KR100815891B1 - 액정표시소자의 배향막 러빙장치 및 이를 이용한 배향막 러빙공정 - Google Patents

Abstract

본 발명은 러빙포 부착에 의한 불량원인이 제거된 액정표시소자의 배향막 러빙장치 및 이를 이용한 배향막 러빙공정에 관한 것으로서, 특히 기판이 탑재되어 일방향으로 전진하는 스테이지와, 상기 스테이지의 상측에서 소정 간격 이격되도록 설치된 제 1 롤러 및 제 2 롤러와, 상기 제 1 롤러와 제 2 롤러 사이에 걸쳐져 구동되는 벨트와, 상기 벨트의 외주면에 부착된 러빙포와, 상기 벨트 사이에서 상하로 승강 가능하도록 설치된 제 3 롤러로 구성되는 것을 특징으로 한다.

러빙포 부착, 포 들뜸, 러빙 스크래치

Description

액정표시소자의 배향막 러빙장치 및 이를 이용한 배향막 러빙공정{Apparatus For Rubbing An Alignment layer Of Liquid Crystal Display Device And Process For Rubbing An Alignment layer By Using The Same}

도 1은 종래 기술의 배향막 러빙공정을 설명하기 위한 사시도.

도 2a 및 도 2b는 종래의 배향막 러빙장치의 문제점을 설명하기 위한 사시도 및 단면도.

도 3은 일반적인 액정표시소자의 제조방법을 설명하기 위한 공정순서도.

도 4a 및 도 4b는 본 발명에 의한 배향막 러빙장치를 설명하기 위한 사시도 및 단면도.

도 5a 내지 도 5d는 본 발명에 의한 배향막 러빙공정을 설명하기 위한 공정단면도.

*도면의 주요 부분에 대한 부호설명

20 : 기판 21,22 : 제 1 ,제 2 구동롤러

23 : 보조롤러 24 : 벨트

25 : 러빙포 26 : 스테이지

본 발명은 액정표시소자(LCD ; Liquid Crystal Display Device)의 배향막 러빙장치에 관한 것으로, 특히 대면적 기판에 대한 배향막 러빙의 균일성을 확보하는 액정표시소자의 배향막 러빙장치 및 이를 이용한 배향막 러빙공정에 관한 것이다.

최근, 계속해서 주목받고 있는 평판표시소자 중 하나인 액정표시소자는 액체의 유동성과 결정의 광학적 성질을 겸비하는 액정에 전계를 가하여 광학적 이방성을 변화시키는 소자로서, 종래 음극선관(Cathod Ray Tube)에 비해 소비전력이 낮고 부피가 작으며 대형화 및 고정세가 가능하여 널리 사용하고 있다.

상기 액정표시소자는 컬러필터층 및 공통전극이 형성된 컬러필터기판과, 박막트랜지스터와 화소전극이 형성된 박막트랜지스터 어레이 기판과, 상기 두 기판 사이에 형성된 액정층으로 구성되는데, 이를 광학소자로 활용하기 위해서는 액정층의 액정분자들을 특정 방향으로 배향시켜야 한다.

따라서, 액정분자들을 특정방향으로 배향시키기 위하여 배향막으로 불리는 유기고분자막을 기판 위에 인위적으로 형성하고 러빙처리함으로써 이방성을 부여하여야 한다.

즉, 기판 상면에 폴리아믹산, 가용성 폴리이미드 등을 도포하고, 60℃~80℃ 정도의 온도와 80℃~200℃ 정도의 온도에서 차례로 경화하여 폴리이미드화한 후, 러빙장치를 이용한 러빙공정으로 폴리이미드막 표면에 다양한 배향패턴들을 형성한다.

여기서, 러빙 공정은 레이온, 나일론과 같은 러빙포로 감겨진 원통 형태의 러빙롤을 회전시켜, 상기 폴리이미드막 표면에 물리적인 마찰을 가하면서 문질러 주는 방식으로 진행된다.

현재 사용하고 있는 러빙방식은 러빙롤에 러빙포를 부착한 뒤, 러빙롤을 회전시켜 배향막에 균일한 홈을 남기는 기술로, 타입별로 기판이 탑재된 러빙 스테이지는 이동시키지 않고 러빙롤은 회전, 전진시켜서 배향막을 러빙하는 러빙해드 이동방식과 러빙 스테이지는 전진시키고 러빙롤은 제자리 회전시켜서 배향막을 러빙하는 러빙스테이지 이동방식이 있다.

그러나, 러빙포가 부착되는 부위의 이음새 틈새에 의한 수직띠 또는 수평띠 불량이 발생하고, 포 부착 상태에 따라 포의 끝단부가 들뜨는 불량이 발생하는 등, 불량 발생의 가능성이 높다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 종래 기술의 액정표시소자의 배향막 러빙장치를 설명하면 다음과 같다.

도 1은 종래 기술의 배향막 러빙공정을 설명하기 위한 사시도이고, 도 2a 및 도 2b는 종래의 배향막 러빙장치의 문제점을 설명하기 위한 사시도 및 단면도이다. 그리고, 도 3은 일반적인 액정표시소자의 제조방법을 설명하기 위한 공정순서도이다.

그리고, 도 3은 종래 기술의 제 2 실시예에 의한 배향막 러빙공정을 설명하기 위한 사시도이다.

도 1에서와 같이, 통상의 배향막 러빙장치는 원통 형태의 러빙롤(14)과, 상기 러빙롤(14)의 외주면에 부착된 러빙포(15)와, 상기 러빙롤(14)의 중심축과 연결되어 러빙롤을 지지해주는 지지대(13)로 구성된다.

여기서, 러빙롤에 러빙포를 부착하는 방법은 러빙롤의 외주면에 접착력이 강한 양면 테이프를 부착한 뒤, 상기 양면 테이프를 매개로 하여 러빙포를 러빙롤에 부착하고 12시간 정도 숙성시키는 과정으로 이루어진다.

그러나, 이 모든 과정은 양면 테이프의 강한 접착력 때문에 수작업 특히, 맨손으로 이루어지는데, 이로 인해, 손이 닿은 러빙포의 모서리 부분에서의 접착력이 떨어져 도 2a에서와 같이 모서리 부분의 러빙포가 들뜨게 된다.

이외에도, 양면테이프 접착성, 러빙포 상태에 따라 포 들뜸이 유발될 수 있으며, 부착정도에 따라서 포 들뜸 현상이 일어날 수 있다. 그리고, 도 2b에서와 같이, 러빙롤(14)에 러빙포(15) 부착시 러빙포의 이음새가 맞지 않아 러빙포의 단차가 발생할 수 있다.

상기와 같이, 러빙포 부착상태가 불량하면, 배향막 러빙시 수직/수평띠 및 스크래치(scratch) 등이 생겨서 액정분자의 배향이 불균일해지고, 이로인해 액정 구동시, 화면상에 얼룩이 발생한다. 이는 표시품질이 최대관건인 표시소자의 신뢰성을 떨어뜨리는 주된 이유가 된다.

한편, 상기 러빙롤 및 러빙포의 사이즈는 러빙 각도에 대응하기 위해서 기판의 대각선 길이보다 길어야 하며, 기판이 대면적화됨에 따라 러빙롤 및 러빙포의 사이즈도 커져야 한다.

이와 같이 러빙장치 구성요소의 사이즈가 커지면 러빙이 불균일해져 소자의 신뢰성이 저하된다. 특히, 러빙포의 경우 양면 테이프를 이용하여 러빙롤의 외주면에 부착되므로, 러빙포의 사이즈가 커질수록 부착균일도와 러빙포 포결의 각도 균일성 역시 불리하게 된다.

상기 배향막 러빙장치를 이용한 액정표시소자의 제조방법을 도 3을 참조하여 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.

먼저, 여러 패턴들이 형성된 기판 상의 이물질을 제거하기 위해 세정공정(S100)을 행하고, 배향막 인쇄장치를 이용하여 기판 상면에 배향막 원료액을 인쇄하는 배향막 인쇄공정(S101)을 행한 뒤, 상기 배향막 원료액에 열을 가하여 경화시키는 배향막 경화공정(S102)을 행한다.

다음, 러빙장치를 이용하여 경화처리된 배향막 표면을 일정한 방향으로 문질러 배향막 표면에 홈(배향 패턴)을 만들어주는 배향막 러빙공정(S103)을 행한다.

즉, 도 1에서와 같이 배향막(12)이 형성된 기판(10)을 스테이지(16) 상면에 탑재시키고, 러빙롤을 업/다운(up/down)하여 기판과 러빙롤의 갭을 일정하게 유지시킨다. 다음, 구동모터(미도시)의 동력으로 구동롤러(17)를 회전시켜 러빙 스테이지(16)를 정격 속도로 이동시켜 기판(10)을 일방향으로 전진시키고, 이와 동시에 지지대(13)에 연결된 러빙롤(14)은 그 저부에서 전진하는 기판(10)의 배향막(12)과 접촉한 후, 제자리에서 회전하면서 상기 배향막(12)의 표면에 홈을 남긴다.

통상, 러빙롤의 회전속도는 약 1250∼1500rpm으로 한다.

균일한 디스플레이 특성을 갖도록 하기 위해서는 넓은 면적에 균일하게 홈을 형성시켜 주는 것이 중요한데, 이는 배향막 표면을 러빙포로 균일한 압력과 속도로 마찰시켜 배향막 표면의 고분자 사슬을 일정방향으로 정렬시킴으로 가능하다.

상기의 배향막 형성공정이 끝난 후에는, 상부기판의 가장자리에 접착제 역할을 하는 씰 패턴(seal pattern)을 액정주입구를 제외한 나머지 영역에 형성하고, 하부기판에 스페이서(spacer)를 산포한다.(S104)

다음, 상기 두 기판을 대향 합착시키는데, 주어진 마진을 벗어나면 빛이 새어나오게 되므로 보통 수 마이크로미터(㎛) 정도의 정밀도가 요구된다.(S105)

이 때, 상기 기판 중 상부기판은 컬러필터층과 공통전극이 형성된 컬러필터층 어레이 기판이고, 하부기판은 게이트 배선 및 데이터 배선에 의해 정의된 각 화소 영역에 박막트랜지스터와 화소전극이 형성된 박막트랜지스터 어레이 기판이다.

계속하여, 대향 합착된 기판을 단위셀로 절단하는 셀 절단 공정(S106)을 행한다. 셀 절단 공정은 완전히 합착된 두 기판을 필요한 크기로 절단하기 위해서 상,하부 기판 표면에 라인을 형성하는 스크라이브 공정과 스크라이브된 라인에 충격을 주어 기판을 분리해내는 브레이크 공정으로 이루어진다.

마지막으로, 단위셀로 절단된 두 기판 사이에 액정으로 주입하고 액정이 흘러나오지 않도록 액정주입구를 봉지하면 원하는 액정표시소자가 완성된다.(S107)

상기와 같은 액정표시소자의 배향막 러빙장치는 다음과 같은 문제점이 있다.

첫째, 러빙포 부착과정에서 모서리 부분의 러빙포가 들뜨거나 또는 러빙포의 이음새가 맞지 않아 러빙포의 단차가 발생하게 된다. 이와같이 러빙포 부착 상태에 불량이 발생하면 러빙에 의한 배향상태가 국부적으로 불균일해지고 러빙 스크래치 또는 수직/수평띠가 발생할 염려가 있다. 이는 화면 상에 얼룩을 일으키므로 표시소자의 품질을 떨어뜨리는 주된 이유가 된다.

둘째, 기판이 대면적화됨에 따라 러빙롤 및 러빙포의 사이즈가 커지게 되는 데, 이에 따라 러빙포의 부착균일도와 러빙포 포결의 각도 균일성이 불리해져 러빙이 불균일해진다.

셋째, 고속으로 러빙롤을 회전할 경우 러빙롤의 진동증가로 인해 러빙포 부착 불량에 의한 배향 패턴의 불균일이 더욱 심해진다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 다수개의 롤러를 이용하여 러빙포의 부착시 발생하는 러빙불량을 해소하고자 하는 액정표시소자의 배향막 러빙장치 및 이를 이용한 배향막 러빙공정을 제공하는데 그 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 액정표시소자의 배향막 러빙장치는 기판이 탑재되어 일방향으로 전진하는 스테이지와, 상기 스테이지의 상측에서 소정 간격 이격되도록 설치된 제 1 롤러 및 제 2 롤러와, 상기 제 1 롤러와 제 2 롤러 사이에 걸쳐져 구동되는 벨트와, 상기 벨트의 외주면에 부착된 러빙포와, 상기 벨트 사이에서 상하로 승강 가능하도록 설치된 제 3 롤러로 구성되는 것을 특징으로 한다.
한편, 본 발명의 다른 목적을 달성하기 위한 액정표시소자의 배향막 러빙장치는 기판이 탑재되어 일방향으로 전진하는 스테이지와, 상기 스테이지의 상측에서 소정 간격 이격되도록 설치된 제 1 롤러 및 제 2 롤러와, 상기 제 1 롤러와 제 2 롤러 사이에 걸쳐지는 러빙포와, 상기 러빙포 내부에서 상하로 승강 가능하도록 설치된 제 3 롤러로 구성되는 것을 특징으로 한다.
그리고, 상기와 같은 배향막 러빙장치를 이용하여 배향막 러빙공정을 수행하는 것을 특징으로 하는바, 본발명에 의한 배향막 러빙공정은 상기 배향막이 형성된 기판을 스테이지 상에 탑재시키는 단계와, 상기 제 3 롤러를 하강시키는 단계와, 상기 제 1 또는 제 2 롤러를 회전시킴과 동시에 상기 스테이지 또는 제 1 ,제 2 ,제 3 롤러를 일방향으로 전진시켜 상기 배향막 상에 배향패턴을 형성하는 단계와, 상기 제 3 롤러를 상승시키는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
이때, 상기 제 3 롤러를 하강시키는 단계에서, 상기 배향막과 러빙포가 접촉하도록 하고, 상기 제 3 롤러를 상승시키는 단계 이후, 상기 러빙포를 원위치로 되감는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 액정표시소자의 배향막 러빙장치 및 이를 이용한 배향막 러빙공정을 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 4a 및 도 4b는 본 발명에 의한 배향막 러빙장치를 설명하기 위한 사시도 및 단면도이고, 도 5a 내지 도 5d는 본 발명에 의한 배향막 러빙공정을 설명하기 위한 공정단면도이다.

본 발명에 의한 배향막 러빙장치는 도 4a 및 도 4b에서와 같이, 배향막이 도포된 기판(20)과, 상기 기판(20)이 탑재되어 정격속도를 가지고 일방향으로 전진하는 스테이지(26)와, 상기 스테이지(26)를 전진시키기 위해 스테이지 하면에 설치된 구동롤러(미도시)와, 상기 스테이지(25)의 상측에서 동일한 높이를 가지고 소정 간격 이격되도록 설치된 제 1 구동롤러(21) 및 제 2 구동롤러(22)와, 상기 제 1 구동롤러(21) 또는 제 2 구동롤러(22)에 연결되어 상기 제 1 ,제 2 구동롤러(21,22)를 회전시키기 위한 동력을 제공하는 구동모터(미도시)와, 상기 제 1 구동롤러(21)와 제 2 구동롤러(22) 사이에 걸쳐져 일방향으로 구동되는 벨트(24)와, 상기 벨트(24)의 외주면에 부착된 레이온, 나일론 계열의 러빙포(도 4b의 25)와, 상기 벨트 내부에서 상하로 승강 가능하며, 제자리에서 자유롭게 회전하도록 설치된 장력조절용 보조롤러(23)와, 상기 보조롤러(23)의 중심축에 연결되어 보조롤러를 지지해주는 지지대(미도시)로 구성된다.

상기 배향막 러빙장치는 상기 보조롤러(23)가 하강함에 따라 벨트(24)를 아래쪽으로 가압하면서 벨트(24)에 부착된 러빙포(25)에 의해 기판(20) 상면의 배향막이 러빙되도록 한다. 그리고, 러빙포(25)가 부착된 벨트(24)는 제 1 ,제 2 구동롤러(21,22)에 의해 일방향으로 움직이도록 하며. 기판(20)은 전진하는 스테이지(26)에 의해 일방향으로 움직이도록 함으로써 배향막 표면에 배향패턴을 형성한다.

따라서, 러빙롤에 러빙포를 부착할 때 발생하는 불량을 방지할 수 있다.

여기서, 제 1 ,제 2 구동롤러(21,22)와 보조롤러(23)는 동축방향으로 설치되고, 상기 제 1 ,제 2 구동롤러(21,22) 중 적어도 어느 하나가 구동되어야 하며, 롤 러의 회전속도는 각 롤러의 크기에 따라 달라지지만 대체로 1250∼1500rpm 정도로 한다. 상기 제 1 ,제 2 구동롤러(21,22)는 정회전 뿐만 아니라, 역회전도 가능하도록 설계하여 러빙 공정을 마친 후에는 러빙포(25)의 위치를 공정 전의 위치로 되돌릴 수 있도록 한다.

그리고, 상기 벨트(24)에 러빙포(25)를 부착할 때에는 벨트(24)의 전면에 부착하여도 되고 벨트(24)의 소정 부위에 기판 크기에 대응하는 크기로 부착하여도 된다.

상기 러빙포(25)는 기판(20)의 크기보다 조금 크게 설계하며, 러빙포를 벨트(24)에 부착하지 않고, 직접 제 1 ,제 2 구동롤러(21,22)에 걸어서 러빙하여도 된다.

배향막에 형성된 러빙포의 표결에 일정 각도를 주기 위해서는 스테이지 상측의 제 1 ,제 2 구동롤러(21,22) 및 보조롤러(23)를 일정 각도로 틀어주거나 또는 기판(20)의 전진방향을 일정각도로 틀어주면 된다.

도 5a 내지 도 5d를 참고로 하여 본 발명의 배향막 러빙장치를 이용한 액정표시소자의 제조방법을 살펴보면 다음과 같다.

먼저, 컬러필터층 어레이 기판에 빛샘 방지를 위한 블랙 매트릭스를 형성하고, 상기 블랙 매트릭스 사이에 염색법, 전착법, 안료분산법, 도포법 등을 사용하여 적,녹,청(red, green, blue)의 컬러필터층을 형성한 다음, 상기 컬러필터층을 포함한 전면에 ITO를 증착하여 공통전극을 형성한다.

다음, 박막트랜지스터 어레이 기판에 복수의 게이트 배선과 데이터 배선을 교차 형성하고, 상기 두 배선의 교차 부위에 게이트 전극, 게이트 절연막, 반도체층, 소스/드레인 전극으로 이루어진 박막트랜지스터를 형성한 후, 상기 박막트랜지스터의 드레인 전극과 연결되는 ITO 재질의 화소전극을 형성한다.

이어서, 상기의 여러 패턴들이 형성된 컬러필터층 어레이 기판 또는 박막트랜지스터 어레이 기판 상에 배향막 원액 일예로, 폴리이믹산을 떨어뜨려 회전도포법으로 고루 도포한 뒤, 고온에서 경화하고 건조하여 폴리이미드화 시킨다. 다음, 폴리이미드화된 배향막이 형성된 기판을 러빙 스테이지에 로딩시킨다.

도 5a에서와 같이, 기판(20)이 스테이지(26) 상에 탑재되면, 이전 공정으로부터 기판 두께의 데이터를 수신받은 보조롤러(23)가 적당한 위치까지 하강하여 도 5b에서와 같이, 기판(20)과의 일정 갭을 유지하게 된다. 이때, 러빙포는 기판에 형성된 배향막과 접촉하게 된다.

다음, 도 5c에서와 같이, 기판(20)이 탑재된 스테이지(26)는 정격속도로 전진하게 되고, 러빙포(25)가 부착된 벨트(24)는 제 1 구동롤러(21) 또는 제 2 구동롤러(22)에 의해 일방향으로 구동된다.

이 때, 보조롤러(23)는 구동되는 벨트(24)에 의해 제자리에서 회전하면서 벨트를 아래쪽으로 가압하게 되고, 러빙포(25)는 기판(20) 상의 폴리이미드막 표면을 문질러서 배향 패턴을 형성한다.

러빙공정이 끝난 후에는 도 5d에서와 같이, 보조롤러(23)는 상승되어 다음 러빙공정을 준비하고, 제 1 구동롤러(21) 또는 제 2 구동롤러(22)는 역방향으로 회전되어 러빙포(25)를 반대편으로 되감는다. (도 5a 참고)

상기와 같이 러빙공정이 끝난 후에는 컬러필터층 어레이 기판과 박막트랜지스터 어레이 기판을 대향 합착하고, 그 사이의 수 μm의 공간에 액정을 봉입하여 액정표시소자를 완성한다.

참고로, 전술한 바와 같이 기판을 전진시키고 러빙장치를 제자리 회전시키면서 러빙공정을 진행하여도 되지만, 기판을 고정시킨 뒤 러빙장치를 회전시킴과 동시에 전진시키면서 러빙공정을 진행하여도 무방하다.

그리고, 본 발명에 의한 배향막 러빙장치는 러빙롤에 러빙포가 부착되어 있는 것이 아니기 때문에 러빙롤을 고속으로 회전시켜 러빙하더라도, 진동증가에 의한 배향패턴의 불균일이 발생할 염려가 없다.

한편, 상기한 방법은 기판에 공통전극과 화소전극을 형성하여 평행한 전계를 유도하는 횡전계(IPS;In-plane switching) 모드 외에 TN(Twisted Nematic)모드, 강유전성(FLC) 모드, 폴리실리콘(poly-silicon) 모드, 수직배향(VA:Vertical Alignment) 모드 등에 이용할 수 있다.

상기와 같은 본 발명의 액정표시소자의 배향막 러빙장치 및 이를 이용한 배향막 러빙공정은 다음과 같은 효과가 있다.

첫째, 러빙롤에 러빙포를 부착하지 않음으로써 러빙포 부착시 발생하는 불량이 제거된다.

즉, 러빙롤에 러빙포를 잘못 부착함으로써 러빙포의 이음새가 맞지 않거나 또는 러빙포가 들뜸으로 인해 배향막 표면에 수직/수평띠 또는 스크래치가 생기게 되는데, 상기 불량들을 미연에 방지할 수 있으므로 액정분자를 균일하게 배향할 수 있고 화면 상에 얼룩이 생기는 것을 방지할 수 있다.

따라서, 소자의 표시품질이 향상된다.

둘째, 러빙롤에 러빙포가 부착되어 있는 것이 아니기 때문에 러빙롤의 고속 회전으로 인한 진동증가로 배향패턴이 불균일해지는 원인이 제거된다.

Claims (14)

1. 기판이 탑재되어 일방향으로 전진하는 스테이지;

   상기 스테이지의 상측에서 소정 간격 이격되도록 설치된 제 1 롤러 및 제 2 롤러;

   상기 제 1 롤러와 제 2 롤러 사이에 걸쳐져 구동되는 벨트;

   상기 벨트의 외주면에 부착된 러빙포;

   상기 벨트에 의하여 둘러싸인 공간 내부에 배치되며 상하로 승강 가능하도록 설치된 제 3 롤러로 구성되는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 배향막 러빙장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 제 3 롤러는 벨트를 아래쪽으로 가압해 주는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 배향막 러빙장치.
3. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 ,제 2 ,제 3 롤러는 동축방향으로 설치된 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 배향막 러빙장치.
4. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 ,제 2 롤러는 동일 높이로 설치된 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 배향막 러빙장치.
5. 제 1 항에 있어서, 상기 기판에는 배향막이 형성되어 있는 것을 특징으로 하 는 액정표시소자의 배향막 러빙장치.
6. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 ,제 2 롤러 중 적어도 어느 하나는 구동되는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 배향막 러빙장치.
7. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 ,제 2 롤러는 정회전 및 역회전이 가능한 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 배향막 러빙장치.
8. 제 1 항에 있어서, 상기 러빙포는 벨트의 전 면적에 부착되거나 또는 벨트의 일 부위에 부착되는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 배향막 러빙장치.
9. 제 1 항에 있어서, 상기 러빙포는 기판의 면적보다 크기가 큰 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 배향막 러빙장치.
10. 제 1 항에 있어서, 상기 제 3 롤러는 그 중심축이 지지대에 연결된 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 배향막 러빙장치.
11. 기판이 탑재되어 일방향으로 전진하는 스테이지;

    상기 스테이지의 상측에서 소정 간격 이격되도록 설치된 제 1 롤러 및 제 2 롤러;

    상기 제 1 롤러와 제 2 롤러 사이에 걸쳐지는 러빙포;

    상기 러빙포에 의하여 둘러싸인 공간 내부에 배치되며 상하로 승강 가능하도록 설치된 제 3 롤러로 구성되는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 배향막 러빙장치.
12. 청구항 1 내지 청구항 11 가운데 어느 한 항의 배향막 러빙장치를 이용한 배향막 러빙공정에 있어서,

    상기 배향막이 형성된 기판을 스테이지 상에 탑재시키는 단계와,

    상기 제 3 롤러를 하강시켜 배향막과 러빙포가 접촉하도록 하는 단계와,

    상기 제 1 및 제 2 롤러 가운데 적어도 하나를 회전시킴과 동시에, 상기 스테이지 또는 제 1 내지 제 3 롤러를 일방향으로 전진시켜 상기 배향막 상에 배향패턴을 형성하는 단계와,

    상기 기판에 대한 러빙이 끝나고 상기 제 3 롤러를 상승시키는 단계와,

    상기 러빙포를 다시 원위치로 되감는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 배향막 러빙공정.
13. 삭제
14. 삭제

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