KR100798272B1

KR100798272B1 - Equipment for detecting and removing bubble

Info

Publication number: KR100798272B1
Application number: KR1020030095543A
Authority: KR
Inventors: 문홍래
Original assignee: 동부일렉트로닉스 주식회사
Priority date: 2003-12-23
Filing date: 2003-12-23
Publication date: 2008-01-24
Also published as: KR20050064194A

Abstract

본 발명은 초순수, 화학용액 및 포토레지스트 등과 같은 액체 상태의 물질을 관으로 이동시킬 때 발생하는 버블을 감지하고 제거하기 위한 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a device for detecting and removing bubbles generated when moving a liquid substance such as ultrapure water, chemical solution and photoresist into a tube.

본 발명의 버블 감지 및 제거 장치는 액체 공급 장치에 연결되고, 한 쌍 이상의 산/골의 형상을 갖는 관; 상기 관의 상의 형상을 갖는 영역에 부착된 하나 이상의 센서; 상기 센서의 신호를 받아 신호를 처리하는 제어부; 상기 관과 연결된 밸브; 및 상기 밸브와 연결된 분배관 및 배수관을 포함하여 이루어진다.Bubble detection and removal device of the present invention is connected to the liquid supply device, the tube having a shape of at least one pair of acid / bone; One or more sensors attached to an area having a shape on the tube; A control unit which receives a signal from the sensor and processes the signal; A valve connected with the pipe; And a distribution pipe and a drain pipe connected to the valve.

따라서, 본 발명의 버블 감지 및 제거 장치는 각 장치를 연결하는 관에 버블 센서를 설치하여 버블의 존재 여부를 판별하여 버블이 발생한 액상의 약품을 사용하지 않음으로써 감광액 도포 불량, 현상액의 적하 등을 방지하여 제품의 생산성을 높일 수 있는 효과가 있다.Therefore, the bubble detection and removal device of the present invention by installing a bubble sensor in the tube connecting each device to determine the presence of bubbles to avoid the application of photosensitive liquid, poor dropping of developer, etc. by not using a liquid drug that generated bubbles It is effective to increase the productivity of the product.

버블, 센서Bubble, sensor

Description

Bubble for detecting and removing bubble

도 1은 본 발명에 의한 버블 감지 및 제거 장치의 단면도.
1 is a cross-sectional view of the bubble detection and removal device according to the present invention.

본 발명은 버블 감지 및 제거 장치에 관한 것으로, 보다 자세하게는 연결 관의 일부 영역을 산/골의 형상으로 높이 차이를 두어 버블이 높은 영역에 모이도록 하고, 버블을 감지하는 센서를 설치하여 버블을 감지하고, 버블이 있는 약품을 제거하기 위해 배수관을 설치한 버블 감지 및 제거 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for detecting and removing bubbles, and more particularly, a portion of the connection pipe has a height difference in the shape of a mountain / valve so that the bubbles are collected in a high region, and a bubble sensor is installed to install the bubble. The present invention relates to a bubble detecting and removing device for detecting and removing a bubbled drug.

반도체 제조 공정 중 감광액(Photoresist)을 입히는 공정이 있다. 이 감광액은 보통 제조 공장에서 제공되어지는 병에 담겨져 있는데, 펌프(Pump)나 질소 가스에 의해서 관(Tube)을 통해 장비 내부로 이동되어지고, 기판위로 도포되어진다.There is a process of coating a photoresist in a semiconductor manufacturing process. The photoresist is usually contained in a bottle provided at the manufacturing plant, which is pumped into the equipment by a tube or nitrogen gas and applied onto the substrate.

이 과정에서 관 내에 공기가 흡입되어 버블(Bubble)이 발생되는 경우가 있다. 발생된 버블은 장비 내부에서 기판 위로 감광액을 도포할 때 비정상적인 상태를 유발할 수 있다. 예를 들면 감광액을 기판의 중앙에만 도포해야 하는데 버블에 의해서 기판 위에 무작위로 도포될 수가 있다. 이렇게 되면 기판 위에 감광액 두께가 일정하지 못하여 노광시 정상적인 패턴을 형성하지 못하게 된다. In this process, air may be sucked into the tube to generate bubbles. The generated bubbles can cause abnormal conditions when applying photoresist onto the substrate inside the equipment. For example, the photoresist should be applied only to the center of the substrate, which can be randomly applied onto the substrate by bubbles. In this case, the thickness of the photoresist may not be constant on the substrate, thereby preventing a normal pattern from being formed upon exposure.

그리고 현상액 및 초순수 라인에서의 버블은 ON/OFF시의 분배(Dispense)상태를 불량하게 하여 드리핑(Dripping)의 원인이 되고 틴너 라인(Thinner Line)에서의 버블은 EBR(Edge Bid Removal) 공정시 기판위로 틴너가 침범하는 문제를 초래한다.In addition, bubbles in the developer and the ultrapure water line may cause a dispensing state at the time of ON / OFF, causing dripping, and bubbles in the thinner line may cause the substrate during the edge bridging (EBR) process. Tinner is invading.

위와 같이 관 내 버블이 있는 상태에서 공정을 진행할 경우, 포토공정에서는 이미 대량진행 후 비로소 발견되는 경우가 많다. 따라서 대량의 재공정 발생으로 인한 생산성 저하와 수율의 감소로 이어지는 문제점이 있다.
When the process is carried out in the presence of bubbles in the tube as described above, it is often found in the photo process only after the mass process. Therefore, there is a problem that leads to a decrease in productivity and a decrease in yield due to a large amount of reprocessing.

따라서, 본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 연결 관을 산/골의 형상으로 형성하여 버블이 관 내에 존재하는 경우 센서로 감지하여 버블이 있는 약품을 제거하는 버블 감지 및 제거 장치를 제공함에 본 발명의 목적이 있다.
Accordingly, the present invention is to solve the problems of the prior art as described above, by forming a connection tube in the shape of acid / valley bubble detection to remove the drug with a bubble by detecting with a sensor when the bubble is present in the tube and It is an object of the present invention to provide a removal device.

본 발명의 상기 목적은 액체 공급 장치에 연결되고, 한 쌍 이상의 산/골의 형상을 갖는 관; 상기 관의 상의 형상을 갖는 영역에 부착된 하나 이상의 센서; 상기 센서의 신호를 받아 신호를 처리하는 제어부; 상기 관과 연결된 밸브; 및 상기 밸브와 연결된 분배관 및 배수관을 포함하여 이루어진 버블 감지 및 제거 장치에 의해 달성된다.The object of the present invention is connected to a liquid supply device, the tube having a shape of at least one pair of acid / bone; One or more sensors attached to an area having a shape on the tube; A control unit which receives a signal from the sensor and processes the signal; A valve connected with the pipe; And it is achieved by a bubble detection and removal device comprising a distribution pipe and a drain pipe connected with the valve.

본 발명의 상기 목적과 기술적 구성 및 그에 따른 작용효과에 관한 자세한 사항은 본 발명의 바람직한 실시예를 도시하고 있는 도면을 참조한 이하 상세한 설명에 의해 보다 명확하게 이해될 것이다.Details of the above object and technical configuration of the present invention and the effects thereof according to the present invention will be more clearly understood by the following detailed description with reference to the drawings showing preferred embodiments of the present invention.

먼저, 도 1은 본 발명에 의한 버블 감지 및 제거 장치의 단면도이다. 도에서 보는 바와 같이 연결 관(11)이 포토레지스트, 초순수 및 여러 약품을 공급하는 공급 장치(도시 안함)와 상기 여러 약품을 사용하는 사용 장치(도시 안함)를 연결해 주고 있다. 버블을 감지하고 제거하기 위해서 상기 연결 관의 소정의 위치에 한 쌍 이상의 산/골의 형상을 갖는 연결 관을 설치한다.First, Figure 1 is a cross-sectional view of the bubble detection and removal device according to the present invention. As shown in the figure, the connecting pipe 11 connects a supply device (not shown) for supplying photoresist, ultrapure water and various chemicals with a use device (not shown) using the various chemicals. In order to detect and remove bubbles, a connection tube having a shape of one or more pairs of hills and valleys is installed at a predetermined position of the connection tube.

이 때 상기 산/골의 형상은 연결 관의 직경의 변화는 없으나, 연결 관의 다른 부분보다 높은 위치에 놓여진 것이 "산"(12)의 위치이고, 연결 관의 다른 부분과 같은 높이거나 비슷한 높이이면 "골"(13)의 위치이다. 상기와 같이 연결 관이 산/골로 형성되어 있고, 관 내부의 액체가 움직이지 않을 경우에 관 속에 버블이 있다면 버블이 액체보다 밀도가 작아 가벼우므로 높은 곳인 "산"으로 이동하게 된다. 따라서 관 속에 버블이 존재한다면 산의 위치에 버블이 모이게 되고 모인 버블이 합쳐져서 커지게 되어 버블을 더욱 쉽게 검사할 수 있게 된다.At this time, the shape of the hill / valley does not change the diameter of the connecting pipe, but the position of the "mountain" 12 is placed at a higher position than the other part of the connecting pipe, and the same height as or similar to the other parts of the connecting pipe. This is the position of the " gol " As described above, when the connection tube is formed of an acid / valve and there is a bubble in the tube when the liquid inside the tube does not move, the bubble is lighter because the bubble is less dense than the liquid, and thus moves to a high "acid". Therefore, if there is a bubble in the tube, the bubble is collected at the acid position and the bubbles are merged and become larger, making it easier to inspect the bubble.

이 때 상기 버블을 검사하는 센서(14)는 "산"의 가장 높은 곳에 형성되어 있어 버블의 존재 여부를 쉽게 검사할 수 있다. 도 1에서는 산/골이 3쌍이 형성되어 있으나 경우에 따라서는 1쌍, 2쌍 또는 여러 쌍을 설치할 수 있다.At this time, the sensor 14 for inspecting the bubble is formed at the highest point of the "acid", it is easy to check the presence of the bubble. In FIG. 1, three pairs of hills / valleys are formed, but in some cases, one pair, two pairs, or several pairs may be installed.

그리고 각 센서에서 버블의 존재 여부를 검사한 결과를 제어부(15)에 신호를 보내어 버블이 존재할 경우 제어부에서 알람(Alarm)을 발생하거나 자동으로 밸브(16)를 조정하여 배수관(17)으로 버블이 있는 액체를 흐르게 한다. 상기 배수관(17)은 상기 버블이 있는 액체를 사용하지 않고 버리거나 재처리하여 다시 재활용할 수 있도록 한다. 한편 분배관(18)은 버블이 없는 액체를 이송하여 약품인 액체를 사용하는 장치에 분배하는 역할을 한다.In addition, each sensor sends a signal to the controller 15 to check whether there is a bubble, and if there is a bubble, the controller generates an alarm or automatically adjusts the valve 16 to discharge the bubble into the drain pipe 17. Let the liquid flow. The drain pipe 17 can be discarded or reprocessed without using the bubbled liquid and can be recycled again. On the other hand, the distribution tube 18 serves to convey the liquid free of bubbles and to distribute the device to the drug liquid.

상세히 설명된 본 발명에 의하여 본 발명의 특징부를 포함하는 변화들 및 변형들이 당해 기술 분야에서 숙련된 보통의 사람들에게 명백히 쉬워질 것임이 자명하다. 본 발명의 그러한 변형들의 범위는 본 발명의 특징부를 포함하는 당해 기술 분야에 숙련된 통상의 지식을 가진 자들의 범위 내에 있으며, 그러한 변형들은 본 발명의 청구항의 범위 내에 있는 것으로 간주된다.
It will be apparent that changes and modifications incorporating features of the invention will be readily apparent to those skilled in the art by the invention described in detail. It is intended that the scope of such modifications of the invention be within the scope of those of ordinary skill in the art including the features of the invention, and such modifications are considered to be within the scope of the claims of the invention.

따라서, 본 발명의 버블 감지 및 제거 장치는 연결 관을 산/골의 형상으로 형성하고 산의 가장 높은 부분에 버블 센서를 장착함으로써 버블의 존재 여부를 판별하여 버블이 발생한 액상의 약품을 사용하지 않음으로써 감광액 도포 불량, 현상액의 적하 등을 방지하여 제품의 생산성을 높일 수 있는 효과가 있다.Therefore, the bubble detecting and removing device of the present invention forms a connection tube in the shape of an acid / a bone and mounts a bubble sensor at the highest part of the acid to determine whether bubbles exist and does not use liquid chemicals in which bubbles are generated. As a result, the photoresist coating defect, the dropping of the developer and the like can be prevented to increase the productivity of the product.

Claims

Bubble detection and removal device,

A tube connected to the liquid supply device and having a shape of at least one pair of acid / valley;

One or more sensors attached to an area having a shape on the tube;

A control unit which receives a signal from the sensor and processes the signal;

A valve connected with the pipe; And

Distribution pipe and drain pipe connected with the valve

Bubble detection and removal device characterized in that comprises a.

The method of claim 1,

And the control unit generates an alarm in response to a signal from the sensor.

The method of claim 1,

The control unit controls the valve in response to the signal from the sensor to detect and remove the bubble, characterized in that the liquid flows into the distribution pipe or drain pipe.