KR100765533B1 - 유기막 증착 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (9)
- 기판 상에 형성된 두 개의 전극 중 어느 하나의 전극 상에 발광층을 형성하기 위한 마스크;상기 마스크의 전영역을 자성으로 지지하는 자성군; 및상기 자성군을 지지하면서 고정하는 자성군 지지고정부를 포함하며,상기 자성군은 서로 다른 극성을 가지며 교번적으로 설치되는 제1 및 제2 자성체를 구비하며, 상기 제1 및 제2 자성체 중 서로 인접한 제1 및 제2 자성체는 상기 서로 다른 극성에 의해 서로 접촉하도록 설치되는 것을 특징으로 하는 유기막 증착 장치.
- 제1항에 있어서,상기 마스크는 상기 기판 하부에 설치되고, 상기 자성군은 상기 기판 상부에 설치되며, 상기 자성군 지지고정부는 상기 자성군 상부에 설치되는 것을 특징으로 하는 유기막 증착 장치.
- 제2항에 있어서,상기 자성군과 상기 기판 사이에 설치되는 버퍼부를 더 포함하는 유기막 증착 장치.
- 제3항에 있어서,상기 버퍼부는 고정핀인 것을 특징으로 하는 유기막 증착 장치.
- 제1항에 있어서,상기 자성군은 상기 마스크의 길이 방향을 따라 설치되는 것을 특징으로 하는 유기막 증착 장치.
- 제1항에 있어서,상기 자성군은 상기 마스크의 두께 방향을 따라 설치되는 것을 특징으로 하는 유기막 증착 장치.
- 제1항에 있어서,상기 기판 상에 형성된 두 개의 전극 중 어느 하나의 전극은 애노드 전극이고, 다른 하나의 전극은 캐소드 전극인 것을 특징으로 하는 유기막 증착 장치.
- 제1항에 있어서,상기 발광층 상부에 전자주입층과 전자전달층이 더 형성되거나,정공전달층과 정공주입층이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 유기막 증착 장치.
- 제1항에 있어서,상기 마스크는 R(적색), G(녹색) 및 B(청색) 서브 픽셀용 마스크 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 유기막 증착 장치.
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