KR100839533B1 - 반도체 생산 장비와 진공펌프의 통신 제어용 인터페이스장치 - Google Patents

반도체 생산 장비와 진공펌프의 통신 제어용 인터페이스장치 Download PDF

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Abstract

개시된 내용은 반도체 생산 장비와 진공펌프의 통신 제어용 인터페이스 장치에 관한 것으로서, 반도체 생산을 수행하는 반도체 생산 장비와, 반도체 생산 장비의 진공 상태 유지를 수행하는 진공 펌프와, 반도체 생산 장비와 진공 펌프 사이에 케이블을 통해 연결된 인터페이스 장치를 포함하며, 인터페이스 장치는, 진공 펌프에 이상이 발생되어 진공 펌프에서 정상적인 데이터를 반도체 생산 장비로 전송하지 못하는 경우, 관리자의 락 모드 조작에 따라 반도체 생산 장비의 인터락을 해제하기 위한 정보를 반도체 생산 장비로 전송하여 정상적인 구동을 수행하도록 하며, 진공 펌프의 교체 또는 점검시 발생되는 전기적 쇼트, 순간적 전원인가를 포함한 전기적 노이즈 발생시 컷 모드로 동작되어 반도체 생산 장비와 진공 펌프의 통신 접속 상태를 해제시킨다.
따라서, 본 발명은 진공 펌프의 점검이나 교체시 반도체 생산 장비의 가동을 중지할 필요가 없으므로 반도체 생산 장비의 가동률이 높아져 생산성이 향상되며, 진공 펌프에서 발생될 수 있는 전기적 노이즈가 반도체 생산 장비로 유입되는 것을 차단하여 반도체 생산 장비의 이상 발생을 사전에 예방하는 효과를 제공한다.
인터페이스 장치, PIDM(Pump Interface Disconnecter Module), 반도체 생산 장비, 진공 펌프

Description

반도체 생산 장비와 진공펌프의 통신 제어용 인터페이스 장치{Interface apparatus for controlling communication of semiconductor production device and vacuum pump}
도 1은 종래의 반도체 생산 장비와 진공펌프의 연결 상태를 나타낸 도면,
도 2는 본 발명에 따른 반도체 생산 장비와 진공펌프의 통신 제어용 인터페이스 장치의 연결 상태를 나타낸 도면,
도 3은 도 2의 인터페이스 장치의 구성을 상세하게 나타낸 블록도,
도 4는 도 3의 표시부의 구조를 보다 상세하게 나타낸 도면,
도 5는 본 발명에 따른 인터페이스 장치의 각 모드별 동작과정을 설명하기 위한 도면이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
100 : 진공펌프 200 : 반도체 생산 장비
300 : 인터페이스 장치 310 : 전원부
320 : 제 1 연결부 330 : 제 2 연결부
340 : 키입력부 350 : 제어부
360 : 락모드 동작부 370 ; 컷모드 동작부
380 : 표시부 400 : 케이블
본 발명은 인터페이스 장치에 관한 것이다.
보다 상세하게는 반도체 생산 장비와 진공 펌프 사이에 설치되어, 반도체 생산 장비의 가동률을 향상시키며, 진공 펌프에서 발생될 수 있는 전기적 노이즈가 반도체 생산 장비로 유입되는 것을 방지하도록 하는 반도체 생산 장비와 진공펌프의 통신 제어용 인터페이스 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 생산시 사용되는 진공 펌프의 가동 여부가 반도체 생산 장비의 가동시간에 미치는 영향은 거의 절대적이다.
도 1은 종래의 반도체 생산 장비와 진공펌프의 연결 상태를 나타낸 도면으로서, 진공 펌프(10)와 반도체 생산 장비(20)가 인터페이스 케이블(30)을 통해 연결되며, 진공 펌프(10)에서 출력되는 데이터를 인터페이스 케이블(30)을 통해 전송받은 반도체 생산 장비(20)에서 해당 데이터를 토대로 가동을 수행하여 반도체를 생산한다. 예를 들어, 반도체 생산 장비(20)에서 진공 펌프(10)의 신호 확인을 위해 DC +24V의 전압을 진공 펌프(10)로 출력하고, 진공 펌프(10)로부터 리턴되는 전압을 리딩하는 방식을 사용한다.
이러한 진공 펌프(20)는 일정기간 사용하거나 이상이 발생되면 점검이나 이루어져야 한다. 반도체 생산 장비(10)의 주기적 점검(PM)이 아닐 경우 각 공정별로 조금씩의 차이는 있으나 반도체 생산 장비(10)에서는 진공 펌프(20)가 가동하지 않 을 경우 반도체 생산 공정에 맞는 장비조건(예를 들어, 온도, 진공도 등)을 맞출 수 없기 때문에 반도체 생산 장비(10)의 안전상 인터락(interlock)이 걸리게 되고, 이 경우 사용이 중지되고 반도체 생산 장비별 챔버(chamber) PM이 이루어진다.
즉, 종래에는 진공 펌프(20)의 일시적인 점검이나 교체가 이루어질 경우, 반도체 생산 장비(10)에 인터락이 걸려 반도체의 생산 공정이 중지되는 문제점이 있었다.
또한, 반도체 생산 장비(20)의 신호를 진공 펌프(10) 내부의 인쇄회로기판(PCB)에서 리턴하는 현재의 인터페이스 방식에서는 진공 펌프(10)와 반도체 생산 장비(20)를 연결하는 인터페이스 케이블(30)의 분리 또는 체결시 전기적 쇼트, 순간적인 전원인가 등의 전기적 노이즈가 발생할 염려가 있었으며, 이 경우 반도체 생산 장비(20)측 보드가 손상될 우려가 있었다.
즉, 진공 펌프(10)와 반도체 생산 장비(20)가 인터페이스 케이블(30)을 통해 직접적으로 연결되기 때문에 분리 및 체결시 전기적 쇼트, 순간적인 전원인가 등의 전기적 노이즈에 따른 보드의 스트레스 누적으로 인하여 손상될 염려가 있었던 것이다.
또한, 각각의 진공 펌프 제작사마다 서로 다른 인터페이스 방식을 적용하였기 때문에 유지 및 보수에 많은 어려움이 있었으며(예를 들어, 진공 펌프에서 출력되는 신호는 각 제조사별로 고유의 핀을 통해 수행되기 때문에 작업자가 제조사 측에 작업 요청을 수행하여 확인해야 하는 번거로움이 있음), 종래에는 진공 펌프의 현재 상태를 표시하는 별도의 장비가 없었기 때문에 관리자가 반도체 생산 장비 또 는 진공 펌프 중 어느 장비에 문제가 있는지를 즉각적으로 확인하여 조치하기 어려운 문제점이 있었다.
본 발명의 목적은 전술한 문제점을 해결할 수 있도록, 반도체 생산 장비와 진공 펌프 사이에 설치되어, 진공 펌프에 이상이 발생되어 일시적인 점검이나 교체가 이루어지는 경우에도 반도체 생산 장비의 가동을 유지시킬 수 있도록 하는 반도체 생산 장비와 진공펌프의 통신 제어용 인터페이스 장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 다른 목적은, 진공 펌프의 교체나 점검시 발생될 수 있는 전기적 쇼트나 순간적인 전원인가 등의 전기적 노이즈가 반도체 생산 장비로 유입되지 않도록 방지할 수 있는 반도체 생산 장비와 진공펌프의 통신 제어용 인터페이스 장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은, 진공 펌프의 모델에 상관없이 반도체 생산 장비와 진공 펌프 사이의 인터페이스 기능을 통합하여 처리할 수 있도록 하는 반도체 생산 장비와 진공펌프의 통신 제어용 인터페이스 장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은, 진공 펌프의 각종 동작상태를 표시함으로써, 관리자가 반도체 생산 장비에 문제가 있는지 진공 펌프에 문제가 있는지를 즉시 인지하여 조치할 수 있도록 하는 반도체 생산 장비와 진공펌프의 통신 제어용 인터페이스 장치를 제공하는 데 있다.
이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 생산 장비와 진공펌프의 통신 제어용 인터페이스 장치는, 반도체 생산을 수행하는 반도체 생산 장비와, 반도체 생산 장비의 진공 상태 유지를 수행하는 진공 펌프와, 반도체 생산 장비와 진공 펌프 사이에 케이블을 통해 연결된 인터페이스 장치를 포함하며, 인터페이스 장치는, 진공 펌프에 이상이 발생되어 진공 펌프에서 정상적인 데이터를 반도체 생산 장비로 전송하지 못하는 경우, 관리자의 락 모드 조작에 따라 반도체 생산 장비의 인터락을 해제하기 위한 정보를 반도체 생산 장비로 전송하여 정상적인 구동을 수행하도록 하며, 진공 펌프의 교체 또는 점검시 발생되는 전기적 쇼트, 순간적 전원인가를 포함한 전기적 노이즈 발생시 컷 모드로 동작되어 반도체 생산 장비와 진공 펌프의 통신 접속 상태를 해제시키는 것을 특징으로 한다.
이때, 상술한 인터페이스 장치는, 인터페이스 장치의 각 부분에 필요한 동작전원을 공급하는 전원부와, 케이블을 통해 반도체 생산 장비의 통신 접속부와 연결되는 제 1 연결부와, 케이블을 통해 진공 펌프의 통신 접속부와 연결되는 제 2 연결부와, 관리자의 조작에 따른 키신호를 발생시키는 키입력부와, 정상 모드시 제 1 연결부와 제 2 연결부에 연결된 반도체 생산 장비와 진공 펌프의 동작상태를 확인하기 위한 신호의 입출력을 제어하고, 진공 펌프에 이상이 발생되어 관리자의 조작에 따라 키입력부로부터 락 모드 동작신호가 입력되면 반도체 생산 장비의 인터락을 해제하기 위한 정보의 생성 및 생성된 정보를 반도체 생산 장비로 전송하도록 제어하고, 진공 펌프에서 전기적 쇼트, 순간적 전원인가를 포함한 전기적 노이즈가 발생되면 컷 모드로 전환하여 제 1 연결부와 제 2 연결부에 연결된 반도체 생산 장비와 진공 펌프의 통신 접속 상태를 해제하여 진공 펌프에서 발생한 전기적 노이즈가 반도체 생산 장비로 출력되지 않도록 제어하며, 인터페이스 장치의 구동 상태에 대한 정보의 표시를 제어하는 제어부와, 진공 펌프에 이상이 발생되어 관리자의 조작에 따라 키입력부로부터 락 모드 동작신호를 입력받은 제어부의 제어에 따라 반도체 생산 장비의 인터락을 해제하기 위한 정보를 생성하고, 생성된 정보를 제 1 연결부에 연결된 반도체 생산 장비로 전송하는 락모드 동작부와, 제 2 연결부에 연결된 진공 펌프로부터 전기적 쇼트, 순간적 전원인가를 포함한 전기적 노이즈가 입력되면 제어부의 제어에 따라 컷 모드로 전환하고, 반도체 생산 장비와 진공 펌프의 통신 접속 상태를 해제하여 진공 펌프로부터 입력되는 전기적 노이즈가 반도체 생산 장비로 출력되지 않도록 차단하는 컷모드 동작부, 및 제어부의 제어에 따라 전원상태, 락 모드와 컷 모드의 동작상태, 진공 펌프의 현재 동작 상태에 대한 정보를 표시하는 표시부를 포함하여 구성하는 것이 바람직하다.
그리고, 상술한 표시부는, 진공 펌프의 상태 정보와 함께 진공 펌프의 사용 기간 연장 및 문제 발생을 줄이기 위하여 사용되는 게이트 밸브, 트랩, 역압 밸브, Hot N2 시스템, EMS를 포함한 주변 장치의 상태 정보를 제어부의 제어에 따라 표시할 수 있도록 구성하는 것이 바람직하다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 반도체 생산 장비와 진공펌프의 통신 제어용 인터페이스 장치를 상세하게 설명한다.
도 2는 본 발명에 따른 반도체 생산 장비와 진공펌프의 통신 제어용 인터페 이스 장치의 연결 상태를 나타낸 도면이다.
도시된 바와 같이, 본 발명의 인터페이스 장치(300)는 케이블(400)을 통해 반도체 생산 장비(200)의 진공 상태 유지를 수행하는 진공 펌프(100)와, 반도체 생산을 수행하는 반도체 생산 장비(200) 사이에 연결된다.
상술한 인터페이스 장치(300)는, 진공 펌프(100)에 이상이 발생되어 진공 펌프(100)에서 정상적인 데이터를 반도체 생산 장비(200)로 전송하지 못하는 경우, 관리자의 락 모드(Lock Mode) 조작에 따라 반도체 생산 장비(200)의 인터락을 해제하기 위한 정보를 반도체 생산 장비(200)로 전송하여 진공 펌프(100)에 이상이 있더라도 인터락 없이 정상적으로 구동을 수행할 수 있도록 하며, 진공 펌프(100)의 교체 또는 점검시 전기적 쇼트, 순간적 전원인가를 포함한 전기적 노이즈가 발생되면 컷 모드(Cut Mode)로 동작되어 진공 펌프(100)의 통신 접속 상태를 해제하여 진공 펌프(100)에서 발생된 전기적 노이즈가 반도체 생산 장비(200)로 전달되지 않도록 한다.
이때, 인터페이스 장치(300)에서 반도체 생산 장비(200)로 출력되는 인터락을 해제하기 위한 정보는, 반도체 생산 장비(200)에서 진공 펌프(100)가 정상적으로 구동되고 있음을 확인하기 위하여 출력되는 전압에 응답하는 전압 정보이다. 즉, 해당 전압 정보는 진공 펌프(100)가 정상적으로 동작하는 상태인 것으로 인식시키기 위한 전압 정보로서, 락모드 동작시 자동으로 생성되어 반도체 생산 장비(200)로 출력된다.
도 3은 상술한 도 2의 인터페이스 장치(300)의 구성을 상세하게 나타낸 블록 도이다.
도시된 바와 같이 본 발명의 인터페이스 장치(300)는, 전원부(310), 제 1 연결부(320), 제 2 연결부(330), 키입력부(340), 제어부(350), 락모드 동작부(360), 컷모드 동작부(370), 표시부(380) 등을 포함한다.
전원부(310)는 인터페이스 장치(300)의 각 구성 부분에 필요한 동작전원을 공급한다.
제 1 연결부(320)는 케이블(400)을 통해 반도체 생산 장비(200)의 통신 접속부(도면에 도시되어 있지 않음)와 연결된다.
제 2 연결부(330)는 케이블(400)을 통해 진공 펌프(100)의 통신 접속부(도면에 도시되어 있지 않음)와 연결된다.
키입력부(340)는 관리자의 조작에 따른 키신호를 발생시켜 제어부(350)로 출력한다.
제어부(350)는 정상 모드시 제 1 연결부(320)와 제 2 연결부(330)에 연결된 반도체 생산 장비(200)와 진공 펌프(100)의 동작상태를 확인하기 위한 신호의 입출력을 제어하고, 진공 펌프(100)에 이상이 발생되어 관리자의 조작에 따라 키입력부(340)로부터 락 모드 동작신호가 입력되면 락모드 동작부(360)의 구동을 제어하여 반도체 생산 장비(200)의 인터락을 해제하기 위한 정보의 생성 및 생성된 정보를 반도체 생산 장비(200)로 전송하도록 제어한다.
그리고, 제어부(350)는 진공 펌프(100)에서 전기적 쇼트, 순간적 전원인가를 포함한 전기적 노이즈가 발생되면 컷 모드로 전환하여 제 1 연결부(320)와 제 2 연 결부(330)에 연결된 반도체 생산 장비(200)와 진공 펌프(100)의 통신 접속 상태를 해제하여 반도체 생산 장비(200)로 진공 펌프(100)에서 발생한 전기적 노이즈가 출력되지 않도록 제어하며, 인터페이스 장치(300)의 구동 상태 정보의 표시를 제어하여 관리자가 확인할 수 있도록 한다.
락모드 동작부(360)는 진공 펌프(200)에 이상이 발생되어 관리자의 조작에 따라 키입력부(340)로부터 락 모드 동작신호를 입력받은 제어부(350)의 제어에 따라 반도체 생산 장비(200)의 인터락을 해제하기 위한 정보를 생성하고, 생성된 정보를 제 1 연결부(320)에 연결된 반도체 생산 장비(200)로 전송하여 정상적인 반도체 생산이 이루어지도록 한다.
컷모드 동작부(370)는 제 2 연결부(330)에 연결된 진공 펌프(100)로부터 전기적 쇼트, 순간적 전원인가를 포함한 전기적 노이즈가 입력되면 제어부(350)의 제어에 따라 컷 모드로 전환하고, 반도체 생산 장비(200)와 진공 펌프(100)의 통신 접속 상태를 해제하여 진공 펌프(100)로부터 입력되는 전기적 노이즈가 반도체 생산 장비(200)로 출력되지 않도록 차단한다.
표시부(380)는 제어부(350)의 제어에 따라 인터페이스 장치(300)의 전원상태, 락 모드와 컷 모드의 동작상태, 진공 펌프(100)의 현재 동작 상태에 대한 정보를 표시한다.
이때, 표시부(380)는 도 4에 도시된 바와 같이 다수의 LED로 구성되어 있으며, 인터페이스 장치(300)의 동작 상태, 락 모드와 컷 모드의 동작상태, 진공 펌프(100)의 현재 동작 상태(예를 들어, DP(Dry Pump) 동작, 위험 경고(warning), 알 람(alarm), BP(Booster Pump) 동작 등)에 따라 점멸되어 관리자가 현재의 상태를 즉각적으로 인지하여 조치할 수 있도록 한다.
또한, 표시부(380)는 진공 펌프(100)의 상태 정보 이외에, 진공 펌프(100)를 사용함에 있어 사용 기간 연장 및 문제 발생을 줄이기 위하여 부수적으로 사용되는 게이트 밸브(Gate Valve, 장비 수리시 배관 클로즈), 트랩(Trap), 역압 밸브, Hot N2 시스템, EMS 등의 주변 장치들의 상태 정보를 제어부(350)의 제어에 따라 표시할 수 있다. 즉, 상술한 주변 장치들은 독립적인 동작을 하고 있어 상태 확인을 메인 장비에서 수행하기 어렵기 때문에 표시부(380)를 통해 해당 부속 장치들의 상태 정보를 표시하여 관리자가 확인할 수 있도록 하는 것이다.
다음에는, 이와 같이 구성된 본 발명에 따른 반도체 생산 장비와 진공펌프의 통신 제어용 인터페이스 장치의 동작과정을 도 5를 참조하여 보다 상세하게 설명한다.
도 5는 본 발명에 따른 인터페이스 장치의 각 모드별 동작과정을 설명하기 위한 도면이다.
우선, 정상적인 동작 상태(즉, 정상 모드)에서는 도 5a에 도시된 바와 같이, 반도체 생산 장비(200)에서 진공 펌프(100)의 신호 확인을 위해 소정의 전압이 입력되면 인터페이스 장치(300)에서 해당 전압을 진공 펌프(100)로 출력하고, 진공 펌프(100)로부터 리턴되는 전압을 반도체 생산 장비(200)로 출력하여 정상적인 반도체 생성 공정을 수행하도록 한다.
이와 같은 정상적인 동작을 수행하는 도중, 진공 펌프(100)의 주기적 점검이 나 이상발생, 챔버 가동이 필요한 경우에는 종래와 같이 반도체 생산 장비(200)에 인터락이 걸려 정상적인 구동을 수행하지 못하게 되는 데, 이 경우 도 5b에 도시된 바와 같이 관리자의 조작에 따라 키입력부(340)로부터 락 모드 동작신호가 입력되면 제어부(350)에서 락모드 동작부(360)의 구동을 제어하여 반도체 생산 장비(200)의 인터락을 해제하기 위한 정보(즉, 진공 펌프(100)가 정상적으로 구동되고 있음을 알리기 위한 전압 정보)를 자체적으로 생성한 후, 해당 정보를 반도체 생산 장비(200)로 전송하여 반도체 생성 공정이 정상적으로 지속되도록 한다.
한편, 진공 펌프(100)의 교체 또는 점검을 수행할 때 전기적 쇼트, 순간적 전원인가를 포함한 전기적 노이즈가 발생되는 경우, 종래에는 전기적 노이즈에 의하여 반도체 생산 장비(200)가 고장나거나 에러가 발생되는 문제가 있었지만, 이 경우 도 5c에 도시된 바와 같이, 제어부(350)의 제어에 따라 컷모드 동작부(370)에서 컷 모드로 전환하여 반도체 생산 장비(200)와 진공 펌프(100)의 통신 접속 상태를 물리적으로 해제시킴으로써, 진공 펌프(100)에서 발생되는 전기적 노이즈가 반도체 생산 장비(200)로 출력되지 않도록 원천적으로 차단한다.
이상에서와 같이 본 발명의 반도체 생산 장비와 진공펌프의 통신 제어용 인터페이스 장치에 따르면, 진공 펌프의 점검이나 교체시에도 반도체 생산 장비의 가동을 중지할 필요가 없기 때문에 반도체 생산 장비의 가동률이 높아져 생산성이 향상되며, 진공 펌프의 교체 및 점검시 발생될 수 있는 전기적 노이즈가 반도체 생산 장비로 유입되는 것을 차단하기 때문에 반도체 생산 장비의 이상 발생을 사전에 예방할 수 있는 효과가 있다.
또한, 반도체 생산 장비와 진공 펌프 사이의 신호체계를 통합함으로써, 진공 펌프의 모델에 상관없이 사용이 가능하며, 진공 펌프의 현재 동작상태를 표시해 주기 때문에 관리자가 반도체 생산 장비 또는 진공 펌프 중 어느 장비에 문제가 있는지를 즉각적으로 확인하여 조치할 수 있는 효과가 있다.
여기에서, 상술한 본 발명에서는 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경할 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (4)

  1. 반도체 생산을 수행하는 반도체 생산 장비;
    상기 반도체 생산 장비의 진공 상태 유지를 수행하는 진공 펌프; 및
    상기 반도체 생산 장비와 상기 진공 펌프 사이에 케이블을 통해 연결된 인터페이스 장치를 포함하며,
    상기 인터페이스 장치는,
    상기 진공 펌프에 이상이 발생되어 상기 진공 펌프에서 정상적인 데이터를 상기 반도체 생산 장비로 전송하지 못하는 경우, 관리자의 락 모드 조작에 따라 상기 반도체 생산 장비의 인터락을 해제하기 위한 정보를 상기 반도체 생산 장비로 전송하여 정상적인 구동을 수행하도록 하고,
    상기 진공 펌프의 교체 또는 점검시 발생되는 전기적 쇼트, 순간적 전원인가를 포함한 전기적 노이즈 발생시 컷 모드로 동작되어 상기 반도체 생산 장비와 상기 진공 펌프의 통신 접속 상태를 해제시키며,
    상기 인터페이스 장치에서 상기 반도체 생산 장비로 출력되는 상기 반도체 생산 장비의 인터락을 해제하기 위한 정보는, 상기 반도체 생산 장비에서 상기 진공 펌프가 정상적으로 구동되고 있음을 확인하기 위하여 출력되는 전압에 응답하는 전압 정보인 것을 특징으로 하는 반도체 생산 장비와 진공펌프의 통신 제어용 인터페이스 장치.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 인터페이스 장치는,
    상기 인터페이스 장치의 각 부분에 필요한 동작전원을 공급하는 전원부;
    케이블을 통해 상기 반도체 생산 장비의 통신 접속부와 연결되는 제 1 연결부;
    케이블을 통해 상기 진공 펌프의 통신 접속부와 연결되는 제 2 연결부;
    관리자의 조작에 따른 키신호를 발생시키는 키입력부;
    정상 모드시 상기 제 1 연결부와 상기 제 2 연결부에 연결된 상기 반도체 생산 장비와 상기 진공 펌프의 동작상태를 확인하기 위한 신호의 입출력을 제어하고, 상기 진공 펌프에 이상이 발생되어 관리자의 조작에 따라 상기 키입력부로부터 락 모드 동작신호가 입력되면 상기 반도체 생산 장비의 인터락을 해제하기 위한 정보의 생성 및 생성된 정보를 상기 반도체 생산 장비로 전송하도록 제어하고, 상기 진공 펌프에서 전기적 쇼트, 순간적 전원인가를 포함한 전기적 노이즈가 발생되면 컷 모드로 전환하여 상기 제 1 연결부와 상기 제 2 연결부에 연결된 상기 반도체 생산 장비와 상기 진공 펌프의 통신 접속 상태를 해제하여 상기 진공 펌프에서 발생한 전기적 노이즈가 상기 반도체 생산 장비로 출력되지 않도록 제어하며, 상기 인터페이스 장치의 구동 상태에 대한 정보의 표시를 제어하는 제어부;
    상기 진공 펌프에 이상이 발생되어 관리자의 조작에 따라 상기 키입력부로부터 락 모드 동작신호를 입력받은 상기 제어부의 제어에 따라 상기 반도체 생산 장비의 인터락을 해제하기 위한 정보를 생성하고, 생성된 정보를 상기 제 1 연결부에 연결된 상기 반도체 생산 장비로 전송하는 락모드 동작부;
    상기 제 2 연결부에 연결된 상기 진공 펌프로부터 전기적 쇼트, 순간적 전원인가를 포함한 전기적 노이즈가 입력되면 상기 제어부의 제어에 따라 컷 모드로 전환하고, 상기 반도체 생산 장비와 상기 진공 펌프의 통신 접속 상태를 해제하여 상기 진공 펌프로부터 입력되는 전기적 노이즈가 상기 반도체 생산 장비로 출력되지 않도록 차단하는 컷모드 동작부; 및
    상기 제어부의 제어에 따라 전원상태, 락 모드와 컷 모드의 동작상태, 상기 진공 펌프의 현재 동작 상태에 대한 정보를 표시하는 표시부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 생산 장비와 진공펌프의 통신 제어용 인터페이스 장치.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 표시부는,
    상기 진공 펌프의 상태 정보와 함께 상기 진공 펌프의 사용 기간 연장 및 문제 발생을 줄이기 위하여 사용되는 게이트 밸브, 트랩, 역압 밸브, Hot N2 시스템, EMS를 포함한 주변 장치의 상태 정보를 상기 제어부의 제어에 따라 표시하는 것을 특징으로 하는 반도체 생산 장비와 진공펌프의 통신 제어용 인터페이스 장치.
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KR20060028010A (ko) * 2004-09-24 2006-03-29 삼성전자주식회사 진공 펌프 이상 유무 검출장치가 구비된 반도체 제조설비

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