KR100816535B1 - 유기 전계 발광 소자 제조용 타겟 및 그 타겟 제조방법 - Google Patents

유기 전계 발광 소자 제조용 타겟 및 그 타겟 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 중앙에 중공부가 형성되는 링형 또는 도우넛형이며 상기 중공부를 제외한 상기 링형 또는 도우넛형 부분에는 레이저빔에 의해 용발되어 기판에 증착되는 유기물이 담기는 본체를 포함하는 유기 전계 발광 소자 제조용 타겟 및 제조방법을 제공한다.
타겟 제조 방법은 타겟의 형상을 결정하는 단계, 결정된 타겟의 형상에 상응하는 하부 주형과 상부 주형을 준비하는 단계, 하부 주형에 유기물 파우더를 주입하는 단계, 하부 주형에 주입된 유기물 파우더를 상부주형으로 가압하여 타겟의 형상으로 성형하는 단계, 및 하부 주형으로부터 타겟을 분리하는 단계를 포함한다.
유기 전계 발광 소자, 타겟, 증착, 박막,

Description

유기 전계 발광 소자 제조용 타겟 및 그 타겟 제조방법{Target for manufacturing OLED and method for manufacturing the target}
도 1은 일반적인 유기 전계 발광 소자의 증착 장치 및 증착방법을 개략적으로 보여주는 측면도.
도 2는 도 1의 증착장치에 적용되는 타겟을 보여주는 평면도 및 단면도로서, 단면도는 유기물의 사용상태를 보여주는 도면.
도 3은 본 발명에 따른 유기 전계 발광 소자 제조용 타겟의 제1실시예를 보여주는 측면도.
도 4는 본 발명에 따른 유기 전계 발광 소자 제조용 타겟의 제2실시예를 보여주는 측면도.
도 5는 본 발명에 따른 유기 전계 발광 소자 제조용 타겟의 제조방법을 보여주는 개요도.
도 6은 본 발명에 따른 유기 전계 발광 소자 제조용 타겟의 제조방법을 보여주는 순서도.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
10, 20: 타겟 12, 22: 본체
30: 하부 주형 40: 상부 주형
본 발명은 유기 전계 발광 소자 제조용 타겟(target) 및 제조 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 유기 전계 발광 소자의 증착에 사용되는 유기물의 낭비를 방지하는 유기 전계 발광 소자 제조용 타겟 및 제조 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 메모리소자를 제조하거나 또는 유기 전계 발광 소자를 제조하는 경우 반도체 웨이퍼나 유기 전계 발광 소자용 패널 상에 금속이나 유기물 등을 증착하는 공정이 필수적이라 할 수 있다. 특히, 박막 증착시 양질의 박막을 만드는 것이 중요한 바, 이러한 양질의 박막을 증착하는 방법으로는 스퍼터링, 전자빔 증착, 펄스파 레이저 증착 등이 널리 공지되어 있다. 이 중에서 펄스파 레이저 증착법은 타겟과 동일한 조성을 갖는 박막을 형성하는 것이 용이하므로 박막의 특성을 조절하기가 용이한 장점이 있으며, 또한 증착률이 높고 진공을 유지한 채 여러 종류의 박막을 연속적으로 다층화 할 수 있는 장점이 있어 널리 이용되고 있는 실정에 있다.
이와 같은 유기 전계 발광소자 박막 증착 장치는, 도 1에 도시된 바와 같이, 광원(1)과, 렌즈(2)와, 타겟 홀더(3)에 의해 고정되는 타겟(4)과, 기판(5)이 거치되는 챔버(6)로 이루어져 있다. 챔버(6)는 진공시스템(7)에 의해 진공분위기가 형 성되고, 그 챔버(6)에는 광원(1)으로부터 방출되는 레이저빔을 통과시키기 위한 윈도우(8)가 형성되어 있다. 한편, 타겟(4)은, 도 2에 도시된 바와 같이, 전체에 걸쳐 동일 두께를 갖는 원판형으로 형성되어 있다.
이 같은 구성에 따라, 광원(1)에서 발생된 레이저 빔은 렌즈(2)에 의해 접속되어 윈도우(8)를 통해 챔버(6)내로 입사된다. 챔버(6)내로 입사된 레이저 빔은 타겟(4)을 용발(ablation)시키게 됨에 따라, 용발된 유기물이 기판(5)의 해당 영역에 증착되어 박막을 형성하게 되는 것이다.
그러나, 이와 같은 종래의 유기 전계 발광 소자 제조공정에서는 타겟이 균일 두께의 원판형으로 형성됨으로 인해 다소의 문제점이 초래되는 것으로 나타났다. 즉, 레이저빔에 의한 포인트 증착이 행해지는 경우 예컨대, 타겟의 에지 부분(도 2의 4a)에만 레이저가 조사되며, 이 경우 타겟의 에지부분의 유기물만 집중적으로 용발되어 소모되는 반면, 그 에지 부분(도 2의 4a)을 제외한 부분(도 2의 4b) 의 유기물은 사용되지 않게 되며 결국 폐기되어 재료의 낭비를 초래하는 문제점이 있다.
또한 중앙부와 에지부분의 단차에 의해 트렌치(trench)구조가 발생되므로 타겟의 전체면을 용발의 대상으로 할 때 박막 증착 면적이 감소되어 증착률이 저하됨은 물론 증착된 박막의 균일도가 저하되는 문제점이 있다.
본 발명은 상술된 문제점을 해결하기 위해 발명된 것으로서, 본 발명의 목적은 타겟의 유기물의 낭비를 방지하는 유기 전계 발광 소자 제조용 타겟을 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 목적은 타겟의 유기물의 낭비를 방지하는 유기 전계 발광 소자 제조용 타겟 제조방법을 제공하는데 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 유기 전계 발광 소자 제조용 타겟은, 중앙에 중공부가 형성되는 링형 또는 도우넛형이며 상기 중공부를 제외한 상기 링형 또는 도우넛형 부분에는 레이저빔에 의해 용발되어 기판에 증착되는 유기물이 담기는 본체를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 유기 전계 발광 소자 제조용 타겟 제조 방법은 유기 전계 발광 소자 제조용 타겟 제조방법에 있어서, 타겟의 형상을 결정하는 단계; 상기 결정된 타겟의 형상에 상응하는 하부 주형과 상부 주형을 준비하는 단계;상기 하부 주형에 유기물 파우더를 주입하는 단계; 상기 하부 주형에 주입된 유기물 파우더를 상부주형으로 가압하여 타겟의 형상으로 성형하는 단계; 및 상기 하부 주형으로부터 타겟을 분리하는 단계를 포함한다.
이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부도면을 참조로 하여 상세히 설명한다.
도 3은 본 발명에 따른 유기 전계 발광 소자 제조용 타겟의 제1실시예를 보여주는 평면도 및 단면도이고, 도 4는 본 발명에 따른 유기 전계 발광 소자 제조용 타겟의 제2실시예를 보여주는 측면도이며, 도 5는 본 발명에 따른 유기 전계 발광 소자 제조용 타겟의 제작방법을 보여주는 개요도이고, 도 6은 본 발명에 따른 유기 전계 발광 소자 제조용 타겟의 제작방법을 보여주는 순서도이다.
도 3에 있어서, 본 발명의 제1실시예에 따른 유기 전계 방광 소자 제조용 타겟(10)은 전체적으로 원형으로 형성된다. 그 타겟(10)은 물론 용발되어 기판의 해당 부분에 증착될 수 있도록 파우더형 유기물로 형성된다.
특히, 본 발명의 제1실시에에 따른 타겟(10)은 도우넛 형으로 형성되는 것이 바람직하다. 즉, 그 타겟(10)은 링형 본체(12)와, 그 링형 본체(12)에 의해 중앙에 형성되는 중공부(14)를 구비한다.
이와 같은 원형 또는 링형의 타겟(10)은 제작용 지그 또는 성형기구로 형성될 수 있다.
도 4에 있어서, 본 발명의 제2실시예에 따른 타겟(20)은 변형 원판형으로 형성된다. 물론, 그 타겟(20)은 용발되어 기판의 해당부분에 증착될 수 있도록 파우더형 유기물로 형성된다.
특히, 본 발명의 제2실시예에 따른 타겟(20)은 링형 본체(22)와, 그 링형 본체(22)로부터 중심축을 향해 일정 거리로 이격된 중심부(24)와, 상기 본체(22)와 중심부(24)를 안정적으로 연결시키기 위한 복수의 연결부재(26)로 형성되는 것이 바람직하다. 여기서, 각각의 연결부재들은 전체적으로 방사상 형상을 이루게 되는 것이다.
또한, 위와 같은 특수 형태의 타겟(20)은 타겟 제작용 지그 또는 성형기구로 형성될 수 있다.
이하, 도 5 및 도 6을 참조로 하여, 본 발명의 제1실시예에 따른 유기 전계 발광 소자 제조용 타겟을 제조하는 방법을 상세히 설명한다. 본 실시예에서는 본 발명의 제1실시예에 따른 도우넛형 타겟 제조방법에 대해 설명할 것이지만, 본 기술 분야의 당업자라면 제2실시예에 따른 타겟 또한 동일한 방법으로 제조될 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
먼저 작업자는 기판에 유기물이 증착시키는 타겟(10 또는 20)의 형상을 결정한다(S110).
타겟(10)의 형상이 결정되면, 그 설정된 타겟의 형상에 적합한 하부 주형(30)과 상부 주형(40)을 준비한다(S120). 여기서, 하부 주형(30)은 원통형의 몸체(32)와, 그 몸체(32)의 내부에 안착 설치되며 중앙에는 타겟의 중공부(14)를 형성하기 위한 원판형의 돌출부(34a)와, 그 돌출부(34a) 주변에 실제로 유기물 파우더가 주입되어 링형 본체(12)를 성형하기 위한 홈부(34b)를 구비하는 성형부재(34)로 이루어지는 것이 바람직하다. 또한, 상부 주형(40)은 하부 주형(30), 특히 성형부재(34)에 상응하도록 형성되는 것이 바람직하다. 즉, 상부 주형(40)은 상부에서 파지부(42)를 구비하며 하부에는 가압부(44)가 형성된다. 가압부(44)는 중앙부에서 하부 주형(30)의 돌출부(34a)에 상응하며 그 돌출부(34a)가 삽입 또는 수용되는 요부(44a)와, 그 요부(44a) 둘레에 돌출 형성되고 하부 주형(30)의 홈부(34b)에 상응하며 그 홈부(34b)에 삽입되는 철부(44b)로 이루어진다.
이후, 준비된 하부 주형(30)의 성형부재(34)의 홈부(34b)에 유기물 파우더(P)를 주입한다(S130).
다음으로, 하부 주형(30)의 성형부재(34)의 홈부(34b)에 주입된 유기물 파우더(P)를 상부 주형(40)으로 가압하거나 다져서 타겟의 형상으로 성형한다(S140). 이때, 상부 주형(40)의 가압부(44)의 철부(44b)는 하부 주형(30)의 성형부재(34)의 홈부(34b)에 주입된 유기물 파우더(P)를 가압하거나 다지게 됨으로써, 타겟의 형상이 이루어지게 되는 것이다.
이후, 작업자는 하부 주형(30)의 원통형 몸체(32)로부터 성형부재(34)를 분리하고 그 성형부재(34)로부터 타겟(10)을 분리한다(S150).
최종적으로, 분리된 타겟(10)을 후속가공을 통해 완전한 타겟(10)으로 형성한다(S160). 여기서, 후속 공정은 건조공정과 같은 마무리 공정이다.
이 같은 공정에 의해, 중앙에 중공부(14)가 형성되며, 실제적으로 링형 본체(12)를 이루는 도우넛형 타겟(10)이 제조된다.
따라서, 전술된 바와 같이 제조된 타겟(10)을 이용하여 기판에 포인트 증착을 하게 되면, 실제로 사용되는 링형 본체(12)에만 구비된 유기물이 레이저 빔에 의해 용발되어 기판에 증착되므로 유기물 및 타겟의 낭비를 방지하게 된다.
삭제
이상에서 본 발명에 따른 바람직한 실시 예에 대해 설명하였으나, 본 기술 분야의 당업자라면 첨부된 특허청구범위를 벗어남이 없이 다양한 변형예 및 수정예 를 실시할 수 있을 것으로 이해된다.
결과적으로, 본 발명에 의한 유기 전계 발광 소자 제조용 타겟에 의하면, 사용되지 않는 유기물에 의한 타겟의 낭비를 방지할 수 있는 효과가 있다.

Claims (5)

  1. 중앙에 중공부가 형성되는 링형 또는 도우넛형이며 상기 중공부를 제외한 상기 링형 또는 도우넛형 부분에는 레이저빔에 의해 용발되어 기판에 증착되는 유기물이 담기는 본체를 포함하는 유기 전계 발광 소자 제조용 타겟.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 유기 전계 발광 소자 제조용 타겟 제조방법에 있어서,
    원통형의 몸체와 상기 몸체 내부에 안착 설치되며 중앙에는 중공부를 형성하기 위한 원판형의 돌출부 및 상기 돌출부 주변에 유기물 파우더가 주입되어 타겟의 몸체를 성형하기 위한 홈부를 구비하는 하부 주형과 상부에 형성되는 파지부와 상기 하부 주형의 돌출부에 상응하며 상기 돌출부가 삽입되는 요부 및 상기 요부 둘레에 돌출 형성되고 상기 하부 주형의 홈부에 상응하며 상기 홈부에 삽입되는 철부를 구비하는 가압부로 구성되는 상부 주형을 준비하는 단계;
    상기 하부 주형에 유기물 파우더를 주입하는 단계;
    상기 하부 주형에 주입된 유기물 파우더를 상부주형으로 가압하여 타겟의 형상으로 성형하는 단계; 및
    상기 하부 주형으로부터 타겟을 분리하는 단계를 포함하는 유기 전계 발광 소자 제조용 타겟 제조방법.
  5. 삭제
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20010080368A (ko) * 1998-10-30 2001-08-22 조셉 제이. 스위니 스퍼터링 장치
KR20050109767A (ko) * 2004-05-17 2005-11-22 세메스 주식회사 구동 가능한 타겟을 갖는 박막 증착 장치

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