KR100828641B1 - 금속산화물 나노 분말의 제조 방법 - Google Patents

금속산화물 나노 분말의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 이성분계 또는 삼성분계 금속산화물 나노 분말의 제조 방법에 관한 것으로, 상기 제조 방법은 금속이온을 포함한 금속염 또는 유기금속 화합물을 출발물질로 하여 이를 열가소성 고분자 수지 용액과 일정 몰 비로 혼합, 반응시켜 균일한 금속-고분자 전구체를 형성하도록 교반하는 단계와, 상기 혼합액을 열처리로 열분해 및 하소하여 수십 nm 정도의 금속산화물 나노 분말을 형성하는 단계로 구성되며, 기존의 방법과 비교하여 제조 공정을 단축시키고, 제조 단가를 낮출 수 있으며, 출발물질의 몰 비 조절을 통해 입도 및 입도 분포 등과 같은 입자 특성을 용이하게 제어할 수 있어 고수율로 금속산화물 나노 분말을 제조할 수 있는 장점을 가진다.
금속산화물, 나노 분말, 열가소성 고분자 수지, 열처리, 입도 분포

Description

금속산화물 나노 분말의 제조 방법{Manufacturing method for metal oxide nano powder}
도 1은 본 발명에 따른 금속산화물 나노 분말의 제조 방법에 관한 모식도이다.
도 2는 본 발명의 실시예 1에 의해 제조된 ITO 나노 분말에 대한 X-선 회절(X-Ray Diffraction, XRD) 패턴이다.
도 3a 및 도 3b는 본 발명의 실시예 1에 의해 제조된 ITO 나노 분말에 대한 투과전자현미경(Transparent Electron Microscope, TEM) 사진이다.
도 4는 본 발명의 실시예 1에 의해 제조된 ITO 나노 분말의 질소흡착 등온 곡선이다.
도 5는 본 발명의 실시예 3에 의해 제조된 SnO2 나노 분말에 대한 X-선 회절 패턴이다.
도 6a 및 도 6b는 본 발명의 실시예 3에 의해 제조된 SnO2 나노 분말에 대한 투과전자현미경 사진이다.
도 7은 본 발명의 실시예 4에 의해 제조된 SnO2 나노 분말에 대한 X-선 회절 패턴이다.
도 8은 본 발명의 실시예 4에 의해 제조된 SnO2 나노 분말에 대한 투과전자현미경 사진이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
110: 열가소성 고분자 수지 용액 준비
120: 금속염/유기 금속 화합물 첨가
130: 혼합 및 교반 교반(금속-고분자 전구체 형성)
140: 열처리
150: 금속산화물 나노 분말 형성
본 발명은 ITO(인듐-주석 산화물) 나노 분말과 같은 이성분계 또는 삼성분계 기능성 금속산화물 나노 분말의 제조 방법에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로, 금속염 또는 유기금속 화합물의 출발물질과 열가소성 고분자 수지 용액을 일정 몰 비로 혼합 반응시킨 후 열처리함으로써, 입도 및 입도 분포 등과 같은 입자 특성이 용이하게 제어된 금속산화물 나노 분말을 고수율로 제조할 수 있는 방법에 관한 것이다.
최근 정보화 산업의 발전에 기인해 표시 소자, 전자파 차폐용 섬유, 센서 등 다양한 응용분야에서 ITO, ATO(안티모니-주석 산화물), IZO(인듐-아연 산화물), IGZO(인듐-갈륨-아연 산화물) 등 다양한 전도성 투명 금속산화물 소재는 필수적인 소재로 큰 각광을 받고 있으며, 따라서 용도에 적합하도록 특성 제어가 용이하고 경제성을 겸비한 제조 방법의 개발이 요구되고 있다.
전도성 금속산화물의 전기전도도는 각 소재의 특성에 따라 다른 기작에 기인하는데, ITO의 경우 3가의 인듐산화물(In2O3)에 5 ~ 20% 정도의 4가 주석(Sn4 +)을 금속이온 자리에 치환시킴으로써 산소결핍을 유도하고 이로 인해 전기 전도도 특성을 부여 향상시킨다. 이러한 ITO는 전도성 외에 n-타입(n-type) 반도체로 가시광에 대한 높은 투과율을 가지며 적외선 영역에서 높은 반사도를 가져 LCD(Liquid Crystal display), PDP(Plasma Display Panel), OLED(Organic Light Emitting Diode) 등의 반사방지 필름, 제전성 편광필름, 기타 대전 방지막, 열선 방지막, 각종 전자제품용 도전 필름 등에 다양하게 사용되고 있으며 그 수요도 급증하고 있다.
ITO를 이용한 금속산화물 투명 도전막의 제조는 스퍼터링 등의 물리적 방법과 코팅, 화학 증착 등의 화학적 방법이 사용되는데, 물리적 제조 방법의 경우 그 도막 성질은 우수하나 고진공을 필요로 하는 등 고가 및 대규모의 장치를 필요로 하여 경제성에 한계를 지니며, 코팅에 의한 화학적 방법의 경우 양산, 경제성에서는 유리하나 도막 성질이 떨어져 전도성이 떨어지고 고온 소성에 기인한 입자의 재현성 등의 문제를 지니고 있다. 따라서 양산 가능하고 다양한 기질로의 응용을 위 해서는 ITO 나노 분말의 입도, 입도 분포, 결정성 등의 특성을 잘 제어할 수 있으면서 경제적으로 합성할 수 있는 제조 기술이 요구되고 있어 다양한 방법으로 보다 물성이 우수한 ITO 나노 분말을 습식으로 제조할 수 있는 기술들이 연구되고 있다.
종래의 기능성 금속산화물 나노 분말의 제조 방법을 살펴보면, 주로 공침법(coprecipitation method), 졸-겔법(sol-gel method), 열분해법(thermal decomposition method) 등의 방법이 사용되고 있다.
먼저 ITO 나노 분말의 제조에 있어 공침법의 경우는 질산인듐(In(NO3)3), 염화인듐(InCl3) 등의 인듐염이나 인듐아세테이트(In(CH3CO2)3) 등의 인듐 유기금속 화합물을 인듐 출발물질로 하고 염화주석(SnCl4 , SnCl2), 질산주석(Sn(NO3)2, Sn(NO3)4)등의 주석염이나 주석옥살레이트(SnC2O4) 등의 주석 유기금속 화합물을 출발물질로 수용액 상에 균일하게 혼합하고 암모니아수(NH4OH) 또는 수산화나트륨(NaOH) 등의 강염기를 첨가하여 pH를 공침 영역으로 조절하여 인듐-주석 수산화 화합물 침전을 형성하고 이를 수세, 건조한 후 600 ~ 700℃에서 열처리하여 ITO 결정상을 형성한다. 이 방법의 경우 출발물질로 사용된 염기 및 금속염이나 유기금속 화합물의 음이온 종을 수세하여 제거하여야 하고 수세 폐액을 중화/ 폐수 처리를 해야 하는 등 많은 비용과 시간을 필요로 하며 또한 고온의 후 열처리 공정을 사용하므로 입도가 10 ~ 100nm까지 불균일하고 쉽게 입도가 조대화 되어 막 제조 시 균일하고 우수한 도막을 형성하기 어렵다는 문제를 가지고 있다.
또한 열분해법은 인듐아세테이트, 주석옥살레이트 등의 유기금속 화합물을 열분해하여 제조하는 방법으로 금속염보다 비교적 고가의 유기금속 화합물을 출발물질로 사용한다는 점, 출발물질을 그대로 열분해하는 과정에서 입자간 뭉침에 기인해 입도 분포가 넓고 입자 조대화가 발생한다는 문제점이 대두되고 있고, 졸 겔법의 경우는 인듐 또는 주석 알콕사이드를 출발물질로 하여 알콜 용액에 혼합하고 염기수용액을 첨가한 후 가수분해하여 콜로이드 졸을 제조하는 방법으로 비교적 균일한 막 형성, 저온 소성 등의 장점을 가지지만, 상당히 고가인 금속알콕사이드를 출발물질로 사용하여야 한다는 점에서 양산 공정에 적용하기 어려운 단점을 가지고 있다.
본 발명은 상기와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 금속염 또는 유기금속 화합물의 출발물질과 열가소성 고분자 수지 용액을 일정 몰 비로 혼합 반응시킨 후 열처리함으로써, 입도 및 입도 분포 등과 같은 입자 특성이 용이하게 제어된 금속산화물 나노 분말을 간단한 제조 공정으로 고수율로 제조하는 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명에 따른 금속산화물 나노 분말의 제조 방법은, 고분자 수지 용액에 1종 이상의 금속 이온을 함유하고 있는 화합물을 혼합 교반하고, 상기 용액을 열처 리하여 나노 크기(size)의 금속산화물 분말을 제조하는 것을 내용으로 한다.
본 발명에 따른 금속산화물 나노 분말의 제조 방법에 있어서, 상기 고분자 수지는 폴리아크릴로니트릴, 폴리비닐알콜, 폴리아미드, 폴리에스테르, 폴리젖산, 폴리에틸렌 옥사이드, 폴리에틸렌비닐알콜 공중합체, 셀룰로오스 아세테이트, 폴리메타크릴레이트, 폴리에스테르계 공중합체, 폴리비닐 아세테이트, 폴리비닐카바졸, 콜라겐, 폴리아닐린, 폴리스티렌, 폴리우레탄, 폴리카보네이트, 나일론, 폴리에틸렌-비닐아세테이트 공중합체, 폴리비닐피롤리돈, 실크, 폴리에틸렌글리콜, 및 폴리카프로락톤으로 구성되는 열가소성 고분자 수지군으로부터 선택된다.
본 발명에 따른 금속산화물 나노 분말의 제조 방법에 있어서, 상기 금속 이온을 함유하고 있는 화합물은 인듐(In), 주석(Sn), 아연(Zn), 안티모니(Sb), 갈륨(Ga), 은(Ag), 금(Au), 구리(Cu), 비소(Bi), 및 철(Fe)로 구성되는 군으로부터 선택되는 1종 이상의 금속이온을 함유하는 금속염 또는 유기금속 화합물이다.
본 발명에 따른 금속산화물 나노 분말의 제조 방법에 있어서, 상기 용액의 용매는 물, 메탄올, 에탄올, 및 이소프로필알콜로 구성되는 군으로부터 선택된다.
본 발명에 따른 금속산화물 나노 분말의 제조 방법에 있어서, 상기 열처리 온도는 350 ~ 800℃의 범위이다.
본 발명에 따른 금속산화물 나노 분말의 제조 방법에 있어서, 상기 고분자 수지 용액의 고분자 수지 함량은 5 ~ 30 중량%이다.
본 발명에서는 기존 방법의 문제점을 극복하고 보다 우수한 특성의 나노 분 말을 제조하기 위해 금속이온과 전자친화도가 높은 작용기간의 배위결합 또는 그래프팅(grafting) 특성을 이용함으로써 최종 생성물의 재현성이 용이하고 입도, 입도 분포 등의 물성 제어가 용이한 전구체를 자기조립(self assembly) 방식에 의해 자발적으로 형성하도록 하였다. 이러한 전구체는 분자 단위의 균일한 혼합 및 용이한 결정핵 형성과, 결정성장의 억제를 통해 최종 생성물의 재현성이 용이하고 입도, 입도 분포 등의 물성 제어가 용이하다. 또한, 본 발명은 출발물질의 간단한 혼합 후에 이 전구체 용액을 열처리 함으로써 나노 분말을 제조할 수 있어 경제적이며, 양산 공정에 적합하다.
본 발명은 하기 단계를 포함하는 금속산화물 나노 분말의 제조 방법을 제공한다;
(1) 금속이온을 포함하는 금속염 또는 유기금속 화합물을 출발물질로 하여 이를 열가소성 고분자 수지 용액과 일정 몰 비로 혼합, 반응시켜 균일한 금속-고분자 전구체를 형성하도록 교반하는 제 1 단계;
(2) 상기 혼합액을 열처리로 열분해 및 하소(calcine)하여 수십 nm 정도의 금속산화물 나노 분말을 형성하는 2단계.
본 발명에 따라 제조된 금속산화물 나노 분말(ITO, SnO2 등)의 X-선 회절 상으로부터 잘 결정화된 단일상의 금속산화물 나노 분말이 합성되고, 특히 구형의 입도 분포가 좁은 나노 크기의 분말이 생성됨을 확인하였다.
이하 도 1을 참조하여 본 발명을 상세하게 설명한다.
도 1 은 본 발명에 따른 금속산화물 나노 분말의 제조 방법에 관한 모식도이다. 먼저, 폴리에틸렌옥사이드, 폴리비닐알콜, 폴리에틸렌비닐알콜 공중합체, 셀룰로오스 아세테이트, 폴리메타크릴레이트, 폴리에스테르계 공중합체, 폴리비닐 아세테이트, 폴리젖산 등의 열가소성 고분자 수지를 상온 내지 100℃의 온도, 바람직하게는 상온에서 용매에 용해시켜 5 ~ 30 중량% 범위의 고분자 수지 용액을 준비한다(110). 여기서 용매는 물, 알콜 등 고분자와 금속 출발물질을 용해할 수 있는 용매들이면 어느 것이나 사용 가능하며 바람직하게는 물을 사용한다. 이 용액에 금속이온을 포함하는 출발물질로 금속염이나 유기금속 화합물, 바람직하게는 금속염을 해당 고분자 단량체의 몰 수에 대해 화학 양론적으로 0.1:1 ~ 1:1의 비로 첨가(120)하고, 균일한 혼합물을 형성하여 금속-고분자 전구체를 형성할 수 있도록 교반한다(130). 교반 시 온도는 상온 내지 100℃ 범위, 바람직하게는 상온에서 12시간 ~ 72시간 동안 교반한다. 균일하게 교반한 용액을 350℃ ~ 800℃ 정도의 온도에서 바람직하게는 500℃ 이하의 온도에서 30분 ~ 5시간 동안 열처리(140)하여 초미립 고순도의 금속산화물 나노 분말을 제조할 수 있다(150).
본 발명에서 금속이온을 포함하는 출발물질로서는, 제조하고자 하는 이성분계 또는 삼성분계 금속산화물에 포함되어 있는 금속의 금속염 또는 유기금속 화합물을 사용할 수 있는데, 인듐계 투명 전도성 산화물 나노 분말의 제조에 있어서는 염화인듐(InCl3), 질산인듐(In(NO3)3), 인듐아세테이트(In(CH3CO2)3) 등 시판하는 인 듐계 금속염 및 유기금속 화합물 단독 또는 여기에 주석(Sn), 아연(Zn), 안티모니(Sb), 갈륨(Ga), 은(Ag), 금(Au), 구리(Cu), 비소(Bi) 및 철(Fe)등에서 선택된 1 종 이상의 금속염 또는 유기금속 화합물을 사용할 수 있다.
이하, 실시예를 통하여 본 발명을 더욱 구체적으로 살펴본다. 하기의 실시예는 본 발명의 이해를 돕기 위하여 제시되는 것일 뿐, 본 발명이 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다.
<실시예 1>
평균분자량 300,000의 폴리에틸렌옥사이드가 10 중량%만큼 상온에서 물에 용해된 수용액 5g (수용액 내에서 폴리에틸렌옥사이드의 양은 0.5g)에, 폴리에틸렌옥사이드 단량체(F.W. 44.052)에 대해 0.9몰 비의 질산인듐(In(NO3)3ㆍ3H2O)과 0.1몰 비의 염화주석(SnCl22H2O)을 서서히 투입하면서 상온에서 24시간 교반한다. 그 후 이 용액을 350℃ ~ 800℃로 열처리 하여 ITO 결정상을 형성시키고 용액상에 함유된 유기 부생성물과 알칼리 염이온을 제거하면 In:Sn 조성비가 9:1인 ITO의 전형적인 초록빛이 도는 노란색 (greenish yellow)의 나노 분말을 얻을 수 있다.
도 2에 상기 반응에 따라 제조된 ITO 나노 분말의 X-선 회절 패턴을 도시하였으며, 도 2의 (a) 및 (b)는 각각 400℃ 및 800℃의 열처리 조건을 적용하여 얻은 결과이다. 도 3은 상기한 방법으로 제조한 ITO 나노 분말의 열처리 조건에 따른 투과전자현미경 사진으로 400℃에서 열처리 한 경우, 도 3a에서 보는 바와 같이, ITO 나노 분말의 평균 입도가 10 ~ 15nm 정도에서 상당히 균일한 입도 분포를 보이며, 800℃에서 열처리 한 경우, 도 3b에서 보는 바와 같이, ITO 나노 분말의 평균 입도가 20 ~ 30nm 범위에서 상대적으로 넓은 입도 분포를 보이는 것을 관찰할 수 있다.
도 2, 도 3a 및 도 3b로부터 두 개의 열처리 온도조건 모두에서 우수한 결정상을 형성하는 것을 확인할 수 있으며, 고온에서 열처리할수록 결정성은 우수해지나 입도가 조대화 되고 입도 분포가 넓어지는 것으로 보아 저온에서 소성하는 것이 보다 바람직함을 알 수 있다.
도 4는 400℃에서 열처리한 ITO 나노 분말의 질소흡착 등온 곡선으로, 다공성의 타입 II(type II) 이력곡선을 보인다. 400℃에서 열처리한 ITO 나노 분말의 BET 흡착식에 의한 비표면적은 61.7 m2/g 의 큰 값을 나타내었다.
<실시예 2>
평균분자량 300,000의 폴리에틸렌옥사이드가 10 중량%만큼 상온에서 물에 용해된 수용액 5g (수용액 내에서 폴리에틸렌옥사이드의 양은 0.5g)에, 폴리에틸렌옥사이드 단량체(F.W. 44.052)에 대해 0.9몰 비의 인듐아세테이트(In(CH3CO2)3)와 0.1몰 비의 주석옥살레이트(SnC2O4)를 서서히 투입하면서 상온에서 24시간 교반한다. 그 후 이 용액을 350℃ ~ 800℃로 열처리하면 In:Sn 조성비가 9:1인 ITO의 전형적인 초록빛이 도는 노란색 의 나노 분말을 얻을 수 있다. 본 실시예에서 제조된 ITO 나노 분말에 대하여 X-선 회절 패턴과 투과전자현미경 사진을 관측한 결과, 실시예 1과 유사한 양상을 보이는 것을 확인하였다.
<실시예 3>
평균분자량 300,000의 폴리에틸렌옥사이드가 5 중량%만큼 상온에서 물에 용해된 수용액 5g (수용액 내에서 폴리에틸렌옥사이드의 양은 0.25g)에, 폴리에틸렌옥사이드 단량체(F.W. 44.052)에 대해 1몰 비의 염화주석(SnCl2·2H2O)을 서서히 투입하면서 24시간 동안 교반하고 그 후 이 용액을 350℃ ~ 800℃로 열처리 하여 SnO2의 회색 나노 분말을 얻을 수 있었다.
도 5에 상기 반응에 따라 제조된 SnO2 나노 분말의 X-선 회절 패턴을 도시하였으며, 도 5의 (a) 및 (b)는 각각 400℃ 및 800℃의 열처리 조건을 적용하여 얻은 결과이다. 도 6은 상기한 방법으로 제조한 SnO2 나노 분말의 열처리 조건에 따른 투과전자현미경 사진으로, 400℃에서 열처리 한 경우, 도 6a에서 보는 바와 같이, SnO2 나노 분말의 평균 입도가 20nm 정도에서 상당히 균일한 입도 분포를 보이며, 800℃에서 열처리 한 경우, 도 6b에서 보는 바와 같이, SnO2 나노 분말의 평균 입도가 30nm 정도이고, 상대적으로 넓은 입도 분포를 보이는 것을 관찰할 수 있다.
<실시예 4>
폴리비닐알콜이 10 중량%만큼 60℃에서 물에 용해된 수용액 5g (수용액 내에서 폴리비닐알콜의 양은 0.5g)에, 폴리비닐알콜 단량체(F.W. 44.052)에 대해 1몰 비의 염화주석(SnCl2·2H2O)을 서서히 투입하면서 24시간 동안 교반하면 주석수산화물 형태의 졸이 형성되고 그 뒤 폴리비닐알콜의 알콜기와 반응함으로써 금속-고분자 결합을 형성한다. 그 후 이 용액을 350℃ ~ 800℃로 열처리 하면 SnO2의 회색 나노 분말을 얻을 수 있다.
도 7에 상기 반응에 따라 400℃에서 열처리하여 얻은 SnO2 나노 분말의 X-선 회절 패턴을 도시하였다. 도 8은 상기한 방법으로 제조한 SnO2 나노 분말의 투과전자현미경 사진으로, 평균 입도 및 입도 분포가 비교적 큰 40-50nm 정도의 평균 입도를 가지고 입자간 응집이 큰 나노 분말이 형성된 것을 관찰하였다.
본 발명에 따른 이성분계 또는 삼성분계 기능성 금속산화물 나노 분말의 제조 방법은, 금속이온과, 고분자 내의 전자친화도가 높은 작용기와의 결합을 통한 자기조립형 전구체를 경유하여 합성시킴으로써, 입자 특성의 제어가 용이하고 저온에서 우수한 결정상을 얻을 수 있으며, 출발물질들의 몰 비 조절을 통해 입도 및 입도 분포 등과 같은 입자 특성을 용이하게 제어할 수 있다.
또한, 기존의 금속산화물 나노 분말의 제조 방법인 졸-겔법, 공침법, 유기금속 화합물의 열분해법 등은 고가의 금속알콕사이드 또는 유기금속 화합물을 사용하여야 한다는 점(졸-겔법, 열분해법), 수세 및 건조 과정을 거쳐야 한다는 점(졸-겔법, 공침법) 등의 단점을 가지고 있으나, 이에 반하여 본 발명에 따른 금속산화물 나노 입자의 제조 방법은, 수세, 건조 과정이 필요 없고 저가의 금속 염을 출발물 질로 할 수 있으며 금속-고분자 전구체 형성에 의해 기존 방법보다 저온에서 하소할 수 있다는 점 등에서 제조 공정을 단축시키고, 제조 단가를 낮출 수 있으며, 환경 오염원인 폐수의 발생을 최소화함으로써 우수한 물성을 부여할 수 있으면서도 양산 공정에 적용할 수 있는 효과를 지닌다.
본 발명에 따른 제조 방법을 이용하여 제조한 ITO 등의 인듐계 금속산화물 나노 분말은, LCD, PDP, OLED 등의 반사방지 필름, 대전 방지용 편광필름, 기타 대전 방지막, 열선 방지막, 각종 전자제품용 도전 필름 등에 다양하게 적용될 수 있다.
이상과 같이 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.

Claims (6)

  1. 열가소성 고분자 수지 용액에 1종 이상의 금속 이온을 함유하고 있는 화합물을 혼합 교반하고, 상기 용액을 열처리하여 나노 크기의 금속산화물 분말을 제조하는 것을 특징으로 하는 금속산화물 나노 분말의 제조 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 고분자 수지는 폴리아크릴로니트릴, 폴리비닐알콜, 폴리아미드, 폴리에스테르, 폴리젖산, 폴리에틸렌 옥사이드, 폴리에틸렌비닐알콜 공중합체, 셀룰로오스 아세테이트, 폴리메타크릴레이트, 폴리에스테르계 공중합체, 폴리비닐 아세테이트, 폴리비닐카바졸, 콜라겐, 폴리아닐린, 폴리스티렌, 폴리우레탄, 폴리카보네이트, 나일론, 폴리에틸렌-비닐아세테이트 공중합체, 폴리비닐피롤리돈, 실크, 폴리에틸렌글리콜, 및 폴리카프로락톤으로 구성되는 열가소성 고분자 수지군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 금속산화물 나노 분말의 제조 방법.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 금속 이온을 함유하고 있는 화합물은 인듐(In), 주석(Sn), 아연(Zn), 안티모니(Sb), 갈륨(Ga), 은(Ag), 금(Au), 구리(Cu), 비소(Bi), 및 철(Fe)로 구성 되는 군으로부터 선택되는 1종 이상의 금속이온을 함유하는 금속염 또는 유기금속 화합물인 것을 특징으로 하는 금속산화물 나노 분말의 제조 방법.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 용액의 용매는 물, 메탄올, 에탄올, 및 이소프로필알콜로 구성되는 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 금속산화물 나노 분말의 제조 방법.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 열처리 온도는 350 ~ 800℃의 범위인 것을 특징으로 하는 금속산화물 나노 분말의 제조 방법.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 열가소성 고분자 수지 용액의 열가소성 고분자 수지 함량은 5 ~ 30 중량%인 것을 특징으로 하는 금속산화물 나노 분말의 제조 방법.
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