KR100829548B1 - Apparatus for auto diagnosing DC out relay of wafer burn-in system - Google Patents

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Abstract

본 발명은 웨이퍼 번인 시스템의 DC 아웃 릴레이를 자가 진단하는 장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로 다수의 DC 아웃 릴레이가 접속되어 있는 하나의 DC 입력 라인과 DC 센싱 라인 사이에 상기 DC 아웃 릴레이의 접속을 제어하는 접속 제어부를 배치하여 파손된 DC 아웃 릴레이를 쉽게 검색할 수 있는 DC 아웃 릴레이의 자가 진단 장치에 관한 것이다.

본 발명에 따른 DC 아웃 릴레이의 자가 진단 장치는 DC 입력 라인과 DC 센싱 라인에 접속되어 있는 DC 아웃 릴레이 사이에 접속 제어부를 배치함으로써, 불량인 DC 아웃 릴레이를 쉽게 찾아낼 수 있다. 따라서 정상적으로 동작하지 않는 DC 아웃 릴레이가 존재하는 경우, 모든 DC 아웃 릴레이를 교체하는 대신 이상이 있는 DC 아웃 릴레이를 손쉽게 찾아 교체하여 시간과 비용을 줄일 수 있다.

Figure R1020060089221

웨이퍼 번인 시스템, DC 아웃 릴레이, 자가 진단

The present invention relates to an apparatus for self-diagnosing a DC out relay of a wafer burn-in system, and more particularly, to control the connection of the DC out relay between a DC input line and a DC sensing line to which a plurality of DC out relays are connected. The self-diagnostic apparatus of the DC out relay which can arrange the connection control unit to easily detect a broken DC out relay.

The self-diagnostic apparatus for a DC out relay according to the present invention can easily find a defective DC out relay by disposing a connection controller between the DC input line and the DC out relay connected to the DC sensing line. Therefore, if there is a DC out relay that does not operate normally, it is possible to easily find and replace a faulty DC out relay instead of replacing all DC out relays, thereby reducing time and cost.

Figure R1020060089221

Wafer Burn-in System, DC Out Relay, Self Diagnostic

Description

웨이퍼 번인 시스템의 ＤＣ 아웃 릴레이의 자가 진단 장치{Apparatus for auto diagnosing DC out relay of wafer burn-in system}Apparatus for auto diagnosing DC out relay of wafer burn-in system

도 1은 웨이퍼 번인 시스템에 구비되어 있는 PD 유닛과 DC 유닛의 동작을 설명하고 있다.1 illustrates the operation of a PD unit and a DC unit included in a wafer burn-in system.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 상응하는 웨이퍼 번인 시스템의 DC 아웃 릴레이의 자가 진단 장치를 도시하고 있다.2 shows a self-diagnostic apparatus of a DC out relay of a wafer burn-in system according to one embodiment of the invention.

도 3은 접속 제어부를 통해 DC 아웃 릴레이의 이상 여부를 판단하는 일 예를 도시하고 있다.3 illustrates an example of determining whether a DC out relay is abnormal through a connection controller.

본 발명은 웨이퍼 번인 시스템의 DC 아웃 릴레이의 동작 상태를 자가 진단하는 장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로 다수의 DC 아웃 릴레이가 접속되어 있는 하나의 DC 입력 라인과 DC 센싱 라인 사이에 DC 아웃 릴레이와 DC 유닛의 접속을 차단 제어하는 접속 제어부를 배치하여 파손된 DC 아웃 릴레이를 쉽게 검색할 수 있는 DC 아웃 릴레이의 자가 진단 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for self-diagnosing the operating state of the DC out relay of the wafer burn-in system, and more specifically, a DC out relay and a DC between one DC input line and a DC sensing line to which a plurality of DC out relays are connected. The present invention relates to a self-diagnosis apparatus for a DC out relay that can arrange a connection control unit for blocking connection of a unit so that a damaged DC out relay can be easily searched for.

웨이퍼 번인 시스템은 웨이퍼 상태에서 칩의 불량 유무를 사전에 빠른 속도 로 검사하고 복구 가능성 여부를 판단하는 검사 장비로, 패키지가 아닌 웨이퍼 단계에서 칩의 이상 여부를 판단할 수 있다. 웨이퍼를 대상으로 고온, 고전압 실험과 극한 테스트를 거치므로 현 상태의 불량 여부뿐만 아니라 보이지 않는 불량 가능성까지 예측할 수 있어서 웨이퍼의 생산성을 향상시킬 수 있다.The wafer burn-in system is an inspection device that checks the defects of chips in a wafer state at a high speed in advance and determines whether they can be recovered. The wafer burn-in system can determine whether a chip is abnormal at the wafer stage, not the package. High-temperature, high-voltage experiments and extreme tests are conducted on the wafer to predict wafer defects as well as the possibility of invisible defects, thus improving wafer productivity.

도 1은 종래 웨이퍼 번인 시스템에 구비되어 있는 PD 유닛과 DC 유닛의 동작을 설명하고 있다.1 illustrates the operation of a PD unit and a DC unit included in a conventional wafer burn-in system.

도 1을 참고로 살펴보면, 웨이퍼 칩을 검사하기 위한 신호는 PD유닛(1, 2, 3,...,n)과 각 PD 유닛(1, 2, 3,...,n)에 접속되어 있는 PD 아웃 릴레이(1', 2', 3',...,n')를 통해 다수의 웨이퍼 칩으로 각각 전송된다. 한 쌍의 PD 유닛과 PD 아웃 릴레이의 조합(1과 1', 2와 2', 3과 3',...., n과 n')으로 구성된 PD 유닛부는 동시에 측정하고자 하는 웨이퍼 칩의 수만큼 다수 존재한다. 하나의 DC 입력 라인(I)과 하나의 DC 센싱 라인(S) 상의 DC 아웃 릴레이(1-1, 1-2, 1-3,....1-n)는 PD 아웃 릴레이(1', 2', 3',...,n')에 각각 병렬로 접속되어 있다. 다수의 PD 유닛부들은 모두 하나의 DC 유닛(10)에 할당되어 있으며, 다수의 PD 유닛부는 DC 아웃 릴레이(1-1, 1-2, 1-3,....1-n)를 통해 DC 유닛(10)에 접속되어 있다.
웨이퍼 번인 시스템의 PD 출력 모드와 DC 출력 모드는 PD 아웃 릴레이(1', 2', 3',...,n')와 DC 아웃 릴레이(1-1, 1-2, 1-3,....1-n)의 온/오프 동작에 따라 제어된다. PD 출력 모드에서 PD 출력은 모든 PD 아웃 릴레이(1', 2', 3',...,n')를 온시키고 DC 아웃 릴레이(1-1, 1-2, 1-3,....1-n)를 오프시킨 상태에서 웨이퍼 칩으로 출력된다. 한편, DC 출력 모드에서 DC 유닛(10)은 차례로 DC 아웃 릴레이(1-1, 1-2, 1-3,....1-n)를 온시켜 DC 아웃 릴레이(1-1, 1-2, 1-3,....1-n)를 통해 접속되는 웨이퍼 칩의 DC 파라미터를 측정하게 된다. Referring to FIG. 1, a signal for inspecting a wafer chip is connected to PD units 1, 2, 3,... N and each PD unit 1, 2, 3,..., N. The PD out relays 1 ', 2', 3 ', ..., n' are each transferred to a plurality of wafer chips. The PD unit section consisting of a combination of a pair of PD units and PD out relays (1 and 1 ', 2 and 2', 3 and 3 ', ..., n and n') is the number of wafer chips to be measured simultaneously. As many as exist. The DC out relays 1-1, 1-2, 1-3, ..., 1-n on one DC input line I and one DC sensing line S are connected to the PD out relay 1 ', 2 ', 3', ..., n ') are respectively connected in parallel. The plurality of PD unit portions are all assigned to one DC unit 10, and the plurality of PD unit portions are via DC out relays 1-1, 1-2, 1-3, .... 1-n. It is connected to the DC unit 10.
The PD output mode and DC output mode of the wafer burn-in system are PD out relays (1 ', 2', 3 ', ..., n') and DC out relays (1-1, 1-2, 1-3,. Control according to the on / off operation of ... 1-n). In PD output mode, the PD output turns on all PD out relays (1 ', 2', 3 ', ..., n') and the DC out relays (1-1, 1-2, 1-3, ...). .1-n) is turned off and output to the wafer chip. On the other hand, in the DC output mode, the DC unit 10 turns on the DC out relays 1-1, 1-2, 1-3,... 1-n in order to turn on the DC out relays 1-1, 1-. DC parameters of the wafer chips connected via 2, 1-3, ..., 1-n) are measured.

삭제delete

상기 설명한 통상의 웨이퍼 번인 시스템에서 각 PD 유닛(1, 2, 3,...,n)은 독립적으로 작동한다. 따라서 PD 아웃 릴레이(1', 2', 3',...,n')에 이상이 있는 경우, 이상이 있는 PD 아웃 릴레이(1', 2', 3',...,n')를 쉽게 검색할 수 있다. 반면 모든 DC 아웃 릴레이(1-1, 1-2, 1-3,....1-n)는 하나의 DC 입력 라인(I)과 하나의 DC 센싱 라인(S)을 통해 DC 유닛(10)에 접속되어 있다. 따라서 전체 DC 아웃 릴레이(1-1, 1-2, 1-3,....1-n) 중 하나의 DC 아웃 릴레이에 이상이 있는 경우 다른 DC 아웃 릴레이의 DC 출력에 이상을 초래한다. DC 아웃 릴레이에 이상이 있는 경우 모든 DC 아웃 릴레이(1-1, 1-2, 1-3,....1-n)의 이상 여부를 개별적으로 검사하여야 하며 DC 아웃 릴레이(1-1, 1-2, 1-3,....1-n)의 검사에 많은 시간과 비용이 소비되는 문제점이 있다.In the conventional wafer burn-in system described above, each PD unit 1, 2, 3, ..., n operates independently. Therefore, if there is an error in the PD out relays 1 ', 2', 3 ', ..., n', the PD out relays 1 ', 2', 3 ', ..., n' You can easily search for On the other hand, all DC out relays (1-1, 1-2, 1-3,... 1-n) have a DC unit (10) through one DC input line (I) and one DC sensing line (S). ) Therefore, if one DC out relay of one of the entire DC out relays (1-1, 1-2, 1-3,... 1-n) has an error, the DC output of the other DC out relay causes an error. If there is a fault in the DC out relay, all the DC out relays (1-1, 1-2, 1-3, .... 1-n) should be checked separately. There is a problem that a lot of time and money are spent on the inspection of 1-2, 1-3, .... 1-n).

따라서 본 발명이 이루고자 하는 목적은 다수의 DC 아웃 릴레이가 접속되어 있는 DC 입력 라인과 DC 센싱 라인에서 DC 아웃 릴레이와 DC 유닛 사이의 접속을 제어하는 접속 제어부를 배치하여 파손된 DC 아웃 릴레이를 쉽게 검색할 수 있는 DC 아웃 릴레이의 자가 진단 장치를 제공하는 것이다.Accordingly, an object of the present invention is to easily find a damaged DC out relay by arranging a connection control unit for controlling a connection between the DC out relay and the DC unit in a DC input line and a DC sensing line to which a plurality of DC out relays are connected. It is to provide a self-diagnosis device of the DC out relay.

본 발명에 따른 DC 아웃 릴레이의 자가 진단 장치는 DC 아웃 릴레이를 자가 진단하기 위한 신호를 생성하고 생성한 자가 진단 신호를 DC 아웃 릴레이로 출력하는 다수의 PD(Pulse Driver) 유닛부, DC 아웃 릴레이를 통해 PD 유닛부로부터 입력받은 자가 진단 신호를 이용하여 DC 아웃 릴레이의 이상 여부를 판단하는 DC 유닛 및 DC 아웃 릴레이와 DC 유닛 사이의 접속을 차단 제어하는 접속 제어부를 포함한다.The self-diagnostic apparatus for a DC out relay according to the present invention includes a plurality of PD (Pulse Driver) unit units for generating a signal for self-diagnosing a DC out relay and outputting the generated self-diagnosis signal to a DC out relay and a DC out relay. It includes a DC unit for determining the abnormality of the DC out relay using a self-diagnosis signal received from the PD unit through the connection control unit for controlling the connection between the DC out relay and the DC unit.

이하 첨부된 도면을 참고로 본 발명의 일 실시예에 따른 DC 아웃 릴레이의 자가 진단 장치에 대해 보다 구체적으로 설명한다.Hereinafter, a self-diagnosis apparatus for a DC out relay according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 상응하는 웨이퍼 번인 시스템의 DC 아웃 릴레이의 자가 진단 장치를 도시하고 있다.2 shows a self-diagnostic apparatus of a DC out relay of a wafer burn-in system according to one embodiment of the invention.

도 2를 참고로 살펴보면, PD 유닛부(30-1, 30-2, 30-3,..., 30-n)는 각 DC 아웃 릴레이(1-1, 1-2, 1-3,..., 1-n)에 접속되어 있으며, 각 DC 아웃 릴레이(1-1, 1-2, 1-3,..., 1-n)는 DC 입력 라인(I)과 DC 센싱 라인(S)에 접속되어 있다. DC 입력 라인(I)과 DC 센싱 라인(S)에는 각 DC 아웃 릴레이(1-1, 1-2, 1-3,..., 1-n) 사이의 접속을 차단시키거나 접속시키는 접속 제어부(20-1, 20-2, 20-3,...., 20-n)가 배치되어 있다.Referring to FIG. 2, the PD unit units 30-1, 30-2, 30-3,..., 30-n are DC-out relays 1-1, 1-2, 1-3,. .., 1-n, and each DC out relay (1-1, 1-2, 1-3, ..., 1-n) has a DC input line (I) and a DC sensing line (S). ) Connection control unit for disconnecting or connecting the connection between each DC out relay (1-1, 1-2, 1-3, ..., 1-n) to DC input line (I) and DC sensing line (S). (20-1, 20-2, 20-3, ..., 20-n) are arranged.

웨이퍼 번인 시스템의 DC 아웃 릴레이의 자가 진단시, PD 유닛부(30-1, 30-2, 30-3,..., 30-n)는 DC 아웃 릴레이(1-1, 1-2, 1-3,....,1-n)의 작동 이상 여부를 판단하기 위한 자가 진단 신호를 생성한다. 상기 생성된 자가 진단 신호는 상기 DC 아웃 릴레이(1-1, 1-2, 1-3,....,1-n)와 접속 제어부(20-1, 20-2, 20-3,...., 20-n)를 차례로 통과하여 DC 유닛(10)으로 입력되며, DC 유닛(10)은 입력된 자가 진단 신호의 DC 파라미터를 측정하여 DC 아웃 릴레이(1-1, 1-2, 1-3,....,1-n)의 이상 여부를 검사한다.
바람직하게, 상기 접속 제어부(20-1, 20-2, 20-3,...., 20-n)는 DC 입력 라인(I)과 DC 센싱 라인(S) 상에서 각 DC 아웃 릴레이(1-1, 1-2, 1-3,..., 1-n)와 DC 유닛(10) 사이의 접속을 차단시키거나 접속시키는 단락 핀(short pin)인 것을 특징으로 한다.In the self-diagnosis of the DC out relay of the wafer burn-in system, the PD unit parts 30-1, 30-2, 30-3, ..., 30-n are connected to the DC out relays 1-1, 1-2, 1; -3, ...., 1-n) generates a self-diagnosis signal to determine whether the operation is abnormal. The generated self-diagnosis signal is connected to the DC out relays 1-1, 1-2, 1-3, ..., 1-n and the connection control units 20-1, 20-2, 20-3,. ..., 20-n are sequentially passed to the DC unit 10, the DC unit 10 measures the DC parameters of the input self-diagnosis signal to the DC out relay (1-1, 1-2, 1-3, ...., 1-n) Check for abnormalities.
Preferably, the connection control units 20-1, 20-2, 20-3,..., 20-n are each DC out relays 1-1 on the DC input line I and the DC sensing line S. FIG. 1, 1-2, 1-3, ..., 1-n) and a short pin (short pin) for disconnecting or connecting the connection between the DC unit 10.

도 3은 접속 제어부를 통해 DC 아웃 릴레이의 이상 여부를 판단하는 일 예를 도시하고 있다.3 illustrates an example of determining whether a DC out relay is abnormal through a connection controller.

도 3을 참고로, DC 아웃 릴레이의 동작에 이상이 감지되는 경우 접속 제어부(50)를 이용하여 "A" 구간에 배치되어 있는 DC 아웃 릴레이들을 DC 유닛(10)으로부터 접속 차단시킨다. PD 유닛부(30)에서 생성된 자가 진단 신호는 DC 아웃 릴레이(40)를 통해 DC 유닛(10)으로 입력되며, DC 유닛(10)은 입력된 자가 진단 신호의 DC 파라미터를 측정하여 "A" 구간을 제외한 DC 아웃 릴레이들의 이상 여부를 검사한다(검사 1단계).Referring to FIG. 3, when an abnormality is detected in the operation of the DC out relay, the connection control unit 50 disconnects the DC out relays disposed in the section “A” from the DC unit 10. The self-diagnosis signal generated by the PD unit unit 30 is input to the DC unit 10 through the DC out relay 40, and the DC unit 10 measures the DC parameter of the input self-diagnosis signal to "A". The DC out relays except for the section are checked for abnormality (inspection step 1).

검사 1단계에서 "A" 구간을 제외한 DC 아웃 릴레이들에 이상이 없는 경우, 접속 제어부(60)를 이용하여 "B" 구간에 배치되어 있는 DC 아웃 릴레이들을 DC 유닛(10)으로부터 접속 차단시킨다. PD 유닛부(30)에서 생성된 자가 진단 신호는 DC 아웃 릴레이(40)를 통해 DC 유닛(10)으로 입력되며, DC 유닛(10)은 입력된 자가 진단 신호의 DC 파라미터를 측정하여 "B" 구간을 제외한 DC 아웃 릴레이들의 이상 여부를 검사한다(검사 2단계).If there is no abnormality in the DC out relays except the “A” section in the inspection step 1, the DC out relays arranged in the “B” section are disconnected from the DC unit 10 using the connection controller 60. The self-diagnosis signal generated by the PD unit unit 30 is input to the DC unit 10 through the DC out relay 40, and the DC unit 10 measures the DC parameter of the input self-diagnosis signal to "B". The DC out relays except for the section are checked for abnormality (inspection step 2).

검사 2단계에서 "B" 구간을 제외한 DC 아웃 릴레이들에서 이상이 발견되는 경우, 접속 제어부(70)를 이용하여 "C" 구간에 배치되어 있는 DC 아웃 릴레이들을 DC 유닛(10)으로부터 접속 차단시킨다. PD 유닛부(30)에서 생성된 자가 진단 신호는 DC 아웃 릴레이(40)를 통해 DC 유닛(10)으로 입력되며, DC 유닛(10)은 입력된 자가 진단 신호의 DC 파라미터를 측정하여 "C" 구간을 제외한 DC 아웃 릴레이들의 이상 여부를 검사한다(검사 3단계).If an abnormality is found in the DC out relays except for the “B” section in the inspection step 2, the DC control unit 70 disconnects the DC out relays arranged in the “C” section from the DC unit 10. . The self-diagnosis signal generated by the PD unit unit 30 is input to the DC unit 10 through the DC out relay 40, and the DC unit 10 measures the DC parameter of the input self-diagnosis signal to "C". The DC out relays except for the section are checked for abnormality (inspection 3).

검사 3단계에서 "C" 구간을 제외한 DC 아웃 릴레이들에 이상이 없는 경우, 접속 제어부(80)를 이용하여 "D" 구간에 배치되어 있는 DC 아웃 릴레이들을 DC 유닛(10)으로부터 접속 차단시킨다. PD 유닛부(30)에서 생성된 자가 진단 신호는 DC 아웃 릴레이(40)를 통해 DC 유닛(10)으로 입력되며, DC 유닛(10)은 입력된 자가 진단 신호의 DC 파라미터를 측정하여 "D" 구간을 제외한 DC 아웃 릴레이들의 이상 여부를 검사한다(검사 4단계).If there is no abnormality in the DC out relays except the “C” section in the inspection step 3, the DC out relays disposed in the “D” section are disconnected from the DC unit 10 using the connection controller 80. The self-diagnosis signal generated by the PD unit unit 30 is input to the DC unit 10 through the DC out relay 40, and the DC unit 10 measures the DC parameter of the input self-diagnosis signal to "D". The DC out relays except for the section are inspected for abnormality (inspection step 4).

검사 4단계에서 "D" 구간을 제외한 DC 아웃 릴레이들에 이상이 없는 경우, 접속 제어부(90)를 이용하여 "E" 구간에 배치되어 있는 DC 아웃 릴레이들을 DC 유닛(10)으로부터 접속 차단시킨다. PD 유닛부(30)에서 생성된 자가 진단 신호는 DC 아웃 릴레이(40)를 통해 DC 유닛(10)으로 입력되며, DC 유닛(10)은 입력된 자가 진단 신호의 DC 파라미터를 측정하여 "E" 구간을 제외한 DC 아웃 릴레이들의 이상 여부를 검사한다(검사 5단계). 검사 4단계에서의 검사 결과와 검사 5단계에서의 검사 결과를 이용하여 "E" 구간과 "D" 구간 사이에 배치되어 있는 DC 아웃 릴레이에 이상이 있음을 확인할 수 있다.If there is no abnormality in the DC out relays except the “D” section in step 4, the connection control unit 90 disconnects the DC out relays disposed in the “E” section from the DC unit 10. The self-diagnosis signal generated by the PD unit unit 30 is input to the DC unit 10 through the DC out relay 40, and the DC unit 10 measures the DC parameter of the inputted self-diagnosis signal to "E". The DC out relays other than the interval are inspected for abnormality (inspection step 5). Using the test result in the test step 4 and the test result in the test step 5, it can be confirmed that there is an error in the DC out relay disposed between the "E" section and the "D" section.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 등록청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다. Although the present invention has been described with reference to the embodiments shown in the drawings, this is merely exemplary, and it will be understood by those skilled in the art that various modifications and equivalent other embodiments are possible. Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined by the technical spirit of the appended claims.

본 발명에 따른 DC 아웃 릴레이의 자가 진단 장치는 DC 입력 라인과 DC 센싱 라인에 접속되어 있는 DC 아웃 릴레이 사이에 접속 제어부를 배치함으로써, 이상이 있는 DC 아웃 릴레이를 쉽게 찾아낼 수 있다. 따라서 DC 아웃 릴레이에 이상이 있는 경우, 모든 DC 아웃 릴레이를 교체하는 대신 이상이 있는 DC 아웃 릴레이를 손쉽게 찾아 교체함으로써 시간과 비용을 줄일 수 있다. The self-diagnosis apparatus for a DC out relay according to the present invention can easily find an abnormal DC out relay by disposing a connection controller between the DC input line and the DC out relay connected to the DC sensing line. Therefore, if something goes wrong with the DC out relay, you can save time and money by easily finding and replacing a faulty DC out relay instead of replacing all DC out relays.

Claims (3)

다수의 DC 아웃 릴레이가 하나의 DC 입력 라인과 하나의 DC 센싱 라인에 접속되어 있는 웨이퍼 번인 시스템에서 상기 DC 아웃 릴레이의 동작 상태를 자가 진단하는 장치에 있어서,An apparatus for self-diagnosing an operating state of a DC out relay in a wafer burn-in system in which a plurality of DC out relays are connected to one DC input line and one DC sensing line. 상기 DC 아웃 릴레이의 동작 상태를 자가 진단하기 위한 신호를 생성하고, 상기 생성한 자가 진단 신호를 상기 DC 아웃 릴레이로 각각 출력하는 PD(Pulse Driver) 유닛부;A pulse driver (PD) unit unit generating a signal for self-diagnosing an operating state of the DC out relay and outputting the generated self-diagnosis signal to the DC out relay; 상기 DC 아웃 릴레이를 통과하여 상기 DC 입력 라인과 DC 센싱 라인을 통해 입력되는 상기 자가 진단 신호의 DC 파라미터를 측정하여 상기 DC 아웃 릴레이의 동작 이상 여부를 판단하는 DC 유닛; 및A DC unit that passes through the DC out relay and measures a DC parameter of the self-diagnosis signal input through the DC input line and the DC sensing line to determine whether an operation of the DC out relay is abnormal; And 상기 DC 아웃 릴레이를 통과한 자가 진단 신호가 상기 DC 유닛으로 입력되지 않도록 상기 DC 아웃 릴레이와 DC 유닛 사이의 접속을 차단 제어하는 접속 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 DC 아웃 릴레이의 자가 진단 장치. And a connection control unit which controls to cut off the connection between the DC out relay and the DC unit such that the self diagnosis signal passing through the DC out relay is not input to the DC unit. 삭제delete 제 1 항에 있어서, 상기 접속 제어부는The method of claim 1, wherein the connection control unit 상기 DC 아웃 릴레이와 상기 DC 유닛 사이의 접속을 차단 제어하는 단락 핀(short pin)인 DC 아웃 릴레이의 자가 진단 장치.The self-diagnosis apparatus of the DC out relay which is a short pin which blocks and controls the connection between the DC out relay and the DC unit.
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