KR100824795B1 - The goniometer of the focus constancy - Google Patents

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Abstract

A goniometer is provided to increase inspection accuracy by restricting the focus from changing even when vertically setting up a video optical microscope. In a goniometer(100), a bottom plate(10) comprises a bottom hole bored through the center; arc-shaped bottom projections formed at the front and rear upper sides; and a first arc-shaped combining unit formed in the bottom projection and joined with a first roller bearing(50). A middle plate(20) is composed of a middle hole bored through the center corresponding to the bottom hole of the bottom plate; arc-shaped middle grooves formed at the front and the rear lower sides and contacted to the bottom projections; a second arc-shaped combining unit formed in the middle groove and joined with the first roller bearing; arc-shaped middle projections formed at the left and right upper sides; and a third arc-shaped combining unit formed in the middle projection and joined with a second roller bearing. An upper plate(30) has an upper hole bored through the center corresponding to the middle hole of the middle plate; arc-shaped upper grooves formed at the front and rear lower sides and contacted to the middle projection; and a fourth arc-shaped combining unit formed in the upper groove and joined with the second roller bearing. A holder(40) is combined on the upper part of the upper plate to fix a video optical microscope(70) installed through the upper, middle, and bottom holes. The focus of the video optical microscope corresponds to the center points of arcs of the bottom projection formed at the bottom plate and the middle projection formed at the middle plate.

Description

초점이 변하지 않는 고니오미터{THE GONIOMETER OF THE FOCUS CONSTANCY}Goniometer with no change in focus {THE GONIOMETER OF THE FOCUS CONSTANCY}

본 발명은 비디오 광 현미경을 이용하여 비젼을 측정하는 고니오미터에 관한 것으로, 보다 상세하게는 바닥플레이트와 중간플레이트와 상부플레이트의 중앙으로 관통된 홀을 구성하고 있고, 비디오 광 현미경이 상기 홀을 관통하여 하측에 장착되어 있으며, 상기 비디오 광 현미경의 초점이 상기 바닥플레이트에 구성된 바닥돌부의 호의 중심점과, 중간플레이트에 구성된 중간돌부의 중심점에 일치하도록 되어 있어, 비디오 광 현미경을 수직으로 세울 때에도 초점이 변하지 않게 될 뿐만 아니라, 이에 따라 검사의 정확도를 높일 수 있음은 물론, 검사시간을 줄일 수 있는 장점이 있으며, 중간플레이트의 전면과 측면에 슬리이딩홈이 형성된 고정판이 구성되어 있고, 상기 슬라이딩 홈에는 고정구가 결합되어 있어 중간플레이트와 상부프레이트의 이동시 과도한 움직임에 따른 이탈을 방지할 수 있으며, 각각의 플레이트 사이에 롤러베어링이 구성되어 있어 플레이트의 회전이송시 마찰발생이 생기지 않는 초점이 변하지 않는 고니오미터에 관한 것이다.The present invention relates to a goniometer for measuring a vision using a video light microscope, and more particularly to a hole penetrating the center of the bottom plate, the middle plate and the top plate, the video light microscope It is penetrated underneath and the focus of the video light microscope coincides with the center point of the arc of the bottom protrusion formed on the bottom plate and the center point of the middle protrusion formed on the intermediate plate, so that the focus is maintained even when the video light microscope is placed vertically. Not only does not change, and accordingly, it is possible to increase the accuracy of the inspection, as well as to reduce the inspection time, there is a fixed plate formed with a sliding groove formed on the front and side of the intermediate plate, the sliding groove Interlocking intermediate plate and upper plate with fasteners To prevent separation of the excessive movement, and each of the roller bearings there is formed between the plate relates to a goniometer, the focus rotating the feed during friction of the plate does not occur is constant.

근래 들어, 반도체 장치 등 모든 분야에서의 연구는 보다 많은 데이터를 단 시간 내에 처리하기 위하여 반도체 기판의 고집적화 및 고성능화를 추구하는 방향으로 진행되고 있고, 이러한 고직접화 및 고성능화에 따라 미세 구조물의 치수나 미세 구조물들 사이의 간격은 계속 줄어들고 있으며, 반도체 기판상에 정확한 치수로 패턴을 포함하는 미세 구조물을 형성하지 못하게 될 경우에는, 미세 구조물 자체의 불량뿐만 아니라 후속 공정에 영향을 미쳐 반도체 장치의 전체의 불량률을 높이는 문제가 발생되기 때문에 반도체 기판에 정확한 치수로 미세 구조물을 형성하는 것이 매우 중요하게 대두되고 있다.In recent years, researches in all fields such as semiconductor devices have been conducted in the direction of high integration and high performance of semiconductor substrates in order to process more data in a short time. The spacing between the microstructures continues to decrease, and if it is impossible to form microstructures that include patterns with accurate dimensions on the semiconductor substrate, it will affect not only the defects of the microstructures themselves but also subsequent processing, Since the problem of increasing the defective rate is generated, it is very important to form a microstructure with accurate dimensions on the semiconductor substrate.

상기와 같은 이유로 인하여 각 미세 구조물을 형성하기 위한 공정 전후에 정확한 치수로 미세 구조물이 형성되는 지를 판별하는 미세 구조물의 측정 공정도 반드시 필요하게 되었고, 이에 따라 미세 구조물의 측정 공정을 판별하는 종래의 고니오미터가 개발되었으며, 이와 같은 종래의 고니오미터는 광원이 장착된 현미경과, 마이크로미터에 의해 회전이송하는 고니오플레이트로 분리 구성된다.For this reason, it is necessary to measure the microstructures to determine whether the microstructures are formed with the correct dimensions before and after the processes for forming the microstructures. Ometer has been developed, and this conventional goniometer is composed of a microscope equipped with a light source and a goni plate that is rotated by a micrometer.

그러나, 상기와 같은 종래의 고니오미터는 광원이 장착된 현미경과 고니오플레이트가 별도로 분리되어 형성되어 있기 때문에 고니오플레이트의 회전이동에 따른 현미경의 초점을 맞추기 어려운 문제점이 있었다.However, the conventional goniometer as described above has a problem that it is difficult to focus the microscope according to the rotational movement of the goni plate because the microscope and the goni plate is mounted separately from the light source.

즉, 보다 정밀한 분해능을 얻기 위해서는 광원이 장착된 현미경을 수직으로 세움과 동시에 상기 현미경의 초점과 고니오플레이트의 회전점과 맞춰야 했으나, 각각 분리되어 따로 작동하는 현미경과 고니오플레이트로서는 이를 동시에 충족시키기 어려웠기 때문에 현미경이 수직으로 세워지지 않은 상태에서 비젼 검사를 실행하는 경우가 허다하였을 뿐만 아니라, 이 경우에도 피사체에 정확히 맞추는데 드는 소요시간이 길어져 검사시간의 지체는 물론, 정밀한 검사를 하지 못하는 한계가 있었다.That is, in order to obtain a more accurate resolution, the microscope equipped with the light source should be vertically aligned with the focal point of the microscope and the rotation point of the gonio plate, but the microscope and gonio plate operating separately and satisfying the same are simultaneously satisfied. Because of the difficulty, vision inspections were often performed when the microscope was not standing vertically, and in this case, the time required to accurately fit the subject was long. there was.

상기와 같은 해결하고자 하는 과제를 달성하기 위한 본 발명의 초점이 변하지 않는 고니오미터는 중앙으로 관통된 바닥홀을 구성하고, 전, 후면의 상측으로는 호 형상의 바닥돌부를 구성하며, 바닥돌부의 안쪽으로는 제1롤러베어링이 결합되는 호 형상의 제1결합부를 구성한 바닥플레이트와, 상기 바닥플레이트의 바닥홀에 대응하는 관통된 중간홀을 중앙에 구성하고, 전, 후면의 하측으로는 상기 바닥돌부에 접하는 호 형상의 중간홈부를 구성하며, 중간홈부의 안쪽으로는 상기 제1결합부에 결합된 제1롤러베어링이 결합되는 호 형상의 제2결합부를 구성하되, 좌, 우면의 상측으로 호 형상의 중간돌부를 구성하고, 중간돌부의 안쪽으로 제2롤러베어링이 결합되는 호 형상의 제3결합부를 구성한 중간플레이트와, 상기 중간플레이트의 중간홀에 대응하는 관통된 상부홀을 중앙에 구성하고, 좌, 우면의 하측으로는 상기 중간돌부에 접하는 호 형상의 상부홈부를 구성하며, 상부홈부의 안쪽으로는 상기 제3결합부에 결합된 제2롤러베어링이 결합되는 호 형상의 제4결합부를 구성한 상부플레이트와, 상기 상부플레이트의 상부에 결합되어 지되, 상기 상부홀과 중간홀과 바닥홀을 관통하여 장착된 비디오 광 현미경을 고정하는 홀더로 구성되어 지며, 상기 비디오 광 현미경의 초점은 상기 바닥플레이트에 구성된 바닥돌부의 호의 중심점과, 중간플레이트에 구성된 중간돌부의 호의 중심점에 일치하도록 된 것에 특징이 있다.Goniometer does not change the focus of the present invention for achieving the problem to be solved as described above constitutes a bottom hole penetrated to the center, the front side, the upper side of the upper side constitutes an arc-shaped bottom protrusion, floor stone Inside the part, a bottom plate constituting an arc-shaped first coupling part to which the first roller bearing is coupled, and a penetrated middle hole corresponding to the bottom hole of the bottom plate are formed at the center, and above and below the rear side. An arc-shaped intermediate groove portion is formed in contact with the bottom protrusion, and inside the intermediate groove portion constitutes an arc-shaped second coupling portion to which the first roller bearing coupled to the first coupling portion is coupled. An intermediate plate constituting an arc-shaped intermediate protrusion, and comprising an arc-shaped third coupling portion in which a second roller bearing is engaged inside the intermediate protrusion, and corresponding to the intermediate hole of the intermediate plate. The upper perforated hole is formed in the center, and the lower side of the left and right surfaces constitutes an arc-shaped upper groove portion in contact with the intermediate protrusion, and the inner side of the upper groove portion has a second roller bearing coupled to the third coupling portion. The upper plate constituting the fourth coupling portion of the arc shape to be coupled, and is coupled to the upper portion of the upper plate, and consists of a holder for fixing the video light microscope mounted through the upper hole, the middle hole and the bottom hole, The focal point of the video light microscope is characterized in that it coincides with the center point of the arc of the bottom protrusion formed in the bottom plate and the center point of the arc of the middle protrusion formed in the intermediate plate.

상기에서 기술한 바와 같이 본 발명의 초점이 변하지 않는 고니오미터는 바닥플레이트와 중간플레이트와 상부플레이트의 중앙으로 관통된 홀을 구성하고 있고, 비디오 광 현미경이 상기 홀을 관통하여 하측에 장착되어 있으며, 상기 비디오 광 현미경의 초점이 상기 바닥플레이트에 구성된 바닥돌부의 호의 중심점과, 중간플레이트에 구성된 중간돌부의 중심점에 일치하도록 되어 있어, 비디오 광 현미경을 수직으로 세울 때에도 초점이 변하지 않게 될 뿐만 아니라, 이에 따라 검사의 정확도를 높일 수 있음은 물론, 검사시간을 줄일 수 있는 장점이 있다.As described above, the goniometer of the present invention which does not change the focus constitutes a hole penetrated into the center of the bottom plate, the middle plate and the upper plate, and a video light microscope is mounted below the hole. The focal point of the video light microscope coincides with the center point of the arc of the bottom protrusion formed on the bottom plate and the center point of the middle protrusion formed on the intermediate plate, so that the focus does not change even when the video light microscope is placed vertically. Accordingly, it is possible to increase the accuracy of the inspection, as well as to reduce the inspection time.

또한, 중간플레이트의 전면과 측면에 슬리이딩홈이 형성된 고정판이 구성되어 있고, 상기 슬라이딩 홈에는 고정구가 결합되어 있어, 중간플레이트와 상부프레이트의 이동시 과도한 움직임에 따른 이탈을 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 각각의 플레이트 사이에 롤러베어링이 구성되어 있어 플레이트의 회전이송시 마찰발생이 생기지 않는 유용한 발명이다.In addition, the fixing plate is formed on the front and side of the intermediate plate is formed with a sliding groove, the sliding groove is coupled to the fixing groove, it is possible to prevent the separation due to excessive movement during the movement of the intermediate plate and the upper plate, respectively Roller bearing is configured between the plates of the invention is a useful invention that does not generate friction during rotational transfer of the plate.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 구성을 살펴보면 다음과 같다.Looking at the configuration of the present invention for solving the above problems are as follows.

본 발명에 따른 초점이 변하지 않는 고니오미터(100)는 도 1 내지 도 3에서 도시된 바와 같이 중앙에 관통홀(1)이 구성된 브라켓(2)에 장착되어 비젼을 측정하는 고니오미터에 관한 것으로, 바닥플레이트(10)와, 중간플레이트(20)와, 상부플레이트(30)와, 홀더(40)와, 비디오 광 현미경(70)으로 구성된다.The goniometer 100 which does not change the focus according to the present invention is mounted on a bracket 2 having a through hole 1 formed at the center as shown in FIGS. 1 to 3. The bottom plate 10, the intermediate plate 20, the upper plate 30, the holder 40, and the video light microscope 70 are provided.

먼저, 상기 바닥플레이트(10)는 도 2 또는 도 3에서 도시된 바와 같이 중앙으로 관통된 바닥홀(11)을 구성하고, 전, 후면의 상측으로는 호 형상의 바닥돌부(12)를 구성하며, 바닥돌부(12)의 안쪽으로는 제1롤러베어링(50)이 결합되는 호 형상의 제1결합부(13)를 구성한 것을 특징으로 한다.First, the bottom plate 10 constitutes a bottom hole 11 penetrated to the center as shown in FIG. 2 or 3, and the bottom plate 12 having an arc shape is formed on the upper and rear sides of the bottom plate 10. Inwardly, the bottom protrusion 12 has an arc-shaped first coupling part 13 to which the first roller bearing 50 is coupled.

아울러, 상기 바닥플레이트(10)의 전면으로는 종래의 구성과 마찬가지로 마이크로미터(3)가 구성된 마이크로어댑터(4)가 결합되고, 내부로는 후술될 중간플레이트(20)에 결합되는 제1복귀스프링(6)을 구성하고 있으며, 상기 제1복귀스프링(6) 은 일측이 바닥플레이트(10)의 바닥스프링홀(H1)에 형성된 바닥핀(P1)에 결합되어 진다.In addition, the front surface of the bottom plate 10 is coupled to a micro adapter (4) consisting of a micrometer (3) as in the conventional configuration, the first return spring is coupled to the intermediate plate 20 to be described later (6), the first return spring (6) is coupled to the bottom pin (P1) formed on one side of the bottom spring hole (H1) of the bottom plate (10).

또한, 상기 중간플레이트(20)는 도 2 내지 도 4에서 도시된 바와 같이 상기 바닥플레이트(10)의 상부에 결합되는 것으로, 바닥플레이트(10)의 바닥홀(11)에 대응하는 관통된 중간홀(21)을 중앙에 구성하고, 전, 후면의 하측으로는 상기 바닥돌부(12)에 접하는 호 형상의 중간홈부(22)를 구성하며, 중간홈부(22)의 안쪽으로는 상기 제1결합부(13)에 결합된 제1롤러베어링(50)이 결합되는 호 형상의 제2결합부(23)를 구성한 것을 특징으로 한다.In addition, the intermediate plate 20 is coupled to the upper portion of the bottom plate 10, as shown in Figures 2 to 4, through the intermediate hole corresponding to the bottom hole 11 of the bottom plate 10 (21) is formed in the center, the lower side of the front and rear constitutes the arc-shaped middle groove portion 22 in contact with the bottom protrusion 12, the inside of the intermediate groove portion 22, the first coupling portion The first roller bearing 50 coupled to the (13) is characterized by comprising an arc-shaped second coupling portion 23 is coupled.

아울러, 상기 중간플레이트(20)의 좌, 우면의 상측으로는 호 형상의 중간돌부(24)를 구성하고, 중간돌부(24)의 안쪽으로 제2롤러베어링(60)이 결합되는 호 형상의 제3결합부(25)를 구성한 것을 특징으로 한다.In addition, the upper side of the left and right surface of the intermediate plate 20 constitutes an arc-shaped intermediate protrusion 24, the arc-shaped agent to which the second roller bearing 60 is coupled to the inside of the intermediate protrusion 24 It is characterized in that the three coupling portion 25 is configured.

그리고, 상기 중간플레이트(20)의 전면으로는 상기 바닥플레이트(10)에 결합된 마이크로미터(3)의 이송에 따라 중간플레이트(20)를 회전이송시키는 어댑터(5)가 구성되어 있으며, 상기 중간플레이트(20)의 측면으로는 종래의 구성과 마찬가지로 마이크로미터(3)가 구성된 마이크로어댑터(4)가 결합되고, 내부로는 상기 바닥플레이트(10)에 구성된 제1복귀스프링(6)의 타측이 연결되는데, 상기 제1복귀스프링(6)의 타측은 중간플레이트(20)의 제1중간스프링홀(H2)에 구성된 제1중간핀(P2)에 결합되어 진다.And, the front of the intermediate plate 20 is an adapter 5 for rotating the intermediate plate 20 in accordance with the transfer of the micrometer (3) coupled to the bottom plate 10 is configured, the middle The side of the plate 20 is coupled to the microadapter 4 is composed of a micrometer (3) as in the conventional configuration, the inside of the other side of the first return spring (6) configured in the bottom plate 10 Is connected, the other side of the first return spring (6) is coupled to the first intermediate pin (P2) configured in the first intermediate spring hole (H2) of the intermediate plate (20).

더불어, 상기 중간플레이트(20)의 측면으로도 종래의 구성과 마찬가지로 마이크로미터(3)가 구성된 마이크로어댑터(4)가 결합되고, 내부로는 후술될 상부플레 이트(30)에 결합되는 제2복귀스프링(7)을 구성하고 있으며, 상기 제2복귀스프링(7)은 일측이 중간플레이트(20)의 제2중간스프링홀(H3)에 형성된 제2중간핀(P3)에 결합되어 진다.In addition, a second adapter coupled to the upper plate 30, which will be described later, is coupled to the microadapter 4 having the micrometer 3 configured therein, as in the conventional configuration, on the side of the intermediate plate 20. A spring 7 is formed, and the second return spring 7 is coupled to a second intermediate pin P3 formed at one side of the second intermediate spring hole H3 of the intermediate plate 20.

덧붙어, 상기 바닥플레이트(10)와 중간플레이트(20)에 결합되는 제1롤러베어링(50)은 제1가이드홈(51)을 형성한 제1a, 1b롤러베어링(52, 53)과, 상기 제1a, 1b롤러베어링(52, 53)에 형성된 제1가이드홈(51)에 결합되는 제1볼(54)을 구성한 제1롤러가이드(55)로 이루어지며, 상기 제1롤러베어링(50)은 바닥플레이트(10)에 구성된 바닥돌부(12)의 호와 중간플레이트(20)에 구성된 중간홈부(22)의 호와 동일하게 형성되어 중간플레이트(20)의 회전이송에 따라 발생되는 바닥플레이트(10)와의 마찰을 감소시켜 부드러운 이송이 이루어지게 한다.In addition, the first roller bearing 50 coupled to the bottom plate 10 and the intermediate plate 20 may include the first roller bearings 52 and 53 forming the first guide grooves 51 and the first roller bearings 52 and 53. It consists of a first roller guide 55 constituting a first ball 54 coupled to the first guide groove 51 formed in the first and first roller bearings (52, 53), the first roller bearing (50) Is formed in the same manner as the arc of the bottom projection 12 formed in the bottom plate 10 and the arc of the intermediate groove 22 formed in the intermediate plate 20, the bottom plate generated in accordance with the rotational movement of the intermediate plate 20 ( 10) Reduce the friction with the smooth transfer.

또한, 상기 중간플레이트(20)의 전면에는 바닥플레이트(10)에 접하는 제1슬라이딩홈(81)이 구성된 제1고정판(82)이 결합되도록 구성할 수도 있으며, 이 경우 상기 바닥플레이트(10)에는 제1슬라이딩홈(81)을 관통하는 제1고정구(83)를 더 포함하여 구성함으로써, 마이크로미터(3)의 이송과 제1복귀스프링(6)에 따른 중간플레이트(20)의 과도한 움직임을 방지할 수 있으며, 이에 따라 중간플레이트(20)의 이탈을 방지하는 효과를 가질 수 있다.In addition, the front surface of the intermediate plate 20 may be configured to be coupled to the first fixing plate 82 is composed of a first sliding groove 81 in contact with the bottom plate 10, in this case the bottom plate 10 It further comprises a first fixing tool 83 penetrating the first sliding groove 81, thereby preventing the movement of the micrometer 3 and the excessive movement of the intermediate plate 20 along the first return spring (6) It can be, and thus can have an effect of preventing the departure of the intermediate plate (20).

또한, 상기 상부플레이트(30)는 도 2 또는 도 4, 5에서 도시된 바와 같이 상기 중간플레이트(20)의 상부에 결합되는 것으로, 상기 중간플레이트(20)의 중간홀(21)에 대응하는 관통된 상부홀(31)을 중앙에 구성하고, 좌, 우면의 하측으로는 상기 중간돌부(24)에 접하는 호 형상의 상부홈부(32)를 구성하는 것을 특징으로 한 다.In addition, the upper plate 30 is coupled to the upper portion of the intermediate plate 20, as shown in Figure 2 or 4, 5, through the corresponding to the middle hole 21 of the intermediate plate 20 The upper hole 31 is formed in the center, and the lower side of the left and right surfaces is configured to form an arc-shaped upper groove portion 32 in contact with the intermediate protrusion 24.

아울러, 상부홈부(32)의 안쪽으로는 상기 제3결합부(25)에 결합된 제2롤러베어링(60)이 결합되는 호 형상의 제4결합부(33)를 구성하는 것을 특징으로 한다.In addition, the inner side of the upper groove 32 is characterized in that it comprises an arc-shaped fourth coupling portion 33 to which the second roller bearing 60 coupled to the third coupling portion 25 is coupled.

여기서, 상기 상부플레이트(30)의 측면으로는 상기 중간플레이트(20)에 결합된 마이크로미터(3)의 이송에 따라 상부플레이트(30)를 회전이송시키는 어댑터(5)가 구성되어 있으며, 상부플레이트(30)의 내부로는 상기 중간플레이트(20)에 구성된 제2복귀스프링(7)의 타측이 연결되는데, 상기 제2복귀스프링(7)의 타측은 상부플레이트(30)에 구성된 상부핀(P4)에 결합되어 진다.Here, the side of the upper plate 30 has an adapter 5 for rotating the upper plate 30 in accordance with the transfer of the micrometer (3) coupled to the intermediate plate 20 is configured, the upper plate The other side of the second return spring (7) configured in the intermediate plate 20 is connected to the inside of the 30, the other side of the second return spring (7) is the upper pin (P4) configured on the upper plate (30) Combined with).

더불어, 상기 중간플레이트(20)와 상부플레이트(30)에 결합되는 제2롤러베어링(60)은 제2가이드홈(61)을 형성한 제2a, 2b롤러베어링(62, 63)과, 상기 제2a, 2b롤러베어링(62, 63)에 형성된 제2가이드홈(61)에 결합되는 제2볼(64)을 구성한 제2롤러가이드(65)로 이루어지며, 상기 제2롤러베어링(60)은 중간플레이트(20)에 구성된 중간돌부(24)의 호와 상부플레이트(30)에 구성된 상부홈부(32)의 호와 동일하게 형성되어 상부플레이트(30)의 회전이송에 따라 발생되는 중간플레이트(20)와의 마찰을 감소시켜 부드러운 이송이 이루어지게 한다.In addition, the second roller bearing 60 coupled to the intermediate plate 20 and the upper plate 30 may include the second roller bearings 62 and 63 forming the second guide groove 61 and the second roller bearings 62 and 63. It consists of a second roller guide 65 constituting a second ball 64 coupled to the second guide groove 61 formed in the 2a, 2b roller bearings (62, 63), the second roller bearing (60) Intermediate plate 20 is formed in the same way as the arc of the intermediate protrusion 24 formed in the intermediate plate 20 and the arc of the upper groove 32 formed in the upper plate 30 is generated in accordance with the rotational movement of the upper plate 30 Reduce friction with) to ensure smooth transfer.

이때, 상기 중간플레이트(20)의 측면에는 상부플레이트(30)에 접하는 제2슬라이딩홈(91)이 구성된 제2고정판(92)이 결합되도록 구성할 수도 있으며, 이 경우 상기 상부플레이트(30)에는 제2슬라이딩홈(91)을 관통하는 제2고정구(93)를 더 포함하여 구성함으로써, 마이크로미터(3)의 이송과 제2복귀스프링(7)에 따른 상부플레이트(30)의 과도한 움직임을 방지할 수 있으며, 이에 따라 상부플레이트(30)의 이탈을 방지하는 효과를 가질 수 있다.At this time, the second fixing plate 92 having the second sliding groove 91 in contact with the upper plate 30 may be coupled to the side of the intermediate plate 20, in which case the upper plate 30 It further comprises a second fixing tool 93 penetrating through the second sliding groove 91, thereby preventing the movement of the micrometer 3 and the excessive movement of the upper plate 30 along the second return spring (7) It may be, and thus may have an effect of preventing the separation of the upper plate (30).

또한, 상기 홀더(40)는 도 2 또는 도 5에서 도시된 바와 같이 볼트와 같은 결합수단(미도시)에 의해 상기 상부플레이트(33)의 상부에 결합되는 것으로, 상기 상부홀(31)과 중간홀(21)과 바닥홀(11)을 관통하여 장착된 비디오 광 현미경(70)을 고정하는 역할을 한다.In addition, the holder 40 is coupled to the upper portion of the upper plate 33 by a coupling means (not shown), such as a bolt as shown in Figure 2 or 5, the middle of the upper hole 31 It serves to fix the video light microscope 70 mounted through the hole 21 and the bottom hole 11.

이때, 상기 비디오 광 현미경(70)의 초점은 도 6 또는 도 7에서 도시된 바와 같이 상기 바닥플레이트(10)에 구성된 바닥돌부(12)의 호의 중심점과, 중간플레이트(20)에 구성된 중간돌부(24)의 호의 중심점에 일치하도록 된 것을 특징으로 한다.At this time, the focal point of the video light microscope 70 is the center point of the arc of the bottom projection 12 formed in the bottom plate 10, as shown in Figure 6 or 7 and the intermediate projections formed in the intermediate plate ( It is characterized in that it coincides with the center point of the arc of 24).

상기와 같은 구성에 따른 작용을 살펴보면 다음과 같다.Looking at the operation according to the configuration as described above are as follows.

먼저, 바닥플레이트(10)에 제1롤러베어링(50)의 구성품인 제1a롤러베어링(51)과 제1복귀스프링(6)을 결합시킨 후, 중간플레이트(20)에 제1롤러베어링(52)의 구성품인 제1b롤러베어링(53)을 결합시킨다.First, the first roller bearing 51 and the first return spring 6 which are components of the first roller bearing 50 are combined with the bottom plate 10, and then the first roller bearing 52 is attached to the intermediate plate 20. The first b roller bearing 53 which is a component of) is combined.

그 후에는, 상기 중간플레이트(20)에 결합된 제1b롤러베어링(53)의 제1가이드홈(51)에 제1볼(54)을 구성한 제1롤러가이드(55)를 결합시킨 후, 중간플레이트(20)를 바닥플레이트(10)에 끼워 제1a, 1b롤러베어링(52, 53)이 결합되게 함과 동시에 바닥플레이트(10)에 결합된 제1복귀스프링(6)의 타측을 중간플레이트(20)에 연결한다.After that, the first roller guide 55 constituting the first ball 54 to the first guide groove 51 of the first b roller bearing 53 coupled to the intermediate plate 20, and then The plate 20 is fitted to the bottom plate 10 so that the first and second roller bearings 52 and 53 are coupled to each other, and at the same time, the other side of the first return spring 6 coupled to the bottom plate 10 is formed as an intermediate plate ( 20).

이처럼 바닥플레이트(10)와 중간플레이트(20)를 연결하게 되면, 마이크로미터(3)의 조절에 따라 중간플레이트(20)를 회전이송시킬 수 있으며, 이때에 상기 중 간플레이트(20)는 제1롤러베어링(50)에 의해 바닥플레이트(10) 내에서 마찰발생 없이 용이한 회전이송을 이룰 수 있게 된다.When the bottom plate 10 and the intermediate plate 20 are connected as described above, the intermediate plate 20 may be rotated and moved according to the adjustment of the micrometer 3, and the intermediate plate 20 may be the first. The roller bearing 50 can achieve an easy rotational transfer in the bottom plate 10 without friction.

상기와 같이 바닥플레이트(10)와 중간플레이트(20)의 결합을 완료한 후에는 중간플레이트(20)에 제2롤러베어링(60)의 구성품인 제2a롤러베이링(62)과 제2복귀스프링(7)을 결합시킨 후, 상부플레이트(10)에 제2롤러베어링(60)의 구성품인 제2b롤러베어링(63)을 결합시킨다.After completing the coupling of the bottom plate 10 and the intermediate plate 20 as described above, the second roller roller bearing 62 and the second return spring which are components of the second roller bearing 60 in the intermediate plate 20. After coupling (7), the second plate roller bearing 63, which is a component of the second roller bearing 60, is coupled to the upper plate 10.

그리고, 상기 상부플레이트(30)에 결합된 제2b롤러베어링(60)의 제2가이드홈(61)에 제2볼(64)을 구성한 제2롤러가이드(65)를 결합시킨 후, 상부플레이트(30)를 중간플레이트(20)에 끼워 제2a, 2b롤러베어링(62, 63)이 결합되게 함과 동시에 중간플레이트(20)에 결합된 제2복귀스프링(7)의 타측을 상부플레이트(30)에 연결하여 중간플레이트(20)와 상부플레이트(30)의 결합을 완료한다.Then, after the second roller guide 65 constituting the second ball 64 is coupled to the second guide groove 61 of the second b roller bearing 60 coupled to the upper plate 30, the upper plate ( 30) is inserted into the intermediate plate 20 so that the second and second roller bearings 62 and 63 are coupled to each other, and the other side of the second return spring 7 coupled to the intermediate plate 20 is connected to the upper plate 30. Connect to complete the coupling of the intermediate plate 20 and the upper plate 30.

그러면, 상기 상부플레이트(30)를 마이크로미터(3)의 조절에 따라 중간플레이트(20)에서 회전이송시킬 수 있으며, 이때에 상기 상부플레이트(30)는 제2롤러베어링(60)에 의해 중간플레이트(20) 내에서 마찰발생 없이 용이한 회전이송을 이룰 수 있게 된다.Then, the upper plate 30 can be rotated in the intermediate plate 20 according to the adjustment of the micrometer (3), wherein the upper plate 30 is the intermediate plate by the second roller bearing 60 Within 20 it is possible to achieve easy rotational movement without friction.

이처럼, 상기 중간플레이트(20)와 상부플레이트(30)의 결합을 완료한 후에는, 상기 바닥플레이트(10)에 구성된 바닥돌부(12)의 호의 중심점과, 중간플레이트(20)에 구성된 중간돌부(24)의 호의 중심점에 비디오 광 현미경(70)의 초점이 일치하도록 상기 비디오 광 현미경(70)을 위치시킨 후, 홀더(40)를 이용하여 비디오 광 현미경(70)을 고정설치함으로써, 본 발명의 초점이 변하지 않는 고니오미 터(100)의 조립을 완료한다.As such, after completing the coupling of the intermediate plate 20 and the upper plate 30, the center point of the arc of the bottom protrusion 12 formed in the bottom plate 10, and the intermediate protrusion formed in the intermediate plate 20 ( After positioning the video light microscope 70 so that the focal point of the video light microscope 70 coincides with the center point of the arc 24, the video light microscope 70 is fixedly installed by using the holder 40. Complete the assembly of the goniometer 100 does not change the focus.

여기서, 본 발명의 초점이 변하지 않는 고니오미터(100)에는 상기 중간플레이트(20)와 상부플레이트(30)가 과도한 회전이송에 따라 이탈되지 않도록 상기 중간플레이트(20)의 전면과 측면에 제1, 2고정판(82, 92)을 더 포함하여 구성할 수도 있으며, 이때에는 상기 제1고정판(82)에 구성된 제1슬라이딩홈(81)을 관통하는 제1고정구(83)를 바닥플레이트(30)에 더 포함하여 구성하고, 상기 제2고정판(92)에 구성된 제2슬라이딩홈(91)을 관통하는 제2고정구(93)를 더 포함하여 구성해야만 한다.Here, the goniometer 100 does not change the focus of the present invention to the front and side surfaces of the intermediate plate 20 so that the intermediate plate 20 and the upper plate 30 are not separated by excessive rotational movement. Also, it may be configured to further include a second fixing plate (82, 92), in this case, the first fixing sphere (83) penetrating the first sliding groove 81 configured in the first fixing plate 82, the bottom plate (30) It must be configured to further include, and further comprises a second fixing tool 93 penetrating through the second sliding groove 91 configured in the second fixing plate 92.

상기와 같이 제작된 본 발명의 초점이 변하지 않는 고니오미터(100)의 조립을 완료한 후에는, 본 발명의 초점이 변하지 않는 고니오미터(100)를 브라켓(2)에 고정결합시킨 후, 상기 브라켓(2)을 고정하여 비젼을 검사할 수 있으며, 이때에는 상기 바닥플레이트(10)에 구성된 바닥돌부(12)의 호의 이동지름(R1)이 중간플레이트(20)에 구성된 중간돌부(24)의 호의 이동지름(R2)보다 작게 되어 상기 바닥플레이트(10)와 중간플레이트(20)가 비디오 광 현미경(70)의 초점을 기준으로 회전되기 때문에 마이크로미터(3)로 미세조정을 용이하게 할 수 있게 된다..After completing the assembly of the goniometer 100 does not change the focal point of the present invention manufactured as described above, after fixing the goniometer 100 does not change the focus of the present invention to the bracket (2), The vision can be inspected by fixing the bracket 2, and in this case, the moving diameter R1 of the arc of the bottom protrusion 12 configured in the bottom plate 10 is an intermediate protrusion 24 formed on the intermediate plate 20. Since the bottom plate 10 and the intermediate plate 20 are rotated based on the focal point of the video light microscope 70, the micrometer 3 can facilitate fine adjustment. Will be ...

아울러, 마이크로미터의 조정에 따라 비디오 광 현미경의 초점이 변하지 않기 때문에 비디오 광 현미경을 수직으로 신속 용이하게 설치할 수 있으며, 이에 따라 비젼 검사를 더욱 정밀하고 빠르게 할 수 있게 된다.In addition, since the focus of the video light microscope does not change according to the adjustment of the micrometer, the video light microscope can be installed quickly and easily vertically, thereby making vision inspection more precise and faster.

도 1은 본 발명의 초점이 변하지 않는 고니오미터를 도시한 사시도.Figure 1 is a perspective view of the goniometer unchanged focal point of the present invention.

도 2는 본 발명의 바닥, 중간, 상부 플레이트와 홀더를 도시한 분리사시도.Figure 2 is an exploded perspective view showing the bottom, middle, top plate and the holder of the present invention.

도 3은 본 발명의 브라켓과 바닥플레이트를 도시한 분리사시도.Figure 3 is an exploded perspective view showing a bracket and a bottom plate of the present invention.

도 4는 본 발명의 중간플레이트를 도시한 분리사시도.Figure 4 is an exploded perspective view showing an intermediate plate of the present invention.

도 5는 본 발명의 상부플레이트를 도시한 분리사시도.Figure 5 is an exploded perspective view showing the upper plate of the present invention.

도 6은 본 발명의 초점이 변하지 않는 고니오미터를 도시한 측면도.Figure 6 is a side view of the goniometer unchanging the focus of the present invention.

도 7은 본 발명의 초점이 변하지 않는 고니오미터를 도시한 정면도.Figure 7 is a front view showing the goniometer unchanged the focus of the present invention.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

H1 : 바닥스프링홀 H2 : 제1중간스프링홀H1: Floor spring hole H2: First intermediate spring hole

H3 : 제중간스프링홀 P1 : 바닥핀H3: Middle intermediate spring hole P1: Bottom pin

P2 : 제1중간핀 P3 : 제2중간핀P2: 1st middle pin P3: 2nd middle pin

P4 : 제3상부핀 1 : 관통홀P4: third upper pin 1: through hole

2 : 브라켓 3 : 마이크로미터2: bracket 3: micrometer

4 : 마이크로어댑터 5 : 어댑터4 micro adapter 5 adapter

6, 7 : 제1, 2복귀스프링 10 : 바닥플레이트6, 7: 1st, 2nd return spring 10: Floor plate

11 : 바닥홀 12 : 바닥돌부11: bottom hole 12: bottom protrusion

13 : 제1결합부 20 : 중간플레이트13: first coupling part 20: intermediate plate

21 : 중간홀 22 : 중간홈부21: middle hole 22: middle groove

23 : 제2결합부 24 : 중간돌부23: second coupling portion 24: intermediate protrusions

25 : 제3결합부 30 : 상부플레이트25: third coupling portion 30: the upper plate

31 : 상부홀 32 : 상부홈부31: upper hole 32: upper groove

33 : 제4결합부 40 : 홀더33: fourth coupling portion 40: holder

50, 60 : 제1, 2롤러베어링 51, 61 : 제1가이드홈50, 60: 1st, 2nd roller bearing 51, 61: 1st guide groove

52, 62 : 제1a, 2a롤러베어링 53, 63 : 제1b, 2b롤러베어링52, 62: 1a, 2a roller bearing 53, 63: 1b, 2b roller bearing

54, 64 : 제1, 2볼 55, 65 : 제1, 2롤러가이드54, 64: 1st, 2nd ball 55, 65: 1st, 2nd roller guide

70 : 비디오 광 현미경 81, 91 : 제1, 2슬라이딩홈70: video light microscope 81, 91: first, second sliding groove

82, 92 : 제1, 2 고정판 83, 93 : 제1, 2고정구82, 92: 1st, 2nd fixing plate 83, 93: 1st, 2nd fixture

100 : 초점이 변하지 않는 고니오미터100: Goniometer with no change in focus

Claims (5)

플레이트에 장착되는 마이크로미터와 롤러베어링과 복귀스프링과, 비디오 광 현미경을 이용하여 비젼을 측정을 하는 고니오미터에 있어서,In a goniometer for measuring vision using a micrometer, a roller bearing, a return spring, and a video light microscope mounted on a plate, 중앙으로 관통된 바닥홀(11)을 구성하고, 전, 후면의 상측으로는 호 형상의 바닥돌부(12)를 구성하며, 바닥돌부(12)의 안쪽으로는 제1롤러베어링(50)이 결합되는 호 형상의 제1결합부(13)를 구성한 바닥플레이트(10);The bottom hole 11 penetrates to the center, an arc-shaped bottom protrusion 12 is formed on the front and rear sides, and the first roller bearing 50 is coupled to the inside of the bottom protrusion 12. A bottom plate 10 constituting the first coupling portion 13 having an arc shape; 상기 바닥플레이트(10)의 바닥홀(11)에 대응하는 관통된 중간홀(21)을 중앙에 구성하고, 전, 후면의 하측으로는 상기 바닥돌부(12)에 접하는 호 형상의 중간홈부(22)를 구성하며, 중간홈부(22)의 안쪽으로는 상기 제1결합부(13)에 결합된 제1롤러베어링(50)이 결합되는 호 형상의 제2결합부(23)를 구성하되, 좌, 우면의 상측으로 호 형상의 중간돌부(24)를 구성하고, 중간돌부(24)의 안쪽으로 제2롤러베어링(60)이 결합되는 호 형상의 제3결합부(25)를 구성한 중간플레이트(20);An intermediate groove portion 22 having an arc shape is formed in the center of the bottom plate 11 corresponding to the bottom hole 11 of the bottom plate 10. ) And an inner arc-shaped second coupling part 23 to which the first roller bearing 50 coupled to the first coupling part 13 is coupled, An intermediate plate constituting an arc-shaped intermediate protrusion 24 on the upper side of the right side, and an arc-shaped third coupling portion 25 to which the second roller bearing 60 is coupled to the inner side of the intermediate protrusion 24 ( 20); 상기 중간플레이트(20)의 중간홀(21)에 대응하는 관통된 상부홀(31)을 중앙에 구성하고, 좌, 우면의 하측으로는 상기 중간돌부(24)에 접하는 호 형상의 상부홈부(32)를 구성하며, 상부홈부(32)의 안쪽으로는 상기 제3결합부(25)에 결합된 제2롤러베어링(60)이 결합되는 호 형상의 제4결합부(33)를 구성한 상부플레이트(30);An upper groove portion 32 having an arc shape is formed in the center of the upper hole 31 corresponding to the middle hole 21 of the intermediate plate 20, and in contact with the intermediate protrusion 24 on the lower left and right sides thereof. And an upper plate (4) having an arc-shaped fourth coupling portion 33 to which the second roller bearing 60 coupled to the third coupling portion 25 is coupled to the inside of the upper groove portion 32. 30); 상기 상부플레이트(30)의 상부에 결합되어 지되, 상기 상부홀(31)과 중간홀(21)과 바닥홀(11)을 관통하여 장착된 비디오 광 현미경(70)을 고정하는 홀더(40)로 구성되어 지며, 상기 비디오 광 현미경(70)의 초점은 상기 바닥플레이 트(10)에 구성된 바닥돌부(12)의 호의 중심점과, 중간플레이트(20)에 구성된 중간돌부(24)의 호의 중심점에 일치하도록 된 것에 특징이 있는 초점이 변하지 않는 고니오미터.The holder 40 is coupled to the upper portion of the upper plate 30, and fixes the video light microscope 70 mounted through the upper hole 31, the middle hole 21, and the bottom hole 11. The focal point of the video light microscope 70 coincides with the center point of the arc of the bottom protrusion 12 formed in the bottom plate 10 and the center point of the arc of the middle protrusion 24 formed in the intermediate plate 20. Goniometers that do not change focus, which is characteristic of what is to be done. 제 1항에 있어서, 상기 제1롤러베어링(50)은 제1가이드홈(51)을 형성한 제1a, 1b롤러베어링(52, 53)과, 상기 제1a, 1b롤러베어링(52, 53)에 형성된 제1가이드홈(51)에 결합되는 제1볼(54)을 구성한 제1롤러가이드(55)로 이루어진 것에 특징이 있는 초점이 변하지 않는 고니오미터.The roller bearing of claim 1, wherein the first roller bearings (50) comprise first and second roller bearings (52, 53) and first roller grooves (52, 53) forming the first guide groove (51). Goniometer is characterized in that the first roller guide (55) constituting the first ball 54 is coupled to the first guide groove (51) formed in the focal point does not change. 제 1항에 있어서, 상기 제2롤러베어링(60)은 제2가이드홈(61)을 형성한 제2a, 2b롤러베어링(62, 63)과, 상기 제2a, 2b롤러베어링(62, 63)에 형성된 제2가이드홈(61)에 결합되는 제2볼(64)을 구성한 제2롤러가이드(65)로 이루어진 것에 특징이 있는 초점이 변하지 않는 고니오미터.The roller bearing of claim 1, wherein the second roller bearing (60) includes second and second roller bearings (62, 63) forming a second guide groove (61), and the second roller bearing (62, 63). Goniometer is characterized in that the focal point is made of a second roller guide (65) constituting a second ball 64 is coupled to the second guide groove (61) formed in the. 제 1항에 있어서, 상기 중간플레이트(20)의 전면에는 바닥플레이트(10)에 접하는 제1슬라이딩홈(81)이 구성된 제1고정판(82)이 결합되어 지며, 상기 바닥플레이트(10)에는 제1슬라이딩홈(81)을 관통하는 제1고정구(83)가 더 포함되어 구성된 것에 특징이 있는 초점이 변하지 않는 고니오미터.According to claim 1, wherein the first fixing plate 82 is composed of a first sliding groove 81 in contact with the bottom plate 10 is coupled to the front surface of the intermediate plate 20, the bottom plate 10 The goniometer does not change the focus is characterized in that it further comprises a first fixing sphere (83) penetrating through the sliding groove (81). 제 1항에 있어서, 상기 중간플레이트(20)의 측면에는 바닥플레이트(10)에 접하는 제2슬라이딩홈(91)이 구성된 제2고정판(92)이 결합되어 지며, 상기 바닥플레이트(10)에는 제2슬라이딩홈(91)을 관통하는 제2고정구(93)가 더 포함되어 구성된 것에 특징이 있는 초점이 변하지 않는 고니오미터.According to claim 1, The second plate 20 is coupled to the side of the intermediate plate 20 is composed of a second sliding groove 91 in contact with the bottom plate 10, the bottom plate 10 The goniometer does not change the focus is characterized in that it further comprises a second fixing tool (93) penetrating through the two sliding groove (91).
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