KR100791581B1

KR100791581B1 - 화학용액 저장탱크의 구조

Info

Publication number: KR100791581B1
Application number: KR1020070086514A
Authority: KR
Inventors: 이준열; 서봉수
Original assignee: (주)원익머트리얼즈
Priority date: 2007-08-28
Filing date: 2007-08-28
Publication date: 2008-01-04

Abstract

본 발명은 화학용액 저장탱크의 구조에 관한것으로 상세하게는 화학용액을 저장하는 탱크의 구조에 있어서, 측면상 원통형의 저장탱크가 2중 구조로 형성되어 내부탱크의 하측과 외부탱크의 하측간에 냉각수가 흐르는 냉각수관이 설치되어지고, 내부탱크의 내부에 각각 간격이 이격되어 용액의 유동을 방지하는 5개의 유동방지막이 설치되어지며, 상기 유동방지막과 내부탱크의 하측 간에 내부의 용액을 가열하여 기화시키는 가열판이 다수개 설치되어지고, 상기 외부탱크의 상측에 기화되어진 기체를 외부로 배출시키는 배출관이 설치되고, 상기 배출관의 밸브와 가열판, 내부탱크의 하측에 설치되는 냉각수관의 밸브, 온도센서 및 압력계가 연결되어 배출관의 밸브와 가열판, 내부탱크의 하측에 설치되는 냉각수관의 밸브를 설정되어진 설정값으로 동작을 조절하는 컨트롤러가 외부에 설치되어지고, 상기 가열판에 전원을 공급하는 전원공급장치가 상기 컨트롤러와 가열판에 연결되며, 상기 냉각수관에 연결되어 냉각수를 공급하는 펌프와 냉각수를 냉각시키는 냉각장치가 외부에 설치되어 상기 컨트롤러와 연결되는 것을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 화학용액 저장탱크의 구조에 관한것이다.

화학용액, 기화, 저장탱크, 면상발열체

Description

화학용액 저장탱크의 구조{Chemistry solution store tank of structure}

일반적으로 화학용액를 저장하는 탱크는 액체 상태의 화학용액을 저장하고, 이 화학용액을 외부의 기화장치를 거쳐 기화시켜 외부장치로 이송시키게 되어진다.

이러한 구조는 액상의 화학용액를 기화시켜 외부장치에 초고순도로 공급하되 동일한 순도의 기체 화학용액를 공급하도록 하는 구조이다.

일반적인 화학용액 저장탱크는 저장탱크의 온도에 따라 탱크 내부에 형성되어지는 기체상태의 화학물질을 외부장치에서 사용할 때 항상 동일한 초고순도의 기체를 공급하지 못하고 온도와 탱크의 압력에 따라 기체의 순도가 변화 되어지며, 외부에 따로 기화장치를 마련하여야 하므로 설치 공간이 따로 필요하고, 기화장치의 운용에 고비용이 소모되어지는 문제점이 있다.

본 발명은 화학용액 저장탱크의 구조에 관한것으로 상세하게는 화학용액을 저장하는 탱크의 구조에 있어서, 측면상 원통형의 저장탱크가 2중 구조로 형성되어 내부탱크의 하측과 외부탱크의 하측간에 냉각수가 흐르는 냉각수관이 설치되어지고, 내부탱크의 내부에 각각 간격이 이격되어 용액의 유동을 방지하는 5개의 유동방지막이 설치되어지며, 상기 유동방지막과 내부탱크의 하측 간에 내부의 용액을 가열하여 기화시키는 가열판이 다수개 설치되어지고, 상기 외부탱크의 상측에 기화되어진 기체를 외부로 배출시키는 배출관이 설치되고, 상기 배출관의 밸브와 가열판, 내부탱크의 하측에 설치되는 냉각수관의 밸브, 온도센서 및 압력계가 연결되어 배출관의 밸브와 가열판, 내부탱크의 하측에 설치되는 냉각수관의 밸브를 설정되어진 설정값으로 동작을 조절하는 컨트롤러가 외부에 설치되어지고, 상기 가열판에 전원을 공급하는 전원공급장치가 상기 컨트롤러와 가열판에 연결되며, 상기 냉각수관에 연결되어 냉각수를 공급하는 펌프와 냉각수를 냉각시키는 냉각장치가 외부에 설치되어 상기 컨트롤러와 연결되는 것을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 화학용액 저장탱크의 구조를 제공하는데 그 목적이 있다.

본 발명은 면상발열체를 이용하여 탱크 내부에서 화학용액을 기화시켜 배출관을 통해 배출시키므로 외부에 기화장치가 따로 필요하지 않고, 탱크 내부에서 자연적으로 형성되어지는 기체를 따로 분리해서 뽑아낼 필요없게되며, 초고순도의 기체를 균일하게 외부장치에 공급할 수 있는 효과가 있다.

본 발명은 화학용액을 저장하는 탱크의 구조에 있어서, 측면상 원통형의 저장탱크가 2중 구조로 형성되어 내부탱크(20)의 하측과 외부탱크(10)의 하측 간에 냉각수가 흐르는 냉각수관(50)이 설치되어지고, 내부탱크(20)의 내부에 각각 간격이 이격되어 용액의 유동을 방지하는 5개의 유동방지막(70)이 설치되어지며, 상기 유동방지막(70)과 내부탱크(20)의 하측 간에 내부의 용액을 가열하여 기화시키는 가열판(80)이 다수개 설치되어지고, 상기 외부탱크(10)의 상측에 기화되어진 기체를 외부로 배출시키는 배출관(40)이 설치되고, 상기 배출관(40)의 밸브와 가열판(80), 내부탱크(20)의 하측에 설치되는 냉각수관(50)의 밸브, 온도센서(60) 및 압력계(65)가 연결되어 배출관(40)의 밸브와 가열판(80), 내부탱크(20)의 하측에 설치되는 냉각수관(50)의 밸브를 설정되어진 설정값으로 동작을 조절하는 컨트롤러(30)가 외부에 설치되어지고, 상기 가열판(80)에 전원을 공급하는 전원공급장치(90)가 상기 컨트롤러(30)와 가열판(80)에 연결되며, 상기 냉각수관(50)에 연결 되어 냉각수를 공급하는 펌프(96)와 냉각수를 냉각시키는 냉각장치(95)가 외부에 설치되어 상기 컨트롤러(30)와 연결되는 것을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 화학용액 저장탱크의 구조.

이때, 상기 가열판(80)은 면상발열체를 사용하게된다.

그리고, 상기 유동방지막(70)은 판의 내측으로 다수개의 홀이 형성되어 용액을 일부 유동시진다.

또한, 상기 냉각수관(50)의 밸브와 가열판(80)은 상기 컨트롤러(30)에 연결되어진 온도센서(60)와 압력계(65)의 온도와 압력을 측정하여 화학용액의 온도와 탱크 내부의 압력에 맞도록 컨트롤러(30)를 통해 작동되어 탱크내부의 압력을 조절하며, 동일한 초고순도의 기체를 배출관(40)으로 배출한다.

그리고, 상기 외부탱크(10)의 하측에는 액체 배출관(45)이 형성되어 상기 저장탱크내의 초고순도의 기체를 배출한뒤 잔류하는 화학용액을 배출시키며, 액체 배출관(45)에 설치되는 밸브가 컨트롤러(30)에 연결되어 제어된다.

즉, 본 발명을 일실시예를 들어 좀더 상세하게 설명하면 다음과 같다.

화학용액을 저장하는 저장탱크의 내부 하측에 면상발열체로 이루어진 다수의 가열판(80)을 설치하여 화학용액을 가열하여 초고순도의 기체를 생성하고, 적정수준 이상 상승되어지는 용액의 온도를 낮추는 냉각수관(50)이 외부탱크(10)와 내부탱크(20) 간의 하측에 설치되어 외부의 냉각수 냉각장치(95)에서 공급되어지는 냉각수로 탱크를 냉각시키며, 탱크 내부에 화학용액의 유동을 방지하는 유동방지막(70)이 설치되어지고, 상기 냉각수 냉각장치(95)에 설치된 펌프(96)와 밸브가 연 결되어지고, 상기 가열판(80)과 탱크 내부의 온도를 측정하는 온도센서(60)와 탱크 내부의 압력을 측정하는 압력계(65)가 연결되며, 배출관(40)의 밸브가 연결되어져 각 장치들을 컨트롤 하는 컨트롤러(30)가 탱크의 외부에 설치되어진다.

상기 유동방지막(70)은 내측으로 다수개의 홀이 형성되어 화학용액을 일부 유동시켜 저장탱크의 흔들림을 최소화 하게 된다.

그리고, 액체 배출관(45)이 저장탱크의 하측에 설치되어 바닥에 잔류하는 화학용액을 배출시키케 된다.

도 1은 본 발명에 따른 화학용액 저장탱크의 구조를 나타낸 전체 구성도,

도 2는 본 발명에 따른 화학용액 저장탱크에 사용되는 가열판인 면상가열판의 구성도,

도 3은 본 발명에 따른 화학용액 저장탱크의 측단면도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

10 : 외부탱크 20 : 내부탱크

30 : 컨트롤러 40 : 배출관

50 : 냉각수관 60 : 온도센서

70 : 유동방지막 80 : 발열판

90 : 전원공급장치

Claims

화학용액을 저장하는 탱크의 구조에 있어서,

측면상 원통형의 저장탱크가 2중 구조로 형성되어 내부탱크(20)의 하측과 외부탱크(10)의 하측 간에 냉각수가 흐르는 냉각수관(50)이 설치되어지고, 내부탱크(20)의 내부에 각각 간격이 이격되어 용액의 유동을 방지하는 5개의 유동방지막(70)이 설치되어지며, 상기 유동방지막(70)과 내부탱크(20)의 하측 간에 내부의 용액을 가열하여 기화시키는 가열판(80)이 다수개 설치되어지고, 상기 외부탱크(10)의 하측에는 기화되어진 기체를 외부로 배출시키는 배출관(40)이 탱크의 상측에서 연장되어 설치되고, 상기 배출관(40)의 밸브와 가열판(80), 내부탱크(20)의 하측에 설치되는 냉각수관(50)의 밸브, 온도센서(60) 및 압력계(65)가 연결되어 배출관(40)의 밸브와 가열판(80), 내부탱크(20)의 하측에 설치되는 냉각수관(50)의 밸브를 설정되어진 설정값으로 동작을 조절하는 컨트롤러(30)가 외부에 설치되어지고, 상기 가열판(80)에 전원을 공급하는 전원공급장치(90)가 상기 컨트롤러(30)와 가열판(80)에 연결되며, 상기 냉각수관(50)에 연결되어 냉각수를 공급하는 펌프(96)와 냉각수를 냉각시키는 냉각장치(95)가 외부에 설치되어 상기 컨트롤러(30)와 연결되는 것을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 화학용액 저장탱크의 구조.
제 1항에 있어서,

상기 가열판(80)은 면상발열체를 사용하는 것을 특징으로 하는 화학용액 저장탱크의 구조.
제 1항에 있어서,

상기 유동방지막(70)은 판의 내측으로 다수개의 홀이 형성되어 용액을 일부 유동시키는 것을 특징으로 하는 화학용액 저장탱크의 구조.
제 1항에 있어서,

상기 냉각수관(50)의 밸브와 가열판(80)은 상기 컨트롤러(30)에 연결되어진 온도센서(60)와 압력계(65)의 온도와 압력을 측정하여 화학용액의 온도와 탱크 내부의 압력에 맞도록 컨트롤러(30)를 통해 작동되어 탱크내부의 압력을 조절하며, 동일한 초고순도의 기체를 배출관(40)으로 배출하는 것을 특징으로 하는 화학용액 저장탱크의 구조.
제 1항에 있어서,

상기 외부탱크(10)의 하측에는 액체 배출관(45)이 형성되어 상기 저장탱크내의 초고순도의 기체를 배출한뒤 잔류하는 화학용액을 배출시키며, 액체 배출관(45)에 설치되는 밸브가 컨트롤러(30)에 연결되어 제어되는 것을 특징으로 하는 화학용액 저장탱크의 구조.