KR100839430B1 - 유기 발광 표시 장치 및 그 제조방법 - Google Patents

유기 발광 표시 장치 및 그 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 유기 발광 표시 장치 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 유기 발광 표시 장치는, 기판, 기판상에 형성되는 유기 발광층 및 유기 발광층상에 형성되고, 무기막 및 유기막이 순차적으로 배치된 보호층을 적어도 1개 이상 포함한다. 여기서 무기막은 적어도 2개 이상의 무기막으로 형성되고, 각각의 무기막은 상기 유기 발광층에서 멀어질수록 밀도가 증가한다.
보호층, 무기막, 유기막, 투습률

Description

유기 발광 표시 장치 및 그 제조방법 {AN ORGANIC LIGHT EMITTING DIODE DISPLAY AND MANUFACTURING METHOD THEREOF}
본 발명은 유기 발광 표시 장치 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 투습 차단 효과가 우수한 보호층을 구비한 유기 발광 표시 장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.
유기 발광 표시 장치(Organic Light Emitting diode Display)는 통상적으로 화소 영역에 화상 표현의 기본 단위인 화소(pixel)를 매트릭스 형태로 배열하며, 각각의 화소마다 적(red; R), 녹(green; G), 청(blue; B)을 내는 유기 발광층, 이 유기 발광층을 사이에 두고 적층된 양극의 제1 화소 전극 및 음극의 제2 화소 전극을 포함한 유기 발광 소자(OLED)를 배치하고 있다.
여기서 유기 발광층은 직접 빛을 발생시키는 부분으로서, 유기 물질로 이루어짐에 따라 대기중의 수분이나 산소 및 온도 등의 외부 환경에 민감하다. 가령, 대기중의 수분이나 산소와 접촉하게 되면, 유기물질의 구조 등이 변할 수 있으므로 발광 효율이 떨어진다.
따라서 유기 발광 표시 장치의 제조에는 유기 발광 표시 장치의 수명에 영향 을 미치는 수분 및 산소 등으로부터 유기 발광층을 격리시키기 위하여 인캡슐레이션(Incapsulation)공정이 필요하다.
일반적인 인캡슐레이션 방법으로는, 화소 기판 위로 기판에, 박막 트랜지스터, 유기 발광 층등을 보호할 수 있도록 봉지 기판을 형성하는 것이 있다. 여기서 봉지 기판으로는 주로 유리가 사용된다.
그러나 이러한 인캡술레이션 방법에서는 필요한 강도를 얻기 위하여 봉지 기판으로 사용되는 유리의 두께를 두껍게 하여야 하는데, 이는 박형의 디스플레이를 요구하는 최근의 경향에 맞지 않다. 또한, 생산과정에서 2개의 기판(화소 기판 및 봉지 기판)을 사용하므로 생산단가가 올라가는 문제가 있었다.
이러한 문제를 해결하기 위하여, 박막의 보호막으로 유기 발광층을 보호하는 방법이 연구되고 있다. 이 경우 보호막으로 사용되는 박막은 투명성, 내습성, 저온성막 가능성, 및 내열성 등의 특징을 만족하여야 한다. 보호막으로는 무기막 또는 유기막을 사용할 수 있다.
그러나 보호막이 단층으로 형성될 때에는 다음의 문제가 야기될 수 있다. 즉, 무기막으로만 형성된 단층막의 경우, 막 형성속도가 느리고 막의 큰 스트레스로 인해서 일부 결함이 발생할 수 있다. 따라서 결함을 통해서 수분이 침투하는 문제점이 있다.
반면 유기막으로만 형성된 단층막의 경우, 성막 형성은 용이하지만 자체적으로 수분을 함유할 수 있고, 수분의 통과가 무기막에 비하여 쉽다. 따라서 단일 유기막으로는 완벽한 수분 차단이 어려운 문제점이 있다.
전술한 문제점을 해결하기 위하여, 투습 차단 효과가 우수한 보호막을 구비한 유기 발광 표시 장치 및 그 제조방법을 제공한다.
본 발명에 따른 유기 발광 표시 장치는 ⅰ) 기판, ⅱ) 기판상에 형성되는 유기 발광층 및 ⅲ) 유기 발광층상에 형성되고, 무기막 및 유기막이 순차적으로 배치된 보호층을 적어도 1개 이상 포함한다.
여기서, 무기막은 적어도 2개 이상의 무기막으로 형성되고, 각각의 무기막은 유기 발광층에서 멀어질수록 투습률이 감소한다.
또한, 보호층을 1 내지 3개 포함할 수 있다.
또한, 무기막은 제1 무기막 및 제2 무기막이 순차적으로 배치된 구조를 가지고, 제1 무기막은 알루미늄 산화물로 형성되며, 제2 무기막은 질소가 더 첨가된 알루미늄 산화물로 형성될 수 있다.
여기서, 제1 무기막은 Al2O3의 화학식을 만족하는 알루미늄 산화물로 형성되고, 상기 제2 무기막은 AlOxNy의 화학식을 가지는 알루미늄 산화물로 형성될 수 있다. 또한, 유기막은 환상형고분자(cyclic polyolefin)로 형성될 수 있으며,
본 발명에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조방법은,
(a) 기판 및 기판상에 유기 발광층을 형성하는 단계,
(b) 상기 유기 발광층상에 제1 무기막을 형성하는 단계,
(c) 상기 제1 무기막상에 상기 제1 무기막에 비하여 막 밀도가 높거나 또는 투습률이 낮은 제2 무기막을 형성하는 단계,
(d) 상기 제2 무기막상에 유기막을 형성하는 단계
를 순차적으로 포함한다.
또한, (d)단계 이후에, (b) 단계 내지 (d)단계를 1 내지 2번 반복하는 과정을 더 포함하여, (b) 단계 내지 (d)단계를 총 1회 내지 3회 반복 할 수 있다.
여기서, 제1 무기막은 Al2O3로 형성되고, 제2 무기막은 AlOxNy로 형성될 수 있다. 또한, 유기막은 환상형 고분자(cyclic polyolefin)로 형성될 수 있다.
한편, 제1 무기막 및 상기 제2 무기막을 동일한 챔버에서 스퍼터링(sputtering) 방법을 이용하여 동시에 증착할 수 있다.
여기서, 무기막을 증착하는 방법으로는 제1 무기막 증착을 위한 제1 타겟(target)을 스퍼터링하여 제1 무기막층을 형성하는 단계 및 상기 제2 무기막 증착을 위한 제2 타겟을 스퍼터링하여 제2 무기막층을 형성하는 단계를 순차적으로 수행하여 제1 무기막 및 제2 무기막을 형성하는 방법을 사용할 수 있다. 또한, 제1 무기막 증착을 위한 제1 타겟 및 제2 무기막 증착을 위한 제2 타겟을 순환하면서 스퍼터링하여 상기 제1 무기막 및 상기 제2 무기막을 동시에 형성하는 방법을 사용할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 복수의 무기막을 포함하는 보호층을 가진다. 따라서 무기층에서 발생할 수 있는 결함을 효과적으로 방지할 수 있으므로, 수분이 내부 유기 발광층으로 잘 침투하지 못한다.
또한, 유기막으로 환상형 고분자를 사용하므로, 더욱 효과적으로 수분의 침투를 차단할 수 있다.
또한, 수분, 공기 등으로부터 유기 발광층을 잘 보호할 수 있으므로, 발광 효율이 향상되고, 유기 발광층의 수명이 향상된다. 따라서 유기 발광 표시 장치의 수명을 향상시킬 수 있다.
특히, 본 발명의 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 수분 침투는 막는 효과가 뛰어난 보호층을 포함하므로, 보호층을 두껍게 형성할 필요가 없다. 따라서 전체적인 표시 장치의 두께를 줄일 수 있으며, 제조공정을 간소화 할 수 있다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙인다.
또한, 도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하 여 나타낸다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 또는 "상에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다.
또한, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 "전기적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 또한, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한, 다른 구성요소를 더 포함할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치(100)의 단면을 개략적으로 나타낸다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치(100)는 화소 기판(10), 유기 발광층(30), 및 보호층(50)을 포함한다.
화소 기판(10)은 절연 재질 또는 금속 재질로 이루어질 수 있고, 절연 재질로는 유리 또는 플라스틱을 사용할 수 있다. 화소 기판(10)상에 유기 발광 표시 장치(100)의 각각의 발광 소자가 형성된다.
유기 발광층(30)은 실제 발광이 이루어지는 발광층과 발광층의 상하부에 위치하여 정공이나 전자 등의 케리어(Carrier)를 발광층까지 효율적으로 전달시켜 주기 위한 유기막을 더 포함할 수 있다. 일례로, 유기막은 발광층과 발광층의 상부에 형성되는 전공 주입층(HIL) 및 전공 수송층(HTL)과 발광층의 하부에 형성되는 전자 수송층(ETL)과 전자 주입층(ETL)중 적어도 하나 이상을 포함할 수 있다.
보호층(50)은 제1 무기막(51), 제2 무기막(53) 및 유기막(55)이 순차적으로 적층되어 형성된다. 제2 무기막(53)은 제1 무기막(51)에 비하여 더 밀도가 큰 물질을 이용하여 형성된다. 일례로, 제1 무기막(51)으로는 알루미늄 산화물을 사용할 수 있고, 제2 무기막(53)으로는 질소가 더 첨가된 알루미늄 산화물을 사용할 수 있다. 또한, 알루미늄 산화물에서는 Al2O3의 화학식을 만족하는 산화물을 사용할 수 있으며, 질소가 첨가된 알루미늄 산화물로는 AlOxNy의 화학식을 만족하는 산화물을 사용할 수 있다.
제1 무기막(51)에 비하여 밀도가 더 큰 물질로 제2 무기막(53)을 형성하게 되면, 제1 무기막(51)의 형성 과정에서 발생할 수 있는 결함을 채우면서 제2 무기막(53)이 형성 될 수 있다. 따라서 무기막의 형성과정에서 발생할 수 있는 결함을 최소화 할 수 있다.
한편, 필요한 경우 서로 다른 밀도를 가지는 물질을 이용하여 3개 층 이상의 무기막을 형성할 수도 있다.
유기막(55)으로는 환상형 고분자(cyclic polyolefin)을 사용할 수 있다. 기존에 사용되던 고분자인 폴리아크릴렐이트(Polyacrylate), 폴리에틸렌나프탈레이트(Polyethylenenaphthalate), 폴리에테르설폰(Polyethersulfone)의 경우, 투습률(water vapour transmission rate, WVTR)이 3 내지 60 정도의 값이나, 환상형 고분자의 경우 WVTR 값이 0.6정도로 일반적인 무기막의 투습률과 유사한 값을 가진 다.
따라서 환상형 고분자 계열의 물질을 사용하면 보다 뛰어난 투습 차단 효과를 얻을 수 있다. 도 7은 종래의 고분자중 하나인 PET(Polyethylene Telephthalate)와 본 발명의 실시예에 따른 환상형 고분자와의 투습률의 차이를 나타낸다. 도 7을 참조하면, PET의 경우 환상형 고분자에 비해서 8 ~9배의 투습률을 보임을 알 수 있다.
이와 같이, 밀도의 차이를 보이는 다층의 무기막 및 투습률이 낮은 유기막을 동시에 사용하면, 투습 차단이 뛰어난 보호층을 얻을 수 있으므로, 필요한 보호층의 개수를 줄일 수 있다. 따라서 유기 발광 표시 장치의 두께 및 무게를 줄일 수 있으며, 공정을 단축시킬 수 있어 제조가 용이해지고, 보다 경제적으로 제조할 수 있다.
도 2 및 도 3은 본 발명의 제2 실시예 및 제3 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치(200, 300)의 개략적인 단면을 나타낸다.
제2 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치(200)는 보호층(50)위에 제2 보호층(70)을 더 포함하며, 제3 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치(300)는 보호층(50)위에 제2 보호층(70) 및 제3 보호층(90)을 더 포함한다. 각각의 보호층(50, 70, 90)은 제1 무기막(51, 71, 91), 제2 무기막(53, 73, 93) 및 유기막(55, 75, 95)이 순차적으로 적층되어 형성된다.
이와 같이, 유기 발광층(30)의 보호를 위해 복수개의 보호층(50, 70, 90)을 형성할 경우, 수분의 침투를 더욱 효과적으로 막을 수 있으므로, 유기 발광 표시 장치의 사용 수명을 더욱 늘릴 수 있다.
도 4는 본 발명의 제4 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치(400)의 개략적인 단면을 나타낸다. 투습 차단 효과를 상세하게 설명하기 위하여, 무기막에 발생한 결함(70)을 실제보다 확대하여 도시한다.
도 4를 참조하면, 화소 기판(410) 및 유기 발광층(430)상에 제1 무기막(451)이 형성되면서, 스트레스가 집중되는 영역에 결함(470)이 발생한다. 제1 무기막(451)상에 제1 무기막(451)에 비하여 보다 밀도가 큰 물질로 제2 무기막(453)이 형성된다. 제2 무기막(453)을 형성하는 물질이 제1 무기막(451)에 비하여 상대적으로 밀도가 높으므로, 제1 무기막(451)상에 형성된 결함(470)을 채우면서 제2 무기막(453)이 형성된다.
따라서, 제1 무기막(451)이 형성될 때 결함(470)이 발생하더라도 제2 무기막(453)에 의해서 결함(470)이 채워질 수 있으므로, 수분의 침투를 효과적으로 막을 수 있다.
유기 발광 표시 장치의 동작 수명은 유기 발광층의 수명과 큰 연관이 있으므로, 이와 같이 수분을 효과적으로 차단하여 유기 발광층을 잘 보호하여 유기 발광 표시 장치의 동작시간을 더욱 향상 시킬 수 있다.
이하, 도 5 및 도 6을 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조방법을 설명한다.
도 5은 본 발명의 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조방법을 순서에 따라 나타낸다.
먼저, 화소 기판을 준비한다. 화소 기판은 유리 또는 플라스틱으로 제조할 수 있다. 다음으로, 화소 기판 위에 유기 발광층을 형성한다. (501) 도 5에서는 본 발명의 특징을 명확하게 설명하기 위해서 박막트랜지스터(TFT), 커패시터(Capacitors)등이 형성된 액티브층, 버퍼층, 전극 등의 형성단계를 나타내지 않았지만, 이와 같은 구성이 형성되는 단계를 더 포함함은 당업자에게 자명하다.
다음으로, 유기 발광층을 덮어서 밀봉하도록 제1 무기막을 형성한다. 이때, 제1 무기막은 알루미늄 산화물 이용하여 형성될 수 있으며, 그 중에서 화학식 Al2O3을 만족하는 산화물을 이용할 수 있다. 또한, 제1 무기막은 스퍼터링(sputtering) 방법을 이용해서 형성할 수 있다.(503)
다음으로, 제1 무기막상에 제1 무기막보다 밀도가 큰 물질로 제2 무기막을 형성한다. 제2 무기막은 질소가 더 첨가된 알루미늄 산화물을 이용하여 형성될 수 있으며, 그 중에서 화학식 AlOxNy을 만족하는 산화물을 이용할 수 있다. 또한, 제2 무기막은 제1무기막이 형성된 챔버와 동일한 챔버에서 스퍼터링 방법을 이용해서 형성될 수 있다.(505) 이와 같이 제1 무기막의 물질에 비하여 밀도가 큰 산화물을 이용하여 제2 무기막을 형성하므로, 제1 무기막상에 형성되는 결함을 효과적으로 줄일 수 있다.
다음으로, 제2 무기막상에 유기막을 형성한다. 유기막은 환상형 고분자를 이용하여 형성될 수 있다.(507) 자세한 유기막의 형성방법은 당업자에게 자명한 것이므로 여기서는 그 설명을 생략하도록 한다. 폴리에틸렌테레프탈레이 트(Ployethyleneterephthalate, PET)와 같은 종래에 유기막으로 사용되던 고분자에 비하여 환상의 고분자의 경우, 투습 차단율이 높다. 따라서 유기 발광층을 수분으로부터 효과적으로 보호할 수 있으므로, 유기 발광 표시 장치의 동작 수명을 늘릴 수 있다.
이와 같은 방법을 통해서 본 발명의 실시예에 따른 보호층을 형성할 수 있다. 그러나 복수의 보호층이 필요한 경우 방향 A를 따라서 제1 무기막, 제2 무기막 및 유기층을 형성하는 단계를 반복할 수 있다. 복수의 보호층이 형성된 경우 보호층에 발생할 수 있는 결함을 서로 상쇄시킬 수 있다. 따라서 유기 발광층을 수분 등으로부터 더욱 효과적으로 보호할 수 있으므로, 유기 발광 표시 장치의 동작 수명을 더욱 증대 시킬 수 있다.
도 6의(a)는 제1 무기막 및 제2 무기막을 형성하기 위한 스퍼터링 장치의 타겟, 도 6의(b)는 무기막 형성 챔버의 단면을 간략히 나타낸다.
본 발명의 실시예에 따른 보호층을 형성하기 위한 스퍼터링 장치의 타겟(100)에는 알루미늄 산화물 타겟(601) 및 질소가 더 포함된 알루미늄 산화물 타겟(603)이 동시에 설치된다. 따라서 도 6의(b)와 같이, 동일한 챔버 내에서 제1 무기막 및 제2 무기막이 동시에 형성될 수 있다. 형성방법으로는 방향 B로 스퍼터링 후 방향 C로 스퍼터링 하는 방법을 사용하여, 먼저 제1 무기막을 형성하고, 제2 무기막을 순차적으로 형성하는 방법을 사용할 수 있다. 또한, 방향 D로 스퍼터링하여 한번에 제1 무기막 및 제2 무기막이 형성하는 방법도 사용할 수 있다. 이와 같이, 제1 무기막 및 제2 무기막을 동일한 챔버에서 동시에 형성할 수 있으므로, 제조공정이 단축될 수 있으며, 경제적으로 보호층을 형성할 수 있다. 한편, 본 발명의 바람직한 실시예로는 이와 같이 복수 층의 무기막을 동일한 챔버에서 형성하는 것이지만, 두 개의 서로 다른 챔버에서 각각 제1 무기막 및 제2 무기막을 형성할 수 있음은 당업자에게 자명하다.
도 8은 본 발명에 따른 유기 발광 표시 장치가 사용될 수 있는 최종 생산품의 사시도를 간략하게 나타낸다.
도 8에 도시한 바와 같이, 유기 발광 표시 장치는 대부분의 디스플레이 장치에 사용할 수 있다. 대표적으로 컴퓨터 모니터(801)에 사용할 수 있다. 유기 발광 표시 장치는 기존의 액정 표시 장치에 비해서 반응속도가 빠르므로 잔상이 거의 남지 않아 영화 및 게임 등의 어플리케이션에 더욱 유리하다. 또한, 휴대용 기기인 휴대전화(803), 개인용 멀티미디어 장치(805), MP3 플레이어(807)등의 표시 장치에 사용할 수 있다. 이러한 휴대용 디지털 장치들은 실외에서 사용하는 경우가 많으므로, 태양광 아래에서도 사용이 편리한 유기 발광 표시 장치가 유리하다. 휴대용 디지털 장치의 경우 수분에 노출될 가능성이 높으므로, 본 발명에 따른 유기 발광 표시 장치를 사용하여 수분의 침투를 더욱 효과적으로 막을 수 있다. 따라서 표시 장치의 수명을 더욱 향상시킬 수 있다. 한편, 유기 발광 표시 장치는 대형 TV에도 사용이 가능하다. 종래의 PDP 및 액정 디스플레이에 비해서 높은 휘도, 명암비 및 빠른 반응속도를 보이므로 유기 발광 표시 장치를 사용하면 더욱 선명한 화면을 얻을 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 개략적인 단면도이다.
도 2는 본 발명의 제2 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 개략적인 단면도이다.
도 3은 본 발명의 제3 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 개략적인 단면도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 효과를 나타내는 개략적인 단면도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조방법을 나타내는 순서도이다.
도 6의(a)는 제1 무기막 및 제2 무기막 형성에 사용되는 타깃을 간략하게 표시한 도면이다.
도 6의(b)는 제1 무기막 및 제2 무기막 형성에 사용되는 챔버의 개략적인 단면도이다.
도 7은 환상형 고분자의 투습률을 나타내는 그래프이다.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치를 사용할 수 있는 장치들의 사시도이다.

Claims (12)

  1. 기판,
    상기 기판상에 형성되는 유기 발광층 및
    상기 유기 발광층상에 형성되고, 무기막 및 유기막이 순차적으로 배치된보호층을 적어도1개 이상 포함하며,
    상기 무기막은 적어도2개 이상의 무기막으로 형성되고, 각각의 무기막은 상기 유기 발광층에서 멀어질수록 밀도가 증가하는
    유기 발광 표시 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 보호층을 1 내지 3개 포함하는 유기 발광 표시 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 무기막은 제1 무기막 및 제2 무기막이 순차적으로 배치된 구조를 가지고,
    상기 제1 무기막은 알루미늄 산화물로 형성되며,
    상기 제2 무기막은 질소가 더 첨가된 알루미늄 산화물로 형성되는
    유기 발광 표시 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제1 무기막은 Al2O3로 형성되고, 상기 제2 무기막은 AlOxNy로 형성되는 유기 발광 표시 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 유기막은 환상형고분자(cyclic polyolefin)로 형성되는 유기 발광 표시 장치.
  6. 유기 발광 표시 장치를 제조하는 방법에 있어서,
    (a) 기판 및 기판상에 유기 발광층을 형성하는 단계,
    (b) 상기 유기 발광층상에 제1 무기막을 형성하는 단계,
    (c) 상기 제1 무기막상에 상기 제1 무기막에 비하여 막 밀도가 높은 제2 무기막을 형성하는 단계,
    (d) 상기 제2 무기막상에 유기막을 형성하는 단계
    를 순차적으로 포함하는 유기 발광 표시 장치의 제조방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 (d)단계 이후에, 상기 (b) 단계 내지 상기 (d)단계를 1 내지 2번 반복하는 과정을 더 포함하는 유기 발광 표시 장치의 제조방법.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 제1 무기막은 상기 제1 무기막은 Al2O3로 형성되고, 상기 제2 무기막은 AlOxNy로 형성되는 유기 발광 표시 장치의 제조방법.
  9. 제6항에 있어서,
    상기 유기막은 환상형고분자(cyclic polyolefin)로 형성되는 유기 발광 표시 장치의 제조방법.
  10. 제6항에 있어서,
    상기 제1 무기막 및 상기 제2 무기막을 동일한 챔버에서 스퍼터링 방법을 이용하여 형성하는 유기 발광 표시 장치의 제조방법.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 제1 무기막 증착을 위한 제1 타겟(target)을 스퍼터링하여 상기 제1 무기막층을 형성하는 단계 및
    상기 제2 무기막 증착을 위한 제2 타겟을 스퍼터링하여 상기 제2 무기막층을 형성하는 단계를 순차적으로 수행하여 상기 제1 무기막 및 상기 제2 무기막을 형성하는 유기 발광 표시 장치의 제조방법.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 제1 무기막 증착을 위한 제1 타겟 및 상기 제2 무기막 증착을 위한 제2 타겟을 순환하면서 스퍼터링하여 상기 제1 무기막 및 상기 제2 무기막을 동시에 형성하는 유기 발광 표시 장치의 제조방법.
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