KR100760828B1 - Leak detection apparatus - Google Patents

Leak detection apparatus Download PDF

Info

Publication number
KR100760828B1
KR100760828B1 KR1020050093355A KR20050093355A KR100760828B1 KR 100760828 B1 KR100760828 B1 KR 100760828B1 KR 1020050093355 A KR1020050093355 A KR 1020050093355A KR 20050093355 A KR20050093355 A KR 20050093355A KR 100760828 B1 KR100760828 B1 KR 100760828B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
pressure
chamber
sensor
pressure chamber
test body
Prior art date
Application number
KR1020050093355A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20070038253A (en
Inventor
신화섭
Original Assignee
주식회사 디섹
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 디섹 filed Critical 주식회사 디섹
Priority to KR1020050093355A priority Critical patent/KR100760828B1/en
Publication of KR20070038253A publication Critical patent/KR20070038253A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100760828B1 publication Critical patent/KR100760828B1/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/26Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors
    • G01M3/32Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors for containers, e.g. radiators
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L13/00Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L7/00Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05DSYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D23/00Control of temperature
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2203/00Investigating strength properties of solid materials by application of mechanical stress
    • G01N2203/02Details not specific for a particular testing method
    • G01N2203/022Environment of the test
    • G01N2203/0222Temperature

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Examining Or Testing Airtightness (AREA)

Abstract

신뢰성이 향상된 누설탐지장치가 개시된다. 개시된 본 발명에 따른 누설탐지장치는, 시험체의 압력을 감지하여 누설 여부를 탐지하기 위한 것으로서, 상기 시험체와 선택적으로 연통되는 표준압력챔버; 상기 시험체와 연통되어 상기 시험체와 동일한 압력이 형성되는 완충압력챔버; 상기 표준압력챔버와 상기 완충압력챔버의 압력차를 검출하는 압력센서; 및 상기 압력센서로부터 검출된 압력차로부터 상기 시험체의 압력을 산출하고 상기 산출된 시험체의 압력에 따라 상기 시험체의 누설 여부를 판단하는 제어부;를 포함한다. A leak detection apparatus with improved reliability is disclosed. Leak detection apparatus according to the present invention is to detect the leakage by sensing the pressure of the test body, the standard pressure chamber selectively communicating with the test body; A buffer pressure chamber in communication with the test body to form the same pressure as the test body; A pressure sensor for detecting a pressure difference between the standard pressure chamber and the buffer pressure chamber; And a controller configured to calculate the pressure of the test body from the pressure difference detected by the pressure sensor and determine whether the test body leaks according to the calculated pressure of the test body.

압력차, 압력센서, 허용치, 완충압력챔버, 항온, 열전소자, 온도센서 Pressure differential, pressure sensor, tolerance, buffer pressure chamber, constant temperature, thermoelectric element, temperature sensor

Description

누설탐지장치{LEAK DETECTION APPARATUS}Leak Detection Device {LEAK DETECTION APPARATUS}

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 누설탐지장치의 분해사시도,1 is an exploded perspective view of a leak detection apparatus according to an embodiment of the present invention;

도 2는 도 1에 도시된 누설탐지장치의 상부를 개방한 상태를 개략적으로 도시한 평면도,Figure 2 is a plan view schematically showing an open state of the upper portion of the leak detection device shown in FIG.

도 3은 도 1의 Ⅲ-Ⅲ을 따라 절개한 단면도,3 is a cross-sectional view taken along line III-III of FIG. 1;

도 4는 도 1에 도시된 누설탐지장치의 제어 구성을 설명하기 위한 블록도,4 is a block diagram for explaining a control configuration of the leak detection apparatus shown in FIG. 1;

도 5는 도 1에 도시된 압력센서를 Ⅴ-Ⅴ를 따라 절개한 단면도이다.FIG. 5 is a cross-sectional view of the pressure sensor shown in FIG. 1 taken along VV. FIG.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

10; 표준압력챔버 12; 하우징10; Standard pressure chamber 12; housing

14; 분리막 20; 완충압력챔버14; Separator 20; Buffer pressure chamber

30, 32; 제1 및 제2연결파이프 30a,30b; 제1 및 제2분기파이프30, 32; First and second connecting pipes 30a and 30b; 1st and 2nd branch pipe

31,33; 제1 및 제2밸브 40; 압력센서31,33; First and second valves 40; Pressure sensor

50; 단열챔버 52; 단열몸체50; Adiabatic chamber 52; Heat insulation

56; 단열커버 58; 체결부재56; Insulation cover 58; Fastening member

60; 항온유닛 62; 열전소자60; Thermostat unit 62; Thermoelectric element

64; 온도센서 70; 제어부64; Temperature sensor 70; Control

본 발명은 액화천연가스(Liquefied Natural Gas, 이하 'LNG' 라고 함) 저장탱크와 같은 기밀 유지가 필수적인 시험체의 누설 여부를 탐지하거나 누설량을 검출하기 위한 누설탐지장치에 관한 것이다.The present invention relates to a leak detection device for detecting whether or not the leak of the test body, such as a liquefied natural gas (LNG) storage tank is required to maintain the airtight.

기밀을 요하는 시험체의 누설 여부를 검사하는 비파괴 검사방법에는 발포누설시험, 암모니아 누설시험, 할로겐 누설시험, 헬륨 누설시험 및 초음파 누설시험 등의 다양한 종류가 있다. 그러나 LNG 운반선박의 LNG 저장탱크와 같은 대형 시험체는 전체적인 기밀성을 확인해야 하며, 이러한 대형 시험체의 누설 여부를 확인하기 위해 시험체 내부의 압력변화를 통해 누설 여부를 탐지하려는 시도가 진행되고 있다.There are various types of non-destructive testing methods for testing the leakage of test bodies requiring airtightness such as foam leakage test, ammonia leak test, halogen leak test, helium leak test and ultrasonic leak test. However, large test specimens, such as LNG storage tanks of LNG carriers, must check the overall airtightness, and attempts to detect leaks through pressure changes in the test specimens are under way to confirm the leakage of such large test specimens.

통상 시험체의 압력변화를 측정하여 누설 여부를 검사하는 종래의 누설탐지장치는, 시험체의 압력변화를 측정하기 위한 압력센서를 구비한다. 상기 압력센서는 표준압력챔버에 형성된 표준압력과 시험체 내부 압력의 차이를 측정하여 시험체의 누설을 산출한다. 따라서 상기 압력센서는, 표준압력챔버와 동일한 압력이 형성되도록 상기 표준압력챔버와 연통되는 제1센서챔버와, 시험체의 내부와 동일한 압력이 형성되도록 시험체에 직접 연통되는 제2센서챔버를 포함하며, 상기 제1 및 제2센서챔버는 탄성막에 의해 구획된다.The conventional leak detection apparatus which normally checks the pressure change of a test object and checks for leakage is equipped with the pressure sensor for measuring the pressure change of a test body. The pressure sensor measures the difference between the standard pressure formed in the standard pressure chamber and the internal pressure of the test specimen to calculate the leakage of the test specimen. Therefore, the pressure sensor includes a first sensor chamber in communication with the standard pressure chamber to form the same pressure as the standard pressure chamber, and a second sensor chamber in direct communication with the test body to form the same pressure as the interior of the test body, The first and second sensor chambers are partitioned by an elastic membrane.

상술한 바와 같은 구조를 가지는 압력센서를 이용하여 압력차를 검출하는 과정을 살펴보면, 우선 시험체에 진공압을 형성한다. 시험체에 진공압이 형성되면, 시험체와 상기 압력센서 및 상기 표준압력챔버을 연결하는 파이프에 마련된 밸브를 개방한다. 그러면 상기 시험체의 압력은 상기 표준압력챔버를 거쳐 상기 제1센서챔버로 전달된다. 그러나 상기 시험체의 압력이 상기 제2센서챔버로 전달될 때는 어떠한 압력챔버도 거치지 않고 제2센서챔버로 직접 전달된다. 따라서 시험체의 압력이 상기 제1센서챔버에 전달되는 시간과 제2센서챔버에 전달되는 시간에 차이가 발생하게 되어 제1센서챔버와 제2센서챔버 사이에는 의도하지 않은 압력차가 발생된다.Looking at the process of detecting the pressure difference by using a pressure sensor having the structure as described above, first to form a vacuum pressure on the test body. When the vacuum pressure is formed in the test body, the valve provided in the pipe connecting the test body, the pressure sensor and the standard pressure chamber is opened. Then, the pressure of the test body is transferred to the first sensor chamber via the standard pressure chamber. However, when the test body pressure is transmitted to the second sensor chamber, it is directly transmitted to the second sensor chamber without passing through any pressure chamber. Accordingly, a difference occurs between the time when the pressure of the test body is transmitted to the first sensor chamber and the time when the pressure of the test body is transmitted to the second sensor chamber, thereby causing an unintended pressure difference between the first sensor chamber and the second sensor chamber.

또한 누설탐지시험이 완료되며, 상기 밸브를 차단하고 시험체를 대기압으로 회복시킨다. 시험체가 대기압으로 회복되면 상기 밸브를 다시 열어 상기 압력센서의 상기 제1 및 제2센서챔버를 대기압으로 회복시킨다. 이러한 경우에도 시험체 압력의 전달시간의 차이로 인하여 제1 및 제2센서챔버 사이의 큰 압력차가 발생하게 된다.In addition, the leak detection test is completed, the valve is shut off and the test body is restored to atmospheric pressure. When the test body is restored to atmospheric pressure, the valve is opened again to restore the first and second sensor chambers of the pressure sensor to atmospheric pressure. Even in this case, a large pressure difference occurs between the first and second sensor chambers due to the difference in the delivery time of the test body pressure.

이와 같은 제1 및 제2센서챔버 사이의 압력차는 부주의할 경우 압력센서의 허용치를 초과하는 경우를 발생시킨다. 압력센서의 허용치를 초과할 경우, 상기 탄성막이 영구적으로 변형되거나 파손되어 측정된 압력에 대한 정보에 큰 오차가 발생하게 되거나 압력센서의 고장을 유발시키게 된다.This pressure difference between the first and second sensor chambers inadvertently causes a case in which the pressure sensor exceeds the allowable value. If the pressure sensor exceeds the allowable value, the elastic membrane may be permanently deformed or broken, causing a large error in the information on the measured pressure or causing a failure of the pressure sensor.

본 발명은 상기와 같은 점을 감안하여 안출된 것으로서, 신뢰성이 향상된 누설탐지장치를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made in view of the above point, and an object thereof is to provide a leak detection apparatus with improved reliability.

본 발명의 다른 목적은 보다 정밀하게 누설 여부를 탐지할 수 있는 누설탐지 장치를 제공하는 데 있다.Another object of the present invention to provide a leak detection device that can detect whether more accurately leaks.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 누설탐지장치는, 시험체의 압력을 감지하여 누설 여부를 탐지하기 위한 것으로서, 상기 시험체와 선택적으로 연통되는 표준압력챔버; 상기 시험체와 연통되어 상기 시험체와 동일한 압력이 형성되는 완충압력챔버; 상기 표준압력챔버와 상기 완충압력챔버의 압력차를 검출하는 압력센서; 및 상기 압력센서로부터 검출된 압력차로부터 상기 시험체의 압력을 산출하고 상기 산출된 시험체의 압력에 따라 시험체의 누설 여부를 판단하는 제어부;를 포함한다.Leak detection apparatus according to the present invention for achieving the object as described above, for detecting the leakage by sensing the pressure of the test body, the standard pressure chamber selectively communicating with the test body; A buffer pressure chamber in communication with the test body to form the same pressure as the test body; A pressure sensor for detecting a pressure difference between the standard pressure chamber and the buffer pressure chamber; And a controller configured to calculate the pressure of the test body from the pressure difference detected by the pressure sensor and determine whether the test body leaks according to the calculated pressure of the test body.

본 발명의 일 실시예에 따른 누설탐지장치는, 상기 표준압력챔버와 상기 완충압력챔버를 연통시키며, 제1밸브가 마련된 제1연결파이프; 및 상기 제1연결파이프와 상기 시험체를 연통시키며, 제2밸브가 마련된 상기 제2연결파이프;를 포함하고, 상기 제1연결파이프는, 상기 제2연결파이프와의 연결점을 기준으로 상기 표준압력챔버와 연결되는 제1분기파이프와 상기 완충압력챔버와 연결되는 제2분기파이프로 분기되며, 상기 제1밸브는 상기 제1분기파이프에 마련된다.Leak detection apparatus according to an embodiment of the present invention, the standard pressure chamber and the buffer pressure chamber in communication with, the first connecting pipe provided with a first valve; And the second connection pipe communicating with the first connection pipe and the test body and having a second valve, wherein the first connection pipe includes the standard pressure chamber based on a connection point with the second connection pipe. And a first branch pipe connected to the second branch pipe and a second branch pipe connected to the buffer pressure chamber, and the first valve is provided in the first branch pipe.

상기 표준압력챔버와 상기 완충압력챔버는 외부와 기밀이 유지되는 중공의 하우징 내부가 분리막에 의해 실질적으로 동일한 부피로 구획되어 형성되며, 상기 하우징은 외부와 단열된 단열챔버의 내부에 배치되며 상기 단열챔버의 온도를 일정하게 유지하기 위한 항온유닛을 포함한다. The standard pressure chamber and the buffer pressure chamber are formed by partitioning the inside of the hollow housing in which the outside and the airtightness are kept to be substantially the same volume by a separator, and the housing is disposed inside the insulated chamber that is insulated from the outside and is insulated. It includes a thermostat unit for maintaining a constant temperature of the chamber.

상기 항온유닛은, 상기 단열챔버에 마련된 열전소자; 및 상기 표준압력챔버 의 온도를 측정하기 위한 온도센서;를 포함하며, 상기 제어부는 상기 온도센서로부터 측정된 온도에 따라 상기 열전소자를 제어한다. 상기 단열챔버는, 일측이 개방된 중공의 단열몸체; 상기 단열몸체의 개방된 일측을 개폐하기 위한 단열커버; 및 상기 단열챔버의 기밀이 유지되도록 상기 단열몸체와 상기 단열커버를 체결시키기 위한 체결부재;에 의해 형성된다.The constant temperature unit, the thermoelectric element provided in the heat insulating chamber; And a temperature sensor for measuring the temperature of the standard pressure chamber, wherein the controller controls the thermoelectric element according to the temperature measured from the temperature sensor. The heat insulation chamber, the hollow heat insulation body one side is open; An insulation cover for opening and closing one side of the insulation body; And a fastening member for fastening the heat insulation body and the heat insulation cover to maintain the airtightness of the heat insulation chamber.

한편, 상술한 바와 같은 목적은, 시험체와 선택적으로 연통되는 표준압력챔버; 상기 표준압력챔버와 연통되는 제1센서챔버와 상기 시험체와 연통되는 제2센서챔버를 구비하며, 상기 제1센서챔버와 상기 제2센서챔버의 압력차를 검출하는 압력센서; 상기 표준압력챔버의 온도를 측정하기 위한 온도센서; 상기 표준압력챔버의 온도를 조절하기 위한 열전소자; 및 상기 압력센서로부터 검출된 압력차로부터 상기 시험체의 압력을 산출하고 상기 산출된 시험체의 압력에 따라 시험체의 누설 여부를 판단함과 아울러 상기 온도센서로부터 측정된 온도에 따라 상기 열전소자를 제어하는 제어부;를 포함하는 누설탐지장치에 의해서도 달성될 수 있다.On the other hand, the object as described above, the standard pressure chamber to selectively communicate with the test body; A pressure sensor having a first sensor chamber in communication with the standard pressure chamber and a second sensor chamber in communication with the test body, the pressure sensor detecting a pressure difference between the first sensor chamber and the second sensor chamber; A temperature sensor for measuring a temperature of the standard pressure chamber; A thermoelectric element for controlling the temperature of the standard pressure chamber; And a control unit for calculating the pressure of the test body from the pressure difference detected by the pressure sensor, determining whether the test body leaks according to the calculated pressure of the test body, and controlling the thermoelectric element according to the temperature measured by the temperature sensor. It can also be achieved by a leak detection device comprising a.

이하 본 발명의 일 실시예에 따른 누설탐지장치에 대하여 상세히 설명한다.Hereinafter, a leak detection apparatus according to an embodiment of the present invention will be described in detail.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 누설탐지장치는, 표준압력챔버(10), 완충압력챔버(20), 제1 및 제2연결파이프(30)(32), 압력센서(40), 단열챔버(50), 항온유닛(60) 및 제어부(70)를 포함한다.1 to 4, the leak detection apparatus according to an embodiment of the present invention, the standard pressure chamber 10, the buffer pressure chamber 20, the first and second connection pipes 30, 32, It includes a pressure sensor 40, the adiabatic chamber 50, the constant temperature unit 60 and the control unit 70.

상기 표준압력챔버(10)는 표준압력이 형성되는 공간으로서 제1연결파이프(30)에 의해 상기 완충압력챔버(20)와 연통된다. The standard pressure chamber 10 communicates with the buffer pressure chamber 20 by the first connection pipe 30 as a space in which the standard pressure is formed.

상기 완충압력챔버(20)는, 시험체(미도시)의 내부와 동일한 압력이 형성되는 공간으로서, 상기 시험체로부터 전달되는 압력을 상기 압력센서(40)로 급격히 전달되는 것을 방지한다.The buffer pressure chamber 20 is a space in which the same pressure as the inside of the test body (not shown) is formed, and prevents the pressure transmitted from the test body to be rapidly transmitted to the pressure sensor 40.

상기 표준압력챔버(10)와 상기 완충압력챔버(20)는, 도 3에 도시된 바와 같이 기밀이 유지되는 중공의 원통형 하우징(12)의 내부가 분리막(14)으로 구획되어 형성된다. 그리고 상기 표준압력챔버(10)와 상기 완충압력챔버(20)는 실질적으로 동일한 부피를 가지는 것이 바람직하다.As shown in FIG. 3, the standard pressure chamber 10 and the buffer pressure chamber 20 are formed by partitioning the inside of the hollow cylindrical housing 12 in which airtightness is maintained by a separator 14. In addition, the standard pressure chamber 10 and the buffer pressure chamber 20 preferably have substantially the same volume.

상기 제1연결파이프(30)는, 상기 제2연결파이프(32)와 연결되며, 상기 제2연결파이프(32)와의 연결점을 기준으로 제1분기파이프(30a)와 제2분기파이프(30b)로 분기된다. 상기 제1분기파이프(30a)의 일단은 상기 표준압력챔버(10)와 연결되고, 타단은 상기 제2분기파이프(30b)의 일단과 연결된다. 상기 제1분기파이프(30a)에는 상기 표준압력챔버(10)를 선택적으로 밀폐시키기 위한 제1밸브(31)가 마련된다. 상기 제2분기파이프(30b)의 타단은 완충압력챔버(20)와 연결된다. 이러한 구조로 상기 제1밸브(31)가 개방되면, 상기 표준압력챔버(10)와 상기 완충압력챔버(20)는 상호 연통되고 상기 제1밸브(31)가 차단되면, 상기 표준압력챔버(10)와 완충압력챔버(20)는 차단된다. 즉, 상기 표준압력챔버(10)와 상기 완충압력챔버(20)는 제1밸브(31)에 의해 선택적으로 연통된다.The first connection pipe 30 is connected to the second connection pipe 32 and the first branch pipe 30a and the second branch pipe 30b based on a connection point with the second connection pipe 32. Branch to. One end of the first branch pipe 30a is connected to the standard pressure chamber 10, and the other end is connected to one end of the second branch pipe 30b. The first branch pipe 30a is provided with a first valve 31 for selectively sealing the standard pressure chamber 10. The other end of the second branch pipe 30b is connected to the buffer pressure chamber 20. In this structure, when the first valve 31 is opened, the standard pressure chamber 10 and the buffer pressure chamber 20 communicate with each other, and when the first valve 31 is blocked, the standard pressure chamber 10 ) And the buffer pressure chamber 20 are blocked. That is, the standard pressure chamber 10 and the buffer pressure chamber 20 are selectively communicated by the first valve 31.

상기 제2연결파이프(32)는, 그 일단이 상기 시험체와 연결되며, 타단은 상기 제1연결파이프(30)와 연결된다. 상기 제2연결파이프(32)에는 제2밸브(33)가 마련되며, 상기 제2밸브(33)을 개폐시킴으로써 상기 시험체와 상기 제1연결파이프(30)는 선택적으로 연통된다.One end of the second connection pipe 32 is connected to the test body, and the other end thereof is connected to the first connection pipe 30. The second connection pipe 32 is provided with a second valve 33, and the test body and the first connection pipe 30 are selectively communicated by opening and closing the second valve 33.

상기 압력센서(40)는, 도 5에 도시된 바와 같이, 그 내부가 상기 표준압력챔버(10)와 연통된 제1센서챔버(42)와 상기 완충압력챔버(20)와 연결된 제2센서챔버(44)로 탄성막(46)에 의해 구획된다. 상기 제1센서챔버(42)와 상기 제2센서챔버(44) 사이에 압력차가 발생할 경우, 상기 탄성막(46)은 변형되며 변형정도에 따라 다른 전기적 신호를 발생시켜 압력차가 검출된다. 또한, 상기 압력센서(40)는 상기 제어부(70)와 신호통신 가능하게 연결된다. 압력센서(40)는 이미 공지된 기술인 바 그 기능 및 구조에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.As illustrated in FIG. 5, the pressure sensor 40 has a first sensor chamber 42 connected to the standard pressure chamber 10 and a second sensor chamber connected to the buffer pressure chamber 20. 44 is partitioned by the elastic membrane 46. When a pressure difference occurs between the first sensor chamber 42 and the second sensor chamber 44, the elastic membrane 46 is deformed and generates a different electrical signal according to the degree of deformation, thereby detecting the pressure difference. In addition, the pressure sensor 40 is connected in signal communication with the control unit 70. The pressure sensor 40 is already known in the art and a detailed description thereof will be omitted.

상기 단열챔버(50)는 상기 표준압력챔버(10)와 완충압력챔버(20)를 단열시키기 위한 공간으로서, 상기 하우징(12)이 안착된다. 이러한 단열챔버(50)는, 단열몸체(52), 단열커버(56) 및 체결부재(58)에 의해 형성된다.The insulating chamber 50 is a space for insulating the standard pressure chamber 10 and the buffer pressure chamber 20, and the housing 12 is seated. The heat insulating chamber 50 is formed by the heat insulating body 52, the heat insulating cover 56 and the fastening member 58.

상기 단열몸체(52)는, 일측이 개방된 중공의 원통형이며, 도 3에 도시된 바와 같이, 외벽(53)과 내벽(54)의 이중구조를 가지고 그 사이에 단열재(55)가 채워진다.The heat insulation body 52 is a hollow cylindrical one side is open, as shown in Figure 3, having a double structure of the outer wall 53 and the inner wall 54 is filled with a heat insulating material 55 therebetween.

상기 단열커버(56)는 상기 단열몸체(52)의 개방된 일측을 덮도록 상기 단열몸체(52)와 결합된다.The heat insulation cover 56 is coupled to the heat insulation body 52 to cover an open side of the heat insulation body 52.

상기 체결부재(58)는 상기 단열몸체(52)에 마련되며, 상기 단열몸체(52)와 상기 단열커버(56)를 기밀이 유지되도록 체결한다. 체결부재(58)는 통상의 용기와 뚜껑을 결합하기 위한 다양한 체결수단이 이용될 수 있다.The fastening member 58 is provided on the heat insulating body 52, and fastens the heat insulating body 52 and the heat insulating cover 56 to maintain airtightness. Fastening member 58 may be used in a variety of fastening means for coupling the lid with a conventional container.

상기 항온유닛(60)은 열전소자(62)와 온도센서(64)를 포함한다.The constant temperature unit 60 includes a thermoelectric element 62 and a temperature sensor 64.

상기 열전소자(熱電素子, thermoelectric element)는, 2개의 플레이트 사이 에 다수의 P형 및 N형 반도체가 번갈아 배열되고 각 반도체가 전기적으로 직렬 연결된 소자로서, 전류의 방향에 따라 선택적으로 그 일면은 가열되고, 타면은 냉각되는 소자이다. 상기 열전소자(62)는 이미 공지되어 다양한 산업분야에서 이용되고 있는 것으로 그 원리 및 구조에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다. 이러한 열전소자(62)는 상기 제어부(70)와 전기적으로 연결된다.The thermoelectric element is a device in which a plurality of P-type and N-type semiconductors are alternately arranged between two plates and each semiconductor is electrically connected in series, and one surface of the thermoelectric element is selectively heated according to the direction of current. And the other surface is an element to be cooled. The thermoelectric element 62 is already known and used in various industrial fields, and a detailed description thereof will be omitted. The thermoelectric element 62 is electrically connected to the controller 70.

상기 온도센서(64)는 상기 표준압력챔버(10)의 온도를 측정하기 위한 것으로서, 표준압력챔버(10)의 내부로 삽입되도록 설치된다. 상기 온도센서(64)는 제어부(70)와 신호통신 가능하게 연결된다.The temperature sensor 64 is for measuring the temperature of the standard pressure chamber 10 and is installed to be inserted into the standard pressure chamber 10. The temperature sensor 64 is connected in signal communication with the control unit 70.

상기 제어부(70)는, 상술한 바와 같이, 압력센서(40), 열전소자(62) 및 온도센서(64)와 전기적으로 연결된다. 제어부(70)는 상기 압력센서(40)로부터 차압이 전송되며, 전송된 차압과 산출된 압력과 메모리(80)에 기설정된 온도에 대한 기준압력과 비교하여 상기 시험체의 누설 여부 및 누설량을 판단한다. 온도에 대한 기준 압력은 보일-샤를의 법칙(Boyle-Charles' Law)과 이에 보정 항을 삽입한 반데르발스의 상태방정식으로부터 구해진다. 제어부(70)는 시험체의 실제 압력과 기준 압력의 차이 값이 메모리(80)에 저장된 기준 차이 값 이상을 초과하는 경우에 시험체가 누설된 것으로 판단한다.As described above, the controller 70 is electrically connected to the pressure sensor 40, the thermoelectric element 62, and the temperature sensor 64. The controller 70 transmits the differential pressure from the pressure sensor 40, and compares the differential pressure with the calculated pressure and the reference pressure for the temperature preset in the memory 80 to determine whether the test object is leaked or the amount of leakage. . The reference pressure for temperature is obtained from Boyle-Charles 'Law and van der Waals' equation of equations with a correction term. The controller 70 determines that the test object has leaked when the difference value between the actual pressure and the reference pressure of the test object exceeds the reference difference value stored in the memory 80.

또한 상기 제어부(70)는 온도센서(64)로부터 측정된 온도와 메모리(80)에 저장된 기준온도를 비교하여 상기 열전소자(62)의 ON/OFF 및 열전소자(62)로 인가되는 전류의 방향을 조절한다.In addition, the controller 70 compares the temperature measured by the temperature sensor 64 with the reference temperature stored in the memory 80 to turn on / off the thermoelectric element 62 and the direction of the current applied to the thermoelectric element 62. Adjust

이하 본 발명의 일 실시예에 따른 누설탐지장치를 이용한 누설탐지방법에 대 하여 설명한다.Hereinafter, a leak detection method using a leak detection apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention will be described.

도 1 내지 도 5를 참조하면, 우선 시험체에 진공압을 형성한다. 시험체에 진공압이 형성되면, 제2연결파이프(32)의 일단을 상기 시험체에 연결한 후 제1 및 제2밸브(31)(33)를 개방하여 표준압력챔버(10)와 완충압력챔버(20)가 상기 시험체와 연통되도록 하여 상기 표준압력챔버(10)와 완충압력챔버(20)의 압력을 상기 시험체의 압력과 동일하게 한다. 이때 완충압력챔버(20)가 상기 시험체의 압력을 제1센서챔버(42)와 제2센서챔버(44)에 전달되는 압력을 동일 시간에 전달되게 하여 급격한 압력차를 방지할 수 있게 된다. 즉, 완충압력챔버(20)가 상기 표준압력챔버(10)와 완충압력챔버(20)와 각각 연통된 압력센서(40)의 제1 및 제2센서챔버(42)(44) 사이의 급격한 압력차의 발생을 억제하여 압력센서(40)의 탄성막(46)이 손상되는 것을 방지함으로써, 보다 정확하고 안정되게 압력을 측정할 수 있게 된다. 특히 완충압력챔버(20)와 표준압력챔버(10)가 실질적으로 동일한 부피를 가짐으로써 압력센서(40)에 발생되는 압력차를 최소화할 수 있게 된다.1 to 5, first, a vacuum pressure is formed on the test body. When a vacuum pressure is formed in the test body, one end of the second connecting pipe 32 is connected to the test body, and then the first and second valves 31 and 33 are opened to open the standard pressure chamber 10 and the buffer pressure chamber ( 20) is in communication with the test body so that the pressure of the standard pressure chamber 10 and the buffer pressure chamber 20 is equal to the pressure of the test body. In this case, the buffer pressure chamber 20 may transmit the pressure of the test body to the first sensor chamber 42 and the second sensor chamber 44 at the same time, thereby preventing a sudden pressure difference. That is, the sudden pressure between the first and second sensor chambers 42 and 44 of the pressure sensor 40 in which the buffer pressure chamber 20 communicates with the standard pressure chamber 10 and the buffer pressure chamber 20, respectively. By suppressing the occurrence of the difference and preventing the elastic membrane 46 of the pressure sensor 40 from being damaged, the pressure can be measured more accurately and stably. In particular, since the buffer pressure chamber 20 and the standard pressure chamber 10 have substantially the same volume, it is possible to minimize the pressure difference generated in the pressure sensor 40.

상기 시험체의 압력과 표준압력챔버(10) 및 완충압력챔버(20)의 압력을 동일하게 한 후, 제1밸브(31)를 차단하여 표준압력챔버(10)가 시험체의 압력과는 관계없이 일정한 압력을 가지도록 한다. 상술한 바와 같은 상태에서 상기 시험체를 방치한다. 방치하는 시간은 대략 48시간 정도이며, 방치되는 동안 상기 시험체의 온도는 대기의 온도의 변화에 따라 변하게 된다. 상기 시험체의 온도의 변화에 따라 보일-샤를의 법칙에 따라 상기 시험체의 압력이 변하게 된다. 이때 제어부(70)는 압력센서(40)로부터 압력차를 전송받아 상기 시험체의 압력을 산출하고, 산출된 시 험체의 실제압력과 실제압력 측정시 시험체의 온도에 대응하는 메모리(80)에 저장된 기준압력을 비교하여 그 차이 값이 메모리(80)에 저장된 기준 차이 값 이상인 경우 시험체가 누설된 것으로 판정한다. 그리고, 시험체가 누설되는 것으로 판단된 경우, 제어부(70)는 시험체의 실제압력과 기준압력의 차이 값으로부터 누설 압력을 측정함으로써 누설량 즉, 누설 정도를 판단할 수 있게 된다.After the pressure of the test body and the pressure of the standard pressure chamber 10 and the buffer pressure chamber 20 are equalized, the first valve 31 is cut off so that the standard pressure chamber 10 is constant regardless of the pressure of the test body. Try to have pressure. The test body is left in the state as described above. The standing time is approximately 48 hours, and during the standing time, the temperature of the test specimen is changed according to the change in the temperature of the atmosphere. As the temperature of the test specimen changes, the pressure of the test specimen changes according to Boyle-Charles' law. At this time, the control unit 70 receives the pressure difference from the pressure sensor 40 to calculate the pressure of the test object, and the reference stored in the memory 80 corresponding to the temperature of the test object when measuring the actual pressure and the actual pressure of the test specimen. The pressure is compared and it is determined that the test object is leaked when the difference value is equal to or greater than the reference difference value stored in the memory 80. And, if it is determined that the test body leaks, the control unit 70 can determine the leakage amount, that is, the degree of leakage by measuring the leakage pressure from the difference value between the actual pressure and the reference pressure of the test body.

한편, 표준압력챔버(10)의 압력은 일정하게 유지되어야 한다. 따라서 보일-샤를의 법칙에 따라 표준압력챔버(10)의 압력을 일정하게 유지하기 위해서는 표준압력챔버(10)의 온도가 일정해야 한다. 이러한 이유로 제어부(70)는 온도센서(64)로부터 측정된 온도를 전송받아 메모리(80)에 저장된 설정온도와 비교하여 차이가 발생하는 경우, 열전소자(62)의 ON/OFF 및 인가되는 전류의 방향을 제어하여 표준압력챔버(10)의 온도를 일정하게 유지한다. 이처럼, 표준압력챔버(10)의 온도를 일정하게 유지함으로써, 보다 정확한 상기 시험체의 압력차을 측정할 수 있게 된다.On the other hand, the pressure in the standard pressure chamber 10 should be kept constant. Therefore, in order to maintain a constant pressure in the standard pressure chamber 10 according to Boyle-Charles' law, the temperature of the standard pressure chamber 10 should be constant. For this reason, the controller 70 receives the measured temperature from the temperature sensor 64 and compares the set temperature stored in the memory 80 with the set temperature stored in the memory 80. The direction is controlled to keep the temperature of the standard pressure chamber 10 constant. As such, by keeping the temperature of the standard pressure chamber 10 constant, it is possible to measure the pressure difference of the test body more accurately.

누설 탐지 시험이 종료되면, 제2밸브(33)를 차단하고 상기 시험체를 개방하여 대기압을 형성시킨다. 상기 시험체에 대기압이 형성되면, 제1 및 제2밸브(31)(33)를 개방하여 표준압력챔버(10)와 완충압력챔버(20) 및 압력센서(40)의 제1 및 제2센서챔버(42)(44)에 대기압을 형성한다. 이때에도 완충압력챔버(20)가 시험체의 압력을 제2센서챔버(44)로 전달하는 시간을 지연시킴으로써 표준압력챔버(10)에 의해 압력전달시간이 지연되는 제1센서챔버(42)와의 급격한 압력차를 줄일 수 있게 된다.When the leak detection test is completed, the second valve 33 is shut off and the test body is opened to generate atmospheric pressure. When atmospheric pressure is formed in the test body, the first and second valves 31 and 33 are opened to open the standard pressure chamber 10, the buffer pressure chamber 20, and the first and second sensor chambers of the pressure sensor 40. Atmospheric pressure is formed at (42) (44). In this case, the buffer pressure chamber 20 delays the time for transferring the pressure of the test body to the second sensor chamber 44, so that the rapid pressure with the first sensor chamber 42 is delayed by the standard pressure chamber 10. The pressure difference can be reduced.

이상에서 설명한 바와 같은 본 발명에 의하면, 완충압력챔버가 압력센서에 발생되는 급격한 압력차를 억제하여, 압력센서의 손상을 방지할 수 있게 된다.According to the present invention as described above, the buffer pressure chamber can suppress the sudden pressure difference generated in the pressure sensor, it is possible to prevent damage to the pressure sensor.

또한, 열전소자를 사용하여 단열챔버의 온도를 일정하게 유지함으로써 표준압력챔버의 압력을 일정하게 유지할 수 있게 되어 압력센서에 의해 측정되는 정보가 보다 정확하게 된다.In addition, by using a thermoelectric element to maintain a constant temperature of the insulated chamber, the pressure of the standard pressure chamber can be kept constant, so that the information measured by the pressure sensor is more accurate.

이처럼, 압력센서의 손상을 방지함과 아울러 압력센서가 보다 정확한 정보를 검출함으로써 누설탐지장치의 신뢰성을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라 누설 여부 및 누설량을 보다 정확하게 판단할 수 있게 된다.As such, the pressure sensor can be prevented from being damaged and the pressure sensor can detect more accurate information, thereby improving the reliability of the leak detection device and more accurately determining the leakage and the amount of leakage.

이상, 본 발명을 본 발명의 원리를 예시하기 위한 바람직한 실시예와 관련하여 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 그와 같이 도시되고 설명된 그대로의 구성 및 작용으로 한정되는 것이 아니다. 즉, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진자라면 첨부된 특허청구범위의 사상 및 범주를 일탈함이 없이 본 발명에 대한 다수의 변경 및 수정이 가능하다는 것을 잘 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 그러한 모든 적절한 변경 및 수정과 균등물들도 본 발명의 범위에 속하는 것으로 간주되어야 할 것이다.While the invention has been shown and described in connection with preferred embodiments for illustrating the principles of the invention, the invention is not limited to the construction and operation as shown and described. That is, those skilled in the art to which the present invention pertains will appreciate that many changes and modifications can be made to the present invention without departing from the spirit and scope of the appended claims. Accordingly, all such suitable changes and modifications and equivalents should be considered to be within the scope of the present invention.

Claims (9)

삭제delete 시험체의 압력을 감지하여 누설 여부를 탐지하기 위한 누설탐지장치에 있어서,In the leak detection device for detecting the leakage of the test object by detecting the pressure, 상기 시험체와 선택적으로 연통되는 표준압력챔버;A standard pressure chamber in selective communication with the test body; 상기 시험체와 연통되어 상기 시험체와 동일한 압력이 형성되는 완충압력챔버;A buffer pressure chamber in communication with the test body to form the same pressure as the test body; 상기 표준압력챔버와 상기 완충압력챔버의 압력차를 검출하는 압력센서; 및A pressure sensor for detecting a pressure difference between the standard pressure chamber and the buffer pressure chamber; And 상기 압력센서로부터 검출된 압력차로부터 상기 시험체의 압력을 산출하고 상기 산출된 시험체의 압력에 따라 상기 시험체의 누설 여부를 판단하는 제어부;를 포함하며,And a controller configured to calculate the pressure of the test body from the pressure difference detected by the pressure sensor and determine whether the test body leaks according to the calculated pressure of the test body. 상기 표준압력챔버와 상기 완충압력챔버를 연통시키며, 제1밸브가 마련된 제1연결파이프; 및A first connection pipe communicating with the standard pressure chamber and the buffer pressure chamber, and provided with a first valve; And 상기 제1연결파이프와 상기 시험체를 연통시키며, 제2밸브가 마련된 상기 제2연결파이프;를 포함하고,And a second connecting pipe communicating with the first connecting pipe and the test body and provided with a second valve. 상기 제1연결파이프는,The first connection pipe, 상기 제2연결파이프와의 연결점을 기준으로 상기 표준압력챔버와 연결되는 제1분기파이프와 상기 완충압력챔버와 연결되는 제2분기파이프로 분기되며, 상기 제1밸브는 상기 제1분기파이프에 마련된 것을 특징으로 하는 누설탐지장치.The first branch pipe is connected to the standard pressure chamber and the second branch pipe is connected to the buffer pressure chamber on the basis of the connection point with the second connection pipe, and the first valve is provided in the first branch pipe. Leak detection apparatus, characterized in that. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 표준압력챔버와 상기 완충압력챔버는 외부와 기밀이 유지되는 중공의 하우징 내부가 분리막에 의해 구획되어 형성되는 것을 특징으로 하는 누설탐지장치.The standard pressure chamber and the buffer pressure chamber is leak detection device, characterized in that the hollow housing inside and the airtight is maintained by the separation membrane formed. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 표준압력챔버와 상기 완충압력챔버는 실질적으로 동일한 부피를 가지는 것을 특징으로 하는 누설탐지장치.And the standard pressure chamber and the buffer pressure chamber have substantially the same volume. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 하우징은 외부와 단열된 단열챔버의 내부에 배치되는 것을 특징으로 하는 누설탐지장치.The housing is a leak detection device, characterized in that disposed in the interior of the insulated chamber insulated from the outside. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 단열챔버의 온도를 일정하게 유지하기 위한 항온유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 누설탐지장치.Leakage detection device comprising a constant temperature unit for maintaining a constant temperature of the insulated chamber. 제6항에 있어서, The method of claim 6, 상기 항온유닛은,The constant temperature unit, 상기 단열챔버에 마련된 열전소자; 및A thermoelectric element provided in the insulation chamber; And 상기 표준압력챔버의 온도를 측정하기 위한 온도센서;를 포함하며,And a temperature sensor for measuring the temperature of the standard pressure chamber. 상기 제어부는 상기 온도센서로부터 측정된 온도에 따라 상기 열전소자를 제어하는 것을 특징으로 하는 누설탐지장치.The control unit is a leak detection device, characterized in that for controlling the thermoelectric element in accordance with the temperature measured from the temperature sensor. 제7항에 있어서, 상기 단열챔버는,The method of claim 7, wherein the thermal insulation chamber, 일측이 개방된 중공의 단열몸체;Hollow insulation body of which one side is open; 상기 단열몸체의 개방된 일측을 개폐하기 위한 단열커버; 및An insulation cover for opening and closing one side of the insulation body; And 상기 단열챔버의 기밀이 유지되도록 상기 단열몸체와 상기 단열커버를 체결시키기 위한 체결부재;에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 누설탐지장치.And a fastening member for fastening the heat insulation body and the heat insulation cover to maintain the airtightness of the heat insulation chamber. 시험체의 압력을 감지하여 누설 여부를 탐지하기 위한 누설탐지장치에 있어서,In the leak detection device for detecting the leakage of the test object by detecting the pressure, 상기 시험체와 선택적으로 연통되는 표준압력챔버;A standard pressure chamber in selective communication with the test body; 상기 표준압력챔버와 연통되는 제1센서챔버와 상기 시험체와 연통되는 제2센서챔버를 구비하며, 상기 제1센서챔버와 상기 제2센서챔버의 압력차를 검출하는 압력센서;A pressure sensor having a first sensor chamber in communication with the standard pressure chamber and a second sensor chamber in communication with the test body, the pressure sensor detecting a pressure difference between the first sensor chamber and the second sensor chamber; 상기 표준압력챔버의 온도를 측정하기 위한 온도센서;A temperature sensor for measuring a temperature of the standard pressure chamber; 상기 표준압력챔버의 온도를 조절하기 위한 열전소자; 및A thermoelectric element for controlling the temperature of the standard pressure chamber; And 상기 압력센서로부터 검출된 압력차로부터 상기 시험체의 압력을 산출하고 상기 산출된 시험체의 압력에 따라 시험체의 누설 여부를 판단함과 아울러 상기 온도센서로부터 측정된 온도에 따라 상기 열전소자를 제어하는 제어부;를 포함하는 누설탐지장치.A controller for calculating the pressure of the test object from the pressure difference detected by the pressure sensor, determining whether the test object leaks according to the calculated pressure of the test object, and controlling the thermoelectric element according to the temperature measured by the temperature sensor; Leak detection device comprising a.
KR1020050093355A 2005-10-05 2005-10-05 Leak detection apparatus KR100760828B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050093355A KR100760828B1 (en) 2005-10-05 2005-10-05 Leak detection apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050093355A KR100760828B1 (en) 2005-10-05 2005-10-05 Leak detection apparatus

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20070038253A KR20070038253A (en) 2007-04-10
KR100760828B1 true KR100760828B1 (en) 2007-09-21

Family

ID=38159646

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020050093355A KR100760828B1 (en) 2005-10-05 2005-10-05 Leak detection apparatus

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100760828B1 (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014171571A1 (en) * 2013-04-17 2014-10-23 태원물산주식회사 Differential pressure-type leakage examining device and leakage examining method
WO2016159410A1 (en) * 2015-03-31 2016-10-06 태원물산 주식회사 Method for inspecting for coolant leakage
WO2016159409A1 (en) * 2015-03-31 2016-10-06 태원물산 주식회사 Method for inspecting for coolant leakage

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100931877B1 (en) * 2008-01-22 2009-12-15 한국에너지기술연구원 Hydrogen storage performance evaluation device using volume method and its control method
KR101479520B1 (en) * 2013-07-03 2015-01-07 주식회사 이엠아이 Sealing Cover for Detection of Leakage and Protection
KR101501757B1 (en) * 2014-06-03 2015-03-12 김동언 Apparatus testing waterproof of mobile using reference chamber
CN111323177A (en) * 2018-12-17 2020-06-23 北京建科源科技有限公司 Door and window sealing detector and detection method thereof
KR102422833B1 (en) * 2020-09-10 2022-07-20 피에스케이 주식회사 Apparatus for treating substrate and method for detecting leakage of processing chamber
CN114295306B (en) * 2021-12-31 2023-09-01 中国电子科技集团公司第四十八研究所 Air tightness detection module and detection system

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014171571A1 (en) * 2013-04-17 2014-10-23 태원물산주식회사 Differential pressure-type leakage examining device and leakage examining method
WO2016159410A1 (en) * 2015-03-31 2016-10-06 태원물산 주식회사 Method for inspecting for coolant leakage
WO2016159409A1 (en) * 2015-03-31 2016-10-06 태원물산 주식회사 Method for inspecting for coolant leakage

Also Published As

Publication number Publication date
KR20070038253A (en) 2007-04-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100760828B1 (en) Leak detection apparatus
US10247637B2 (en) Differential pressure measurement with film chamber
US8205484B2 (en) Apparatus and method for leak testing
KR100919800B1 (en) Flow rate control absolute flow rate check system
JPH0781927B2 (en) Hollow container sealing method and device
JP5314387B2 (en) Leak detection system and leak detection method for sealed container
DK2932221T3 (en) PROCEDURE FOR SEAL TESTING OF A HOUSE
US10309862B2 (en) Film chamber with measuring volume for gross leak detection
US10401255B1 (en) Vacuum leak testing
US4791814A (en) System and method for detecting liquid leakage in storage tanks
JP3983479B2 (en) Battery leakage inspection device
KR20160096037A (en) Error detect and control method for gas filling and exhausting system of pressure tank
US11860083B2 (en) Apparatus and method of testing an object within a dry gas environment
US20230280233A1 (en) Leak detection method and system
JP2010266282A (en) Device and method for leakage test
JP5289325B2 (en) Soundness evaluation method for secondary barrier of liquefied gas tank
JP3178564B2 (en) Differential pressure measuring device
JP2001141597A (en) Temperature measuring device of leakage test device and leakage test device
JP3185956B2 (en) Differential pressure measuring device
JP2000352539A (en) Method for correcting measured value of and apparatus for correcting measured value of gas pressure, and method for detecting and apparatus for detecting air leak of sealed container using the same
KR0169747B1 (en) Absolute pressure detecting sensor and apparatus for detecting the leakage from a vessel using it
JPH08327485A (en) Leakage tester
KR20230098445A (en) Fluid&#39;s Temperature Prediction Apparatus And Method of Driving The Same, System For Compensating Fluid&#39;s Temperature Including The Same And Method of Compensating The Fluid&#39;s Temperature
KR20220073487A (en) Water hammer preventing system using dual tank
JPH10300624A (en) Inspection method for gas leakage

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application
J201 Request for trial against refusal decision
AMND Amendment
B701 Decision to grant
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20120917

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130917

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160908

Year of fee payment: 12

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190916

Year of fee payment: 13