KR100816341B1 - System for manufacturing liquid crystal display and method for manufacturing the display - Google Patents
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Abstract
본 발명은 액정 표시 장치 제조용 시스템 및 이를 이용한 액정 표시 장치 제조 방법에 관한 것으로, 생산성 및 공정 신뢰성을 높히기 위하여, 액정 셀 작업을 위한 다수개의 제조 장치와 배향 처리 작업을 위한 제조 장치를 인라인(in-line)으로 설계한다. 본 발명에 따른 액정 표시 장치 제조용 시스템은, 액정 표시 장치용 제1 기판 및 제2 기판을 각각 제조하는 제1 기판 제조 장치 및 제2 기판 제조 장치; 제1 기판 및 제2 기판 위에 배향막을 도포하는 배향막 도포 장치; 배향막에 배향 처리를 하는 UV 노광 장치, 제1 기판과 제2 기판 중 하나의 기판 위의 배향막 위에 봉인재를 프린트하는 봉인재 프린트 장치, 제1 기판과 제2 기판 중 하나의 기판 위의 배향막 위에 액정을 적하하는 액정 적하 장치, 봉인재 또는 액정이 적하된 제1 기판과 제2 기판을 합착하는 기판 합착 장치가 인라인으로 설계되어 있는 일체형 제조 유니트를 포함한다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a system for manufacturing a liquid crystal display and a method for manufacturing a liquid crystal display using the same. In order to increase productivity and process reliability, a plurality of manufacturing apparatuses for liquid crystal cell operations and a manufacturing apparatus for alignment processing operations are inlined. line). A system for manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention includes a first substrate manufacturing device and a second substrate manufacturing device for manufacturing a first substrate and a second substrate for a liquid crystal display device, respectively; An alignment film applying apparatus for applying the alignment film on the first substrate and the second substrate; UV exposure apparatus for aligning the alignment film, sealing material printing apparatus for printing the sealing material on the alignment film on one of the first substrate and the second substrate, on the alignment film on one of the first substrate and the second substrate An integrated manufacturing unit in which a liquid crystal dropping device for dropping liquid crystal, a sealing material or a substrate bonding device for bonding the first substrate and the second substrate on which the liquid crystal is dropped is designed inline.
인라인, 일체형 작업 유니트, 생산성, 공정 신뢰성 Inline, integrated work unit, productivity, process reliability
Description
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치 제조용 시스템의 개략적인 구성도이고, 1 is a schematic configuration diagram of a system for manufacturing a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention;
도 2 및 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치 제조용 시스템의 UV 노광 장치에서의 배향 처리 작업과 봉인재 경화 작업을 개략적으로 설명하는 도면이고, 2 and 3 are views schematically illustrating an alignment treatment operation and a sealing material curing operation in the UV exposure apparatus of the liquid crystal display device manufacturing system according to an embodiment of the present invention,
도 4는 본 발명의 실시에에 따른 액정 표시 장치 제조용 시스템을 이용한 제조 공정의 흐름도를 나타낸 것이다. 4 is a flowchart of a manufacturing process using a system for manufacturing a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention.
본 발명은 액정 표시 장치 제조용 시스템 및 이를 이용한 액정 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다. The present invention relates to a system for manufacturing a liquid crystal display device and a method for manufacturing a liquid crystal display device using the same.
액정 표시 장치는 전극이 형성되어 있는 상부 및 하부 기판과 그 사이에 주입되어 있는 액정 물질로 구성되어 있다. 이러한 액정 표시 장치는 두 기판 사이 에 주입되어 있는 액정 물질에 전극을 이용하여 전계를 인가하고, 이 전계의 세기를 조절하여 기판에 투과되는 빛의 양을 조절함으로써 화상을 표시한다. The liquid crystal display device is composed of upper and lower substrates on which electrodes are formed and liquid crystal materials injected therebetween. Such a liquid crystal display displays an image by applying an electric field to the liquid crystal material injected between two substrates by using an electrode, and adjusting the intensity of the electric field to adjust the amount of light transmitted through the substrate.
일반적으로 액정 표시 장치의 제조 공정은 유리 기판 상에 배선 패턴 및 스위칭 소자 등을 형성하는 기판 제조 공정과, 배향 처리, 스페이서의 배치 및 대향하는 유리 기판 사이에 액정 물질을 밀봉하는 액정 셀(cell) 공정과, 드라이버 IC의 부착 및 백 라이트(back light) 장착 등을 행하는 모듈 공정등으로 분류된다.In general, a manufacturing process of a liquid crystal display device includes a substrate manufacturing process for forming a wiring pattern, a switching element, and the like on a glass substrate, and a liquid crystal cell for sealing a liquid crystal material between an alignment process, an arrangement of spacers, and an opposing glass substrate. And a module process for attaching a driver IC, attaching a back light, and the like.
이들 공정에서는 생산성 향상을 위해 한 장의 모 기판(mother glass)에 단위 액정 표시 장치가 되는 다수 개의 액정 셀 영역을 동시에 형성하며, 액정 셀 공정에서 단위 셀 별로 절단하여 분리한다.In these processes, a plurality of liquid crystal cell regions serving as unit liquid crystal display devices are simultaneously formed on a single mother glass to improve productivity, and are cut and separated for each unit cell in a liquid crystal cell process.
이러한 액정 표시 장치의 제조 공정에서 액정 셀 공정은 액정 셀 내외의 압력차를 이용하여 진공 상태에서 액정 물질을 주입하는 방법으로 진행되고 있다. 이를 위하여, 두 기판에 액정 물질의 액정 분자를 배향하기 위한 배향막을 도포하고 배향 처리를 실시한 다음, 그 중 한 기판에 일정한 셀 갭을 유지하기 위한 스페이서를 산포하고, 액정 주입구를 가지는 봉인재를 기판 둘레에 인쇄한다. 이어, 두 기판을 정렬한 다음 열 압착(hot press) 공정을 통하여 두 기판을 열 경화성 봉인재로 부착하고, 액정 주입구를 통하여 두 기판 사이에 액정 물질을 주입한 다음 액정 주입구를 봉입한다.The liquid crystal cell process in the manufacturing process of the liquid crystal display device is proceeding by injecting a liquid crystal material in a vacuum state by using a pressure difference between the inside and outside of the liquid crystal cell. To this end, an alignment film for orienting liquid crystal molecules of a liquid crystal material is coated on two substrates, an alignment treatment is performed, and one of the substrates has a spacer for maintaining a constant cell gap, and a sealing material having a liquid crystal injection hole is provided on the substrate. Print around. Subsequently, the two substrates are aligned, and then the two substrates are attached to each other by a thermosetting sealant, a liquid crystal material is injected between the two substrates through a liquid crystal injection hole, and then the liquid crystal injection hole is sealed.
이러한 방법에 의한 액정 셀 공정은 생산성을 증대시키기 위해 각각의 단위 공정을 진행하기 위한 제조 장치를 인라인 시스템으로 설계하고 있다. 그러나, 진공 상태에서 액정 물질을 주입하는 방법에서는 각각의 단위 공정마다 소요되는 시 간이 일정하지 않고 액정 표시 장치의 구동 방식에 따라 단위 공정에서 소요되는 시간이 다르며, 제조 방법이 모패널 단위 공정에서 액정 셀 공정으로 이루어지기 때문에 단위 공정의 각 제조 장치를 인라인 또는 자동화 공정으로 설계하기가 어려워 생산성을 높이는데 한계가 있다.In the liquid crystal cell process by this method, the manufacturing apparatus for advancing each unit process is designed as an inline system in order to increase productivity. However, in the method of injecting the liquid crystal material in a vacuum state, the time required for each unit process is not constant, and the time required for the unit process varies according to the driving method of the liquid crystal display device. Because it is made of a cell process, it is difficult to design each manufacturing apparatus of a unit process in an inline or automated process, and thus there is a limit in increasing productivity.
그런데, 이러한 액정 표시 장치의 제조를 위한 일련의 공정을 각각의 설비에서 진행하면서 기판을 제조 라인 내부 및 외부로 운송하면서 각각의 제조 설비에 반입하고 반출하는 등의 작업을 진행하기 때문에 기판이 오염되어 제조 공정 신뢰성이 떨어지고 생산 공정이 복잡해지는 등 생산성이 저하되는 문제를 야기한다. However, the substrate is contaminated because a series of processes for manufacturing the liquid crystal display device are carried out at each facility, and the substrates are transported into and out of each manufacturing facility while transporting the substrate into and out of the manufacturing line. This leads to problems of low productivity, such as poor manufacturing process reliability and complicated production processes.
본 발명은 생산성 및 공정 신뢰성을 높일 수 있는 액정 표시 장치 제조용 시스템 및 액정 표시 장치 제조 방법을 제공하고자 한다. An object of the present invention is to provide a liquid crystal display device manufacturing system and a liquid crystal display device manufacturing method capable of increasing productivity and process reliability.
본 발명은 이러한 기술적 과제를 해결하기 위하여, 액정 셀 작업을 위한 다수개의 제조 장치와 배향 처리 작업을 위한 제조 장치를 인라인(in-line)으로 설계한다.In order to solve this technical problem, a plurality of manufacturing apparatuses for liquid crystal cell operation and a manufacturing apparatus for alignment treatment operation are designed in-line.
구체적으로 본 발명에 따른 액정 표시 장치 제조용 시스템은, 액정 표시 장치용 제1 기판 및 제2 기판을 각각 제조하는 제1 기판 제조 장치 및 제2 기판 제조 장치; 제1 기판 및 제2 기판 위에 배향막을 도포하는 배향막 도포 장치; 배향막에 배향 처리를 하는 UV 노광 장치, 제1 기판과 제2 기판 중 하나의 기판 위의 배향막 위에 봉인재를 프린트하는 봉인재 프린트 장치, 제1 기판과 제2 기판 중 하나 의 기판 위의 배향막 위에 액정을 적하하는 액정 적하 장치, 봉인재 또는 액정이 적하된 제1 기판과 제2 기판을 합착하는 기판 합착 장치가 인라인으로 설계되어 있는 일체형 제조 유니트를 포함하고 있다. 여기서, UV 노광 장치에서 합착된 두 기판 사이의 봉인재를 경화하는 작업을 실시할 수 있다. Specifically, the system for manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention includes a first substrate manufacturing device and a second substrate manufacturing device for manufacturing a first substrate and a second substrate for a liquid crystal display device, respectively; An alignment film applying apparatus for applying the alignment film on the first substrate and the second substrate; UV exposure apparatus for aligning the alignment film, sealing material printing apparatus for printing the sealing material on the alignment film on one of the first and second substrates, on the alignment film on one of the first and second substrates A liquid crystal dropping device for dropping a liquid crystal, a sealing material, or an integrated manufacturing unit in which a substrate bonding device for bonding a first substrate and a second substrate on which a liquid crystal is dropped is designed inline. Here, the operation | work which hardens the sealing material between two board | substrates joined by the UV exposure apparatus can be performed.
일체형 제조 유니트에는 UV 노광 장치, 봉인재 프린트 장치, 액정 적하 장치, 기판 합착 장치에 기판의 반입 및 반출을 도모하는 운송 로봇이 설치될 수 있다. 또한, UV 노광 장치, 봉인재 프린트 장치, 액정 적하 장치, 기판 합착 장치에는 장치들로 기판을 운송하는 내부 전송 라인이 설치될 수 있다. 그리고, 일체형 제조 유니트에는 일체형 제조 유니트 내부로 기판을 반입시켜 적재하는 장치 및 일체형 제조 유니트 외부로 기판을 반출시키기 전에 적재하는 언로드 장치가 설치될 수 있다. The integrated manufacturing unit may be provided with a transport robot that facilitates loading and unloading of the substrate into the UV exposure apparatus, the sealing material printing apparatus, the liquid crystal dropping apparatus, and the substrate bonding apparatus. In addition, the UV exposure apparatus, the sealing material printing apparatus, the liquid crystal dropping apparatus, and the substrate bonding apparatus may be provided with an internal transmission line for transporting the substrate to the apparatuses. In addition, the integrated manufacturing unit may be provided with an apparatus for carrying in and loading the substrate into the integrated manufacturing unit and an unloading apparatus for loading the substrate before carrying it out of the integrated manufacturing unit.
이러한 액정 표시 장치 제조용 시스템을 이용하여 액정 표시 장치를 제조하는 방법으로서, 우선, 액정 표시 장치용 두 기판을 각각 제조한 후, 두 기판 위에 각각 배향막을 도포한 다음, 배향막 각각을 UV광을 이용하여 배향 처리한다. 이어, 두 기판 중 하나의 기판 위의 배향막 위에 봉인재를 프린트한 후, 두 기판 중 하나의 기판 위의 배향막 위에 액정을 적하한다. 이어, 봉인재가 프린트된 또는 액정이 적하된 두 기판을 합착한 후, 합착된 두 기판 사이의 봉인재를 UV광을 사용하여 경화한다. As a method of manufacturing a liquid crystal display device using such a liquid crystal display device manufacturing system, first, two substrates for a liquid crystal display device are manufactured, and then an alignment layer is coated on each of the two substrates, and then each of the alignment layers is formed using UV light. Orientation treatment. Next, after the sealing material is printed on the alignment film on one of the two substrates, the liquid crystal is dropped on the alignment film on one of the two substrates. Then, after bonding the two substrates on which the sealing material is printed or the liquid crystal is dropped, the sealing material between the two bonded substrates is cured using UV light.
여기서, 배향 처리하는 단계와 봉인재를 경화하는 단계는 동일한 UV 노광 장치에서 진행할 수 있다. Here, the step of orientation treatment and the step of curing the sealant may proceed in the same UV exposure apparatus.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail the present invention.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치 제조용 시스템의 개략적인 구성도를 나타낸 것이다. 1 illustrates a schematic configuration diagram of a system for manufacturing a liquid crystal display device according to an exemplary embodiment of the present invention.
본 발명에서는 액정 셀 작업을 위한 다수개의 제조 장치와 배향 처리 작업을 위한 제조 장치를 인라인(in-line)으로 설계한다. 여기서, 제조 장치를 인라인으로 설계한다는 것은 여러 개의 공정이 한 세트의 기계 즉, 제조 라인 내부에서 이뤄지도록 통합하는 것을 말한다. 이와 같이, 인라인 시스템을 적용하는 제조 공정에서는 공정시간이 줄고 불량률도 떨어져 생산성이 획기적으로 높다. In the present invention, a plurality of manufacturing apparatuses for the liquid crystal cell operation and a manufacturing apparatus for the alignment treatment operation are designed in-line. Here, designing a manufacturing device inline refers to integrating several processes into a set of machines, ie, inside a manufacturing line. As described above, in the manufacturing process applying the inline system, the process time is shortened and the defect rate is also lowered, resulting in a high productivity.
본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치 제조용 시스템에서는, 제1 기판 제조 설비(10), 제2 기판 제조 설비(20), 배향막 도포 장치(31), 저온 건조 장치 (32), UV 노광 장치(42), 봉인재 프린트 장치(44), 액정 적하 장치(45), 기판 합착 장치(46)가 배열되어 있다. In the system for manufacturing a liquid crystal display device according to the embodiment of the present invention, the first
제1 기판 제조 설비(10)에서는, 절연 기판 위에 스위칭 소자와 화소 전극 등을 형성하여 액정 표시 장치용 하부 기판 즉, 제1 기판을 제조한다. 이러한 제1 기판의 제조는 다수개의 제조 장치에서 다수의 제조 공정을 통하여 이루어지는데, 도 1에서는 설명의 편의를 위하여, 이러한 다수의 제조 장치들을 제1 기판 제조 설비(10)로 통합하여 나타내었다. In the 1st board |
제2 기판 제조 설비(20)에서는, 절연 기판 위에 색 필터와 공통 전극 등을 형성하여 액정 표시 장치용 상부 기판 즉, 제2 기판을 제조한다. 제2 기판의 제조도 제1 기판의 제조와 같이, 다수개의 제조 장치에서 다수의 제조 공정을 통하여 이루어지는데, 도 1에서는 설명의 편의를 위하여, 이러한 다수의 제조 장치들을 제2 기판 제조 설비(20)로 통합하여 나타내었다. In the 2nd board |
배향막 도포 장치(31)에서는,제1 기판 및 제2 기판 위에 PI(PolyImide) 등으로 이루어진 배향막을 도포한다.PI는 액정과 유기적으로 결합하는 고분자 물질로서, 액정 배향제로 사용된다. In the alignment
저온 건조 장치(32)에서는,기판 위에 형성된 배향막을 저온에서 건조시킨다. In the low
UV 노광 장치(42)에서는, 기판 위에 형성된 소정의 패턴을 UV 광으로 노광한다. UV 광은 기판 위에 형성된 배향막에 배향 처리를 하는 배향 작업을 하거나, 기판 위에 형성된 봉인재를 경화하는 경화 작업을 하는데 사용된다. 이 때, 배향 작업과 경화 작업을 하는데 사용되는 광 패턴 마스크는 서로 다르다. In the
UV 노광 장치(42)에서 배향 작업을 진행할 경우에는, 도 2에 도시한 바와 같은 배향용 마스크(M1)를 사용한다. 이 배향용 마스크(M1)는 기판(101) 위에 형성된 배향막(102)에 대응하는 부분에 노광 영역(P1)을 가지고 있다. 노광 영역(P1)의 형상은 배향막의 패턴 등 공정 조건에 따라 다양하게 설정될 수 있다. 이러한 배향용 마스크(M1)를 사용하여 UV 노광기(401)에서 나오는 UV 광으로 기판을 스캐닝하면, 기판(101) 위의 배향막(102)은 일정한 방향으로 배향되는 프리틸트각(pre-tilt angle)을 가지게 된다. When the alignment operation is performed in the
또한, UV 노광 장치(42)에서 봉인재 경화 작업을 진행할 경우, 도 3에 도시한 바와 같은 봉인재 경화용 마스크(M2)를 사용한다. 이 봉인재 경화용 마스크 (M2)는 두 기판(100, 200)의 테두리에 프린트되어 있는 봉인재(300)에 대응하는 부 분에 노광 영역(P2)을 가지고 있다. 이러한 봉인재 경화용 마스크(M2)를 사용하여 UV 노광기(201)에서 나오는 UV 광으로 기판을 스캐닝하면, 두 기판(100, 200) 사이에 존재하는 봉인재(300)는 UV 광에 의하여 경화된다. 이 때, 봉인재(300)가 경화되면서 두 기판(100, 200)은 단단하게 고정된다. In addition, when performing sealing material hardening operation | work in the
봉인재 프린트 장치(44)에서는, 기판 위에 봉인재를 폐곡선 모양으로 프린트한다. 이 때, 봉인재는 UV광으로 경화될 수 있는 물질을 사용한다. In the sealing
액정 적하 장치(45)에서는, 기판 위의 소정 영역에 액정을 적하한다. 액정 적하 장치(45)에서 사용하는 액정 적하기는 액정 방울을 적하시킬 수 있는 주사위 형태를 가질 수 있으며, 또는, 액정을 봉인재 내부에 전면적으로 산포할 수 있는 분무기 형태를 가질 수 있다. In the liquid crystal dropping
기판 합착 장치(45)에서는, 두 개의 기판 즉, 제1 기판과 제2 기판을 정렬시킨 후, 두 기판에 압력을 가하는 방식으로 두 기판을 합착시킨다. In the
본 발명에서는, UV 노광 장치(42), 봉인재 프린트 장치(44), 액정 적하 장치(45), 기판 합착 장치(46) 모두가 일체형 제조 유니트(40) 내에 배열되어 있다. 이들 제조 장치(42, 44, 45, 46)에 의하여 실시되는 작업인, 배향막 배향 작업, 봉인재 프린트 작업, 액정 적하 작업, 기판 합착 작업, 봉인재 경화 작업이 일체형 제조 유니트(40) 내부에서, 즉, 하나의 제조 라인 내부에서 이루어지도록 UV 노광 장치(42),봉인재 프린트 장치(44),액정 적하 장치(45),기판 합착 장치(46)가 통합되어 있다. In the present invention, all of the
이러한 일체형 제조 유니트(40) 내에는 일체형 제조 유니트(40)에서의 일련 의 작업을 실시하기 위하여 외부의 기판을 받아 대기시키는 로드 장치(41)와 일체형 제조 유니트(40)에서의 일련의 작업이 진행된 기판을 받아 외부로 반출하기 위하여 대기시키는 언로드 장치(47)가 설치되어 있다. In the integrated
일체형 제조 유니트(40) 내부에는 운송 로봇(48)이 있어서 각각의 장치(41, 42, 44, 45, 46, 47)에서의 기판의 반입 및 반출을 도모한다. There is a
한편, 각각의 장치(42, 44, 45, 46)에는 내부 전송 라인(도시하지 않음)이 연결되어 있어서, 이 내부 전송 라인(도시하지 않음)을 통하여, 장치(42, 44, 45, 46) 간의 기판의 반입 및 반출이 이루어질 수 있다. On the other hand, each of the
이와 같이, 배향막 배향 작업, 봉인재 프린트 작업, 액정 적하 작업, 기판 합착 작업, 봉인재 경화 작업 등과 같은 액정 표시 장치의 제조를 위한 일련의 공정이 하나의 제조 설비 라인을 통하여 실시되고, 이 제조 라인 내부에서 기판의 운송이 이루어지기 때문에 생산성을 높일 수 있고 기판이 오염되는 것을 방지할 수 있다. As described above, a series of processes for manufacturing a liquid crystal display device such as an alignment film alignment operation, a sealing material printing operation, a liquid crystal dropping operation, a substrate bonding operation, a sealing material curing operation, and the like are performed through one manufacturing facility line. Since the substrate is transported inside, productivity can be increased and the substrate can be prevented from being contaminated.
그러면, 이러한 액정 표시 장치 제조용 시스템을 이용하는 액정 표시 장치의 제조 방법을 도 4 및 앞서의 도 1 내지 도 3을 함께 참조하여 설명한다.Next, a method of manufacturing a liquid crystal display device using the system for manufacturing such a liquid crystal display device will be described with reference to FIG. 4 and FIGS. 1 to 3.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치 제조용 시스템에서의 공정 흐름도를 개략적으로 나타낸 것이다. 4 is a schematic flowchart of a process in a system for manufacturing a liquid crystal display according to an exemplary embodiment of the present invention.
우선, 제1 기판 제조 설비(10)에서 액정 표시 장치용 하부 기판인 제1 기판을 제조한다(S10). 제1 기판에는 제1 기판 제조 설비(10)를 통하여 스위칭 소자 및 화소 전극 등을 형성한다.
First, in a first
마찬가지로, 제2 기판 제조 설비(20)에서 액정 표시 장치용 상부 기판인 제2 기판을 제조한다(S10'). 제2 기판에는 제2 기판 제조 설비(20)를 통하여 색 필터 및 공통 전극을 형성한다. 이 때, 제2 기판에 부착되어 고정되는 형태의 스페이서를 함께 형성할 수 있다. Similarly, the second substrate, which is the upper substrate for the liquid crystal display device, is manufactured in the second substrate manufacturing facility 20 (S10 ′). The color substrate and the common electrode are formed in the second substrate through the second
다음, 제1 기판을 배향막 도포 장치(31)로 운송한 후, 배향막 도포 장치(31)에서 제1 기판 위에 배향막을 도포한다(S20).마찬가지로, 제2 기판도 배향막 도포 장치(31)로 운송한 후,배향막 도포 장치(31)에서 제2 기판 위에 배향막을 도포한다 (S30) Next, after transporting the first substrate to the alignment
이어, 배향막이 도포된 제1 기판을 저온 건조 장치(32)로 운송한 후, 저온 건조 장치(32)에서 배향막을 건조시킨다(S25).마찬가지로, 배향막이 도포된 제2 기판도 저온 건조 장치(32)로 운송한 후,저온 건조 장치(32)에서 배향막을 건조시킨다(S25).Subsequently, the first substrate on which the alignment film is applied is transported to the low
다음, 건조된 배향막이 도포된 제1 기판과 제2 기판 각각을 일체형 제조 유니트(40)의 내부로 반입시킨 후, 일체형 제조 유니트(40) 내에서 배향막 배향, 봉인재 프린트, 액정 적하, 기판 합착 및 봉인재 경화 등의 액정 표시 장치 제조를 위한 일련의 작업을 진행한다. Next, each of the first and second substrates to which the dried alignment layer is applied is brought into the integrated
일체형 제조 유니트(40)에서의 작업을 설명하면 다음과 같다. The operation in the integrated
우선, 건조된 배향막이 도포된 제1 기판과 제2 기판 각각을 일체형 제조 유니트(40) 내부의 로드 장치(41)에서 각각 적재시킨다. First, each of the 1st board | substrate and the 2nd board | substrate to which the dried alignment film was apply | coated was loaded in the
이어, 제1 기판과 제2 기판 각각을 로드 장치(41)에서 UV 노광 장치(42)로 운송한다. Subsequently, each of the first substrate and the second substrate is transported from the
다음, 노광 장치(42)에서 UV 노광기(401)에서 나오는 UV 광을 사용하여 제1 기판과 제2 기판 위의 배향막에 각각 배향 처리 작업을 진행한다(S30). Next, an alignment treatment operation is performed on the alignment films on the first substrate and the second substrate using the UV light emitted from the
이를 위하여, 도 2에 도시한 바와 같이, 기판을 UV광에 노출시킨다. 이 때, 배향용 마스크(M1)를 사용하여 UV 광으로 기판을 스캐닝하는데, 이러한 UV 노광 작업을 통하여 기판 위의 배향막에는 일정한 방향이 프리틸트각이 형성된다. To this end, as shown in FIG. 2, the substrate is exposed to UV light. At this time, the substrate is scanned with UV light using the alignment mask M1, and a pretilt angle is formed in a predetermined direction on the alignment film on the substrate through the UV exposure operation.
이어, 배향 처리 작업이 이루어진 제1 기판과 제2 기판 중 하나의 기판, 예를 들어, 제1 기판을 UV 노광 장치(42)에서 봉인재 프린트 장치(44)로 운송한다. Subsequently, one of the first substrate and the second substrate, for example, the first substrate on which the alignment treatment operation has been performed, is transported from the
다음, 봉인재 프린트 장치(44)에서 제1 기판 위의 배향막 위에 봉인재를 폐곡선 형상으로 프린트한다(S60). 봉인재는 스페이서를 포함할 수 있다. 이 때, 봉인재로 UV 광에 의해 경화될 수 있는 물질을 사용한다. Next, in the sealing
또한, 배향 처리 작업이 이루어진 제1 기판과 제2 기판 중 나머지 하나의 기판, 예를 들어, 제2 기판을 UV 노광 장치(42)에서 액정 적하 장치(45)로 운송한다. In addition, the other substrate, for example, the second substrate, of the first substrate and the second substrate on which the alignment treatment operation is performed, is transported from the
다음, 액정 적하 장치(45)에서 제2 기판 위의 배향막 위에 소정량의 액정을 적하한다(S70). Next, in the liquid
이어, 봉인재가 프린트되어 있는 제1 기판을 봉인재 프린트 장치(44)에서 기판 합착 장치(46)로 운송하고, 동시에 액정이 적하된 제2 기판을 액정 적하 장치 (45)에서 기판 합착 장치(46)로 운송한다. Subsequently, the first substrate on which the sealing material is printed is transported from the sealing
다음, 기판 합착 장치(46)에서 봉인재가 프린트되어 있는 제1 기판과 액정이적하된 제2기판을 정렬시킨 후 두 기판에 압력을 가하여 두 기판을 합착시킨다 (S80). Next, in the
이와 같이, 액정 표시 장치의 두 기판 중 하나의 기판에 봉인재를 프린트하고, 액정 표시 장치의 두 기판 중 다른 하나의 기판에 액정을 적하한 후,기판 합착 장치(46)에서 봉인재가 프린트되어 있는 기판과 액정이 적하된 기판을 합착한다. As described above, after the sealing material is printed on one of the two substrates of the liquid crystal display device, the liquid crystal is dropped on the other one of the two substrates of the liquid crystal display device, and the sealing material is printed on the
이러한 제조 공정과는 다른 예로써, 봉인재 프린트 작업과 액정 적하 작업을 하나의 기판에 대하여만 실시할 수 있다. As another example of such a manufacturing process, the sealing material printing operation and the liquid crystal dropping operation can be performed only on one substrate.
이를 위하여, UV 노광 장치(42)에서 배향 처리가 된 두 기판 중 하나의 기판을 봉인재 프린트 장치(44)로 운송하여 그 위에 봉인재를 페곡선 모양으로 프린트한다. 그리고, 배향 처리가 된 두 기판 중 다른 하나의 기판을 기판 합착 장치 (46)로 운송한다. 다음, 봉인재가 프린트되어 있는 기판을 다시 액정 적하 장치(45)로 운송하여 봉인재에 의하여 둘러싸인 폐곡선 영역의 내부에 액정을 적하한다. 다음, 봉인재가 프린트되어 있고, 액정이 적하된 기판을 기판 합착 장치 (46)로 운송한 후, 미리 대기하거나 새로이 반입된 배향 처리가 된 두 기판 중 다른 하나의 기판과 함께 정렬한 후, 두 기판을 합착한다. To this end, one of the two substrates subjected to the alignment treatment in the
다음, 기판 합착 장치(46)에서 합착되어 있는 두 기판을 다시, UV 노광 장치 (42)로 운송한다. 다음, UV 노광 장치(42)에서 UV 노광기(401)에서 나오는 UV 광을 사용하여 두 기판 사이에 위치하는 봉인재를 경화시킨다(S90). Next, the two substrates bonded by the
이를 위하여, 도 3에 도시한 바와 같이, 합착된 두 기판을 UV광에 노출시킨다. 여기서, 봉인재 경화용 마스크(M2)를 사용하여 UV 광으로 기판을 스캐닝하는데, 이러한 UV 노광 작업을 통하여 두 기판 사이의 봉인재는 경화되어 두 기판을 단단히 고정시킨다. To this end, as shown in FIG. 3, the two bonded substrates are exposed to UV light. Here, the substrate is scanned with UV light using the sealing material curing mask M2. Through such UV exposure, the sealing material between the two substrates is cured to firmly fix the two substrates.
이어, 봉인재 경화에 의하여 단단히 고정된 두 기판을 UV 노광 장치(42)에서 언로드 장치(47)로 운송한다. Subsequently, the two substrates firmly fixed by sealing material curing are transferred from the
이와 같이, 본 발명에서는 배향막 배향 작업, 봉인재 프린트 작업, 액정 적하 작업, 기판 합착 작업, 봉인재 경화 작업이 하나의 제조 라인 즉, 일체형 작업 유니트(40) 내부에서 이루어진다. As described above, in the present invention, the alignment film alignment operation, the sealing material printing operation, the liquid crystal dropping operation, the substrate bonding operation, and the sealing material curing operation are performed in one manufacturing line, that is, the
여기서, 각각의 장치(41, 42, 44, 45, 46, 47)에서의 기판의 운송 작업은 각 장치의 외부에 있는 운송 로봇(48)을 매개로 하여 이루어질 수 있다. 또한, 이웃하는 장치에서의 기판의 운송은 내부 전송 라인(도시하지 않음)을 통하여 이루어질 수 있다. Here, the transport operation of the substrates in the
이어, 언로드 장치(47)에 대기하고 있는 한 쌍의 두 기판을 일체형 작업 유니트(40) 외부로 반출한 후, 액정 셀 절단 장치(51)로 운송한다. Next, the pair of two substrates waiting in the
다음, 액정 셀 절단 장치(51)에서 두 기판을 다수개의 액정 셀로 절단한다 (S100). Next, the two substrates are cut into a plurality of liquid crystal cells in the liquid crystal cell cutting device 51 (S100).
다음, 후속 공정을 진행하여 액정 표시 장치의 제조를 완료한다. Next, a subsequent process is performed to complete the manufacture of the liquid crystal display.
상술한 바와 같이, 본 발명에서는 배향 처리 작업과 액정 주입 작업을 위한 각각의 장치를 인라인으로 설계하고, 또한, 배향 처리 작업과 봉인재 경화 작업을 하나의 UV 노광 장치에서 실시함으로써, 기판의 오염도를 낮추고 제조 공정을 단순화할 수 있어서 공정 수율을 향상시킬 수 있다. As described above, in the present invention, each apparatus for the alignment treatment operation and the liquid crystal injection operation is designed inline, and the degree of contamination of the substrate is improved by carrying out the alignment treatment operation and the sealing material curing operation in one UV exposure apparatus. Lowering and simplifying the manufacturing process can improve process yield.
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KR100738810B1 (en) * | 2005-06-07 | 2007-07-12 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | apparatus for forming photo alignment film and method thereof |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20010097212A (en) * | 2000-04-20 | 2001-11-08 | 윤종용 | Method for manufacturing a panel for a liquid crystal display, Manufacture devices for the same, In-line system including the same, and Methods for manufacturing a liquid crystal display using the same |
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Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20010097212A (en) * | 2000-04-20 | 2001-11-08 | 윤종용 | Method for manufacturing a panel for a liquid crystal display, Manufacture devices for the same, In-line system including the same, and Methods for manufacturing a liquid crystal display using the same |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100971661B1 (en) * | 2003-08-21 | 2010-07-22 | 삼성전자주식회사 | Equipment for aligning liquid crystal |
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