JPH08327485A - Leakage tester - Google Patents
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- JPH08327485A JPH08327485A JP13415695A JP13415695A JPH08327485A JP H08327485 A JPH08327485 A JP H08327485A JP 13415695 A JP13415695 A JP 13415695A JP 13415695 A JP13415695 A JP 13415695A JP H08327485 A JPH08327485 A JP H08327485A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、被試験物である容器の
気密性を調べる漏れ試験器に関し、空気圧漏れ試験器な
どに利用できる。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a leak tester for checking the airtightness of a container which is an object to be tested, and can be used as an air pressure leak tester or the like.
【０００２】[0002]
【背景技術】従来より、気密性の必要な容器において、
漏れの有無を検査する方法として、次のような方法が実
用化されている。すなわち、漏れが無いことが明白な容
器若しくはそれに準ずる容器（以下、基準容器という）
と、漏れの有無が不明な容器（以下、被試験物という）
とを、漏れ試験器に取り付け、それぞれに同一の気体圧
力（空気圧漏れ試験器の場合には、空気圧力となる）を
加えた後、これらの供給気体圧力の供給用流路を遮断し
て基準容器および被試験物をそれぞれ密閉状態とする。
そして、この状態で両者間に差圧が発生するか否かを、
両者間に取り付けた差圧センサにより検出し、規定値以
上の差圧が発生した場合に漏れがあると判断する方法で
ある。BACKGROUND ART Conventionally, in containers that require airtightness,
The following method has been put into practical use as a method for inspecting the presence or absence of leakage. That is, it is clear that there is no leakage or a container equivalent to it (hereinafter referred to as the reference container).
And a container whose leak is unknown (hereinafter referred to as the DUT)
, And to the leak tester, and after applying the same gas pressure (air pressure in the case of the air pressure leak tester) to each, shut off the supply flow path for these supply gas pressures and use as a reference. Keep the container and DUT sealed.
Then, in this state, whether the differential pressure is generated between the two
This is a method of detecting with a differential pressure sensor attached between the two and determining that there is a leak when a differential pressure of a specified value or more occurs.
【０００３】図６には、このような従来の漏れ試験器の
一般的な例である空気圧漏れ試験器８０の全体構成図が
示されている。空気圧漏れ試験器８０は、図中左側に空
気圧源８２を備え、この空気圧源８２には配管９０が接
続されている。配管９０には、試験空気圧を調整する減
圧弁８３と、三方弁８４とが設けられ、配管９０は、三
方弁８４の下流位置で二股に分岐されている。これらの
分岐された配管のうちの一方の配管９１には、第一開閉
弁８５が設けられ、その下流には、被試験物１が取り付
けられている。また、分岐された配管のうちの他方の配
管９２には、第二開閉弁８６が設けられ、その下流に
は、基準容器２が取り付けられている。FIG. 6 shows an overall configuration of an air pressure leak tester 80 which is a general example of such a conventional leak tester. The air pressure leak tester 80 includes an air pressure source 82 on the left side in the drawing, and a pipe 90 is connected to the air pressure source 82. The pipe 90 is provided with a pressure reducing valve 83 for adjusting the test air pressure and a three-way valve 84, and the pipe 90 is bifurcated at a position downstream of the three-way valve 84. The first opening / closing valve 85 is provided in one of the branched pipes 91, and the DUT 1 is attached downstream thereof. A second on-off valve 86 is provided in the other pipe 92 of the branched pipes, and the reference container 2 is attached downstream thereof.
【０００４】一方の配管９１の途中であって第一開閉弁
８５と被試験物１との間の位置には、配管９３Ａの一端
が接続され、他方の配管９２の途中であって第二開閉弁
８６と基準容器２との間の位置には、配管９３Ｂの一端
が接続され、これらの配管９３Ａ，９３Ｂの他端は、そ
れぞれ差圧センサ８１に接続されている。One end of a pipe 93A is connected to a position between the first opening / closing valve 85 and the DUT 1 in the middle of one pipe 91, and the second opening / closing in the middle of the other pipe 92. One end of a pipe 93B is connected to a position between the valve 86 and the reference container 2, and the other ends of these pipes 93A and 93B are connected to the differential pressure sensor 81, respectively.
【０００５】このような空気圧漏れ試験器８０において
は、以下のようにして漏れ試験を行う。先ず、第一開閉
弁８５および第二開閉弁８６を開状態とし、減圧弁８３
を適宜調整しながら、漏れ試験に必要な空気圧力を、空
気圧源８２から配管９０を通し、さらに二分岐された配
管９１，９２を通すことにより、被試験物１および基準
容器２に供給する。この際には、被試験物１側および基
準容器２側に同一圧力が加えられるため、差圧センサ８
１には差圧は生じない。In such an air pressure leak tester 80, a leak test is performed as follows. First, the first opening / closing valve 85 and the second opening / closing valve 86 are opened, and the pressure reducing valve 83
The air pressure required for the leak test is supplied to the DUT 1 and the reference container 2 through the pipe 90 from the air pressure source 82 and the pipes 91 and 92 that are bifurcated, while appropriately adjusting. At this time, since the same pressure is applied to the DUT 1 side and the reference container 2 side, the differential pressure sensor 8
There is no differential pressure at 1.
【０００６】この空気圧力の供給加圧中において、図７
（Ａ）に示す如く、被試験物１または基準容器２が各配
管９１，９２の接続部９１Ａ，９２Ａから外れた場合に
は、空気圧が所定試験圧力まで上昇しないため、この時
点で試験を終了する。なお、この場合には、被試験物１
または基準容器２のうちいずれか一方しか外れていなく
ても、各配管９１，９２が連通状態となっていることか
ら、被試験物１側および基準容器２側の空気圧は共に上
昇しない。従って、差圧センサ８１に大きな差圧がかか
ることはない。During the supply and pressurization of the air pressure, as shown in FIG.
As shown in (A), when the DUT 1 or the reference container 2 is disengaged from the connection portions 91A and 92A of the pipes 91 and 92, the air pressure does not rise to the predetermined test pressure, and thus the test ends at this point. To do. In this case, the DUT 1
Even if only one of the reference containers 2 is disconnected, the air pressures on the DUT 1 side and the reference container 2 side do not rise because the pipes 91 and 92 are in communication with each other. Therefore, a large differential pressure is not applied to the differential pressure sensor 81.
【０００７】空気圧が所定試験圧力まで上昇したところ
で、第一開閉弁８５および第二開閉弁８６を閉じ、被試
験物１および基準容器２をそれぞれ密閉状態とする。そ
して、この密閉状態を一定時間保持し、差圧センサ８１
による測定結果において差圧が生じなかった場合に、被
試験物１を漏れのない正常な容器と判断する。When the air pressure rises to a predetermined test pressure, the first opening / closing valve 85 and the second opening / closing valve 86 are closed, and the DUT 1 and the reference container 2 are sealed. Then, the sealed state is maintained for a certain time, and the differential pressure sensor 81
When the differential pressure is not generated in the measurement result according to 1., the DUT 1 is determined to be a normal container with no leakage.
【０００８】この際、第一開閉弁８５および第二開閉弁
８６を閉じた後に、図７（Ａ）に示す如く、被試験物１
または基準容器２が各配管９１，９２の接続部９１Ａ，
９２Ａから外れた場合には、被試験物１側または基準容
器２側の圧力は急激に降下し、差圧センサ８１の片側の
みに試験空気圧が加わる片圧状態となって、差圧センサ
８１に大きな差圧がかかる（以下、ケース１という）。At this time, after closing the first opening / closing valve 85 and the second opening / closing valve 86, as shown in FIG.
Alternatively, the reference container 2 is connected to the connecting portions 91A of the pipes 91, 92,
When the pressure is deviated from 92A, the pressure on the DUT 1 side or the reference container 2 side sharply drops, and the test air pressure is applied to only one side of the differential pressure sensor 81. A large differential pressure is applied (hereinafter referred to as case 1).
【０００９】また、図７（Ｂ）に示す如く、被試験物１
に大きな漏れになる欠陥がある際には、その欠陥による
漏れの状態にもよるが、被試験物１および基準容器２の
空気圧を所定試験圧力まで上昇させることができた場合
には、漏れ試験を進めることになるので、被試験物１お
よび基準容器２の密閉を行うために第一開閉弁８５およ
び第二開閉弁８６を閉じる。そして、第一開閉弁８５お
よび第二開閉弁８６を閉じた後に、欠陥による漏れによ
って被試験物１側の圧力は大気圧に向かって降下し、差
圧センサ８１の片側のみに試験空気圧が加わる片圧状態
となって、差圧センサ８１に大きな差圧がかかる（以
下、ケース２という）。Further, as shown in FIG.
If there is a defect that causes a large leak, the leak test will be performed if the air pressures of the DUT 1 and the reference container 2 can be increased to a predetermined test pressure, depending on the leak state due to the defect. Therefore, the first opening / closing valve 85 and the second opening / closing valve 86 are closed in order to seal the DUT 1 and the reference container 2. After closing the first opening / closing valve 85 and the second opening / closing valve 86, the pressure on the DUT 1 side decreases toward the atmospheric pressure due to leakage due to a defect, and the test air pressure is applied to only one side of the differential pressure sensor 81. In the one-sided pressure state, a large differential pressure is applied to the differential pressure sensor 81 (hereinafter referred to as case 2).
【００１０】図８には、従来の差圧センサ８１の断面構
造の一例が斜視図で示されている。差圧センサ８１は、
中央に磁性ダイアフラム９４を備え、このダイアフラム
９４の両側には、圧力室９５Ａ，９５Ｂが形成されてい
る。これらの圧力室９５Ａ，９５Ｂには、被試験物１お
よび基準容器２の空気圧が、配管９３Ａ，９３Ｂから導
入されるようになっている。そして、各圧力室９５Ａ，
９５Ｂに導かれた被試験物１および基準容器２の空気圧
をダイアフラム９４の両側から作用させ、その差圧によ
るダイアフラム９４の変位を、各圧力室９５Ａ，９５Ｂ
の外側に設けられたコア９６Ａ，９６Ｂに巻かれている
コイル９７Ａ，９７Ｂのインダクタンスの変化として捉
えることにより、差圧を検出する構成となっている。FIG. 8 is a perspective view showing an example of a sectional structure of a conventional differential pressure sensor 81. The differential pressure sensor 81 is
A magnetic diaphragm 94 is provided at the center, and pressure chambers 95A and 95B are formed on both sides of the diaphragm 94. The air pressures of the DUT 1 and the reference container 2 are introduced into the pressure chambers 95A and 95B through the pipes 93A and 93B. And each pressure chamber 95A,
The air pressure of the device under test 1 and the reference container 2 introduced to 95B is applied from both sides of the diaphragm 94, and the displacement of the diaphragm 94 due to the differential pressure is changed between the pressure chambers 95A and 95B.
The differential pressure is detected by capturing it as a change in the inductance of the coils 97A and 97B wound around the cores 96A and 96B provided outside.
【００１１】このような構造の差圧センサ８１では、前
述したケース１，２の片圧状態への対策として、差圧セ
ンサ８１の差圧レンジ（計測範囲）以上の差圧が発生し
た場合には、ダイアフラム９４が各圧力室９５Ａ，９５
Ｂの壁面に密着して、それ以上の変位を起こさないよう
になっている。In the differential pressure sensor 81 having such a structure, as a countermeasure against the above-mentioned one-side pressure state of the cases 1 and 2, when a differential pressure exceeding the differential pressure range (measurement range) of the differential pressure sensor 81 is generated. Is the diaphragm 94 in each pressure chamber 95A, 95
It is designed to be in close contact with the wall surface of B and prevent further displacement.
【００１２】[0012]
【発明が解決しようとする課題】ところで、前述した図
８のような構造の差圧センサ８１では、微小の差圧を検
出するには、ダイアフラム９４の剛性を小さくするか、
あるいはダイアフラム９４の径を大きくすることによ
り、小さな差圧でもダイアフラム９４の変位量が大きく
なるようにして、コイル９７Ａ，９７Ｂのインダクタン
スの変化を大きくする必要がある。By the way, in the differential pressure sensor 81 having the structure as shown in FIG. 8 described above, in order to detect a minute differential pressure, the rigidity of the diaphragm 94 is reduced, or
Alternatively, it is necessary to increase the diameter of the diaphragm 94 to increase the displacement of the diaphragm 94 even with a small pressure difference, thereby increasing the change in the inductance of the coils 97A and 97B.
【００１３】しかしながら、単にダイアフラム９４の変
位量を大きくした場合、ダイアフラム９４が壁面に密着
するまでの距離も大きくしなければならない。ところ
が、この距離が大きいと、前述したケース１，２の片圧
状態となった際に、ダイアフラム９４が塑性変形を起こ
し、差圧センサ８１の故障または異常の原因となってし
まう。このため、差圧感度の特性を下げて片耐圧を上げ
るか、あるいは差圧感度を上げて片耐圧を下げなければ
ならなかった。しかし、差圧感度を下げると、微小な漏
れを検出できなくなり、一方、片耐圧を下げると、試験
空気圧も下げなければならないという不都合が生じる。However, when the displacement amount of the diaphragm 94 is simply increased, the distance until the diaphragm 94 comes into close contact with the wall surface must be increased. However, if this distance is large, when the cases 1 and 2 are in the one-sided pressure state, the diaphragm 94 is plastically deformed, which causes a failure or abnormality of the differential pressure sensor 81. For this reason, it has been necessary to lower the differential pressure sensitivity characteristic to raise the single breakdown voltage, or increase the differential pressure sensitivity to lower the single breakdown voltage. However, if the differential pressure sensitivity is lowered, it becomes impossible to detect minute leaks. On the other hand, if the single breakdown voltage is lowered, the test air pressure must also be lowered.
【００１４】また、微小差圧を検出するためにダイアフ
ラム９４の変位量を大きくした場合、センサ係数（発生
差圧を検出するためにダイアフラム９４の両側の各圧力
室９５Ａ，９５Ｂは容積変化を起こすが、この時の単位
発生差圧あたりの容積変化をセンサ係数と呼ぶ）は大き
くなる。ところが、このセンサ係数の値は、特に被試験
物１の内容積が小さい場合に問題になるため、ダイアフ
ラム９４の変位量を大きくできないという問題があっ
た。つまり、センサ係数が大きいということは、容器
（被試験物１、基準容器２）、配管、圧力室９５Ａ，９
５Ｂを含めた系統全体の容積に対し、ダイアフラム９４
の変位に伴う容積変化の割合が大きいということを意味
するが、各容器の内容積が小さい場合には、系統全体の
容積が小さくなることから、ダイアフラム９４の変位に
伴う容積変化の影響を受けやすくなり、感度が低下する
という問題が生じる。When the displacement amount of the diaphragm 94 is increased to detect the minute differential pressure, the sensor coefficient (the pressure chambers 95A and 95B on both sides of the diaphragm 94 to detect the generated differential pressure change in volume). However, the change in volume per unit differential pressure generated at this time is called a sensor coefficient). However, the value of the sensor coefficient poses a problem that the displacement amount of the diaphragm 94 cannot be increased because the value of the sensor coefficient becomes a problem particularly when the inner volume of the DUT 1 is small. That is, the fact that the sensor coefficient is large means that the container (DUT 1, reference container 2), piping, pressure chambers 95A, 9A
Diaphragm 94 for the volume of the entire system including 5B
It means that the ratio of the volume change due to the displacement of is large. However, when the inner volume of each container is small, the volume of the entire system becomes small, so that it is affected by the volume change due to the displacement of the diaphragm 94. There is a problem that it becomes easy and the sensitivity is lowered.
【００１５】これに対し、センサ係数を小さくし、差圧
感度を上げた図４および図５に示すような小型高感度差
圧センサ１０を用いることが考えられる。図４は、差圧
センサ１０の断面図であり、図５は、一部断面を含む斜
視図である。差圧センサ１０は、中央に薄いシリコンダ
イアフラム１１を備え、このダイアフラム１１を両側の
ガラス１２，１３により挟み込んだ構成となっている。
各ガラス１２，１３とダイアフラム１１との間には、圧
力室１４，１５が形成され、これらの各圧力室１４，１
５には、通路１６，１７から被試験物１、基準容器２の
空気圧が導入されるようになっている。On the other hand, it is conceivable to use a compact high-sensitivity differential pressure sensor 10 as shown in FIGS. 4 and 5 in which the sensor coefficient is reduced and the differential pressure sensitivity is increased. FIG. 4 is a cross-sectional view of the differential pressure sensor 10, and FIG. 5 is a perspective view including a partial cross section. The differential pressure sensor 10 is provided with a thin silicon diaphragm 11 in the center, and the diaphragm 11 is sandwiched between the glasses 12 and 13 on both sides.
Pressure chambers 14 and 15 are formed between the glasses 12 and 13 and the diaphragm 11, respectively.
The air pressure of the DUT 1 and the reference container 2 is introduced into the passage 5 from the passages 16 and 17.
【００１６】各ガラス１２，１３の圧力室１４，１５側
の面には、ダイアフラム１１と対向して円形状の電極１
８，１９が設けられている。そして、これらの電極１
８，１９とダイアフラム１１とにより、一対のコンデン
サが形成されている。また、各電極１８，１９は、各通
路１６，１７の壁面から各ガラス１２，１３の外側の面
に至るように設けられた取出部２０，２１により、外部
に取り出されるようになっている（図４参照）。そし
て、取出部２０は、差圧センサ１０の角部の位置２０Ａ
まで延び、取出部２１は、差圧センサ１０の角部の裏面
側の位置２１Ａまで延びている（図５参照）。On the surface of each of the glasses 12, 13 on the side of the pressure chambers 14, 15 is a circular electrode 1 facing the diaphragm 11.
8, 19 are provided. And these electrodes 1
A pair of capacitors are formed by the diaphragms 8 and 19 and the diaphragm 11. The electrodes 18 and 19 are taken out to the outside by taking-out portions 20 and 21 provided so as to reach from the wall surfaces of the passages 16 and 17 to the outer surfaces of the glasses 12 and 13 ( (See FIG. 4). Then, the take-out portion 20 is located at the corner position 20A of the differential pressure sensor 10.
Up to the position 21A on the back surface side of the corner of the differential pressure sensor 10 (see FIG. 5).
【００１７】一方、ダイアフラム１１は、これに連続す
るシリコンの端部（差圧センサ１０の四つの角部のうち
の二箇所）に設けられた取出部２２，２３により、外部
に取り出されるようになっている（図５参照）。従っ
て、取出部２０と取出部２２とにより、一方の電極１８
とダイアフラム１１とにより形成された一つのコンデン
サの静電容量が取り出され、取出部２１と取出部２３と
により、他方の電極１９とダイアフラム１１とにより形
成された別のコンデンサの静電容量が取り出されるよう
になっている。On the other hand, the diaphragm 11 is taken out to the outside by the take-out portions 22 and 23 provided at the end portions of silicon (two of the four corner portions of the differential pressure sensor 10) continuous with the diaphragm 11. (See Figure 5). Therefore, one electrode 18 is formed by the take-out portion 20 and the take-out portion 22.
The capacitance of one capacitor formed by the diaphragm 11 and the diaphragm 11 is extracted, and the capacitance of another capacitor formed by the other electrode 19 and the diaphragm 11 is extracted by the extraction portion 21 and the extraction portion 23. It is supposed to be.
【００１８】このような差圧センサ１０においては、差
圧によりダイアフラム１１が撓む際に、各電極１８，１
９とダイアフラム１１との間の各静電容量が変化するこ
とを利用し、差圧を電気信号として検出する。そして、
この差圧センサ１０は、前述した図８の差圧センサ８１
に比べ、非常に小型であり、センサ係数が小さく、差圧
感度が高いという特長がある。In such a differential pressure sensor 10, when the diaphragm 11 bends due to the differential pressure, each electrode 18, 1
The differential pressure is detected as an electric signal by utilizing the fact that each capacitance between the diaphragm 9 and the diaphragm 11 changes. And
The differential pressure sensor 10 is the differential pressure sensor 81 of FIG.
Compared to, it has the features of being extremely small, having a small sensor coefficient and high differential pressure sensitivity.
【００１９】しかしながら、この差圧センサ１０では、
マイクロマシニングによる極めて薄いシリコンダイアフ
ラム１１やこの両側の二枚のガラス１２，１３を用いて
いるため、図８の差圧センサ８１に比べて割れやすく、
センサ単体では、前述した片耐圧を上げることが困難で
あるという問題がある。However, in this differential pressure sensor 10,
Since the extremely thin silicon diaphragm 11 formed by micromachining and the two glasses 12 and 13 on both sides thereof are used, they are more easily broken than the differential pressure sensor 81 of FIG.
The sensor alone has a problem that it is difficult to increase the withstand voltage.
【００２０】以上に述べたように漏れ試験器に用いる差
圧センサには、種々のタイプのものがあるが、どのタイ
プの差圧センサについても、センサ単体では、差圧感度
が高く、かつ、片耐圧を上げることができるという要求
を同時に満足させるものはない。一般に、漏れ試験器を
用いて漏れ検査をする容器には、様々なものがある。あ
る容器は、漏れ検査を行う試験空気圧が高かったり、あ
る容器は、強度的な理由から低い試験空気圧でないと傷
がついてしまったりする。また、容積の小さい容器もあ
れば、大きい容器もある。これらのことから、漏れ試験
器の密閉試験空気圧については、高い値から低い値まで
の様々な要求があり、このような要求の全てに対応でき
る漏れ試験器の開発が望まれている。そして、特に、高
い空気圧での使用が考えられる容器の場合には、高い試
験空気圧での漏れ検査が必要となることから、これに対
応できる漏れ試験器としなければならないが、この場合
には差圧センサの片耐圧を上げなければならないため、
前述したように差圧感度が悪くなるという問題が生じ
る。また、差圧センサによっては高い空気圧での使用が
できないという問題もあった。As described above, there are various types of differential pressure sensors used in the leak tester. For any type of differential pressure sensor, the sensor alone has high differential pressure sensitivity and Nothing at the same time satisfies the demand for higher single breakdown voltage. Generally, there are various containers for performing a leak test using a leak tester. Some containers have high test air pressures for leak testing, and some containers are damaged for strength reasons unless they have low test air pressures. Also, some containers have a small volume and some have a large volume. From these facts, there are various requirements for the sealing test air pressure of the leak tester from a high value to a low value, and it is desired to develop a leak tester that can meet all of these requirements. And, in particular, in the case of a container that is expected to be used at high air pressure, a leak test at a high test air pressure is required, so a leak tester that can handle this must be used. Since it is necessary to increase the pressure resistance of the pressure sensor,
As described above, there arises a problem that the differential pressure sensitivity is deteriorated. There is also a problem that some differential pressure sensors cannot be used at high air pressure.
【００２１】発明の目的は、高い試験空気圧での被試験
物の漏れ検査を行うことができるとともに、漏れ検出用
の差圧検出手段の差圧感度を上げることができ、正確で
かつ微小な漏れを検出できる漏れ試験器を提供すること
にある。An object of the present invention is to perform a leak test of a device under test at a high test air pressure and to increase the differential pressure sensitivity of a differential pressure detecting means for detecting a leak, so that an accurate and minute leak can be obtained. It is to provide a leak tester capable of detecting a leak.
【００２２】[0022]
【課題を解決するための手段】本発明は、基準容器側流
路と被試験物側流路との間に連通手段を設けて前記目的
を達成しようとするものである。具体的には、本発明
は、漏れが無い若しくは無いとみなされる基準容器と漏
れの有無が不明な被試験物との内部に気体供給源から気
体を供給し、これらの基準容器および被試験物の内部を
同一の所定試験圧力にした状態でそれぞれ密閉し、これ
らの基準容器と被試験物との間に生じる差圧に基づいて
前記被試験物の漏れを測定する漏れ試験器において、前
記基準容器と前記被試験物との間に設けられてこれらの
基準容器と被試験物との間に生じる差圧を検出する差圧
検出手段と、この差圧検出手段と前記基準容器とを接続
する基準容器側流路と、前記差圧検出手段と前記被試験
物とを接続する被試験物側流路と、前記基準容器側流路
と前記被試験物側流路との間に設けられて前記基準容器
と前記被試験物との間に生じる差圧が所定の設定圧力以
上になった場合に前記基準容器側流路と前記被試験物側
流路とを連通する連通手段とを備えたことを特徴とす
る。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is intended to achieve the above object by providing a communicating means between the reference container side flow path and the DUT side flow path. Specifically, the present invention supplies gas from a gas supply source to the inside of a reference container that is not leaked or is considered not to be leaked and a DUT whose leak is unknown, and these reference container and DUT are supplied. In the leak tester that measures the leak of the DUT based on the pressure difference between the reference container and the DUT, the standard is sealed under the same predetermined test pressure. A differential pressure detecting means provided between the container and the DUT to detect a differential pressure generated between the reference container and the DUT, and the differential pressure detecting means and the reference container are connected to each other. A reference container side flow path, a DUT side flow path that connects the differential pressure detection means and the DUT, and is provided between the reference container side flow path and the DUT side flow path. The differential pressure generated between the reference container and the DUT is a predetermined set pressure. Characterized by comprising a communicating means for communicating the DUT side flow path and the reference container side flow path if it becomes upward.
【００２３】ここで、前記連通手段は、電気的に制御さ
れる電磁バルブなどであってもよいが、発生した差圧の
力により連通することができ、他の力が必要でないもの
で、さらに設定圧力以上で差圧の大きさに応じて開度が
変わるものがよく、特に、リリーフ弁であることが望ま
しい。Here, the communication means may be an electromagnetic valve or the like which is electrically controlled, but it can communicate by the force of the generated differential pressure and does not require any other force. It is preferable that the opening be changed depending on the magnitude of the differential pressure at the set pressure or more, and the relief valve is particularly preferable.
【００２４】また、前記基準容器側流路の途中であって
前記連通手段の接続位置よりも前記差圧検出手段寄りの
位置、および前記被試験物側流路の途中であって前記連
通手段の接続位置よりも前記差圧検出手段寄りの位置に
は、それぞれ絞り機構が設けられていることが望まし
い。Further, in the middle of the flow path on the side of the reference container, at a position closer to the differential pressure detecting means than the connection position of the communicating means, and in the middle of the flow path on the DUT side of the communicating means. It is desirable that a throttle mechanism is provided at a position closer to the differential pressure detecting means than the connecting position.
【００２５】[0025]
【作用】このような本発明においては、基準容器および
被試験物に気体供給源から気体を供給し、これらの基準
容器および被試験物の内部を同一の所定試験圧力にした
状態でそれぞれ密閉する。そして、この密閉状態におい
て、差圧検出手段に、基準容器側流路から基準容器の圧
力を作用させるとともに、被試験物側流路から被試験物
の圧力を作用させ、差圧検出手段でこれらの差圧を検出
することにより、被試験物の漏れ検査を行う。検査結果
は、差圧が発生した場合に被試験物に漏れがあると判定
し、一方、差圧が所定時間経過しても生じないか、ある
いは規定値以下に収まっている場合に漏れのない正常な
容器であると判定することにより得られる。In the present invention as described above, gas is supplied from the gas supply source to the reference container and the DUT, and the insides of the reference container and the DUT are sealed at the same predetermined test pressure. . Then, in this sealed state, the differential pressure detection means is caused to act on the pressure of the reference container from the reference container side flow path, and the pressure of the DUT is applied from the DUT side flow path, and these are detected by the differential pressure detection means. A leak test of the DUT is performed by detecting the differential pressure. The test result determines that there is a leak in the DUT when a differential pressure occurs, while it does not occur even if the differential pressure has passed for a predetermined time, or there is no leak when the differential pressure is below a specified value. Obtained by determining that the container is normal.
【００２６】この際、基準容器および被試験物を密閉し
た後に、被試験物または基準容器が被試験物側流路また
は基準容器側流路の接続部から外れた場合（前述のケー
ス１）、あるいは被試験物に大きな漏れになる欠陥があ
る場合（前述のケース２）には、被試験物と基準容器と
の間に差圧が発生し始めることになるが、この差圧が所
定の設定圧力以上になった場合には、連通手段により基
準容器側流路と被試験物側流路とが連通されるため、こ
れらの間の差圧は、大きくなることはない。At this time, if the DUT or the reference container comes off from the connection part of the DUT side channel or the reference container side channel after the reference container and the DUT are sealed (case 1 described above), Alternatively, when the DUT has a defect that causes a large leak (case 2 described above), a differential pressure starts to be generated between the DUT and the reference container, and this differential pressure is set to a predetermined value. When the pressure becomes equal to or higher than the pressure, the reference means-side flow path and the DUT-side flow path communicate with each other by the communication means, so that the differential pressure between them does not increase.
【００２７】従って、前述したケース１，２のような場
合にも、差圧検出手段に大きな負荷がかかることはなく
なり、差圧検出手段を必要以上に高圧に対応可能なもの
とする必要がなくなるので、つまり差圧検出手段の片耐
圧を考慮する必要がなくなるので、差圧感度の高い差圧
検出手段を用いることが可能となる。このため、高い試
験空気圧での被試験物の漏れ検査が実現されるととも
に、漏れ試験器は、正確でかつ微小な漏れを検出できる
ものとなり、これらにより前記目的が達成される。Therefore, even in the cases 1 and 2 described above, a large load is not applied to the differential pressure detecting means, and it is not necessary to make the differential pressure detecting means capable of coping with higher pressure than necessary. Therefore, since it is not necessary to consider the one side breakdown voltage of the differential pressure detecting means, it is possible to use the differential pressure detecting means having high differential pressure sensitivity. For this reason, a leak test of the DUT can be realized at a high test air pressure, and the leak tester can detect a precise and minute leak, thereby achieving the above object.
【００２８】また、連通手段をリリーフ弁とした場合に
は、簡易な構造で、かつ確実に所定の設定圧力以上での
連通機能を実現できるものとなる。Further, when the relief valve is used as the communicating means, the communicating function can be realized with a simple structure and reliably at a predetermined set pressure or more.
【００２９】さらに、基準容器側流路の途中であって連
通手段の接続位置よりも差圧検出手段寄りの位置、およ
び被試験物側流路の途中であって連通手段の接続位置よ
りも差圧検出手段寄りの位置に、それぞれ絞り機構を設
けた場合には、連通手段の連通機能による差圧検出手段
の保護がより一層確実なものとなる。すなわち、被試験
物および基準容器には、容積の大きいものもあり、試験
中に被試験物が外れた時、被試験物側の圧力低下に対
し、連通手段の連通機能による基準容器側の圧力低下
が、容積が大きいために追いつかずに遅れることがあ
る。従って、この場合には、差圧検出手段にこの遅れ分
の差圧が伝わってしまうことになるが、絞り機構を設け
ておくことで、差圧検出手段の被試験物側（被試験物側
流路における差圧検出手段と絞り機構との間）の圧力低
下が抑えられるようになる。基準容器が外れた時も同様
である。Further, there is a difference in the midway of the flow path on the side of the reference container and closer to the differential pressure detecting means than the connecting position of the communicating means, and in the middle of the flow path on the DUT side than the connecting position of the communicating means. When the throttle mechanisms are provided at the positions close to the pressure detection means, the protection of the differential pressure detection means by the communication function of the communication means becomes more reliable. That is, some DUTs and reference containers have large volumes, and when the DUT comes off during the test, the pressure on the reference container side due to the communication function of the communication means against the pressure drop on the DUT side. The drop may be delayed without catching up because of the large volume. Therefore, in this case, the differential pressure for this delay is transmitted to the differential pressure detecting means. However, by providing the throttling mechanism, the differential pressure detecting means has a side under test (side under test). The pressure drop between the differential pressure detecting means and the throttling mechanism in the flow path can be suppressed. The same applies when the reference container comes off.
【００３０】[0030]
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。図１には、本実施例の空気圧漏れ試験器３０の
全体構成図が示されている。空気圧漏れ試験器３０は、
図中左側に気体供給源である空気圧源３１を備え、この
空気圧源３１には配管４０が接続されている。配管４０
には、試験空気圧を調整する減圧弁３２と、三方弁３３
とが設けられ、配管４０は、三方弁３３の下流位置Ｋ１
で二股に分岐されている。これらの分岐された配管のう
ちの一方の配管４１には、第一開閉弁３４が設けられ、
その下流には、被試験物１が取り付けられている。ま
た、分岐された配管のうちの他方の配管４２には、第二
開閉弁３５が設けられ、その下流には、基準容器２が取
り付けられている。An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows an overall configuration diagram of an air pressure leak tester 30 of this embodiment. The air pressure leak tester 30 is
An air pressure source 31 which is a gas supply source is provided on the left side of the drawing, and a pipe 40 is connected to the air pressure source 31. Piping 40
Includes a pressure reducing valve 32 for adjusting the test air pressure and a three-way valve 33.
And the pipe 40 is located at the downstream position K1 of the three-way valve 33.
It is forked. A first on-off valve 34 is provided on one of the branched pipes 41,
The device under test 1 is attached downstream thereof. Further, the other pipe 42 of the branched pipes is provided with a second opening / closing valve 35, and the reference container 2 is attached downstream thereof.
【００３１】一方の配管４１の途中であって第一開閉弁
３４と被試験物１との間の位置Ｋ２には、配管４３Ａの
一端が接続され、他方の配管４２の途中であって第二開
閉弁３５と基準容器２との間の位置Ｋ３には、配管４３
Ｂの一端が接続され、これらの配管４３Ａ，４３Ｂの他
端は、それぞれ差圧検出手段５０に接続されている。One end of a pipe 43A is connected to a position K2 between the first on-off valve 34 and the DUT 1 in the middle of one pipe 41, and the second pipe 42 in the middle of the other pipe 42. At a position K3 between the opening / closing valve 35 and the reference container 2, a pipe 43 is provided.
One end of B is connected, and the other ends of these pipes 43A and 43B are connected to the differential pressure detecting means 50, respectively.
【００３２】従って、空気圧源３１から位置Ｋ１まで延
びる配管４０と、位置Ｋ１から被試験物１まで延びる配
管４１とにより、空気圧源３１の空気を被試験物１の内
部に供給する供給路４４が構成されている。そして、空
気圧源３１から位置Ｋ１まで延びる配管４０と、位置Ｋ
１から基準容器２まで延びる配管４２とにより、空気圧
源３１の空気を基準容器２の内部に供給する供給路４５
が構成されている。Therefore, the pipe 40 extending from the air pressure source 31 to the position K1 and the pipe 41 extending from the position K1 to the device under test 1 form a supply passage 44 for supplying the air of the air pressure source 31 into the device under test 1. It is configured. The pipe 40 extending from the air pressure source 31 to the position K1 and the position K
1 and a pipe 42 extending from the reference container 2 to a supply passage 45 for supplying the air of the air pressure source 31 to the inside of the reference container 2.
Is configured.
【００３３】また、差圧検出手段５０から位置Ｋ２まで
延びる配管４３Ａと、配管４１のうち位置Ｋ２と被試験
物１との間の部分とにより、差圧検出手段５０と被試験
物１とを接続する被試験物側流路４６が構成されてい
る。そして、差圧検出手段５０から位置Ｋ３まで延びる
配管４３Ｂと、配管４２のうち位置Ｋ３と基準容器２と
の間の部分とにより、差圧検出手段５０と基準容器２と
を接続する基準容器側流路４７が構成されている。The differential pressure detecting means 50 and the DUT 1 are connected by the pipe 43A extending from the differential pressure detecting means 50 to the position K2 and the portion of the pipe 41 between the position K2 and the DUT 1. A DUT side flow path 46 to be connected is configured. A pipe 43B extending from the differential pressure detecting means 50 to the position K3 and a portion of the pipe 42 between the position K3 and the reference container 2 connect the differential pressure detecting means 50 and the reference container 2 to the reference container side. The flow path 47 is configured.
【００３４】図２には、差圧検出手段５０の拡大断面図
が示されている。差圧検出手段５０は、中央に前述の図
４および図５に示した小型高感度差圧センサ１０と同一
のセンサを備えている。この差圧センサ１０のダイアフ
ラム１１の外径は、おおよそ５ｍｍ程度で、センサ係数
（容積変化量／差圧）としては、１００mmH2Oレンジの
場合、１０-8〜１０-7cc／mmH2O（１０-15〜１０-14m3/
Pa）程度である。このため、ここでは同一符号を付して
差圧センサ１０の構成および機能の説明は省略する。FIG. 2 shows an enlarged sectional view of the differential pressure detecting means 50. The differential pressure detecting means 50 is provided at the center with the same sensor as the small high-sensitivity differential pressure sensor 10 shown in FIGS. 4 and 5. The outer diameter of the diaphragm 11 of the differential pressure sensor 10 is at approximately about 5mm, the sensor coefficient (change in volume / pressure difference), in the case of 100 mm H 2 O range, 10 -8 ~10 -7 cc / mmH 2 O (10 -15 -10 -14 m 3 /
Pa). Therefore, the same reference numerals are given here and the description of the configuration and function of the differential pressure sensor 10 is omitted.
【００３５】差圧センサ１０は、差圧検出手段５０の外
周を形成する上キャップ５１および下キャップ５２で覆
われ、スペーサ５３，５４によりこれらの上下のキャッ
プ５１，５２の内部に支持されている。差圧センサ１０
の上下には、被試験物１、基準容器２の空気圧が被試験
物側流路４６、基準容器側流路４７を介して導かれ、こ
れらの空気圧は、差圧センサ１０の各通路１６，１７を
通って、ダイアフラム１１の両側に配置された各圧力室
１４，１５に導入されるようになっている（図４参
照）。The differential pressure sensor 10 is covered with an upper cap 51 and a lower cap 52 that form the outer periphery of the differential pressure detecting means 50, and is supported inside these upper and lower caps 51, 52 by spacers 53, 54. . Differential pressure sensor 10
Above and below, the air pressures of the DUT 1 and the reference container 2 are introduced via the DUT side flow path 46 and the reference container side flow path 47, and these air pressures are passed through the respective passages 16 of the differential pressure sensor 10. The pressure chambers 14 and 15 arranged on both sides of the diaphragm 11 are introduced through 17 (see FIG. 4).
【００３６】差圧センサ１０のダイアフラム１１と各電
極１８，１９とにより形成された一対のコンデンサの静
電容量は、各取出部２０〜２３（図５参照）に接続され
たリード線５５等を介して接続端子５６に取り出される
ようになっている。The capacitance of the pair of capacitors formed by the diaphragm 11 of the differential pressure sensor 10 and the electrodes 18 and 19 is the same as that of the lead wire 55 connected to each of the extraction portions 20 to 23 (see FIG. 5). It is adapted to be taken out to the connection terminal 56 via the.
【００３７】図１に戻って、配管４１の位置Ｋ２と被試
験物１との間の位置Ｋ４には、配管４８Ａの一端が接続
され、配管４２の位置Ｋ３と基準容器２との間の位置Ｋ
５には、配管４８Ｂの一端が接続され、これらの配管４
８Ａ，４８Ｂの他端は、それぞれ被試験物側流路４６と
基準容器側流路４７とを連通する連通手段である第一リ
リーフ弁６１に接続されている。また、配管４１の位置
Ｋ２と被試験物１との間の位置Ｋ６には、配管４９Ａの
一端が接続され、配管４２の位置Ｋ３と基準容器２との
間の位置Ｋ７には、配管４９Ｂの一端が接続され、これ
らの配管４９Ａ，４９Ｂの他端は、それぞれ被試験物側
流路４６と基準容器側流路４７とを連通する連通手段で
ある第二リリーフ弁６２に接続されている。Returning to FIG. 1, one end of the pipe 48A is connected to a position K4 between the position K2 of the pipe 41 and the DUT 1, and a position between the position K3 of the pipe 42 and the reference container 2. K
5, one end of a pipe 48B is connected to these pipes 4
The other ends of 8A and 48B are connected to a first relief valve 61, which is a communication means for communicating the DUT side flow path 46 and the reference container side flow path 47, respectively. Further, one end of the pipe 49A is connected to a position K6 between the position K2 of the pipe 41 and the DUT 1, and one end of the pipe 49B is connected to a position K7 between the position K3 of the pipe 42 and the reference container 2. One end is connected, and the other ends of these pipes 49A and 49B are connected to a second relief valve 62 which is a communication means for communicating the DUT side flow path 46 and the reference container side flow path 47, respectively.
【００３８】第一、第二リリーフ弁６１，６２は、被試
験物側流路４６と基準容器側流路４７との差圧が所定の
設定圧力以上となった時にのみ被試験物側流路４６と基
準容器側流路４７とを連通し、それ以外の時には、これ
らの間を遮断するものである。これらの第一、第二リリ
ーフ弁６１，６２の設定圧力は、差圧センサ１０の計測
レンジ以上で、片耐圧以下とする。The first and second relief valves 61 and 62 are provided in the DUT side flow passage only when the pressure difference between the DUT side flow passage 46 and the reference container side flow passage 47 becomes equal to or higher than a predetermined set pressure. 46 and the reference container side flow path 47 are communicated with each other, and at other times, they are cut off from each other. The set pressures of the first and second relief valves 61 and 62 are not less than the measurement range of the differential pressure sensor 10 and not more than the single withstand pressure.
【００３９】配管４１の位置Ｋ２と位置Ｋ４との間に
は、つまり被試験物側流路４６の途中であって第一、第
二リリーフ弁６１，６２の接続位置Ｋ４，Ｋ６よりも差
圧検出手段５０寄りの位置には、絞り機構６３が設けら
れている。配管４２の位置Ｋ３と位置Ｋ５との間には、
つまり基準容器側流路４７の途中であって第一、第二リ
リーフ弁６１，６２の接続位置Ｋ５，Ｋ７よりも差圧検
出手段５０寄りの位置には、絞り機構６４が設けられて
いるBetween the position K2 and the position K4 of the pipe 41, that is, in the middle of the DUT side flow path 46, the differential pressure is higher than the connecting positions K4 and K6 of the first and second relief valves 61 and 62. A diaphragm mechanism 63 is provided at a position near the detecting means 50. Between the position K3 and the position K5 of the pipe 42,
That is, the throttle mechanism 64 is provided at a position closer to the differential pressure detecting means 50 than the connecting positions K5 and K7 of the first and second relief valves 61 and 62 in the middle of the reference container side flow path 47.
【００４０】このような空気圧漏れ試験器３０において
は、以下のようにして漏れ試験を行う。先ず、減圧弁３
２を適宜調整しながら、漏れ試験に必要な空気圧力を発
生させた後、第一開閉弁３４および第二開閉弁３５を開
状態とし、空気圧力を空気圧源３１から供給路４４，４
５を通して被試験物１および基準容器２に供給する。こ
の際には、被試験物１側および基準容器２側に同一圧力
が加えられるため、差圧センサ１０には差圧は生じな
い。In such an air pressure leak tester 30, a leak test is conducted as follows. First, pressure reducing valve 3
After the air pressure necessary for the leak test is generated while adjusting 2 appropriately, the first on-off valve 34 and the second on-off valve 35 are opened, and the air pressure is supplied from the air pressure source 31 to the supply passages 44 and 4.
Then, it is supplied to the device under test 1 and the reference container 2 through 5. At this time, since the same pressure is applied to the DUT 1 side and the reference container 2 side, no differential pressure is generated in the differential pressure sensor 10.
【００４１】この空気圧力の供給加圧中において、被試
験物１または基準容器２が各配管４１，４２の接続部４
１Ａ，４２Ａから外れた場合（図７（Ａ）参照）には、
空気圧が所定試験圧力まで上昇しないため、この時点で
試験を終了する。なお、この場合には、被試験物１また
は基準容器２のうちいずれか一方しか外れていなくて
も、各配管４１，４２が位置Ｋ１で連通状態となってい
ることから、被試験物１側および基準容器２側の空気圧
は共に上昇しない。従って、差圧センサ１０に大きな差
圧がかかることはない。During the supply and pressurization of the air pressure, the DUT 1 or the reference container 2 is connected to the connecting portion 4 of the pipes 41 and 42.
When it deviates from 1A and 42A (see FIG. 7A),
The test is terminated at this point because the air pressure does not rise to the predetermined test pressure. In this case, even if only one of the DUT 1 and the reference container 2 is detached, the pipes 41 and 42 are in communication with each other at the position K1. Neither does the air pressure on the side of the reference container 2 rise. Therefore, a large differential pressure is not applied to the differential pressure sensor 10.
【００４２】空気圧が所定試験圧力まで上昇したところ
で、第一開閉弁３４および第二開閉弁３５を閉じ、被試
験物１および基準容器２をそれぞれ密閉状態とする。そ
して、この密閉状態を一定時間保持し、差圧センサ１０
による測定結果において差圧が生じなかった場合に、被
試験物１を漏れのない正常な容器と判断する。When the air pressure rises to a predetermined test pressure, the first opening / closing valve 34 and the second opening / closing valve 35 are closed, and the DUT 1 and the reference container 2 are sealed. The sealed state is maintained for a certain period of time, and the differential pressure sensor 10
When the differential pressure is not generated in the measurement result according to 1., the DUT 1 is determined to be a normal container with no leakage.
【００４３】この際、第一開閉弁３４および第二開閉弁
３５を閉じた後に、被試験物１が配管４１の接続部４１
Ａから外れた場合には、外れた箇所から空気が外部に流
れ出し、第二リリーフ弁６２の両側の空気圧が設定圧力
以上になった時点で第二リリーフ弁６２が差圧の力によ
り開き、差圧が大きくなれば大きくなる程第二リリーフ
弁６２の開きは大きくなる。そして、第二リリーフ弁６
２が開くことにより、被試験物側流路４６と基準容器側
流路４７とが連通されて図中矢印Ｓのように空気が流れ
る。また、絞り機構６３よりも差圧検出手段５０寄りの
空気は、絞り機構６３の存在により、外れた箇所に向か
って急激に流れ出すことはない。これらにより差圧セン
サ１０に大きな差圧がかかることが防止されている。な
お、基準容器２が配管４２の接続部４２Ａから外れた場
合には、第一リリーフ弁６１の連通機能が働き、同様な
差圧センサ１０の保護が行われる。At this time, after the first opening / closing valve 34 and the second opening / closing valve 35 are closed, the DUT 1 is connected to the connecting portion 41 of the pipe 41.
When it is disengaged from A, the air flows out from the disengaged part, and when the air pressure on both sides of the second relief valve 62 becomes equal to or higher than the set pressure, the second relief valve 62 opens due to the force of the differential pressure. The larger the pressure, the larger the opening of the second relief valve 62. And the second relief valve 6
When 2 is opened, the flow path 46 on the DUT side and the flow path 47 on the reference container side are communicated with each other, and air flows as indicated by an arrow S in the figure. Further, the air closer to the differential pressure detecting means 50 than the throttle mechanism 63 does not suddenly flow out toward the disengaged portion due to the presence of the throttle mechanism 63. These prevent a large differential pressure from being applied to the differential pressure sensor 10. When the reference container 2 is disengaged from the connecting portion 42A of the pipe 42, the communication function of the first relief valve 61 operates, and the same protection of the differential pressure sensor 10 is performed.
【００４４】また、被試験物１に大きな漏れになる欠陥
がある際（図７（Ｂ）参照）には、その欠陥による漏れ
の状態にもよるが、被試験物１および基準容器２の空気
圧を所定試験圧力まで上昇させることができた場合に
は、漏れ試験を進めることになるので、被試験物１およ
び基準容器２の密閉を行うために第一開閉弁３４および
第二開閉弁３５を閉じる。そして、第一開閉弁３４およ
び第二開閉弁３５を閉じた後に、欠陥箇所から空気が外
部に流れ出すが、この場合においても、前述した被試験
物１が外れた場合と同様に、第二リリーフ弁６２の連通
機能が働き、同様な差圧センサ１０の保護が行われる。When the DUT 1 has a defect that causes a large leak (see FIG. 7B), the air pressure of the DUT 1 and the reference container 2 depends on the leak state due to the defect. If the pressure can be increased to a predetermined test pressure, the leak test will proceed, so that the first opening / closing valve 34 and the second opening / closing valve 35 are closed to seal the DUT 1 and the reference container 2. close. Then, after closing the first opening / closing valve 34 and the second opening / closing valve 35, air flows out from the defective portion, but in this case as well, as in the case where the DUT 1 is detached, the second relief is applied. The communication function of the valve 62 operates, and the same protection of the differential pressure sensor 10 is performed.
【００４５】このような本実施例によれば、次のような
効果がある。すなわち、第一、第二リリーフ弁６１，６
２が設けられているので、漏れ試験中に被試験物１また
は基準容器２が外れた場合、あるいは被試験物１に大き
な漏れになる欠陥がある場合には、第一、第二リリーフ
弁６１，６２による被試験物側流路４６と基準容器側流
路４７との連通機能が働くため、これらの間に発生する
差圧を抑えることができ、差圧センサ１０の保護を図る
ことができる。According to this embodiment, the following effects can be obtained. That is, the first and second relief valves 61, 6
2 is provided, the first and second relief valves 61 are provided when the DUT 1 or the reference container 2 comes off during the leak test or when the DUT 1 has a defect that causes a large leak. , 62 function to connect the DUT side flow path 46 and the reference container side flow path 47, so that the differential pressure generated between them can be suppressed and the differential pressure sensor 10 can be protected. .
【００４６】従って、差圧センサ１０に大きな負荷がか
かることを防止できることから、差圧センサ１０を必要
以上に高圧に対応可能なものとする必要がなくなるの
で、つまり差圧センサ１０の片耐圧を考慮する必要がな
くなるので、本実施例のような小型で高感度な差圧セン
サ１０を用いることができる。このため、漏れ試験器３
０を、高い試験空気圧での被試験物１の漏れ検査を実現
できるという要求と、正確でかつ微小な漏れを検出でき
るという要求とを、共に満足するものにすることができ
る。Therefore, since it is possible to prevent a large load from being applied to the differential pressure sensor 10, it is not necessary to make the differential pressure sensor 10 capable of handling a higher pressure than necessary, that is, the partial pressure resistance of the differential pressure sensor 10 is increased. Since there is no need to consider it, the compact and highly sensitive differential pressure sensor 10 of this embodiment can be used. Therefore, the leak tester 3
A value of 0 can satisfy both the requirement that a leak test of the DUT 1 can be realized with a high test air pressure and the requirement that an accurate and minute leak can be detected.
【００４７】また、本実施例では、連通手段を第一、第
二リリーフ弁６１，６２により構成したので、簡易な構
造で、かつ確実に所定の設定圧力以上での連通機能を実
現できる。Further, in this embodiment, since the communication means is composed of the first and second relief valves 61 and 62, it is possible to realize a communication function with a simple structure and reliably at a predetermined set pressure or higher.
【００４８】さらに、絞り機構６３，６４が設けられて
いるので、第一、第二リリーフ弁６１，６２の連通機能
による差圧センサ１０の保護をより一層確実なものとす
ることができる。つまり、試験中に被試験物１が外れた
時、被試験物１側の圧力低下に対し、第二リリーフ弁６
２の連通機能による基準容器２側の圧力低下が、基準容
器２の容積が大きいために追いつかずに遅れた場合であ
っても、絞り機構６３の存在により、差圧センサ１０の
被試験物１側（絞り機構６３よりも差圧検出手段５０寄
りの空気）の圧力低下を抑えることができる。基準容器
２が外れた時も同様であり、絞り機構６４の存在によ
り、差圧センサ１０の基準容器２側（絞り機構６４より
も差圧検出手段５０寄りの空気）の圧力低下を抑えるこ
とができる。なお、微小な漏れの場合においては、空気
の流れが非常に少ないため、本来の漏れによる差圧検出
には、絞り機構６３，６４の影響は全く及ばない。Furthermore, since the throttle mechanisms 63 and 64 are provided, the protection of the differential pressure sensor 10 by the communication function of the first and second relief valves 61 and 62 can be made even more reliable. That is, when the DUT 1 comes off during the test, the second relief valve 6 is operated against the pressure drop on the DUT 1 side.
Even if the pressure drop on the side of the reference container 2 due to the communication function of 2 is delayed without catching up because the volume of the reference container 2 is large, the presence of the throttle mechanism 63 causes the DUT 1 of the differential pressure sensor 10 to be tested. It is possible to suppress the pressure drop on the side (air closer to the differential pressure detection means 50 than the throttle mechanism 63). The same applies when the reference container 2 is disengaged, and the presence of the throttle mechanism 64 can suppress the pressure drop on the side of the reference container 2 of the differential pressure sensor 10 (air closer to the differential pressure detecting means 50 than the throttle mechanism 64). it can. It should be noted that in the case of a minute leak, the air flow is very small, and therefore the influence of the throttle mechanisms 63 and 64 does not affect the differential pressure detection due to the original leak.
【００４９】図３には、本実施例の効果を示すグラフが
示されている。図３において、縦軸には試験圧力（ＭＰ
ａ）、横軸には経過時間がとられている。実線のカーブ
は、被試験物１が外れた際の基準容器２側の圧力降下状
態を示し、点線のカーブは、その際の被試験物１側の圧
力降下状態（絞り機構６３がある場合）を示し、一点鎖
線のカーブは、その際の被試験物１側の圧力降下状態
（絞り機構６３がない場合）を示している。これらの波
形は、全てゲージ圧で示されている。また、被試験物１
および基準容器２には、１０００ｃｃの容器を用いた。FIG. 3 shows a graph showing the effect of this embodiment. In FIG. 3, the vertical axis represents the test pressure (MP
a), the horizontal axis indicates elapsed time. The solid curve shows the pressure drop state on the reference container 2 side when the DUT 1 is disengaged, and the dotted curve shows the pressure drop state on the DUT 1 side at that time (when the throttling mechanism 63 is provided). The curve indicated by the alternate long and short dash line shows the state of pressure drop on the DUT 1 side at that time (when the throttle mechanism 63 is not provided). All of these waveforms are shown in gauge pressure. Also, the DUT 1
As the reference container 2, a 1000 cc container was used.
【００５０】被試験物１が外れると、外れた箇所から空
気が大気中に放出され、点線のカーブの如く、被試験物
１側の圧力は、大気圧まで急激に降下する。この際、基
準容器２側の圧力は、実線のカーブの如く、最初は密閉
されているため試験圧力を保つが、被試験物１側との差
圧が第二リリーフ弁６２の設定圧力以上になった時点で
第二リリーフ弁６２の連通機能が働き、圧力降下が始ま
って第二リリーフ弁６２の設定圧力値近くまで下がる。
このように基準容器２側の圧力が、被試験物１側の圧力
に追従して降下することにより、常に、これらの間の差
圧を第二リリーフ弁６２の設定圧力値に抑えることがで
き、差圧センサ１０の保護を図ることができる。When the device under test 1 comes off, air is released into the atmosphere from the removed position, and the pressure on the device under test 1 side rapidly drops to atmospheric pressure as indicated by the dotted curve. At this time, the pressure on the reference container 2 side is initially sealed as shown by the curve of the solid line, so that the test pressure is maintained, but the pressure difference with the DUT 1 side is equal to or higher than the set pressure of the second relief valve 62. At that time, the communication function of the second relief valve 62 operates, the pressure drop starts, and the pressure falls to near the set pressure value of the second relief valve 62.
As described above, the pressure on the reference container 2 side drops following the pressure on the DUT 1 side, so that the differential pressure between them can be constantly suppressed to the set pressure value of the second relief valve 62. Thus, the differential pressure sensor 10 can be protected.
【００５１】また、仮に、絞り機構６３を設けなかった
場合には、一点鎖線のカーブの如く、被試験物１側の圧
力の大気圧に至るまでの降下が、絞り機構６３を設けた
場合における点線のカーブに比べ、急激になる。この場
合には、被試験物１および基準容器２の容積にもよる
が、被試験物１側と基準容器２側との差圧が、第二リリ
ーフ弁６２の設定圧力値を越えることもある。しかし、
この場合においても、基準容器２側の圧力が、被試験物
１側の圧力に追従して降下することに変わりはなく、こ
れらの間の差圧の拡大を抑えることができ、差圧センサ
１０の保護を図ることができる。Further, if the throttling mechanism 63 is not provided, the drop in the pressure on the DUT 1 side to the atmospheric pressure, as shown by the one-dot chain curve, is the same as when the throttling mechanism 63 is provided. It becomes sharper than the dotted curve. In this case, the pressure difference between the DUT 1 side and the reference container 2 side may exceed the set pressure value of the second relief valve 62, depending on the volumes of the DUT 1 and the reference container 2. . But,
Even in this case, the pressure on the side of the reference container 2 remains the same as the pressure on the side of the DUT 1 and drops, and the expansion of the differential pressure between them can be suppressed, and the differential pressure sensor 10 Can be protected.
【００５２】なお、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、本発明の目的を達成できる範囲内での変形
等は本発明に含まれるものである。すなわち、前記実施
例では、差圧検出手段５０は、小型高感度差圧センサ１
０を備えた構成となっていたが、本発明の差圧検出手段
は、このような構成に限定されるものではなく、被試験
物１の漏れ試験に必要とされる空気圧での試験を行うこ
とができ、かつ必要な差圧感度を確保できるものであれ
ば任意である。The present invention is not limited to the above-mentioned embodiments, and modifications and the like within the range in which the object of the present invention can be achieved are included in the present invention. That is, in the above-described embodiment, the differential pressure detecting means 50 is the small high-sensitivity differential pressure sensor 1
However, the differential pressure detection means of the present invention is not limited to such a configuration, and performs the test at the air pressure required for the leak test of the DUT 1. It is optional as long as it is capable of ensuring the required differential pressure sensitivity.
【００５３】また、前記実施例では、配管４１の位置Ｋ
２と位置Ｋ４との間、および配管４２の位置Ｋ３と位置
Ｋ５との間に、絞り機構６３，６４が設けられていた
が、配管４３Ａ（位置Ｋ２と差圧検出手段５０との間の
位置Ｑ１）および配管４３Ｂ（位置Ｋ３と差圧検出手段
５０との間の位置Ｑ２）に絞り機構を設けてもよい。こ
のようにすることで、供給路４４，４５に相当しない位
置に絞り機構を設けることができるので、空気圧源３１
からの空気圧供給時の遅れを防止することができる。Further, in the above embodiment, the position K of the pipe 41 is
2 and the position K4 and between the positions K3 and K5 of the pipe 42, the throttling mechanisms 63 and 64 are provided. However, the pipe 43A (the position between the position K2 and the differential pressure detecting means 50). A throttle mechanism may be provided at Q1) and the pipe 43B (position Q2 between the position K3 and the differential pressure detecting means 50). By doing so, the throttling mechanism can be provided at a position that does not correspond to the supply passages 44 and 45, so that the air pressure source 31
It is possible to prevent a delay in supplying air pressure from.
【００５４】さらに、前記実施例では、空気圧漏れ試験
器３０となっていたが、本発明の漏れ試験器は、空気圧
漏れ試験への適用に限定されるものではなく、その他の
気体の漏れ試験に適用してもよい。Further, although the air pressure leak tester 30 is used in the above-mentioned embodiment, the leak tester of the present invention is not limited to the application to the air pressure leak test, and can be applied to other gas leak tests. You may apply.
【００５５】[0055]
【発明の効果】以上に述べたように本発明によれば、連
通手段を設けたので、被試験物または基準容器が被試験
物側流路または基準容器側流路の接続部から外れた場
合、あるいは被試験物に大きな漏れになる欠陥がある場
合には、連通手段により基準容器側流路と被試験物側流
路とが連通されるため、これらの間の差圧が大きくなる
ことを防止できるという効果がある。As described above, according to the present invention, since the communication means is provided, when the DUT or the reference container is disconnected from the connection part of the DUT side channel or the reference container side channel. Or, if the DUT has a defect that causes a large leak, the reference container-side flow path and the DUT-side flow path are connected by the communication means, so that the differential pressure between them is increased. The effect is that it can be prevented.
【００５６】このため、差圧検出手段を必要以上に高圧
に対応可能なものとする必要がなくなるので、つまり差
圧検出手段の片耐圧を考慮する必要がなくなるので、差
圧感度の高い差圧検出手段を用いることができるため、
漏れ試験器を、高い試験空気圧での被試験物の漏れ検査
を実現できるとともに、正確でかつ微小な漏れを検出で
きるものとすることができるという効果がある。Therefore, it is not necessary to make the differential pressure detecting means capable of handling a higher pressure than necessary, that is, it is not necessary to consider the partial pressure resistance of the differential pressure detecting means. Since detection means can be used,
There is an effect that the leak tester can realize a leak test of a device under test with a high test air pressure and can detect an accurate and minute leak.
【００５７】また、連通手段をリリーフ弁とした場合に
は、簡易な構造で、かつ確実に所定の設定圧力以上での
連通機能を実現できるという効果がある。Further, when the relief valve is used as the communicating means, there is an effect that the communicating function can be realized with a simple structure and reliably at a predetermined set pressure or more.
【００５８】さらに、絞り機構を設けた場合には、この
絞り機構よりも差圧検出手段寄りの空気の流出を抑える
ことができるため、連通手段の連通機能による差圧検出
手段の保護をより一層確実なものとすることができると
いう効果がある。Further, when the throttling mechanism is provided, it is possible to suppress the outflow of air closer to the differential pressure detecting means than the throttling mechanism, so that the communicating function of the communicating means further protects the differential pressure detecting means. There is an effect that it can be made reliable.
【図１】本発明の一実施例の空気圧漏れ試験器を示す全
体構成図。FIG. 1 is an overall configuration diagram showing an air pressure leak tester according to an embodiment of the present invention.
【図２】前記実施例の差圧検出手段の拡大断面図。FIG. 2 is an enlarged sectional view of the differential pressure detecting means of the above embodiment.
【図３】前記実施例の効果を示す圧力波形図。FIG. 3 is a pressure waveform chart showing the effect of the embodiment.
【図４】前記実施例の小型高感度差圧センサの断面図。FIG. 4 is a sectional view of the small-sized high-sensitivity differential pressure sensor of the embodiment.
【図５】前記実施例の小型高感度差圧センサの斜視図。FIG. 5 is a perspective view of the compact high-sensitivity differential pressure sensor according to the embodiment.
【図６】従来の漏れ試験器の全体構成図。FIG. 6 is an overall configuration diagram of a conventional leak tester.
【図７】被試験物または基準容器が外れた場合、および
被試験物に大きな漏れとなる欠陥がある場合の説明図。FIG. 7 is an explanatory view when the DUT or the reference container comes off and when the DUT has a defect that causes a large leak.
【図８】従来の差圧センサの斜視図。FIG. 8 is a perspective view of a conventional differential pressure sensor.
１ 被試験物 ２ 基準容器 １０ 差圧検出手段を構成する小型高感度差圧センサ ３０ 空気圧漏れ試験器 ４１，４３Ａ 被試験物側流路を構成する配管 ４２，４３Ｂ 基準容器側流路を構成する配管 ４６ 被試験物側流路 ４７ 基準容器側流路 ５０ 差圧検出手段 ６１ 連通手段である第一リリーフ弁 ６２ 連通手段である第二リリーフ弁 ６３，６４ 絞り機構 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 DUT 2 Reference container 10 Compact high-sensitivity differential pressure sensor which constitutes a differential pressure detection means 30 Air pressure leak tester 41, 43A Piping 42, 43B which constitutes a DUT side flow path It constitutes a reference container side flow path Piping 46 Flow path under test 47 Flow path for reference container 50 Differential pressure detection means 61 First relief valve 62 as communication means 62 Second relief valve as communication means 63, 64 Throttling mechanism
Claims (3)
準容器と漏れの有無が不明な被試験物との内部に気体供
給源から気体を供給し、これらの基準容器および被試験
物の内部を同一の所定試験圧力にした状態でそれぞれ密
閉し、これらの基準容器と被試験物との間に生じる差圧
に基づいて前記被試験物の漏れを測定する漏れ試験器に
おいて、 前記基準容器と前記被試験物との間に設けられてこれら
の基準容器と被試験物との間に生じる差圧を検出する差
圧検出手段と、この差圧検出手段と前記基準容器とを接
続する基準容器側流路と、前記差圧検出手段と前記被試
験物とを接続する被試験物側流路と、前記基準容器側流
路と前記被試験物側流路との間に設けられて前記基準容
器と前記被試験物との間に生じる差圧が所定の設定圧力
以上になった場合に前記基準容器側流路と前記被試験物
側流路とを連通する連通手段とを備えたことを特徴とす
る漏れ試験器。1. A gas is supplied from a gas supply source to the inside of a reference container that has no leakage or is considered to be nonexistent and the DUT whose leakage is unknown, and the insides of these reference container and DUT are the same. In a leak tester for measuring the leak of the DUT based on the differential pressure generated between the reference container and the DUT, the reference container and the DUT are sealed under the predetermined test pressure. A differential pressure detecting means provided between the reference container and the reference container for detecting a differential pressure generated between the reference container and the DUT, and a reference container side flow connecting the differential pressure detecting means and the reference container. A path, a DUT side flow path connecting the differential pressure detecting means and the DUT, and a reference container provided between the reference container side flow path and the DUT side flow path. If the pressure difference between the DUT and the Leak tester, characterized in that a communicating means for communicating with said reference container side flow path and the DUT side flow path when the.
て、前記連通手段は、リリーフ弁であることを特徴とす
る漏れ試験器。2. The leak tester according to claim 1, wherein the communication means is a relief valve.
試験器において、前記基準容器側流路の途中であって前
記連通手段の接続位置よりも前記差圧検出手段寄りの位
置、および前記被試験物側流路の途中であって前記連通
手段の接続位置よりも前記差圧検出手段寄りの位置に
は、それぞれ絞り機構が設けられていることを特徴とす
る漏れ試験器。3. The leak tester according to claim 1, wherein a position closer to the differential pressure detection means than a connection position of the communication means and in the middle of the reference container side flow path, and A leak tester characterized in that a throttling mechanism is provided at a position in the middle of the flow path on the DUT side and closer to the differential pressure detecting means than the connecting position of the communicating means.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13415695A JP3386626B2 (en) | 1995-05-31 | 1995-05-31 | Leak tester |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13415695A JP3386626B2 (en) | 1995-05-31 | 1995-05-31 | Leak tester |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08327485A true JPH08327485A (en) | 1996-12-13 |
| JP3386626B2 JP3386626B2 (en) | 2003-03-17 |
Family
ID=15121783
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13415695A Expired - Fee Related JP3386626B2 (en) | 1995-05-31 | 1995-05-31 | Leak tester |
Country Status (1)
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| JP (1) | JP3386626B2 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005328347A (en) * | 2004-05-14 | 2005-11-24 | Audio Technica Corp | Acoustic resistance measuring device of acoustic resistance material and adjusting method of same |
| CN108061631A (en) * | 2017-12-14 | 2018-05-22 | 中国航发沈阳发动机研究所 | A kind of test method for measuring comb tooth sealing structure amount of leakage |
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1995
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| JP2005328347A (en) * | 2004-05-14 | 2005-11-24 | Audio Technica Corp | Acoustic resistance measuring device of acoustic resistance material and adjusting method of same |
| JP4573572B2 (en) * | 2004-05-14 | 2010-11-04 | 株式会社オーディオテクニカ | Acoustic resistance measuring device for acoustic resistance material and acoustic resistance adjustment method for acoustic resistance material |
| CN108061631A (en) * | 2017-12-14 | 2018-05-22 | 中国航发沈阳发动机研究所 | A kind of test method for measuring comb tooth sealing structure amount of leakage |
| CN108061631B (en) * | 2017-12-14 | 2020-08-11 | 中国航发沈阳发动机研究所 | Test method for measuring leakage of grate seal structure |
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| JP3386626B2 (en) | 2003-03-17 |
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