KR100818075B1 - Center pad type chip package using bonding pad redistribution - Google Patents
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Abstract
본 발명은 센터 패드형 칩 패키지에 관한 것으로서, 본딩 패드 재배치 필름을 이용함으로써 센터 패드형 반도체 칩을 일반적인 유형의 패키지 구조에 적용하는 것이다. 본 발명의 패키지는, 활성면의 중앙을 따라 형성된 본딩 패드를 구비하는 센터 패드형 반도체 칩을 포함하며, 반도체 칩의 하부에 위치하는 다이 패드와, 반도체 칩의 주위에 배열되는 리드로 이루어지는 리드 프레임을 포함한다. 또한, 본 발명의 패키지는 본딩 패드 재배치 필름을 포함하는데, 재배치 필름은 반도체 칩의 활성면과 다이 패드 사이에 위치하며, 한쪽 끝이 본딩 패드에 전기적으로 연결되고 반대쪽 끝이 반도체 칩의 모서리 바깥쪽에 위치하여 리드에 전기적으로 연결되는 재배치 패턴과, 재배치 패턴의 상하에 형성되고 반도체 칩과 다이 패드를 접착시키는 접착층으로 이루어진다. 또한, 본 발명의 패키지는 반도체 칩과 리드 프레임과 재배치 필름을 감싸며 리드의 바깥쪽을 돌출시키는 패키지 몸체를 포함한다.The present invention relates to a center pad type chip package, and a center pad type semiconductor chip is applied to a general type package structure by using a bonding pad rearrangement film. A package of the present invention includes a center pad type semiconductor chip having a bonding pad formed along a center of an active surface and includes a die pad located at a lower portion of the semiconductor chip and a lead frame . In addition, the package of the present invention includes a bonding pad relocation film, which is located between the active surface of the semiconductor chip and the die pad, and has one end electrically connected to the bonding pad and the opposite end electrically connected to the outside of the edge of the semiconductor chip A rearrangement pattern electrically connected to the leads, and an adhesive layer formed above and below the rearrangement pattern and bonding the semiconductor chip and the die pad. In addition, the package of the present invention includes a package body that surrounds the semiconductor chip, the lead frame, and the relocation film and protrudes outwardly of the lead.
센터 패드 칩 패키지, 엘오시 패키지, 본딩 패드 재배치Center Pad Chip Package, Eloshi Package, Bonding Pad Relocation
Description
도 1은 종래기술에 따른 센터 패드형 칩 패키지의 한 예를 나타내는 단면도.1 is a cross-sectional view showing an example of a center pad type chip package according to the related art.
도 2는 종래기술에 따른 센터 패드형 칩 패키지의 다른 예를 나타내는 단면도.2 is a cross-sectional view showing another example of a center pad type chip package according to the related art.
도 3a 내지 도 3f는 본 발명의 제1 실시예에 따른 센터 패드형 칩 패키지 및 그 제조 공정을 나타내는 평면도 또는 단면도.FIGS. 3A to 3F are a plan view or a sectional view showing a center pad type chip package and a manufacturing process thereof according to a first embodiment of the present invention; FIGS.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 센터 패드형 칩 패키지의 단면도.4 is a sectional view of a center pad type chip package according to a second embodiment of the present invention;
도 5는 본 발명의 제3 실시예에 따른 센터 패드형 칩 패키지의 단면도.5 is a sectional view of a center pad type chip package according to a third embodiment of the present invention.
도 6은 본 발명의 제4 실시예에 따른 센터 패드형 칩 패키지의 단면도.6 is a sectional view of a center pad type chip package according to a fourth embodiment of the present invention.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>Description of the Related Art
100, 200, 300, 400: 센터 패드형 칩 패키지(center pad type chip package)100, 200, 300, 400: a center pad type chip package,
30: 본딩 패드 재배치 필름(bonding pad redistribution film)30: bonding pad redistribution film
31: 접착층(adhesive layer)31: adhesive layer
32: 재배치 패턴(redistributed pattern)32: Redistributed pattern
40: 다이 패드(die pad)40: die pad
42, 44, 46, 48: 리드(lead) 42, 44, 46, 48: lead,
50: 센터 패드형 반도체 칩(center pad type semiconductor chip)50: a center pad type semiconductor chip
52: 본딩 패드(bonding pad)52: bonding pad
60: 본딩 와이어(bonding wire)60: bonding wire
70: 패키지 몸체(package body)70: package body
본 발명은 반도체 패키지에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 센터 패드형 반도체 칩의 패키지 구조에 관한 것이다.The present invention relates to a semiconductor package, and more particularly, to a package structure of a center pad type semiconductor chip.
잘 알려진 바와 같이, 디램(DRAM)과 같은 반도체 칩의 활성면에는 외부와의 입출력을 담당하는 본딩 패드들이 다수개 형성된다. 이 본딩 패드들은 주로 칩 활성면의 가장자리에 형성되는 것이 일반적이었으나, 최근에는 칩 활성면의 중앙을 따라 형성되는 것이 보편화되어 있다. 이와 같이 칩 활성면의 중앙에 본딩 패드를 배치하는 이유는 회로의 레이아웃 설계가 용이하고 다(多)비트(bit) 구성으로의 전개가 쉬우며 본딩 와이어의 수를 자유롭게 조정할 수 있기 때문인 것으로 알려져 있다. 이하, 본딩 패드들이 칩 활성면의 중앙을 따라 형성되는 유형의 반도체 칩을 '센터 패드형 반도체 칩'이라 한다.As is well known, on the active surface of a semiconductor chip such as a DRAM, a plurality of bonding pads for input / output with the outside are formed. These bonding pads are generally formed at the edge of the active surface of the chip. In recent years, however, they are formed along the center of the active surface of the chip. The reason why the bonding pads are disposed at the center of the chip active surface is that the layout of the circuit is easy to design, the development into a multi-bit configuration is easy, and the number of bonding wires can be freely adjusted . Hereinafter, the semiconductor chip of the type in which the bonding pads are formed along the center of the chip active surface will be referred to as a " center pad type semiconductor chip ".
센터 패드형 반도체 칩이 보편화되면서 반도체 패키지 측면에서는 엘오시(LOC; Lead On Chip) 패키지 기술이 개발되어 적용되어 왔다. 도 1에 전형적인 엘오시 패키지의 구조가 도시되어 있다. As the center pad type semiconductor chip becomes popular, the lead on chip (LOC) package technology has been developed and applied to the semiconductor package side. The structure of a typical ELISA package is shown in Fig.
도 1에 도시된 바와 같이, 엘오시 패키지(10)는 반도체 칩(11) 위에 리드(13)가 배치되는 구조로 이루어진다. 리드(13)는 접착제(12)에 의하여 반도체 칩(11)의 활성면에 부착되며, 반도체 칩(11)의 활성면 중앙에 형성된 본딩 패드(11a)와 본딩 와이어(14)에 의하여 전기적으로 연결된다.As shown in FIG. 1, the ELISA
그러나, 이러한 구조의 엘오시 패키지(10)는 접착제(12)로 사용되는 폴리이미드(polyimide) 테이프가 매우 고가이기 때문에 에폭시 접착제를 사용하는 일반적인 유형의 패키지에 비하여 제조 단가가 높고, 몰딩 수지를 이용하여 패키지 몸체(15)를 형성하는 과정에서 몰딩 수지 내부에 함유된 필러(filler)가 반도체 칩(11)과 리드(13) 사이에 끼어 칩 손상을 야기하는 문제가 있다. 또한, 구조적 특성상 반도체 칩(11)이 패키지 몸체(15)의 중앙에 존재하지 않기 때문에 몰딩 수지 흐름의 상하 불균형이라든지 패키지 뒤틀림(warpage) 등의 문제가 발생한다.However, since the polyimide tape used as the
이와 같은 여러 문제들 때문에 일반적인 유형의 패키지 구조에 센터 패드형 반도체 칩을 적용하고자 하는 시도가 있었다. 그 구조가 도 2에 도시되어 있다.There have been attempts to apply a center pads type semiconductor chip to a general type of package structure due to such problems. Its structure is shown in Fig.
도 2를 참조하면, 반도체 패키지(20)는 반도체 칩(21)이 다이 패드(23a) 위에 접착되고 리드(23b)가 반도체 칩(21) 주위에 배열되는 구조로 이루어진다. 다이 패드(23a)는 에폭시 접착제(22)에 의하여 반도체 칩(21)의 뒷면에 부착되며, 리드(23b)는 본딩 와이어(24)에 의하여 본딩 패드(21a)와 전기적으로 연결된다.2, the
그러나, 이러한 패키지 구조에서는 본딩 패드(21a)와 리드(23b) 사이의 거리가 멀어지기 때문에 필연적으로 긴 본딩 와이어(24)를 사용할 수 밖에 없다. 따라서, 주로 금선(gold wire)이 사용되는 본딩 와이어(24)의 사용량이 늘어나고, 와이 어 본딩의 작업성이 저하되며, 특히 패키지 몸체(25)를 형성하는 몰딩 공정에서 와이어 쓸림(wire sweeping) 현상이 발생하여 이웃하는 본딩 와이어(24) 사이에 단락이 생길 수 있다.However, in such a package structure, the distance between the
따라서, 본 발명의 목적은 상술한 종래기술에서의 제반 문제점을 해결하면서 일반적인 유형의 패키지 구조에 센터 패드형 반도체 칩을 적용할 수 있는 센터 패드형 칩 패키지를 제공하고자 하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to provide a center pad type chip package which can apply a center pad type semiconductor chip to a package structure of a general type while solving all the problems in the related art.
이러한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 반도체 칩의 본딩 패드를 칩 바깥쪽으로 재배열하는 본딩 패드 재배치 필름을 이용하여 구성된 센터 패드형 칩 패키지를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a center pad type chip package which is constructed by using a bonding pad relocation film for rearranging a bonding pad of a semiconductor chip to the outside of the chip.
본 발명에 따른 센터 패드형 칩 패키지는, 활성면의 중앙을 따라 형성된 본딩 패드를 구비하는 센터 패드형 반도체 칩을 포함하며, 반도체 칩의 하부에 위치하는 다이 패드와, 반도체 칩의 주위에 배열되는 리드로 이루어지는 리드 프레임을 포함한다. 또한, 본 발명의 패키지는 본딩 패드 재배치 필름을 포함하는데, 재배치 필름은 반도체 칩의 활성면과 다이 패드 사이에 위치하며, 한쪽 끝이 본딩 패드에 전기적으로 연결되고 반대쪽 끝이 반도체 칩의 모서리 바깥쪽에 위치하여 리드에 전기적으로 연결되는 재배치 패턴과, 재배치 패턴의 상하에 형성되고 반도체 칩과 다이 패드를 접착시키는 접착층으로 이루어진다. 또한, 본 발명의 패키지는 반도체 칩과 리드 프레임과 재배치 필름을 감싸며 리드의 바깥쪽을 돌출시키는 패키지 몸 체를 포함한다.A center pad type chip package according to the present invention includes a center pad type semiconductor chip having a bonding pad formed along the center of an active surface and includes a die pad located under the semiconductor chip, And a lead frame made of lead. In addition, the package of the present invention includes a bonding pad relocation film, which is located between the active surface of the semiconductor chip and the die pad, and has one end electrically connected to the bonding pad and the opposite end electrically connected to the outside of the edge of the semiconductor chip A rearrangement pattern electrically connected to the leads, and an adhesive layer formed above and below the rearrangement pattern and bonding the semiconductor chip and the die pad. In addition, the package of the present invention includes a package body that surrounds the semiconductor chip, the lead frame, and the relocation film and protrudes outside the lead.
본 발명의 센터 패드형 칩 패키지에 있어서, 재배치 패턴과 본딩 패드의 전기적 연결은 열 또는 초음파를 이용한 압착 방법에 의하여 이루어지는 것이 바람직하며, 본딩 패드에는 범프가 형성될 수 있다. 또한, 재배치 패턴과 리드의 전기적 연결은 본딩 와이어를 통하여 이루어질 수 있으며, 열 또는 초음파를 이용한 압착 방법에 의하여 직접 이루어질 수도 있다. 재배치 패턴은 구리, 니켈, 금, 크롬, 코발트, 주석 및 그 조합 중의 어느 하나로 형성되는 것이 바람직하며, 반도체 칩의 뒷면은 패키지 몸체의 외부로 노출될 수 있다. 또한, 반도체 칩이 패키지 몸체의 중앙에 위치하도록 다이 패드가 리드보다 아래쪽에 형성될 수 있다.In the center pad type chip package of the present invention, the electrical connection between the rearrangement pattern and the bonding pads is preferably performed by heat or ultrasonic pressing, and bumps may be formed on the bonding pads. Also, the electrical connection between the relocation pattern and the lead can be made through the bonding wire, or directly by a thermal or ultrasonic pressing method. The rearrangement pattern is preferably formed of any one of copper, nickel, gold, chromium, cobalt, tin, and combinations thereof, and the back surface of the semiconductor chip may be exposed to the outside of the package body. In addition, a die pad can be formed below the leads so that the semiconductor chip is located at the center of the package body.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하도록 한다. 각 도면에서는 동일한 구성요소에 동일한 참조번호를 사용하였으며, 도면의 명확한 이해를 돕기 위해 일부 구성요소는 다소 과장되거나 개략적으로 도시되었음을 밝혀둔다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings. In the drawings, the same reference numerals are used for the same components, and some components are exaggerated or schematically shown in order to facilitate a clear understanding of the drawings.
본 발명의 제1 실시예에 따른 센터 패드형 칩 패키지는 그 구조가 도 3f에, 그 제조 과정이 도 3c 내지 도 3e에, 그에 사용되는 본딩 패드 재배치 필름이 도 3a 및 도 3b에 각각 도시되어 있다.The structure of the center pad type chip package according to the first embodiment of the present invention is shown in Fig. 3F, its manufacturing process is shown in Figs. 3C to 3E, and the bonding pad relocation films used therein are shown in Figs. 3A and 3B, respectively have.
먼저, 도 3a의 평면도와 도 3b의 단면도를 참조하면, 본 발명에 사용되는 본딩 패드 재배치 필름(30, 이하 '재배치 필름'이라 함)은 재배치 패턴(32)과 그 상하부에 형성된 접착층(31)으로 이루어지며, 각각의 재배치 패턴(32)은 재배치 필름(30)의 중앙으로부터 한쪽 가장자리까지 뻗어 있다. 재배치 필름(30)의 중앙에 위치하는 재배치 패턴(32)의 한쪽 끝은 반도체 칩(도 3f의 50)의 중앙에 형성된 본딩 패드(도 3f의 52)에 대응하며, 재배치 필름(30)의 가장자리에 위치하는 반대쪽 끝은 반도체 칩의 모서리 바깥쪽까지 연장된다. 도면에 도시되지는 않았지만, 재배치 패턴(32)의 양쪽 끝이 노출되도록 접착층(31)의 일부 부위는 제거된다. 재배치 패턴(32)은 구리(Cu), 니켈(Ni), 금(Au), 크롬(Cr), 코발트(Co), 주석(Sn) 등의 금속의 여러 조합으로 형성할 수 있다.3A and 3B, a bonding pad relocation film 30 (hereinafter, referred to as a 'relocation film') used in the present invention includes a
도 3c에 도시된 바와 같이, 재배치 필름(30)은 다이 패드(40) 위에 부착되고, 도 3d에 도시된 바와 같이, 재배치 필름(30) 위에 반도체 칩(50)이 부착된다. 따라서, 재배치 필름(30)은 종래의 에폭시 접착제를 대신하여 반도체 칩(50)과 다이 패드(40)를 접합시키는 역할을 한다. 리드(42)는 반도체 칩(50)의 주위에 배열된다. 다이 패드(40)와 리드(42)로 구성되는 리드 프레임(lead frame)은 일반적인 유형의 반도체 패키지에 사용되는 것과 동일하다.3C, the
반도체 칩(50)은 그 활성면의 중앙에 본딩 패드(52)가 형성되어 있으며, 활성면 쪽이 아래쪽을 향하도록 소위 하향식(face-down type)으로 재배치 필름(30)에 부착된다. 이 때, 반도체 칩(50)의 본딩 패드(52)는 재배치 필름(30)의 중앙에 위치하는 재배치 패턴(도 3a의 32)의 끝부분과 전기적으로 연결된다. 이에 사용되는 방법으로는 열 또는 초음파를 이용한 압착 방법이 바람직하다. 또한, 재배치 패턴과 연결시키기 전에, 도금, 스크린 프린팅, 스터드 범핑(stud bumping), 증착 등의 방법으로 본딩 패드(52)에 미리 범프를 형성시킬 수도 있다.The
도 3e에 도시된 바와 같이, 재배치 필름(30)과 리드(42)는 본딩 와이어(60) 에 의하여 전기적으로 연결한다. 이 때, 재배치 필름(30)의 가장자리에 위치하고 반도체 칩(50)의 모서리 바깥쪽까지 연장된 재배치 패턴(도 3a의 32)의 끝부분이 본딩 와이어(60)와 연결된다. 따라서, 반도체 칩(50)의 중앙에 형성된 본딩 패드(52)는 재배치 패턴(32)을 통하여 반도체 칩(50)의 바깥쪽으로 재배열되는 효과가 생긴다.As shown in FIG. 3E, the
이어서, 몰딩 수지를 이용하여 반도체 칩(50)과 다이 패드(40)와 재배치 필름(30)을 감싸도록 패키지 몸체(70)를 형성한다. 이 때, 본딩 와이어(60)와 연결되는 리드(42)의 안쪽 부분도 패키지 몸체(70) 안에 포함되며, 리드(42)의 바깥쪽 부분은 패키지 몸체(70) 밖으로 돌출된다. 이후의 공정은 공지의 패키지 조립 공정과 동일하므로 설명을 생략한다. 이상 설명한 일련의 과정을 거쳐 본 실시예에 따른 센터 패드형 칩 패키지(100)가 완성된다.Next, the
재배치 패턴(32)이 형성된 재배치 필름(30)을 이용하면, 본딩 패드(52)의 간격이나 크기 등은 더 이상 중요해지지 않으며, 와이어 본딩 작업성은 본딩 와이어(60)와 연결되는 재배치 패턴(32) 끝부분의 간격과 크기의 영향을 받는다. 따라서, 칩 설계의 자유도가 향상되어 칩 크기의 축소가 가능해진다. 또한, 본딩 와이어(60)의 길이가 짧기 때문에 와이어 쓸림 현상이 방지되며, 다이 패드(40)와 그 주변 리드(42)로 이루어지는 일반적인 유형의 리드 프레임을 사용하므로 기존의 패키지 제조 장비를 그대로 이용하여 칩 적층 패키지 및 상향식(face-up type) 미세 비지에이(fine BGA) 패키지의 구현이 가능하다.The spacing and the size of the
본 발명의 제2 실시예로서, 칩 적층 유형의 센터 패드형 칩 패키지가 도 4에 도시되어 있다. 도 4를 참조하면, 다이 패드(40)의 상하부면에 각각 재배치 필름(30)을 부착하고 각각의 재배치 필름(30)에 반도체 칩(50)을 접합한 후, 본딩 와이어(60)로 각각의 재배치 필름(30)과 리드(44)를 연결함으로써 칩 적층 패키지(200)를 구현한다.As a second embodiment of the present invention, a chip pile type center pad type chip package is shown in Fig. 4, a
전술한 제1 실시예와 마찬가지로, 제2 실시예에서도 재배치 필름(30)을 사용하여 반도체 칩(50) 중앙에 위치한 본딩 패드(도시되지 않음)를 반도체 칩(50) 바깥쪽으로 재배열한다. 한편, 제2 실시예의 다이 패드(40)는 리드(44)와 동일한 높이에 형성된다. 이는 다이 패드(40)의 상하부에 각각 반도체 칩(50)이 위치하기 때문이며, 이러한 구성을 통하여 반도체 패키지(200)의 상하 균형을 유지한다. 이에 반하여, 전술한 제1 실시예에서는 다이 패드(40)가 리드(42)보다 아래쪽에 형성되도록 함으로써 패키지(100) 중앙에 반도체 칩(50)을 위치시킨다. 이와 같이 반도체 패키지의 상하 균형을 유지하게 되면 패키지 뒤틀림이나 몰딩 공정후 보이드(void) 발생 문제 등을 방지할 수 있다.The bonding pads (not shown) located at the center of the
본 발명에 따른 센터 패드형 칩 패키지는 본딩 와이어(60)를 사용하지 않고 재배치 필름과 리드 사이의 전기적 연결을 구현할 수도 있다. 도 5에 도시된 제3 실시예가 그 예로서, 제3 실시예의 패키지(300)는 리드(46)가 재배치 필름(30)에 직접 접합되는 구성으로 이루어진다. 이 때, 리드(46)와 재배치 필름(30)은 열 또는 초음파를 이용한 압착 방식으로 접합되며, 도면에 도시되지는 않았지만, 리드(46)의 접합 부위에는 은(Ag), 금(Au), 주석(Sn) 등이 도금될 수 있고, 재배치 필름(30)의 해당 부위에는 솔더(solder) 도금이 이루어질 수 있다.
The center pad type chip package according to the present invention can realize the electrical connection between the relocation film and the lead without using the
본 발명에 따른 센터 패드형 칩 패키지는 다이 패드(40)를 사용하기 때문에 열방출 면에서 우수한 특성을 갖는다. 더구나, 도 6에 도시된 제4 실시예에서와 같이, 반도체 칩(50)의 뒷면이 패키지 몸체(70) 밖으로 노출되도록 구성하면, 더욱 우수한 열방출 특성을 가지는 패키지(400)를 구현할 수 있다. 전술한 실시예들과 달리, 도 6에 도시된 리드(48)는 다이 패드와 타이 바(tie bar)를 기준으로 도시한 것이다.Since the center pad type chip package according to the present invention uses the
아울러, 본 발명에 따른 센터 패드형 칩 패키지는 웨이퍼 레벨 패키징(wafer level packaging) 기술을 이용하여 본딩 패드의 재배치를 구현할 수도 있다.In addition, the center pad type chip package according to the present invention may implement the relocation of the bonding pads using a wafer level packaging technique.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 센터 패드형 칩 패키지는 여러 가지 장점과 이점을 가지고 있다.As described above, the center pad type chip package according to the present invention has various advantages and advantages.
재배치 패턴이 형성된 재배치 필름을 이용하므로 본딩 패드의 간격이나 크기에 상관없이 와이어 본딩 작업성을 확보할 수 있다. 따라서, 칩 설계의 자유도가 향상되어 칩 크기 축소가 가능해진다.Since the relocation film having the relocation pattern is used, wire bonding workability can be ensured irrespective of the interval or size of the bonding pads. Therefore, the degree of freedom of chip design is improved, and the chip size can be reduced.
또한, 본딩 와이어의 길이가 짧기 때문에 와이어 쓸림 현상이 방지되며, 전기적 특성이 향상된다.Further, since the length of the bonding wire is short, the wire chewing phenomenon is prevented, and the electrical characteristics are improved.
아울러, 다이 패드를 포함하는 일반적인 유형의 리드 프레임을 적용할 수 있기 때문에 기존의 패키지 제조 장비를 그대로 이용하여 칩 적층 패키지 및 상향식 미세 비지에이 패키지의 구현이 가능하다. 또한, 리드 프레임이 반도체 칩 위를 지나지 않으므로 몰딩 수지 필러의 끼임에 의한 불량이 방지된다. In addition, since a general type lead frame including a die pad can be applied, it is possible to implement a chip stacked package and a bottom-up microvisible package using the existing package manufacturing equipment as it is. In addition, since the lead frame does not pass over the semiconductor chip, defects due to the insertion of the molding resin filler can be prevented.
또한, 다이 패드가 열방출판의 역할을 수행할 뿐만 아니라 칩 뒷면을 노출시킬 수 있으므로 열방출 특성이 향상된다.In addition, since the die pad not only serves as a heat radiating but also exposes the back surface of the chip, the heat radiation characteristic is improved.
또한, 패키지의 상하 균형을 유지할 수 있어 패키지 뒤틀림이나 몰딩 공정후 보이드 발생 문제 등을 방지할 수 있으며, 패키지 내부로 수분이 침투할 수 있는 경로가 거의 없으므로 수분에 의한 신뢰성 불량이 방지된다.In addition, it is possible to maintain the balance of the package up and down, thereby preventing a package warpage, a problem of occurrence of voids after the molding process, and a reliability failure due to moisture can be prevented because there is almost no path for moisture to penetrate into the package.
본 명세서와 도면에는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 개시하였으며, 비록 특정 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명의 기술 내용을 쉽게 설명하고 발명의 이해를 돕기 위한 일반적인 의미에서 사용된 것이지, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 여기에 개시된 실시예 외에도 본 발명의 기술적 사상에 바탕을 둔 다른 변형예들이 실시 가능하다는 것은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것이다.Although the present invention has been described with reference to preferred embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, It is not intended to limit the scope. It is to be understood by those skilled in the art that other modifications based on the technical idea of the present invention are possible in addition to the embodiments disclosed herein.
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2001
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