KR100820558B1 - 냉각수 누수 감지부를 가지는 퍼니스 장비의 냉각 장치 - Google Patents

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Abstract

냉각수 누수 감지부를 가지는 퍼니스(furnace) 장비의 냉각 장치를 제시한다. 본 발명의 일 관점에 따르면, 퍼니스 장비의 피냉각부를 냉각시키기 위해 플렉서블 라인부(flexible line part)를 중간에 구비하는 냉각 라인(cooling line), 플렉서블 라인부의 외곽을 밀봉하는 테플론(teflon) 소재의 실링 튜브(sealing tube), 및 튜브 내에 발생될 수 있는 누수된 냉각수를 외부로 배출하기 위해서 실링 튜브에 연결되는 누수 배출 라인을 포함하여 구성되는 냉각 장치를 제시한다.
퍼니스, 냉각 라인, 누수

Description

냉각수 누수 감지부를 가지는 퍼니스 장비의 냉각 장치{Cooling apparatus having cooling water detector in furnace equipment}
도 1은 종래의 퍼니스(furnace) 장비의 냉각 장치를 설명하기 위해서 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2 및 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 냉각수 누수 감지부를 가지는 퍼니스 장비의 냉각 장치를 설명하기 위해서 개략적으로 도시한 도면들이다.
본 발명은 반도체 소자 제조 장비에 관한 것으로, 특히, 냉각수 누수 감지부를 가지는 퍼니스(furnace) 장비의 냉각 장치에 관한 것이다.
현재 반도체 소자 제조에는 다양한 형태의 퍼니스 장비가 사용되고 있다. 이러한 퍼니스 장비에는 퍼니스 장비의 온도 조절 또는 냉각을 위한 냉각 라인(cooling line)을 포함하는 냉각 장치가 구비되고 있다.
퍼니스 장비에서의 냉각 라인은 피냉각부, 예컨대, 히터(heater), 캡(cap) 매니폴드(manifold) 또는 셔터(shutter) 부위에 설치되어 이들 부위를 냉각수의 흐름으로 냉각시키는 역할을 한다.
도 1은 종래의 퍼니스(furnace) 장비의 냉각 장치를 설명하기 위해서 개략적으로 도시한 도면이다.
도 1을 참조하면, 퍼니스(10)의 피냉각부(20), 예컨대, 히터(heater), 캡(cap) 매니폴드(manifold) 또는 셔터(shutter) 부위를 냉각시키는 냉각 라인(30)은 그 중간에 플렉서블 라인부(flexible line part:31)를 포함하고 있다. 이러한 플렉서블 라인부(31)는 퍼니스 장비에 냉각 라인(30)을 설치하는 데 유동성이 요구됨에 따라 도입되는 데, 대략 1/4 인치(inch) 또는 1/8 인치 라인으로 구비된다.
이러한 냉각 라인(30)에는 냉각수 공급 제어부(40)의 플로우미터(flow meter:41)가 설치되고, 냉각수 주 공급관(51) 및 냉각수 주 배출관(52)이 연결되어, 냉각수의 흐름이 제공 및 제어되게 된다.
그런데, 이러한 플렉서블 라인부(31)는 유동성을 가짐에 따라 이러한 부위에서 냉각수(cooling water)의 누수가 발생할 소지가 다분하면, 또한, 다른 냉각 라인(30) 또한 부식 등에 의해서 냉각수의 누수 발생이 빈번히 검출된다. 그런데, 특히 이러한 소모성 부재인 플렉서블 라인부(31)에 냉각수의 누수 발생이 매우 빈번히 일어나고 있다.
그런데, 이러한 플렉서블 라인부(31) 인근에는 전원 케이블(cable) 및 센서 라인(sensor line) 및 제어 라인(control line) 등이 인접하여 위치하게 된다. 따라서, 상기한 냉각수의 누수는 주 전원(main power) 및 히터 파워 케이블(heater power cable)을 단락(short)시켜, 주 기판(main board) 및 제어 보드(control board)에 오동작을 유발시키게 된다. 이러한 경우, 이러한 장비의 불량 또는 손상 발생 후에야 비로소 플렉서블 라인부(31)를 교체하게 된다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 퍼니스의 피냉각부를 냉각시키는 냉각 장치를 구성할 때 냉각수의 누수를 사전에 감지하여 퍼니스 장비에의 손상 발생을 방지할 수 있는 퍼니스 장비의 냉각 장치를 제공하는 데 있다.
상기의 기술적 과제들을 달성하기 위한 본 발명의 일 관점은, 퍼니스 장비의 피냉각부를 냉각시키기 위해 플렉서블 라인부(flexible line part)를 중간에 구비하는 냉각 라인(cooling line), 상기 플렉서블 라인부의 외곽을 밀봉하는 실링 튜브(sealing tube), 및 상기 튜브 내에 발생될 수 있는 누수된 냉각수를 외부로 배출하기 위해서 상기 실링 튜브에 연결되는 누수 배출 라인을 포함하여 구성되는 퍼니스 장비의 냉각 장치를 제시한다.
상기 실링 튜브는 상기 플렉서블 라인부를 감싸고 양단이 상기 플렉서블 라인부에 밀봉된 테플론(teflon) 튜브일 수 있다.
상기 튜브 내에 도입되어 상기 누수를 감지하는 누수 감지 센서를 더 포함하여 구성될 수 있다.
상기 누수 배출 라인은 상기 냉각 라인으로부터 냉각수를 회수하는 주 배출 라인 전단에 직접 연결되는 것일 수 있다.
본 발명에 따르면, 퍼니스의 피냉각부를 냉각시키는 냉각 장치를 구성할 때 냉각수의 누수를 사전에 감지하여 퍼니스 장비에의 손상 발생을 방지할 수 있는 퍼 니스 장비의 냉각 장치를 제공할 수 있다.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나, 본 발명의 실시예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예들로 인해 한정되어지는 것으로 해석되어져서는 안되며, 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것으로 해석되는 것이 바람직하다.
도 2 및 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 냉각수 누수 감지부를 가지는 퍼니스 장비의 냉각 장치를 설명하기 위해서 개략적으로 도시한 도면들이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 퍼니스 장비의 냉각 장치는, 퍼니스 장비(100)의 피냉각부, 예컨대, 예컨대, 히터(heater), 캡(cap) 매니폴드(manifold) 또는 셔터(shutter) 부위를 냉각시키는 냉각 라인(300)을 포함하여 구성된다. 냉각 라인(300) 중간에는 플렉서블 라인부(310)가 구비된다.
이러한 냉각 라인(300)에는 냉각수 공급 제어부(400)의 플로우미터(flow meter:410)가 설치되고, 냉각수 주 공급관(510) 및 냉각수 주 배출관(520)이 연결되어, 냉각수의 흐름이 제공 및 제어되게 된다.
상기 플렉서블 라인부(310)의 외곽을 밀봉하는 실링 튜브(sealing tube)를 테플론 튜브(teflon tube:301) 등으로 구비하고, 테플론 튜브(301)는 그 내부에 발생될 수 있는 누수된 냉각수가 퍼니스(100) 장비 내에 유출되지 않게 밀봉, 예컨대, 냉각 라인(300)에 그 양단이 밀봉, 예컨대, 몰딩(molding)에 의해서 밀봉된다.
한편, 플렉서블 라인부(310)에서 발생될 수 있는 누수를 외부로 배출하기 위 해서 튜브(301)에는 누수 배출 라인(leakage drain line:311)이 연결된다. 상기 누수 배출 라인은 상기 냉각 라인(300)으로부터 냉각수를 회수하는 주 배출 라인(520) 전단에 직접 연결된다.
한편, 튜브(310) 내에 발생된 누수를 감지하기 위해서 누수 감지 센서(335)가 설치되고 신호 라인(331)에 의해서 외부의 누수 감지부(330)로 전달되어 작업자에게 누수 발생 상황을 알려 작업자의 조치를 구하게 된다.
이상, 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않고, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함이 명백하다.
상술한 본 발명에 따르면, 냉각수의 누수가 플렉서블 라인부 등에서 발생하더라도, 발생된 누수가 플렉서블 라인부 인근의 다른 부품들, 예컨대, 파워 케이블의 단락 또는 주 보드, 기타 제어 보드들에의 불량 발생을 예방할 수 있다. 이에 따라, 가스의 유출 등에 의한 부식을 방지할 수 있다. 따라서, 수리에 요구되는 비용을 절감할 수 있다.

Claims (4)

  1. 퍼니스 장비의 피냉각부를 냉각시키기 위해 플렉서블 라인부(flexible line part)를 중간에 구비하는 냉각 라인(cooling line);
    상기 플렉서블 라인부의 외곽을 밀봉하는 실링 튜브(sealing tube); 및
    상기 실링 튜브 내에 발생될 수 있는 누수된 냉각수를 외부로 배출하기 위해서 상기 실링 튜브에 연결되는 누수 배출 라인을 포함하는 것을 특징으로 하는 퍼니스 장비의 냉각 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 실링 튜브는 상기 플렉서블 라인부를 감싸고 양단이 상기 플렉서블 라인부에 밀봉된 테플론(teflon) 튜브인 것을 특징으로 하는 퍼니스 장비의 냉각 장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 실링 튜브 내에 도입되어 상기 누수를 감지하는 누수 감지 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 퍼니스 장비의 냉각 장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 누수 배출 라인은 상기 냉각 라인으로부터 냉각수를 회수하는 주 배출 라인 전단에 직접 연결되는 것을 특징으로 하는 퍼니스 장비의 냉각 장치.
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