KR100863526B1 - Cleaning agent composition - Google Patents
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Abstract
렌즈 등의 광학 물품의 연마 가공 공정에서 사용하는 고정제나 보호막을 제거하기 위하여 사용하는 세정제로서, 환경 문제나 인체에의 영향이 염려되는 할로겐계 용제, 플론계 용제, 방향족계 용제를 사용하지 않고, 각종 고정제 및 보호막에 대하여 높은 세정력을 갖는 세정제용 조성물을 제공한다. As a cleaning agent used to remove a fixing agent or a protective film used in the polishing process of an optical article such as a lens, without using a halogen solvent, a flan solvent, or an aromatic solvent, which is concerned about environmental problems or human effects, Provided are compositions for cleaning agents having high cleaning power to various fixing agents and protective films.
예를 들면 디프로필렌글리콜모노메틸에테르나 디프로필렌글리콜디메틸에테르 등의 알킬렌글리콜알킬에테르 75∼25 중량% 및 시클로데칸, 시클로운데칸, 시클로도데칸 등의 탄소수 10∼15의 시클로파라핀 25∼75 중량%로 이루어지는 세정제용 조성물을 사용한다. For example, 75-25 weight% of alkylene glycol alkyl ethers, such as dipropylene glycol monomethyl ether and dipropylene glycol dimethyl ether, and cycloparaffins 25-75 of C10-C15 cycloparaffins, such as a cyclodecane, a cyclo undecane, and a cyclododecane The composition for detergent which consists of weight% is used.
세정제용 조성물, 알킬렌글리콜알킬에테르, 시클로파라핀 Cleaning composition, alkylene glycol alkyl ether, cycloparaffin
Description
본 발명은 렌즈나 프리즘 등의 광학 물품을 제조할 때에 사용되는 고정제(固定劑)나 보호막 등을 제거하는 목적으로 사용되는 세정제용 조성물에 관한 것이다. This invention relates to the composition for cleaning agents used for the purpose of removing the fixation agent, protective film, etc. which are used when manufacturing optical articles, such as a lens and a prism.
렌즈 등의 광학 물품을 제조할 경우, 유리 기판 등의 광학 기재(基材)의 표면을 연마하여 가공할 필요가 있다. 이 연마 공정에서는 광학 기재를 지지대에 고정하여 연마를 행하지만, 지지대에의 고정에 있어서는, 왁스, 아스팔트 피치 등으로 이루어지는 고정제가 사용되고 있다. When manufacturing optical articles, such as a lens, it is necessary to grind and process the surface of optical base materials, such as a glass substrate. In this polishing step, the optical substrate is fixed to the support base and polished. However, in the fixing to the support base, a fixing agent composed of wax, asphalt pitch, or the like is used.
또한 한쪽면의 연마가 종료한 후에 다른 한쪽면을 연마할 경우, 연마를 마친 면을 보호하기 위하여 페놀계 수지나 아크릴계 수지 등으로 이루어지는 마스킹제를 도포하여, 보호막을 형성함이 행하여지고 있다. 그리고 연마 공정 종료 후, 이들 고정제나 보호막은 세정제를 사용하여 광학 기재로부터 제거되며, 연마를 마친 광학 기재는 연마제 제거 공정 등의 다음 공정으로 이동된다. In addition, in the case where the other side is polished after polishing of one side is finished, a protective film is formed by applying a masking agent made of phenolic resin, acrylic resin, or the like to protect the polished side. After the completion of the polishing step, these fixing agents and protective films are removed from the optical substrate by using a cleaning agent, and the polished optical substrate is moved to the next step such as the abrasive removal step.
종래, 이들 고정제나 보호막의 세정제로서는, 염소계 용제 혹은 플론계 용제가 사용되어 왔다. 그러나, 최근, 이들 용제는, 오존층 파괴나 지하수 오염을 야 기함이 문제시되어, 완전밀폐계에 의한 사용 이외는 취급이 곤란한 상황으로 되어 있다. Conventionally, chlorine-based solvents or flon-based solvents have been used as cleaning agents for these fixing agents and protective films. In recent years, however, these solvents have caused problems of ozone layer destruction and groundwater contamination, and have been difficult to handle except for use by a completely sealed system.
최근 이들의 대책으로서, 광학 물품 제조에 사용할 수 있는 세정제용의 조성물로서, (1) 디알킬글리콜에테르를 배합한 것(일본국 공개특허공보 특개평7-247499호 참조), (2) 특정의 알코올과 프로필렌글리콜모노알킬에테르 혹은 디프로필렌글리콜모노알킬에테르의 혼합물(일본국 공개특허공보 특개평9-25496호 참조), (3) 특정의 방향족 화합물과 지방족 화합물을 특정 비율로 혼합한 용제(일본국 공개특허공보 특개평8-254602호 참조) 및 (4) 이소파라핀계 용제와 글리콜에테르의 혼합물(일본국 공개특허공보 특개2001-329296호 참조)이 제안되어 있다. As a countermeasure of these in recent years, as a composition for cleaning agents which can be used for optical article manufacture, (1) which mix | blended dialkyl glycol ether (refer Unexamined-Japanese-Patent No. 7-247499), (2) specific A mixture of an alcohol with propylene glycol monoalkyl ether or dipropylene glycol monoalkyl ether (see Japanese Patent Laid-Open No. 9-25496), (3) A solvent in which a specific aromatic compound and an aliphatic compound are mixed in a specific ratio (Japan (See Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 8-254602) and (4) a mixture of an isoparaffinic solvent and a glycol ether (see Japanese Patent Laid-Open No. 2001-329296).
그러나, 상기 (1) 및 (2)의 세정제 조성물은, 왁스 피치의 용해성이 우수하지만, 다른 아스팔트 피치, 수지계 보호막의 용해제거성에서는 충분한 것이라고는 할 수 없다. 또한 상기 (3)의 세정제에서는, 아스팔트 피치 및 일부의 수지계 보호막밖에 용해제거할 수 없을 뿐만 아니라, 방향족계 화합물은 환경적 문제 및 인체에의 영향면에서의 문제가 있고, 악취도 강하다는 문제가 있다. 또한 상기 (4)의 세정제는, 왁스 피치, 아스팔트 피치 등의 고정제 및 보호막 둘다에 대하여 대체로 양호한 제거 성능을 발휘하지만, 반드시 충분하다고는 할 수 없고, 피치와 보호막의 양쪽에 충분한 세정력을 갖게 하기 어렵다. However, although the cleaning composition of said (1) and (2) is excellent in the solubility of a wax pitch, it cannot be said that it is sufficient in the dissolution removal property of another asphalt pitch and a resinous protective film. In addition, in the cleaning agent of (3), not only the asphalt pitch and some resin protective films can be dissolved and removed, but the aromatic compounds have problems in terms of environmental problems and effects on the human body, and also have problems of strong odor. have. Moreover, although the cleaning agent of said (4) shows a favorable removal performance generally with respect to both fixatives, such as a wax pitch and an asphalt pitch, and a protective film, it does not necessarily need to be sufficient and it makes it sufficient to have sufficient cleaning power in both a pitch and a protective film. it's difficult.
따라서, 본 발명의 목적은, 왁스에 대한 세정력이 상기 (4)의 세정제와 동등하고 피치 및 보호막에 대한 세정력이 더욱 개선된 세정제를 제공함에 있다. It is therefore an object of the present invention to provide a cleaning agent in which the cleaning power for the wax is equivalent to the cleaning agent in the above (4), and the cleaning power for the pitch and the protective film is further improved.
본 발명의 다른 목적 및 이점은 이하의 설명으로부터 명확하게 될 것이다. Other objects and advantages of the present invention will become apparent from the following description.
본 발명자 등은, 상기 과제를 해결하고자 예의 검토를 행한 결과, 알킬렌글리콜알킬에테르와 시클로파라핀을 병용한 경우에는 알킬렌글리콜알킬에테르와 이소파라핀을 병용한 경우에 비해 피치 및 보호막에 대한 용해성이 현저하게 높아, 소기의 목적을 달성할 수 있음을 알아내어, 본 발명을 완성함에 이르렀다. MEANS TO SOLVE THE PROBLEM As a result of earnestly examining in order to solve the said subject, when this inventor used alkylene glycol alkyl ether and cycloparaffin together, compared with the case where alkylene glycol alkyl ether and isoparaffin were used together, the solubility to a pitch and a protective film was carried out. It was found that it was remarkably high and that the desired objective was achieved, and came to complete this invention.
즉, 본 발명의 상기 목적 및 이점은, 첫째, 하기 식That is, the above object and advantages of the present invention, first, the following formula
R1-(O-CnH2n)m-O-R2 R 1- (OC n H 2n ) m -OR 2
(식중, R1은 탄소수 1∼4의 알킬기이며, R2는 수소 원자 또는 탄소수 1∼4의 알킬기이며, m은 1∼3의 정수이며, n은 2 또는 3이다.)으로 표시되는 알킬렌글리콜알킬에테르 75∼25 중량% 및 탄소수 10∼15의 시클로파라핀 25∼75 중량%로 이루어지는 것을 특징으로 하는 세정제용 조성물에 의해 달성된다. Wherein R 1 is an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, R 2 is a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, m is an integer of 1 to 3, and n is 2 or 3. It is achieved by the composition for cleaning which consists of 75 to 25 weight% of glycol alkyl ethers, and 25 to 75 weight% of cycloparaffins with 10 to 15 carbon atoms.
본 발명의 상기 목적 및 이점은, 둘째, 상기 조성물을 주성분으로 하는 세정제에 의해 달성된다. The above objects and advantages of the present invention are secondly achieved by a cleaning agent based on the composition.
본 발명의 상기 목적 및 이점은, 셋째, 적어도 2개의 주표면(主表面)을 갖는 광학 기재를 기재지지대에 고정제를 사용하여 고정하는 기재 고정 공정, 기재지지대에 고정된 상기 광학 기재의 노출한 주표면을 연마하는 연마 공정, 및 세정제를 사용하여 상기 고정제를 제거함에 의해 연마된 기재와 기재지지대를 분리하는 기재 분리 공정을 포함하는 광학 물품의 제조 방법에 있어서, 상기 세정제로서 상기 본 발명의 세정제를 사용하는 것을 특징으로 하는 광학 물품의 제조 방법에 의해 달성된다. The object and advantage of the present invention is, thirdly, a substrate fixing step of fixing an optical substrate having at least two main surfaces to the substrate support using a fixing agent, and exposing the optical substrate fixed to the substrate support. A method for producing an optical article comprising a polishing step of polishing a major surface, and a substrate separation step of separating the polished substrate and the substrate support by removing the fixing agent using a cleaning agent, wherein the cleaning agent of the present invention is used as the cleaning agent. It is achieved by a method for producing an optical article characterized by using a cleaning agent.
또, 본 발명의 상기 제조 방법에 있어서는, 상기 기재 고정 공정에 있어서 광학 기재로서 보호막으로 피복된 적어도 하나의 주표면과 보호막으로 피복되지 않은 적어도 하나의 주표면을 갖는 광학 기재를 사용하고, 상기 연마 공정에서, 보호막으로 피복되어 있지 않은 적어도 하나의 주표면을 연마하고, 상기 기재 분리 공정에 있어서 상기 고정제와 함께 상기 보호막을 제거할 수도 있다. In the above production method of the present invention, in the substrate fixing step, the polishing is performed using an optical substrate having at least one major surface coated with a protective film and at least one major surface not covered with a protective film as the optical substrate. In the step, at least one major surface not covered with the protective film may be polished, and the protective film may be removed together with the fixing agent in the substrate separation step.
[발명을 실시하기 위한 최량의 형태]Best Mode for Carrying Out the Invention
본 발명의 세정제용 조성물은, 특정한 알킬렌글리콜알킬에테르 75∼25 중량% 및 탄소수 10∼15의 시클로파라핀 25∼75 중량%로 이루어진다. 양자를 특정 비율로 함유함으로써, 상승 효과가 생겨 각각 단독의 세정력으로부터는 예상할 수 없는 세정력을 얻을 수 있게 된다. 구체적으로는, 상기 보호막 및 고정제의 양쪽에 대하여 높은 세정력을 얻을 수 있다. 세정력의 높음의 관점에서, 바람직하게는, 상기 알킬렌글리콜알킬에테르의 함유 비율은 70∼30 중량%이며, 상기 시클로파라핀의 함유 비율은 30∼70 중량%이다. The composition for cleaning of this invention consists of 75-25 weight% of specific alkylene glycol alkyl ethers, and 25-75 weight% of cycloparaffins having 10 to 15 carbon atoms. By containing both in specific ratios, a synergistic effect will arise and the washing power which cannot be expected from each washing power independently can be obtained. Specifically, high cleaning power can be obtained for both the protective film and the fixing agent. From the viewpoint of the high cleaning power, the content ratio of the alkylene glycol alkyl ether is preferably 70 to 30% by weight, and the content ratio of the cycloparaffin is 30 to 70% by weight.
본 발명의 조성물의 제1 성분인 알킬렌글리콜알킬에테르는, 하기 식으로 표시된다. The alkylene glycol alkyl ether which is the 1st component of the composition of this invention is represented by a following formula.
R1-(O-CnH2n)m-O-R2 R 1- (OC n H 2n ) m -OR 2
상기 식에 있어서, R1은 탄소수 1∼4의 알킬기를 의미하고, R2는 수소 원자 또는 탄소수 1∼4의 알킬기를 의미한다. R1 또는 R2로서의 탄소수 1∼4의 알킬기로서는, 메틸기, 에틸기, n-프로필기, 이소프로필기, n- 부틸기, 2-부틸기 및 t―부틸기를 들 수 있다. 또한 m은 1∼3의 정수이며, n은 2 또는 3이다. In the above formula, R 1 means an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, and R 2 means a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms. Examples of the alkyl group having 1 to 4 carbon atoms as R 1 or R 2 include methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, 2-butyl group and t-butyl group. In addition, m is an integer of 1-3, n is 2 or 3.
본 발명에서 적합하게 사용할 수 있는 상기 식으로 나타내어지는 알킬렌글리콜알킬에테르를 예시하면 모노프로필렌글리콜모노메틸에테르, 디프로필렌글리콜모노메틸에테르, 트리프로필렌글리콜모노메틸에테르, 모노프로필렌글리콜모노프로필에테르, 디프로필렌글리콜모노프로필에테르, 트리프로필렌글리콜모노프로필에테르, 모노프로필렌글리콜모노부틸에테르, 디프로필렌글리콜모노부틸에테르, 트리프로필렌글리콜모노부틸에테르, 모노에틸렌글리콜모노메틸에테르, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르, 트리에틸렌글리콜모노메틸에테르, 모노에틸렌글리콜모노프로필에테르, 디에틸렌글리콜모노프로필에테르, 트리에틸렌글리콜모노프로필에테르, 모노에틸렌글리콜모노부틸에테르, 디에틸렌글리콜모노부틸에테르, 트리에틸렌글리콜모노부틸에테르와 같은 알킬렌글리콜모노알킬에테르; 프로필렌글리콜디메틸에테르, 디프로필렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌글리콜메틸에틸에테르, 트리에틸렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌글리콜디에틸에테르와 같은 알킬렌글리콜디알킬에테르를 들 수 있다. 이들 알킬렌글리콜알킬에테르는 단독으로 사용해도 되고, 다른 종류의 것을 복수 혼합하여 사용해도 된다. Examples of the alkylene glycol alkyl ether represented by the above formula that can be suitably used in the present invention include monopropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, tripropylene glycol monomethyl ether, monopropylene glycol monopropyl ether, and di Propylene glycol monopropyl ether, tripropylene glycol monopropyl ether, monopropylene glycol monobutyl ether, dipropylene glycol monobutyl ether, tripropylene glycol monobutyl ether, monoethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, triethylene Glycol monomethyl ether, monoethylene glycol monopropyl ether, diethylene glycol monopropyl ether, triethylene glycol monopropyl ether, monoethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, triethylene glycol monobutyl Alkylene glycol monoalkyl ethers such as hotel; And alkylene glycol dialkyl ethers such as propylene glycol dimethyl ether, dipropylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, triethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, and diethylene glycol diethyl ether. These alkylene glycol alkyl ethers may be used alone or in combination of two or more different kinds thereof.
고세정력과 저독성, 취급이 용이한 물성의 관점에서, 이들 중에서도 (1) 디 프로필렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌글리콜메틸에틸에테르 및 트리에틸렌글리콜디메틸에테르로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1종의 알킬렌글리콜디알킬에테르, 또는 (2) 당해 (1)의 알킬렌글리콜디알킬에테르 및, 모노프로필렌글리콜모노메틸에테르, 디프로필렌글리콜모노메틸에테르, 트리프로필렌글리콜모노메틸에테르, 모노프로필렌글리콜모노프로필에테르, 디프로필렌글리콜모노프로필에테르, 트리프로필렌글리콜모노프로필에테르, 모노프로필렌글리콜모노부틸에테르, 디프로필렌글리콜모노부틸에테르 및 트리프로필렌글리콜모노부틸에테르로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1종의 알킬렌글리콜모노알킬에테르의 혼합물이 적합하다. 특히 상기 (1) 및 (2)에 있어서 디알킬에테르의 함유 비율이 30∼100 wt%인 것, 그 중에서도 디프로필렌글리콜디메틸에테르 30∼100 wt% 및 디프로필렌글리콜모노메틸에테르 0∼70 wt%로 이루어지는 것이 특히 적합하다. From the viewpoint of high cleaning power, low toxicity and easy handling, among them, (1) at least one alkylene glycol selected from the group consisting of dipropylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol methylethyl ether and triethylene glycol dimethyl ether Dialkyl ether or (2) alkylene glycol dialkyl ether of (1) and monopropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, tripropylene glycol monomethyl ether, monopropylene glycol monopropyl ether, di At least one alkylene glycol monoalkyl ether selected from the group consisting of propylene glycol monopropyl ether, tripropylene glycol monopropyl ether, monopropylene glycol monobutyl ether, dipropylene glycol monobutyl ether and tripropylene glycol monobutyl ether Mixtures are suitable. In particular, in the above (1) and (2), the content ratio of the dialkyl ether is 30 to 100 wt%, and in particular, 30 to 100 wt% of dipropylene glycol dimethyl ether and 0 to 70 wt% of dipropylene glycol monomethyl ether. It is especially suitable to consist of.
본 발명의 조성물의 제2 성분인 탄소수 10∼15의 시클로파라핀으로서는, 간편한 세정장치를 사용할 수 있다는 관점에서, 비점이 180℃∼250℃인 탄소수 10∼15의 시클로파라핀이 적합하다. 시클로파라핀에서도 탄소수가 10 미만의 것을 사용한 경우에는 인화점의 저하에 따라 취급에 주의가 필요하게 되며, 비점의 저하에 의한 방산량(放散量)의 증가에 의한 작업환경의 악화나 액 조성의 변화를 무시할 수 없게 된다. 또한 탄소수가 15를 넘는 것을 사용한 경우에는 오염물질 제거 능력이 저하한다. As a C10-C15 cycloparaffin which is a 2nd component of the composition of this invention, the C10-C15 cycloparaffin whose boiling point is 180 degreeC-250 degreeC is suitable from a viewpoint that a simple washing | cleaning apparatus can be used. In the case of using cycloparaffins with less than 10 carbon atoms, care must be taken for handling as the flash point decreases, and the deterioration of the working environment and the change in the liquid composition due to the increase in the amount of dissipation caused by the decrease in the boiling point can be ignored. It becomes impossible. In addition, when the carbon number is more than 15, the ability to remove contaminants is reduced.
본 발명에서 적합하게 사용할 수 있는 시클로파라핀을 구체적으로 예시하면 시클로데칸, 시클로운데칸, 시클로도데칸 등을 들 수 있다. 이들은 단독으로 사용 해도 되고, 다른 종류의 것을 복수 혼합하여 사용해도 된다. Specific examples of the cycloparaffin that can be suitably used in the present invention include cyclodecane, cycloundecane, cyclododecane and the like. These may be used independently, and may mix and use multiple types of different things.
본 발명의 세정제용 조성물은, 광학 렌즈의 제조 방법과 같이, 적어도 2개의 주표면을 갖는 광학 기재를 기재지지대에 고정제를 사용하여 고정하는 기재 고정 공정, 기재지지대에 고정된 상기 광학 기재의 노출한 주표면을 연마하는 연마 공정, 세정제를 사용하여 상기 고정제를 제거함에 의해 연마된 기재와 기재지지대를 분리하는 기재 분리 공정을 포함하는 광학 물품의 제조 방법에 있어서, 상기 기재 분리 공정에서 사용하는 세정제용 조성물로서 적합하게 사용할 수 있다. The cleaning composition of the present invention is a substrate fixing step of fixing an optical substrate having at least two main surfaces to a substrate support using a fixing agent, such as a method for producing an optical lens, and exposure of the optical substrate fixed to the substrate support. A method of manufacturing an optical article comprising a polishing step of polishing a major surface and a substrate separation step of separating the polished substrate and the substrate support by removing the fixing agent using a cleaning agent, the method being used in the substrate separation step. It can use suitably as a composition for detergents.
여기서 광학 기재란, 예를 들면 광학 렌즈나 프리즘 등의 광학 물품의 재료로 되는 유리, 석영 등의 투광성 재료로 구성되는 기판이나 블럭 등이다. 또한 고정제로서는, 예를 들면 왁스 피치, 아스팔트 피치, 송진 및 밀랍을 들 수 있다. 또한 상기 분리 공정에서 세정제를 사용하여 연마된 기재와 기재지지대를 분리하기 위해서는, 세정조에 도입된 세정제에 고정제에 의해 접합된 기재 및 기재지지대를 침지하고, 필요에 따라 초음파를 사용하여 세정을 하면 된다. 본 발명의 세정제는 고정제나 보호막으로 되는 각종 성분에 대한 세정력이 극히 높으므로, 단시간에 양자를 깨끗하게 분리할 수 있다. An optical base material is a board | substrate, a block, etc. which consist of translucent materials, such as glass and quartz which are used as materials of optical articles, such as an optical lens and a prism, for example here. In addition, examples of the fixing agent include wax pitch, asphalt pitch, rosin and beeswax. In order to separate the substrate and the substrate support polished using the cleaning agent in the separation step, the substrate and the substrate support bonded by the fixing agent are immersed in the cleaning agent introduced into the cleaning tank, and, if necessary, cleaning is performed using ultrasonic waves. do. Since the washing | cleaning agent of this invention is extremely high in the washing | cleaning power with respect to the various components used as a fixing agent or a protective film, it can isolate | separate both in a short time.
또, 상기와 같은 광학 물품의 제조 방법에 있어서는, 광학 물품이 광학 렌즈나 프리즘과 같이 연마하는 면을 2 이상 가질 경우에는, 하나의 면을 연마 후, 다른 면을 연마할 때에 연마를 마친 면을 상처입히지 않도록 하기 위하여 연마를 마친 면을 보호막으로 피복함이 일반적으로 행하여지고 있다. 이 경우, 다른 면의 연마도 상기 기재 고정 공정, 연마 공정 및 기재 분리 공정을 거쳐서 행하여지지 만, 상기 기재 분리 공정에 있어서 고정제와 함께 보호막을 제거할 수도 있다. 여기서, 보호막이란, 예를 들면 마스킹제를 도포하여 형성되는 페놀계 수지 또는 아크릴계 수지로 이루어지는 수지막을 의미한다. 본 발명의 세정제는, 고정제뿐만아니라 이러한 보호막에 대한 세정력도 높다. 따라서 이러한 제조 방법에 있어서의 기재 분리 공정에서는 기재와 기재지지대를 깨끗하게 분리함과 함께 보호막의 제거도 아울러 할 수 있다. In the method for producing an optical article as described above, when the optical article has two or more surfaces to be polished like an optical lens or a prism, the surface that has been polished when the other surface is polished after polishing one surface is polished. In order to avoid abrasion, it is common to coat the polished surface with a protective film. In this case, the polishing of the other surface is also performed through the substrate fixing step, the polishing step and the substrate separating step, but the protective film may be removed together with the fixing agent in the substrate separating step. Here, a protective film means the resin film which consists of a phenol resin or acrylic resin formed by apply | coating a masking agent, for example. The cleaning agent of the present invention has a high cleaning power not only for the fixing agent but also for such a protective film. Therefore, in the substrate separation step of the production method, the substrate and the substrate support can be separated cleanly, and the protective film can be removed.
본 발명의 세정제용 조성물을 상기와 같은 기재 분리 공정에서 사용하는 세정제로서 사용할 경우, 본 발명의 세정제용 조성물을 그대로 세정제로서 사용할 수 있지만, 세정제는 세정력을 높이기 위한 성분을 더 함유할 수도 있다. 이러한 성분으로서는, 예를 들면 탄소수 10∼15의 시클로파라핀 이외의 탄화수소계 용제, 알코올, 케톤, 에테르 등의 산소함유 유기용제, 계면활성제 등을 들 수 있다. 이들 성분의 첨가량은 특별히 한정되는 것은 아니지만, 본 발명의 세정용 조성물의 특성을 충분하게 발휘할 수 있다는 관점에서, 세정제 전체의 10 중량% 이하, 특히 5 중량% 이하인 것이 적합하다. 또, 계면활성제로서는, 비이온성 계면활성제, 음이온성 계면활성제, 양이온성 계면활성제, 양쪽성 계면활성제 어느것이든 되지만 소수성이 강한 계면활성제를 사용하는 것이 요망된다. 바람직하게는 비이온 계면활성제이며, 예를 들면 고급 알코올류의 알킬렌옥사이드 부가물, 알킬페닐에테르의 알킬렌옥사이드 부가물이나 지방산의 알킬렌옥사이드 부가물 등을 들 수 있다. When the cleaning composition of the present invention is used as the cleaning agent used in the substrate separation step as described above, the cleaning composition of the present invention can be used as the cleaning agent as it is, but the cleaning agent may further contain a component for increasing the cleaning power. As such a component, hydrocarbon-based solvents other than C10-C15 cycloparaffin, oxygen-containing organic solvents, such as alcohol, a ketone, and ether, surfactant etc. are mentioned, for example. Although the addition amount of these components is not specifically limited, From a viewpoint that the characteristic of the cleaning composition of this invention can fully be exhibited, it is suitable that it is 10 weight% or less, especially 5 weight% or less of the whole cleaning agent. As the surfactant, any of nonionic surfactants, anionic surfactants, cationic surfactants and amphoteric surfactants may be used, but it is desired to use a surfactant having a high hydrophobicity. Preferably it is a nonionic surfactant, For example, the alkylene oxide adduct of a higher alcohol, the alkylene oxide adduct of an alkylphenyl ether, the alkylene oxide adduct of a fatty acid, etc. are mentioned.
이상, 광학 물품을 제조할 때에 사용하는 경우를 예로 본 발명의 세정제에 관하여 설명했지만, 본 발명의 세정제의 용도는 이것에 한정되는 것은 아니고, 예 를 들면 피치, 왁스에 의해 치구(治具)에 고정하여 연마하는 기계부품이나 전자부품의 연마 후의 세정, 수지도포용 마스크, 치구(治具)류의 세정 등, 같은 오염물질을 제거하기 위한 세정제로서도 적합하게 사용할 수 있다. As mentioned above, although the case of using when manufacturing an optical article was demonstrated about the cleaning agent of this invention as an example, the use of the cleaning agent of this invention is not limited to this, For example, it uses a pitch and wax to a jig | tool. It can also be suitably used as a cleaning agent for removing contaminants such as cleaning of fixed and polished mechanical parts and electronic parts, cleaning of resin coating cloth masks, jigsaws, and the like.
[실시예]EXAMPLE
이하, 실시예에 의해 본 발명을 더 상세하게 설명하지만, 본 발명은 이들 실시예에 한정되는 것은 아니다. 또, 각 실시예 및 비교예에서 사용하는 유기용제의 약호는, 각기 이하의 화합물을 의미한다. Hereinafter, although an Example demonstrates this invention further in detail, this invention is not limited to these Examples. In addition, the symbol of the organic solvent used by each Example and a comparative example means the following compounds, respectively.
(1) 알킬렌글리콜알킬에테르(1) alkylene glycol alkyl ethers
·모노알킬에테르 Monoalkyl ether
DPGME: 디프로필렌글리콜모노메틸에테르 DPGME: dipropylene glycol monomethyl ether
TPGME: 트리프로필렌글리콜모노메틸에테르TPGME: tripropylene glycol monomethyl ether
DPGPE: 디프로필렌글리콜모노프로필에테르DPGPE: dipropylene glycol monopropyl ether
PGME: 프로필렌글리콜모노메틸에테르 PGME: Propylene Glycol Monomethyl Ether
·디알킬에테르Dialkyl ether
DPGDME: 디프로필렌글리콜디메틸에테르DPGDME: dipropylene glycol dimethyl ether
DEGMEE: 디에틸렌글리콜메틸에틸에테르DEGMEE: diethylene glycol methyl ethyl ether
TEGDME: 트리에틸렌글리콜디메틸에테르TEGDME: triethylene glycol dimethyl ether
(2) 탄화수소계 용제(2) hydrocarbon solvent
·시클로파라핀Cycloparaffin
TPS-3200: 가부시끼가이샤 도꾸야마제 시클로파라핀계 탄화수소 세정제 TPS-3200TPS-3200: cycloparaffinic hydrocarbon cleaner TPS-3200 made by Tokuyama
CnH2n n=11∼13 인화점 74℃C n H 2n n = 11-13 Flash point 74 ℃
·이소파라핀Isoparaffin
TPS-1150: 가부시끼가이샤 도꾸야마제 이소파라핀계 탄화수소 세정제 TPS-1150TPS-1150: isoparaffinic hydrocarbon cleaner TPS-1150 made by Tokuyama
CnH2n +2 n=9∼14 인화점 71℃C n H 2n +2 n = 9 to 14 Flash point 71 ° C
·노르말파라핀Normal paraffin
TPS-2250: 가부시끼가이샤 도꾸야마제 노르말파라핀계 탄화수소 세정제 TPS-2250TPS-2250: Normal paraffin type hydrocarbon cleaner TPS-2250 made by Tokuyama
CnH2n +2 n=10∼14 인화점 52.5℃ . C n H 2n +2 n = 10-14 Flash point 52.5 ° C.
참고예Reference Example 1 One
고코노에 연마용 피치 급별 K급 No.8(고코노에덴끼가부시끼가이샤제)을 지름 6 mm의 버튼형으로 정형하여 고착된 시료를 준비하고, 고착된 피치의 중량을 측정한 바, 그 중량은 56.2 mg이었다. 이어서 상기 시료를 25℃로 유지된 세정제(시클로파라핀계 세정제 TPS-3200 가부시끼가이샤 도꾸야마제) 20 ml에 20분간 침지했다. 그 후 시료를 꺼내어, 건조시키고 나서 유리판에 부착한 잔존 피치의 중량을 측정한 바, 17.1 mg이었다. 초기 중량과 잔존 중량과의 차이로부터 제거된 피치량은 39.1 mg으로 된다. The Kokonoe polishing pitch class K No.8 (manufactured by Kokonoe Denki Co., Ltd.) was shaped into a button shape with a diameter of 6 mm to prepare a fixed sample, and the weight of the adhered pitch was measured. Was 56.2 mg. Subsequently, the said sample was immersed for 20 minutes in 20 ml of washing | cleaning agents (cycloparaffinic washing | cleaning agent TPS-3200 made in Tokuyama) maintained at 25 degreeC. Then, the sample was taken out and dried, and the weight of the residual pitch adhered to the glass plate was measured, and it was 17.1 mg. The amount of pitch removed from the difference between the initial weight and the remaining weight is 39.1 mg.
또 눈으로 시료 침지 중 및 침지 후의 세정액을 관찰한 바, 피치의 박리는 보이지 않고 균일한 용액이었다. 이로부터, 피치는 모두 용해에 의해 제거되어 있음을 알 수 있다. Moreover, when the washing | cleaning liquid in sample immersion and after immersion was observed visually, peeling of a pitch was not seen but it was a uniform solution. From this, it turns out that all the pitch is removed by melt | dissolution.
참고비교예Comparative Example 1 및 2 1 and 2
세정액을, 이소파라핀계 세정제 TPS-1150(가부시끼가이샤 도꾸야마제)(참고비교예 1) 또는 노르말파라핀계 세정제 TPS-2250(가부시끼가이샤 도꾸야마제)(참고비교예 2)로 바꾸는 이외는 참고예 1과 마찬가지로 하여 피치의 제거량을 구했다. 또한 시료 침지 중에 성형된 피치의 박리가 일어나 있는지 아닌지에 대하여 눈에 의한 관찰을 했다. 그 결과를 표 1에 나타낸다. Except replacing the cleaning liquid with isoparaffin-based cleaner TPS-1150 (manufactured by Tokuyama Co., Ltd.) (reference comparison example 1) or normal paraffin-based cleaner TPS-2250 (manufactured by Kabukishi Tokuyama) (reference example 2) In the same manner as in Reference Example 1, the amount of removal of the pitch was obtained. In addition, eye observation was made as to whether or not peeling of the formed pitch occurred during sample immersion. The results are shown in Table 1.
[표 1]TABLE 1
표 1에 나타나 있는 바와 같이, 탄소수 10∼15인 시클로파라핀의 피치에 대한 용해력이 높다. 이에 대하여 이소파라핀이나 노르말파라핀을 사용한 참고비교예에 있어서의 피치의 제거량은 참고예 1보다 적고, 침지 중에 박리도 일어나 있다. 이들 참고비교예에서는 박리한 피치의 입자가 주변에 부유하고 있어, 실제의 세정에 있어서는 피세정물에 재부착할 가능성이 있다. As shown in Table 1, the dissolving power with respect to the pitch of the C10-C15 cycloparaffin is high. On the other hand, the removal amount of the pitch in the reference comparative example using isoparaffin or normal paraffin is smaller than the reference example 1, and peeling also occurs during immersion. In these reference comparative examples, the particles having the peeled pitch are floating around, and may be reattached to the object to be cleaned in the actual cleaning.
실시예Example 1∼3 및 1-3 and 비교예Comparative example 1∼6 1 to 6
표 2에 나타내는 각 조성의 세정제를 사용하여 각종 제거대상물질{세정대상물질: 고코노에 연마용 피치 급별 K급 No.8(고코노에덴끼가부시끼가이샤제)(이하 '피치 K-8'), 리세스 왁스(그레이드 No.5 고코노에덴끼가부시끼가이샤제)(이하 '리세스 왁스'), 시프트 왁스(5408R 닛카세이코오가부시끼가이샤제 이하 '시프트 왁스'), 보호막 LG#88 블럭(가나에도료오가부시끼가이샤제)(이하 '보호막88')에 대한 용해성 평가를 행했다. 평가는, 25℃로 유지된 각 세정제에 제거대상물질을 소량 넣어, 5분간 정치했을 때의 용해성을 눈에 의해 확인함으로써 행했다. 또, 제거대상물질이 보호막88인 것은 평가용 렌즈에 도포 후 1일 건조시킨 것을 사용하고 있다. Various kinds of substances to be removed using the cleaning agents shown in Table 2 (Cleaning substances: Class K grade No. 8 (made by Kokonoe Eden Co., Ltd.) ), Recess Wax (Grade No.5 Kokonoe Denki Co., Ltd.) (hereafter Recess Wax), Shift Wax (hereinafter referred to as `` Shift Wax '', made by Nikka Seiko Co., Ltd.), Protective Film LG # Solubility evaluation was performed for 88 blocks (manufactured by Kana Edo Ogabu Shiki Co., Ltd.) (hereinafter referred to as 'protective film 88'). Evaluation was performed by putting a small amount of the removal target substance into each detergent maintained at 25 degreeC, and visually confirming the solubility at the time of standing for 5 minutes. The material to be removed is the protective film 88, which is dried for 1 day after application to the lens for evaluation.
평가 결과를 표 2에 나타낸다. 또, 이들 표에 있어서의 평가 기준은 다음과 같다. The evaluation results are shown in Table 2. In addition, the evaluation criteria in these tables are as follows.
피치 K-8, 리세스 왁스, 시프트 왁스에 대하여 5분간의 정치로5 minutes of pitch K-8, recess wax and shift wax
5: 완전하게 용해할 수 있는 것5: completely soluble
4: 거의 용해할 수 있었지만, 약간 잔여물이 보이는 것4: almost soluble, but with some residue
3: 양은 감소해 있지만, 완전하게 남아 있는 것(잔존율 50% 미만)3: The amount is reduced, but remains completely (less than 50% remaining)
2: 양은 감소해 있지만, 완전하게 남아 있는 것(잔존율 50% 이상)2: quantity is reduced, but remains completely (survival rate 50% or more)
1: 거의 그대로 남아 있는 것,1: something that remains almost the same,
보호막88에 대하여 5분간의 정치 후에After 5 minutes of standing on the shield 88
5: 닦아내지 않고 모두 제거할 수 있는 것5: something that can be removed without wiping
4: 가볍게 닦아냄으로써 모두 제거할 수 있는 것4: something that can be removed by wiping lightly
3: 닦아낸 후의 렌즈 표면에 눈으로 확인 곤란한 극소의 보호막 잔여물이 있는 것3: the surface of the lens after wiping off has a very small amount of protective film residue that is hard to see
2: 닦아낸 후의 렌즈 표면에 눈으로 확인할 수 있는 소량의 보호막 잔여물이 있는 것2: A small amount of protective film residue visible on the surface of the lens after wiping off
1: 제거가 불충분한 것. 1: Insufficient removal.
[표 2]TABLE 2
표 2에 나타나 있는 바와 같이, 본 발명의 세정제를 사용한 실시예 1∼3에 있어서는, 모든 제거대상물질에 대하여 높은 세정력이 얻어져 있다. 이에 대하여 시클로파라핀의 함유율이 본 발명에서 특별히 정하는 범위를 넘어서 높을 경우(비교예 1)에는, 왁스나 보호막에 대한 세정력이 저하해 있다. 또 시클로파라핀의 함유율이 본 발명에서 특별히 정하는 범위를 벗어나 낮을 경우(비교예 2)에서는, 모든 세정 대상물에 대한 세정력이 저하해 있다. 또 시클로파라핀 이외의 탄화수소계 세정제를 사용한 경우, 탄화수소계 세정제와 알킬렌글리콜에테르의 비율이 중량비로 25:75∼75:25의 범위 내라도(비교예 3 및 4) 보호막에 대한 세정량은 실시예에 비해 작아져 있다. As shown in Table 2, in Examples 1-3 using the cleaning agent of this invention, the high cleaning power is obtained with respect to all the removal target material. On the other hand, when the content rate of cycloparaffin is high beyond the range specifically determined by this invention (comparative example 1), the washing | cleaning power with respect to a wax and a protective film falls. Moreover, when the content rate of cycloparaffin is low beyond the range specifically defined by this invention (comparative example 2), the washing | cleaning power with respect to all the wash objects falls. When hydrocarbon-based cleaners other than cycloparaffin are used, even when the ratio of the hydrocarbon-based cleaner and alkylene glycol ether is in the range of 25:75 to 75:25 by weight ratio (Comparative Examples 3 and 4), the amount of cleaning to the protective film is carried out. It is smaller than the example.
본 발명의 세정제용 조성물은, 연마 공정에서 사용하는 고정제 및 마스킹제도막 혹은 보호막에 대한 세정성이 극히 높고, 짧은 세정 시간에서 충분한 세정 효을 얻을 수 있다. 따라서 본 발명의 조성물을 주성분으로 하는 세정제를 사용함으로써 렌즈 등의 광학 물품을 저비용 및 고효율로 제조하는 것이 가능하게 된다. The cleaning composition of the present invention is extremely high in the cleaning property of the fixing agent, the masking agent film or the protective film used in the polishing step, and can obtain a sufficient cleaning effect in a short cleaning time. Therefore, it becomes possible to manufacture optical articles, such as a lens, at low cost and high efficiency by using the cleaning agent which has the composition of this invention as a main component.
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