KR100825382B1 - 평판 표시 장치용 트랙장비 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 평판 표시 장치용 트랙장비에 관한 것으로, 공정 챔버; 상기 공정 챔버 내에 위치하는 가열 플레이트; 상기 가열 플레이트 내에 위치되는 발열체; 및 상기 가열 플레이트 상면에 위치하면서 슬릿노즐의 스캔방향에 따라 상이한 높이를 갖는 복수의 기판지지핀을 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 표시 장치용 트랙장비를 제공하고, 또한 공정 챔버; 상기 공정 챔버 내에 위치하는 가열 플레이트; 상기 가열 플레이트 내에서 슬릿노즐의 스캔방향에 따라 상이한 온도를 형성 발열체; 상기 가열 플레이트 상면에 위치하면서 기판을 지지하는 복수의 기판지지핀을 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 표시 장치용 트랙장비를 제공한다.
따라서 상기 가열 플레이트에서 기판에 전달되는 온도를 제어하여 식각 및 이온주입공정 등의 마스크로 사용되는 감광막 패턴의 임계치수(Critical Dimension; CD) 균일성을 개선할 수 있다.
Figure R1020060102538
트랙장비, 소프트 베이크, 임계치수, 기판지지핀

Description

평판 표시 장치용 트랙장비{Track apparatus for plate display}
도 1는 종래기술에 의한 가열 플레이트에 안착된 기판의 모습을 나타내는 단면도.
도 2a 및 2b는 종래기술에 의한 슬릿노즐 퍼들방식 공정 사시도.
도 2c는 슬릿 노즐의 원위치로부터 거리에 따른 감광막 임계치수 관계를 나타낸 그래프.
도 3 및 도 4는 본 발명에 의한 가열 플레이트에 안착된 기판의 모습을 나타내는 단면도.
도 5는 소프트 베이크 온도에 따른 감광막 임계치수 관계를 나타낸 그래프.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
18: 스캔방향 21,31: 기판
24a, 24b, 34: 기판지지핀 25,35: 가열 플레이트
26, 36: 발열체
본 발명은 평판 표시 장치용 트랙장비 관한 것으로, 보다 상세하게는 트랙장비 내의 소프트 베이크 장치에 관한 것이다.
최근에 핸드폰, 노트북, PDA와 같은 휴대용 디스플레이 수요가 증가함에 따
라 평판 표시 장치(Flat Panel Display Device)의 발전이 요구되고 있다. 상기 평판 표시 장치는 구동방법에 따라 수동(Passive Matrix; PM)구동 방식과 능동(Active Matrix; AM)구동 방식으로 나누어지는데, 능동 구동 방식은 박막 트랜지스터로 구성된 집적회로를 가진다. 상기 박막트랜지스터의 제조공정은 기본적으로 반도체 제조공정을 이용하며, 특히 박막의 형성공정은 포토 레지스트 패턴을 이용한 포토리소그래피(Photo Lithography) 공정에 의해 이루어진다.
포토리소그래피 공정은 우선, 포토 레지스트(Photo Resist; PR)의 도포시 양호한 접착력을 확보하기 위한 표면처리공정, 상기 기판 상면에 포토 레지스트와 같은 감광액을 균일하게 도포하는 공정, 상기 기판 상면에 도포된 감광막 내부 용제 를 제거하는 소프트 베이크(Soft Bake)공정, 상기 기판 상면에 도포된 감광막에 마스크를 이용하여 UV광을 선택적으로 조사하는 노광공정, 상기 기판 상면의 감광막에 현상액을 슬릿노즐 퍼들방식으로 도포하여 불필요한 영역을 제거함으로써 감광막 패턴을 형성하는 현상공정, 상기 기판 상면에 형성된 감광막 패턴을 보다 강화하고 밀착시켜 식각공정시 안정된 패턴 형성을 위한 하드 베이크(Hard Bake)공정으로 이루어진다.
상기에서 통상적으로 노광공정을 제외한 모든 표면 처리공정을 수행하는 장비를 트랙장비라 하며 감광막 패턴의 균일성과 집적도를 결정하는 핵심공정이다. 상기 공정에서 베이크 공정은 기판에 도포된 감광막을 열처리하는 공정으로 상기 감광막은 주로 폴리머, 광감응제, 용제로 구성되는데 폴리머는 CxHy 형태로 시각 혹은 이온 주입 공정 시 고체 마스크의 역할을 수행하는 유기 고체 물질이며, 광감응제는 노광공정 시 빛과 반응하여 광화학적인 반응을 일으켜 폴리머 구조를 변형시키는 역할을 한다. 감광막의 가장 큰 점유율을 차지하는 용제는 액체 상태로 점성을 결정하는데 베이크 공정에서는 상기 용제를 증발시켜 감광막의 부착력, 내구력을 개선한다.
상기 베이크 공정은 크게 소프트 베이크와 하드 베이크로 나누어지는데 소프트 베이크는 감광막이 도포된 기판에 약 90~120℃ 온도로 상기 용제를 제거하여 기판과 감광막 사이의 부착력과 노광에 의한 폴리머의 화학반응을 개선한다, 다음으로 현상공정에서 일부 용제는 용해되지 않고 감광막에 흡수되어 하드 베이크 공정은 상기 소트프 베이크 공정보다 높은 온도에서 용제를 완전제거하여 경화시켜 식각 및 이온 주입시 보다 정밀한 패턴을 형성시킨다.
도 1은 종래기술에 의한 가열 플레이트에 안착된 기판의 모습을 나타내는 단면도이다.
가열 플레이트(15) 내에 위치한 발열체(16)에서 발생한 열은 가열 플레이트(15)에 의해 감광막(미도시)이 도포된 기판(11)에 열을 전달하는데 이때 기판지지핀(14)은 기판(11)과 가열 플레이트(15)의 직접 접촉시 발생하는 정전기 문제 및 불균일한 열전달을 방지하기 위하여, 기판(11)과 가열 플레이트(15)의 일정간격을 유지하므로 대류, 복사를 통하여 열을 전달하여 감광막 내부의 용제를 증발시켜, 기판(11)상에 도포된 감광막(미도시)의 접착력, 내구력을 개선한다.
도 2a 및 2b는 종래 기술에 따른 현상공정의 슬릿노즐 퍼들방식을 이용한 현상액 도포방법을 설명하기 위한 공정 사시도이다.
먼저, 도 2a는 감광막(미도시)이 형성된 기판에 현상액(13)을 도포하기 위해 기판(11)의 가장자리부 원위치에서 슬릿노즐(12)를 이동(18)시킨 후, 도 2b는 현상액(13)을 기판의 가장자리부터 기판(11) 상면에 도포하고, 이어서 기판(11) 상면 전체에 걸쳐 현상액을 도포한 후 감광막(미도시)의 노광부위를 완전히 용해시키도록 퍼들(puddle)상태를 실시한 후, 슬릿노즐(12)을 원위치로 다시 이동시킨다.
그러나, 상기의 슬릿 노즐(12) 퍼들방식 현상은 스캔방향(18)에 따라서 현상액(13)의 감광막(미도시)과의 접촉시간이 상이하여, 도 2c에 도시된 바와 같이 슬릿 노즐(12)의 원위치에서 거리가 먼, 후 동작영역에서는 감광막(미도시)과 현상액(13)의 접촉시간이 슬릿노즐(12)의 원위치에서 거리가 짧은, 선 동작영역에 비하여 짧아서 감광막(미도시)의 임계치수가 증가한다. 이와 반대로 슬릿 노즐(12)의 원위치에서 거리가 근접한, 선 동작영역에서는 현상액(13)의 감광막(미도시)과의 접촉시간이 길기 때문에 감광막(미도시)의 임계치수가 감소하는 임계치수 불균일성의 단점이 발생하며, 특히 대면적의 현상공정에서는 슬릿노즐(12)의 이동거리가 길어짐에 따라서 불균일성은 더욱 커진다.
따라서, 본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 제반 문제점을 해결하기 위한 것으로 현상액 접속시간 차이에 따른 임계치수 불균일성을 가열 플레이트에서 기판에 전달되는 온도를 제어하여 보정함으로써 임계치수의 균일성을 향상시킨 것에 그 목적이 있다.
본 발명의 상기 목적은 공정 챔버; 상기 공정 챔버 내에 위치하는 가열 플레이트; 상기 가열 플레이트 내에 위치되는 발열체; 및 상기 가열 플레이트 상면에 위치하면서 슬릿노즐의 스캔방향에 따라 상이한 높이를 갖는 복수의 기판지지핀을 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 표시 장치용 트랙장비에 의해 달성된다.
또한, 본 발명의 상기 목적은 공정 챔버; 상기 공정 챔버 내에 위치하는 가열 플레이트; 상기 가열 플레이트 내에서 슬릿노즐의 스캔방향에 따라 상이한 온도를 형성 발열체; 상기 가열 플레이트 상면에 위치하면서 기판을 지지하는 복수의 기판지지핀을 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 표시 장치용 트랙장비에 의하여도 달성된다.
본 발명의 상기 목적과 기술적 구성 및 그에 따른 작용효과에 관한 자세한 사항은 본 발명의 바람직한 실시예를 도시하고 있는 도면을 참조한 이하 상세한 설명에 의해보다 명확하게 이해될 것이다.
도 3 및 도 4는 본 발명에 의한 가열 플레이트에 안착된 기판의 모습을 나타내는 단면도이다.
도 5는 소프트 베이크 온도에 따른 임계치수 관계를 나타낸 그래프이다.
먼저, 도 3은 공정챔버(미도시)로 구성되는데, 상기 공정챔버 내에는 감광막(미도시)이 형성된 기판(21)에 대류, 복사열을 전달하여 소프트 베이크 하기 위한 가열 플레이트(25)가 위치하고, 상기 가열 플레이트(25) 내에는 열을 발생하기 위한 발열체(26)가 위치하며, 상기 가열 플레이트(25)의 상면에는 기판과 일정간격을 형성하여 기판(21)과의 접촉에 따른 불량방지하기 위한 복수의 기판지지핀(24a, 24b)이 형성된다. 이 때, 상기 기판지지핀(24a, 24b)은 현상장치 슬릿노즐(12)의 스캔방향(18)에 의한 선 동작영역이 후 동작영역보다 낮은 높이를 형성하도록 함으로써 기판지지핀 높이가 낮은(24a) 영역에서 가열 플레이트(25)와 기판(21)이 근접 간격을 형성하여 가열 플레이트(25) 영역에서 기판(21)에 공급하는 소프트 베이크 온도가 증가하게 된다. 도 5를 참조하면, 상기 소프트 베이크 온도증가에 따라 임계치수가 증가하므로 슬릿 노즐(12) 스캔 방향(18)에 의한 임계 치수 불균일성을 보정할 수 있다. 상기와 반대로 기판지지핀 높이가 높은(24b) 영역에서 가열 플레이트(25)와 기판(21)이 원거리 간격을 형성하는 경우에는 가열 플레이트(25) 영역에서 기판(21)에 공급하는 소프트 베이크 온도가 낮아지므로, 상기 소프트 베이크 온도감소에 따라 도 5에 도시된 바와 같이 임계치수가 감소하므로 슬릿노즐(12) 스캔 방향(18)에 의한 임계 치수 불균일성이 보정 될 수 있다.
도 4는 공정챔버(미도시)로 구성되는데, 상기 공정챔버(미도시) 내에는 기판(31)이 일정 온도를 유지하게 하기 위하여 기판(31)에 대류, 복사열을 전달하는 가열 플레이트(35)가 형성되고, 상기 가열 플레이트(35) 내에는 열을 발생하기 위한 발열체(36)가 형성되며, 상기 가열 플레이트(35)의 상면에는 기판(31)과 일정간격을 형성함으로써 기판(31)과의 접촉에 따른 불량방지하기 위한 복수의 기판지지핀(34)이 형성되는데, 이 때, 상기 발열체는 상기 가열 플레이트 내에서 슬릿노즐의 스캔방향에 따라 상이한 온도를 형성한다. 상기 가열 플레이트 내의 발열체(36)는 전기적으로 발열하는 코일형태의 열선을 사용함이 바람직할 것이며, 상기 열선은 슬릿노즐(12)의 스캔 방향(18)에 의한 선 동작영역이 후 동작영역보다 많은 권선 수가 형성하도록 하여 열선(36)의 권선 수가 많은 가열 플레이트(35) 영역에서 기판(31)에 공급하는 소프트 베이크 온도가 증가하고, 상기 소프트 베이크 온도증가에 따라 도 5에 도시된 바와 같이 임계치수가 증가하므로 슬릿노즐(12) 스캔 방향(18)에 의한 임계 치수 불균일성을 보정할 수 있다. 상기와 반대로 후 동작영역은 선 동작영역보다 적은 권선 수가 형성하도록 하여 열선(36)의 권선 수가 적은 가열 플레이트(35) 영역에서 기판(31)에 공급하는 소프트 베이크 온도가 감소하고, 상기 소프트 베이크 온도감소에 따라 도 5에 도시된 바와 같이 임계치수가 감소하므로 슬릿노즐(12) 스캔 방향(18)에 의한 임계 치수 불균일성을 보정 할 수 있다.
본 발명은 이상에서 살펴본 바와 같이 도시하고 설명하였으나, 본 발명의 정 신을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능할 것이다.
따라서, 본 발명의 평판 표시 장치용 트랙장비는 가열 플레이트에서 기판에 전달되는 온도를 제어하여 식각 및 이온 주입 공정의 마스크로 사용되는 감광막 패턴의 임계치수 균일성을 개선할 수 있다.

Claims (5)

  1. 공정 챔버;
    상기 공정 챔버 내에 위치하는 가열 플레이트;
    상기 가열 플레이트 내에 위치되는 발열체; 및
    상기 가열 플레이트 상면에 위치하면서 슬릿노즐의 스캔방향에 따라 상이한 높이를 갖는 복수의 기판지지핀을 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 표시 장치용 트랙장비.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 기판지지핀은 슬릿노즐의 스캔방향에 의한 선 동작영역이 후 동작영역보다 낮은 높이를 구비하는 것을 특징으로 하는 평판 표시 장치용 트랙장비.
  3. 공정 챔버;
    상기 공정 챔버 내에 위치하는 가열 플레이트;
    상기 가열 플레이트 내에서 슬릿노즐의 스캔방향에 따라 상이한 온도를 형성하는 발열체;
    상기 가열 플레이트 상면에 위치하면서 기판을 지지하는 복수의 기판지지핀 을 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 표시 장치용 트랙장비.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 발열체는 열선코일 형태인 것을 특징으로 하는 평판 표시 장치용 트랙장비.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 열선코일의 권선 수는 슬릿노즐의 스캔방향에 의한 선 동작영역이 후 동작영역보다 많은 권선 수를 형성하는 것을 특징으로 하는 평판 표시 장치용 트랙장비.
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