KR100830321B1 - Metal mask for deposition and the deposition method using it - Google Patents

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Abstract

A metal mask for deposition and a method for depositing a pixel for a display device using the same are provided to simplify a deposition process without depositing an organic material stacked in a white pixel without additional deposition. A method for depositing a pixel for a display device using a metal mask for deposition includes the steps of: depositing a red(R) light emitting organic material by using a first metal mask with two slits corresponding to a red subpixel and a white subpixel of a panel for one unit for the mask; depositing a green(G) light emitting organic material by using a second metal mask with two slits corresponding to a green subpixel and a white subpixel of the panel for one unit for the mask: and depositing a blue(B) light emitting organic material by using a third metal mask with two slits corresponding to a blue subpixel and a white subpixel of the panel for one unit for the mask.

Description

증착용 메탈 마스크 및 증착용 메탈 마스크를 이용한 표시장치용 화소 증착 방법 {Metal mask for deposition and the deposition method using it}Pixel deposition method for display device using metal mask for deposition and metal mask for deposition {Metal mask for deposition and the deposition method using it}

도 1은 일반적인 증착용 메탈 마스크의 전면을 도시하는 개략도이다.1 is a schematic view showing the entire surface of a general deposition metal mask.

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른, 단위 화소에 대응되는 세 가지 형태의 증착용 메탈 마스크의 1단위를 도시하는 개략도이다.2 is a schematic diagram illustrating one unit of three types of deposition metal masks corresponding to unit pixels according to an embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른, 세 가지 형태의 증착용 메탈 마스크를 이용하여 유기 발광 표시 패널에 각각 적색(R)유기물, 녹색(G)유기물, 및 청색(B)유기물을 증착하는 과정을 도시하는 단면도이다.FIG. 3 illustrates red (R), green (G), and blue (B) organics deposited on an organic light emitting display panel using three types of deposition metal masks according to one embodiment of the present invention. It is a section showing the process.

도 4는 본 발명의 일실시예에 따른, 적색(R)유기물, 녹색(G)유기물, 및 청색(B)유기물이 적층되어 백색(W)화소에 적층되는 유기물을 얻는 구조를 나타내는 단면도이다. 4 is a cross-sectional view illustrating a structure in which a red (R) organic, a green (G) organic, and a blue (B) organic are stacked to obtain an organic material stacked on a white (W) pixel according to an embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 일실시예에 따른, 격벽과 세 가지 형태의 메탈 마스크의 슬릿을 도시하는 개략도이다. 5 is a schematic diagram illustrating a slit of a partition and three types of metal masks according to an embodiment of the present invention.

도 6은 본 발명의 일실시예에 따른, 메탈 마스크를 이용하여 유기 발광층이 증착된 후의 유기 발광 소자(OLED)를 도시하는 개략도이다.6 is a schematic diagram illustrating an organic light emitting diode (OLED) after an organic light emitting layer is deposited using a metal mask according to an embodiment of the present invention.

도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른, 단위 화소에 대응되는 세 가지 형태의 증착용 메탈 마스크의 1단위를 도시하는 개략도이다. FIG. 7 is a schematic diagram illustrating one unit of three types of deposition metal masks corresponding to unit pixels, according to another exemplary embodiment.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

10: 증착용 마스크10: deposition mask

10a: 적색(R)유기물 증착용 마스크 10b: 녹색(G)유기물 증착용 마스크 10a: red (R) organic vapor deposition mask 10b: green (G) organic vapor deposition mask

10c: 청색(B)유기물 증착용 마스크 10c: blue (B) organic vapor deposition mask

12a, 12b, 12c, 12d: 마스크 슬릿12a, 12b, 12c, 12d: mask slit

14: 애노드(Anode) 전극 16: 유리(Glass) 기판 18: 격벽14: anode electrode 16: glass substrate 18: partition wall

본 발명은 증착용 메탈 마스크(Metal Mask)에 관한 것으로서, 백색(W)화소에 적층되는 유기물은 적색(R),녹색(G) 및 청색(B) 유기물을 중첩해서 만들 수 있기 때문에, 백색(W)화소에 적층되는 유기물을 따로 증착하지 아니하고 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)유기물과 동시에 증착하여 증착공정을 단순화하기 위한 메탈 마스크에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a metal mask for deposition, and the organic material laminated on the white (W) pixel can be formed by overlapping the red (R), green (G) and blue (B) organic materials. W) The present invention relates to a metal mask for simplifying the deposition process by simultaneously depositing organic materials stacked on a pixel with red (R), green (G), and blue (B) organics.

유기 발광 소자(OLED)는 캐소드 전극과 애노드 전극 사이에 유기물로 이루어진 발광층이 형성된 형태로써, 상기 캐소드 전극과 애노드 전극에 일정 전류를 흐르게 하면, 상기 발광층에서 빛이 방출되는 발광소자이다. 유기 발광 소자는 응답속도가 1ms 이하로서 고속의 응답속도를 가지며, 소비 전력이 낮고, 자체 발광이므 로 시야각에 문제가 없어서, 장치의 크기에 상관없이 동화상 표시 매체로서 장점이 있다. 또한 저온 제작이 가능하고, 기존의 반도체 공정 기술을 바탕으로 제조공정이 간단하므로 향후 차세대 평판 표시 장치로 주목받고 있다.An organic light emitting diode (OLED) is a form in which a light emitting layer made of an organic material is formed between a cathode electrode and an anode electrode, and when a constant current flows through the cathode electrode and the anode electrode, light is emitted from the light emitting layer. The organic light emitting device has a high response time with a response speed of 1 ms or less, low power consumption, and no self-emission, so there is no problem in viewing angle, and thus it is advantageous as a moving image display medium regardless of the size of the device. In addition, low-temperature manufacturing is possible, and the manufacturing process is simple based on the existing semiconductor process technology has attracted attention as the next generation flat panel display device.

또한, 유기 발광 소자는 구동 방식에 따라 능동 구동방식(AM, active matrix)과 수동 구동방식(PM, passive matrix)으로 나뉜다. 수동 구동방식은 배선의 저항문제, 소비 전력 문제, 구동 전압의 문제로 인해 현재까지는 대화면의 표시 장치에는 부적합하다. 능동 구동방식은 수동 구동방식에 비해 소비전력이 작고, 단위화소 형성 공정이 수동 구동방식에 비해 간단하며, 고해상도의 패널을 제작할 수 있는 장점이 있다. In addition, the organic light emitting device is classified into an active driving method (AM) and a passive driving method (PM) according to the driving method. The passive driving method is unsuitable for large display devices until now due to the problem of wiring resistance, power consumption, and driving voltage. The active driving method has lower power consumption than the passive driving method, the unit pixel forming process is simpler than the passive driving method, and has the advantage of manufacturing a high resolution panel.

종래 유기 발광 소자를 이용하고, 풀 컬러 표시가 가능한 표시 소자를 작성하는 예로서, 소위 백색법이 알려져 있다. 백색법은, 백색 유기 발광 다이오드로부터 백색광을 발광시키고, 그 백색광을 컬러 필터(color filter)로 필터링하고, 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)의 발광색을 실현시킨 방법이다. The so-called white method is known as an example of using a conventional organic light emitting element to create a display element capable of full color display. The white method is a method in which white light is emitted from a white organic light emitting diode, the white light is filtered by a color filter, and the light emission colors of red (R), green (G), and blue (B) are realized.

상기 백색광을 얻기 위하여 다양한 시도가 있어왔다. 일본특허공개 제 2004-235168호에서는 적색, 청색 및 녹색의 3색을 혼색하여 백색 발광을 얻는 유기전계발광 소자를 제공하는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광 소자가 개시되어 있으며, 일본특허공개 제 2006-040856호에서는 청색발광층, 적색발광층, 및 녹색발광층을 가지는 백색 유기 전계 발광 소자가 개시되어 있고, 한국특허공개 제 2003-0044188 호에서는 유기전계발광소자에서 다층구조로 적색, 녹색, 및 청색 발광층을 배열하여 백색 발광을 구현하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자가 개시되어 있고, 한국특허공개 제 2005-0028564호에서는 백색 유기 전기발광 소자의 구조 및 제조방법에 관한 것으로, 적색(R),녹색(G),및 청색(B) 3원색의 유기발광층을 적층한 구조를 가진 고효율, 고휘도 백색 유기 전기발광 소자가 개시되어 있다. Various attempts have been made to obtain the white light. Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-235168 discloses an organic electroluminescent device characterized by providing an organic electroluminescent device in which three colors of red, blue, and green are mixed to obtain white light emission. In 040856, a white organic electroluminescent device having a blue light emitting layer, a red light emitting layer, and a green light emitting layer is disclosed. The organic light emitting device is characterized in that the white light emitting device is disclosed, and Korean Patent Publication No. 2005-0028564 relates to the structure and manufacturing method of the white organic electroluminescent device, red (R), green (G And a high efficiency, high brightness white organic electroluminescent device having a structure in which an organic light emitting layer of three primary colors of blue (B) is laminated.

그러나 상기 선행특허문헌에서는 적색(R), 녹색(G), 및 청색(B) 적층구조로 백색광을 형성하는 방법을 언급하고 있으나, 이는 백색광을 얻기 위하여 별도의 공정을 필요로 하여 공정이 복잡해지고 비용이 많이 소모되는 문제가 있다. However, the prior patent document refers to a method of forming white light with a red (R), green (G), and blue (B) lamination structure, but this requires a separate process to obtain white light, which makes the process complicated. There is a costly problem.

이와 같은 문제점을 해결하기 위해 적색(R), 녹색(G), 및 청색(B) 화소에 유기물을 증착할 때 동시에 백색(W) 화소에도 유기물을 적층할 수 있는 증착용 메탈마스크의 필요성이 대두된다.In order to solve this problem, there is a need for a deposition metal mask capable of stacking organic materials on white (W) pixels when organic materials are deposited on red (R), green (G), and blue (B) pixels. do.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로 그 목적은 적색(R), 녹색(G), 청색(B), 및 백색(W) 화소로 구성된 패널에 유기물을 증착할 경우 공정을 단순화하기 위하여, 상기 단위 화소에 대응되는 마스크의 1단위가 2개의 슬릿을 가지는 증착용 메탈 마스크를 제공하는 것이다.The present invention was devised to solve the above problems, and its object is to simplify the process when the organic material is deposited on a panel composed of red (R), green (G), blue (B), and white (W) pixels. To this end, it is to provide a deposition metal mask in which one unit of the mask corresponding to the unit pixel has two slits.

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 증착용 메탈 마스크는, 적색(R), 녹색(G), 청색(B), 및 백색(W) 부화소가 단위 화소 구조를 구성하는 패널을 증착하기 위한 메탈 마스크로서, 상기 단위 화소에 대응되는 마스크의 1단위가 2개의 마스크 슬릿을 갖는 것을 특징으로 한다. 상기 마스크 슬릿은 직사각형의 모양을 갖는 것을 특징으로 하며, 상기 메탈 마스크는 니켈-알로이(Ni-alloy)소재로 이루어지는 것을 특징으로 한다. In order to achieve the above object, in the deposition metal mask according to the present invention, a panel in which red (R), green (G), blue (B), and white (W) subpixels constitute a unit pixel structure is deposited. The metal mask is characterized in that one unit of the mask corresponding to the unit pixel has two mask slits. The mask slit may have a rectangular shape, and the metal mask may be formed of a nickel-alloy material.

한편, 상기 증착용 메탈 마스크를 이용한 표시장치용 화소 증착 방법은, 상기 마스크의 1단위에 상기 패널의 적색(R) 부화소 및 백색(W) 부화소에 대응되는 2개의 슬릿이 구비된 제 1 메탈 마스크를 이용하여 적색(R) 발광 유기물을 상기 패널에 증착하는 단계; 상기 마스크의 1단위에 상기 패널의 녹색(G) 부화소 및 백색(W) 부화소에 대응되는 2개의 슬릿이 구비된 제 2 메탈 마스크를 이용하여 녹색(G) 발광 유기물을 상기 패널에 증착하는 단계; 및 상기 마스크의 1단위에 상기 패널의 청색(B) 부화소 및 백색(W) 부화소에 대응되는 2개의 슬릿이 구비된 제 3 메탈 마스크를 이용하여 청색(B) 발광 유기물을 상기 패널에 증착하는 단계를 포함하여 구성된다. 상기 표시장치는 유기 발광 표시장치인 것을 특징으로 한다.In the pixel deposition method for a display device using the deposition metal mask, a first unit having two slits corresponding to the red (R) subpixel and the white (W) subpixel of the panel is provided in one unit of the mask. Depositing a red (R) light emitting organic material on the panel using a metal mask; Depositing a green (G) light emitting organic material on the panel by using a second metal mask having two slits corresponding to the green (G) subpixel and the white (W) subpixel of the panel in one unit of the mask step; And depositing a blue (B) light emitting organic material on the panel by using a third metal mask having two slits corresponding to the blue (B) subpixel and the white (W) subpixel of the panel in one unit of the mask. It is configured to include. The display device is an organic light emitting display device.

이하, 본 발명의 일실시예를 첨부한 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다. Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 일반적인 증착용 메탈 마스크의 전면을 도시하는 개략도이고, 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른, 단위 화소에 대응되는 세 가지 형태의 증착용 메탈 마스크의 1단위를 도시하는 개략도이다.FIG. 1 is a schematic view showing a front surface of a general deposition metal mask, and FIG. 2 is a schematic view showing one unit of three types of deposition metal masks corresponding to unit pixels according to an embodiment of the present invention.

도시한 바와 같이, 본 실시예에 따른 증착용 메탈 마스크는 세 가지 형태로 구비될 수 있다. 적색(R)유기물 증착용 마스크(10a), 녹색(G)유기물 증착용 마스크(10b), 및 청색(B)유기물 증착용 마스크(10c)의 세 가지 형태로 구비될 수 있다. 상기 증착용 마스크(10a, 10b, 10c)는 단위 화소에 대응되는 부분(이하, '1단위'라 한다.)이 집합된 것이라고 할 수 있다. 적색(R)유기물 증착용 마스크(10a)의 1단위는 2개의 슬릿(12a, 12d)이 일정한 간격을 갖고 배치되어 있다. 녹색(G)유기물 증착용 마스크(10b)의 1단위는 상기 적색(R)유기물 증착용 마스크(10a)의 1단위의 슬릿간의 간격보다 좁은 간격을 갖고 배치된 2개의 슬릿(12b, 12d)을 구비한다. 청색(B)유기물 증착용 마스크(10c)의 1단위는 상기 녹색(G)유기물 증착용 마스크(10b)의 1단위의 슬릿간의 간격보다 좁은 간격을 갖고 배치된 2개의 슬릿(12c, 12d)을 구비한다. As shown, the deposition metal mask according to the present embodiment may be provided in three forms. The red (R) organic vapor deposition mask 10a, the green (G) organic vapor deposition mask 10b, and the blue (B) organic vapor deposition mask 10c may be provided in three forms. The deposition masks 10a, 10b, and 10c may be a collection of portions corresponding to unit pixels (hereinafter, referred to as “one unit”). In one unit of the red (R) organic vapor deposition mask 10a, two slits 12a and 12d are arranged at regular intervals. One unit of the green (G) organic vapor deposition mask 10b includes two slits 12b and 12d disposed at a smaller interval than the interval between the one slits of the red (R) organic vapor deposition mask 10a. Equipped. One unit of the blue (B) organic vapor deposition mask 10c includes two slits 12c and 12d disposed at a smaller interval than the interval between the one slits of the green (G) organic vapor deposition mask 10b. Equipped.

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른, 세 가지 형태의 증착용 메탈 마스크를 이용하여 유기 발광 표시 패널에 각각 적색(R)유기물, 녹색(G)유기물, 및 청색(B)유기물을 증착하는 과정을 도시하는 단면도이다. FIG. 3 illustrates red (R), green (G), and blue (B) organics deposited on an organic light emitting display panel using three types of deposition metal masks according to one embodiment of the present invention. It is a section showing the process.

적색(R)유기물 증착용 마스크(10a)의 슬릿(12a, 12d)을 통하여 적색(R)유기물이 격벽(18)사이에서 적색(R) 화소영역 및 백색(W) 화소영역 상에 증착이 된다. The red (R) organic material is deposited on the red (R) pixel area and the white (W) pixel area between the partition walls 18 through the slits 12a and 12d of the red (R) organic material deposition mask 10a. .

마찬가지로, 녹색(G)유기물 증착용 마스크(10b), 청색(B)유기물 증착용 마스크(10c)의 슬릿(12b, 12c, 12d)을 통하여 각각 녹색(G)유기물, 청색(B)유기물이 격벽(18)사이에서 녹색(G) 화소영역, 청색(B) 화소영역, 및 백색(W) 화소영역 상에 증착이 된다. Similarly, through the slits 12b, 12c, and 12d of the green (G) organic vapor deposition mask 10b and the blue (B) organic vapor deposition mask 10c, the green (G) organic material and the blue (B) organic material are partitioned, respectively. Deposition is made between (18) on the green (G) pixel region, the blue (B) pixel region, and the white (W) pixel region.

적색(R), 녹색(G), 및 청색(B) 유기물 증착용 마스크(10a, 10b, 10c)의 슬릿(12d)를 통하여서는 각각 같은 위치에 적색(R)유기물, 녹색(G)유기물, 및 청색(B)유기물이 차례로 적층이 되어 백색(W)화소에 적층되는 유기물을 형성한다. 따라서 별도의 공정이 없이도 적색(R), 녹색(G), 및 청색(B)유기물의 증착과 동시에 백색(W)화소에 유기물을 적층할 수 있는 것이다.Through the slits 12d of the red (R), green (G), and blue (B) organic material deposition masks 10a, 10b, and 10c, red (R) organics, green (G) organics, And blue (B) organic materials are sequentially stacked to form organic materials stacked on white (W) pixels. Therefore, the organic material may be deposited on the white (W) pixel simultaneously with the deposition of the red (R), green (G), and blue (B) organic materials without a separate process.

미설명된 도면부호 14는 유기발광표시장치의 애노드(Anode) 전극이며, 도면부호 16은 유리(Glass)기판이다.Unexplained reference numeral 14 is an anode electrode of the organic light emitting display device, and reference numeral 16 is a glass substrate.

도 4는 본 발명의 일실시예에 따른, 적색(R)유기물, 녹색(G)유기물, 및 청색(B)유기물이 적층되어 백색(W)화소에 적층되는 유기물을 얻는 구조를 설명하기 위한 단면도이다. 여기서, 상기 백색(W)화소는 별도의 마스크를 이용하지 아니하여도 적색(R)유기물 증착용 마스크, 녹색(G)유기물 증착용 마스크, 및 청색(B)유기물 증착용 마스크를 이용하여 얻을 수 있다. 한편, 적색(R), 녹색(G), 및 청색(B)순서의 적층이 아닌 적색(R), 청색(B), 및 녹색(G)의 순서 또는 청색(B), 적색(R), 및 녹색(G)의 순서 등으로 변경이 가능하다. 순서의 변경에 의하여도 백색(W)화소에 적층되는 유기물을 적색(R)유기물, 청색(B)유기물, 및 녹색(G)유기물의 증착과 동 시에 얻을 수 있다.4 is a cross-sectional view illustrating a structure in which a red (R) organic material, a green (G) organic material, and a blue (B) organic material are stacked to obtain an organic material stacked on a white (W) pixel according to an exemplary embodiment of the present invention. to be. The white (W) pixel may be obtained by using a red (R) organic deposition mask, a green (G) organic deposition mask, and a blue (B) organic deposition mask without using a separate mask. have. On the other hand, the order of red (R), blue (B), and green (G), not blue (B), red (R), And green (G) in order. By changing the order, organic matters stacked on the white (W) pixels can be obtained simultaneously with the deposition of red (R) organics, blue (B) organics, and green (G) organics.

도 5는 본 발명의 일실시예에 따른, 격벽과 세 가지 형태의 메탈 마스크의 슬릿을 도시하는 개략도이다. 격벽(18)과 격벽(18) 사이에 슬릿(12a, 12b, 12c, 12d)을 위치시켜 적색(R), 녹색(G), 청색(B), 및 백색(W) 화소의 증착이 가능하다. 5 is a schematic diagram illustrating a slit of a partition and three types of metal masks according to an embodiment of the present invention. By depositing slits 12a, 12b, 12c, and 12d between the partition wall 18 and the partition wall 18, red (R), green (G), blue (B), and white (W) pixels can be deposited. .

메탈 마스크는 두께 0.1mm 이하의 니켈-알로이(Ni-alloy)소재를 사용한다. 상기 메탈 마스크는 다양한 방법으로 제작될 수 있다. 일 예로서, 포토 에칭(Photo Etching)방법에 따라 진행될 수 있는데, 포토 에칭(Photo Etching)방식은 금속 소재의 표면을 세척한 후 감광액을 코팅, 건조시키는 정면 공정, 포토 마스크(Photo Mask)와 노광기를 사용하여 감광액에 원하는 형상을 패턴화(Patterning)하는 노광 공정, 노광되지 않은 부분을 씻어내고 경막 처리를 한 후 건조시키는 현상 공정, 현상 완료 후 감광액이 씻겨져 내려가 금속소재가 노출되는 부분을 부식액(염화철)에 의해 부식시켜 최종적으로 원하는 형상을 만든 후, 남아 있는 감광액을 박리시켜 최종 건조시키는 에칭 공정의 4가지 공정으로 이루어진다.The metal mask uses a nickel-alloy material having a thickness of 0.1 mm or less. The metal mask may be manufactured by various methods. As an example, the photo etching may be performed according to a photo etching method. The photo etching method includes a front process of coating and drying a photoresist after cleaning a surface of a metal material, a photo mask and an exposure machine. Exposure process to pattern the desired shape on the photoresist, development process to wash off the unexposed part, dura-process and dry it, and after the development is completed, the photoresist is washed away and the metal material is exposed. After etching to form the final desired shape by corrosion with iron chloride), the remaining photosensitive liquid is peeled off and finally dried.

도 6은 본 발명의 메탈 마스크를 이용하여 유기 발광층이 증착된 후의 유기 발광 소자(OLED)를 도시하는 개략도이다. 상기 세 가지 형태의 마스크(10a, 10b, 10c)를 사용하여 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 및 백색(W) 단위 화소 구조를 갖는 패널을 얻을 수 있다. 다만, 단위 화소를 구성하는 부화소의 증착 순서는 변경이 가능하다. 예를 들어, 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 및 백색(W)의 순서가 아니라 적 색(R), 청색(B), 녹색(G), 및 백색(W)의 순서 또는 녹색(G), 청색(B), 백색(W), 및 적색(R)의 순서 등으로 변경이 가능하다.6 is a schematic diagram showing an organic light emitting device (OLED) after an organic light emitting layer is deposited using the metal mask of the present invention. By using the three types of masks 10a, 10b, and 10c, a panel having a red (R), green (G), blue (B), and white (W) unit pixel structure can be obtained. However, the deposition order of the subpixels constituting the unit pixel may be changed. For example, the order of red (R), green (G), blue (B), and white (W), but not red (R), blue (B), green (G), and white (W). Or in the order of green (G), blue (B), white (W), and red (R).

도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른, 단위 화소에 대응되는 세 가지 형태의 증착용 메탈 마스크의 1단위를 도시하는 개략도이다. 적색(R)유기물 증착용 마스크(10a)의 1단위는 2개의 슬릿(12a, 12d)은 도시된 바와 같이 배치가 가능하며, 녹색(G)유기물 증착용 마스크(10b)의 1단위, 청색(B)유기물 증착용 마스크(10c)의 1단위도 슬릿(12b, 12c, 12d)도 도시된 바와 같은 배치를 할 수 있다. 슬릿(12d)을 통하여 각각 같은 위치에 적색(R)유기물, 녹색(G)유기물, 및 청색(B)유기물이 차례로 적층이 되어 백색(W)화소에 적층되는 유기물을 형성한다. FIG. 7 is a schematic diagram illustrating one unit of three types of deposition metal masks corresponding to unit pixels, according to another exemplary embodiment. One unit of the red (R) organic vapor deposition mask 10a can be disposed as shown in the two slits 12a, 12d, and one unit of the green (G) organic vapor deposition mask 10b, blue ( B) One unit of the organic vapor deposition mask 10c and the slits 12b, 12c, and 12d can also be arranged as shown. Through the slits 12d, red (R) organics, green (G) organics, and blue (B) organics are sequentially stacked on each other to form organic materials stacked on the white (W) pixels.

한편, 본 발명에서 개시된 발명 개념과 실시예는, 본 발명의 동일 목적을 수행하기 위하여 다른 구조로 수정하거나 설계하기 위한 기초로서 당해 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해서 사용될 수 있을 것이다. 또한, 당해 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에 의한 그와 같은 수정 또는 변경된 등가 구조는 특허청구범위에서 기술한 발명의 사상이나 범위를 벗어나지 않는 한도 내에서 다양한 변화, 치환 및 변경이 가능하다. 예를 들어, 세 가지 형태의 증착용 메탈 마스크는 그 순서가 변경될 수 있다. 적색(R), 녹색(G), 및 청색(B)순서의 적층이 아닌 적색(R), 청색(B), 및 녹색(G)의 순서 또는 청색(B), 적색(R), 및 녹색(G)의 순서 등으로 변경이 가능하다. 순서의 변경에 의하여도 백색(W)화소에 적층되는 유기물을 적색(R) 유기물, 청색(B)유기물, 및 녹색(G)유기물의 증착과 동시에 얻을 수 있다. 또한, 세 가지 형태의 증착용 메탈 마스크는 슬릿 위치의 변경이 가능하여 상기 언급된 실시예 이외의 형태의 단위 화소 구조의 형성이 가능하다. On the other hand, the inventive concept and embodiments disclosed in the present invention may be used by those skilled in the art as a basis for modifying or designing to other structures for carrying out the same purposes of the present invention. In addition, such modifications or equivalent equivalent structures made by those skilled in the art may be variously changed, substituted, and changed without departing from the spirit or scope of the invention described in the claims. For example, the three types of deposition metal masks may be changed in order. Red (R), blue (B), and green (G) order or blue (B), red (R), and green, not a stack of red (R), green (G), and blue (B) order The change can be made in the order of (G). By changing the order, the organic material laminated on the white (W) pixel can be obtained simultaneously with the deposition of the red (R) organic material, the blue (B) organic material, and the green (G) organic material. In addition, the three types of deposition metal masks may be changed in slit positions, thereby forming a unit pixel structure having a shape other than the above-described embodiment.

이상 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 증착용 메탈 마스크에 의하면, 적색(R), 녹색(G), 청색(B), 및 백색(W)화소로 구성된 패널에 유기물을 증착할 경우, 백색(W)화소에 적층되는 유기물은 적색(R), 녹색(G), 및 청색(B) 유기물을 증착할 때 동시에 적색(R), 녹색(G), 및 청색(B) 유기물을 적층해서 증착이 가능하므로 백색(W)화소에 적층되는 유기물을 따로 증착할 필요가 없어 증착 공정이 단순해지는 효과가 있다. As described above, according to the deposition metal mask according to the present invention, when organic materials are deposited on a panel composed of red (R), green (G), blue (B), and white (W) pixels, white (W) Organic materials deposited on the pixel can be deposited by stacking red (R), green (G), and blue (B) organic materials at the same time. There is no need to separately deposit organic materials stacked on the white (W) pixels, thereby simplifying the deposition process.

Claims (5)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 적색(R), 녹색(G), 청색(B), 및 백색(W) 부화소가 단위 화소 구조를 구성하는 패널을 증착하기 위하여 상기 단위 화소에 대응되는 마스크의 1단위가 2개의 마스크 슬릿을 갖는 것을 특징으로 하는 증착용 메탈 마스크를 이용한 표시장치용 화소 증착 방법에 있어서,In order to deposit a panel in which red (R), green (G), blue (B), and white (W) sub-pixels constitute a unit pixel structure, one unit of a mask corresponding to the unit pixel includes two mask slits. In the pixel deposition method for a display device using a deposition metal mask having, 상기 마스크의 1단위에 상기 패널의 적색(R) 부화소 및 백색(W) 부화소에 대 응되는 2개의 슬릿이 구비된 제 1 메탈 마스크를 이용하여 적색(R) 발광 유기물을 상기 패널에 증착하는 단계; A red (R) light emitting organic material is deposited on the panel by using a first metal mask having two slits corresponding to the red (R) subpixel and the white (W) subpixel of the panel in one unit of the mask. Doing; 상기 마스크의 1단위에 상기 패널의 녹색(G) 부화소 및 백색(W) 부화소에 대응되는 2개의 슬릿이 구비된 제 2 메탈 마스크를 이용하여 녹색(G) 발광 유기물을 상기 패널에 증착하는 단계; 및 Depositing a green (G) light emitting organic material on the panel by using a second metal mask having two slits corresponding to the green (G) subpixel and the white (W) subpixel of the panel in one unit of the mask step; And 상기 마스크의 1단위에 상기 패널의 청색(B) 부화소 및 백색(W) 부화소에 대응되는 2개의 슬릿이 구비된 제 3 메탈 마스크를 이용하여 청색(B) 발광 유기물을 상기 패널에 증착하는 단계를 포함하여 구성되는 증착용 메탈 마스크를 이용한 표시장치용 화소 증착 방법.A blue (B) light emitting organic material is deposited on the panel by using a third metal mask having two slits corresponding to the blue (B) subpixel and the white (W) subpixel of the panel in one unit of the mask. A pixel deposition method for a display device using a deposition metal mask comprising a step. 제 4 항에 있어서, 상기 표시장치는 유기 발광 표시장치인 것을 특징으로 하는 증착용 메탈 마스크를 이용한 표시장치용 화소 증착 방법.The pixel deposition method of claim 4, wherein the display device is an organic light emitting display device.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9259805B2 (en) 2009-12-14 2016-02-16 Samsung Display Co., Ltd. Mask for evaporation, and method and apparatus for manufacturing the same
WO2020105910A1 (en) * 2018-11-19 2020-05-28 엘지이노텍 주식회사 Alloy metal plate and deposition mask including same
WO2022150100A1 (en) * 2021-01-06 2022-07-14 Applied Materials, Inc. High resolution oled fabricated with overlapped masks

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19980087101A (en) * 1997-05-15 1998-12-05 가네꼬 히사시 Method for manufacturing thin film electroluminescent display using shadow mask, shadow mask and thin film electroluminescent display
KR20050091506A (en) * 2004-03-12 2005-09-15 풍원정밀(주) The making method a metal-mask for oled full-color, and the metal-mask make by this method
KR20060006190A (en) * 2004-07-15 2006-01-19 삼성에스디아이 주식회사 Organic electroluminescence display device
KR20060106757A (en) * 2005-03-30 2006-10-12 산요덴키가부시키가이샤 Display device

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19980087101A (en) * 1997-05-15 1998-12-05 가네꼬 히사시 Method for manufacturing thin film electroluminescent display using shadow mask, shadow mask and thin film electroluminescent display
KR20050091506A (en) * 2004-03-12 2005-09-15 풍원정밀(주) The making method a metal-mask for oled full-color, and the metal-mask make by this method
KR20060006190A (en) * 2004-07-15 2006-01-19 삼성에스디아이 주식회사 Organic electroluminescence display device
KR20060106757A (en) * 2005-03-30 2006-10-12 산요덴키가부시키가이샤 Display device

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9259805B2 (en) 2009-12-14 2016-02-16 Samsung Display Co., Ltd. Mask for evaporation, and method and apparatus for manufacturing the same
WO2020105910A1 (en) * 2018-11-19 2020-05-28 엘지이노텍 주식회사 Alloy metal plate and deposition mask including same
WO2022150100A1 (en) * 2021-01-06 2022-07-14 Applied Materials, Inc. High resolution oled fabricated with overlapped masks
US11659759B2 (en) 2021-01-06 2023-05-23 Applied Materials, Inc. Method of making high resolution OLED fabricated with overlapped masks

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