KR100765533B1 - 유기막 증착 장치 - Google Patents

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Abstract

유기막 증착 장치가 개시된다. 유기막 증착 장치는 기판 상에 형성된 두 개의 전극 중 어느 하나의 전극 상에 발광층을 형성하기 위한 마스크; 마스크의 전영역을 자성으로 지지하는 자성군; 및 자성군을 지지하면서 고정하는 자성군 지지고정부를 포함하며, 자성군은 서로 다른 극성을 가지며 교번적으로 설치되는 제1 및 제2 자성체를 구비하며, 제1 및 제2 자성체 중 서로 인접한 제1 및 제2 자성체는 서로 다른 극성에 의해 서로 접촉하도록 설치된다.
유기물 증착 장치, 쉐도우 마스크, 자성군

Description

유기막 증착 장치 {ORGANIC LAYER DEPOSITION APPARATUS}
도 1은 종래의 쉐도우 마스크의 제1 실시예를 개략적으로 설명하기 위한 평면도이다.
도 2는 종래의 쉐도우 마스크의 제2 실시예를 개략적으로 설명하기 위한 평면도이다.
도 3은 도 2에 도시된 쉐도우 마스크를 구비하는 유기막 증착 장치의 개략적인 구성을 나타낸 도면이다.
도 4는 도 3에 도시된 유기막 증착 장치의 배면도이다.
도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 유기막 증착 장치의 개략적인 구성을 나타낸 도면이다.
도 6은 도 5에 도시된 유기막 증착 장치의 배면도이다.
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 유기막 증착 장치의 개략적인 구성을 나타낸 도면이다.
도 8은 도 7에 도시된 유기막 증착 장치의 배면도이다.
*도면의 주요부분에 대한 설명*
302: 쉐도우 마스크 303: R/G/B 서브 픽셀
305: 기판 306: 자성군 지지고정부
308: 고정핀 500, 700: 유기막 증착 장치
504, 704: 자성군 504a, 704a: 제1 자성체
504b, 704b: 제2 자성체 A, B: 개구 영역
C: 유기물 증착 영역
본 발명은 유기막 증착 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 유기 전계 발광 소자에 있어서, 유기 발광 소자의 R/G/B를 독립적으로 구성하기 위해 그 제조 시 쉐도우 마스크(Shadow Mask)를 사용할 수 있다. 여기서, 쉐도우 마스크는 통상적으로 슬롯(slot) 형태 쉐도우 마스크 및 그릴(grill) 형태의 쉐도우 마스크로 구분할 수 있다. 이러한 슬롯 형태의 쉐도우 마스크 및 그릴 형태의 쉐도우 마스크 각각에 대해 도 1 및 도 2 각각을 참조하여 보다 구체적으로 설명한다.
도 1은 종래의 쉐도우 마스크의 제1 실시예를 개략적으로 설명하기 위한 평면도이다. 도 2는 종래의 쉐도우 마스크의 제2 실시예를 개략적으로 설명하기 위한 평면도이다. 도 1에서는 종래의 쉐도우 마스크로서 슬롯 형태의 쉐도우 마스크를 도시하였다. 한편, 도 2에서는 종래의 쉐도우 마스크로서 그릴 형태의 쉐도우 마스크를 도시하였다.
먼저, 도 1을 참조하면, 슬롯 형태의 쉐도우 마스크(100)는 픽셀(102)의 개구 영역(A)이 쉐도우 마스크(100)의 브리지 폭(d1)에 크게 의존할 수 있다. 이 때문에, R/G/B 서브 픽셀(미도시) 각각의 R/G/B 발광층(미도시) 각각의 증착 시에, 상기 브리지 폭(d1)에 의한 영향으로 픽셀(102)의 개구율을 확보하는 데 많은 한계가 발생할 수 있다.
한편, 도 2를 참조하면, 그릴 형태의 쉐도우 마스크(200)는 슬롯 형태의 쉐도우 마스크(100)와는 달리 브리지 폭(d1)없다. 이 때문에, 그릴 형태의 쉐도우 마스크(200)를 사용하면 상기 쉐도우 마스크(200)의 길이 방향으로 픽셀(202)의 개구 영역(B)이 형성될 수 있다. 전술한 이유로 인해, 그릴 형태의 쉐도우 마스크(200)는 슬롯 형태의 쉐도우 마스크(100)보다 개구율 확보에 유리하다라는 장점이 있다.
그러나, 그릴 형태의 쉐도우 마스크(200)는 그 패턴 모양, 즉, 개구 영역(B)이 쉐도우 마스크(200)의 길이 방향을 따라 일체화된 형태로 형성되므로, 슬롯 형태의 쉐도우 마스크(100) 보다 남겨진 패턴의 면적이 작다라는 문제점이 있다. 이 때문에, 그릴 형태의 쉐도우 마스크(200)에서는 상기 쉐도우 마스크(200)의 처짐 현상이 발생할 가능성이 크다.
한편, 도 3은 도 2에 도시된 쉐도우 마스크를 구비하는 유기막 증착 장치의 개략적인 구성을 나타낸 도면이다. 도 4는 도 3에 도시된 유기막 증착 장치의 배면도이다.
먼저 도 3 및 도 4를 참조하면, 종래의 유기막 증착 장치(300)에는 쉐도우 마스크(302), 자성군(304), 자성군 지지고정부(306) 및 고정핀(308) 등이 설치될 수 있다.
쉐도우 마스크(302)는 그릴 형태로 제작될 수 있다. 이러한 쉐도우 마스크(302)는 R/G/B 서브 픽셀(303) 각각의 R/G/B 발광층 각각을 기판(305) 상에 형성된 애노드 전극(미도시) 상부에 증착시키기 위하여 설치될 수 있다.
자성군(304)은 쉐도우 마스크(302)를 자성으로 지지하도록 설치될 수 있다. 이러한 자성군(304)은 기판(305) 상의 애노드 전극(미도시) 상부에 형성되는 R/G/B 서브 픽셀(303)인 유기물 증착 영역(C)에 R/G/B 유기물이 정확하게 증착되도록 설치될 수 있다. 여기서, 상기 자성군(304)은 적어도 하나 이상 설치될 수 있으며, 각 자성군(304)은 서로 이격되도록 배치될 수 있다.
자성군 지지고정부(306) 내부에 자성군(304)이 구비될 수 있다. 이러한 자성군 지지고정부(306)는 상기 자성군(304)을 지지하도록 지지수단(306a) 및 고정수단(306b)을 포함할 수 있다. 이때, 상기 자성군(304) 및 기판(305) 사이에 고정핀(308)이 설치될 수 있다. 이러한 고정핀(308)은 자성군 지지고정부(306)의 하면과 기판(305)의 상면이 직접 맞닿지 않게 하고, 기판(305)의 상면을 눌러주어 자성군 지지고정부(306)의 면을 평탄하게 할 수 있다.
그러나, 상기 그릴 형태의 쉐도우 마스크(302)를 구비하는 유기막 증착 장치(300)에서는 자성군(304)이, 상술한 바와 같이, 서로 이격되도록 설치되기 때문에, 자성군(304)이 마스크(302)의 전영역을 자성으로 지지하지 못할 수 있다. 이 때문에, 그릴 형태의 쉐도우 마스크(302)의 처짐 현상이 일어나, R/G/B 서브 픽셀(303)인 유기물 증착 영역(C)에 R/G/B 유기물이 불균일하게 증착될 수 있다.
이로 인해, R/G/B 발광층의 색순도가 저하되어 발광 효율이 떨어지는 문제점이 발생할 수 있다. 또한, 이러한 그릴 형태의 쉐도우 마스크(302)를 구비하는 유기막 증착 장치(300)를 이용하여 전계 발광 소자를 제조할 시에 생산 수율 및 소자 신뢰성이 저하될 수 있다.
따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 유기물 증착 시 사용되는 마스크를 마스크의 전영역에 걸쳐 자성으로 지지할 수 있는 자성군을 구비하는 유기막 증착 장치를 제공하고자 하는 것이다.
또한, 본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는 전계 발광 소자를 제조할 시에, 생산 수율을 증가시키면서 소자 신뢰성을 향상시킬 수 있는 유기막 증착 장치를 제공하고자 하는 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 유기막 증착 장치는 기판 상에 형성된 두 개의 전극 중 어느 하나의 전극 상에 발광층을 형성하기 위한 마스크; 상기 마스크의 전영역을 자성으로 지지하는 자성군; 및 상기 자성군을 지지하면서 고정하는 자성군 지지고정부를 포함하며, 상기 자성군은 서로 다른 극성을 가지며 교번적으로 설치되는 제1 및 제2 자성체를 구비하며, 상기 제1 및 제2 자성체 중 서로 인접한 제1 및 제2 자성체는 상기 서로 다른 극성에 의해 서로 접촉하도록 설치되는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 마스크는 상기 기판 하부에 설치되고, 상기 자성군은 상기 기판 상부에 설치되며, 상기 자성군 지지고정부는 상기 자성군 상부에 설치될 수 있다.
여기서, 상기 유기막 증착 장치는 상기 자성군과 상기 기판 사이에 설치되는 버퍼부를 더 포함할 수 있다.
여기서, 상기 버퍼부는 고정핀일 수 있다.
여기서, 상기 자성군의 제1 및 제2 자성체는 상기 마스크의 길이 방향을 따라 설치될 수 있다.
여기서, 상기 자성군의 제1 및 제2 자성체는 상기 마스크의 두께 방향을 따라 설치될 수 있다.
여기서, 상기 기판 상에 형성된 두 개의 전극 중 어느 하나의 전극은 애노드 전극이고, 다른 하나의 전극은 캐소드 전극일 수 있다.
여기서, 상기 상기 발광층 상부에 전자주입층과 전자전달층이 더 형성되거나, 정공전달층과 정공주입층이 더 형성될 수 있다.
여기서, 상기 마스크는 R(적색), G(녹색), B(청색) 및 W(백색) 서브 픽셀용 마스크 중 어느 하나일 수 있다.
이하에서는 첨부된 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예들을 보다 상세히 설명하기로 한다.
<제1 실시예>
도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 유기막 증착 장치의 개략적인 구성을 나타낸 도면이다. 도 6은 도 5에 도시된 유기막 증착 장치의 배면도이다. 도 5 및 도 6에서는 유기막 증착 장치에 구비되는 쉐도우 마스크로서 그릴 형태의 쉐도우 마스크를 도시하였다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 유기막 증착 장치(500)에는 그릴 형태의 쉐도우 마스크(302), 자성군(504) 및 자성군 지지고정부(306)가 설치될 수 있다. 또한 본 발명의 제1 실시예에 따른 유기막 증착 장치(500)에는 고정핀(308) 등이 추가로 설치될 수 있다.
그릴 형태의 쉐도우 마스크(302)는 기판(305) 상에 형성된 애노드 전극(미도시) 상부에 R/G/B 발광층(미도시)을 형성하기 위하여 그 바닥면의 방향으로 기판(305) 하부에 설치될 수 있다. 이때, 설명의 편의상 애노드 전극(미도시)이 기판(305) 상에 형성되어 있으며, 애노드 전극(미도시) 상부에 R/G/B 발광층(미도시)을 증착한다고 하였으나, 본 발명은 이에 한정하지 않고 캐소드 전극(미도시)이 기판(305) 상에 형성되어 있으며, 캐소드 전극(미도시) 상부에 R/G/B 발광층(미도시)을 증착시키는 것도 가능하다.
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여기서, 그릴 형태의 쉐도우 마스크(302)에 의해서 증착된 R/G/B 발광층(미도시) 상부에 전자전달층과 전자주입층이 순차적으로 더 형성될 수 있다. 한편, 본 발명은 이에 한정하지 않고, 기판(305) 상에 캐소드 전극(미도시)이 먼저 형성되고, 캐소드 전극(미도시) 상부에 R/G/B 발광층(미도시)을 증착되며, R/G/B 발광층(미도시) 상부에 정공전달층과 정공주입층이 순차적으로 더 형성되는 것도 가능하다.
이러한 그릴 형태의 쉐도우 마스크(302)는 R(적색), G(녹색) 및 B(청색) 서브 픽셀용 마스크 중 어느 하나로 제작되어 R/G/B 서브 픽셀(303)인 소정의 패턴을 갖는 각각의 유기물 증착 영역(C)에 R/G/B 유기물이 정확하게 증착되도록 설치될 수 있다.
자성군(504)은 그릴 형태의 쉐도우 마스크(302)의 상부에 쉐도우 마스크(302)의 크기와 유사한 크기로 설치될 수 있다. 이러한 자성군(504)은 그릴 형태의 쉐도우 마스크(302)의 전영역을 자성으로 지지할 수 있다. 이를 위해, 상기 자성군(504)은 서로 다른 극성을 가지며 교번적으로 설치되는 막대형의 제1 및 제2 자성체(504a, 504b)를 구비할 수 있다. 여기서, 상기 제1 및 제2 자성체(504a, 504b) 중 서로 인접한 제1 및 제2 자성체(504a, 504b)는 상기 서로 다른 극성에 의해 서로 끌리게 되므로, 자연스럽게 서로 접촉하도록 설치될 수 있다. 이 때문에, 상기 제1 및 제2 자성체(504a, 504b) 사이에 빈 공간이 없게 되므로, 자성군(504)은 쉐도우 마스크(302) 전영역을 빈틈없이 자성으로 직접 지지할 수 있다. 여기서, 상기 제1 및 제2 자성체(504a, 504b)는 쉐도우 마스크(302)의 길이 방향을 따라 설치될 수 있으며, 서로 동일한 높이를 갖도록 설치될 수 있다.
자성군 지지고정부(306)는 자성군(504)을 지지하면서 고정하도록 자성군(504)의 상부에 설치될 수 있다. 이러한 자성군 지지고정부(306)는 상기 자성군(304)을 지지하도록 지지수단(306a) 및 고정수단(306b)을 포함할 수 있다. 이때, 자성군 지지고정부(306) 내부에 자성군(504)이 구비될 수 있고, 자성군(504)과 기판(305) 사이에 고정핀(308) 등과 같은 버퍼부가 설치될 수 있다. 여기서, 상기 버퍼부는 자성군 지지고정부(306)의 하면과 기판(305)의 상면이 직접 맞닿지 않게 하고, 기판(305)의 상면을 눌러주어 자성군 지지고정부(306)의 면을 평탄하게 할 수 있다.
전술한 구성을 갖는 본 발명의 제1 실시예에 따른 유기막 증착 장치(500)에서는 그릴 형태의 쉐도우 마스크(302)가 막대형으로 설치된 제1 및 제2 자성체(504a, 504b)에 의해서 자성으로 얼라인(align) 될 수 있다. 이때, 상기 제1 및 제2 자성체(504a, 504b) 사이에 빈 공간이 없도록 상기 제1 및 제2 자성체(504a, 504b)가 서로 접촉하도록 설치되기 때문에, 자성군(504)의 크기 및/또는 제1 및 제2 자성체(504a, 504b) 각각의 크기가 커짐에 따라 자성력이 극대화될 수 있다. 이 때문에, 그릴 형태의 쉐도우 마스크(302)가 처지는 현상을 억제할 수가 있어, R/G/B 서브 픽셀(303)인 유기물 증착 영역(C)에 R/G/B 유기물을 균일하게 증착할 수 있다.
이로 인해, R/G/B 발광층의 색순도가 개선되어 발광 효율은 상승할 수 있다. 또한, 그릴 형태의 쉐도우 마스크가 구비된 유기막 증착 장치를 이용하여 전계 발광 소자를 제작할 시에 그 생산 수율은 증가하게 되고 소자의 신뢰성은 향상될 수 있다.
한편, 본 발명에 따른 그릴 형태의 쉐도우 마스크가 구비된 유기막 증착 장치의 자성군의 구조를 다르게 변경하여 R/G/B 서브 픽셀인 유기물 증착 영역에 R/G/B 유기물을 균일하게 증착시킬 수가 있는데, 이에 대해 도 7 및 도 8을 참조하여 보다 구체적으로 설명한다.
<제2 실시예>
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 유기막 증착 장치의 개략적인 구성을 나타낸 도면이다. 도 8은 도 7에 도시된 유기막 증착 장치의 배면도이다. 도 7 및 도 8에서는 유기막 증착 장치에 구비되는 쉐도우 마스크로서 그릴 형태의 쉐도우 마스크를 도시하였다.
도 7 및 도 8을 참조하면, 본 발명의 제2 실시예에 따른 유기막 증착 장치(700)에는 쉐도우 마스크(302), 자성군(704) 및 자성군 지지고정부(306)가 설치될 수 있다. 또한, 본 발명의 제2 실시예에 따른 유기막 증착 장치(700)에는 고정핀(308) 등이 추가로 설치될 수 있다.
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그릴 형태의 쉐도우 마스크(302)는 기판(305) 상에 형성된 애노드 전극(미도시) 상부에 R/G/B 발광층(미도시)을 형성하기 위하여 그 바닥면의 방향으로 기판(305) 하부에 설치될 수 있다. 이때, 설명의 편의상 애노드 전극(미도시)이 기판(305) 상에 형성되어 있으며, 애노드 전극(미도시) 상부에 R/G/B 발광층(미도시)을 증착한다고 하였으나, 본 발명은 이에 한정하지 않고 캐소드 전극(미도시)이 기판(305) 상에 형성되어 있으며, 캐소드 전극(미도시) 상부에 R/G/B 발광층(미도시)을 증착시키는 것도 가능하다.
여기서, 그릴 형태의 쉐도우 마스크(302)에 의해서 증착된 R/G/B 발광층(미도시) 상부에 전자전달층과 전자주입층이 순차적으로 더 형성될 수 있다. 한편, 본 발명은 이에 한정하지 않고, 기판(305) 상에 캐소드 전극(미도시)이 먼저 형성되고, 캐소드 전극(미도시) 상부에 R/G/B 발광층(미도시)을 증착되며, R/G/B 발광층(미도시) 상부에 정공전달층과 정공주입층이 순차적으로 더 형성되는 것도 가능하다.
이러한 그릴 형태의 쉐도우 마스크(302)는 R(적색), G(녹색) 및 B(청색) 서브 픽셀용 마스크 중 어느 하나로 제작되어 R/G/B 서브 픽셀(303)인 소정의 패턴을 갖는 각각의 유기물 증착 영역(C)에 R/G/B 유기물이 정확하게 증착되도록 설치될 수 있다.
자성군(704)은 그릴 형태의 쉐도우 마스크(302)의 상부에 상기 쉐도우 마스크(302)의 크기와 유사한 크기로 설치될 수 있다. 이러한 자성군(704)은 그릴 형태의 쉐도우 마스크(302)의 전영역을 자성으로 지지할 수 있다. 이를 위해, 상기 자성군(704)은 서로 다른 극성을 가지며 교번적으로 설치되는 판형의 제1 및 제2 자성체(704a, 704b)를 구비할 수 있다. 여기서, 상기 제1 및 제2 자성체(704a, 704b) 중 서로 인접한 제1 및 제2 자성체(704a, 704b)는 상기 서로 다른 극성에 의해 서로 끌리게 되므로, 자연스럽게 서로 접촉하도록 설치될 수 있다. 이때, 상기 제1 및 제2 자성체(704a, 704b) 각각이 쉐도우 마스크(302) 크기와 유사하도록 판형으로 형성될 수 있으므로, 자성군(704)은 쉐도우 마스크(302) 전영역을 빈틈없이 자성으로 직접 지지할 수 있다. 여기서, 상기 제1 및 제2 자성체(704a, 704b)는 쉐도우 마스크(302)의 두께 방향을 따라 설치될 수 있다.
자성군 지지고정부(306)는 자성군(704)을 지지하면서 고정하도록 자성군(704)의 상부에 설치될 수 있다. 이러한 자성군 지지고정부(306)는 상기 자성군(304)을 지지하도록 지지수단(306a) 및 고정수단(306b)을 포함할 수 있다. 이때, 자성군 지지고정부(306)의 내부에 자성군(704)이 구비될 수 있고, 자성군(704)과 기판(305) 사이에 고정핀(308) 등과 같은 버퍼부가 설치될 수 있다. 여기서, 상기 버퍼부는 자성군 지지고정부(306)의 하면과 기판(305)의 상면이 직접 맞닿지 않게 하고, 기판(305)의 상면을 눌러주어 자성군 지지고정부(306)의 면을 평탄하게 할 수 있다.
전술한 구성을 갖는 본 발명의 제2 실시예에 따른 유기막 증착 장치(700)에서는 그릴 형태의 쉐도우 마스크(302)가 판형으로 설치된 제1 및 제2 자성체(704a, 704b)에 의해서 자성으로 얼라인 될 수 있다. 이때, 상기 제1 및 제2 자성체(704a, 704b) 각각이 쉐도우 마스크(302) 크기와 유사하도록 판형으로 형성되어 빈틈없이 서로 접촉하도록 설치되기 때문에, 자성군(704)의 크기 및/또는 제1 및 제2 자성체(704a, 704b) 각각의 크기가 커짐에 따라 자성력이 극대화될 수 있다. 이 때문에, 그릴 형태의 쉐도우 마스크(302)가 처지는 현상을 억제할 수가 있어, R/G/B 서브 픽셀(303)인 유기물 증착 영역(C)에 R/G/B 유기물을 균일하게 증착할 수 있다.
이로 인해, R/G/B 발광층의 색순도가 개선되어 발광 효율은 상승할 수 있다. 또한, 그릴 형태의 쉐도우 마스크가 구비된 유기막 증착 장치를 이용하여 전계 발광 소자를 제작할 시에 그 생산 수율은 증가하게 되고 소자의 신뢰성은 향상될 수 있다.
이상 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 하고, 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 유기막 증착 장치에 따르면, 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.
첫째, 전계 발광 소자의 R/G/B 유기 발광층을 형성 시에, 쉐도우 마스크를 이용하여 유기물 증착 영역에 R/G/B 유기물을 균일하게 증착시킬 수 있도록 마스크의 전영역을 자성으로 지지하는 자성군을 구비함으로써, R/G/B 발광층의 순수한 색순도를 개선시켜 발광 효율을 상승시킬 수 있는 효과가 있다.
둘째, 이러한 그릴 형태의 쉐도우 마스크가 구비된 유기막 증착 장치를 이용하여 전계 발광 소자를 제작할 시에 생산수율을 증가시키면서 소자의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

Claims (9)

  1. 기판 상에 형성된 두 개의 전극 중 어느 하나의 전극 상에 발광층을 형성하기 위한 마스크;
    상기 마스크의 전영역을 자성으로 지지하는 자성군; 및
    상기 자성군을 지지하면서 고정하는 자성군 지지고정부
    를 포함하며,
    상기 자성군은 서로 다른 극성을 가지며 교번적으로 설치되는 제1 및 제2 자성체를 구비하며, 상기 제1 및 제2 자성체 중 서로 인접한 제1 및 제2 자성체는 상기 서로 다른 극성에 의해 서로 접촉하도록 설치되는 것을 특징으로 하는 유기막 증착 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 마스크는 상기 기판 하부에 설치되고, 상기 자성군은 상기 기판 상부에 설치되며, 상기 자성군 지지고정부는 상기 자성군 상부에 설치되는 것을 특징으로 하는 유기막 증착 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 자성군과 상기 기판 사이에 설치되는 버퍼부
    를 더 포함하는 유기막 증착 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 버퍼부는 고정핀인 것을 특징으로 하는 유기막 증착 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 자성군은 상기 마스크의 길이 방향을 따라 설치되는 것을 특징으로 하는 유기막 증착 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 자성군은 상기 마스크의 두께 방향을 따라 설치되는 것을 특징으로 하는 유기막 증착 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 기판 상에 형성된 두 개의 전극 중 어느 하나의 전극은 애노드 전극이고, 다른 하나의 전극은 캐소드 전극인 것을 특징으로 하는 유기막 증착 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 발광층 상부에 전자주입층과 전자전달층이 더 형성되거나,
    정공전달층과 정공주입층이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 유기막 증착 장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 마스크는 R(적색), G(녹색) 및 B(청색) 서브 픽셀용 마스크 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 유기막 증착 장치.
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