KR100855322B1 - Chemical solution knife - Google Patents

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KR100855322B1
KR100855322B1 KR1020070026035A KR20070026035A KR100855322B1 KR 100855322 B1 KR100855322 B1 KR 100855322B1 KR 1020070026035 A KR1020070026035 A KR 1020070026035A KR 20070026035 A KR20070026035 A KR 20070026035A KR 100855322 B1 KR100855322 B1 KR 100855322B1
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chemical liquid
chemical
injection
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guide plates
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KR1020070026035A
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Inventor
문정진
이봉문
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세메스 주식회사
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    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs

Abstract

A chemical solution knife is provided to maintain an interval of spray guide plates uniformly by using repulsive force of a magnetic substance. A body(200) has a couple of spray guide plates(210). The one couple of spray guide plates are disposed up and down as facing each other and have a spray hole(220) for spraying chemical solution to an object. Plural permanent magnets(410,420,430,440) are respectively disposed in areas adjacent to the spray hole of the one couple of spray guide plates, and face each other. The plural permanent magnets have the same polarity so as to apply repulsive force between the spray guide plates, and uniformly maintain an interval of the spray holes by using the repulsive force.

Description

약액 나이프{CHEMICAL SOLUTION KNIFE} Chemical Knife {CHEMICAL SOLUTION KNIFE}

도 1은 종래의 약액 나이프를 설명하기 위한 구성도이다. 1 is a configuration diagram for explaining a conventional chemical knife.

도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 약액 공급 장치를 나타낸 평면도이다. 2 is a plan view showing a chemical liquid supply apparatus according to a first embodiment of the present invention.

도 3은 도 2의 약액 공급 장치를 간략하게 나타낸 구성도이다. 3 is a schematic view showing the chemical liquid supply device of FIG. 2.

도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 약액 공급 장치를 나타낸 평면도이다. 4 is a plan view showing a chemical liquid supply apparatus according to a second embodiment of the present invention.

도 5는 도 4의 약액 공급 장치를 간략하게 나타낸 구성도이다. FIG. 5 is a schematic view showing the chemical liquid supply device of FIG. 4.

도 6은 본 발명의 제3 실시예에 따른 약액 공급 장치를 간략하게 나타낸 구성도이다. 6 is a schematic view showing a chemical liquid supply apparatus according to a third embodiment of the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

1000 : 약액 공급 장치 100 : 약액 나이프1000: chemical liquid supply device 100: chemical liquid knife

200 : 몸체 210 : 분사 가이드판200 body 210 injection guide plate

220 : 분사구 230 : 약액 공급부220: injection port 230: chemical liquid supply unit

240 : 약액 주입구 250 : 공간부240: chemical injection hole 250: space

300 : 몸체 고정 부재 400 : 자성체300: body fixing member 400: magnetic material

410 : 제1 영구 자석 420 : 제2 영구 자석410: first permanent magnet 420: second permanent magnet

430 : 제3 영구 자석 440 : 제4 영구 자석430: third permanent magnet 440: fourth permanent magnet

본 발명은 약액 나이프에 관한 것으로, 보다 상세하게는 약액이 체결 부재에 의하여 갈라져서 분사되는 것을 방지하기 위한 약액 나이프에 관한 것이다. The present invention relates to a chemical liquid knife, and more particularly, to a chemical liquid knife for preventing the chemical liquid from being split by the fastening member.

최근에는, 고품위(high definition) TV 등의 새로운 첨단 영상 기기가 개발됨에 따라, 브라운관(CRT)을 대신하여 평판 패널 표시장치에 관한 연구가 활발히 진행되고 있다. 일반적으로, 평판 패널 표시장치는 다양한 영상들을 시각적으로 표시하는 장치로서 액정표시장치(liquid crystal display device : LCD), PDP(plasma display panel) 장치, ELD(electro luminescence display) 등을 포함한다. Recently, with the development of new advanced imaging devices such as high definition TVs, research on flat panel displays instead of CRTs has been actively conducted. In general, a flat panel display device is a device for visually displaying various images and includes a liquid crystal display device (LCD), a plasma display panel (PDP) device, an electro luminescence display (ELD), and the like.

특히, 액정표시장치는 액정(Liquid Crystal)을 이용하여 영상을 표시하는 평판패널 표시장치의 하나로써, 다른 평판표시장치에 비하여 얇고 가벼우며, 낮은 구동전압 및 낮은 소비전력을 갖는 장점이 있어, 산업 전반에 걸쳐 광범위하게 사용되고 있다. 한편, 액정표시장치의 액정표시패널의 표면을 처리하는 공정에 약액 나이프가 사용된다. In particular, the liquid crystal display device is one of the flat panel display devices that display an image using liquid crystal, and is thinner and lighter than other flat panel display devices, and has an advantage of low driving voltage and low power consumption. It is widely used throughout. On the other hand, a chemical liquid knife is used for the process of processing the surface of the liquid crystal display panel of a liquid crystal display device.

도 1은 종래의 약액 나이프를 설명하기 위한 구성도이다. 1 is a configuration diagram for explaining a conventional chemical knife.

도 1을 참조하면, 종래의 약액 나이프(10)는 몸체(20), 제1 고정 부재(30) 및 제2 고정 부재(40)를 포함한다. Referring to FIG. 1, the conventional chemical knife 10 includes a body 20, a first fixing member 30, and a second fixing member 40.

몸체(20)는 약액의 분사 유로를 한정하기 위한 상하로 마주보면서 배치된 분사 가이드판(21), 약액의 분사 유로인 분사구(22), 약액을 공급하는 약액 공급부(23), 약액을 일시적으로 저장하는 공간부(24)를 포함한다. The body 20 has a spray guide plate 21 facing up and down to define an injection passage of the chemical liquid, an injection port 22 which is an injection passage of the chemical liquid, a chemical liquid supply unit 23 for supplying a chemical liquid, and a chemical liquid temporarily. And a space part 24 for storing.

또한, 제1 고정 부재(30) 및 제2 고정 부재(40)가 상하의 분사 가이드판(21)들을 안정적으로 고정하기 위하여 배치된다. 예를 들어, 제1 고정 부재(30)는 제2 고정 부재(40)에 비하여 상대적으로 전면에 배치된다. 특히, 제1 고정 부재(30)는 분사구(22)와 공간부(24)의 사이에 배치된다. 따라서, 제1 고정 부재(30)는 공급된 약액의 분사 유로의 일부 영역에 배치되게 된다. 따라서, 제1 고정 부재(30)가 배치된 영역에서 약액이 갈라져서 분사된다. 즉, 약액의 갈라짐 현상이 발생한다. 따라서, 약액이 피분사물에 균일하게 분사되지 못하는 문제점이 발생한다.In addition, the first fixing member 30 and the second fixing member 40 are disposed to stably fix the upper and lower injection guide plates 21. For example, the first fixing member 30 is disposed on the front surface relatively to the second fixing member 40. In particular, the first fixing member 30 is disposed between the injection port 22 and the space 24. Therefore, the first fixing member 30 is disposed in a partial region of the injection flow path of the supplied chemical liquid. Therefore, the chemical liquid is divided and sprayed in the region where the first fixing member 30 is disposed. That is, cracking of chemicals occurs. Therefore, a problem arises in that the chemical liquid is not evenly sprayed on the target object.

나아가, 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 약액 나이프(10)는 분사구(22)와 제1 고정 부재(30)의 사이에 배치된 버퍼부(25)를 더 포함한다. 버퍼부(25)는 약액의 분사 유로를 증가시켜 약액의 갈라짐 현상을 일부 제거시킬 수 있다. 그러나, 기존의 제조 공정에 버퍼부(25)를 형성하는 공정이 추가되어 전체적인 제조 공정 효율이 저하되고 공정 시간이 증가하는 문제점이 발생한다. Furthermore, in order to solve the above problems, the chemical knife 10 further includes a buffer part 25 disposed between the injection hole 22 and the first fixing member 30. The buffer unit 25 may increase the injection flow path of the chemical liquid to remove part of the chemical liquid splitting phenomenon. However, the process of forming the buffer unit 25 is added to the existing manufacturing process, the overall manufacturing process efficiency is lowered and the process time increases.

본 발명의 일 목적은 분사되는 약액의 갈라짐 현상을 방지하기 위한 약액 나이프를 제공하는데 있다. An object of the present invention is to provide a chemical liquid knife for preventing the separation of the chemical liquid to be injected.

본 발명의 다른 목적은 상기 약액 나이프를 포함하는 약액 공급 장치를 제공하는데 있다. It is another object of the present invention to provide a chemical liquid supply apparatus including the chemical liquid knife.

본 발명의 일 목적을 달성하기 위한 약액 나이프는 서로 마주보며 배치되어 약액을 대상물로 분사하기 위한 분사구를 구비하는 분사 가이드판을 갖는 몸체 및 상기 분사 가이드판의 상기 분사구와 인접하는 영역에 서로 마주하게 위치하고, 반발력을 이용하여 상기 분사구의 간격을 일정하게 유지하는 자성체를 포함한다. The chemical liquid knife for achieving the object of the present invention is disposed to face each other with a body having an injection guide plate having an injection hole for injecting the chemical liquid to the object and to face each other in the area adjacent to the injection hole of the injection guide plate Is located, and includes a magnetic material to maintain a constant interval of the injection hole by using a repulsive force.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 자성체는 예를 들어, 영구 자석을 포함한다. 예를 들어, 상기 각각의 분사 가이드판에는 극성을 달리하는 적어도 하나 이상의 영구 자석이 상기 약액의 분사 방향을 따라 나란하게 배치된다. 이와 달리, 상기 각각의 분사 가이드판에는 극성을 달리하는 적어도 하나 이상의 영구 자석이 상기 약액의 분사 방향과 수직한 방향을 따라 나란하게 배치될 수 있다. 또한, 상기 각각의 분사 가이드판에 서로 마주보면서 형성된 영구 자석은 동일한 극성을 갖는다. According to one embodiment of the invention, the magnetic material includes, for example, a permanent magnet. For example, at least one permanent magnet having a different polarity is disposed side by side in the jet direction of the chemical liquid in each jet guide plate. Alternatively, at least one permanent magnet having a different polarity may be disposed side by side in a direction perpendicular to the injection direction of the chemical liquid. In addition, the permanent magnets formed facing each other on the respective injection guide plates have the same polarity.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 약액 나이프는 상기 분사구의 반대편에 배치되어 상기 몸체를 고정시키는 제1 몸체 고정 부재를 더 포함한다. 예를 들어, 상기 제1 몸체 고정 부재는 상기 몸체와의 나사 결합을 통하여 상기 몸체를 고정시킨다. According to one embodiment of the invention, the chemical knife further comprises a first body fixing member which is disposed on the opposite side of the injection port for fixing the body. For example, the first body fixing member fixes the body through screwing with the body.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 약액 나이프는 상기 몸체의 주위를 둘러싸면서 상기 몸체를 고정하는 제2 몸체 고정 부재를 더 포함한다. According to another embodiment of the present invention, the chemical knife further includes a second body fixing member for fixing the body while surrounding the body.

이에 따라, 한 쌍의 분사 가이드판을 갖는 몸체가 반발력을 이용하는 자성체를 통하여 결합됨으로써, 분사 가이드판 간의 간격을 일정하게 유지시킬 수 있을 뿐 아니라 약액이 별도의 체결 부재에 의해 갈라져서 분사되는 것을 방지할 수 있다. Accordingly, the body having a pair of injection guide plate is coupled through the magnetic body using the repulsive force, thereby not only to maintain a constant distance between the injection guide plate, but also to prevent the chemical liquid from being split and sprayed by a separate fastening member Can be.

본 발명의 다른 목적을 달성하기 위한 약액 공급 장치는 서로 마주보며 배치 되어 약액을 대상물로 분사하기 위한 분사구를 구비하는 분사 가이드판을 갖는 몸체, 상기 분사 가이드판의 상기 분사구와 인접하는 영역에 서로 마주하게 위치하고, 반발력을 이용하여 상기 분사구의 간격을 일정하게 유지하는 자성체 및 상기 몸체에 상기 약액을 공급하는 약액 공급부를 포함한다.To achieve another object of the present invention, a chemical liquid supplying device is disposed facing each other and having a body having an injection guide plate having an injection hole for injecting the chemical liquid into an object, facing each other in an area adjacent to the injection hole of the injection guide plate. Is positioned so as to include a magnetic material for supplying the chemical liquid to the magnetic body and the body to maintain a constant interval of the injection hole by using a repulsive force.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 자성체는 예를 들어, 영구 자석을 포함한다. 예를 들어, 상기 각각의 분사 가이드판에는 극성을 달리하는 적어도 하나 이상의 영구 자석이 상기 약액의 분사 방향을 따라 나란하게 배치된다. 이와 달리, 상기 각각의 분사 가이드판에는 극성을 달리하는 적어도 하나 이상의 영구 자석이 상기 약액의 분사 방향과 수직한 방향을 따라 나란하게 배치될 수 있다. 또한, 상기 각각의 분사 가이드판에 서로 마주보면서 형성된 영구 자석은 동일한 극성을 갖는다. According to one embodiment of the invention, the magnetic material includes, for example, a permanent magnet. For example, at least one permanent magnet having a different polarity is disposed side by side in the jet direction of the chemical liquid in each jet guide plate. Alternatively, at least one permanent magnet having a different polarity may be disposed side by side in a direction perpendicular to the injection direction of the chemical liquid. In addition, the permanent magnets formed facing each other on the respective injection guide plates have the same polarity.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 몸체는 외부로부터 상기 약액을 공급받기 위한 약액 주입구를 더 포함한다. According to an embodiment of the present invention, the body further includes a chemical liquid inlet for receiving the chemical liquid from the outside.

이러한 약액 나이프에 따르면, 한 쌍의 분사 가이드판을 갖는 몸체가 자성체를 통하여 결합됨으로써, 분사 가이드판 간의 간격을 일정하게 유지시킬 수 있을 뿐 아니라 약액이 별도의 체결 부재에 의해 갈라져서 분사되는 것을 방지할 수 있다. According to this chemical knife, the body having a pair of injection guide plate is coupled through the magnetic body, not only to maintain a constant distance between the injection guide plate, but also to prevent the chemical liquid is separated by a separate fastening member to be sprayed Can be.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 기판 세정 장치에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면들에 있어서, 나이프, 몸체, 몸체 고정 부재, 자성체 및 나사들의 두께와 크기 등은 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. Hereinafter, a substrate cleaning apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. As the inventive concept allows for various changes and numerous embodiments, particular embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to the specific disclosed form, it should be understood to include all modifications, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing the drawings, similar reference numerals are used for similar elements. In the accompanying drawings, the thickness, size, etc. of the knife, the body, the body fixing member, the magnetic body and the screws are shown in an enlarged scale than actual for clarity of the present invention.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular example embodiments only and is not intended to be limiting of the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In this application, the terms "comprise" or "have" are intended to indicate that there is a feature, number, step, action, component, part, or combination thereof described in the specification, and one or more other features. It is to be understood that the present invention does not exclude the possibility of the presence or the addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다. Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art. Terms such as those defined in the commonly used dictionaries should be construed as having meanings consistent with the meanings in the context of the related art and shall not be construed in ideal or excessively formal meanings unless expressly defined in this application. Do not.

도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 약액 공급 장치를 나타낸 평면도이고, 도 3은 도 2의 약액 공급 장치를 간략하게 나타낸 구성도이다.2 is a plan view showing a chemical liquid supply apparatus according to a first embodiment of the present invention, Figure 3 is a schematic diagram showing the chemical liquid supply apparatus of FIG.

도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 약액 공급 장치(1000)는 약액 나이프(100)를 포함하고, 약액 나이프(100)는 몸체(200), 몸체 고정 부재(300) 및 자성체(400)를 포함한다.2 and 3, the chemical liquid supply apparatus 1000 according to the first embodiment of the present invention includes a chemical liquid knife 100, and the chemical liquid knife 100 includes a body 200 and a body fixing member 300. ) And magnetic material 400.

몸체(200)는 분사 가이드판(210) 및 분사구(220)를 포함한다.The body 200 includes a spray guide plate 210 and a spray hole 220.

한 쌍의 분사 가이드판(210)은 서로 마주보며 상하로 배치된다. 한 쌍의 분사 가이드판(210)은 서로 마주하는 면이 서로 단차 없이 가공된다. 예를 들어, 분사 가이드판(210)은 서로 마주하는 면이 평탄하고, 상기 마주하는 면의 반대측의 면은 약액의 분사 방향으로 약간 경사진다. 이는 약액 나이프(100)가 피분사물의 상부에서 약액을 분사하고 이동하며 회전하기에 용이하도록 하기 위함이다. 이와 달리, 분사 가이드판(210)의 마주하는 면의 반대측 면은 다양한 형상을 가질 수 있다. The pair of spray guide plates 210 are disposed to face each other up and down. The pair of spray guide plates 210 are machined without facing each other on the surfaces facing each other. For example, the surface of the jet guide plate 210 which faces each other is flat, and the surface opposite to the face of the jet guide plate 210 is slightly inclined in the jet direction of the chemical liquid. This is to make it easy for the chemical knife 100 to spray, move and rotate the chemical at the top of the injection target. On the contrary, the opposite side of the facing surface of the jet guide plate 210 may have various shapes.

분사구(220)는 예를 들어, 약액이 분사되는 일정한 유로를 갖는다. 분사구(220)의 유로는 서로 마주보는 한 쌍의 분사 가이드판(210)이 이격된 공간에 대응하여 형성된다. 예를 들어, 한 쌍의 분사 가이드판(210)의 이격 거리가 상대적으로 작은 경우에는 분사구(220)의 분사 유로는 상기 이격 거리에 대응하여 상대적으로 좁아진다. 이와 달리, 한 쌍의 분사 가이드판(210)의 이격 거리가 상대적으로 큰 경우에는 분사구(220)의 분사 유로는 상기 이격 거리에 대응하여 상대적으로 넓 어진다. 따라서, 분사구(220)의 크기는 약액의 종류 및 성질, 피분사물의 크기 및 공정의 종류 등에 따라 다양하게 변경될 수 있다. The injection hole 220 has, for example, a constant flow path through which the chemical liquid is injected. The flow path of the injection hole 220 is formed corresponding to a space in which the pair of injection guide plates 210 facing each other are spaced apart. For example, when the separation distance of the pair of injection guide plates 210 is relatively small, the injection passage of the injection hole 220 is relatively narrow corresponding to the separation distance. On the contrary, when the separation distance of the pair of injection guide plates 210 is relatively large, the injection passage of the injection hole 220 is relatively wider in correspondence to the separation distance. Therefore, the size of the injection hole 220 may be variously changed according to the type and nature of the chemical liquid, the size of the injection target, the type of the process, and the like.

본 발명의 제1 실시예에 따르면, 약액 공급 장치(1000)는 약액을 공급하기 위한 약액 공급부(230)를 더 포함하고, 몸체(200)는 약액 공급부(230)으로부터 약액을 공급받기 위한 약액 주입구(240)를 더 포함한다. 예를 들어, 약액 공급부(230)는 약액 나이프(100)의 외부에 배치되어 약액 주입구(240)를 통하여 약액 나이프(100)에 약액을 공급한다. According to the first embodiment of the present invention, the chemical liquid supply apparatus 1000 further includes a chemical liquid supply unit 230 for supplying a chemical liquid, and the body 200 is a chemical liquid inlet for receiving the chemical liquid from the chemical liquid supply unit 230. And further includes 240. For example, the chemical liquid supply unit 230 is disposed outside the chemical liquid knife 100 to supply the chemical liquid to the chemical liquid knife 100 through the chemical liquid inlet 240.

또한, 약액 나이프(100)는 분사구(220)와 약액 주입구(240)의 사이에 배치된 공간부(250)를 더 포함한다. 공간부(250)는 몸체(200)의 내부에 약액을 일시적으로 저장할 수 있는 공간을 마련한다. 예를 들면, 공간부(250)는 약액이 일시적으로 저장되도록 큰 저장 공간을 마련할 수 있다. 이와 달리, 공간부(250)는 꼬불꼬불한 형상을 가져 약액이 흐르는 유로를 증가시킴으로써, 약액을 일시적으로 저장할 수 있다. In addition, the chemical liquid knife 100 further includes a space portion 250 disposed between the injection hole 220 and the chemical liquid injection hole 240. The space 250 provides a space for temporarily storing the chemical liquid inside the body 200. For example, the space 250 may provide a large storage space so that the chemical liquid is temporarily stored. In contrast, the space 250 has a tortuous shape and increases the flow path of the chemical liquid, thereby temporarily storing the chemical liquid.

몸체 고정 부재(300)는 약액이 분사되는 영역의 반대편에서 몸체(200)를 고정한다. 예를 들면, 몸체 고정 부재(300)는 몸체(200)의 뒤쪽에 배치된다. 또한, 몸체 고정 부재(300)는 몸체(200)의 좌우 측면 및/또는 후면을 둘러싸면서 배치된다. 이와 달리, 몸체 고정 부재(300)는 몸체(200)의 좌우 측면에 배치될 수 있다. 본 발명의 제1 일 실시에에 따르면, 몸체 고정 부재(300)는 몸체(200)와 나사 결합을 통하여 몸체(200)를 고정한다. 이와 달리, 몸체 고정 부재(300)는 다양한 체결 수단을 포함할 수 있다. The body fixing member 300 fixes the body 200 on the opposite side of the area where the chemical liquid is injected. For example, the body fixing member 300 is disposed behind the body 200. In addition, the body fixing member 300 is disposed surrounding the left and right sides and / or the rear side of the body 200. Alternatively, the body fixing member 300 may be disposed on the left and right sides of the body 200. According to the first embodiment of the present invention, the body fixing member 300 fixes the body 200 through a screw coupling with the body 200. Alternatively, the body fixing member 300 may include various fastening means.

자성체(400)는 약액이 분사되는 유로에 인접한 영역에 형성된다. 예를 들면, 자성체(400)는 분사구(220)에 인접한 분사 가이드판(210)의 내부에 적어도 하나 이상이 배치된다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 각각의 분사 가이드판(210)에는 극성을 달리하는 적어도 하나 이상의 자성체(400)가 상기 약액의 분사 방향을 따라 나란하게 배치된다. 한편, 각각의 분사 가이드판(210)에 서로 마주보면서 형성된 자성체(400)는 동일한 극성을 갖는다.The magnetic body 400 is formed in an area adjacent to the flow path through which the chemical liquid is injected. For example, at least one magnetic body 400 is disposed in the injection guide plate 210 adjacent to the injection hole 220. According to one embodiment of the present invention, at least one magnetic body 400 having different polarities is disposed side by side in the spraying direction of the chemical liquid in each spray guide plate 210. On the other hand, the magnetic body 400 formed while facing each other on each jet guide plate 210 has the same polarity.

자성체(400)는 한 쌍의 분사 가이드판(210) 간의 간격을 조절한다. 즉, 자성체(400)는 반발력을 이용하여 양 측에 배치된 분사 가이드판(210)의 간격을 조절한다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 자성체(400)는 복수 개의 영구 자석들을 포함한다. The magnetic body 400 adjusts the distance between the pair of injection guide plate 210. That is, the magnetic body 400 adjusts the spacing of the injection guide plate 210 disposed on both sides by using the repulsive force. According to one embodiment of the invention, the magnetic body 400 includes a plurality of permanent magnets.

예를 들면, 자성체(400)는 제1 영구 자석(410), 제2 영구 자석(420), 제3 영구 자석(430) 및 제4 영구 자석(440)을 포함한다. 제1 영구 자석(410) 및 제2 영구 자석(420)은 상부에 배치된 분사 가이드판(210) 내부에 배치된다. 예를 들면, 제1 영구 자석(410)은 제2 영구 자석(420)에 비하여 상대적으로 전면에 배치된다. 또한, 제3 영구 자석(430) 및 제4 영구 자석(440)은 하부에 배치된 분사 가이드판(210) 내부에 배치된다. 예를 들면, 제3 영구 자석(430)은 제4 영구 자석(440)에 비하여 상대적으로 전면에 배치된다. 한편, 제1 영구 자석(410) 및 제3 영구 자석(430)은 N극성을 가진다. 또한, 제2 영구 자석(420) 및 제4 영구 자석(440)은 S극성을 가진다. For example, the magnetic body 400 may include a first permanent magnet 410, a second permanent magnet 420, a third permanent magnet 430, and a fourth permanent magnet 440. The first permanent magnet 410 and the second permanent magnet 420 are disposed in the injection guide plate 210 disposed thereon. For example, the first permanent magnet 410 is disposed on the front surface relatively to the second permanent magnet 420. In addition, the third permanent magnet 430 and the fourth permanent magnet 440 are disposed in the injection guide plate 210 disposed below. For example, the third permanent magnet 430 is disposed on the front surface relatively to the fourth permanent magnet 440. Meanwhile, the first permanent magnet 410 and the third permanent magnet 430 have N polarities. In addition, the second permanent magnet 420 and the fourth permanent magnet 440 have an S polarity.

이와 같이, 동일한 분사 가이드판(210)에 배치된 영구 자석들은 서로 다른 극성을 가진다. 따라서, 동일한 분사 가이드판(210)에 배치된 영구 자석, 예를 들어 제1 영구 자석(410) 및 제2 영구 자석(420)은 상이한 극성을 가지므로, 서로 끌어당긴다. 따라서, 제1 영구 자석(410) 및 제2 영구 자석(420)은 서로 뒤틀리지 않고 배치된다. As such, the permanent magnets disposed on the same injection guide plate 210 have different polarities. Therefore, the permanent magnets disposed on the same jet guide plate 210, for example, the first permanent magnet 410 and the second permanent magnet 420 have different polarities and thus attract each other. Therefore, the first permanent magnet 410 and the second permanent magnet 420 are disposed without twisting each other.

또한, 서로 마주보는 영구 자석들은 동일한 극성을 갖는다. 예를 들어, 제1 영구 자석(410) 및 제3 영구 자석(430)은 동일한 극성을 가지므로, 반발력에 의해 서로 밀어낸다. 따라서, 상부에 배치된 분사 가이드판(210)과 하부에 배치된 분사 가이드판(210) 간의 간격은 일정하게 유지될 수 있다. In addition, the permanent magnets facing each other have the same polarity. For example, since the first permanent magnet 410 and the third permanent magnet 430 have the same polarity, the first permanent magnet 410 and the third permanent magnet 430 push each other by the repulsive force. Therefore, the distance between the spray guide plate 210 disposed above and the spray guide plate 210 disposed below may be kept constant.

따라서, 별도의 나사 체결을 통해 상하부의 분사 가이드판(210)을 결합시켜, 결합 공차에 의하여 상하부의 분사 가이드판(210) 간의 이격 간격을 조절하는 경우에 비하여, 자성체(400)는 이격 간격을 효율적으로 조절할 수 있다. 한편, 자성체(400)는 반발력을 이용하여 분사 가이드판(210)의 간격을 조절할 수 있다면, 영구 자석 이외의 다양한 부재들을 포함할 수 있다. Therefore, by coupling the injection guide plate 210 of the upper and lower parts through a separate screw fastening, compared with the case of adjusting the separation interval between the upper and lower injection guide plate 210 by the coupling tolerance, the magnetic body 400 has a separation interval It can be adjusted efficiently. On the other hand, the magnetic body 400 may include a variety of members other than the permanent magnet, if the spacing of the injection guide plate 210 can be adjusted using a repulsive force.

나아가, 한 쌍의 분사 가이드판(210)이 자성체(400)에 의해 결합하는 경우에는 분사구(220), 즉 약액의 분사 유로에 장애물이 제거된다. 따라서, 본 발명에 제1 실시예에 따른 약액 나이프(100)는 약액의 갈라짐 현상없이 약액을 피분사물에 균일하게 분사할 수 있다. In addition, when the pair of injection guide plates 210 are coupled by the magnetic material 400, obstacles are removed from the injection hole 220, that is, the injection passage of the chemical liquid. Therefore, the chemical liquid knife 100 according to the first embodiment of the present invention can uniformly spray the chemical liquid onto the object to be sprayed without cracking of the chemical liquid.

도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 약액 공급 장치를 나타낸 평면도이고, 도 5는 도 4의 약액 공급 장치를 간략하게 나타낸 구성도이다. 본 발명의 제2 실시예에 따른 약액 공급 장치는 자성체를 제외하고, 상술한 본 발명의 제1 실시예에 따른 약액 공급 장치와 동일한 구성을 가짐으로 그 중복된 설명은 생략하기로 하며, 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호 및 명칭을 사용하기로 한다. 4 is a plan view showing a chemical liquid supply apparatus according to a second embodiment of the present invention, Figure 5 is a schematic diagram showing a chemical liquid supply apparatus of FIG. The chemical liquid supply apparatus according to the second exemplary embodiment of the present invention has the same configuration as the chemical liquid supply apparatus according to the first exemplary embodiment of the present invention, except for the magnetic substance, and thus a duplicated description thereof will be omitted. The same reference numerals and names are used for the elements.

도 4 및 도 5를 참조하면, 본 발명의 제2 실시예에 따른 약액 나이프는 한 쌍의 분사 가이드판(210)의 간격을 조절하기 위한 자성체(500)를 포함한다. 예를 들어, 자성체(500)는 분사구(220)에 인접한 분사 가이드판(210)의 내부에 적어도 하나 이상 배치된다. 예를 들어, 각각의 분사 가이드판(210)에는 극성을 달리하는 적어도 하나 이상의 자성체(500)가 약액의 분사 방향, 즉 분사구(220)와 수직한 방향을 따라 나란하게 배치된다. 또한, 각각의 분사 가이드판(210)에 서로 마주보면서 형성된 자성체(500)는 동일한 극성을 갖는다. 4 and 5, the chemical knife according to the second embodiment of the present invention includes a magnetic material 500 for adjusting the interval of the pair of injection guide plate 210. For example, at least one magnetic body 500 is disposed in the injection guide plate 210 adjacent to the injection hole 220. For example, at least one magnetic material 500 having different polarities is disposed in each injection guide plate 210 side by side in the spraying direction of the chemical liquid, that is, the direction perpendicular to the injection hole 220. In addition, the magnetic bodies 500 formed while facing each other on the jet guide plates 210 have the same polarity.

본 발명의 제2 실시예에 따르면, 자성체(500)는 제1 영구 자석(510), 제2 영구 자석(520) 및 제3 영구 자석(530)을 포함한다. 제1 영구 자석(510) 및 제2 영구 자석(520)은 상부에 배치된 분사 가이드판(210) 내부에 배치된다. 제1 영구 자석(510) 및 제2 영구 자석(520)은 분사구(220)의 방향과 수직한 방향을 따라 나란하게 배열된다. 제1 영구 자석(510) 및 제3 영구 자석(530)은 상하로 서로 마주보면서 배치된다. 한편, 제1 영구 자석(510) 및 제3 영구 자석(530)은 동일한 S극성을 갖고, 제2 영구 자석(520)은 N극성을 갖는다. According to the second embodiment of the present invention, the magnetic body 500 includes a first permanent magnet 510, a second permanent magnet 520, and a third permanent magnet 530. The first permanent magnet 510 and the second permanent magnet 520 are disposed in the injection guide plate 210 disposed thereon. The first permanent magnet 510 and the second permanent magnet 520 are arranged side by side in a direction perpendicular to the direction of the injection hole 220. The first permanent magnet 510 and the third permanent magnet 530 are disposed to face each other up and down. Meanwhile, the first permanent magnet 510 and the third permanent magnet 530 have the same S polarity, and the second permanent magnet 520 has the N polarity.

이와 같이, 동일한 분사 가이드판(210)에 배치된 영구 자석, 즉 제1 영구 자석(510) 및 제2 영구 자석(520)은 상이한 극성을 갖는다. 따라서, 동일한 분사 가이드판(210)에 배치된 영구 자석들은 뒤틀리지 않고 배치된다. 또한, 상하로 서로 마주보는 영구 자석, 즉 제1 영구 자석(510) 및 제3 영구 자석(530)은 동일한 극성을 가진다. 따라서, 제1 영구 자석(510) 및 제3 영구 자석(530)은 반발력에 의해 서로 밀어낸다. 따라서, 상기 반발력에 의해 상부에 배치된 분사 가이드판(210)과 하부에 배치된 분사 가이드판(210) 간의 간격은 일정하게 유지될 수 있다. As such, the permanent magnets disposed on the same jet guide plate 210, that is, the first permanent magnet 510 and the second permanent magnet 520 have different polarities. Therefore, the permanent magnets disposed on the same injection guide plate 210 are disposed without distortion. In addition, the permanent magnets facing each other up and down, that is, the first permanent magnet 510 and the third permanent magnet 530 have the same polarity. Therefore, the first permanent magnet 510 and the third permanent magnet 530 push each other by the repulsive force. Therefore, the spacing between the injection guide plate 210 disposed above and the injection guide plate 210 disposed below may be kept constant by the repulsive force.

이에 따라, 나사 등을 이용한 결합 공차를 이용하지 않고 자성체(500)의 반발력을 이용하여 분사 가이드판(210)의 간격을 일정하게 유지시킬 수 있다. 따라서, 전체적인 약액 나이프(100)의 크기가 증가하는 경우에도 분사 가이드판(210)의 간격을 일정하게 유지시켜 분사구(220)를 통하여 약액을 균일하게 분사시킬 수 있다. 또한, 별도의 나사로 체결하지 않고 자성체(500)를 이용하여 체결함으로서, 약액 나이프(100)의 제조 공정이 간단해진다. 나아가, 약액이 갈라져서 분사되는 현상이 제거되어 약액이 피분사물에 균일하게 분사된다. Accordingly, the spacing of the injection guide plate 210 may be kept constant by using the repulsive force of the magnetic body 500 without using a coupling tolerance using a screw or the like. Therefore, even when the size of the overall chemical knife 100 increases, the interval between the injection guide plates 210 may be kept constant so that the chemical liquid may be uniformly sprayed through the injection hole 220. In addition, by fastening using the magnetic body 500 without fastening with a separate screw, the manufacturing process of the chemical liquid knife 100 is simplified. Further, the phenomenon that the chemical liquid is split and sprayed is eliminated, so that the chemical liquid is uniformly sprayed on the target object.

도 6은 본 발명의 제3 실시예에 따른 약액 공급 장치를 간략하게 나타낸 구성도이다. 본 발명의 제3 실시예에 따른 약액 공급 장치는 몸체 고정 부재를 제외하고, 상술한 본 발명의 제1 실시예에 따른 약액 공급 장치와 동일한 구성을 가짐으로 그 중복된 설명은 생략하기로 하며, 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호 및 명칭을 사용하기로 한다. 6 is a schematic view showing a chemical liquid supply apparatus according to a third embodiment of the present invention. Since the chemical liquid supply apparatus according to the third embodiment of the present invention has the same configuration as the chemical liquid supply apparatus according to the first embodiment of the present invention, except for the body fixing member, the duplicated description thereof will be omitted. The same reference numerals and names are used for the same components.

도 6을 참조하면, 본 발명의 제3 실시예에 따른 약액 나이프는 약액의 분사 유로를 정의하는 몸체(200) 및 몸체(200)를 고정하는 몸체 고정 부재(600)를 포함한다.Referring to FIG. 6, the chemical liquid knife according to the third embodiment of the present invention includes a body 200 defining a spray passage of the chemical liquid, and a body fixing member 600 fixing the body 200.

본 발명의 제3 실시예에 따르면, 몸체 고정 부재(600)는 몸체(200)를 둘러싸면서 몸체(200)를 고정시킨다. 예를 들어, 몸체 고정 부재(600)는 분사구(220)가 형성된 면을 제외한 몸체(200)의 나머지 면을 둘러싼다. 즉, 몸체 고정 부재(600)는 몸체(200)의 상하면, 좌우면 및 후면의 5개 면을 둘러싼다. According to the third embodiment of the present invention, the body fixing member 600 fixes the body 200 while surrounding the body 200. For example, the body fixing member 600 surrounds the remaining surface of the body 200 except for the surface on which the injection hole 220 is formed. That is, the body fixing member 600 surrounds five surfaces of the top, bottom, left and right sides and the rear side of the body 200.

또한, 몸체 고정 부재(600)는 상부 고정부(610) 및 하부 고정부(620)를 포함한다. 예를 들어, 상부 고정부(610)는 몸체(200)의 상부면을 커버하고, 하부 고정부(620)는 몸체(200)의 하부면을 고정시킨다. 예를 들어, 상부 고정부(610) 및 하부 고정부(620)는 집게 형상을 갖는다. 한편, 몸체 고정 부재(600)는 상부 고정부(610) 및 하부 고정부(620) 상호간의 결합을 위한 제1 고정 부재(630)를 포함한다. 또한, 몸체 고정 부재(600)는 몸체(200)를 효율적으로 고정시키기 위하여 상부 고정부(610)를 관통하여 배치된 제2 고정 부재(640)를 포함한다.In addition, the body fixing member 600 includes an upper fixing part 610 and a lower fixing part 620. For example, the upper fixing part 610 covers the upper surface of the body 200, and the lower fixing part 620 fixes the lower surface of the body 200. For example, the upper fixing part 610 and the lower fixing part 620 have a tong shape. Meanwhile, the body fixing member 600 includes a first fixing member 630 for coupling between the upper fixing portion 610 and the lower fixing portion 620. In addition, the body fixing member 600 includes a second fixing member 640 disposed through the upper fixing part 610 to efficiently fix the body 200.

이에 따라, 상부 고정부(610) 및 하부 고정부(620)는 몸체(200)를 안정하게 고정시킨다. 나아가, 상부 고정부(610) 및 하부 고정부(620)가 집게 형상을 가지므로, 자성체(400, 500)의 반발력에 의해 상하에 배치된 분사 가이드판(210)이 벌어지는 현상을 방지한다. 따라서, 몸체 고정 부재(600)는 한 쌍의 분사 가이드판(210)의 이격 간격, 즉 분사구(220)를 일정하게 유지시킬 수 있다. Accordingly, the upper fixing part 610 and the lower fixing part 620 securely fixes the body 200. In addition, since the upper fixing part 610 and the lower fixing part 620 have a tong shape, a phenomenon in which the injection guide plates 210 disposed up and down by the repulsive force of the magnetic bodies 400 and 500 is prevented from spreading. Therefore, the body fixing member 600 may keep the spacing of the pair of injection guide plates 210, that is, the injection port 220 constant.

이와 같은 약액 나이프 및 약액 공급 장치에 따르면, 약액 나이프는 자성체의 반발력을 이용하여 분사 가이드판의 간격을 일정하게 유지시킬 수 있다. 따라서, 전체적인 약액 나이프의 크기가 증가하는 경우에도 분사 가이드판의 간격을 일정하게 유지시켜 분사구를 통하여 약액을 균일하게 분사시킬 수 있다. According to the chemical liquid knife and the chemical liquid supply device, the chemical liquid knife can keep the spacing of the jet guide plate constant by using the repulsive force of the magnetic body. Therefore, even when the size of the overall chemical knife increases, it is possible to uniformly spray the chemical through the injection hole by keeping the interval of the injection guide plate constant.

또한, 별도의 나사로 체결하지 않고 자성체를 이용하여 체결함으로서, 약액 나이프의 제조 공정이 간단해진다. 나아가, 상하의 분사 가이드판에 배치된 자성체에 의해 약액이 갈라져서 분사되는 현상이 제거됨에 따라 약액이 피분사물에 균일하게 분사된다. In addition, by fastening using a magnetic body without fastening with a separate screw, the manufacturing process of the chemical liquid knife is simplified. Further, the chemical liquid is uniformly sprayed onto the target object as the phenomenon of chemical liquid splitting and spraying by the magnetic body disposed on the upper and lower spray guide plates is eliminated.

상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만 해당 기술 분야의 숙련된 당업자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. As described above, although described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art will be variously modified without departing from the spirit and scope of the invention described in the claims below. And can be changed.

Claims (14)

서로 마주보며 상하로 배치되어 약액을 대상물로 분사하기 위한 분사구를 구비하는 한 쌍의 분사 가이드판들을 갖는 몸체; 및A body having a pair of injection guide plates disposed to face each other and having an injection hole for injecting a chemical into an object; And 상기 한 쌍의 분사 가이드판들의 상기 분사구와 인접하는 영역들에 각각 위치하여 서로 마주보며, 상기 한 쌍의 분사 가이드판들 사이에 반발력이 작용하도록 동일한 극성을 갖고 상기 반발력을 이용하여 상기 분사구의 간격을 일정하게 유지하는 다수의 영구 자석들을 포함하는 약액 나이프.Located in the areas adjacent to the injection port of the pair of injection guide plate, respectively facing each other, having the same polarity so that the reaction force acts between the pair of injection guide plate and the spacing of the injection hole by using the repulsive force Chemical knife comprising a plurality of permanent magnets to keep a constant. 삭제delete 제1 항에 있어서, 상기 각각의 분사 가이드판에는 극성을 달리하는 다수의 영구 자석들이 상기 약액의 분사 방향을 따라 배치되는 것을 특징으로 하는 약액 나이프. The chemical knife of claim 1, wherein a plurality of permanent magnets having different polarities are disposed along the spraying direction of the chemical liquid in each of the jetting guide plates. 제1 항에 있어서, 상기 각각의 분사 가이드판에는 극성을 달리하는 다수의 영구 자석들이 상기 약액의 분사 방향과 수직한 방향을 따라 배치되는 것을 특징으로 하는 약액 나이프. The chemical knife of claim 1, wherein a plurality of permanent magnets having different polarities are disposed in each of the jet guide plates along a direction perpendicular to the jet direction of the chemical. 삭제delete 제1 항에 있어서, 상기 분사구의 반대편에 배치되어 상기 몸체를 고정시키는 제1 몸체 고정 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 나이프.The chemical knife of claim 1, further comprising a first body fixing member disposed opposite the injection hole to fix the body. 제6 항에 있어서, 상기 제1 몸체 고정 부재는 상기 몸체와의 나사 결합을 통하여 상기 몸체를 고정하는 것을 특징으로 하는 약액 나이프.7. The chemical knife of claim 6, wherein the first body fixing member fixes the body through screwing with the body. 제1 항에 있어서, 상기 몸체의 주위를 둘러싸면서 상기 몸체를 고정하는 제2 몸체 고정 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 나이프.The chemical knife according to claim 1, further comprising a second body fixing member for fixing the body while surrounding the body. 서로 마주보며 상하로 배치되어 약액을 대상물로 분사하기 위한 분사구를 구비하는 한 쌍의 분사 가이드판들을 갖는 몸체; A body having a pair of injection guide plates disposed to face each other and having an injection hole for injecting a chemical into an object; 상기 한 쌍의 분사 가이드판들의 상기 분사구와 인접하는 영역에 각각 위치하여 서로 마주보며, 상기 한 쌍의 분사 가이드판들 사이에 반발력이 작용하도록 동일한 극성을 갖고 상기 반발력을 이용하여 상기 분사구의 간격을 일정하게 유지하는 다수의 영구 자석들; 및Located in an area adjacent to the injection port of the pair of injection guide plates, respectively, facing each other, having the same polarity so that the reaction force acts between the pair of injection guide plates and the spacing of the injection holes by using the reaction force A plurality of permanent magnets that remain constant; And 상기 몸체에 상기 약액을 공급하는 약액 공급부를 포함하는 약액 공급 장치.Chemical liquid supply device comprising a chemical liquid supply for supplying the chemical liquid to the body. 삭제delete 제9 항에 있어서, 상기 각각의 분사 가이드판에는 극성을 달리하는 다수의 영구 자석들이 상기 약액의 분사 방향을 따라 배치되는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치. 10. The chemical liquid supply apparatus according to claim 9, wherein a plurality of permanent magnets having different polarities are disposed in each of the ejection guide plates along the ejecting direction of the chemical liquid. 제9 항에 있어서, 상기 각각의 분사 가이드판에는 극성을 달리하는 다수의 영구 자석들이 상기 약액의 분사 방향과 수직한 방향을 따라 배치되는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치. 10. The chemical liquid supply apparatus according to claim 9, wherein a plurality of permanent magnets having different polarities are disposed along each of the spray guide plates along a direction perpendicular to the spraying direction of the chemical liquid. 삭제delete 제9 항에 있어서, 상기 몸체는 외부로부터 상기 약액을 공급받기 위한 약액 주입구를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.10. The chemical liquid supply device of claim 9, wherein the body further comprises a chemical liquid inlet for receiving the chemical liquid from the outside.
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