KR100845896B1 - 정전척과 피처리 기판 사이의 아킹을 방지하기 위한플라즈마 처리 시스템 및 방법 - Google Patents
정전척과 피처리 기판 사이의 아킹을 방지하기 위한플라즈마 처리 시스템 및 방법 Download PDFInfo
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Abstract
Description
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- 하부 전극과 그 상부에 유전체 커버에 쌓여진 정전 전극을 포함하는 정전척과 상기 정전척을 내부에 구비하는 플라즈마 처리 챔버 그리고 상기 플라즈마 처리 챔버의 내부에 플라즈마를 유도하기 위한 고주파 전력을 공급하는 전원 공급원을 포함하는 플라즈마 처리 시스템에 있어서,상기 하부 전극과 접지 사이에 전기적인 방전 경로를 제공하여 상기 피처리 기판과 상기 정전척에 축적된 전하가 접지로 방전될 수 있도록 하는 방전 회로;상기 피처리 기판에 대한 플라즈마 처리 종료점을 검출하는 종료점 검출기; 및상기 종료점 검출기에 의해 상기 피처리 기판에 대한 종료점이 검출되면, 상기 전원 공급원을 제어하여 상기 플라즈마 처리 챔버의 내부에 발생된 플라즈마의 에너지가 플라즈마 방전이 유지되는 최소 레벨까지 낮아지도록 제어하는 시스템 제어부를 포함하고,상기 피처리 기판과 상기 하부 전극은 상기 플라즈마 처리 챔버의 내부에 유지되고 있는 플라즈마에 의해 전기적으로 커플링된 상태에서 플라즈마 에너지가 낮아지는 것에 따라 상기 피처리 기판 및 정전척에 유도되는 전압이 낮아지면서 상기 피처리 기판과 상기 정전척에 축적된 전하가 상기 방전 회로를 통하여 상기 접지로 방전되며,방전이 완료된 후, 상기 시스템 제어부는 상기 전원 공급원과 상기 플라즈마 처리 챔버로 공급되는 공정 가스의 공급을 오프하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 처리 시스템.
- 제1항에 있어서,상기 방전 회로는 상기 하부 전극과 상기 접지 사이에 연결되는 커플링 커패시터와 상기 커플링 커패시터의 양단에 병렬로 연결되는 방전 저항을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 처리 시스템.
- 제2항에 있어서,상기 방전 저항은 가변 저항으로 구성하되, 가변 저항의 저항값은 종료점 검출 이전의 저항값이 종료점 검출 이후의 저항값 보다 높게 설정되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 처리 시스템.
- 플라즈마 처리 시스템의 플라즈마 처리 방법에 있어서,플라즈마 처리 챔버로 공정 가스와 고주파 전원이 공급되어 상기 플라즈마 처리 챔버의 내부에 플라즈마가 발생하고 피처리 기판에 대한 플라즈마 처리가 이루어지는 단계;상기 피처리 기판에 대한 플라즈마 처리 종료점을 검출하는 단계;플라즈마 처리 종료점이 검출되면, 공정 가스의 공급을 유지하되고주파 전원의 공급을 제어하여 상기 플라즈마 처리 챔버 내에서 플라즈마 에너지가 플라즈마 방전이 유지될 수 있는 최소 레벨까지 낮아지도록 제어하고상기 피처리 기판과 상기 하부 전극은 상기 플라즈마 처리 챔버의 내부에서 유지되고 있는 플라즈마에 의해 전기적으로 커플링된 상태에서 상기 피처리 기판 및 상기 정전척에 유도되는 전압이 낮아지면서 상기 피처리 기판과 상기 정전척에 축적된 전하가 상기 하부 전극과 접지 사이에 연결된 방전 회로를 통하여 접지로 방전하도록 처리하는 단계; 및방전 처리 후 고주파 전원의 공급을 오프하여 플라즈마를 오프하고 공정 가스의 공급을 오프하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 처리 시스템의 플라즈마 처리 방법.
- 제4항에 있어서,상기 방전 회로는 하부 전극과 접지 사이에 연결되는 커플링 커패시터와 커플링 커패시터의 양단에 병렬로 연결되는 방전 저항을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 처리 시스템의 플라즈마 처리 방법.
- 제5항에 있어서,상기 방전 저항은 가변 저항으로 구성하되, 가변 저항의 저항값은 종료점 검출 이전의 저항값이 종료점 검출 이후의 저항값 보다 높게 설정되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 처리 시스템의 플라즈마 처리 방법.
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