KR100772946B1 - Electrodeposited copper foil with low roughness surface and process for producing the same - Google Patents

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Abstract

표면조도 Rz 가 2.0㎛ 이하이면서 요철의 기복이 없이 균일하게 저조도화된 조면을 가지고, 또한 180℃ 에서의 연신율이 10.0% 이상인 저조면 전착 동박이다. 이 저조면 전착 동박은, 황산-황산구리수용액을 전해액으로 하고, 백금속 원소 또는 그 산화물 원소로 피복한 티탄판으로 이루어지는 불용성 양극과 이 양극에 대향하는 음극에 티탄제 드럼을 사용하여, 상기 양극과 음극 사이에 직류 전류를 통과시키는 전착 동박의 제조 방법에 있어서, 상기 전해액에 옥시에틸렌계 계면 활성제, 폴리에틸렌이민 또는 그 유도체, 활성 유기 황화합물의 술폰산염 및 염소 이온을 존재시킴으로써 얻을 수 있다. Surface roughness Rz is 2.0 micrometers or less, it is a low roughness electrodeposition copper foil which has the roughening surface uniformly low roughness without the unevenness | corrugation, and the elongation at 180 degreeC is 10.0% or more. This low surface electrodeposited copper foil uses an insoluble anode made of a titanium plate coated with an aqueous sulfuric acid-copper sulfate solution and coated with a white metal element or an oxide element thereof, and a titanium drum is used for the anode facing the anode. In the manufacturing method of the electrodeposited copper foil which let a direct current flow through a negative electrode, it can obtain by making oxyethylene type surfactant, polyethyleneimine or its derivative (s), sulfonate of an active organic sulfur compound, and chlorine ion exist in the said electrolyte solution.

Description

저조면 전착 동박 및 그 제조 방법{ELECTRODEPOSITED COPPER FOIL WITH LOW ROUGHNESS SURFACE AND PROCESS FOR PRODUCING THE SAME} Low surface electrodeposition copper foil and manufacturing method therefor {ELECTRODEPOSITED COPPER FOIL WITH LOW ROUGHNESS SURFACE AND PROCESS FOR PRODUCING THE SAME}

본 발명은, 프린트 배선판 용도나 리튬 이차 전지용 음극 집전체 용도로 사용할 수 있는 조면에 요철의 기복이 없이 균일하게 저조도화된 조면을 갖는 저조면 전착 동박 및 그 제조 방법에 관한 것이다. The present invention relates to a low roughness electrodeposited copper foil having a roughened surface that is uniformly low roughness without roughness on the rough surface that can be used for a printed wiring board or a negative electrode current collector for a lithium secondary battery.

공지된 바와 같이, 전착 동박은, 황산-황산구리수용액을 전해액으로 하고, 백금속 원소 또는 그 산화물 원소로 피복한 티탄판으로 이루어지는 불용성 양극과 이 양극에 대향하는 음극에 티탄제 드럼을 사용하여, 상기 양극과 음극 사이에 직류 전류를 통함으로써 티탄제 드럼 표면에 전착 구리를 석출시키고, 이 때 티탄제 드럼은 일정 속도로 회전하고 있어, 석출된 전착 구리를 드럼 표면으로부터 떼어내어 연속적으로 권취하는 방법에 의해 제조된다. As is well known, the electrodeposited copper foil uses a sulfur-containing copper sulfate aqueous solution as an electrolyte and a titanium drum for an insoluble anode made of a titanium plate coated with a white metal element or an oxide element thereof, and a cathode facing the anode. The electrodeposited copper is deposited on the surface of the titanium drum by passing a direct current between the anode and the cathode. At this time, the titanium drum rotates at a constant speed, and the electrodeposited copper is removed from the drum surface and wound up continuously. Is manufactured by.

또한, 본 발명에서는, 전착 동박의 드럼 표면에 접하고 있던 측의 면을 「광택면 (gloss surface) 」 이라고 칭하고, 반대의 면을 「조면 (roughness surface)」 이라고 칭한다. In addition, in this invention, the surface of the side which contacted the drum surface of electrodeposited copper foil is called "gloss surface", and the opposite surface is called "roughness surface."

상기한 바와 같이 하여 전착 동박이 제조되고 있지만, 이 전착 동박은 당업자 사이에서 「미처리 동박」 이라고 불리우고 있고, 통상은 이 미처리 동박의 상태로 사용되는 일은 없고, 인쇄 회로용 전착 동박의 경우에는, 수지와의 접착성을 향상시키는 것을 목적으로 한 조화 (粗化) 처리 공정이나 내열성, 내약품성 및 방청력을 부여하는 것을 목적으로 한 각종 표면 처리 공정을 거쳐 제품으로 되고 있다. Although electrodeposition copper foil is manufactured as mentioned above, this electrodeposition copper foil is called "unprocessed copper foil" among those skilled in the art, and is not normally used in the state of this untreated copper foil, In the case of the electrodeposition copper foil for printed circuits, resin It is made into a product through the roughening process aimed at improving adhesiveness, and the various surface treatment processes aimed at providing heat resistance, chemical resistance, and rust prevention power.

오래 전에는, 미처리 전착 동박의 제조 공정에서 전해액에 10~100mg/L 의 염소 이온과 0.1~4.0mg/L 의 아교 또는 젤라틴을 존재시킴으로써 조면측의 산곡 (山谷) 형상을 첨예화시키는 (거칠게 하는) 수단이 채용되었지만, 최근에 이르러서는, 전착 동박의 용도인 프린트 배선판이나 리튬 이차 전지용 음극 집전체에는 조면측의 조도가 가능한 한 낮고, 광택면과 조면의 조도차가 작으며 (광택면은 음극 드럼 표면의 평활한 형상이 복사되기 때문에, 광택면과 조면 사이에는 필연적으로 조도차가 생긴다), 또한 얇은 전착 동박이 요구되고 있다. A long time ago, a means of sharpening (roughening) the rough shape of the rough surface by the presence of 10 to 100 mg / L chlorine ions and 0.1 to 4.0 mg / L glue or gelatin in the electrolytic solution in the manufacturing process of the untreated electrodeposited copper foil. In recent years, the roughness of the roughness side is as low as possible in the printed wiring board and the negative electrode current collector for lithium secondary batteries, which are the uses of electrodeposited copper foil, and the roughness difference between the glossy surface and the rough surface is small (the glossy surface is the Since a smooth shape is copied, a roughness difference inevitably arises between a gloss surface and a rough surface), and thin electrodeposited copper foil is calculated | required.

이것은, 프린트 배선판의 경우에는, 라인이나 패턴의 미세화에 수반되는 회로 정밀도 향상의 관점에서의 요구 때문이며, 또한, 리튬 이온 이차 전지용 음극 집전체의 경우에는, 광택면과 조면의 조도차, 다시 말하면, 표면적의 차이에 기초하는 전지 반응의 차이를 고려할 필요가 적어진다는 이유 때문이다. This is because of the demand from the viewpoint of improving the circuit accuracy accompanying the miniaturization of lines and patterns in the case of a printed wiring board, and in the case of a negative electrode current collector for a lithium ion secondary battery, the roughness difference between the gloss surface and the rough surface, that is, This is because there is less need to consider the difference in battery reaction based on the difference in surface area.

그러나, 광택면과 조면의 조도차를 작게 하고, 더구나 실용 가능한 기계적 여러 특성을 만족시키는 것은 어렵다. However, it is difficult to reduce the roughness difference between the gloss surface and the rough surface, and to satisfy various practical mechanical properties.

종래, 전착 동박의 제조 방법에 있어서, 전해액에 각종 수용성 고분자 물질, 각종 계면 활성제, 각종 유기 유황계 화합물, 염소 이온 등을 적절히 선정하여 첨가함으로써 광택면과 조면의 조도차를 작게 할 수 있는 것이 알려져 있고, 예를 들어, 일본 공개특허공표공보 2002-506484호에는, 전해액에 저분자량 수용성 셀룰로오스에테르, 저분자량 수용성 폴리알킬렌글리콜에테르, 저분자량 수용성 폴리에틸렌이민 및 수용성 술폰화 유기 황화합물을 첨가하는 경우에는 조면측에 약 3.8㎛ 이하의 높이의 미세 돌출단을 갖는 전착 동박 (미처리 전착 동박) 이 얻어지는 것이 개시되어 있고, 예를 들어, 일본 특허 제3313277호 공보에는, 전해액에 셀룰로오스에테르, 저분자량 아교, 메르캅토기를 갖는 화합물 및 염화물 이온을 첨가하는 경우에는, 조면측의 조도가 낮아서 광택면과 조면의 조도차가 작고, 더구나 고온에서 높은 연신율을 나타내는 전착 동박 (미처리 전착 동박) 이 얻어지는 것이 개시되어 있다. Conventionally, in the manufacturing method of electrodeposited copper foil, it is known that the roughness difference of a gloss surface and a rough surface can be made small by appropriately selecting and adding various water-soluble high molecular substance, various surfactant, various organic sulfur type compounds, chlorine ion, etc. to electrolyte solution. For example, in JP 2002-506484 A, a low molecular weight water soluble cellulose ether, a low molecular weight water soluble polyalkylene glycol ether, a low molecular weight water soluble polyethyleneimine and a water soluble sulfonated organic sulfur compound are added to an electrolyte solution. It is disclosed that electrodeposited copper foil (untreated electrodeposited copper foil) having a fine protrusion end of about 3.8 μm or less on the rough surface side is obtained. For example, Japanese Patent No. 3313277 discloses a cellulose ether, a low molecular weight glue, In the case of adding a compound having a mercapto group and chloride ion, the roughness on the rough surface side is low. It is disclosed that the electrodeposited copper foil (untreated electrodeposited copper foil) which has a small roughness difference between Arthur gloss surface and a rough surface and shows high elongation at high temperature is also obtained.

본 발명자 등은, 황산-황산구리수용액으로 이루어지는 전해액에 상기 각 공보에 기재되어 있는 각종 수용성 고분자 물질, 각종 유기 유황계 화합물, 염소 이온 등을 적절히 조합해서 첨가하여, 전착 동박을 얻는 실험을 수차례 실시한 결과, 얻어진 전착 동박의 조면측의 조도는 낮게 할 수 있었지만, 이 조면에는 완만한 요철의 기복 (뒤에 나오는 도 7 참조) 이 발생하였다. The inventors conducted several experiments in which an electrodeposited copper foil was obtained by appropriately adding various water-soluble high molecular substances, various organic sulfur compounds, chlorine ions, and the like described in the above publications to an electrolyte solution composed of a sulfuric acid-copper sulfate aqueous solution. As a result, although the roughness of the roughening side of the obtained electrodeposited copper foil could be made low, the roughness of the uneven | corrugated unevenness (refer FIG. 7 below) generate | occur | produced in this roughening surface.

전착 동박 (미처리 전착 동박) 의 조면에 발생하고 있는 완만한 요철의 기복은, 상기 조화 처리 공정에서 구리 결정 입자의 이상 석출을 초래하는 요인이 되어, 제품의 연신율 (Rz) 를 상승시키게 된다. The undulations of the smooth unevenness occurring in the rough surface of the electrodeposited copper foil (untreated electrodeposited copper foil) become a factor causing abnormal precipitation of copper crystal grains in the roughening treatment step, thereby increasing the elongation (Rz) of the product.

또한, 플렉시블 프린트 배선판 용도에서는 절연 필름과 접착시키는 공정에서 동박은 열이력 (熱履歷) 을 받아, 구리 결정 입자가 작은 경우에는 이 열이력에 의해서 그 구리 결정 입자가 입자 성장하여 조대해진다. Moreover, in the flexible printed wiring board use, copper foil receives thermal history in the process of adhering with an insulating film, and when copper crystal grains are small, the copper crystal grains grow and coarsen by this thermal history.

그래서, 본 발명은, 프린트 배선판 용도나 리튬 이차 전지용 음극 집전체 용도로 사용할 수 있는 조면에 요철의 기복이 없이 균일하게 저조도화된 조면을 갖는 저조면 전착 동박, 구체적으로는 연신율 Rz 가 2.0㎛ 이하이면서 요철의 기복이 없이 균일하게 저조도화된 조면을 가지고, 또한 180℃ 에서의 연신율이 10.0% 이상인 저조면 전착 동박을 제공하는 것을 기술적 과제로 하고 있다. Therefore, the present invention provides a low roughness electrodeposited copper foil having a roughly low roughened roughness without roughness on the rough surface that can be used for a printed wiring board or a negative electrode current collector for a lithium secondary battery, specifically, an elongation Rz of 2.0 μm or less. On the other hand, it is a technical problem to provide the low roughness electrodeposition copper foil which has the roughness uniformly low roughness without the unevenness | corrugation, and whose elongation at 180 degreeC is 10.0% or more.

그리고, 본 발명자 등은, 상기 과제를 달성하기 위해 예의 검토를 거듭한 결과, 황산-황산구리수용액으로 이루어지는 전해액에 폴리옥시에틸렌계 계면 활성제, 폴리에틸렌이민 또는 그 유도체, 활성 유기 황화합물의 술폰산염 및 염소 이온의 4개의 첨가제를 존재시키는 경우에는, 표면조도 Rz 가 2.0㎛ 이하이면서 요철의 기복이 실질적으로 없고 균일하게 저조도화된 조면을 가지고, 또한 180℃ 에서의 연신율이 10.0% 이상인 저조면 전착 동박이 얻어진다는 괄목 할 사실을 알게 되어, 당해 과제를 달성한 것이다. The inventors of the present invention have made extensive studies to achieve the above-mentioned problems. As a result, polyoxyethylene surfactants, polyethyleneimine or derivatives thereof, sulfonates and chlorine ions of active organic sulfur compounds are used in an electrolyte solution composed of sulfuric acid-copper sulfate solution. In the presence of four additives, a low roughness electrodeposited copper foil having a surface roughness Rz of 2.0 μm or less, substantially free of unevenness and uniformly low roughness, and an elongation at 180 ° C. of 10.0% or more is obtained. I learned that it was remarkable, and achieved the subject.

(본 발명의 개시)Disclosure of the Invention

즉, 본 발명은, 표면조도 Rz 가 2.0㎛ 이하이면서 요철의 기복이 없이 균일하게 저조도화된 조면을 가지고, 또한 180℃ 에서의 연신율이 10.0% 이상인 것을 특징으로 하는 저조면 전착 동박이다. That is, the present invention is a low roughness electrodeposited copper foil having a surface roughness Rz of 2.0 µm or less and having a rough surface uniformly low roughness without undulation of unevenness, and an elongation at 180 ° C of 10.0% or more.

또한, 본 발명은, 상기 저조면 전착 동박에 있어서, JIS (일본 공업 규격: 이하 동일) Z8741 에 기초하여 Gs (85°) 로 측정한 조면의 경면 (鏡面) 광택도가 100 이상인 것이다. Moreover, in this low roughening electrodeposition copper foil, this invention is a mirror surface glossiness of the roughening surface measured by Gs (85 degrees) based on JIS (Japanese Industrial Standards: same) Z8741 is 100 or more.

또한, 본 발명은, 황산-황산구리수용액을 전해액으로 하고, 백금족 원소 또는 그 산화물 원소로 피복한 티탄판으로 이루어지는 불용성 양극과 그 양극에 대향하는 음극에 티탄제 드럼을 사용하여, 이 양극과 음극 사이에 직류 전류를 통과시키는 전착 동박의 제조 방법에 있어서, 상기 전해액에 옥시에틸렌계 계면 활성제, 폴리에틸렌이민 또는 그 유도체, 활성 유기 황화합물의 술폰산염 및 염소 이온을 존재시킴으로써 표면조도 Rz 가 2.0㎛ 이하이면서 요철의 기복이 없이 균일하게 저조도화된 조면을 가지고, 또한 180℃ 에서의 연신율이 10.0% 이상인 저조면 전착 동박을 얻는 것을 특징으로 하는 저조면 전착 동박의 제조 방법이다. In addition, the present invention uses a titanium drum for an insoluble anode composed of a titanium plate coated with a platinum group element or an oxide element thereof and an anode opposite to the anode, using a sulfuric acid-copper sulfate aqueous solution as an electrolyte, between the anode and the cathode. In the method for producing an electrodeposited copper foil which allows a direct current to flow through, the surface roughness Rz is 2.0 µm or less by providing oxyethylene surfactant, polyethyleneimine or a derivative thereof, sulfonate and chlorine ions of an active organic sulfur compound in the electrolyte solution. It is a manufacturing method of the low roughness electrodeposition copper foil which has the roughening surface uniformly low roughness without the undulation of, and obtains the low roughness electrodeposition copper foil whose elongation at 180 degreeC is 10.0% or more.

또한, 본 발명은, JISZ8741 에 기초하여 Gs (85°) 로 측정한 조면의 경면 광택도가 100 이상인 저조면 전착 동박을 얻을 수 있는 상기 저조면 전착 동박의 제조 방법이다. Moreover, this invention is a manufacturing method of the said low roughening electrodeposited copper foil which can obtain the low roughening electrodeposition copper foil whose mirror surface glossiness of the roughening surface measured by Gs (85 degree) based on JISZ8741 is 100 or more.

또한, 본 발명은, 전해액 중에서의 옥시에틸렌계 계면 활성제의 농도가 10~200mg/L 인 상기 저조면 전착 동박의 제조 방법이다. Moreover, this invention is a manufacturing method of the said low rough surface electrodeposition copper foil whose density | concentration of the oxyethylene type surfactant in electrolyte solution is 10-200 mg / L.

또한, 본 발명은, 전해액 중에서의 폴리에틸렌이민 또는 그 유도체의 농도가 0.5~30.0mg/L 인 상기 저조면 전착 동박의 제조 방법이다. Moreover, this invention is a manufacturing method of the said low roughening electrodeposited copper foil whose density | concentration of the polyethylenimine or its derivative in electrolyte solution is 0.5-30.0 mg / L.

또한, 본 발명은, 전해액 중에서의 활성 유기 황화합물의 술폰산염의 농도가 5.5~450μ㏖/L 인 상기 저조면 전착 동박의 제조 방법이다. Moreover, this invention is a manufacturing method of the said low roughening electrodeposited copper foil whose density | concentration of the sulfonate of the active organic sulfur compound in electrolyte solution is 5.5-450 micromol / L.

또한, 본 발명은, 전해액 중에서의 염소 이온의 농도가 20~120mg/L 인 상기 저조면 전착 동박의 제조 방법이다. Moreover, this invention is a manufacturing method of the said low surface electrodeposition copper foil whose density | concentration of chlorine ion in electrolyte solution is 20-120 mg / L.

본 발명의 구성을 보다 자세히 설명하면, 다음과 같다. The configuration of the present invention in more detail, as follows.

본 발명에서 황산-황산구리수용액으로 이루어지는 전해액 중에 첨가하는 첨가제는, 옥시에틸렌계 계면 활성제, 폴리에틸렌이민 또는 그 유도체, 활성 유기황의 술폰산염 및 염소 이온의 4 개의 첨가제가 있는데, 이들 첨가제가 일정한 농도 영역에 있고, 또한 수용성 고분자군에 관해서는 일정한 분자량 영역에 있을 때에만 목적으로 하는 저조면 전착 동박을 얻을 수 있다. In the present invention, the additive to be added to the electrolyte solution composed of sulfuric acid-copper sulfate solution includes four additives of oxyethylene-based surfactant, polyethyleneimine or a derivative thereof, sulfonate of active organic sulfur and chlorine ion. Moreover, about the water-soluble polymer group, the target low roughness electrodeposition copper foil can be obtained only when it exists in a fixed molecular weight area | region.

먼저, 본 발명에 사용하는 옥시에틸렌계 계면 활성제로는, 폴리에틸렌글리콜로서 평균 분자량이 2000~35000 인 것, 폴리옥시에틸렌·폴리옥시프로필렌 공중합체로서 옥시프로필렌 부분의 평균 분자량이 2000~4000 이고 전분자량 중의 옥시에틸렌의 중량비가 80wt% 이상인 것, 폴리옥시에틸렌라우릴에테르, 폴리옥시에틸렌노닐페닐에테르, 비스페놀A-에틸렌옥사이드 부가물 등을 들 수 있다. 또한, 전분자량 중의 옥시에틸렌의 중량비가 80wt% 이하인 것은, 황산-황산구리수용액으로 이루어지는 전해액에 용해되지 않는다. First, as the oxyethylene surfactant used in the present invention, the polyethylene glycol has an average molecular weight of 2000 to 35000 and the polyoxyethylene polyoxypropylene copolymer has an average molecular weight of 2000 to 4000 and a starch molecular weight. The weight ratio of oxyethylene in the thing is 80 wt% or more, polyoxyethylene lauryl ether, polyoxyethylene nonyl phenyl ether, bisphenol A- ethylene oxide addition product, etc. are mentioned. Further, the weight ratio of oxyethylene in the starch molecular weight of 80 wt% or less is not dissolved in the electrolyte solution composed of sulfuric acid-copper sulfate aqueous solution.

폴리에틸렌글리콜의 평균 분자량이 2000 이하인 경우에는 전착 동박의 표면에 이상 전착 (abnormal electric deposition) 이 일어난다. When the average molecular weight of polyethyleneglycol is 2000 or less, abnormal electrodeposition occurs on the surface of electrodeposited copper foil.

본 발명에서는, 상기 화합물 중의 1 종류 또는 2 종류 이상을 조합해서, 그 단독 또는 합계의 전해액 중에서의 농도가 10~200mg/L 이 되도록 전해액에 첨가한다. 이 농도 범위의 하한치는 중요하고, 폴리에틸렌이민 및 그 유도체, 활성 유기황의 술폰산염 및 염소 이온이, 후술하는 각 바람직한 농도 범위로 조정되어 있더라도, 목적으로 하는 저조면 전착 동박이 얻어지지 않는 역치를 나타내고 있다. 이에 대하여 상한치는 하한 영역이 나타내는 바와 같은 목적으로 하는 저조면 전착 동박이 얻을 수 있는지 없는지를 가름하는 역치가 아니라, 공업적인 조업 조건 하에서는 경제적인 관점으로부터 그 농도를 높은 값으로 유지하는 것은 아무런 적극적 가치를 가지지 않는다. 따라서, 여기서 규정한 상한치는 얻어지는 전착 동박의 특성을 규정하기 위한 것이 아니고, 실제로는 상한 영역을 초과하는 영역에서도 목적으로 하는 저조면 전착 동박을 얻을 수 있지만 현실적이지 않다. In this invention, one type, or two or more types in the said compound are combined, and it adds to electrolyte solution so that the density | concentration in the electrolyte solution of the single or total may be 10-200 mg / L. The lower limit of this concentration range is important, and even if the polyethylenimine and its derivatives, the sulfonates and chlorine ions of the active organic sulfur are adjusted to the respective preferred concentration ranges described below, the target low roughness electrodeposited copper foil cannot be obtained. have. On the other hand, the upper limit is not a threshold for determining whether or not a low roughness electrodeposited copper foil can be obtained as indicated by the lower limit region. However, under industrial operating conditions, it is not an active value to maintain the concentration at a high value from an economic point of view. Does not have Therefore, although the upper limit prescribed | regulated here is not for defining the characteristic of the electrodeposited copper foil obtained, even if the objective low roughness electrodeposition copper foil can be obtained even in the area | region exceeding an upper limit area, it is not practical.

또한, 평균 분자량의 하한치도 중요하며, 평균 분자량 2000 에 충족되지 않은 경우에는 목적으로 하는 저조면 전착 동박이 얻어지지 않는다. 한편, 상한치는 농도 범위의 상한치와 동일하다 할 수 있으며, 예를 들어, 평균 분자량 35000 을 초과하는 폴리에틸렌글리콜을 사용하더라도 저조면 전착 동박이 얻어지는 것을 충분히 예측할 수 있다. Moreover, the lower limit of an average molecular weight is also important, and when the average molecular weight 2000 is not satisfied, the target low roughness electrodeposition copper foil is not obtained. In addition, an upper limit can be said to be the same as the upper limit of a density | concentration range, For example, even if it uses the polyethyleneglycol exceeding an average molecular weight of 35000, it can fully predict that a low roughness electrodeposition copper foil is obtained.

다음으로, 옥시에틸렌계 계면 활성제, 활성 유기 황화합물 및 염소 이온을 전해액 중에 첨가함으로써 얻어지는 전착 동박의 조면에는 완만한 요철의 기복이 발생하지만, 폴리에틸렌이민을 첨가함으로써 이러한 기복의 발생을 억제할 수 있다. Next, although the roughness of the unevenness | corrugation arises in the roughening surface of the electrodeposited copper foil obtained by adding an oxyethylene type surfactant, an active organic sulfur compound, and chlorine ion in electrolyte solution, generation of such an ups and downs can be suppressed by adding polyethyleneimine.

본 발명에 사용하는 폴리에틸렌이민은, 중량 평균 분자량이 600 이상인 것이 바람직하고, 10000 이상인 것이 보다 바람직하다. 중량 평균 분자량이 600 이상인 것이면, 하기 화학식 (1) 에 나타낸 직선형, 화학식 (2) 에 나타낸 분기형의 어떤 것을 사용해도 되고, 양자의 혼합물을 사용할 수도 있다. It is preferable that the weight average molecular weights of the polyethyleneimine used for this invention are 600 or more, and it is more preferable that it is 10000 or more. As long as a weight average molecular weight is 600 or more, you may use the linear form shown by following formula (1), the branched form shown by formula (2), and a mixture of both can also be used.

Figure 112005054278016-pct00001
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Figure 112005054278016-pct00002
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또한, 시판품으로는, 예를 들어 「에포민: 상품명·품번: P-1000·닛폰촉매 제조·중량 평균 분자량: 70000」 을 들 수 있다. Moreover, as a commercial item, "Epomin: brand name, article number: P-1000, Nippon-catalyst manufacture and weight average molecular weight: 70000" are mentioned, for example.

폴리에틸렌이민 유도체로는, 프로필렌옥사이드 부가물로 그 중량 평균 분자량이 1000 이상인 것이 바람직하고, 프로필렌옥사이드가 부가되는 폴리에틸렌이민의 분자량은 600 이상인 것이 바람직하다. As a polyethyleneimine derivative, it is preferable that the weight average molecular weight is 1000 or more as a propylene oxide addition product, and it is preferable that the molecular weight of the polyethyleneimine to which propylene oxide is added is 600 or more.

또한, 하기 화학식 (3) 에 나타내는 바와 같이, 폴리에틸렌이민의 제 1 급 및 제 2 급 아민 수소에 대한 치환기가 되는 것이 바람직하다. Moreover, as shown to following General formula (3), it is preferable to become a substituent with respect to the primary and secondary amine hydrogens of polyethyleneimine.

Figure 112005054278016-pct00003
Figure 112005054278016-pct00003

또한, 시판품으로는, 예를 들어 「에포민: 상품명·품번: PP-061·닛폰촉매 제조·중량 평균 분자량: 1200」 을 들 수 있다. Moreover, as a commercial item, "Epomin: brand name, article number: PP-061, Nippon-catalyst manufacture and weight average molecular weight: 1200" are mentioned, for example.

폴리에틸렌이민의 중량 평균 분자량이 600 미만인 경우 및 상기 폴리에틸렌이민 유도체의 중량 평균 분자량이 1000 미만인 경우에는, 그 농도에 의하지 않고 얻어지는 전착 동박의 조면에는 완만한 요철의 기복이 발생하여 광택화 (균일한 저조도화) 되지 않는다. 또한, 조면에 완만한 요철의 기복이 생기지 않고, 균일하게 저조도화 되어 있는 경우에는 그 외관은 광택을 갖고 있지만, 조면에 완만한 요철의 기복이 발생하여 균일하게 저조도화 되어 있지 않은 경우에는 그 외관은 반광택 내지 선명하지 않게 된다. When the weight average molecular weight of polyethyleneimine is less than 600 and the weight average molecular weight of the polyethyleneimine derivative is less than 1000, the roughness of the unevenness of the electrodeposited copper foil obtained irrespective of the concentration occurs, resulting in a smooth unevenness and glossiness (uniform low roughness). Is not. In addition, when the roughness of the roughness does not occur and the roughness is uniformly low roughness, the appearance has a gloss, but when the roughness and the roughness of the roughness occurs, the appearance is not uniformly low roughness. Becomes semi-gloss or not clear.

폴리에틸렌이민 및 그 유도체의 농도 영역과 분자량의 관계의 일반적 경향으로서, 분자량이 높아짐에 따라, 조면이 반광택에서 광택으로 변화하기 시작하는 농도 역치가 상승하여, 도금막을 형성하지 않고 분상의 구리 석출이 되는 「소착 (burnt deposits)」영역으로 변화하기 시작하는 농도 또한 보다 고농도측으로 이행한다. 또한, 광택 영역 내이더라도 폴리에틸렌이민의 농도를 상승시켜 가면, 고온시의 연신율의 저하가 발생하게 된다. 이러한 폴리에틸렌이민 및 그 유도체의 분자량과 그 농도가 주는 영향을 고려한 뒤에 분자량과 농도의 각 범위를 정할 필요가 있고, 폴리에틸렌이민 및 그 유도체의 분자량은 600~70000 인 것이 바람직하며, 그 전해액 중에서의 농도는 0.5~30.0mg/L 의 범위, 바람직하게는 1.0~10.0mg/L 의 범위인 것이 바람직하다. As a general tendency of the relationship between the concentration region of polyethyleneimine and its derivatives and its molecular weight, as the molecular weight increases, the concentration threshold at which the rough surface begins to change from semi-gloss to gloss rises, and powdery copper precipitation does not form a plating film. The concentration that begins to change to the "burnt deposits" area also shifts to the higher concentration side. Moreover, even if it is in the gloss region, when the concentration of polyethyleneimine is raised, the elongation at the time of high temperature will generate | occur | produce. After considering the molecular weight of polyethyleneimine and its derivatives and the effect of the concentration, it is necessary to determine each range of molecular weight and concentration, and the molecular weight of polyethyleneimine and its derivatives is preferably 600 to 70000, and the concentration in the electrolyte Is in the range of 0.5 to 30.0 mg / L, preferably in the range of 1.0 to 10.0 mg / L.

폴리에틸렌이민 및 그 유도체의 전해액 중에서의 농도가 0.5mg/L 미만인 경우에는 조면은 선명하지 않은 외관을 나타내며, 30mg/L 을 초과하면, 「소착」영역으로 이행하여, 더 이상 전착 동박이 얻어질 수 없다. When the concentration of polyethyleneimine and its derivatives in the electrolyte solution is less than 0.5 mg / L, the rough surface shows an unclear appearance, and when it exceeds 30 mg / L, it moves to the "sintering" region, and further electrodeposited copper foil can be obtained. none.

다음으로, 본 발명에 사용하는 활성 유기 황화합물은, 약 수용성 (slightly soluble in water) 의 알킬티올을 가용화한 화합물인 것이 필수적이지만, 가용화하기 위해서 수산기 또는 카르복실기를 부가한 경우에는 목적으로 하는 저조면 전착 동박을 얻을 수 없다. 따라서, 반드시 술폰산염의 형태로 가용화할 필요가 있다. 본 발명에 바람직한 활성 유기 황화합물의 술폰산염의 대표적인 화합물은 하기 화학식 (4), 화학식 (5), 화학식 (6), 화학식 (7) 으로 나타나 있다.Next, although the active organic sulfur compound used for this invention is a compound which solubilized the lightly soluble alkylthiol of the lightly soluble in water, when the hydroxyl group or the carboxyl group is added in order to solubilize, the desired low surface electrodeposition is carried out. Can not get copper foil. Therefore, it is necessary to solubilize in the form of sulfonate. Representative compounds of the sulfonate salts of the active organic sulfur compounds preferred in the present invention are represented by the following general formulas (4), (5), (6) and (7).

Figure 112005054278016-pct00004
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Figure 112005054278016-pct00006
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Figure 112005054278016-pct00007
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이들 화합물의 첨가량을 질량 농도로서 표현하는 것은 적당하지 않다. 이들 화합물은 그 구조 내에 존재하는 티올기에 의하여 그 효과가 결정되는 것에 주목하면, 화학식 (4) 에서 나타낸 3-메르캅토-1-프로판술폰산의 2 분자 회합형인 화학식 (5) 의 화합물은 2 개의 티올기가 생성하게 되어, 1 분자라도 3-메르캅토- 1-프로판술폰산나트륨의 2 배의 효과를 나타내도록 되기 때문에, 분자 내에 존재하는 티올기의 몰수에 의해서 규정할 수 있게 된다. It is not suitable to express the addition amount of these compounds as mass concentration. Note that these compounds have a thiol group present in the structure whose effect is determined, the compound of formula (5) is a two-molecule association of 3-mercapto-1-propanesulfonic acid represented by formula (4) The group is formed, and even one molecule exhibits twice the effect of sodium 3-mercapto-1-propanesulfonate, which can be defined by the number of moles of thiol groups present in the molecule.

그래서, 티올기의 존재량을 몰 농도로 표현하면, 본 발명에서의 활성 유기 황화합물이 바람직한 전해액으로의 첨가량 (몰 농도) 은 5.5~450μ㏖/L 의 범위, 바람직하게는 55~180μ㏖/L 의 범위인 것이 바람직하다. 전해액 중에서의 농도가 5.5μ㏖/L 에 충족되지 않는 경우에는, 조면에 완만한 요철의 기복이 발생하여 균일하게 저조도화 하지 않고 선명하지 않은 외관을 나타내어 광택이 생기지 않는다. 더구나 180℃ 에서의 연신율도 낮다. 첨가량이 450μ㏖/L 을 초과해도 조면 상태나 180℃ 연신율에 영향은 없으나, 전해액 중의 활성 유기 황화합물의 농도를 높게 유지하는 것은, 불용성 양극을 사용해 전착 동박을 얻는 경우에는, 높은 애노드 전위를 위해 비싼 유기 유황계 화합물을 쓸데없이 분해 소모하게 되기 때문에 현실적이지 않다. Therefore, when the amount of thiol group present is expressed in molar concentration, the amount (molar concentration) of the active organic sulfur compound in the present invention to the preferred electrolyte solution is in the range of 5.5 to 450 µmol / L, preferably 55 to 180 µmol / L. It is preferable that it is the range of. When the concentration in the electrolyte solution is not satisfied at 5.5 μmol / L, gentle unevenness of the rough surface occurs, uniform appearance is not reduced, and the appearance is not clear, and glossiness does not occur. Moreover, the elongation at 180 ° C is also low. Although the addition amount exceeds 450 μmol / L, there is no effect on the roughness or the elongation at 180 ° C. However, maintaining a high concentration of the active organic sulfur compound in the electrolyte is expensive for high anode potential when an electrodeposited copper foil is obtained using an insoluble anode. It is not realistic because organic sulfur compounds are decomposed and consumed unnecessarily.

다음으로, 본 발명에서는, 염소 이온의 존재가 매우 중요하고, 옥시에틸렌계 계면 활성제, 폴리에틸렌이민 또는 그 유도체 및 활성 유기 황화합물의 술폰산염이, 전술한 각 바람직한 농도 범위로 조정되어 있더라도 목적으로 하는 저조면 전착 동박을 얻을 수 없다. 염소 이온이 공존할 때만 본 발명의 목적이 달성된다.Next, in the present invention, the presence of chlorine ions is very important, and even if the sulfonate of the oxyethylene surfactant, polyethyleneimine or its derivatives and the active organic sulfur compound is adjusted to each of the above-mentioned preferred concentration ranges, the desired low concentration is achieved. No electrodeposited copper foil. The object of the present invention is achieved only when chlorine ions coexist.

또한, 염소 이온 농도와 활성 유기 황화합물 농도의 관계도 중요하며, 조면이 광택 외관 (조면에 완만한 요철의 기복이 생기지 않고 균일하게 저조도되어 있는 상태) 을 나타내는 농도 영역은 상기 염소 이온 농도와 활성 유기 황화합물 농도에 의해서 거의 결정지어지고, 이 광택 범위는 염소 이온 농도가 상승하는 것에 따라서 축소하는 경향에 있어, 활성 유기 황화합물의 농도를 저하시켜 작업하기 위해서도 염소 이온의 농도를 낮게 억제하는 것이 바람직하다. 따라서, 전해액 중에서의 염소 이온 농도는 20~120mg/L 의 범위, 바람직하게는 30~100mg/L 의 범위인 것이 바람직하다. 염소 이온의 농도가 20mg/L 에 충족되지 않은 경우에는 조면이 표면조도 2.0㎛ 이하까지 저조도화하지 않는다. 염소 이온이 120mg/L 을 초과하면 도금면이 거칠게 된다. In addition, the relationship between the chlorine ion concentration and the active organic sulfur compound concentration is also important, and the concentration region in which the rough surface exhibits a glossy appearance (a state in which the rough surface is not uniformly low in the roughness of the rough surface is not generated) is characterized in that the chlorine ion concentration and the active organic phase. It is almost determined by the sulfur compound concentration, and the gloss range tends to shrink as the chlorine ion concentration rises, so that it is preferable to reduce the concentration of chlorine ions to lower the concentration of the active organic sulfur compound. Therefore, the chlorine ion concentration in the electrolyte solution is preferably in the range of 20 to 120 mg / L, preferably in the range of 30 to 100 mg / L. When the concentration of chlorine ion is not satisfied at 20 mg / L, the rough surface does not lower the surface roughness to 2.0 µm or less. When chlorine ion exceeds 120 mg / L, a plated surface will become rough.

염소 이온의 공급원은, 수용액 중에서 해리하여 염소 이온을 방출하는 무기 염류이면 되고, 그 대표예로는 NaCl 이나 HCl 등을 들 수 있다. The source of chlorine ions may be an inorganic salt that dissociates in an aqueous solution to release chlorine ions, and examples thereof include NaCl, HCl, and the like.

본 발명에서는, 상기 옥시에틸렌계 계면 활성제, 상기 폴리에틸렌이민 또는 그 유도체, 상기 활성 유기 이온 화합물의 술폰산염 및 염소 이온의 4 개의 첨가제를, 각각 상기 기술한 각 바람직한 농도 범위로 조정하여 이루어지는 황산-황산구리수용액을 전해액으로서 사용하고, 양극에는 백금속 산화물 피복 티탄판을, 음극에는 티탄제 드럼을 사용하여, 전해액 온도 35~50℃ 및 전해 전류 밀도 30~50A/d㎡ 의 조건에서 전해함으로써, 목적으로 하는 저조면 전착 동박을 얻을 수 있다. In the present invention, four sulfuric acid-copper sulfates are prepared by adjusting the oxyethylene surfactant, the polyethyleneimine or a derivative thereof, the four additives of sulfonate and chlorine ions of the active organic ion compound to the respective preferred concentration ranges described above. By using an aqueous solution as an electrolyte solution, using a white metal oxide-coated titanium plate for the positive electrode and a titanium drum for the negative electrode, the electrolytic solution was electrolyzed under the conditions of an electrolyte solution temperature of 35 to 50 ° C. and an electrolytic current density of 30 to 50 A / dm 2. Low electrodeposited copper foil can be obtained.

도 1 은 본 발명을 실시하기 위한 최선의 형태에서 얻은 전착 동박 (미처리 전착 동박) 의 조면을 촬영한 전자 현미경 사진 (배율×1000) 이다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is an electron micrograph (magnification x 1000) which image | photographed the rough surface of the electrodeposition copper foil (untreated electrodeposition copper foil) obtained by the best form for implementing this invention.

도 2 는 비교예 1 에서 얻은 전착 동박 (미처리 전착 동박) 의 조면을 촬영한 전자 현미경 사진 (배율×1000) 이다. FIG. 2 is an electron micrograph (magnification × 1000) of the rough surface of the electrodeposited copper foil (untreated electrodeposited copper foil) obtained in Comparative Example 1. FIG.

도 3 은 비교예 3 에서 얻은 전착 동박 (미처리 전착 동박) 의 조면을 촬영한 전자 현미경 사진 (배율×1000) 이다. 3 is an electron micrograph (magnification × 1000) of the rough surface of the electrodeposited copper foil (untreated electrodeposited copper foil) obtained in Comparative Example 3. FIG.

도 4 는 비교예 4 에서 얻은 전착 동박 (미처리 전착 동박) 의 조면을 촬영한 전자 현미경 사진 (배율×1000) 이다. 4 is an electron micrograph (magnification × 1000) of the rough surface of the electrodeposited copper foil (untreated electrodeposited copper foil) obtained in Comparative Example 4. FIG.

도 5 는 비교예 6 에서 얻은 전착 동박 (미처리 전착 동박) 의 조면을 촬영한 전자 현미경 사진 (배율×1000) 이다. 5 is an electron micrograph (magnification × 1000) of the rough surface of the electrodeposited copper foil (untreated electrodeposited copper foil) obtained in Comparative Example 6. FIG.

도 6 은 비교예 7 에서 얻은 전착 동박 (미처리 전착 동박) 의 조면을 촬영한 전자 현미경 사진 (배율×1000) 이다. FIG. 6 is an electron micrograph (magnification × 1000) of the rough surface of the electrodeposited copper foil (untreated electrodeposited copper foil) obtained in Comparative Example 7. FIG.

도 7 은 폴리에틸렌이민을 첨가하지 않은 전해액을 사용하여 얻은 전착 동박 (미처리 전착 동박) 의 조면을 촬영한 전자 현미경 사진 (배율×1000) 이다. FIG. 7 is an electron micrograph (magnification × 1000) of the rough surface of electrodeposited copper foil (untreated electrodeposited copper foil) obtained by using an electrolyte solution without adding polyethyleneimine.

본 발명을 실시하기 위한 최선의 형태는 다음과 같다. Best mode for carrying out the present invention is as follows.

황산 (H2SO4): 100g/L, 황산구리5수화물 (CuSO4·5H2O): 280g/L 의 황산-황산구리수용액으로 이루어지는 전해액을 준비하였다 (이하, 이 전해액을 「기본 전해액」 이라고 한다). Sulfuric acid (H 2 SO 4 ): 100 g / L, copper sulfate pentahydrate (CuSO 4 · 5H 2 O): An electrolyte solution consisting of 280 g / L sulfuric acid-copper sulfate solution was prepared (hereinafter, this electrolyte solution is referred to as “basic electrolyte solution”). ).

첨가제로서 폴리에틸렌글리콜 (평균 분자량 20000·산요화성 (三洋化成) 제조), 폴리에틸렌이민 (에포민: 상품명·품번: P-1000·닛폰촉매 제조·중량 평균 분자량: 70000), 3-메르캅토-1-프로판술폰산나트륨 및 염산을 기본 전해액에 첨가하여 폴리에틸렌글리콜: 30mg/L, 폴리에틸렌이민: 0.5mg/L, 3-메르캅토-1-프로판술 폰산나트륨: 220μ㏖/L 및 염소 이온: 35mo1/L 로 조정하였다. Polyethyleneglycol (average molecular weight 20000., acidification | purification production), polyethyleneimine (Epomin: brand name, article number: P-1000, Nippon-catalyst manufacture, weight average molecular weight: 70000) as an additive, 3-mercapto-1- Sodium propanesulfonic acid and hydrochloric acid were added to the basic electrolyte solution to polyethylene glycol: 30 mg / L, polyethyleneimine: 0.5 mg / L, 3-mercapto-1-propanesulfonate: 220 μmol / L and chlorine ion: 35 mo1 / L. Adjusted.

이 첨가제를 함유하는 전해액을 양극인 백금족 산화물 피복 티탄판과 음극인 티탄제 드럼 사이에 유입시켜, 전해 전류 밀도: 45A/d㎡, 전해액 온도: 40℃, 에서 전해결정화(electrocrystallization) 하여 두께 18㎛ 의 저조면 전착 동박을 얻었다. 또한, 육안 관찰에 의해, 이 저조면 전착 동박의 조면이 광택을 갖고 있는 것을 확인할 수 있었다. An electrolyte solution containing this additive is introduced between a platinum group oxide-coated titanium plate as an anode and a titanium drum as a cathode to be electrocrystallized at an electrolytic current density of 45 A / dm 2 and an electrolyte temperature of 40 ° C. to 18 µm in thickness. Obtained low surface electrodeposition copper foil. In addition, it was confirmed by visual observation that the rough surface of this low roughness electrodeposition copper foil had glossiness.

여기에 얻은 저조면 전착 동박 (미처리 전착 동박) 의 실온 (약 25℃) 및 180℃ 에서의 항장력(expansive force) (MPa) 과 연신율 (%) 을 IPC-TM-650 에 기초하여, 인테스코사 제조의 2001 형 인장력 시험기를 사용하여 측정함과 함께, 조면의 표면 조도 (Rz) 를 JISB0601 에 기초하여, 고사카 (小坂) 연구소 제조의 사프코다 SE1700α 를 사용하여 측정했다. 또한, 당해 저조면 전착 동박의 조면에서의 요철의 기복 정도를 나타내는 지표로서, 조면의 경면 광택도를 JISZ8741 에 기초하여, 미놀타주식회사 제조의 광택계 (상품명: 멀티그로스 268 형) 를 사용하여, Gs (85°) 로 저조면 전착 동박의 폭 방향과 길이 (흐름) 방향의 2 방향에 관해서 측정하였다. 각 측정 결과를 표 2 에 나타내었다. The tensile strength (MPa) and elongation (%) at room temperature (about 25 ° C.) and 180 ° C. of the low rough electrodeposited copper foil (untreated electrodeposited copper foil) obtained here were based on IPC-TM-650. The surface roughness (Rz) of the rough surface was measured using Safkoda SE1700α manufactured by Kosaka Research Institute, based on JISB0601, while measuring using a 2001-type tensile force tester. In addition, as an index indicating the degree of undulation of the unevenness in the rough surface of the low roughness electrodeposition copper foil, Gs using a glossmeter (trade name: Multi-Gloss 268 type) manufactured by Minolta Co., Ltd. based on JISZ8741 It measured with respect to 2 directions of the width direction of a low roughness electrodeposition copper foil in the (85 degree), and a length (flow) direction. Each measurement result is shown in Table 2.

또한, 상기 경면 광택도 Gs (85°) 는, 조면에 요철의 기복이 실질적으로 발생하지 않은 경우에는 100 이상의 수치를 나타내고, 조면에 완만한 요철의 기복이 발생하고 있는 경우에는 100 미만의 수치를 나타낸다 (뒤에 나오는, 표 2 및 도 1 ~ 도 7 참조). 즉, 상기 경면 광택도 Gs (85°) 의 값을 조면에서의 요철의 기복 정도의 지표로 할 수 있고, 그 값이 작아질수록 요철의 기복 정도는 크고, 그 값이 커질수록 요철의 기복 정도는 작다. In addition, the said mirror glossiness Gs (85 degree) shows the numerical value of 100 or more, when the roughness of the unevenness | corrugation has not generate | occur | produced roughly, and the numerical value of less than 100 when the smooth unevenness | corrugation of the roughness generate | occur | produces in the rough surface (See Table 2 and FIGS. 1 to 7 below). That is, the value of the mirror glossiness Gs (85 °) can be used as an index of the degree of relief of roughness on the rough surface, and the smaller the value, the greater the degree of relief of the irregularities, and the larger the value, the degree of relief of the irregularities Is small.

도 1 은, 여기에 얻은 저조면 전착 동박 (미처리 전착 동박) 의 조면을 촬영한 전자 현미경 사진 (배율×1000) 이고, 이 도면에 의해, 조면에는 요철의 기복이 실질적으로 없고 균일하게 저조도화하고 있는 조면 상태를 확인할 수 있다. FIG. 1 is an electron micrograph (magnification × 1000) of the rough surface of the low roughness electrodeposited copper foil (untreated electrodeposition copper foil) obtained here, and by this figure, roughness is substantially low and uniformly low in the roughness. You can check the state of the rough.

다음으로, 본 발명의 실시예 1~7 및 비교예 1~9 는 다음과 같다. Next, Examples 1-7 and Comparative Examples 1-9 of this invention are as follows.

첨가제의 종류와 전해액 중에서의 농도 및 전해 전류 밀도와 전해액 온도를 표 1 에 나타내는 바와 같이 변경한 것 외에는, 상기 본 발명을 실시하기 위한 최선의 형태에 있어서의 각 조건과 같은 조건으로 두께 18㎛ 의 전착 동박을 얻었다. 얻어진 각 전착 동박 (미처리 전착 동박) 의 실온 (약 25℃) 및 180℃ 에서의 항장력 (MPa) 과 연신율 (%) 및 표면 조도 (Rz)·(㎛), 및 조면에서의 폭 방향과 길이 (흐름) 방향의 상기 경면 광택도 Gs (85°) 를 상기 본 발명을 실시하기 위한 최선의 형태에서의 측정법과 동일한 측정법에 의해서 측정한 결과를 표 2 에 나타내었다.Except having changed the kind of additive, the density | concentration in electrolyte solution, electrolytic current density, and electrolyte solution temperature as shown in Table 1, it is 18 micrometers in thickness under the conditions similar to each condition in the best form for implementing this invention. Electrodeposited copper foil was obtained. The tensile strength (MPa) and elongation (%) and surface roughness (Rz) (micrometer) in room temperature (about 25 degreeC) and 180 degreeC of each obtained electrodeposition copper foil (untreated electrodeposition copper foil), and the width direction and length in a rough surface ( Table 2 shows the results of measuring the specular glossiness Gs (85 °) in the direction of flow) by the same measuring method as the measuring method in the best mode for carrying out the present invention.

Figure 112005054278016-pct00008
Figure 112005054278016-pct00008

(1) 평균 분자량 70000, (2) 폴리에틸렌이민유도체 (에포민: 상품명·품번: PP-061·닛폰촉매 제조·중량 평균 분자량: 1200), (3) 평균 분자량 1000, (4) 평균 분자량 300, (5) 평균 분자량 600. (1) Average molecular weight 70000, (2) Polyethylenimine derivative (Epomin: Brand name and part number: PP-061, Nippon-catalyst manufacture, weight average molecular weight: 1200), (3) Average molecular weight 1000, (4) Average molecular weight 300, (5) an average molecular weight of 600.

Figure 112006027225637-pct00017
Figure 112006027225637-pct00017

도 2~도 6 은, 비교예에서 얻은 각 전착 동박 (미처리 전착 동박) 의 조면을 촬영한 전자 현미경 사진 (배율×1000) 이고, 도 2 는 비교예 1 (폴리에틸렌글리콜의 평균 분자량이 낮고 폴리에틸렌이민의 농도가 낮은 경우) 의 조면 상태를, 도 3 은 비교예 3 (폴리에틸렌이민의 중량 평균 분자량이 낮은 경우) 의 조면 상태를, 도 4 는 비교예 4 (폴리에틸렌글리콜의 평균 분자량이 낮고 폴리에틸렌이민의 농도가 높은 경우) 의 조면 상태를, 도 5 는 비교예 6 (폴리에틸렌이민의 농도가 낮은 경우) 의 조면 상태를, 도 6 은 비교예 7 (3-메르캅토-1-프로판술폰산나트륨의 농도가 낮은 경우) 의 조면 상태를 각각 나타낸다. 2-6 is the electron micrograph (magnification x 1000) which image | photographed the rough surface of each electrodeposited copper foil (untreated electrodeposition copper foil) obtained by the comparative example, and FIG. 2 is the comparative example 1 (the average molecular weight of polyethyleneglycol is low, polyethyleneimine Fig. 3 shows the rough state of Comparative Example 3 (when the weight average molecular weight of polyethyleneimine is low), and Fig. 4 shows the rough state of Comparative Example 4 (low average molecular weight of polyethylene glycol and The roughness state of the case where the concentration is high), FIG. 5 shows the roughness state of the comparative example 6 (when the concentration of polyethyleneimine is low), and FIG. 6 shows the concentration state of the comparative example 7 (sodium 3-mercapto-1-propanesulfonate) Low roughness), respectively.

도 7 은, 폴리에틸렌이민을 첨가하지 않은 것 외에는, 상기 발명의 실시형태와 같은 조건으로 얻은 두께 18㎛ 의 전착 동박 (미처리 전착 동박) 의 조면을 촬영한 전자 현미경 사진 (배율×1000) 이고, 조면에 완만한 요철의 기복이 발생하고 있는 상태를 확인할 수 있다. 또한, 도 7 과 상기 본 발명을 실시하기 위한 최선의 형태에서의 도 1 을 대비하면, 폴리에틸렌이민의 첨가에 의해서 조면에 완만한 요철의 기복이 생기지 않고 표면 조도가 현저히 저하하는 것을 확인할 수 있다. Fig. 7 is an electron micrograph (magnification × 1000) of a rough surface of an electrodeposited copper foil (untreated electrodeposited copper foil) having a thickness of 18 μm obtained under the same conditions as in the embodiment of the present invention, except that polyethyleneimine is not added. It is possible to confirm the state of the ups and downs of the irregularities. In addition, in contrast to Fig. 7 and Fig. 1 in the best mode for carrying out the present invention, it can be confirmed that the addition of polyethyleneimine does not cause undulation of smooth irregularities on the rough surface and the surface roughness is significantly reduced.

또한, 표 1 및 표 2 로부터, 상기 본 발명을 실시하기 위한 최선의 형태 및 상기 실시예 1~7 의 각 전해액에서는, 폴리에틸렌이민의 농도가 늘어남에 따라서 실온에서의 항장력이 증가하지만 표면조도 (Rz) 는 거의 일정한 값을 유지하고 있는 것을 확인할 수 있다.Further, from Tables 1 and 2, in the best mode for carrying out the present invention and in each of the electrolyte solutions of Examples 1 to 7, the tensile strength at room temperature increases as the concentration of polyethyleneimine increases, but the surface roughness (Rz ) Is almost constant.

또한, 본 발명자 등은, 수차례의 실험에 의해서, 기본 전해액 중에 폴리에틸렌글리콜이 존재하지 않은 경우에는 조면이 광택 외관을 나타내지 않고, 폴리에틸렌이민이 존재하지 않은 경우에는 조면이 거칠고 선명하지 않은 외관을 나타내고, 180℃ 에서의 연신율이 낮으며, 3-메르캅토-1-프로판술폰산나트륨이 존재하지 않는 경우에는 조면이 매우 거칠고, 180℃ 에서의 연신율이 낮으며, 염소 이온이 존재하지 않은 경우에는 전착면 (도금면) 이 깨어지고, 180℃ 에서의 연신율이 낮은 것을 발견하였다. In addition, the present inventors have shown, by several experiments, that when the polyethylene glycol is not present in the basic electrolyte solution, the rough surface does not have a glossy appearance, and when the polyethyleneimine is not present, the rough surface has a rough and unclear appearance. , Elongation at 180 ° C is low, roughness is very rough when 3-mercapto-1-propanesulfonate is not present, elongation at 180 ° C is low, and electrodeposited surface when no chlorine ion is present (Plating surface) cracked and it discovered that elongation at 180 degreeC was low.

또한, 수용성 고분자의 농도나 평균 분자량을 상기 소정 범위 내에서 증가시킨 경우에는, 이에 따라 상기 경면 광택도 Gs (85°) 가 증가하는 경향에 있는 것을 발견하였다. 또한, 상기 경면 광택도 Gs (85°) 가 100 이상인 저조면 전착 동박을 얻기 위해서는, 기본 전해액 중에 폴리에틸렌글리콜, 3-메르캅토-1-프로판술폰산나트륨, 폴리에틸렌이민 및 염소 이온을 존재시키는 것이 적합하지만, 이들 중 어느 하나의 물질이라도 결핍하거나, 농도 또는 평균 분자량이 상기 소정 범위를 벗어난 경우에는 상기 경면 광택도 Gs (85°) 가 100 미만이 된다. Moreover, when the density | concentration and average molecular weight of water-soluble polymer were increased within the said predetermined range, it discovered that the said mirror glossiness Gs (85 degrees) tends to increase by this. Moreover, in order to obtain the low roughness electrodeposition copper foil whose said mirror glossiness Gs (85 degrees) is 100 or more, although polyethyleneglycol, 3-mercapto- 1- propanesulfonic acid sodium salt, polyethyleneimine, and a chloride ion are suitable to exist in a basic electrolyte solution, When any one of these substances is deficient, or the concentration or average molecular weight is outside the predetermined range, the specular glossiness Gs (85 °) is less than 100.

본 발명에 의하면, 프린트 배선판 용도나 이차 전지용 음극 집전체 용도에 최적의 표면조도 Rz 가 2.0㎛ 이하에서 그 조면에 요철의 기복이 실질적으로 없고, 상기 경면 광택도 Gz (85°) 가 100 이상의 균일하게 저조도화된 조면을 가지며, 또한, 180℃ 에서의 연신율이 10.0% 이상이고, 광택면과 조면의 사이의 조도차가 가급적으로 작은 저조면 전착 동박 (미처리 전착 동박) 을 제공할 수 있다. According to the present invention, the optimum surface roughness Rz is 2.0 µm or less, which is optimal for printed wiring board applications or negative electrode current collector applications for secondary batteries, and the roughness of the roughness is substantially absent, and the mirror glossiness Gz (85 °) is equal to or greater than 100. It is possible to provide a low roughness electrodeposited copper foil (untreated electrodeposited copper foil) having a roughly low roughened surface, having an elongation at 180 ° C of 10.0% or more, and having a small roughness difference between the glossy surface and the rough surface.

Claims (7)

미처리 전착 동박의 표면조도 Rz 가 2.0㎛ 이하이면서 요철의 기복이 없고 JIS (일본 공업 규격: 이하 동일) Z8741 에 기초하여 Gs (85°) 로 측정한 경면 (鏡面) 광택도가 100 이상인 균일하게 저조도화된 조면을 가지고, 또한 180℃ 에서의 연신율이 10.0% 이상인 것을 특징으로 하는 저조면 전착 동박. Even roughness of surface roughness Rz of untreated electrodeposited copper foil is 2.0 μm or less, no irregularities of irregularities, and mirror glossiness of 100 or more, measured by Gs (85 °) based on JIS (Japanese Industrial Standards: same as below) Z8741 The low roughness electrodeposition copper foil which has a roughened roughening, and the elongation at 180 degreeC is 10.0% or more. 황산-황산구리수용액을 전해액으로 하고, 백금족 원소 또는 그 산화물 원소로 피복한 티탄판으로 이루어지는 불용성 양극과, 이 양극에 대향하는 음극에 티탄제 드럼을 사용하여, 상기 양극과 음극 사이에 직류 전류를 통과시키는 전착 동박의 제조 방법에 있어서, 상기 전해액에 옥시에틸렌계 계면 활성제, 폴리에틸렌이민 또는 그 유도체, 활성 유기 황화합물의 술폰산염 및 염소 이온을 존재시킴으로써 표면조도 Rz 가 2.0㎛ 이하이면서 요철의 기복이 없이 균일하게 저조도화된 조면을 가지고, 또한 180℃ 에서의 연신율이 10.0% 이상인 저조면 전착 동박을 얻는 것을 특징으로 하는 저조면 전착 동박의 제조 방법. An insoluble anode made of a titanium plate coated with a platinum group element or an oxide element thereof as an electrolyte solution using a sulfuric acid-copper sulfate solution, and a titanium drum are used to pass a direct current between the anode and the cathode using a titanium drum. In the method for producing electrodeposited copper foil, an oxyethylene surfactant, polyethyleneimine or derivative thereof, sulfonate and chlorine ion of an active organic sulfur compound are present in the electrolyte solution so that the surface roughness Rz is 2.0 µm or less and uniform without irregularities. A low roughness electrodeposited copper foil, which has a roughened surface roughly lowered and has an elongation at 180 ° C. of 10.0% or more. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 저조면 전착 동박에서의 JISZ8741 에 기초하여 Gs (85°) 로 측정한 조면의 경면 광택도가 100 이상인 저조면 전착 동박의 제조 방법. The manufacturing method of the low roughness electrodeposition copper foil whose mirror surface glossiness of the roughening surface measured by Gs (85 degrees) based on JISZ8741 in low roughness electrodeposition copper foil is 100 or more. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,The method of claim 2 or 3, 전해액 중에서의 옥시에틸렌계 계면 활성제의 농도가 10~200mg/L 인 저조면 전착 동박의 제조 방법. The manufacturing method of the low surface electrodeposition copper foil whose density | concentration of the oxyethylene type surfactant in electrolyte solution is 10-200 mg / L. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,The method of claim 2 or 3, 전해액 중에서의 폴리에틸렌이민 또는 그 유도체의 농도가 0.5~30.0mg/L 인 저조면 전착 동박의 제조 방법. The manufacturing method of the low surface electrodeposition copper foil whose density | concentration of the polyethylenimine or its derivative (s) in electrolyte solution is 0.5-30.0 mg / L. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,The method of claim 2 or 3, 전해액 중에서의 활성 유기 황화합물의 술폰산염의 농도가 5.5~450μ㏖/L 인 저조면 전착 동박의 제조 방법. The manufacturing method of the low surface electrodeposition copper foil whose density | concentration of the sulfonate of the active organic sulfur compound in electrolyte solution is 5.5-450 micromol / L. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,The method of claim 2 or 3, 전해액 중에서의 염소 이온의 농도가 20~120mg/L 인 저조면 전착 동박의 제조 방법. The manufacturing method of the low surface electrodeposition copper foil whose density | concentration of chlorine ion in electrolyte solution is 20-120 mg / L.
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