KR100801467B1 - 쌍극형 정전척 - Google Patents

Abstract

본 발명은 쌍극형 정전척에 관한 것으로, 이러한 본 발명의 목적은 제1전극과 제2전극 사이의 절연성을 향상시켜 사용수명을 효과적으로 연장시킬 수 있도록 마련된 쌍극형 정전척을 제공하는 것이다.

이를 위해 본 발명에 따른 쌍극형 정전척은 금속재질의 바디부와, 얇은 필름형태를 이루어 상기 바디부 상부에 마련되는 필름부을 구비하되, 상기 필름부는 절연층과, 서로 상반된 극성의 전압이 인가되도록 소정의 패턴을 갖는 제1전극과 제2전극이 설치되며 상기 절연층 사이에 적재된 절연기판을 포함하고, 상기 제1전극과 제2전극은 각각 상기 절연기판의 상면과 하면에 마련되어 상기 절연기판을 통해 상호 절연되는 구조를 갖는다.

Description

쌍극형 정전척{A BIPOLAR ELECTROSTATIC CHUCK}

도 1은 종래 쌍극형 정전척의 단면구조를 도시한 단면도이다.

도 2는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 쌍극형 정적척의 구조를 도시한 사시도로, 필름부와 바디부가 상호 결합되기 전의 상태를 나타낸 것이다.

도 3은 도 2는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 쌍극형 정적척의 구조를 도시한 사시도로, 필름부가 바디부에 결합된 상태를 도시한 사시도이다.

도 4는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 쌍극형 정적척의 단면구조를 도시한 단면도이다.

도 5는 도 4의 쌍극형 정전척에 피흡착물이 흡착된 상태를 도시한 단면도이다.

도 6은 도 2의 A부를 확대 도시한 평면도로, 전원접속부의 구조를 나타낸 것이다.

도 7은 전원접속부에 형성되는 비아홀의 형성과정을 순차적으로 도시한 단면도이다.

도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 쌍극형 정전척에 있어서, 전원접속부의 구조를 발취하여 도시한 평면도이다.

도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 쌍극형 정전척에 있어서, 제2전원접속 부의 구조를 도시한 단면도로, 메인부와 전도부가 분리된 상태를 나타낸 것이다.

도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 쌍극형 정전척에 있어서, 제2전원접속부의 구조를 도시한 단면도로, 메인부와 전도부가 상호 결합된 상태를 나타낸 것이다.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*

10: 바디부 20: 필름부

21: 제1전원접속부 21a,22a: 접점부

21b,22b: 비아홀 30: 절연기판

40: 절연층 50: 접착층

61: 제1전극 62: 제2전극

본 발명은 쌍극형 정전척에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 제조 장치나 FPD(FLAT PANEL DISPLAY) 제조 장치 등에 사용되는 웨이퍼나 유리기판과 같은 피흡착물을 흡착하여 고정시키도록 마련된 쌍극형 정전척에 관한 것이다.

반도체 및 FPD은 웨이퍼 또는 유리기판에 사진, 식각, 확산, 이온주입, 금속증착, 화학기상증착 등의 제조공정을 반복적으로 수행하게 됨으로써 요구되는 제품으로 제작되며, 이러한 반도체 및 FPD를 제조함에 있어서 상기 웨이퍼나 유리기판 등을 고정시키는 작업은 필수적이다.

예컨대 상술된 것들 중 식각과 같은 공정의 경우 특정 방향성을 갖고 있기 때문에, 이때 공정대상물은 정확한 위치에서 유동됨이 없이 고정되어야만 하며, 이러한 웨이퍼 및 유리기판과 같은 피흡착물의 흡착 고정수단으로는 일반적으로 기계적 방법에 의한 메커니컬척과 대기압과의 압력차를 이용한 진공척 그리고 정전 흡착력을 이용한 정전척이 주로 사용되고 있다.

그러나 메커니컬척의 경우 피흡착물의 모서리 부위를 기계적으로 압착 고정하는 방식으로서 계속적인 공정 수행시 피흡착물의 무빙 재현성이 부족하며 피흡착물의 휨현상이 발생하게 되는 문제점이 있고, 진공척은 단위공정들이 진공조건 하에서 이루어질 경우 진공척과 외부 진공간의 압력 차이가 생성되지 않게 되어 사용에 한계가 있다.

따라서 최근에는 전위차에 의해 발생하는 유전분극 현상과 정전기력 원리를 이용한 상기 정전척이 주로 사용되고 있는데, 이러한 정전척은 단극형과 쌍극형으로 구분된다.

이중 단극형 정전척은 한 개의 전극을 구비하고, 플라즈마 상태로 되어 플라즈마층이 형성되었을 때 발생하는 음이온으로 전계를 구성하여 척킹력이 발생되도록 하며, 전압은 전극과 피흡착물 사이에 인가된다.

그리고 쌍극형은 두 개의 전극을 구비하고, 각 전극에 각각 양과 음의 극성을 갖는 전압을 공급하여 각 전극에 대응하는 피흡착물에 반대 극성의 전하가 대전되도록 함으로써 흡착력이 발생되도록 하며, 이러한 쌍극형은 피흡착물에 전압을 인가할 필요가 없어 단극형에 비해 취급이 간편하게 된다.

도 1에는 이러한 종래 쌍극형 정전척의 구조가 도시된다.

도 1에 도시된 바와 같이, 종래 쌍극형 정전척은 금속재질의 바디부(1)와, 바디부(1) 상부에 필름형태를 이루도록 마련된 필름부(2)를 구비한다. 필름부(2)는

상면에 전극(6a,6b)이 설치되는 절연기판(3)과, 전극(6a,6b)이 형성된 절연기판(3)의 상부와 하부에 적재되는 절연층(4)을 구비한다. 참고로 미설명 부호 5는 절연층(4) 사이 및 최하측 절연층(4)과 바디부(1) 사이 그리고 절연기판(3)과 절연층(4) 사이의 접착을 위해 마련되는 절연재질의 접착층이다.

여기서 상기 전극(6a,6b)은 제1전극(6a)과 제2전극(6b)을 포함하는 두개로 구성되고, 각 전극(6a,6b)은 소정의 패턴을 형성하며 절연기판 상면에 상호 엇갈리도록 배치되며, 제1전극(6a)과 제2전극(6b) 사이는 절연기판(3) 상부의 접착층(5)이 절연기판(3) 상부에 적재되는 과정에서 상기 접착층(5)이 침투되며 절연된다.

따라서 이러한 쌍극형 정전척은 필름부(2) 상부에 피흡착물을 위치시킨 상태에서 상기 제1 및 제2 전극(6a,6b)에 각각 양과 음의 극성을 갖는 전압을 공급하여 각 전극(6a,6b)에 대응하는 부위의 피흡착물에 대응하는 전극의 반대 극성의 전하가 대전되도록 함으로써 피흡착물을 흡착 고정시키게 된다.

그러나 이러한 종래 쌍극형 정전척은 제1전극(6a)과 제2전극(6b)이 상기 절연기판(3)의 상면에 상호 인접된 배치구조를 갖고, 제1전극(6a)과 제2전극(6b) 사이를 절연시키는 상기 접착층(5)의 접착상태가 자주 불안정하게 되는 등 제1전극(6a)과 제2전극(6b) 사이를 효과적으로 절연시킬 수 없었기 때문에, 각 전극(6a,6b)에 전압을 인가할 경우 제1전극(6a)과 제2전극(6b) 사이에 스파크가 발생될 우려가 있었으며, 이러한 스파크는 필름부(2)를 파손시켜 쌍극형 정전척의 수명이 단축되도록 하는 요인이 되었다.

본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 제1전극과 제2전극 사이의 절연성을 향상시켜 사용수명을 효과적으로 연장시킬 수 있도록 마련된 쌍극형 정전척을 제공하는 것이다.

이러한 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 쌍극형 정전척은 금속재질의 바디부와, 얇은 필름형태를 이루어 상기 바디부 상부에 마련되는 필름부을 구비하되, 상기 필름부는 절연층과, 서로 상반된 극성의 전압이 인가되도록 소정의 패턴을 갖는 제1전극과 제2전극이 설치되며 상기 절연층 사이에 적재된 절연기판을 포함하고, 상기 제1전극과 제2전극은 상기 절연기판에 의해 그 사이가 절연되도록 상기 절연기판의 상면과 하면에 각각 마련된 것을 특징으로 한다.

그리고 상기 제1전극과 제2전극은 상하 방향으로 상호 중첩이 방지되도록 마련된 것을 특징으로 한다.

또한 상기 필름부의 일단에는 상기 각 전극에 전원이 접속되도록 하는 한 쌍의 전원접속부가 마련되고, 상기 전원접속부는 상기 바디부의 외면을 따라 상기 바디부의 하면으로 연장된 것을 특징으로 한다.

또한 상기 필름부의 일단에는 상기 각 전극에 전원이 접속되도록 하는 한 쌍의 전원접속부가 마련되고, 적어도 어느 하나의 상기 전원접속부에는 상기 제2전극 이 상기 필름부 외부로 전기적으로 인출되도록 하는 비아홀이 형성된 것을 특징으로 한다.

또한 상기 비아홀에는 상기 전극과 동일한 재질의 제1도금층이 상기 비아홀을 감싸도록 형성되고, 상기 제1도금층에는 니켈로 마련된 제2도금층과 금으로 마련된 제3도금층이 순차적으로 입혀진 것을 특징으로 한다.

또한 상기 필름부의 일단에는 상기 각 전극에 전원이 접속되도록 하는 한 쌍의 전원접속부가 마련되고, 적어도 어느 하나의 상기 전원접속부에는 상기 제2전극이 상기 절연기판 상면에 위치되도록 상기 제2전극의 위치가 뒤바뀌도록 배치된 전도(顚倒)부가 마련된 것을 특징으로 한다.

또한 상기 전도부가 형성된 전원접속부는 상기 제2전극이 절연기판 하면에 설되는 메인부와, 상기 전도부를 구비하고, 상기 메인부와 전도부의 제2전극은 상호 결합되어 연결된 것을 특징으로 한다.

다음은 본 발명에 따른 바람직한 일 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하도록 한다.

본 실시예에 따른 쌍극형 정전척은 도 2 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 알루미늄으로 마련된 금속재질의 바디부(10)와, 얇은 필름형태를 갖추어 바디부(10) 상부에 위치되는 필름부(20)를 구비한다.

필름부(20)는 전극이 설치되도록 폴리아미드재질로 이루어진 절연기판(30)과, 전극(61,62)이 형성된 절연기판(30)의 상부와 하부에 각각 적층되며 절연기판(30)과 같은 폴리아미드재질로 형성되는 절연층(40)과, 절연층(40) 사이 및 최하 측 절연층(40)과 바디부(10) 사이 그리고 절연기판(30)과 절연층(40) 사이의 접착을 위해 마련되는 것으로 에폭시재질과 같은 절연재질로 형성되는 접착층(50)을 구비하고, 이러한 필름부(20)는 바디부(10) 상부에 일체로 결합된다.

상기 전극(61,62)은 제1전극(61)과 제2전극(62)을 포함하여 구성되고, 이러한 제1 및 제2전극(61,62)은 각각 피흡착물(100)의 형상에 대응하는 소정패턴을 갖도록 구리재질을 통해 형성되는데, 본 실시예에 있어서 이러한 제1전극(61)과 제2전극(62)은 각각 상기 절연기판(30)의 상면과 하면에 마련되어 상기 절연기판(30)을 기준으로 상호 상하로 이격된 배치구조를 갖는다.

이러한 전극(61,62) 배치구조를 통해 본 실시예에 따른 쌍극형 정전척은 제1전극(61)과 제2전극(62) 사이가 상기 절연기판(30) 자체를 통해 절연됨으로써, 정전기력이 발생하도록 제1전극(61)과 제2전극(62)에 각각 양과 음의 반대 극성을 갖는 전압을 인가할 경우 제1전극(61)과 제2전극(62) 사이에서 스파크가 발생되는 것을 원척적으로 봉쇄시킬 수 있게 된다. 그리고 이러한 전극(61,62) 간의 스파크 방지효과는 상기 필름부(20)의 파손이 방지되도록 하여 쌍극형 정전척의 수명이 큰 폭으로 연장되도록 한다.

이러한 전극(61,62)이 마련되는 상기 필름부(20)의 형성과정을 살펴보면 다음과 같다.

필름부(20)는 먼저 상기 절연기판(30) 상면과 하면에 제1전극(61)과 제2전극(62)을 각각 형성한 후, 제1전극(61)과 제2전극(62)이 형성된 절연기판(30) 상부와 하부에 상기 각 절연층(40)을 상기 접착층(50)을 개재한 상태로 적재한 후 이들 절연층(40)을 히터롤러를 이용하여 상기 절연기판(30) 쪽으로 가압하여 완성되며, 완성된 필름부(20)는 상기 바디부(10) 상부에 놓인 상태에서 핫 프레싱 작업을 통해 바디부(10)에 결합된다.

여기서 상기 제1전극(61)은 상기 절연기판(30) 상부에 제1전극(61)을 형성할 필름형태의 구리를 올려놓고, 그 위에 현상제를 바른 상태에서 이후 형성될 제1전극(61)의 패턴과 동일한 패턴으로 현상제에 빛을 조사한 후, 에칭 작업을 거쳐 상기 현상제를 벗겨 냄으로써 마련되고, 상기 제2전극(62) 역시 이와 동일한 과정을 거쳐 상기 절연기판(30) 하면에 형성되는데, 이때 상기 제1전극(61)과 제2전극(62)은 상하 방향으로 간격 “d” 만큼 상호 중첩이 방지되도록 배치되어 피흡착물(100)에 대한 흡착력이 발생될 경우 제1전극(61)과 제2전극(62) 간의 간섭이 발생하지 않도록 마련되는 것이 바람직하다. 또 상기 절연층(40)을 절연기판(30) 쪽으로 가압하는 과정에서 상기 절연기판(30) 상부와 하부의 접착층(50)은 대응하는 전극 패턴의 사이사이로 침투되어 동일 전극의 패턴 사이사이도 절연되도록 한다.

그리고 이러한 필름부(20)에 있어서, 상기 접착층(50)으로는 에폭시계는 물론 아크릴계 및 페놀릭계 등과 같은 열경화성수지가 이용될 수 있고, 상기 절연기판(30)의 경우에도 폴리아미드계열 뿐만 아니라 폴리에스테르 및 폴리에칠렌계열의 수지 등으로 마련될 수 있으며, 바디부(10) 역시 알루미늄 이외에 스테인레스강 및 일반합긍강이나 탄소강 등으로 사용될 수 있다.

따라서 이와 같이 구성되는 쌍극형 정전척은 도 5에 도시된 바와 같이, 필름부(20) 상부에 피흡착물(100)을 위치시킨 상태에서 상기 제1 및 제2 전극(61,62)에 각각 양과 음의 극성을 갖는 전압을 공급하여 각 전극(61,62)에 대응하는 부위의 피흡착물(100)에 대응하는 전극(61,62)의 반대 극성의 전하가 대전되도록 함으로써 피흡착물(100)을 흡착 고정시키게 된다.

또 통상적으로 쌍극형 정전척의 정전기력 세기는 인가되는 전압의 크기와, 전극(61,62)의 면적, 그리고 피흡착물(100)과 전극(61,62) 사이의 거리에 반비례하여 증가하게 되는데, 이와 같이 구성되는 쌍극형 정전척은 정전기력을 향상시키는데 있어서도 종래에 비해 효과적이다.

즉, 본 실시예와 같이 제1전극(61)과 제2전극(62)이 각각 절연기판(30)의 상면과 하면에 배치되어 제1전극(61)과 제2전극(62) 사이가 절연기판(30) 자체를 통해 절연되는 구조에서는 제1전극(61) 상부의 절연층(40)과 접착층(50)의 두께를 작게 형성하더라도 제1전극(61)과 제2전극(62) 사이의 절연성이 크게 저하되지 않게 되므로, 제1전극(61)과 피흡착물(100) 사이의 거리를 작게 형성하는 것이 가능하게 된다. 그리고 절연기판(30) 하면에 배치되는 제2전극(62)의 경우에는 제1전극(61)에 비해 피흡착물(100)로부터 멀어지게 되지만, 이러한 제2전극(62)과 피흡착물(100) 간의 거리는 절연기판(30)의 두께를 줄임으로써 줄일 수 있게 된다. 또 절연기판(30) 상면과 하면에 배치되는 상기 제1전극(61)과 제2전극(62)은 종래 절연기판 일면에 함께 배치되었을 때에 비해 그 면적을 크게 증가시킬 수 있는데, 이와 같은 여러 가지 조건을 감안했을 때 본 실시예에 따른 쌍극형 정전척은 종래 것에 비해 정전기력을 향상시키는데 있어서 다소 더 유리할 수 있다.

또 이와 같이 전극(61,62)의 면적을 크게 할 수 있고, 피흡착물(100)과 전극(61,62) 사이의 거리를 작게 할 수 있는 구조에서는 쌍극형 정전척에 인가되는 전압 크기를 종래에 비해 낮추더라도 종래와 동일한 수준의 정전기력을 형성할 수 있게 되는데, 이때는 낮은 전압의 인가로 인해 쌍극형 정전척의 구동조작이 보다 안정적으로 이루어질 수 있게 된다.

한편, 필름부(20)의 일단에는 각 전극(61,62)으로 전원이 접속되도록 하는 한 쌍의 전원접속부(21,22)가 마련되고, 이러한 전원접속부(21,22)는 복수개의 쌍극형 정전척이 동일 평면상에 배치된 상태에서 피흡착물(100)의 흡착작용을 수행하게 되는 경우에도 원활한 전원접속이 가능하도록 바디부(10)의 외면을 따라 바디부(10)의 하면으로 연장되어 결합된다.

도 6에 도시된 바와 같이, 전원접속부(21,22)는 양과 음의 극성을 갖는 전압 중 어느 하나가 인가되도록 마련된 제1전원접속부(21)와, 나머지 다른 하나가 인가되도록 마련된 제2전원접속부(22)로 구분된다.

또 전원접속부(21,22)를 통해 전압을 인가할 경우 필름부(20) 외면에 인접한 상기 제1전극(61)의 경우 외부로의 전기적 인출이 용이한 반면, 상기 제2전극(62)의 경우에는 필름부(20) 외부로 전기적으로 인출되기 어렵게 되는데, 제1 및 제2전원접속부(21,21)의 끝단 중앙에는 상기 제1전극(61)에 전압이 인가되도록 하는 접점부(21a,22a)가 각각 마련되고, 상기 각 접점부(21a,22a) 외주에는 제2전극(62)으로의 전압 인가를 위해 제2전극(62)이 필름부(20) 외부로 전기적으로 인출되도록 하는 비아홀(via hole)(21b,22b)이 형성된다.

이러한 비아홀(21b,22b)은 도 7의 b와 같이, 펀칭가공을 통해 상기 절연기판(30)과 제2전극(62)과 절연기판(30) 상부의 접착층(50) 및 절연층(40)이 관통되도록 하여 형성되고, 이러한 비아홀(21b,22b)에는 도 7의 c와 같이, 먼저 상기 전극(61,62)과 동일한 구리재질의 제1도금층(71)이 비아홀(21b,22b)을 감싸도록 도금되어 제2전극(62)이 필름부(20) 외부로 인출될 수 있도록 한다. 그리고 이러한 구리재질의 제1도금층(71)은 시간이 지남에 따라 부식될 우려가 있으므로, 상기 제1도금층(71)에는 니켈재질의 제2도금층(72)과 금재질의 제3도금층(73)이 다시 순차적으로 도금되며, 상기 제1 내지 제3도금층(71,72,73)은 전해도금방식을 통해서는 물론 무전해도금방식을 통해서도 형성 가능하다. 따라서 이러한 비아홀(21b,22b)이 형성된 상태에서는 상기 비아홀(21b,22b)을 통해 제2전극(62)으로의 전압인가구조가 용이하게 된다.

참고로 본 실시예에 있어서, 상기 비아홀(21b,22b)은 제1전원접속부(21)와 제2전원접속부(22)에 모두 형성되어 있으나, 제1 및 제2전원접속부(21,22) 중 어느 하나에만 비아홀(21b,22b)을 형성하더라도 제1 및 제2전원접속부(21,22)에 각각 반대 극성의 전압을 인가할 수 있게 되므로, 상기 비아홀(21b,22b)은 제1 및 제2전원접속부(21,22) 중 어느 하나에만 형성되어도 무방하다.

또한 도 8 및 도 9에는 본 발명의 다른 실시예에 따른 쌍극형 정전척의 전원접속구조가 도시된다.

도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 있어서도 전원접속부(21',22')는 양과 음의 극성을 갖는 전압 중 어느 하나가 인가되도록 마련된 제1전원접속부(21')와, 나머지 다른 하나가 인가되도록 마련된 제2전원접속부(22')로 구분되는데, 이중 제1전원접속부(21')의 끝단 중앙에는 제1전극(61)에 전압이 인가되도록 하는 제1접점부(21'a)가 마련되고, 제2전원접속부(22')의 끝단 중앙에는 제2전극(62)에 전압이 인가되도록 하는 제2접점부(22'a)가 마련되며, 제2접점부(22'a) 쪽 제2전원접속부(22')는 다른 부위와 달리 제2전극(62)이 필름부(20) 외부에 근접하도록 절연기판(30) 상면에 위치된 배치구조를 갖는다.

보다 상세히 설명하자면, 본 실시예에 있어서, 제2전원접속부(22')는 메인부(22'A)와, 메인부(22'A)로부터 연장되고 상기 제2접점부(22'a)가 형성되는 전도부(22'B)로 구성되는데, 상기 메인부(22'A)는 필름부(20)와 동일한 적층구조 즉, 제2전극(62)이 절연기판(30) 하면에 위치된 구조를 갖는 반면, 상기 전도부(22'B)는 이와 반대로 제2전극(62)이 절연기판(30) 상면에 위치된 구조를 가진다. 그리고 메인부(22'A)의 제2전극(62)은 전도부(22'B)로 연장되고, 전도부(22'B)의 제2전극(62)은 메인부(22'A)로 연장되며, 이렇게 연장된 메인부(22'A)와 전도부(22'B)의 제2전극(62)은 그 사이의 용접부(200)를 통해 상호 용접 결합되어 연결된 구조를 갖게 된다. 여기서 용접부(200)는 전극과 동일한 재질을 통해 형성되는 것이 바람직하다.

따라서 이러한 전원접속구조에서는 제1전극(61)에 인가되는 전압과 반대 극성의 전압이 인가되도록 하는 제2접점부(22'a) 쪽 제2전극(62)과 필름부(20) 외면 사이의 거리가 제1접점부(21'a) 쪽 제1전극(61)과 필름부(20)의 외면 사이의 거리와 동일하게 형성될 수 있게 되므로, 상기 첫 번째 실시예와 같이 제2전극(62)으로의 전압인가구조가 용이하게 된다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 쌍극형 정전척은 제1전극과 제2전극이 각각 절연기판의 상면과 하면에 배치되어 제1전극과 제2전극 사이가 절연기판 자체를 통해 절연된다. 따라서 본 발명에 따른 쌍극형 정전척은 제1전극과 제2전극에 각각 양과 음의 극성을 갖는 전압을 인가할 경우 제1전극과 제2전극 사이에서 스파크가 발생되는 것을 원척적으로 봉쇄시킬 수 있게 되며, 이와 같 은 전극 간의 스파크 방지효과는 상기 필름부의 파손이 방지되도록 하여 쌍극형 정전척의 수명을 큰 폭으로 연장시킨다.

Claims (7)

1. 금속재질의 바디부와, 얇은 필름형태를 이루어 상기 바디부 상부에 마련되는 필름부을 구비하되,

   상기 필름부는 절연층과, 서로 상반된 극성의 전압이 인가되도록 소정의 패턴을 갖는 제1전극과 제2전극이 설치되며 상기 절연층 사이에 적재된 절연기판을 포함하고,

   상기 제1전극과 제2전극은 상기 절연기판에 의해 그 사이가 절연되도록 상기 절연기판의 상면과 하면에 각각 마련되며,

   상기 제1전극과 제2전극은 상하 방향으로 상호 중첩이 방지되도록 마련된 것을 특징으로 하는 쌍극형 정전척.
2. 삭제
3. 제 1항에 있어서,

   상기 필름부의 일단에는 상기 각 전극에 전원이 접속되도록 하는 한 쌍의 전원접속부가 마련되고, 상기 전원접속부는 상기 바디부의 외면을 따라 상기 바디부의 하면으로 연장된 것을 특징으로 하는 쌍극형 정전척.
4. 제 1항에 있어서,

   상기 필름부의 일단에는 상기 각 전극에 전원이 접속되도록 하는 한 쌍의 전원접속부가 마련되고,

   적어도 어느 하나의 상기 전원접속부에는 상기 제2전극이 상기 필름부 외부로 전기적으로 인출되도록 하는 비아홀이 형성된 것을 특징으로 하는 쌍극형 정전척.
5. 제 4항에 있어서,

   상기 비아홀에는 상기 전극과 동일한 재질의 제1도금층이 상기 비아홀을 감싸도록 형성되고, 상기 제1도금층에는 니켈로 마련된 제2도금층과 금으로 마련된 제3도금층이 순차적으로 입혀진 것을 특징으로 하는 쌍극형 정전척.
6. 금속재질의 바디부와, 얇은 필름형태를 이루어 상기 바디부 상부에 마련되는 필름부을 구비하되,

   상기 필름부는 절연층과, 서로 상반된 극성의 전압이 인가되도록 소정의 패턴을 갖는 제1전극과 제2전극이 설치되며 상기 절연층 사이에 적재된 절연기판을 포함하고,

   상기 제1전극과 제2전극은 상기 절연기판에 의해 그 사이가 절연되도록 상기 절연기판의 상면과 하면에 각각 마련되며,

   상기 필름부의 일단에는 상기 각 전극에 전원이 접속되도록 하는 한 쌍의 전원접속부가 마련되고,

   적어도 어느 하나의 상기 전원접속부에는 상기 제2전극이 상기 절연기판 상면에 위치되도록 상기 제2전극의 위치가 뒤바뀌도록 배치된 전도(顚倒)부가 마련된 것을 특징으로 하는 쌍극형 정전척.
7. 제 6항에 있어서,

   상기 전도부가 형성된 전원접속부는 상기 제2전극이 절연기판 하면에 설치되는 메인부와, 상기 전도부를 구비하고, 상기 메인부와 전도부의 제2전극은 상호 결합되어 연결된 것을 특징으로 하는 쌍극형 정전척.

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