KR100802653B1 - 광 위치추적 장치 및 이 장치의 검사 방법 - Google Patents

광 위치추적 장치 및 이 장치의 검사 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 광 위치추적 장치 및 이 장치의 검사 방법을 공개한다. 이 장치는 명령 신호에 응답하여 적어도 하나의 검사 동작 신호를 발생하는 컨트롤러, 상기 적어도 하나의 검사 동작 신호에 응답하여, 검사 동작 시에 검사 신호를 발생하는 검사 신호 발생부, 상기 적어도 하나의 검사 동작 신호에 응답하여, 검사 동작 시에 상기 검사 신호를 입력하고 동작을 수행하여 출력 신호를 출력하는 움직임 계산부, 및 상기 적어도 하나의 검사 동작 신호에 응답하여, 검사 동작 시에 상기 출력 신호가 정확한지를 판단하여 결과 신호를 출력하는 출력 신호 분석부를 구비하는 것을 특징으로 한다.
따라서, 검사 방법에 있어서 복잡도가 현저하게 줄어들며, 검사를 위한 고성능의 검사 장비를 사용하지 않아도 된다. 또한, 검사환경의 단순화와 최적화를 통해 검사시간을 단축할 수 있을 뿐만 아니라, 광 위치추적 장치가 검사를 위한 전용의 장치를 사용하지 않아도 광 위치추적 장치를 검사하는 것이 가능하다.

Description

광 위치추적 장치 및 이 장치의 검사 방법{Light location tracking device and test method of the same}
도1은 종래의 광 위치추적 장치의 구조를 설명하기 위한 블록도이다.
도2는 종래의 광 위치추적 장치의 검사를 위한 블록도를 나타낸 것이다.
도3a는 본 발명에 따른 자체 검사 기능을 갖는 광 위치추적 장치를 나타내는 블록도이다.
도3b는 본 발명에 따른 일 실시 예의 동작을 설명하기 위한 블록도이다.
도3c는 본 발명의 또 다른 실시 예의 동작을 설명하기 위한 블록도이다.
도4는 본 발명의 광 위치추적 장치에 구비되는 이미지 센서의 검사 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도5는 본 발명의 광 위치추적 장치에 구비되는 A/D 컨버터의 검사 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도6은 본 발명의 광 위치추적 장치에 구비되는 위치추적 모듈의 검사 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도7은 본 발명의 광 위치추적 장치에 구비되는 주파수 발생기의 검사 방법을 설명하기 위한 도면이다.
본 발명은 광 위치추적 장치에 관한 것으로, 특히 자체 검사 기능을 가지고 있어, 전용의 검사 장비를 필요로 하지 않는 광 위치추적 장치 및 이 장치의 검사 방법에 관한 것이다.
컴퓨터 입력수단의 하나인 위치추적 장치는 커서(Cursor) 혹은 포인터(Pointer)의 좌표를 직접 또는 간접적으로 컴퓨터에 지시하는데 사용하는 장치로서, 크게 볼을 회전시켜서 이동방향과 이동거리를 입력하는 볼 위치추적 장치와 위치추적 장치의 광원으로부터 방사된 빛에 의해 형성되는 표면 이미지(Surface image)의 이동을 추적하여 이동방향과 이동거리를 검출하는 광 위치추적 장치로 구분된다.
광 위치추적 장치는 기계적으로 볼의 동작을 감지하는 것이 아니고, 위치추적 장치의 광원으로부터 방출된 빛을 작업대 표면에서 반사시킴으로써 표면의 이미지(Image)를 형성하고, 고속으로 상기 이미지를 연속적으로 포착하여 이러한 이미지를 순차적으로 비교하고, 동작의 방향 및 거리를 검출하는 방식으로 구동하는 것으로, 접촉 대상의 움직임을 광학적으로 인식하고 인식된 값을 전기적 신호로 생성하여 컴퓨터로 전송함으로써 모니터 상의 커서의 위치를 나타내는 방식이다.
도1은 종래의 광 위치추적 장치의 일예를 나타낸 블록도로서, 광 위치추적 장치(100)는 복수개의 픽셀을 구비하는 이미지 센서(110), A/D 컨버터(120), 로직부(130), 주파수 발생기(140), 조명부(150), 및 렌즈(160)를 구비하고 있으며, 로 직부(130)는 위치추적 모듈(132)을 포함하며 인터페이스부(134), 입력부(136)를 구비한다. 렌즈(160)는 조명부(150)에서 조사하여 작업대표면으로부터 반사된 빛을 복수개의 픽셀을 구비하는 이미지 센서(110)로 전달하며, 점선은 조명부(150)로부터 조사된 빛이 진행하는 방향을 나타낸다.
도1에 나타낸 블록들 각각의 기능 및 동작을 설명하면, 다음과 같다.
복수개의 픽셀을 구비하는 이미지 센서(110)는 작업대표면으로부터 반사되는 빛을 렌즈(160)를 통해 입력받아 피사체의 이미지를 감지하고, 감지된 이미지에 대한 아날로그 신호를 출력한다.
A/D 컨버터(120)는 이미지 센서(110)로부터 입력된 아날로그 신호를 디지털 신호로 변환한다.
변환된 디지털 신호는 로직부(130)의 위치추적 모듈(132)로 인가되며, 위치추적 모듈(132)은 주파수 발생기(140)로부터 주기적으로 출력되는 클록 신호에 동기되어, 변환된 디지털 신호에 대응되는 움직임 값을 계산하여 좌표 신호를 출력한다.
입력부(136)는 버튼 또는 스크롤 장치 등으로 구성되며, 사용자의 조작에 따라 입력 신호를 출력한다.
인터페이스부(134)는 상기 입력 신호 및 좌표 신호에 응답하여 컴퓨터 등 외부 장치로 움직임 정보(INF)를 출력한다.
조명부(150)는 작업대표면으로 광을 조사하는 광원 및 상기 광원을 온, 오프 시키기 위한 제어 회로 등으로 구성될 수 있으며, 상기 광원으로는 발광 다이오드 등이 사용될 수 있다.
상기와 같은 장치들을 구비하는 광 위치추적 장치가 정상적으로 동작하는지 여부를 확인하기 위해서 광 위치추적 장치에 대한 검사가 이루어지며, 보통 이미지 센서(110), A/D 컨버터(120), 위치추적 모듈(132), 및 주파수 발생기(140)에 대해서 검사가 실시된다.
도2는 종래의 광 위치추적 장치의 검사를 위한 블록도로서, 검사 장치(300), 및 광 위치추적 장치(100)가 개별적으로 구비되어 있다.
검사 장치(300)에는 검사를 제어하기 위한 제어부(310), 검사를 위한 신호를 출력하는 검사 신호 발생기(330), 및 검사 신호가 입력된 장치로부터 출력되는 신호를 분석하여 이상 유무를 판별하는 출력 신호 분석기(350)가 구비되어 있다.
광 위치추적 장치(100)에는 다른 부분도 있지만, 설명의 편의상 이미지 센서(110), A/D 컨버터(120), 위치추적 모듈(132), 주파수 발생기(140)만을 도시하였다.
제어부(310)는 광 위치추적 장치(100)에 구비되는 이미지 센서(110), A/D 컨버터(120), 위치추적 모듈(132), 주파수 발생기(140) 중 적어도 하나 이상에 대한 검사를 실시하도록 검사시작 신호(Ts_sig)를 출력한다.
검사시작 신호(Ts_sig)를 인가받은 검사 신호 발생기(330)는 각각의 장치(110 ~ 140)를 검사하는데 필요한 검사 신호(T_sig1 ~ T_sig4)를 출력하고, 검사 신호(T_sig1 ~ T_sig4)에 응답하여 대응되는 장치는 출력 신호(O_sig1 ~ O_sig4)를 송출한다.
출력 신호(O_sig1 ~ O_sig4)는 검사 장치(300)의 출력 신호 분석기(350)에 인가되며, 출력 신호 분석기(350)는 각각의 출력 신호(O_sig1 ~ O_sig4)를 출력될 것으로 기대되는 이상적 신호와 비교하고 이상 유무를 판단하며, 판단 결과에 따라 결과 신호(Re_sig)를 제어부(310)에 전달한다.
광 위치추적 장치는 복수개의 픽셀을 구비하는 이미지 센서, A/D 컨버터, 및 위치추적 모듈 등의 회로들로 구성되어, 다양한 형태의 신호에 의해 동작이 이루어지기 때문에 다양한 형태의 신호를 출력하는 고성능의 검사 장비가 필요하게 된다. 더욱이 이미지 센서 검사를 위한 입력 신호는 조명부로부터 조사되는 빛이 피사체에 반사되어 형성되는 빛 형태의 이미지 신호이므로, 직접적 신호에 의한 입력이 불가능하고, 별도의 장치를 이용한 다양한 광 신호를 인가하여 검사를 진행해야 하며, 그에 따라 검사 시간이 많이 걸리게 된다.
또한, A/D 컨버터를 검사하기 위해서는 아날로그 신호를 외부에서 인가하고, A/D 컨버터의 출력을 외부에서 확인할 수 있는 장치가 부가적으로 추가되어야 한다. 또한, 복수개의 회로의 검사를 위한 별도의 검사 신호를 인가하기 위해 검사 핀(Pin) 내지 검사 패드(Pad)가 필요하게 된다.
본 발명의 목적은 자체 검사 기능을 가지고 있어, 고성능의 외부 검사 장비를 필요로 하지 않는 광 위치추적 장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 목적은 상기 목적을 달성하기 위한 광 위치추적 장치의 검사 방법을 제공하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 광 위치추적 장치는 명령 신호에 응답하여 적어도 하나의 검사 동작 신호를 발생하는 컨트롤러, 상기 적어도 하나의 검사 동작 신호에 응답하여, 검사 동작 시에 검사 신호를 발생하는 검사 신호 발생부, 상기 적어도 하나의 검사 동작 신호에 응답하여, 검사 동작 시에 상기 검사 신호를 입력하고 동작을 수행하여 출력 신호를 출력하는 움직임 계산부, 및 상기 적어도 하나의 검사 동작 신호에 응답하여, 검사 동작 시에 상기 출력 신호가 정확한지를 판단하여 결과 신호를 출력하는 출력 신호 분석부를 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 광 위치추적 장치는 상기 결과 신호를 외부로 전송하는 검사 인터페이스부를 더 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 광 위치추적 장치의 상기 컨트롤러는 상기 검사 인터페이스부로부터 결과 신호를 전송받는 외부 장치를 제어하는 제어 신호를 상기 검사 동작 신호와 동기시켜 추가적으로 출력하는 것을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 광 위치추적 장치의 상기 검사 신호는 제1 내지 제4 검사 신호를 포함하고, 상기 검사 신호 발생부는 상기 적어도 하나의 검사 동작 신호에 응답하여 이미지를 인식시키기 위한 상기 제1 검사 신호를 발생시키는 이미지 센서 검사 신호 발생 모듈, 상기 적어도 하나의 검사 동작 신호에 응답하여 시간에 따라 지속적으로 변화하는 아날로그 신호를 상기 제2 검사 신호로 발생시키는 A/D 컨버터 검사 신호 발생 모듈, 상기 적어도 하나의 검사 동작 신호에 응답하여 특정 형태의 움직임을 갖는 디지털 신호를 상기 제3 검사 신호로 발생 시키는 위치추적 모듈 검사 신호 발생 모듈, 및 상기 적어도 하나의 검사 동작 신호에 응답하여 일정시간 동안 활성화되는 신호를 상기 제4 검사 신호로 발생시키는 주파수 발생기 검사 신호 발생 모듈을 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 광 위치 추적 장치의 상기 출력 신호는 제1 내지 제4 출력 신호를 포함하고, 상기 움직임 계산부의 제1형태는 상기 검사 신호를 입력하여 이미지를 인식하고, 인식된 이미지에 대응하는 상기 제1 출력 신호를 출력하는 이미지 센서, 상기 제1 출력 신호를 디지털 신호로 변환하여 상기 제2 출력 신호를 출력하는 A/D 컨버터, 상기 제2 출력 신호를 입력하여 움직임 값을 계산하고, 계산된 움직임 값을 상기 제3 출력 신호로 출력하는 위치추적 모듈, 및 상기 검사 신호에 응답하여 소정의 주파수를 가지는 상기 제4 출력 신호를 출력하는 주파수 발생기를 구비하는 것을 특징으로 하고, 상기 움직임 계산부의 제2형태는 상기 적어도 하나의 검사 동작 신호에 응답하여, 검사 동작 시에 상기 제1 검사 신호를 입력하여 이미지를 인식하고, 인식된 이미지에 대응하는 상기 제1 출력 신호를 출력하는 이미지 센서, 상기 적어도 하나의 검사 동작 신호에 응답하여, 검사 동작 시에 상기 제2 검사 신호를 디지털 신호로 변환하여 상기 제2 출력 신호를 출력하는 A/D 컨버터, 상기 적어도 하나의 검사 동작 신호에 응답하여, 검사 동작 시에 상기 제3 검사 신호를 입력하고 움직임 값을 계산하여, 계산된 움직임 값을 상기 제3 출력 신호로 출력하는 위치추적 모듈, 및 상기 적어도 하나의 검사 동작 신호에 응답하여, 검사 동작 시에 상기 제4 검사 신호를 입력하여, 상기 제4 검사 신호가 활성화된 시간 동안 상기 제4 출력 신호를 출력하는 주파수 발생기를 구비 하는 것을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 광 위치추적 장치의 상기 결과 신호는 제1 내지 제4 결과 신호를 포함하고, 상기 출력 신호 발생부는 상기 적어도 하나의 검사 동작 신호에 응답하여 상기 제1 출력 신호를 입력하고, 상기 제1 출력 신호가 정확한지를 판단하여 상기 제1 결과 신호를 출력하는 이미지 센서 출력 신호 분석 모듈, 상기 적어도 하나의 검사 동작 신호에 응답하여 상기 제2 출력 신호를 입력하고, 상기 제2 출력 신호가 정확한지를 판단하여 상기 제2 결과 신호를 출력하는 A/D 컨버터 출력 신호 분석 모듈, 상기 적어도 하나의 검사 동작 신호에 응답하여 상기 제3 출력 신호를 입력하고, 상기 제3 출력 신호가 정확한지를 판단하여 상기 제3 결과 신호를 출력하는 위치추적 모듈 출력 신호 분석 모듈, 및 상기 적어도 하나의 검사 동작 신호에 응답하여 상기 제4 출력 신호를 입력하고, 상기 제4 출력 신호가 정확한지를 판단하여 상기 제4 결과 신호를 출력하는 주파수 발생기 출력 신호 분석 모듈을 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 광 위치추적 장치는 작업대표면으로 광을 방출하는 조명부, 상기 작업대표면으로부터 반사되는 광을 상기 이미지 센서로 전달하는 렌즈, 및 버튼 및 스크롤 장치를 구비하고, 사용자의 조작에 따라 입력 신호를 발생하는 입력부를 추가적으로 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 광 위치추적 장치의 상기 조명부는 상기 제1 검사 신호에 응답하여 상기 광의 세기를 조절하여 상기 이미지 센서가 인식하는 이미지에 변화를 주고, 상기 결과 신호에 응답하여 검사 결과를 표시하는 것 을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 광 위치추적 장치의 상기 이미지 센서는 상기 제1 검사 신호에 응답하여 이미지를 인식하는 시간을 조정하여 인식되는 이미지에 변화를 주는 것을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 광 위치추적 장치의 상기 명령 신호는 상기 입력부에 의해 입력되는 것을 특징으로 한다.
상기 다른 목적을 달성하기 위한 본 발명의 광 위치추적 장치의 검사 방법은 광 위치추적 장치의 검사 동작을 실행시키기 위한 명령 신호를 발생시키는 명령 신호 발생 단계, 상기 명령 신호에 응답하여 움직임 계산부를 검사하기 위한 적어도 하나의 검사 동작 신호를 광 위치추적 장치의 내부에서 발생하는 검사 동작 신호 발생 단계, 상기 적어도 하나의 검사 동작 신호에 응답하여 대응되는 검사 모듈을 검사하기 위한 검사 신호를 상기 광 위치추적 장치의 내부에서 발생하는 검사 신호 발생 단계, 상기 적어도 하나의 검사 동작 신호에 응답하여 상기 검사 신호를 입력하고, 움직임 계산부가 동작을 실행하여 출력 신호를 발생하는 출력 신호 발생 단계, 및 상기 적어도 하나의 검사 동작 신호에 응답하여 상기 출력 신호를 입력하고, 상기 출력 신호가 정확한지를 판단하여 결과 신호를 상기 광 위치추적 장치의 내부에서 발생하는 결과 신호 발생 단계를 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 다른 목적을 달성하기 위한 본 발명의 광 위치추적 장치의 검사 방법의 상기 검사 동작 신호 발생 단계는 상기 검사 동작 신호에 동기시켜 외부 장치를 제어하는 제어 신호를 추가적으로 발생하는 것을 특징으로 한다.
상기 다른 목적을 달성하기 위한 본 발명의 광 위치추적 장치의 검사 방법의 상기 출력 신호는 제1 내지 제4 출력 신호를 포함하고, 상기 출력 신호 발생 단계의 제1형태는 상기 검사 신호에 응답하여 이미지를 인식하고, 인식된 이미지에 대응하는 상기 제1 출력 신호를 출력하는 이미지 센싱 단계, 상기 제1 출력 신호를 디지털 신호로 변환하여 상기 제2 출력 신호를 출력하는 변환 단계, 상기 검사 신호에 응답하여 소정의 주파수를 가지는 상기 제4 출력 신호를 출력하는 주파수 발생 단계, 및 상기 제2 출력 신호를 입력하여 움직임 값을 계산하고, 계산된 움직임 값을 상기 제4 출력 신호에 동기시켜 상기 제3 출력 신호를 출력하는 위치추적 단계를 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 다른 목적을 달성하기 위한 본 발명의 광 위치추적 장치의 검사 방법의 상기 검사 신호는 이미지 센서가 이미지를 인식하도록 하는 제1 검사 신호와, 시간에 따라 지속적으로 변화하는 제2 검사 신호와, 특정 형태의 움직임을 갖는 제3 검사 신호와, 일정시간 동안 활성화되는 제4 검사 신호를 포함하고, 상기 검사 신호 발생 단계는 상기 적어도 하나의 검사 동작 신호에 응답하여 상기 제1 내지 제4 검사 신호 중 적어도 하나 이상을 출력하는 것을 특징으로 한다.
상기 다른 목적을 달성하기 위한 본 발명의 광 위치추적 장치의 검사 방법의 상기 출력 신호는 상기 이미지 센서에 의해 인식된 이미지에 대응하는 제1 출력 신호와, 상기 제2 출력 신호를 디지털 신호로 변환한 제2 출력 신호와, 상기 제3 검사 신호로부터 계산된 움직임 값을 표현하는 제3 출력 신호와, 상기 제4 검사 신호가 활성화된 시간동안 출력되는 소정의 주파수를 가지는 제4 출력 신호를 포함하 고, 상기 출력 신호 발생 단계의 제2형태는 상기 제1 내지 제4 출력 신호 중 상기 검사 신호 발생 단계에서 출력된 검사 신호와 대응하는 신호만을 출력하는 것을 특징으로 한다.
상기 다른 목적을 달성하기 위한 본 발명의 광 위치추적 장치의 검사 방법의 상기 결과 신호는 상기 제1 출력 신호가 정확한지를 판단하여 출력되는 제1 결과 신호와, 상기 제2 출력 신호가 정확한지를 판단하여 출력되는 제2 결과 신호와, 상기 제3 출력 신호가 정확한지를 판단하여 출력되는 제3 결과 신호와, 상기 제4 출력 신호가 정확한지를 판단하여 출력되는 제4 결과 신호를 포함하고, 상기 결과 신호 발생 단계는 상기 제1 내지 제4 결과 신호 중 상기 출력 신호 발생 단계에서 출력된 출력 신호와 대응하는 신호만을 출력하는 것을 특징으로 한다.
상기 다른 목적을 달성하기 위한 본 발명의 광 위치추적 장치의 검사 방법의 상기 결과 신호 발생 단계는 상기 적어도 하나의 검사 동작 신호에 응답하여 제1 내지 제4 기준 신호를 발생하는 기준 신호 발생 단계, 및 상기 제1 내지 제4 기준 신호와 상기 제1 내지 제4 출력 신호를 각각 비교하여 상기 제1 내지 제4 출력 신호가 정확한지를 판단하는 판단 단계를 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 다른 목적을 달성하기 위한 본 발명의 광 위치추적 장치의 검사 방법의 상기 명령 신호 발생 단계는 광 위치추적 장치의 입력부를 조작함으로써 이루어지는 것을 특징으로 한다.
상기 다른 목적을 달성하기 위한 본 발명의 광 위치추적 장치의 검사 방법의 상기 출력 신호 발생 단계의 제3형태는 상기 검사 신호에 응답하여 상기 광 위치추 적 장치의 조명부로부터 출력되는 빛의 세기를 조정하는 조정단계, 상기 조정된 빛의 세기에 따라 이미지를 감지하는 이미지 센싱 단계, 및 상기 감지된 이미지에 대응하는 상기 출력 신호를 출력하는 출력 단계를 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 다른 목적을 달성하기 위한 본 발명의 광 위치추적 장치의 검사 방법의 상기 출력 신호 발생 단계의 제4형태는 상기 검사 신호에 응답하여 상기 광 위치추적 장치의 이미지 센서의 감지 시간을 조정하는 조정단계, 상기 조정된 감지 시간에 따라 이미지를 감지하는 이미지 센싱 단계, 및 상기 감지된 이미지에 대응하는 상기 출력 신호를 출력하는 출력 단계를 구비하는 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부된 도면을 참고로 하여 본 발명의 광 위치추적 장치 및 이 장치의 검사 방법을 설명하면 다음과 같다.
도3a는 본 발명에 따른 광 위치추적 장치의 내부 구성을 나타낸 블록도로서, 광 위치추적 장치(500)는 검사 인터페이스부(510), 컨트롤러(520), 적어도 하나 이상의 검사 신호 발생 모듈을 구비하는 검사 신호 발생부(530), 적어도 하나 이상의 출력 신호 분석 모듈을 구비하는 출력 신호 분석부(550), 및 움직임 계산부(540)를 구비하며, 상기 움직임 계산부는 도1에서 설명한 종래의 광 위치추적 장치에 구비되는 이미지 센서(541), 조명부(542), 렌즈(543), AD 컨버터(544), 및 위치추적모듈(545_1)과 입력부(542_2)와 인터페이스부(542_3)를 구비하는 로직부(545)를 구비한다.
즉, 본 발명의 광 위치추적 장치(500)는 종래의 광 위치추적 장치와는 달리 검사 기능을 위한 장치들(즉, 검사 인터페이스부(510), 컨트롤러(520), 검사 신호 발생부(530), 출력 신호 분석부(550))을 내부에 구비하고 있다. 이로 인해, 광 위치추적 장치(500)의 동작은 정상적 광 위치추적 장치의 기능을 실행하는 정상 모드와 검사를 실행하기 위한 검사 모드로 구분된다.
검사 인터페이스부(510)는 컴퓨터 또는 외부 장치 등과 연결되어 외부로부터 광 위치추적 장치의 검사를 위한 명령 신호를 인가받고, 상기 컴퓨터 또는 외부 장치 등으로 검사 결과 등을 출력하는 장치이다.
컨트롤러(520)는 상기 명령 신호에 응답하여 광 위치추적 장치를 검사하는 검사 모드 기능을 실행하기 위한 검사 동작 신호 또는 움직임을 감지하는 기능을 실행하는 정상 모드 기능을 실행하기 위한 정상 동작 신호를 출력한다. 상기 명령 신호는 입력부(542_2)를 통하여 입력될 수도 있으며, 이미지 센서(541)를 통하여 입력될 수도 있다.
또한, 컨트롤러(520)는 검사 인터페이스부(510)를 통해 광 위치추적 장치(500)의 동작과 연계되는 외부 장치를 제어하는 제어 신호를 상기 검사 동작 신호에 동기시켜 발생할 수도 있다. 예를 들면, 광 위치추적 장치는 검사 인터페이스부(510)를 통해 광 위치추적 장치로 전원 전압을 인가하거나, 검사 온도를 조절하는 외부 장치와 연결될 수 있으며, 이 경우에 컨트롤러(520)는 제어 신호(con)를 발생함으로써 상기 외부 장치를 제어하여 상기 전원 전압을 변경하거나, 검사 온도를 조절할 수 있다.
움직임 계산부(540)는 이미지 센서(541), 조명부(542), 렌즈(543), A/D 컨버 터(544), 주파수 발생기(546), 및 위치추적 모듈(545_1)과 입력부(545_2)와 인터페이스부(545_3)를 구비하는 로직부(545)로 구성되며, 동작은 도1의 해당하는 블록과 동일한 기능을 수행하므로 도1을 참고로 하면 될 것이다.
검사 신호 발생부(530)는 이미지 센서 검사 신호 발생 모듈(531), A/D 컨버터 검사 신호 발생 모듈(533), 위치추적 모듈 검사 신호 발생 모듈(535), 및 주파수 발생기 검사 신호 발생 모듈(537)을 구비한다.
검사 신호 발생부(530)는 정상 모드에서는 별도의 기능을 수행하지 않으며, 광 위치추적 장치가 검사 모드로 동작할 경우에 컨트롤러(520)로부터 검사 모드를 수행하기 위한 검사 동작 신호를 인가받아 동작한다.
검사 신호 발생부(530)의 이미지 센서 검사 신호 발생 모듈(531), A/D 컨버터 검사 신호 발생 모듈(533), 위치추적 모듈 검사 신호 발생 모듈(535), 및 주파수 발생기 검사 신호 발생 모듈(537) 각각은 컨트롤러(520)로부터 검사 동작 신호를 인가받으면, 대응되는 이미지 센서(541), A/D 컨버터(544), 위치추적 모듈(545_1), 및 주파수 발생기(546) 각각을 검사하기 위한 검사 신호를 출력한다.
출력 신호 분석기(550)는 이미지 센서 출력 신호 분석 모듈(551), A/D 컨버터 출력 신호 분석 모듈(553), 위치추적 모듈 출력 신호 분석 모듈(555), 및 주파수 발생기 출력 신호 분석 모듈(557)을 구비한다.
출력 신호 분석기(550)는 정상 모드에서는 별도의 기능을 수행하지 않으며, 광 위치추적 장치가 검사 모드로 동작할 경우에 컨트롤러(520)로부터 검사 모드를 수행하기 위한 검사 동작 신호를 인가받아 동작한다.
출력 신호 분석기(550)의 이미지 센서 출력 신호 분석 모듈(551), A/D 컨버터(553), 위치추적 모듈 출력 신호 분석 모듈(555), 및 주파수 발생기 출력 신호 분석 모듈(557) 각각은 대응되는 이미지 센서(541), A/D 컨버터(544), 위치추적 모듈(545_1), 및 주파수 발생기(546)로부터 출력 신호를 전송받아, 이상 유무를 판단하기 위한 기준 신호와 비교하여 각 장치의 이상 유무를 검사 결과 신호로써 출력한다.
본 발명의 광 위치추적 장치(500)의 설명을 위해 광 위치추적 장치는 초기에 위치추적 장치로서의 기능을 실행하는 정상 모드로 동작하도록 설정된다고 가정한다.
정상 모드 시의 동작은 초기 설정에 따라 정상 모드로 동작이 이루어지도록 컨트롤로(520)로부터 출력되는 정상 동작 신호가 움직임 계산부(540)로 전송이 되며, 움직임 계산부(540)의 동작은 도1의 동작과 같으므로 도1의 설명을 참고로 하면 쉽게 이해될 것이고, 여기서는 검사 모드에 따른 동작에 대해서만 설명한다.
도3b는 본 발명의 광 위치추적 장치의 검사 모드에 따른 일 실시 예를 나타낸 도면으로, 광 위치추적 장치(500)에 구비되는 장치들은 도3a의 구성 요소와 같으며 움직임 계산부(540)는 설명의 편의상 일부 장치들 만을 도시하였다.
도3b를 참고로 하여 각각의 블록의 동작을 설명하면, 다음과 같다.
컨트롤러(520)는 외부로부터 명령 신호(COM)를 검사 인터페이스부(510)를 통해 전송받아 움직임 계산부(540) 및 검사 신호 발생부(530)에 검사 동작 신호(Op_sig0)를 출력하고, 출력 신호 분석부(550)의 출력 신호 분석 모듈들(551 ~ 557) 각각에 검사 동작 신호(Op_sig1 ~ Op_sig4)를 출력한다. 도시하지는 않았지만, 상기 명령 신호(COM)는 움직임 계산부(540)의 입력부(미도시) 또는 이미지 센서(541)를 통해 입력되는 것으로 구성될 수도 있다. 예를 들면, 마우스 버튼 등을 특정의 방법으로 조작함으로써 입력되거나, 이미지 센서(541)를 통해 특정의 이미지를 인식시킴으로써 입력되는 것으로 구성될 수도 있다. 또한, 도 3(a)에서 설명한 바와 같이, 컨트롤러(520)는 검사 인터페이스부(510)를 통하여 검사 인터페이스부(510)와 연결된 외부 장치를 제어하기 위한 제어 신호(con)를 출력할 수도 있다.
검사 신호 발생부(530)는 상기 검사 동작 신호(Op_sig0)에 응답하여 검사 신호(Ti_sig0)를 출력한다. 예를 들면, 특정의 명령 신호(COM)가 입력되면 컨트롤러(520)는 상기 명령 신호(COM)에 응답하여 검사 동작 신호(Op_sig0)를 검사 신호 발생부(530)로 출력하고, 검사 신호 발생부(530)는 상기 검사 동작 신호(Op_sig0)에 응답하여 이미지 센서 검사 신호 발생 모듈(531)을 이용하여 움직임 계산부(540)의 이미지 센서(541) 또는 조명부(542)에 검사 신호(Ti_sig0)를 출력한다.
움직임 계산부(540)는 상기 검사 동작 신호(Op_sig0) 및 검사 신호(Ti_sig0)에 응답하여 조명부(542) 등을 이용하여 이미지 센서(541)가 특정의 이미지를 인식하도록 한다. 이미지 센서(541)는 제1 출력 신호로서 인식된 이미지에 대응되는 아날로그 데이터 신호(To_sig1)를 출력한다. 이 때, 특정의 이미지는 검사 환경에서 제공될 수 있으며, 이미지 센서(541) 및 조명부(542)는 상기 검사 신호(Ti_sig0)에 응답하여 이미지 센서(541)가 인식하는 이미지에 변화를 주도록 구성될 수 있다. 예를 들면, 이미지 센서(541)가 이미지를 인식하는 시간 또는 조명부(542)에서 발 생시키는 빛의 세기 등을 조정함으로써 이미지 센서(541)가 인식하는 이미지에 변화를 줄 수 있다.
A/D 컨버터(544)는 상기 아날로그 데이터 신호(To_sig1)에 응답하여 제2 출력 신호로서 디지털 신호(To_sig2)를 출력한다.
위치추적 모듈(545_1)은 상기 디지털 신호(To_sig2)에 응답하여 제3 출력 신호(To_sig3)로서 출력되는 좌표 신호를 제4 출력 신호(To_sig4)인 주파수 발생기(546)의 클록 신호에 동기화하여 출력한다. 주파수 발생기(546)는 상기 검사 동작 신호(Op_sig0) 및 검사 신호(Ti_sig0)에 응답하여 소정의 주파수를 가지는 클럭 신호(To_sig4)를 제4 출력 신호로서 출력한다. 도3b에서는 위치추적 모듈(545_1)이 주파수 발생기(546)로부터 출력된 클럭 신호인 제4 출력 신호(To_sig4)에 동기시켜 제3 출력 신호(To_sig3)를 출력하는 경우를 예시하였으나, 외부로부터 입력되는 클럭 신호에 동기시켜 제3 출력 신호(To_sig3)를 출력하도록 구성될 수도 있다.
출력되는 신호들(To_sig1 ~ To_sig4) 각각은 출력 신호 분석부(550)의 이미지 센서 출력 신호 분석 모듈(551), A/D 컨버터 출력 신호 분석 모듈(553), 위치추적 모듈 출력 신호 분석 모듈(555), 및 주파수 발생기 출력 신호 분석 모듈(557) 각각으로 입력된다.
출력 신호 분석부(550)의 출력 신호 분석 모듈들(551 ~ 557) 각각은 컨트롤러(520)로부터 인가받은 검사 동작 신호들(Op_sig1 ~ Op_sig4)에 응답하여 기준 신호를 발생하고, 움직임 계산부(540)로부터 인가받은 출력 신호들(To_sig1 ~ To_sig4)과 기준 신호들을 비교하고, 이상 유무를 판단하여 검사 결과 신호 들(Re_sig1 ~ Re_sig4)을 검사 인터페이스부(510)를 통해 외부로 전송한다.
도3b의 실시 예는 컨트롤러(520)로부터 출력되는 검사 동작 신호(Op_sig0) 및 검사 신호 발생부(530)로부터 출력되는 검사 신호(Ti_sig0)를 인가받은 움직임 계산부(540)의 각 장치들의 출력이 다음 장치의 입력으로 인가되어 검사 과정이 이루어진다. 도3b에서는 검사 신호 발생부(530)에서 검사 동작 신호(Op_sig0)에 응답하여 검사 신호(Ti_sig0)가 출력되는 경우를 예시하였으나, 컨트롤러(520)에서 검사 신호(Ti_sig0)가 출력되도록 구성될 수도 있다. 또한, 검사 신호(Ti_sig0) 없이 움직임 계산부(540)가 컨트롤러(520)에서 출력되는 검사 동작 신호(Op_sig0)에만 응답하여 상술한 검사 동작을 수행하도록 구성될 수도 있다.
즉, 종래에는 광 위치추적 장치를 검사하고자 할 경우에, 검사를 위한 전용 검사 장비와 연결하여, 상기 전용 검사 장비로부터 필요한 검사 신호를 인가받아 검사를 실시하였으나, 본 발명의 광 위치추적 장치는 상기 전용 검사 장비뿐만 아니라 상기 컨트롤러(520)를 구동하기 위한 프로그램이 설치된 일반 시스템에서 검사를 실시할 수 있다.
도3b에서 설명한 방법으로 진행되는 검사에서는 검사 신호를 출력하기 위한 검사 신호 발생부(530)의 동작이 간단하므로 그 구성이 간단해질 수 있으며, 구성 방법에 따라 검사 신호 발생부(530)의 동작을 필요로 하지 않을 수도 있으므로 광 위치 추적 장치의 구성 및 그 검사 방법이 간단하다는 장점이 있을 수 있으나, 특정 장치의 검사를 선택하여 검사를 할 수 없으며, 하나의 장치의 출력이 이상이 있을 경우 다음 장치의 정상적 출력을 기대하기 어렵다는 단점이 있다.
도3c는 본 발명의 광 위치추적 장치의 검사 모드에 따른 또 다른 실시 예를 나타낸 도면으로, 광 위치추적 장치(500)에 구비되는 장치들은 도3a의 구성 요소와 같으며 움직임 계산부(540)는 설명의 편의상 일부의 장치들만을 도시하였다.
도3c를 참고하여 각 블록의 동작을 설명하면, 다음과 같다.
컨트롤러(520)는 외부로부터 명령 신호(COM)를 검사 인터페이스부(510)를 통해 전송받아 움직임 계산부(540)에 검사 동작 신호(Op_sig0)를, 검사 신호 발생부(530)의 검사 신호 발생 모듈들(531 ~ 537) 각각에 검사 동작 신호(Op_sig1 ~ Op_sig4)를, 출력 신호 분석부(550)의 출력 신호 분석 모듈들(551 ~557) 각각에 상기 검사 동작 신호(Op_sig1 ~ Op_sig4)를 출력한다. 도시하지는 않았지만, 상기 명령 신호(COM)는 움직임 계산부(540)의 입력부(미도시) 또는 이미지 센서(541)를 통해 입력되는 것으로 구성될 수도 있다. 예를 들면, 마우스 버튼 등을 특정의 방법으로 조작함으로써 입력되거나, 이미지 센서(541)를 통해 특정의 이미지가 인식되도록 함으로써 입력되는 것으로 구성될 수도 있다. 또한, 상술한 바와 같이, 컨트롤러(520)는 검사 인터페이스부(510)와 연결되어 있는 외부 장치를 제어하기 위한 제어 신호(con)도 출력하도록 구성될 수 있다.
또한, 인가되는 명령 신호(COM)는 사용자의 목적에 따라 하나 내지 복수개의 장치를 검사하기 위한 신호일 수 있다. 예를 들어, 명령 신호(COM)는 이미지 센서(541)만을 검사하기 위한 신호일 수도 있으며, 위치추적 모듈(545_1) 및 주파수 발생기(546)의 두 장치를 검사하기 위한 신호일 수도 있다.
검사 신호 발생부(530) 및 출력 신호 분석부(550)로 출력되는 검사 동작 신 호(Op_sig1 ~ Op_sig4)는 장치들 중 명령 신호(COM)에 따라 검사를 실시하기 위한 장치에 대응되는 신호만이 출력된다. 가령, 명령 신호(COM)가 A/D 컨버터(544)만을 검사하기 위한 신호라면, 컨트롤러(520)는 A/D 컨버터(544)의 검사를 위해 검사 동작 신호(Op_sig2)를 출력하게 된다. 또한, 명령 신호(COM)가 모든 장치들(541 ~ 546)의 검사를 위한 신호라면, 컨트롤러(520)는 모든 장치들(541 ~ 546)의 검사를 위해 검사 동작 신호(Op_sig1 ~ Op_sig4)를 출력한다.
검사 동작 신호(Op_sig1 ~ Op_sig4)를 인가받은 검사 신호 발생부(530)의 이미지 센서 검사 신호 발생 모듈(531), A/D 컨버터 검사 신호 발생 모듈(533), 위치추적 모듈 검사 신호 발생 모듈(535), 및 주파수 발생기 검사 신호 발생 모듈(537) 각각은 대응되는 움직임 계산부(540)의 이미지 센서(541), A/D 컨버터(544), 위치추적 모듈(545_1), 및 주파수 발생기(546)를 검사하기 위한 검사 신호(Ti_sig1 ~ Ti_sig4)를 출력한다.
움직임 계산부(540)의 이미지 센서(541), A/D 컨버터(544), 위치추적 모듈(545_1), 및 주파수 발생기(546) 각각은 대응되는 검사 신호(Ti_sig1 ~ Ti_sig4)를 입력받아 동작을 실행하고 각각 출력 신호(To_sig1 ~ To_sig4)를 출력한다.
A/D 컨버터(544), 위치추적 모듈(545_1), 주파수 발생기(546)는 대응되는 검사 신호 발생 모듈(533 ~ 537)의 검사 신호(Ti_sig2 ~ Ti_sig4)로부터 원하는 신호를 얻을 수 있지만, 이미지 센서(541)는 검사를 위해 특정 형태의 이미지를 입력시켜야 하므로, 특정 제어를 통해 이러한 이미지를 발생시켜야 한다.
이미지 센서(541)의 검사를 위한 검사 신호(Ti_sig1)는 이미지 센서를 제어 하기 위한 신호(Ti_sig1′) 및 조명부(542)를 제어하기 위한 신호(Ti_sig1″)를 포함하며, 검사를 위한 이미지가 이미지 센서(541)에 의해 인식될 수 있도록 한다. 검사를 위한 이미지는 검사 환경에서 제공되는 바닥 이미지가 될 수도 있다. 또한, 이미지 센서(541)의 검사를 위한 특정 형태의 이미지는 조명부(542)의 제어를 통해 빛의 세기를 조절하거나, 이미지 센서(541)가 빛을 받아들이는 상태(예를 들면, 빛을 받아들이는 시간)를 조절하는 등의 방법을 사용하여 이미지 센서(541)가 정상 동작시와 다른 형태의 이미지를 인식하도록 구성될 수도 있다.
출력 신호 분석부(550)의 이미지 센서 출력 신호 분석 모듈(551), A/D 컨버터 출력 신호 분석 모듈(553), 위치추적 모듈 출력 신호 분석 모듈(555), 및 주파수 발생기 출력 신호 분석 모듈(557) 각각은 이미지 센서(541), A/D 컨버터(544), 위치추적 모듈(545_1), 및 주파수 발생기(546)와 대응되며, 검사 동작 신호(Op_sig1 ~ Op_sig4)를 인가받아 동작을 실행하고, 이상 유무를 판단하기 위한 기준 신호를 발생시킨다.
또한, 출력 신호 분석부(550)의 출력 신호 분석 모듈들(551 ~ 557) 각각은 대응되는 장치들(541 ~ 546)로부터 출력 신호(To_sig1 ~ To_sig4)를 인가받아 상기 기준 신호와 비교하여 장치의 이상 유무를 검사 결과 신호(Re_sig1 ~ Re_sig4)로써 출력한다.
검사 결과 신호(Re_sig1 ~ Re_sig4)는 생산 작업자가 쉽게 인식할 수 있도록 광 위치 추적 장치에 사용되는 조명부(542)를 통해 출력하거나, 검사 인터페이스부(510)를 통해 외부에 별도의 장치(미도시)에 전달된다. 광 위치 추적 장치용 반 도체 검사의 경우는 검사 결과 신호(Re_sig1~Re_sig4)만을 검사 장비로 입력하면 된다. 이 경우, 전용의 검사 장비가 아니더라도, 테스트를 위해 필요한 프로그램이 저장된 장치이면 검사 장비로 사용할 수 있다.
상기에서는 초기에 광 위치추적 장치(500)가 정상 모드로 동작하게 설정되어 있는 상태에서 외부의 명령 신호(COM)를 인가받아 검사 모드로 동작하는 것으로 설명하였으나, 반대로 초기에 검사 모드로 설정해 놓은 상태에서 검사를 실시한 후에 정상 모드로 전환하여 사용할 수도 있다.
또한, 광 위치추적 장치의 외부에 정상 모드 내지 검사 모드를 선택하기 위한, 가령 온/오프의 기능을 하는 버튼을 하나 구비하여 온일 경우에는 정상 모드로 동작을 하고 오프일 경우에는 검사 모드로 동작을 하도록 장치를 구성할 수도 있을 것이다.
이 경우, 각 장치의 이상 유무를 판단하기 위한 LED 등을 함께 구비하여 정상일 때는 녹색을, 이상이 있을 경우에는 적색을 갖도록 함으로써 사용자가 이상 유무를 확인할 수 있도록 장치를 구성하는 것도 가능하다.
즉, 종래에는 광 위치추적 장치를 검사하기 위해서는 검사를 위한 전용의 검사 장비와 연결하여 검사를 실시하였으나, 본 발명은 광 위치추적 장치의 검사를 위해서 생산 작업자가 마우스 버튼을 특정 조합으로 조작하거나, 이미지 센서를 통해 명령 신호를 입력을 시키거나 유사한 신호를 일반 시스템으로 발생시켜서 간단히 검사를 실시할 수 있다. 또한, 광 위치추적 장치용 반도체의 검사를 위해서도 전용 검사 장비가 없더라도 검사 동작 신호(Op_sig1~Op_sig4)만 발생시키면 검사가 가능하다.
본 발명의 광 위치추적 장치의 검사 방법을 도3b, c를 참조로 하여 각각 따로 상술하였지만, 도3b에서 설명한 방법을 통해 간략히 검사를 실시하여, 이상이 없을 경우에는 광 위치추적 장치를 정상 모드로 사용하고, 이상이 있을 경우에는 도3c에서 설명한 방법을 통해 상세 검사를 실시하는 등의 방법으로도 사용할 수 있을 것이다.
이하, 도4 내지 도7을 참조하여 검사가 실시되는 각 장치들의 검사 방법을 설명한다.
도4는 이미지 센서의 검사 방법을 설명하기 위한 도면으로, 광 위치추적 장치(500)에 구비되어 있는 이미지 센서 검사 신호 발생 모듈(531), 이미지 센서(541), 이미지 센서 출력 신호 분석 모듈(551), 및 각 과정에서의 출력 신호에 대응하는 이미지(Im_A ~ Im_C)가 도시되어 있다. 도 4에서, Im_A는 검사 환경 및 검사 신호(Ti_sig1)에 의해 형성되는 이미지를, Im_B1 및 Im_B2는 실제 이미지 센서(541)가 인식한 이미지를, Im_C는 검사 동작을 통하여 이미지 센서(541)가 인식할 것으로 예상되는 이미지를 각각 나타낸다.
도3c, 도4를 참조하여 이미지 센서의 검사 방법을 설명하면, 다음과 같다.
컴퓨터 또는 외부 장비로부터 이미지 센서(541)를 검사하기 위한 명령 신호(COM)가 검사 인터페이스부(510)를 통해 컨트롤러(520)에 인가되면, 컨트롤러(520)는 이미지 센서(541)의 검사를 위한 동작 신호(Op_sig1)를 이미지 센서 검사 신호 발생 모듈(531), 및 이미지 센서 출력 신호 분석 모듈(551)에 출력한다. 여기서, 검사하기 위한 명령 신호(COM)는 생산 작업자가 마우스의 특정 버튼 신호 혹은 이미지 센서를 통한 입력을 통해 발생시키거나, 외부 시스템을 통해 발생시킨다. 광 위치 추적 장치용 반도체의 검사를 위해서는 검사 장치에서 이 신호를 발생시키는 것은 당연하다.
이미지 센서 검사 신호 발생 모듈(531)로부터 출력되는 검사 신호(Ti_sig1)는 상기에서 설명하였듯이 이미지 센서(531), 및 조명부(542)를 제어하여 검사에 필요한 특정의 이미지를 형성하기 위한 신호이다. 즉, 이미지 센서(541)를 검사하는 경우에, 검사 환경에서 특정 형태를 가지는 이미지가 제공되고, 이미지 센서(531) 및/또는 조명부(542)는 상기 검사 신호(Ti_sig1)에 응답하여 동작함으로써 이미지 센서(541)가 상기 특정 형태를 가지는 이미지를 인식하도록 한다. 이 때, 적절한 검사 신호(Ti_sig1)를 출력함으로써 이미지 센서(541)가 정상 모드 동작시와 다르게 상기 특정 형태의 이미지를 인식하도록 할 수 있다.
이미지 센서(541)는 이미지 센서 검사 신호 발생 모듈(531)로부터 출력되는 검사 신호(Ti_sig1)에 응답하여 동작을 실행한 후, 인식된 이미지에 대한 출력 신호(To_sig1)를 송출한다. 이미지 센서 출력 신호 분석 모듈(592)은 출력 신호(To_sig1)를 이상적인 검사 출력 모델 신호와 비교하여 일치되는지의 여부를 확인하고, 일치 여부에 따라 이미지 센서(541)의 이상 유무를 판단하여 결과 신호(Re_sig1)를 검사 인터페이스부(510)를 통해 외부의 시스템(미도시)에 전송하거나, 조명부(542)를 통해 표시할 수 있다.
예를 들어, 검사 환경 및 검사 신호(Ti_sig1)에 의해 형성되는 이미지가 이 미지(Im_A)이고, 검사 신호(Ti_sig1)에 응답하여 출력되는 이미지 센서(541)의 출력 신호(To_sig1)가 이미지(Im_B1)의 정보를 갖는 신호라면, 출력 신호(To_sig1)가 검사 기준 신호인 이미지(Im_C)의 정보를 갖는 신호와 같으므로 이미지 센서 출력 신호 분석 모듈(551)의 검사 결과 신호(Re_sig1)는 이상이 없는 것으로 출력된다.
반면, 검사 신호(Ti_sig1)에 응답하여 출력되는 이미지 센서(541)의 출력 신호(To_sig1)가 이미지(Im_B2)의 정보를 갖는 신호인 경우에는, 출력 신호(To_sig1)는 이미지 센서 출력 신호 분석 모델(551)의 이미지(Im_C)의 정보를 갖는 검사 기준 신호와 다르므로, 검사 결과 신호(Re_sig1)는 이상이 있는 것으로 출력된다.
도5는 A/D 컨버터의 검사 방법을 설명하기 위한 도면으로, 광 위치추적 장치(500)에 구비되어 있는 A/D 컨버터 검사 신호 발생 모듈(533), A/D 컨버터(544), A/D 컨버터 출력 신호 분석 모듈(553), 및 각 과정에서의 출력 신호(Ana_D ~ Ana_F)가 도시되어 있다.
도3c, 도5를 참조하여 A/D 컨버터의 검사 방법을 설명하면, 다음과 같다.
컴퓨터 또는 외부 장비 등 외부의 시스템으로부터 A/D 컨버터(544)를 검사하기 위한 명령 신호(COM)가 검사 인터페이스부(510)를 통해 컨트롤러(520)에 인가되면, 컨트롤러(520)는 A/D 컨버터(544)의 검사를 위한 검사 동작 신호(Op_sig2)를 A/D 컨버터 검사 신호 발생 모듈(533), 및 A/D 컨버터 출력 신호 분석 모듈(553)에 출력한다.
A/D 컨버터 검사 신호 발생 모듈(533)은 상기 검사 동작 신호(Op_sig2)에 응답하여 검사 신호(Ti_sig2)를 출력한다. 예를 들면, A/D 컨버터 검사 신호 발생 모 듈(533)은 검사에 필요한 시간에 따라 지속적으로 변화하는 아날로그 값의 신호를 발생시켜 검사 신호(Ti_sig2)로 출력한다.
A/D 컨버터(544)는 A/D 컨버터 검사 신호 발생 모듈(533)로부터 출력되는 아날로그 값인 검사 신호(Ti_sig2)를 입력받아 아날로그-디지털 변환 동작을 실행한 후 출력 신호(To_sig2)를 출력한다. A/D 컨버터 출력 신호 분석 모듈(553)은 출력 신호(To_sig2)를 이상적인 검사 출력 모델 신호와 일치되는지의 여부를 확인하고, 일치 여부에 따라 A/D 컨버터(544)의 이상 유무를 판단하여 결과 신호(Re_sig2)를 검사 인터페이스부(510)를 통해 외부의 컴퓨터(미도시) 등으로 전송한다.
예를 들어, 상기 검사 신호(Ti_sig2)가 아날로그 신호(Ana_D)이고, 검사 신호(Ti_sig2)에 응답하여 출력되는 A/D 컨버터(544)의 출력 신호(To_sig2)가 디지털 신호(Ana_E1)라고 하면, 출력 신호(To_sig2)는 A/D 컨버터 출력 신호 분석 모듈(533)의 검사 기준 신호인 디지털 신호(Ana_F)와 같으므로 검사 결과 신호(Re_sig2)는 이상이 없는 것으로 출력된다.
반면, 검사 신호(Ti_sig2)에 응답하여 출력되는 A/D 컨버터(544)의 출력 신호(To_sig2)가 디지털 신호(Ana_E2)인 경우에는 출력 신호(To_sig2)는 A/D 컨버터 출력 신호 분석 모듈(553)의 검사 기준이 되는 디지털 신호(Ana_F)와 다르므로, 검사 결과 신호(Re_sig2)는 이상이 있는 것으로 출력된다.
도6은 위치추적 모듈의 검사 방법을 설명하기 위한 도면으로, 광 위치추적 장치(500)에 구비되어 있는 위치추적 모듈 검사 신호 발생 모듈(535), 위치추적 모듈(545_1), 위치추적 모듈 출력 신호 분석 모듈(555), 및 각 과정에서의 출력 신 호(Inf_G ~ Inf_I)가 도시되어 있다.
도3c, 도6을 참조하여 위치추적 모듈의 검사 방법을 설명하면, 다음과 같다.
컴퓨터 또는 외부 장치 등 외부의 시스템으로부터 위치추적 모듈(545_1)을 검사하기 위한 명령 신호(COM)가 검사 인터페이스부(510)를 통해 컨트롤러(520)에 인가되면, 컨트롤러(520)는 위치추적 모듈(545_1)의 검사를 위한 검사 동작 신호(Op_sig3)를 위치추적 모듈 검사 신호 발생 모듈(535), 및 위치추적 모듈 출력 신호 분석 모듈(555)에 출력한다.
위치추적 모듈 검사 신호 발생 모듈(535)은 상기 검사 동작 신호에 응답하여 검사 신호(Ti_sig3)를 출력한다. 예를 들면, 위치추적 모듈 검사 신호 발생 모듈(535)은 검사에 필요한 특정 형태의 움직임을 갖는 디지털 신호를 발생시켜 검사 신호(Ti_sig3)로써 출력한다.
위치추적 모듈(545_1)은 위치추적 모듈 검사 신호 발생 모듈(535)로부터 출력되는 특정 형태의 움직임을 갖는 디지털 신호인 검사 신호(Ti_sig3)를 입력하여 움직임 값을 계산한 후 출력 신호(To_sig3)를 송출한다. 위치추적 모듈 출력 신호 분석 모듈(555)은 출력 신호(To_sig3)를 이상적인 검사 출력 모델 신호와 일치되는지의 여부를 확인하고, 일치 여부에 따라 위치추적 모듈(545_1)의 이상 유무를 판단하여 결과 신호(Re_sig3)를 검사 인터페이스부(510)를 통해 외부의 컴퓨터(미도시) 등으로 전송한다.
예를 들어, 상기 검사 신호(Ti_sig3)가 특정 움직임의 정보를 갖는 디지털 정보 신호(Inf_G)라고 가정하면, 검사 신호(Ti_sig3)에 응답하여 출력되는 위치추 적 모듈(545_1)의 출력 신호(To_sig3)가 디지털 정보 신호(Inf_H1)라고 하면, 출력 신호(To_sig3)는 위치추적 모듈 출력 신호 분석 모듈(555)의 검사 기준 신호인 디지털 정보 신호(Inf_I)와 같으므로 검사 결과 신호(Re_sig3)는 이상이 없는 것으로 출력된다.
반면, 검사 신호(Ti_sig3)에 응답하여 출력되는 위치추적 모듈(545_1)의 출력 신호(To_sig3)가 디지털 정보 신호(Inf_H2)인 경우에는 출력 신호(To_sig3)은 위치추적 모듈 출력 신호 분석 모듈(555)의 검사 기준이 되는 디지털 정보 신호(Inf_I)와 다르므로, 검사 결과 신호(Re_sig3)는 이상이 있는 것으로 출력된다.
도7은 주파수 발생기의 검사 방법을 설명하기 위한 도면으로, 광 위치추적 장치(500)에 구비되어 있는 주파수 발생기 검사 신호 발생 모듈(537), 주파수 발생기(546), 주파수 발생기 출력 신호 분석 모듈(557), 및 각 과정에서의 출력 신호(Act_J ~ Fre_L2)가 도시되어 있다.
도3c, 도7을 참조하여 주파수 발생기의 검사 방법을 설명하면, 다음과 같다.
컴퓨터 또는 외부 장치 등 외부의 시스템으로부터 주파수 발생기(546)를 검사하기 위한 명령 신호(COM)가 검사 인터페이스부(510)를 통해 컨트롤러(520)에 인가되면, 컨트롤러(520)는 주파수 발생기(546)의 검사를 위한 검사 동작 신호(Op_sig4)를 주파수 발생기 검사 신호 발생 모듈(537), 및 주파수 발생기 출력 신호 분석 모듈(557)에 출력한다.
주파수 발생기 검사 신호 발생 모듈(537)은 상기 검사 동작 신호(Op_sig4)에 응답하여 검사 신호(Ti_sig4)를 출력한다. 예를 들면, 주파수 발생기 검사 신호 발 생 모듈(537)은 검사에 필요한 일정시간 동안 동작을 활성화 시키는 활성화 신호를 발생하고, 이를 검사 신호(Ti_sig4)로써 출력한다.
주파수 발생기(546)는 주파수 발생기 검사 신호 발생 모듈(537)로부터 출력되는 일정시간 동안 인가되는 활성화 신호인 검사 신호(Ti_sig4)를 인가받아 활성화 시간 동안 출력되는 클록 신호인 출력 신호(To_sig4)를 송출한다.
주파수 발생기 출력 신호 분석 모듈(557)은 출력 신호(To_sig4)를 주파수로 환산하여 주파수가 허용범위 내에 있는지에 따라 주파수 발생기(546)의 이상 유무를 판단한다. 이상 유무에 따른 결과 신호(Re_sig4)를 검사 인터페이스부(510)를 통해 외부의 시스템(미도시) 등으로 전송한다.
예를 들어, 상기 검사 신호(Ti_sig4)가 활성화 신호(Act_J)라고 가정하면, 활성화 신호(Act_J)에 응답하여 주파수 발생기(546)는 클록 신호(Clk_K)를 출력 신호(To_sig4)로 하여 출력한다.
클록 신호(Clk_K)의 주파수가 주파수 발생기 출력 신호 분석 모듈(557)의 허용범위 내에 있으면(Fre_L1) 검사 결과 신호(Re_sig4)는 이상이 없는 것으로 출력되고, 허용범위 외의 주파수를 갖는다면(Fre_L2) 검사 결과 신호(Re_sig4)는 이상이 있는 것으로 출력된다.
도4 내지 도7에서는 이상 유무에 따른 결과 신호(Re-sig1~Re_sig4)를 외부의 시스템으로 전송하는 경우를 예시하였으나, 별도의 장치를 통해 이상 유무를 표시하거나, 조명부(542)를 통해 표시될 수 있다. 광 위치 추적 장치용 반도체의 경우는 상기 외부 시스템이 검사 장비임은 당연하다. 이 경우, 검사 장비는 전용 검사 장비일 필요는 없으며, 테스트를 실시하기 위한 프로그램이 설치된 장치이면 검사 장비로 동작할 수 있다.
상기에서는 이미지 센서(520), A/D 컨버터(540), 위치추적 모듈(560), 주파수 발생기(580)의 검사 과정을 각 검사가 순차적으로 각기 구분되어 진행되는 것처럼 설명하였으나, 서로 병렬적으로 검사 과정이 진행될 수 있으며, 모든 검사가 동시에 이루어질 수도 있다. 또한 사용자의 목적에 따라 시스템을 통한 특정 장치의 검사만 선택적으로 실시할 수 있음도 당연하다. 예를 들어, 아날로그 검사 영역인 이미지 센서 검사와, A/D 컨버터를 하나의 단위로 검사를 실시하고, 동시에 디지털 검사 영역인 위치추적 모듈 검사와, 주파수 발생기 검사를 하나의 단위로 검사를 진행할 수 있다.
또한, 각 과정에서 컨트롤러(520)는 외부 장치를 제어하는 제어 신호를 출력할 수도 있다.
그러므로, 본 발명의 광 위치 추적 장치 및 이 장치의 검사 방법은 검사의 복잡도가 현저하게 줄어들며, 검사를 위한 고성능의 검사 장비를 사용하지 않아도 된다. 또한, 검사환경의 단순화와 최적화를 통해 검사시간을 단축할 수 있을 뿐만 아니라, 광 위치추적 장치가 검사를 위한 전용의 장치를 사용하는 것이 아니라, 일반적인 시스템인 PC 등에 연결하여 검사를 하는 것이 가능하다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
본 발명의 내장된 자체검사 기능을 갖는 광 위치추적 장치는 종래의 광 위치추적 장치와 검사 장치가 따로 분리되어 있어 각각의 인터페이스부를 통한 검사가 실시된 것과는 달리, 광 위치추적 장치 내부에 검사 장치를 위한 검사 신호 발생부, 및 출력 신호 분석부를 구비시킨다.
따라서, 검사 방법에 있어서 복잡도가 현저하게 줄어들며, 검사를 위한 고성능의 검사 장비를 사용하지 않아도 된다. 또한, 검사환경의 단순화와 최적화를 통해 검사시간을 단축할 수 있을 뿐만 아니라, 광 위치추적 장치가 검사를 위한 전용의 장치를 사용하는 것이 아니라, 일반적인 시스템인 PC 등에 연결하여 검사를 하는 것이 가능하다.

Claims (25)

  1. 명령 신호에 응답하여 적어도 하나의 검사 동작 신호를 발생하는 컨트롤러;
    상기 적어도 하나의 검사 동작 신호에 응답하여, 검사 동작 시에 검사 신호를 발생하는 검사 신호 발생부;
    상기 적어도 하나의 검사 동작 신호에 응답하여, 검사 동작 시에 상기 검사 신호를 입력하고 동작을 수행하여 출력 신호를 출력하는 움직임 계산부; 및
    상기 적어도 하나의 검사 동작 신호에 응답하여, 검사 동작 시에 상기 출력 신호가 정확한지를 판단하여 결과 신호를 출력하는 출력 신호 분석부를 구비하는 것을 특징으로 하는 광 위치추적 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 광 위치추적 장치는
    상기 결과 신호를 외부로 전송하는 검사 인터페이스부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 광 위치추적 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 컨트롤러는
    상기 검사 인터페이스부로부터 결과 신호를 전송받는 외부 장치를 제어하는 제어 신호를 상기 검사 동작 신호와 동기시켜 추가적으로 출력하는 것을 특징으로 하는 광 위치추적 장치.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 출력 신호는 제1 내지 제4 출력 신호를 포함하고,
    상기 움직임 계산부는 상기 검사 신호를 입력하여 이미지를 인식하고, 인식된 이미지에 대응하는 상기 제1 출력 신호를 출력하는 이미지 센서;
    상기 제1 출력 신호를 디지털 신호로 변환하여 상기 제2 출력 신호를 출력하는 A/D 컨버터;
    상기 제2 출력 신호를 입력하여 움직임 값을 계산하고, 계산된 움직임 값을 상기 제3 출력 신호로 출력하는 위치추적 모듈; 및
    상기 검사 신호에 응답하여 소정의 주파수를 가지는 상기 제4 출력 신호를 출력하는 주파수 발생기를 구비하는 것을 특징으로 하는 광 위치추적 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 결과 신호는 제1 내지 제4 결과 신호를 포함하고,
    상기 출력 신호 발생부는 상기 적어도 하나의 검사 동작 신호에 응답하여 상기 제1 출력 신호를 입력하고, 상기 제1 출력 신호가 정확한지를 판단하여 상기 제1 결과 신호를 출력하는 이미지 센서 출력 신호 분석 모듈;
    상기 적어도 하나의 검사 동작 신호에 응답하여 상기 제2 출력 신호를 입력하고, 상기 제2 출력 신호가 정확한지를 판단하여 상기 제2 결과 신호를 출력하는 A/D 컨버터 출력 신호 분석 모듈;
    상기 적어도 하나의 검사 동작 신호에 응답하여 상기 제3 출력 신호를 입력하고, 상기 제3 출력 신호가 정확한지를 판단하여 상기 제3 결과 신호를 출력하는 위치추적 모듈 출력 신호 분석 모듈; 및
    상기 적어도 하나의 검사 동작 신호에 응답하여 상기 제4 출력 신호를 입력하고, 상기 제4 출력 신호가 정확한지를 판단하여 상기 제4 결과 신호를 출력하는 주파수 발생기 출력 신호 분석 모듈을 구비하는 것을 특징으로 하는 광 위치추적 장치.
  6. 제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 검사 신호는 제1 내지 제4 검사 신호를 포함하고,
    상기 검사 신호 발생부는 상기 적어도 하나의 검사 동작 신호에 응답하여 이미지를 인식시키기 위한 상기 제1 검사 신호를 발생시키는 이미지 센서 검사 신호 발생 모듈;
    상기 적어도 하나의 검사 동작 신호에 응답하여 시간에 따라 지속적으로 변화하는 아날로그 신호를 상기 제2 검사 신호로 발생시키는 A/D 컨버터 검사 신호 발생 모듈;
    상기 적어도 하나의 검사 동작 신호에 응답하여 특정 형태의 움직임을 갖는 디지털 신호를 상기 제3 검사 신호로 발생시키는 위치추적 모듈 검사 신호 발생 모듈; 및
    상기 적어도 하나의 검사 동작 신호에 응답하여 일정시간 동안 활성화되는 신호를 상기 제4 검사 신호로 발생시키는 주파수 발생기 검사 신호 발생 모듈을 구비하는 것을 특징으로 하는 광 위치추적 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 출력 신호는 제1 내지 제4 출력 신호를 포함하고,
    상기 움직임 계산부는 상기 적어도 하나의 검사 동작 신호에 응답하여, 검사 동작 시에 상기 제1 검사 신호를 입력하여 이미지를 인식하고, 인식된 이미지에 대응하는 상기 제1 출력 신호를 출력하는 이미지 센서;
    상기 적어도 하나의 검사 동작 신호에 응답하여, 검사 동작 시에 상기 제2 검사 신호를 디지털 신호로 변환하여 상기 제2 출력 신호를 출력하는 A/D 컨버터;
    상기 적어도 하나의 검사 동작 신호에 응답하여, 검사 동작 시에 상기 제3 검사 신호를 입력하고 움직임 값을 계산하여, 계산된 움직임 값을 상기 제3 출력 신호로 출력하는 위치추적 모듈; 및
    상기 적어도 하나의 검사 동작 신호에 응답하여, 검사 동작 시에 상기 제4 검사 신호를 입력하여, 상기 제4 검사 신호가 활성화된 시간 동안 상기 제4 출력 신호를 출력하는 주파수 발생기를 구비하는 것을 특징으로 하는 광 위치추적 장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 결과 신호는 제1 내지 제4 결과 신호를 포함하고,
    상기 출력 신호 발생부는 상기 적어도 하나의 검사 동작 신호에 응답하여 상기 제1 출력 신호를 입력하고, 상기 제1 출력 신호가 정확한지를 판단하여 상기 제1 결과 신호를 출력하는 이미지 센서 출력 신호 분석 모듈;
    상기 적어도 하나의 검사 동작 신호에 응답하여 상기 제2 출력 신호를 입력하고, 상기 제2 출력 신호가 정확한지를 판단하여 상기 제2 결과 신호를 출력하는 A/D 컨버터 출력 신호 분석 모듈;
    상기 적어도 하나의 검사 동작 신호에 응답하여 상기 제3 출력 신호를 입력하고, 상기 제3 출력 신호가 정확한지를 판단하여 상기 제3 결과 신호를 출력하는 위치추적 모듈 출력 신호 분석 모듈; 및
    상기 적어도 하나의 검사 동작 신호에 응답하여 상기 제4 출력 신호를 입력하여, 상기 제4 출력 신호가 정확한지를 판단하여 상기 제4 결과 신호를 출력하는 주파수 발생기 출력 신호 분석 모듈을 구비하는 것을 특징으로 하는 광 위치추적 장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 광 위치추적 장치는
    작업대표면으로 광을 방출하는 조명부;
    상기 작업대표면으로부터 반사되는 광을 상기 이미지 센서로 전달하는 렌즈; 및
    버튼 및 스크롤 장치를 구비하고, 사용자의 조작에 따라 입력 신호를 발생하는 입력부를 추가적으로 구비하는 것을 특징으로 하는 광 위치추적 장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 조명부는
    상기 제1 검사 신호에 응답하여 상기 광의 세기를 조절하여 상기 이미지 센서가 인식하는 이미지에 변화를 주는 것을 특징으로 하는 광 위치추적 장치.
  11. 제9항에 있어서, 상기 이미지 센서는
    상기 제1 검사 신호에 응답하여 이미지를 인식하는 시간을 조정하여 인식되는 이미지에 변화를 주는 것을 특징으로 하는 광 위치추적 장치.
  12. 제9항에 있어서, 상기 조명부는
    상기 결과 신호에 응답하여 검사 결과를 표시하는 것을 특징으로 하는 광 위치추적 장치.
  13. 제9항에 있어서, 상기 명령 신호는
    상기 입력부에 의해 입력되는 것을 특징으로 하는 광 위치추적 장치.
  14. 제9항에 있어서, 상기 명령 신호는
    상기 검사 인터페이스부를 통해 입력되는 것을 특징으로 하는 광 위치 추적 장치.
  15. 광 위치추적 장치의 검사 동작을 실행시키기 위한 명령 신호를 발생시키는 명령 신호 발생 단계;
    상기 명령 신호에 응답하여 움직임 계산부를 검사하기 위한 적어도 하나의 검사 동작 신호를 광 위치추적 장치의 내부에서 발생하는 검사 동작 신호 발생 단계;
    상기 적어도 하나의 검사 동작 신호에 응답하여 대응되는 검사 모듈을 검사하기 위한 검사 신호를 상기 광 위치추적 장치의 내부에서 발생하는 검사 신호 발생 단계;
    상기 적어도 하나의 검사 동작 신호에 응답하여 상기 검사 신호를 입력하고, 움직임 계산부가 동작을 실행하여 출력 신호를 발생하는 출력 신호 발생 단계; 및
    상기 적어도 하나의 검사 동작 신호에 응답하여 상기 출력 신호를 입력하고, 상기 출력 신호가 정확한지를 판단하여 결과 신호를 상기 광 위치추적 장치의 내부에서 발생하는 결과 신호 발생 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 광 위치추적 장치의 검사 방법.
  16. 제15항에 있어서, 상기 검사 동작 신호 발생 단계는
    상기 검사 동작 신호에 동기시켜 외부 장치를 제어하는 제어 신호를 추가적으로 발생하는 것을 특징으로 하는 광 위치추적 장치의 검사 방법.
  17. 제15항 또는 제16항에 있어서, 상기 출력 신호는 제1 내지 제4 출력 신호를 포함하고,
    상기 출력 신호 발생 단계는 상기 검사 신호에 응답하여 이미지를 인식하고, 인식된 이미지에 대응하는 상기 제1 출력 신호를 출력하는 이미지 센싱 단계;
    상기 제1 출력 신호를 디지털 신호로 변환하여 상기 제2 출력 신호를 출력하는 변환 단계;
    상기 검사 신호에 응답하여 소정의 주파수를 가지는 상기 제4 출력 신호를 출력하는 주파수 발생 단계; 및
    상기 제2 출력 신호를 입력하여 움직임 값을 계산하고, 계산된 움직임 값을 상기 제4 출력 신호에 동기시켜 상기 제3 출력 신호를 출력하는 위치추적 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 광 위치추적 장치의 검사 방법.
  18. 제17항에 있어서, 상기 결과 신호 발생 단계는
    상기 적어도 하나의 검사 동작 신호에 응답하여 제1 내지 제4 기준 신호를 발생하는 기준 신호 발생 단계; 및
    상기 제1 내지 제4 기준 신호와 상기 제1 내지 제4 출력 신호를 각각 비교하여 상기 제1 내지 제4 출력 신호가 정확한지를 판단하는 판단 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 광 위치추적 장치의 검사 방법.
  19. 제15항 또는 제16항에 있어서, 상기 검사 신호는 이미지 센서가 이미지를 인식하도록 하는 제1 검사 신호와, 시간에 따라 지속적으로 변화하는 제2 검사 신호와, 특정 형태의 움직임을 갖는 제3 검사 신호와, 일정시간 동안 활성화되는 제4 검사 신호를 포함하고,
    상기 검사 신호 발생 단계는 상기 적어도 하나의 검사 동작 신호에 응답하여 상기 제1 내지 제4 검사 신호 중 적어도 하나 이상을 출력하는 것을 특징으로 하는 광 위치추적 장치의 검사 방법.
  20. 제19항에 있어서, 상기 출력 신호는 상기 이미지 센서에 의해 인식된 이미지에 대응하는 제1 출력 신호와, 상기 제2 출력 신호를 디지털 신호로 변환한 제2 출력 신호와, 상기 제3 검사 신호로부터 계산된 움직임 값을 표현하는 제3 출력 신호와, 상기 제4 검사 신호가 활성화된 시간동안 출력되는 소정의 주파수를 가지는 제4 출력 신호를 포함하고,
    상기 출력 신호 발생 단계는 상기 제1 내지 제4 출력 신호 중 상기 검사 신호 발생 단계에서 출력된 검사 신호와 대응하는 신호만을 출력하는 것을 특징으로 하는 광 위치추적 장치의 검사 방법.
  21. 제20항에 있어서, 상기 결과 신호는 상기 제1 출력 신호가 정확한지를 판단하여 출력되는 제1 결과 신호와, 상기 제2 출력 신호가 정확한지를 판단하여 출력되는 제2 결과 신호와, 상기 제3 출력 신호가 정확한지를 판단하여 출력되는 제3 결과 신호와, 상기 제4 출력 신호가 정확한지를 판단하여 출력되는 제4 결과 신호를 포함하고,
    상기 결과 신호 발생 단계는 상기 제1 내지 제4 결과 신호 중 상기 출력 신호 발생 단계에서 출력된 출력 신호와 대응하는 신호만을 출력하는 것을 특징으로 하는 광 위치추적 장치의 검사 방법.
  22. 제20항에 있어서, 상기 결과 신호 발생 단계는
    상기 적어도 하나의 검사 동작 신호에 응답하여 제1 내지 제4 기준 신호를 발생하는 기준 신호 발생 단계; 및
    상기 제1 내지 제4 기준 신호와 상기 제1 내지 제4 출력 신호를 각각 비교하여 상기 제1 내지 제4 출력 신호가 정확한지를 판단하는 판단 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 광 위치추적 장치의 검사 방법.
  23. 제15항 또는 제16항에 있어서, 상기 명령 신호 발생 단계는
    광 위치추적 장치의 입력부를 조작함으로써 이루어지는 것을 특징으로 하는 광 위치추적 장치의 검사 방법.
  24. 제15항 또는 제16항에 있어서, 상기 출력 신호 발생 단계는
    상기 검사 신호에 응답하여 상기 광 위치추적 장치의 조명부로부터 출력되는 빛의 세기를 조정하는 조정단계;
    상기 조정된 빛의 세기에 따라 이미지를 감지하는 이미지 센싱 단계; 및
    상기 감지된 이미지에 대응하는 상기 출력 신호를 출력하는 출력 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 광 위치추적 장치의 검사 방법.
  25. 제15항 또는 제16항에 있어서, 상기 출력 신호 발생 단계는
    상기 검사 신호에 응답하여 상기 광 위치추적 장치의 이미지 센서의 감지 시간을 조정하는 조정단계;
    상기 조정된 감지 시간에 따라 이미지를 감지하는 이미지 센싱 단계; 및
    상기 감지된 이미지에 대응하는 상기 출력 신호를 출력하는 출력 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 광 위치추적 장치의 검사 방법.
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