합성하는 레이저 어블레이션(ablation)법, 직경이 다른 두 개의 탄소봉에 전압을 가하여 아크방전을 일으켜 합성하는 아크방전법(Arc discharge), 기체 상태의 원료가스를 반응기 안으로 주입하여 열이나 플라즈마에 의하여 탄소 나노튜브를 성장시키는 화학기상증착 법(Chemical vapor deposition; CVD), 액상 또는 기상의 탄화수소를 전이금속과 함께 가열된 반응관 안으로 공급하여 탄화수소를 분해시켜 기상상태에서 탄소 나노튜브를 생성하는 열분해법(Pyrolysis of hydrocarbon) 등이 있다.
이 중에서도 촉매에 이용하여 탄소 나노튜브의 성장을 유도하는 화학기상증착법과 같은 탄소 나노튜브의 합성시에는 촉매를 기판 상에 균일하게 도포하는 것이 중요하다.
한편, 촉매는 반응 속도를 조절해 주는 물질로서 탄소 나노튜브의 합성에 있어서는 분말 형태의 촉매를 이용하여 이를 기판 상에 균일하게 도포하는 것이 쉽지 않다. 예를 들어, 분말 형태의 촉매를 기판 상에 흩뿌리거나 단순히 작업자에 의하여 촉매를 기판 상에 도포하는 방법은 균일한 도포를 할 수 없으므로 탄소 나노튜브의 합성에 수율이 떨어질 수 있다.
따라서, 촉매를 기판 상에 균일하게 도포하기 위하여 자동화된 기기에 의하여 기판에 촉매를 공급하는 장치가 필요하며, 이와 함께 대량으로 탄소 나노튜브의 합성을 위하여 촉매를 균일하게 도포시킬 수 있는 기판 도포 장치가 필요하다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 고려하여 안출된 것으로서, 탄소 나노튜브의 합성에 있어서 기판 상에 촉매를 균일하게 도포하는 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
이와 함께, 기판 상의 촉매의 도포를 자동적으로 하는 자동화 기기와 기판의 에지 부분에 촉매의 도포 영역을 조절할 수 있는 촉매 도포 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시예에 따른 촉매 도포 장치는 기판에 도포할 촉매를 저장하면서 하부에 메쉬(Mesh)망을 구비한 메쉬 보트; 상기 메쉬 보트 또는 상기 기판을 이동시키는 이송부; 및 상기 메쉬 보트에 진동을 가하여 상기 촉매를 상기 기판에 도포하는 진동기(Vibrator)를 포함한다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태 로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
본 발명에 따를 경우, 탄소 나노튜브의 합성에 있어서 기판 상에 촉매를 균일하게 도포할 수 있다. 이와 함께, 기판 상의 촉매의 도포를 자동화하여 작업 효율 및 편리성을 높이며, 기판의 에지 부분에서의 촉매 도포 영역을 제어할 수 있다.
본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 바람직한 실시예에 대해 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 촉매 도포 장치의 사시도를 보여주며, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 촉매 도포 장치에서 진동기와 메쉬 보트를 보여주는 사시도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 촉매 도포 장치는 메쉬 보트(100), 이송부(200) 및 진동부(300)를 포함할 수 있다.
메쉬 보트(100)는 촉매를 기판(W)에 흩뿌리는 역할을 한다. 메쉬 보트(100)는 촉매를 임시적으로 보관하는 역할을 하면서, 진동에 의한 움직임을 통하여 촉매를 기판에 뿌린다. 메쉬 보트(100)는 기판의 너비(Width)와 길이가 동일한 정도로 제작될 수 있고, 메쉬 보트(100)의 진동에 의하여 기판의 너비만큼의 촉매를 도포할 수 있다.
메쉬 보트(100)는 윗면이 개방되며, 옆면은 밀폐된 단힌 면이며 하부에 위치하는 밑면은 복수의 메쉬(Mesh) 망(110)을 포함할 수 있다. 메쉬망(110)은 복수의 홀로 이루어지 거나, 사각형 또는 삼각형 등의 빈 공간이 생성된 복수의 메쉬로 이루어질 수 있다. 따라서 메쉬 보트(100)의 밑면에 위치한 메쉬 또는 홀을 통하여 분말 형태의 촉매가 기판 상으로 뿌려지게 되며, 이러한 메쉬 또는 홀의 크기는 가변적으로 조정될 수 있다.
이와 함께, 밑면에 다단으로 이루어질 수도 있다. 예를 들어, 밑면이 3개의 판으로 구성되는 경우에 각 판에서의 메쉬의 크기를 조정할 수 있다. 가장 상부에 위치한 판에서의 메쉬의 크기는 가장 크게 하고, 아래로 내려오면서 메쉬의 크기를 줄임으로써 촉매가 뭉치는 것을 방지하면서 촉매를 메쉬 보트(100) 상에서 균일하게 분포시킬 수 있다.
진동부(300)는 메쉬 보트(100)를 진동시키는 역할을 한다. 진동부는 도 2에서와 같이 메쉬 보트(100)의 양면에 각각 부착된 진동생성부(310) 및 탄성부(320)를 포함할 수 있다. 진동부(300)는 메쉬 보트(100)에 진동을 일으켜 메쉬 보트(100)에 있는 촉매와 메쉬 보트의 이동을 상대적으로 달리하게 됨으로써 촉매를 메쉬 보트로부터 떨어지게 한다.
진동생성부(310)는 메쉬 보트(100)에 일정량의 이동량을 부여하는 역할을 한다. 진동생성부(310)는 메쉬 보트(100)에 초기 이동량 또는 현재 진동 상태의 메쉬 보트(100)에 여분의 이동량을 줄 수도 있다. 진동생성부(310)는 메쉬 보트에 이동량을 부여하는 역할뿐만 아니라 진동생성부 내부에 오일(Oil)을 구비하여 메쉬 보트의 진동에 대한 댐퍼 역할을 할 수도 있다.
탄성부(320)는 메쉬 보트(100)에 한쪽 또는 양쪽에 부착되어 메쉬 보트의 움직임에 대하여 탄성력을 제공한다. 탄성부는 이론적으로 메쉬 보트의 진동을 계속적으로 유지시키지만, 실제로는 댐퍼의 역할을 하는 주변의 구성요소에 의해 메쉬 보트(100)의 진동은 약화된다.
진동부(300)는 기판 상에 도포하는 촉매의 두께와 도포 시간을 고려하여 메쉬 보트(100)의 진동수와 진동 세기 등을 조절할 수 있다. 이러한 메쉬 보트(100)의 진동수와 진동 세기 등은 실험적 또는 이론적 계산에 의하여 결정될 수 있다.
이송부(200)는 기판 또는 메쉬 보트(100)를 이동시키는 역할을 한다. 이송부(200)는 기판에 전 면적에 촉매를 도포하기 위하여 기판을 이동시키거나 촉매를 도포하는 메쉬 보트(100)를 이동시킬 수 있다. 예를 들어, 기판을 이동시키는 경우에는 메쉬 보트(100)는 한 지점에서 진동 중이라면 기판은 메쉬 보트(100)를 기준으로 일 방향으로 왕복 운동 될 수 있다. 여기서는 메쉬 보트(100)는 촉매를 흩뿌리는 역할을 하며, 이송부(200)는 기판을 이동시킴으로써 기판의 전체 면적에 대한 촉매 도포를 수행하도록 한다. 반대의 경우에는, 기판을 정지시킨 상태에서 메쉬 보트(100)를 진동시키면서 기판 위를 왕복하여 스캐닝하며 촉매를 도포할 수 있다. 이 경우에는 기판을 정지상태로 두면서, 메쉬 보트가 기판 전 면적에 대하여 촉매를 도포하는 경우이다.
이송부(200)는 기판 또는 메쉬 보트를 이동시키며, 기판 또는 메쉬 보트는 슬라이드(250) 또는 레일위로 이동이 가능할 수 있다. 이를 이동시키기 위하여 전동 모터(미도시됨) 또는 유압에 의한 피스톤(미도시됨)를 사용할 수 있다. 정확한 위치를 제어하기 위하여 체인을 이용하거나 위치 센서(미도시됨)를 더 포함할 수 있다.
상기와 같이 구성되는 본 발명에 일 실시예에 따른 촉매 도포 장치의 작용을 설명하면 다음과 같다. 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 촉매 도포 장치의 작용을 보여준다.
도 3을 참조하면, 기판(W) 위에 메쉬 보트(100)가 위치한다. 메쉬 보트(100)는 하면이 메쉬 망(110)으로 되어 있어 저장하고 있는 촉매를 메쉬 망을 통하여 기판 위로 도포한다. 진동기의 진동발생부(310)에 의하여 메쉬 보트(100)를 진동시키며, 진동기의 탄성부(320)에 의하여 메쉬 보트(100)의 진동을 유지한다. 예를 들어, 메쉬 보트(100)를 도 3과 같이 좌우로 진동시키는 경우에 기판 위로 촉매를 흩뿌릴 수 있다. 메쉬 보트의 길이가 대략 기판의 너비와 동일하다면 한 번의 진동에 의한 흩뿌림으로 기판의 너비만큼을 도포할 수 있다.
이와 같이, 진동에 의하여 촉매를 흩뿌림으로 인하여 기판 위로 촉매를 도포하고, 기판을 이동시킴으로 기판의 다른 부분에도 촉매를 도포할 수 있다. 또는 기 판을 이동시키지 아니하고 메쉬 보트를 기판 위의 한 쪽 끝 단에서 다른 쪽 끝 단으로 이동시키면서 촉매 도포를 수행할 수 있다. 다만, 한 번의 이동에 의하여 촉매 도포를 끝날 수 없는 경우에는 여러 번 왕복하여 이동하면서 촉매를 도포하여 균일한 촉매 도포를 수행할 수 있다.
상기와 같은 메쉬 보트를 진동시킴으로 촉매를 도포함에 의하여 기판 위에 촉매를 균일하게 도포할 수 있다. 메쉬 보트의 진동에 의하여 촉매를 흩뿌림에 의하여 촉매는 작업자에 의하여 흩뿌리는 경우 또는 단순히 보트를 통하여 기판 위로 뿌리는 경우 등에 비하여 상대적으로 균일한 도포를 수행할 수 있다.
또한 메쉬 보트에 일정량의 촉매를 임시로 저장해두면, 메쉬 보트를 진동시키면서 기판의 전체 면적에 대하여 촉매를 도포할 수 있게 됨으로써 기판의 촉매 도포를 자동화할 수 있다.
도 4은 본 발명의 다른 실시예에 따른 촉매 도포 장치의 사시도를 보여준다.
도 4를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 촉매 도포 장치는 메쉬 보트(100), 이송부(200), 진동부(300), 촉매주입기(400) 및 쉴드부(500)를 포함할 수 있다.
메쉬 보트(100), 이송부(200) 및 진동부(300)에 대하여는 이미 상세히 설명하였기에, 여기서는 촉매주입기(400)와 쉴드부(500)에 대하여 상술하기로 한다.
촉매주입기(400)는 분말 형태의 촉매를 저장하는 저장소의 역할을 하면서, 메쉬 보트(100)에 촉매를 일정량 주입한다. 촉매주입기(400)는 촉매의 섞임을 유도하는 바람개비(410)를 포함하여, 바람개비(410)로 하여금 촉매주입기에 저장된 촉 매를 뒤섞어 줄 수 있다. 촉매주입기(400)는 메쉬 보트(100)에 촉매를 주입하는 통로인 주입구(420)를 포함할 수 있다. 주입구(420)는 닫혀 있는 것이 원칙이며, 메쉬 보트에 촉매를 공급할 때에 정해진 분량만큼만 공급할 수 있는 정량 투입기(미도시됨)를 포함할 수 있다. 정량투입기는 일정한 분량만큼의 촉매를 한 번에 투입하여 메쉬 보트에 공급되는 촉매의 양을 조절할 수 있다.
쉴드부(500)는 메쉬 보트에 의해 흩뿌려지는 촉매가 기판의 가장자리를 벗어나지 않도록 방패막 역할을 한다. 쉴드부(500)는 기판의 가장자리 부근에 기판의 에지를 따라 길게 형성되고, 쉴드부(500)의 형상은 단면으로 볼 때 비스듬이 기울어진 곡선을 이룰 수 있다. 따라서 촉매가 쉴드부(500)에 닿더라도 쉴드부의 안쪽면을 따라 미끄러져 기판 위에 도포되도록 할 수 있다.
쉴드부(500)의 위치를 조정함으로써 기판 상에 도포되는 면적을 조정할 수 있고, 특히 기판의 에지 부분에 쉴드부(500)를 위치시킴으로써 기판상의 에지 부분을 제외한 전 면적에 촉매를 도포할 수 있다.
상기와 같이 구성되는 본 발명에 다른 실시예에 따른 촉매 도포 장치의 작용을 설명하면 다음과 같다. 도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 촉매 도포 장치의 작용을 보여준다.
도 5를 참조하면, 도 3과 비교할 때 쉴드부가 더 포함돼 있다. 따라서 도 5에서의 촉매 도포 장치는 원칙적으로 도 3에서의 촉매 도포 장치의 작용과 동일하게 촉매 도포를 한다. 다만, 쉴드부(500)에 의하여 메쉬 보트로부터 떨어지는 촉매가 기판 바깥으로 흩날리지 않게 하기 위하여 막아준다(Guard). 메쉬 보트(100)가 진동에 의하여 좌우 방향으로 움직임에 의하여 촉매도 이와 함께 좌우 방향으로 흩날릴 수 있으므로, 쉴드부(500)에 의하여 좌우로 흩날리는 촉매를 기판 상으로 인도할 수 있다.
또한 쉴드부(500)에 의하여 기판의 에지 부분에 대한 도포 간격을 조절할 수 있다. 따라서 에지 부분에서의 촉매가 도포되지 아니하는 여분의 영역을 확보할 수 도 있고, 촉매 도포 영역을 조절할 수도 있다.
상기와 같이, 쉴드부에 의하여 기판의 도포 영역을 조절하며, 기판 바깥으로 나가는 촉매를 막아주어 촉매의 낭비를 막을 수 있다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 촉매 도포 장치에 의하여 촉매가 기판에 도포되는 과정을 보여주는 도면이다.
도 6을 참조하면, 메쉬 보트(100)에 저장된 촉매를 진동부에 의해 진동하면서 촉매를 기판 상으로 흩뿌림으로써 기판의 전체 면적에 촉매가 고르게 분포하고 있음을 알 수 있다. 이는 종래에 단순히 작업자에 의하여 촉매를 흩어 뿌리거나 기판 위로 촉매를 뿌린 후에 고르게 펼치는 방안에 비하여 상당히 고르게 분포됨을 알 수 있다. 따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 촉매 도포 장치로서는 촉매를 기판에 균일하게 분포시키고, 기판 또는 메쉬 보트를 이동시킴으로써 기판의 전체 면적에 대하여 촉매 도포를 자동적으로 수행할 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지로 치환, 변형 및 변경이 가능하므 로 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 촉매 도포 장치의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 촉매 도포 장치에서 진동기와 메쉬 보트를 보여주는 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 촉매 도포 장치의 작용을 보여준다.
도 4은 본 발명의 다른 실시예에 따른 촉매 도포 장치의 사시도를 보여준다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 촉매 도포 장치의 작용을 보여준다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 촉매 도포 장치에 의하여 촉매가 기판에 도포되는 과정을 보여주는 도면이다.
*도면의 주요 부분에 대한 설명*
100: 메쉬 보트 110: 메쉬망
200: 이송부 300: 진동기
400: 촉매 투입기 500: 쉴드부

Claims (6)

  1. 기판에 도포할 촉매를 저장하고 하부에 메쉬(Mesh)망을 구비한 메쉬 보트;
    상기 메쉬 보트 또는 상기 기판을 이동시키는 이송부; 및
    상기 메쉬 보트에 진동을 가하여 상기 촉매를 상기 기판에 도포하는 진동기(Vibrator)를 포함하는, 촉매 도포 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 메쉬 보트의 길이는 기판의 너비(Width)와 동일한, 촉매 도포 장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 메쉬 보트로부터 떨어지는 촉매의 영역을 상기 기판 내로 제한하는 쉴드부를 더 포함하는, 촉매 도포 장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 메쉬 보트에 상기 기판에 도포할 촉매를 투입시키는 촉매 투입기를 포함하는, 촉매 도포 장치.
  5. 제 1항에 있어서, 상기 진동기는
    상기 메쉬 보트의 길이 방향의 일단에 연결되어 진동을 발생시키는 진동생성 부; 및
    상기 메쉬 보트의 길이 방향의 타단에 연결되어 진동 상태를 유지시키는 탄성부를 포함하는, 촉매 도포 장치.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 이송부는 상기 메쉬 보트 또는 상기 기판을 반복하여 왕복운동 시키는, 촉매 도포 장치.
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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9033156B2 (en) * 2006-12-21 2015-05-19 M-I L.L.C. Electromagnetic separation for shakers
DE102013206458A1 (de) * 2013-04-11 2014-10-16 Eos Gmbh Electro Optical Systems Rotationsbeschichter und Vorrichtung zum generativen Herstellen eines Objekts mit dem Rotationsbeschichter
FR3012753A1 (fr) * 2013-11-07 2015-05-08 Onduline Sa Machine de saupoudrage d'une plaque profilee de couverture de toiture comportant des motifs en relief par une matiere particulaire
CN111438021A (zh) * 2020-04-10 2020-07-24 湖州显煜电子商务有限公司 一种工艺品活性炭雕用活化上色设备

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63228570A (ja) 1987-03-18 1988-09-22 Toshiba Corp 燃料電池の触媒層形成装置
JPH02157065A (ja) * 1988-12-09 1990-06-15 Kakinuma Shinichi 粉体塗装方法
KR100749541B1 (ko) 2005-12-07 2007-08-14 세메스 주식회사 탄소나노튜브 생산을 위한 촉매 도포 장치

Family Cites Families (33)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1204920B (de) * 1963-01-05 1965-11-11 Albert Wehner Sieb- oder Foerdermaschine
GB1337954A (en) * 1969-12-03 1973-11-21 British United Shoe Machinery Feeding particulate material
US3648649A (en) * 1969-12-22 1972-03-14 Burd Braddock & Bartz Baker{3 s sprinkling apparatus
US3900602A (en) * 1970-05-15 1975-08-19 Siemens Ag Method and device for the manufacture of catalytic layers for electrodes in electrochemical cells, particularly fuel cells
GB1319226A (en) * 1971-01-25 1973-06-06 Hogan J G Feed valves
US3834534A (en) * 1971-12-20 1974-09-10 Kennecott Copper Corp Variable mode vibratory screen
DE2219039A1 (de) * 1972-04-19 1973-10-31 Manfrid Dreher Kg Apparatebau Bedienungseinrichtung fuer trommelanlagen
US4062768A (en) * 1972-11-14 1977-12-13 Locker Industries Limited Sieving of materials
US3917050A (en) * 1974-02-28 1975-11-04 Vaughn Gregor Distributor with discharge conveyors
US4000061A (en) * 1975-08-29 1976-12-28 Browning-Ferris Industries, Inc. Particulate dry product loading apparatus
US4287056A (en) * 1980-06-16 1981-09-01 Kinergy Corporation Sifter stroke screen
JPS6243153Y2 (ko) * 1980-06-16 1987-11-09
US4598662A (en) * 1983-02-11 1986-07-08 International Microporous Technology, Inc. Drum coagulator for preparing microporous membranes
US4763770A (en) * 1985-01-23 1988-08-16 Proctor & Schwartz, Inc. Traveling vibrating diverter feed system
US4684041A (en) * 1985-04-12 1987-08-04 Phillips Petroleum Company Solid particle dispensing
JPH0512890Y2 (ko) * 1985-04-16 1993-04-05
US4737269A (en) * 1986-05-15 1988-04-12 Catalyst Technology, Inc. Catalyst loading hopper
US5078090A (en) * 1990-04-02 1992-01-07 Richman Scott D Article powdering apparatus
US5958135A (en) * 1994-08-17 1999-09-28 Minnesota Mining And Manufacturing Company Apparatus and method for applying coating materials to individual sheet members
US5625015A (en) * 1994-11-23 1997-04-29 Exxon Chemical Patents Inc. Method for making supported catalyst systems and catalyst systems therefrom
US5769281A (en) * 1995-05-06 1998-06-23 Martin Engineering Company Bulk storage hoppers
US5945154A (en) * 1997-10-29 1999-08-31 Thomas; James L. Method of making cold coated non-toxic toy
JP2955709B1 (ja) * 1998-04-03 1999-10-04 株式会社熊谷農機 散撒装置
US6125902A (en) * 1998-04-17 2000-10-03 Guddal; Karl Apparatus for applying an improved adhesive to sheet insulation having drainage channels
US6197114B1 (en) * 1998-11-05 2001-03-06 Material Sciences Corporation Power feeding apparatus having an adjustable feed width
US20020046702A1 (en) * 2000-10-24 2002-04-25 James M. Browning Powder coating system and method for quick color change
US6543620B2 (en) * 2001-02-23 2003-04-08 Quality Research, Development & Consulting, Inc. Smart screening machine
US6679385B2 (en) * 2001-04-18 2004-01-20 M I Llc. Motor control system for vibrating screen separator
US6610147B2 (en) * 2001-08-31 2003-08-26 Owens-Corning Fiberglas Technology, Inc. Shingle granule valve and method of depositing granules onto a moving substrate
JP2004000830A (ja) * 2002-05-31 2004-01-08 Zuiko Corp 粉粒体の間欠散布装置
CA2396073A1 (en) * 2002-07-31 2004-01-31 Ix Research Ltd. Mixing apparatus
CN2666887Y (zh) * 2003-10-28 2004-12-29 黄德欢 连续制备碳纳米管的装置
US20090206011A1 (en) * 2008-02-20 2009-08-20 Cudahy George F Vibrating Screen Apparatus

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63228570A (ja) 1987-03-18 1988-09-22 Toshiba Corp 燃料電池の触媒層形成装置
JPH02157065A (ja) * 1988-12-09 1990-06-15 Kakinuma Shinichi 粉体塗装方法
KR100749541B1 (ko) 2005-12-07 2007-08-14 세메스 주식회사 탄소나노튜브 생산을 위한 촉매 도포 장치

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