KR100828285B1 - Structure for preventing sliding of wafer in initial box - Google Patents

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KR100828285B1 KR1020060125087A KR20060125087A KR100828285B1 KR 100828285 B1 KR100828285 B1 KR 100828285B1 KR 1020060125087 A KR1020060125087 A KR 1020060125087A KR 20060125087 A KR20060125087 A KR 20060125087A KR 100828285 B1 KR100828285 B1 KR 100828285B1
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Abstract

An initial box having a structure for preventing sliding of a wafer is provided to prevent the damage of the wafer by fixing the wafer during the initial box is carried. An absorption rubber(13) is operated up and down through a through hole, which is vertically formed on a center of a slot(11). The absorption rubber and a lower surface of a wafer laminated on the slot are touched with each other and fixed. A connecting member(15) is installed to transfer the absorption rubber up and down. An operation lever(19) is formed at an end of the connecting member. A guide groove is formed on a support(21) so that the operation lever is assembled to move up and down. The absorption rubber is comprised of an absorption surface. A locking groover is formed at a side of the guide groove of the support so that the operation lever is kept locking.

Description

웨이퍼의 미끄럼 방지구조를 갖는 이니셜박스 {Structure for preventing sliding of Wafer in Initial Box}Initial box having a non-slip structure of a wafer {Structure for preventing sliding of Wafer in Initial Box}

도 1은 종래의 이니셜박스를 보여주는 개략적인 구성도,1 is a schematic configuration diagram showing a conventional initial box;

도 2는 본 발명에 따른 이니셜박스의 웨이퍼 미끄럼 방지구조를 보여주는 개략적인 구성도,Figure 2 is a schematic configuration showing a wafer anti-slip structure of the initial box according to the present invention,

도 3은 도 2의 A-A선 단면도,3 is a cross-sectional view taken along the line A-A of FIG.

도 4는 도 2의 'B'부분 상세도,4 is a detailed view 'B' of FIG.

도 5의 (a)(b)는 본 발명에 따른 작동상태도,Figure 5 (a) (b) is an operating state according to the present invention,

도 6의 (a)(b)는 도 2의 C-C선 단면도,(A) (b) of FIG. 6 is a sectional view taken along the line C-C of FIG.

도 7은 본 발명에 따른 다른 실시예를 보여주는 개략적인 구성도이다.7 is a schematic configuration diagram showing another embodiment according to the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

1 : 이니셜박스 10 : 몸체프레임1: Initial box 10: Body frame

11 : 슬롯 12 : 관통공11: slot 12: through hole

13 : 흡착고무 13a : 흡착면13: adsorption rubber 13a: adsorption surface

15 : 연결부재 18 : 관통홀15: connecting member 18: through hole

19 : 작동레버 20 : 손잡이19: operating lever 20: handle

21 : 지지대 22 : 가이드홈21: support 22: guide groove

23 : 잠금홈 30 : 스프링23: locking groove 30: spring

31 : 고정부재 W : 웨이퍼31: fixing member W: wafer

본 발명은 웨이퍼의 미끄럼 방지구조를 갖는 이니셜박스에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 이니셜박스(Initial Box)를 운반하는 도중 내부에 적층되어 있는 웨이퍼가 유동되지 않도록 고정시켜 줌으로써 웨이퍼의 파손을 방지할 수 있도록 한 웨이퍼의 미끄럼 방지구조를 갖는 이니셜박스에 관한 것이다.The present invention relates to an initial box having a non-slip structure of a wafer, and more particularly, it is possible to prevent damage to the wafer by fixing the wafer stacked therein so as not to flow while the initial box is being transported. It relates to an initial box having a non-slip structure of a wafer.

일반적으로 반도체 소자는 웨이퍼 상에 사진, 식각, 확산, 화학기상증착, 이온주입, 금속 증착 등의 공정을 선택적이고도 반복적으로 수행하는 일련의 과정을 통해 이루어진다. 이렇게 반도체 소자로 제조되기까지 웨이퍼는 카세트에 복수 개가 적층되어 각 공정을 수행하는 각각의 제조설비로의 이송과정을 거친다.In general, a semiconductor device is a series of processes that selectively and repeatedly perform a process such as photographing, etching, diffusion, chemical vapor deposition, ion implantation, metal deposition on a wafer. Thus, until the semiconductor device is manufactured, a plurality of wafers are stacked in a cassette and transferred to respective manufacturing facilities that perform each process.

상기와 같이 제조공정을 거치기 위해 웨이퍼를 운반하는 과정에서 이니셜박스가 사용된다.Initial box is used in the process of transporting the wafer to go through the manufacturing process as described above.

도 1은 종래의 이니셜박스를 보여주는 개략적인 구성도이다.1 is a schematic diagram showing a conventional initial box.

도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 이니셜박스(100)는 몸체의 외곽을 이루는 몸체프레임(110)과, 내부에 다수 장의 웨이퍼(W)를 적층시키기 위해 상기 몸체프레 임(110) 내부 양 측면의 수직방향으로 소정거리 이격되게 다수 개 형성된 슬롯(130)과, 상기 몸체프레임(110)의 상부에 형성된 손잡이(150)를 포함하여 구성되어 있다.As shown in FIG. 1, a conventional initial box 100 has a body frame 110 forming an outer portion of a body and both sides of the body frame 110 to stack a plurality of wafers W therein. It comprises a plurality of slots 130 and a handle 150 formed on the upper portion of the body frame 110 spaced apart a predetermined distance in the vertical direction of the.

그러나 상기 종래의 이니셜박스(100)는 운반하는 도중에 흔들림 또는 충격에 의하여 웨이퍼(W1)가 일측으로 밀리면서 하측 슬롯(130)에 위치한 웨이퍼(W)에 겹쳐지게 됨으로써 웨이퍼(W)가 파손되는 문제가 있다.However, the conventional initial box 100 is a problem that the wafer (W) is damaged by being superimposed on the wafer (W) located in the lower slot 130 while pushing the wafer (W1) to one side by shaking or impact during transportation There is.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하고자 안출된 것으로, 이니셜박스를 운반하는 도중 내부에 적층되어 있는 웨이퍼가 유동하지 않도록 고정시켜 줌으로써 웨이퍼의 파손을 방지할 수 있도록 한 웨이퍼의 미끄럼 방지구조를 갖는 이니셜박스를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above-described problems, the initial box having a non-slip structure of the wafer to prevent damage to the wafer by fixing the wafer is stacked so as not to flow during transportation of the initial box The purpose is to provide.

상술한 바와 같은 목적을 구현하기 위한 본 발명의 웨이퍼의 미끄럼 방지구조를 갖는 이니셜박스는,Initial box having a non-slip structure of the wafer of the present invention for achieving the above object,

몸체케이스의 내부 양 측면에 형성된 슬롯에 다수 장의 웨이퍼가 적층되는 이니셜박스에 있어서, 상기 슬롯의 중간 수직방향으로 형성된 관통공을 통하여 상하로 작동되면서 슬롯에 적층된 웨이퍼의 하면에 맞닿아 흡착고정되는 흡착고무; 상기 흡착고무를 상하 왕복이송시킬 수 있도록 설치된 연결부재; 상기 연결부재의 상부 끝단에 형성된 작동레버; 상기 작동레버가 상하 왕복이송 가능하게 조립되는 가이드홈이 형성된 지지대; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.In an initial box in which a plurality of wafers are stacked in slots formed on both inner sides of a body case, the upper and lower wafers are stacked in contact with a lower surface of a wafer stacked in a slot while being operated up and down through a through hole formed in a middle vertical direction of the slot. Adsorption rubber; A connection member installed to vertically reciprocate the suction rubber; An operation lever formed at an upper end of the connection member; A support groove formed with a guide groove to which the operation lever is assembled to be able to reciprocate up and down; Characterized in that it comprises a.

또한, 상기 흡착고무는 웨이퍼와 맞닿는 부분이 오목한 형상의 흡착면으로 구성된 것을 특징으로 한다.In addition, the adsorption rubber is characterized in that the portion in contact with the wafer consists of a suction surface of the concave shape.

또한, 상기 흡착고무는 연한 고무재질로 이루어진 것을 특징으로 한다.In addition, the adsorption rubber is characterized in that consisting of a soft rubber material.

또한, 상기 지지대의 가이드홈 일측에는 작동레버가 잠금 상태를 유지할 수 있도록 잠금홈이 형성된 것을 특징으로 한다.In addition, the guide groove one side of the support is characterized in that the locking groove is formed so that the operating lever can maintain a locked state.

또한, 상기 작동레버는 스프링의 탄성력에 의해 원위치로 자동복귀되는 것을 특징으로 한다.In addition, the operating lever is characterized in that the automatic return to the original position by the elastic force of the spring.

또한, 상기 작동레버가 잠금 상태에서 고정될 수 있도록 손잡이의 일측에는 고정부재가 구비된 것을 특징으로 한다.In addition, one side of the handle is characterized in that the fixing member is provided so that the operation lever can be fixed in the locked state.

이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대한 구성 및 작용을 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the configuration and operation of the preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명에 따른 이니셜박스의 웨이퍼 미끄럼 방지구조를 보여주는 개략적인 구성도이고, 도 3은 도 2의 A-A선 단면도이며, 도 4는 도 2의 'B'부분 상세도이고, 도 5는 본 발명에 따른 작동상태도이며, 도 6은 도 2의 C-C선 단면도이다.Figure 2 is a schematic configuration showing a wafer anti-slip structure of the initial box according to the present invention, Figure 3 is a cross-sectional view taken along the line AA of Figure 2, Figure 4 is a detailed 'B' portion of Figure 2, Figure 5 Fig. 6 is a cross-sectional view taken along line CC of Fig. 2.

도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 이니셜박스(1)는 웨이퍼(W)가 유동하지 않도록 고정하기 위한 구현수단으로 흡착고무(13), 연결부재(15), 작동레버(19)를 포함하여 구성된다.As shown in Figures 2 to 4, the initial box 1 according to the present invention is an implementation means for fixing the wafer (W) does not flow, adsorption rubber 13, connecting member 15, the operating lever ( 19).

먼저, 몸체프레임(10)의 내부 양 측면에 형성된 슬롯(11)의 중간지점에는 관통공(12)이 형성되어 있다.First, a through hole 12 is formed at an intermediate point of the slot 11 formed at both inner sides of the body frame 10.

상기 관통공(12)은 흡착고무(13)를 왕복이송가능하게 설치하기 위한 것으로, 상기 관통공(12)의 상부에 흡착고무(13)가 위치하게 된다.The through hole 12 is for installing the adsorption rubber 13 in a reciprocating manner, and the adsorption rubber 13 is positioned above the through hole 12.

상기 흡착고무(13)는 연한 고무재질로 이루어져 있으며, 상기 흡착고무(13)의 상면에는 오목한 흡착면(13a)이 형성되어 있다. 이 경우 상기 흡착면(13a)은 슬롯(11)에 적층된 웨이퍼(W)의 하면에 선택적으로 맞닿게 되어 흡착고정시키게 된다.The adsorption rubber 13 is made of a soft rubber material, and a concave adsorption surface 13a is formed on the upper surface of the adsorption rubber 13. In this case, the adsorption surface 13a is selectively brought into contact with the lower surface of the wafer W stacked in the slot 11 to be fixed.

상기 연결부재(15)는 상기 흡착고무(13)를 상하로 작동시키기 위해 설치되는 것으로 수평연결부재(15a)와 수직연결부재(15b)로 구성된다.The connecting member 15 is installed to operate the adsorption rubber 13 up and down is composed of a horizontal connecting member (15a) and a vertical connecting member (15b).

상기 수평연결부재(15a)는 일측 끝단이 다수개의 슬롯(11) 사이 사이에 위치하게 되는 흡착고무(13)의 저면에 수평방향으로 조립되어 있다.The horizontal connecting member 15a is assembled in the horizontal direction on the bottom of the adsorption rubber 13, one end of which is positioned between the plurality of slots 11.

상기 수직연결부재(15b)에는 다수개의 수평연결부재(15a)의 타측 끝단이 접합 된다. 이 경우 상기 수직연결부재(15b)는 수평연결부재(15a)와 일체형으로 형성됨으로써, 상기 수평연결부재(15b)를 상하 방향으로 작동시키게 되면 상기 수평연결부재(15a)에 조립된 흡착고무(13)가 상하 방향으로 작동하게 된다.The other end of the plurality of horizontal connection members 15a is joined to the vertical connection member 15b. In this case, the vertical connecting member 15b is integrally formed with the horizontal connecting member 15a, and when the horizontal connecting member 15b is operated in the vertical direction, the suction rubber 13 assembled to the horizontal connecting member 15a is provided. ) Will operate in the vertical direction.

도 5의 (a)(b) 및 도 6의 (a)(b)를 참조하면, 상기 작동레버(19)는 상기 수직연결부재(15b)의 상부에 형성되어, 작업자가 작동레버(19)의 작동 여부에 따라 슬롯(11)에 설치된 흡착고무(13)가 상하 방향으로 작동하게 된다.Referring to (a) (b) of Figure 5 and (a) (b) of Figure 6, the operating lever 19 is formed on the upper portion of the vertical connecting member (15b), the operator operating the lever (19) Adsorption rubber 13 installed in the slot 11 according to the operation of the to operate in the vertical direction.

이 경우 상기 작동레버(19)는 몸체케이스의 상면에 관통 형성된 관통홀(18) 을 통해 수직연결부재(15b)가 외부로 돌출되어, 상기 작동레버(19)와 조립된다.In this case, the actuating lever 19 is assembled with the actuating lever 19 by the vertical connection member 15b protruding outward through the through hole 18 formed through the upper surface of the body case.

상기 작동레버(19)는 가이드홈(22)이 형성된 지지대(21)에 설치된다. 상기 지지대(21)는 몸체프레임(10)의 상면에 형성된 손잡이(20) 하부에 설치되어 있어, 작업자가 이니셜박스(1)를 운반할 때에 상기 작동레버(19)를 작동시키기 용이하도록 되어 있다.The operating lever 19 is installed in the support 21 in which the guide groove 22 is formed. The support 21 is installed in the lower portion of the handle 20 formed on the upper surface of the body frame 10, so that the operator can easily operate the operating lever 19 when carrying the initial box (1).

상기 지지대(21)에 형성된 가이드홈(22)은 상기 작동레버(19)를 상하 방향으로 작동시킬 수 있도록 가이드 해주는 역할을 한다.Guide grooves 22 formed in the support 21 serves to guide the operating lever 19 to operate in the vertical direction.

또한, 상기 가이드홈(22)의 상부 일측에는 웨이퍼(W)의 잠금 상태를 유지시키기 위한 잠금홈(23)이 형성되어 있다. 따라서, 상기 작동레버(19)를 가이드홈(22)의 상부로 잡아당긴 후 잠금홈(23)쪽으로 위치시키게 되면 웨이퍼(W)의 고정상태가 유지된다.In addition, a locking groove 23 for maintaining a locked state of the wafer W is formed at one upper side of the guide groove 22. Therefore, when the operation lever 19 is pulled to the upper portion of the guide groove 22 and positioned toward the locking groove 23, the fixed state of the wafer W is maintained.

한편, 이상과 같은 구조는 이니셜박스(1)에 제한되지 않고 반도체 제조공정에 사용되는 카세트(도면에 미도시)에도 적용되어 사용될 수도 있다.On the other hand, the above structure is not limited to the initial box 1 may be applied to the cassette (not shown in the figure) used in the semiconductor manufacturing process.

이상과 같은 구성의 본 발명에 따른 웨이퍼의 미끄럼 방지구조를 갖는 이니셜박스는 도 5의 (a)에 도시된 바와 같이, 이니셜박스(1) 내부의 슬롯(11)에 적층된 웨이퍼(W)는 평상시에는 고정되지 않는 상태로 되어 있다.The initial box having a non-slip structure of the wafer according to the present invention having the above configuration, as shown in Figure 5 (a), the wafer (W) laminated in the slot 11 in the initial box (1) It is in the state which is not fixed normally.

상기 이니셜박스(1)를 운반하거나 포장하는 경우에는 도 5의(b)와 같이 흡착고무(13)의 흡착면(13a)을 웨이퍼(W)의 저면에 흡착시켜 고정하게 된다.When the initial box 1 is transported or packaged, as shown in FIG. 5B, the adsorption surface 13a of the adsorption rubber 13 is adsorbed onto the bottom surface of the wafer W to be fixed.

상기 흡착고무(13)를 작동시키는 방법은 도 6의(a)(b)에 도시된 바와 같이, 지지대(21)에 형성된 가이드홈(22)을 따라 작동레버(19)를 상측으로 잡아당기면, 상기 흡착고무(13)의 흡착면(13a)이 웨이퍼(W)의 저면에 흡착되어 웨이퍼(W)가 유동하지 못하게 되는 잠금(lock) 상태가 된다.The method of operating the adsorption rubber 13 is as shown in Figure 6 (a) (b), by pulling the operating lever 19 upward along the guide groove 22 formed in the support 21, The adsorption surface 13a of the adsorption rubber 13 is adsorbed on the bottom surface of the wafer W to be in a locked state in which the wafer W cannot flow.

반대로, 상기 작동 레버(19)를 원위치로 복귀시키면 웨이퍼(W)의 저면에서 흡착고무(13)가 떨어지게 됨으로써 해제(unlock) 상태가 된다.On the contrary, when the operation lever 19 is returned to its original position, the suction rubber 13 is dropped from the bottom surface of the wafer W, thereby being in an unlocked state.

또한, 상기 가이드홈(22)의 잠금(lock) 상태에서 잠금홈(23) 쪽으로 작동레버(19)를 이동시키면 웨이퍼(W)의 잠금(lock) 상태를 지속적으로 유지할 수 있게 된다.In addition, when the operating lever 19 is moved toward the locking groove 23 in the locked state of the guide groove 22, the locked state of the wafer W can be continuously maintained.

도 7은 본 발명에 따른 다른 실시예를 보여주는 개략적인 구성도이다.7 is a schematic configuration diagram showing another embodiment according to the present invention.

도 7을 참조하면, 상기 작동레버(19)의 상부에는 탄성력이 있는 스프링(30)이 설치되어 있다.Referring to FIG. 7, a spring 30 having elastic force is installed at an upper portion of the operating lever 19.

이 경우 작업자가 상기 손잡이(20)를 잡고 작동레버(19)를 당기게 되면 웨이퍼(W)가 유동되지 않도록 하는 잠금 상태가 되고, 상기 작동레버(19)에서 손을 떼게 되면 스프링(30)의 탄성력에 의해 원위치로 자동복귀됨에 따라 해제 상태가 된다. In this case, when the worker grabs the handle 20 and pulls the operating lever 19, the wafer W is locked so that the wafer W does not flow. When the operator releases the operating lever 19, the elastic force of the spring 30 is released. Is automatically released to its original position by

또한, 상기 작동레버(19)가 잠금 상태에서 고정될 수 있도록 손잡이(20)의 일측에는 고정부재(31)가 구비되어 있다.In addition, a fixing member 31 is provided at one side of the handle 20 so that the operating lever 19 can be fixed in a locked state.

이 경우 상기 고정부재(31)는 상기 작동레버(19)를 고정할 수만 있다면 어떤 형상으로도 구성되어 설치될 수 있음은 물론이다.In this case, the fixing member 31 may be installed in any shape as long as it can fix the operation lever 19.

이상에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시 예를 들어 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시 예에 한정되지 않으며 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능함은 물론이다.Although the present invention has been shown and described with reference to certain preferred embodiments, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and the general knowledge in the technical field to which the present invention pertains falls within the scope of the technical spirit of the present invention. Of course, various changes and modifications are possible.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 웨이퍼의 미끄럼 방지구조를 갖는 이니셜박스는 이니셜박스를 운반하는 도중 내부에 적층되어 있는 웨이퍼가 유동하지 않도록 고정시켜 줌으로써 웨이퍼의 파손을 방지할 수 있는 장점이 있다.As described in detail above, the initial box having a non-slip structure of the wafer according to the present invention has an advantage of preventing breakage of the wafer by fixing the wafer stacked therein so as not to flow while the initial box is transported. .

Claims (6)

삭제delete 몸체케이스의 내부 양 측면에 형성된 슬롯에 다수 장의 웨이퍼가 적층되는 이니셜박스에 있어서,In an initial box in which a plurality of wafers are stacked in slots formed on both inner sides of a body case, 상기 슬롯의 중간 수직방향으로 형성된 관통공을 통하여 상하로 작동되면서 슬롯에 적층된 웨이퍼의 하면에 맞닿아 흡착고정되는 흡착고무;Adsorption rubber which is fixed to the lower surface of the wafer stacked in the slot while operating up and down through the through hole formed in the middle vertical direction of the slot; 상기 흡착고무를 상하 왕복이송시킬 수 있도록 설치된 연결부재;A connection member installed to vertically reciprocate the suction rubber; 상기 연결부재의 상부 끝단에 형성된 작동레버; 및An operation lever formed at an upper end of the connection member; And 상기 작동레버가 상하 왕복이송 가능하게 조립되는 가이드홈이 형성된 지지대;A support groove formed with a guide groove to which the operation lever is assembled to be able to reciprocate up and down; 를 포함하며,Including; 상기 흡착고무는 웨이퍼와 맞닿는 부분이 오목한 형상의 흡착면으로 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 미끄럼 방지구조를 갖는 이니셜박스.The suction rubber initial box having a non-slip structure of the wafer, characterized in that the portion in contact with the wafer consists of a suction surface of the concave shape. 제 2 항에 있어서, 상기 흡착고무는 연한 고무재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 미끄럼 방지구조를 갖는 이니셜박스.The initial box having a non-slip structure of a wafer according to claim 2, wherein the adsorption rubber is made of a soft rubber material. 제 3 항에 있어서, 상기 지지대의 가이드홈 일측에는 작동레버가 잠금 상태를 유지할 수 있도록 잠금홈이 형성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 미끄럼 방지구조를 갖는 이니셜박스.The initial box of claim 3, wherein a lock groove is formed at one side of the guide groove of the support so that the operation lever is maintained in a locked state. 제 4 항에 있어서, 상기 작동레버는 스프링의 탄성력에 의해 원위치로 자동복귀되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 미끄럼 방지구조를 갖는 이니셜박스.The initial box of claim 4, wherein the operating lever is automatically returned to its original position by an elastic force of a spring. 제 2항 또는 제 5항에 있어서, 상기 작동레버가 잠금 상태에서 고정될 수 있도록 손잡이의 일측에는 고정부재가 구비된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 미끄럼 방지구조를 갖는 이니셜박스.The initial box of claim 2 or 5, wherein a fixing member is provided at one side of the handle to fix the operating lever in a locked state.
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